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Fターム[5E346DD17]の内容

多層プリント配線板の製造 (97,916) | 各層形成の方法 (10,210) | 導体層形成の方法 (4,026) | 気相 (344) | スパッタリング (196)

Fターム[5E346DD17]に分類される特許

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【課題】従来よりも電子部品を高密度に実装することが可能な薄膜回路部品を提供すること。
【解決手段】ガラスセラミックス基板12と、ガラスセラミックス基板12の面12a側に薄膜回路26,28と、ガラスセラミックス基板12を貫通するビア電極24と、ガラスセラミックス基板12の面12b側に該ビア電極24を介して薄膜回路26,28と電気的に接続された端子電極22と、を備える薄膜回路部品10。 (もっと読む)


【課題】 高い容量を備える電子部品を提供する。
【解決手段】 Siコンデンサ10では、下部電極42と誘電体層44と上部電極46とから成るコンデンサ部40が、Si基板20に形成されたトレンチ30の壁面上に形成されているめ、下部電極42−誘電体層44−上部電極46の面積を広げることができ、高い容量を得ることができる。また、トレンチ30の内部に樹脂充填材52が充填されているため、トレンチ30の側壁で生じる応力を可撓性の有る樹脂充填材52で吸収することができ、凹部(トレンチ)を狭い間隔で設け容量の増大を図っても、トレンチ30の側壁へクラックが入ることが無い。 (もっと読む)


【課題】支持基板上に樹脂配線層をビルドアップ形成して多層配線基板を形成しても、支持基板の反りを低減させることができる電子装置の製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板100の上に、導電性のビア11と、ビア11を覆う第1絶縁部12とを含む下層部10を形成する工程と、下層部10の上に、ビア11と電気的に接続する第1配線31と、第1配線31を覆う第2絶縁部32とを含む中間層部30を形成する工程とを具備する。下層部10を形成する工程は、第1絶縁部12を、回路を形成するための第1回路形成領域110と、第1回路形成領域を取り囲む第1領域120とに形成する工程と、ビア11を第1回路形成領域110に形成する工程とを備える。中間層部30を形成する工程は、第1配線31を第1回路形成領域110に形成する工程と、下層部10を覆うように第2絶縁部32を成膜する工程と、下層部10の上面の外周部10aが露出するように、第1領域120上の第2絶縁部32を除去する工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】薄型化及び素子端子間の狭ピッチ化を可能にする一方で、基板の反りの低減化を図り、POP構造等に容易に適用可能とすること。
【解決手段】半導体装置10は、電極端子21が形成されている側の第1の面20a及びこれと反対側の第2の面20bを有する半導体素子20と、該半導体素子が埋め込まれた絶縁層31と、該絶縁層を挟んでその両面にそれぞれ少なくとも1層ずつ積層された絶縁層33,35,37及び配線層32,34,36,38とを備える。半導体素子20の電極端子21は、絶縁層31に形成されたビア32aを介して第1の面20a側の配線層32に直接接続され、この配線層32は、絶縁層31,35に形成されたビア36aを介して第2の面20b側の配線層36に接続されている。 (もっと読む)


【課題】高速動作、高周波動作、多機能動作の要求からプリント回路基板とチップ部品の接点を大幅に増加させ、プリント回路基板の回路密度を高める必要があり、接点間の間隔を縮小させ続けなければならない。
【解決手段】互いに隣接する表面と側面を有する回路基板と、前記回路基板の前記表面の一部を覆う内部回路と、前記内部回路に電気接続され、前記内部回路と同一の追加層に位置する第一サイド電気接続パッドを含み、金属保護層222にはんだバンプ224,226を形成する。はんだバンプ224は、サイド電気接続パッド210a〜210cの末端410a〜410cにそれぞれ接続させる。 (もっと読む)


【課題】使用後に絶縁材からの配線の剥離が容易な配線基板及びその製造方法、並びに配線基板の分解方法を提供する。
【解決手段】本開示の配線基板1は、絶縁材11と、絶縁材11上に形成された配線13と、絶縁材11と配線13との間に形成された金属炭酸塩又は金属炭酸水素塩を含む剥離層12とを有する。金属炭酸塩は、例えば、炭酸マグネシウム、炭酸タリウム、炭酸銀、炭酸銅、炭酸鉛、炭酸亜鉛、炭酸鉄、又は炭酸コバルトである。金属炭酸水素塩は、例えば炭酸水素ナトリウム、又は炭酸水素カリウムである。 (もっと読む)


【課題】回路基板と、この回路基板の表層に設けられた配線パターンに実装された電子部品と、これらを封止する絶縁性樹脂と、絶縁性樹脂の上に設けられた金属ペースト等からなる導電性樹脂層等から形成された従来の回路モジュールでは、必要なシールド性が得られない場合があった。
【解決手段】基板部103と、電子部品104と、これらを封止するモールド部102と、この断面に第1のダレ部110を伴って露出した上向内層配線107と、第2のダレ部111を伴って露出した下向内層配線109と、前記モールド部102の表面と、を覆うスパッタによる金属膜からなるシールド部112と、を有するモジュール101であって、前記第1のダレ部110より、第2のダレ部111の大きさや面積等を大きくすることで、シールド部112の厚みが薄くなりやすい、基板部103の裏面電極108側において、シールド特性を高めたモジュール101とする。 (もっと読む)


【課題】 上面の平坦性に優れた多層配線基板、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の樹脂絶縁層1と複数の薄膜導体層2とが交互に積層され、樹脂絶縁層1に形成された貫通導体3を介して上下の薄膜導体層2同士が電気的に接続されてなる多層配線基板であって、薄膜導体層2は、上側に積層された樹脂絶縁層1の下面に薄膜導体層2と同じパターンで形成された溝部4内に収まっており、貫通導体3は、側面の下部の一部が溝部4の内側面に沿って露出するように樹脂絶縁層1を厚み方向に貫通して形成されており、貫通導体3の溝部4内に露出した側面の下部の一部と薄膜導体層2の側面とが接触して、貫通導体3と薄膜導体層2とが電気的に接続されている多層配線基板である。薄膜導体層2が溝部4内に収まり、貫通導体3の側面が薄膜導体層2の側面に接しているため、上側の樹脂絶縁層1の変形を抑制し、平坦性を向上できる。 (もっと読む)


【課題】耐デスミア性に優れた多層プリント回路基板用フィルムを提供する。
【解決手段】フッ素原子を含有する芳香族ポリアミド樹脂からなる基材層と、基材層の少なくとも片面側に積層され、官能基を有する脂環式オレフィン重合体および硬化剤を含んでなる硬化性樹脂組成物からなる接着層とにより形成されてなる多層プリント回路基板用フィルム。 (もっと読む)


【課題】基板内形成のための加熱制限があってもキャパシタ誘電体膜において高い比誘電率を得る。
【解決手段】基板内部の基板樹脂層3にキャパシタ10を埋め込んで形成する。その形成工程では、下部電極11を形成し、基板樹脂層3の耐熱温度以下、室温以上で結晶質金属酸化物を含むキャパシタ誘電体膜12を形成し、その上面で下部電極11と対向する上部電極13を形成する。 (もっと読む)


【課題】製造コストの増大を抑制でき、かつ、微細配線に対応可能な配線基板及びその製造方法並びに前記配線基板を有する半導体パッケージを提供する。
【解決手段】本配線基板は、積層された複数のセラミック層及び内部配線を備え、前記内部配線と電気的に接続された電極が一方の面から露出しているセラミック基板と、主面に形成された配線パターンと、一端が前記配線パターンと電気的に接続され、他端が前記主面の反対側に位置する裏面から露出しているビアフィルと、を含む配線層を備えたシリコン基板と、を有し、前記シリコン基板の前記裏面は、前記セラミック基板の前記一方の面に陽極接合され、前記シリコン基板の前記ビアフィルは、前記セラミック基板の前記電極と直接接合されている。 (もっと読む)


【課題】薄葉体を配線部材に対して積層させるだけで、その薄葉体を構成する層中の特性インピーダンス調整機能を有する導電部に対し、導電性接着剤のような他の導電材料を介さずに配線部材のグランド線と接続でき、正確な特性インピーダンスの調整を可能とすること。
【解決手段】基材シートと非導電性粘着剤層と剥離シートが順に積層され、該非導電性粘着剤層と該剥離シートとの間に、開口率が調整された多数の開口部を有するパターン状導電部が形成され、且つ、該パターン状導電部の剥離シート側の表面が剥離シートと直に接触するように、該剥離シートを非導電性粘着剤によって剥離可能に粘着してなる薄葉体を用い、信号線とグランド線とが配線された配線部材の表面に、薄葉体の剥離シートを剥離した状態で、パターン状導電部とグランド線とが電気的に接続した状態となるように粘着させることによって、配線部材の特性インピーダンスを調整する。 (もっと読む)


【課題】回路基板とこの回路基板に実装された部品とこれらを封止する封止部とからなる1つの封止構造体をダイシングによって複数に分割してモジュール部品を作成しようとしても、分割時に白化部やクラックが発生する可能性があった。
【解決手段】芯材にエポキシ樹脂を含浸させ1層以上の銅箔106を内蔵した回路基板110と、回路基板110に実装された一つ以上の電子部品107と電子部品107を回路基板110上で封止する封止部109と、回路基板110の側面と封止部109の表面とを覆う金属膜102とを有するモジュール101であって、封止部109と回路基板110とは共に略同じ四角形であり回路基板109の複数側面に銅箔106の一部が露出し、銅箔106の露出部111の幅は200μm以下であり、露出部111を介して銅箔106と金属膜102とが電気的に接続されているモジュール101とすることで、白化やクラックの発生を防止する。 (もっと読む)


【課題】 小型化が容易であり、電子部品の複数の電極のそれぞれに対応した静電容量のコンデンサを接続させることも容易な配線基板、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 厚み方向に貫通する貫通孔3を有する絶縁基板1と、貫通孔3の内側面に被着された接地導体層4と、接地導体層4の表面に接合時に流動性を有する導電性接合材を固化させてなる接合層5を介して被着された導体層からなる第1電極6と、貫通孔3内の第1電極6の内側に第1電極6との間に誘電体層7を介して配置された柱状の導体からなる第2電極8とを備える配線基板である。コンデンサ素子を搭載するスペースが不要であるため小型化が容易であり、誘電体層7の厚さの調整等により、電子部品の複数の電極に対応した静電容量を有する複数のコンデンサを絶縁基板1に配置することも容易である。 (もっと読む)


【課題】静電容量素子を内蔵する実装基板において実装基板の大きさを制限し小型化する。
【解決手段】樹脂基板(10,13,16)に貫通開口部(スルーホールTH)が形成されており、樹脂基板の貫通開口部の内壁を被覆するように下部電極20が形成されており、下部電極の上層に誘電体膜21が形成されており、誘電体膜の上層に上部電極23が形成されており、樹脂基板上に配線(31,32)が形成されている構成とする。 (もっと読む)


【課題】ガラス転移温度が高くて耐熱性に優れ、かつ低熱膨張性である熱硬化性絶縁樹脂組成物、並びにこれを用いた支持体付絶縁フィルム、プリプレグ、積層板及び多層プリント配線板を提供する。
【解決手段】 (a) 分子主鎖中に硫黄原子を有するジアミン化合物、(b)分子構造中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物及び(c)モノアミン化合物を反応させて得られる、分子主鎖中に硫黄原子を有し、酸性置換基及びN−置換マレイミド基を有する硬化剤(A)、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂(B)及び化学粗化可能な化合物(C)を含有する熱硬化性絶縁樹脂組成物を用いる。 (もっと読む)


【課題】 機械的な切断時の樹脂の剥離や損傷を軽減もしくは回避することにより、信頼性が高く、かつ電気的特性に優れた多層配線基板の構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の樹脂層と複数の配線層が積層形成され、コア基板を有しない配線基板を複数個配設した多層配線基板であって、多層配線基板を切断して各配線基板に個片化するために、各配線基板が単一の樹脂層により連続して配設される。 (もっと読む)


【課題】 高周波領域のICチップ、特に3GHzを越えても誤動作やエラーの発生しないパッケージ基板を提供する。特に、スイッチをONしてから発生する電圧降下のうち1回目と2回目の電圧降下を改善する。
【解決手段】 表裏を接続する複数のスルーホール36を備え、表裏の導体層34と内層の導体層16とを有する3層以上の多層コア基板30上に、層間絶縁層50、150と導体層158が形成された多層プリント配線板10において、
複数のスルーホール36は、ICチップ90の電源回路またはアース回路または信号回路と電気的に接続している電源用スルーホール36Pとアース用スルーホール36Eと信号用スルーホールとからなり、電源用スルーホール36Pの内、少なくともIC直下のものは、内層のアース用導体層16Eを貫通する際、延出する導体回路を有しない。 (もっと読む)


【課題】電子部品の外部基板への更なる高密度実装が可能であり、また、端子電極の高さを任意にかつ所望に調整でき、これにより、電子部品の検査時における従来の不都合を解消できるとともに、電子部品の実装における歩留まりを改善して生産性をも高めることが可能な電子部品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】電子部品の1つであるコンデンサ1は、基板2上に形成される第1の上部電極5aと、その第1の上部電極5aに隣接して形成された第1の台座10及び第2の台座11と、第1の上部電極5a並びに第1の台座10及び第2の台座11を覆う保護層6,8と、それらを貫通するビア導体Va,Vcを介して第1の上部電極5aと接続され、かつ、第1の台座10及び第2の台座11上に形成された端子電極9aとを備える。 (もっと読む)


【課題】電子部品の実装に用いる多層配線板の製造には、従来、B2itなどの導電性バンプを用いて層間の接続を行う多層配線技術が使用されていた。しかし、基板のそりにより、多層配線間の短絡が発生する、あるいは、導電性バンプと配線間の接続不良が発生するという問題があった。
【解決手段】絶縁性フィラーを含む絶縁性ワニスをコーティングし、絶縁性被膜を形成することにした。基板にそりがある場合でも、多層配線間の絶縁性が保持でき、配線接続の安定性が高くなり、製造歩留まりが向上する。 (もっと読む)


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