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Fターム[5E346DD17]の内容

多層プリント配線板の製造 (97,916) | 各層形成の方法 (10,210) | 導体層形成の方法 (4,026) | 気相 (344) | スパッタリング (196)

Fターム[5E346DD17]に分類される特許

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【課題】
難燃性向上し、絶縁層の誘電正接及び熱膨張率が低く、導体層と絶縁樹脂の密着をより安定的に保つことができる、多層回路基板等の回路基板の絶縁層形成に好適な樹脂組成物を提供することである。
【解決手段】
特定のアクリレート化合物、エポキシ樹脂、シアネートエステル樹脂を含有させることにより上記課題を解決できることを見出した。 (もっと読む)


【課題】ビアホール内にスパッタ法でシード層を形成し、その上に電解金属めっき層を形成することに基づいて配線層を形成する配線基板の製造方法において、信頼性よく配線層を形成できる方法を提供する。
【解決手段】仮基板10の上に分離できる状態で樹脂層20を形成する工程と、樹脂層20をレーザで貫通加工することによりビアホールVH1を形成し、ビアホールVH1内に樹脂スミアRSが発生する工程と、樹脂スミアRSを残した状態で、スパッタ法により樹脂層20上及びビアホールVH1の内面にシード層32を形成する工程と、シード層32と、電解めっきで形成される金属めっき層34とを利用することにより、ビアホールVH1に充填される配線層30を得る工程と、仮基板10と樹脂層20とを分離することにより、樹脂層20の露出面に樹脂スミアRSを露出させる工程と、樹脂スミアRSを除去する工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】 薄型化が容易であり、インダクタンスを低く抑える上でも有効な多層配線基板を提供する。
【解決手段】 下端面に接続パッド1bが被着された複数の第1貫通導体1aを有する第1セラミック基板1の上に、第1貫通導体1aと電気的に接続された複数の下部薄膜導体層4と複数の下部樹脂絶縁層5とが交互に積層されてなる薄膜多層導体部3と、下部薄膜導体層4を介して第1貫通導体1aと電気的に接続された、上端面に電極パッド2bが被着された第2貫通導体2aを有する第2セラミック基板2とが積層されてなる配線基板Aの上面に、電極パッド2bと電気的に接続された薄膜導体層6と樹脂絶縁層7とが交互に積層されてなり、最上面に露出した薄膜導体層6が半導体素子の電極と電気的に接続される多層配線基板Bである。配線基板Aが主に下部薄膜導体層4と下部樹脂絶縁層5とで構成されるため、薄型化およびインダクタンスの低減が容易である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、第2電極の誘電層に接する面積の偏差を最小化することができ、結果的に、キャパシタの静電容量の誤差を減らすことができるキャパシタ内蔵型の印刷回路基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るキャパシタ内蔵型の印刷回路基板は、絶縁層と、絶縁層の一面に形成される第1電極と、第1電極の一面に形成される第2電極と、第2電極の一面に形成される誘電層と、誘電層の一面に形成される第3電極とを備え、第1電極の一面に第2電極を形成する二重構造にキャパシタの電極を構成することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】遮光領域を抑制することにより、開口率の低下を防止するとともに、製造工程を簡素化することができる多層配線基板及びそれを備えた半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】TFT基板1は、第1コンタクトホール11が形成された第1絶縁膜8と、第1絶縁膜8の表面及び第1コンタクトホール11の表面に形成された第1配線層14と、第2コンタクトホール15が形成された第2絶縁膜9と、第2絶縁膜9上に積層されるとともに、第2絶縁膜9の表面及び第2コンタクトホール15の表面に形成され、第1配線層14と導通された第2配線層16とを備えている。そして、第1及び第2コンタクトホール11,15が、TFT基板1の上下方向Xにおいて重なった状態で直線的に配置され、第1コンタクトホール11において、第1配線層14上に絶縁性樹脂25が充填されている。 (もっと読む)


【課題】 矩形配線の形成及び大面積化に適した回路基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 第1の開口22を有する第1の絶縁層21を形成し、次いで、第1の絶縁層21上に第2の絶縁層23を形成する。第2の絶縁層23には、第1の開口22と連通する第2の開口24と、第1の開口22と連通しない第3の開口25とが形成される。第1の開口22及び第2の開口は、それぞれ、1つのビアホール26の底部、上部を構成し、第3の開口25は配線溝を構成する。その後、ビアホール26内にビア36を、配線溝25内にトレンチ配線35を形成する。好ましくは、第1の絶縁層21及び第2の絶縁層23は、互いに異なる種類の感光性絶縁膜にされる。 (もっと読む)


【課題】スタックビア構造を簡素な方法によって低コストで形成できる配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】下地層10の上に形成された第1ビアパッドP1を有する第1配線層20の上に第1層間絶縁層30を形成する工程と、第1層間絶縁層30の上に第2配線層22を形成すると共に、第1ビアパッドP1に対応する第1層間絶縁層30の上に第2配線層22より膜厚が薄い第2ビアパッドP2を形成する工程と、第2配線層22及び第2ビアパッドP2の上に第2層間絶縁層32を形成する工程と、第2層間絶縁層32、第2ビアパッドP2及び第1層間絶縁層30を貫通加工することにより、第1ビアパッドP1に到達するビアホールVHを形成する工程と、ビアホールVHに充填されたビア導体24cを介して、第1ビアパッドP1に接続される第3配線層24を第2層間絶縁層32の上に形成する工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は多層セラミック基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】多層セラミック基板は、ビアを介して層間接続された多層のセラミック層が積層されたセラミック積層体と、最上層のセラミック層と最下層のセラミック層とに各々備えられた該ビアを露出させるように、該セラミック積層体の上下両面に各々配設された乱反射防止パターンと、該乱反射防止パターンにより露出されたビアと電気的に接続されたコンタクトパッドとを含む。 (もっと読む)


【課題】金属保護層によりキャビティ内の配線及び非配線区域を保護する、プリント配線板の製造方法の提供。
【解決手段】プリント配線板の製造方法であって、第1表面を含む基板を用意する、基板に対して第1回路パターン形成プロセスを行う、第1表面上にベース配線を形成する、ベース配線上に金属保護層を形成する、金属保護層に対して第2回路パターン形成プロセスを行う、パターン形成金属配線保護層を形成する、基板に対してビルドアッププロセスを行い、ベース配線及びパターン形成金属配線保護層上に第1ビルドアップ層を形成する、第1ビルドアップ層に対して第3回路パターン形成プロセスを行い、第1ビルドアップ層配線を形成する、第1ビルドアップ層配線に対してレーザープロセスを行い、キャビティ構造を形成する、パターン形成金属配線保護層を除去する、という工程を含む。 (もっと読む)


【課題】良好な樹脂硬化性、すなわちプリプレグ積層時に、高温かつ長時間の処理を必要とせず、且つワニスやプリプレグの硬化性や保存安定性が良好であり、耐薬品性、耐熱性、接着性に優れる樹脂組成物、及びこれを用いたプリプレグ、積層板、多層プリント配線板を提供する。
【解決手段】1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物(a)と、1分子中に少なくとも2個の1級アミノ基を有するアミン化合物(b)を有機溶媒中で反応させて製造される不飽和マレイミド基を有する樹脂組成物(A)、熱硬化性樹脂(B)及び、イソシアネートマスクイミダゾールやエポキシマスクイミダゾールなどの変性イミダゾール化合物(C)を含有する熱硬化性樹脂組成物を使用する。 (もっと読む)


【課題】 高強度、高ヤング率特性を有し、さらに低い誘電率と低い誘電損失を有するガラスセラミック焼結体、並びにかかるガラスセラミック焼結体を用いた配線基板および薄膜配線基板を提供する。
【解決手段】 実質的にZnOおよびTiOを含有しない、(a)アスペクト比3以上の異方性結晶からなるセルシアン結晶相と、(b)フォルステライト結晶相、スピネル結晶相、エンスタタイト結晶相、の群から選ばれる少なくとも1種と、(c)アルミナ結晶相、ジルコニア結晶相のうち少なくとも1種の結晶相と、(d)BaOの含有量が10質量%以下である残留ガラス相とを含有してなり、かつ開気孔率が0.3%以下である。 (もっと読む)


【課題】 本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、搬送ロールに蓄えられる静電気が、離型層表面に傷を発生させる主要因となっていることを見出し、離型層中に帯電防止剤を含有させることにより、搬送中に生じる離型層表面の傷発生を防止し得ることを見出し、本発明を完成させた。すなわち、本発明は以下の内容を含む。
【解決手段】 支持体層上に帯電防止剤を含有する離型層が形成され、該離型層上に金属膜層が形成されている金属膜付きシート。 (もっと読む)


【課題】 絶縁樹脂層とセラミック配線基板との間に熱応力発生したとしても、配線が破断してしまう可能性がより低減された高信頼性の配線基板を提供すること。
【解決手段】 セラミック配線基板1と、セラミック配線基板1の上面に積層された複数の絶縁樹脂層2と、複数の絶縁樹脂層2それぞれの上面の配線層3と、絶縁樹脂層2の上下に位置する配線層3・3間を接続するビア導体4と、最下層の絶縁樹脂層2の上面からセラミック配線基板1内に至り、最下層の絶縁樹脂層2の上面の配線層3とセラミック配線基板1の上面の外部配線7aとを接続する貫通導体6とを具備する配線基板。熱応力が大きくなるセラミック配線基板1と最下層の絶縁樹脂層2との界面に、比較的接続強度の弱いビア導体4の端面と外部配線7aとの接続部を有さないので、配線が破断してしまう可能性が低減された高信頼性の配線基板となる。 (もっと読む)


【課題】多層配線基板において、配線層の酸化を防止し、接続不良を防止する。
【解決手段】 ガラス基板11の温度を200℃に設定し、インラインスパッタ成膜法にて、10−7Torrで、スパッタガスとして、水素ガスを5vol%添加されたArガスを用いて、Cr膜を700Å、Cu膜を6μm、およびNi膜を700Åの膜厚で順次成膜して、Ni/Cu/Cr多層配線層12を形成する。 (もっと読む)


【課題】高容量でかつ絶縁抵抗が確保されたコンデンサ装置を製造することのできるコンデンサ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】積層された複数のコンデンサ350a、350b、350cから構成されるコンデンサ積層体450に貫通孔470P、470Gを形成する貫通孔形成工程と、貫通孔形成工程の後、貫通孔470P、470Gに、乾式のデスミア処理を施すデスミア工程と、デスミア工程の後、貫通孔470P、470Gに、乾式法によりシードメタルを形成するシードメタル形成工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】金属回路の断線が生じにくい多層積層回路基板を提供する。
【解決手段】本発明の多層積層回路基板は、樹脂フィルムと回路層とを交互に積層させた積層構造を有し、上記の回路層は、金属回路を含み、上記の樹脂フィルムのうち、いずれか1層の樹脂フィルムの熱膨張係数は、他の少なくとも1層の樹脂フィルムの熱膨張係数と異なり、上記の樹脂フィルムのうち、いずれか1層の樹脂フィルムの厚みをAとし、上記樹脂フィルムに隣接する上記回路層の厚みをBとすると、0.015≦B/A≦8.75であり、さらに、上記の樹脂フィルムのうち、いずれか1層の樹脂フィルムの一の面の面積をCとし、上記の樹脂フィルムの面上に形成される金属回路が占める面積をDとすると、0.02≦D/C≦0.8であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】金属回路の断線が生じにくい多層積層回路基板を提供する。
【解決手段】多層積層回路基板1は、樹脂フィルム100と回路層200とを交互に積層させた積層構造を含む多層積層回路基板であって、上記樹脂フィルム100は、1つ以上のマルチ導通部110を有し、上記マルチ導通部110は、直径10μm以上3000μm以下の領域を占め、かつ2つ以上の導通ビア120を有し、該導通ビア120は、5μm以上300μm以下の内径を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】絶縁層の開口部内で金属薄膜と導体パターンとを十分な強度で接着することが可能な多層配線回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】第1の絶縁層1上に第1の導体パターン2を形成する。次に、孔部3aを有する第2の絶縁層3を第1の絶縁層1上に形成する。第2の絶縁層3の孔部3a内で第1の導体パターン2の一部が露出する。次に、第2の絶縁層3の孔部3a内で露出する第1の導体パターン2の部分の平均表面粗さRaが20nm以上200nm以下となるように、粗面化処理を行う。その後、第2の絶縁層3の孔部3a内で露出する第1の導体パターン2の部分、孔部3aの側面および第2の絶縁層3上にスパッタリングにより金属薄膜4を形成する。 (もっと読む)


【課題】電子部品の実装に用いるセラミックス多層配線板の製造には、従来、グリーンシート法が用いられていたが、ビアが微細化すると、導体ペーストを充填する際、導体ペーストのビア未充填の確率が増加してオープン不良が発生しやすく配線板の製造歩留まりが著しく低下するという問題があった。
【解決手段】導電性バンプ上に揮発性の溶媒を含む絶縁性スラリーをコーティングし、加熱又は乾燥により一部の溶媒を蒸発させ、形成した絶縁性被膜の厚さを減少させることにより、導電性バンプの頭出しを行うことにした。導電性バンプの微細化が可能で、製造歩留まりが向上する。 (もっと読む)


【課題】 半導体チップに形成されている電極端子が高密度化しても、半導体チップの電源の電圧変動を低減することが可能な積層コンデンサ及びそれを内蔵した半導体パッケージ並びにそれらの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 所定の間隔で並設され相互に接続された複数の第1の内部電極と、誘電体層を介して前記複数の第1の内部電極と互いに間挿し合うように、所定の間隔で並設され相互に接続された複数の第2の内部電極と、前記複数の第1の内部電極と接続される第1の外部電極と、前記複数の第2の内部電極と接続される第2の外部電極と、を有し、前記複数の第1の内部電極及び前記複数の第2の内部電極は、前記第1の外部電極及び前記第2の外部電極に挟まれた領域に、前記第1の外部電極と前記第2の外部電極の対向する面に対して略平行に配置されていることを特徴とする積層コンデンサである。 (もっと読む)


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