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Fターム[5E346DD17]の内容

多層プリント配線板の製造 (97,916) | 各層形成の方法 (10,210) | 導体層形成の方法 (4,026) | 気相 (344) | スパッタリング (196)

Fターム[5E346DD17]に分類される特許

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【課題】本発明は、実装構造体の電気的接続信頼性を向上させる要求に応える配線基板およびその実装構造体を提供するものである。
【解決手段】本発明の一形態にかかる配線基板は、交互に積層された複数の絶縁層13および導電層14を備え、複数の絶縁層13は、最外層に位置する第1絶縁層13aと、該第1絶縁層13aに接している第2絶縁層13bとを有し、導電層14は、第1絶縁層13aと第2絶縁層13bとの間に配された接続パッド18を有し、第1絶縁層13aは、厚み方向に貫通して接続パッド18を露出する貫通孔Pを具備し、接続パッド18は、貫通孔Pの開口部に向かって突出した突起部20とを具備する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、パッドとビアとの間の電気的接続信頼性を十分に確保することのできる配線基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】パッドは、配線基板から露出された金属層と、配線基板から露出された金属層とビアとの間に設けられ、ビアに含まれる金属の配線基板から露出された金属層への拡散を防止する第1の金属層と、ビアと前記第1の金属層との間に設けられ、第1の金属層よりも酸化されにくい第2の金属層とを有し、パッドを構成する金属層のうち、第2の金属層の上面が粗化処理され、パッドは、その側面、第2の金属層側の面が絶縁層により覆われ、配線基板から露出された金属層側の面が絶縁層より露出しており、絶縁層には、第2金属層の粗化処理された面を露出する開口部が形成され、開口部に第2の金属層の粗化処理された面に接続されるビアが形成され、絶縁層の上面にはビアと接続された配線が設けられている配線基板及びその製造方法。 (もっと読む)


【課題】半導体チップなどの電子部品が実装される配線基板の製造方法において、基板に貫通電極を信頼性よく形成すること。
【解決手段】厚み方向に貫通するスルーホールTHを備えた基板10を用意する工程と、基板10の下面に保護フィルム20を配置する工程と、スルーホールTH内に樹脂部30を充填する工程と、保護フィルム20を除去する工程と、基板10の下面にシード層40を形成する工程と、スルーホールTH内から樹脂部30を除去する工程と、シード層40をめっき給電経路に利用する電解めっきによりスルーホールTH内に金属めっき層を充填して貫通電極50を得る工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】層間導通に用いるビアホールの底面における接続信頼性を向上させる。
【解決手段】プリント配線板は、可撓性を有する第1の絶縁層21aと、第1の絶縁層21aの第1の主表面に配置されたシード層22aと、シード層22aの上に配置された第1の導体回路23aと、第1の絶縁層21aを貫通するビアホールの底面に表出したシード層22aの上に配置された導体層28aと、ビアホールの中に埋め込まれ、且つビアホールの底面に表出した導体層28aに接触する層間導通部24aとを備える。層間導通部24aと導体層28aとの親和性は、層間導通部24aとシード層22aとの親和性よりも高い。 (もっと読む)


【課題】層間導通に用いるビアホールの底面における接続信頼性を向上させる。
【解決手段】プリント配線板は、可撓性を有する第1の絶縁層21aと、第1の絶縁層21aの第1の主表面に配置されたシード層22aと、シード層22aの上に配置された第1の導体回路23aと、第1の絶縁層21aを貫通するビアホールの中に埋め込まれ、且つビアホールの底面に表出したシード層22aと第1の導体回路23aとの間に形成された第1の合金層28aに接触する層間導通部24aとを備える。層間導通部24aと第1の合金層28aとの親和性は、層間導通部24aとシード層22aとの親和性よりも高い。第1の合金層28aのうち層間導通部24aに接触する部分には、第1の合金層28aと層間導通部24aとの合金からなる第2の合金層27aが配置されている。 (もっと読む)


【課題】層間導通に用いるビアホールの底面における接続信頼性を向上させる。
【解決手段】プリント配線板は、可撓性を有する第1の絶縁層21aと、第1の絶縁層21aの第1の主表面に配置されたシード層22aと、シード層22aの上に配置された第1の導体回路23aと、第1の絶縁層21a及びシード層22aを貫通するビアホールの中に埋め込まれ、且つビアホールの底面に表出した第1の導体回路23aに接触する層間導通部24aとを備える。層間導通部24aと第1の導体回路23aとの親和性は、層間導通部24aとシード層22aとの親和性よりも高い。 (もっと読む)


【課題】半導体チップと電気的に接続される電極パッドのピッチの、所望のピッチからのずれを小さくすることができる配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体チップを構成する半導体基板と同等の熱膨張率を有する材料からなる支持基板11の上面に凹部を形成する工程、前記支持基板の上面に剥離層を形成する工程と、前記剥離層上に金属層を形成する工程と、前記金属層上に第1絶縁層16を形成する工程と、前記凹部に対応する位置の前記金属層が露出するように、前記第1絶縁層16を貫通する貫通穴を形成する工程と、前記金属層をシード層として、前記貫通穴内に露出した前記金属層上に第1配線層17を形成する第1配線層形成工程と、前記第1配線層17及び前記第1絶縁層16上に更に配線層及び絶縁層を積層する積層工程と、前記剥離層に所定の処理を施すことにより、前記支持基板11を除去する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】薄膜配線層の電気抵抗変化が抑制され、かつ貫通導体と薄膜配線層との接合の信頼性が高い薄膜多層部を有する多層配線基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂絶縁層1と薄膜配線層2とが交互に積層され、上下の薄膜配線層2が、樹脂絶縁層1を厚み方向に貫通する貫通導体3に含まれるスズを主成分とする低融点金属材料3aにそれぞれ接合されて、貫通導体3によって互いに電気的に接続されてなる薄膜多層部4を有し、貫通導体3は、端部が複数の接合部Bに分割されて接合部Bが薄膜配線層2に接合されているとともに、複数の接合部Bの間に、薄膜配線層2および貫通導体3に接合された樹脂材料33が介在している。樹脂材料33によって、低融点金属材料3aと薄膜配線層2との接合面積を抑えて銅の拡散を抑制し、応力を緩和して貫通導体3と薄膜配線層2との接合信頼性を向上できる。 (もっと読む)


【課題】半導体素子をワイヤを用いて電極パッドに圧着させる際に、接続強度を十分に確保できるフレキシブル多層配線板を提供する。
【解決手段】フレキシブル多層配線板30は、第1主面M及び第1主面Mに対向する第2主面Mを備える接着剤層1Aと、接着剤層1A上に配置された、第2主面Mと接する第3主面M及び第3主面Mに対向する第4主面Mを備える低弾性率素材で形成された絶縁性基材層2Aとを有する基材10Aを有する。フレキシブル多層配線板30は、基材10Aと同様の構成を備える基材10B,10Cと、最外郭基材10Dをさらに有する。最外郭基材10Dの接着剤層1D中には、接着剤層1Dよりも弾性率が高いビア層9A,9Bが埋設されている。 (もっと読む)


【課題】反りを低減可能な配線基板を提供すること。
【解決手段】本配線基板は、複数の配線層と、同一組成の絶縁性樹脂から構成された複数の絶縁層とが交互に積層され、各絶縁層は、同一組成のフィラーを含有し、前記各絶縁層の前記フィラーの含有量は、何れも30vol%以上65vol%以下の範囲にあり、前記各絶縁層の熱膨張係数は、何れも12ppm/℃以上35ppm/℃以下の範囲にある。 (もっと読む)


【課題】反りを低減可能であると共に、高密度化にも対応可能な配線基板を提供すること。
【解決手段】複数の配線層と、同一組成の絶縁性樹脂から構成された複数の絶縁層とが交互に積層され、第1の主面及びその反対面である第2の主面を有する配線基板であって、前記第1の主面に最も近い第1の絶縁層から露出する第1のピッチで配置された第1の電極パッドと、前記第2の主面に最も近い第2の絶縁層に隣接する第3の絶縁層上に設けられ、前記第2の絶縁層の開口部から露出する、前記第1のピッチよりも広い第2のピッチで配置された第2の電極パッドと、前記第3の絶縁層に設けられ、前記第2の電極パッドと前記第3の絶縁層が被覆する配線層とを電気的に接続する導体が形成された貫通孔と、を有し、前記貫通孔の前記第2の電極パッド側の径は、前記貫通孔の前記第3の絶縁層が被覆する配線層側の径よりも大きく、前記第2の絶縁層は、補強部材を備えている。 (もっと読む)


【課題】多層配線が簡易な方法によって低コストで形成される電子装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第1配線層30の上に、絶縁層22の上に金属層32aが積層された積層膜CFを形成する工程と、積層膜CFの上に開口部23aが設けられたレジスト23を形成する工程と、レジスト23の開口部23aを通して金属層32aをエッチングすることにより金属層32aに開口部32xを形成する工程と、ウェットブラスト法により、金属層32aの開口部32xを通して絶縁層22をエッチングすることにより、第1配線層30に到達するビアホールVHを形成する工程と、ビアホールVHに導電性ペースト40又ははんだからなるビア導体を形成することにより、第1配線層30と第2配線層32となる金属層32aとをビア導体で接続する工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は、伝送信号強度の損失を抑制しつつ、反りの発生抑制および低剛性化を図ることができるサスペンション用基板を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、ライト側配線構造およびリード側配線構造を有し、上記ライト側配線構造は、ライト側凹部を有する第一絶縁層と、上記ライト側凹部に形成されたライト側第一配線層と、上記ライト側第一配線層を覆う第二絶縁層と、上記第二絶縁層上であり、かつ、上記ライト側第一配線層に厚さ方向において重複するライト側第二配線層とを有し、上記リード側配線構造は、リード側凹部を有する上記第一絶縁層と、上記リード側凹部に形成されたリード側第一配線層と、上記リード側第一配線層を覆う上記第二絶縁層と、上記第二絶縁層上であり、かつ、上記リード側第一配線層に厚さ方向において重複するリード側第二配線層とを有することを特徴とするサスペンション用基板を提供することにより、上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】部品内蔵基板の反りを抑制すると共に、両面に形成する配線層を精度良く接続させる。
【解決手段】部品内蔵基板100の形成において、まず、ポスト11が埋設された電子部品10と、その電子部品10の裏面及び側面を被覆する被覆部材20とを含む板状体101を形成する。そして、その板状体101の、電子部品10表面の側に、電子部品10に電気的に接続された第1配線層を形成する。その後、電子部品10の裏面を被覆する被覆部材20を研削してポスト11を露出させ、板状体101のそのポスト11の露出面側に、露出させたポスト11の位置に基づき、表面側に形成した第1配線層に電気的に接続された第2配線層を形成する。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、電子部品との接続信頼性を向上させる要求に応える配線基板およびその実装構造体を提供するものである。
【解決手段】
本発明の一形態にかかる配線基板3は、基体11と、該基体11の上面側のみに積層された複数の絶縁層14と、基体11の下面に部分的に形成された第1接続パッド7aと、基体11と該基体11に隣接する絶縁層14との間に部分的に形成された第1導電層10aと、隣接した絶縁層14同士の間に部分的に形成された第2導電層10bと、最上層に位置する絶縁層14の上面に部分的に形成された第2接続パッド7bと、を備え、基体11および絶縁層14の平面方向の熱膨張率は、第1接続パッド7a、第1導電層10a、第2導電層10bおよび第2接続パッド7bの平面方向の熱膨張率よりも小さく、絶縁層14の平面方向の熱膨張率は、基体11の平面方向の熱膨張率よりも小さい。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電気的信頼性を向上させる要求に応え配線基板の製造方法及びその実装構造体の製造方法を提供するものである。
【解決手段】本発明の一形態にかかる配線基板の製造方法は、ポリイミド樹脂を含む第1樹脂層10aの一主面を金属層12で被覆する工程と、金属層12上に部分的に複数の導電層11を形成する工程と、アルカリ性の水溶液を用いて、導電層11の表面を粗化する工程と、導電層11の露出した表面を粗化する工程の後、第1樹脂層10aの一主面を露出させるために、平面視にて導電層11同士の間に配された前記金属層12の一部をエッチングする工程と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】配線回路基板において、コンタクト抵抗の上昇を抑制し、熱応力による断線を防止することのできるコンタクト構造を提供する。
【解決手段】 配線回路基板は、第1配線層(5)、第2配線層(7)、及び前記第1配線層と前記第2配線層を電気的に接続するコンタクト配線(6)を有する。前記コンタクト配線は、前記第1配線層のコンタクト面を被覆する第1被覆部(6a)と、前記第2配線層のコンタクト面を被覆する第2被覆部(6c)と、前記第1被覆部と前記第2被覆部の間に延びるプラグ部(6b)を有する。前記第1被覆部、前記プラグ部、及び前記第2被覆部は、同一の導電性材料で一体的に形成された内部に界面のないコンタクト配線である。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、電気的信頼性を向上させる要求に応える配線基板を提供するものである。
【解決手段】
本発明の一形態にかかる配線基板4は、貫通孔P1が形成された樹脂層7aと、該貫通孔内P1に配された貫通導体8aと、樹脂層7aと貫通導体8aとの間に介された介在膜9Aとを備え、該介在膜9aは、樹脂層7aに当接した第1酸化チタン膜14aと、該第1酸化チタン膜14aよりも前記貫通導体8a側に配され、第1酸化チタン膜14aに当接したチタン膜15とを有する。 (もっと読む)


【課題】複数の貫通導体が平面視で重なる場合でも、貫通導体等における機械的な破壊を抑制することが可能な多層配線基板を提供する。
【解決手段】樹脂絶縁層1と薄膜配線層2とが交互に積層され、上下の薄膜配線層2が貫通導体3によって互いに電気的に接続されてなる薄膜多層部4を有し、貫通導体3は、上下に連続する複数の樹脂絶縁層1にわたって平面視で互いに重なる位置に形成されたものを含んでおり、平面視で重なる複数の貫通導体3(3a,3b)のうちの一部が錫を主成分とする金属材料からなり、他が銅を主成分とする金属材料からなる多層配線基板5である。弾性率が低い錫を主成分とする金属材料からなる貫通導体3aによって複数の貫通導体3が平面視で重なることによる応力を緩和し、貫通導体3の内部等におけるクラック等の発生を抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】 表面配線を小さくしても表面配線と表面ビア導体とを確実に接続することができ、浮遊容量を小さくすることで、より高速な素子の検査や、高速の検査ができる高信頼性の配線基板を提供する。
【解決手段】 セラミックスから成る複数の絶縁層1aが積層された絶縁基体1と、絶縁基体1の下面に形成された外部電極2と、外部電極2に接続されて絶縁基体1の上面に導出された、ビア導体を含む内部配線3とを有し、内部配線3のうち最上層の絶縁層1aを貫通して上端面が絶縁基体1の上面に露出した表面ビア導体3aが上面視で配線基板4の中心からの放射線の方向に沿った形状である配線基板である。表面ビア導体3aが位置ずれしても位置ずれ方向と反対方向に延在する部分が存在するので、表面配線5の大きさを小さくしても表面ビア導体3aと確実に接続でき、表面配線5の浮遊容量を低下させることができる配線基板となる。 (もっと読む)


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