【課題】皺を生じさせることなく吸着対象体を確実に吸着し得る吸着装置を提供する。
【解決手段】上面２１に複数の吸気孔２２が形成されて上面２１に回路基板１００を載置可能に構成された箱状の載置台１１と、載置台１１の内部空間の空気を吸引する吸引機構１２と、吸引機構１２を制御して内部空間の空気を吸引させることによって上面２１に載置された回路基板１００を上面２１に吸着させる吸着処理を実行する制御部とを備え、載置台１１は、内部空間を区画して形成された複数の区画領域（３１ａ〜３１ｄ）が上面２１に沿って並設されて構成され、吸引機構１２は、各区画領域内の空気を各区画領域毎に個別に吸引可能に構成され、制御部は、吸着処理時において、吸引機構１２を制御して、吸引状態の区画領域の数を徐々に増加させて上面２１に吸着させる回路基板１００の吸着面積を徐々に増加させる。 （もっと読む）

【課題】カセット内に収納後の基板の安定を確保する基板用カセットを提供するものであって、基板用カセットの棚片をカセット内側方向に長くした場合であっても、収納された基板が運搬中の振動や傾きによって、膜面側に隣接する棚片との接触により膜面の損傷を引き起こすことを防ぐ構造の基板用カセットを提供すること。
【解決手段】基板の４辺の内の向き合う２辺もしくは３辺を支持して、該基板を一定の間隔を保って積み上げ状態に一時収納するための基板用カセットであって、棚片と基板位置抑制用爪部を有しており、前記棚片は前記基板用カセットに設けた棚片付き側板の少なくとも内側に整列配置され、前記基板位置抑制用爪部は前記棚片付き側板とは平行に独立して設けた可動性の爪部取り付け支柱から基板用カセットの内側向きに整列配置される。 （もっと読む）

【課題】装置の搬送に要する時間を短縮することができる基板処理装置および基板受渡方法を提供すること。
【解決手段】インデクサ搬入ハンド１８Ａ，１８Ｃ，１８Ｅ，１８Ｇがそれぞれシャトルハンド３８Ａ，３８Ｃ，３８Ｅ，３８Ｇの下方に進出される。インデクサ搬出ハンド１８Ｂ，１８Ｄ，１８Ｆ，１８Ｈがそれぞれシャトルハンド３８Ｂ，３８Ｄ，３８Ｆ，３８Ｈの上方に進出される。その後、シャトルハンド３８Ａ，３８Ｃ，３８Ｅ，３８Ｇが一括して下降されて、インデクサ搬入ハンド１８Ａ，１８Ｃ，１８Ｅ，１８Ｇに基板Ｗがすくい取られる（図（ａ）参照）。シャトルハンド３８Ａ，３８Ｃ，３８Ｅ，３８Ｇの下降と同期して、シャトルハンド３８Ｂ，３８Ｄ，３８Ｆ，３８Ｈが一括して上昇される。インデクサ搬出ハンド１８Ｂ，１８Ｄ，１８Ｆ，１８Ｈから基板Ｗが受け渡される（図（ａ）参照）。 （もっと読む）

【課題】処理タクトを短縮することができ、スループットを向上させることが可能な搬送装置を提供すること。
【解決手段】基板を吸引して保持する吸引部が、基部に設置されたアーム部に対して回転可能に設けられているので、保持部によって基板を保持したまま回転させることができる。このため、基板処理領域で基板を回転させる場合であっても、回転機構などに対して基板の受け渡しを行う必要が無い。基板の受け渡しが無い分、基板の搬送から基板の処理までの工程を迅速に行うことができるので、処理タクトを短縮することができ、スループットを向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】反っているプリント基板をワークステージ載置する際に、基板とワークステージと基板との間で吸着用の真空がリークするのを防ぎ、ワークステージが基板を吸着保持できるようにすること。
【解決手段】搬送アーム１０は、吸着パッド１により基板を真空吸着により保持して搬送し、ワークステージ上に載置して真空吸着により保持させる。搬送アーム１０の吸着パッド１が設けられる側に、吸着パッド１より短い板ばね４等の弾性部材が設けられる。板ばね４は、吸着パッド１の先端より引っ込ませて設けられる。基板を保持した搬送アーム１０がワークステージ上で下降するとき、板ばね４は、基板の反っている部分をワークステージの方向に押し付ける。このため、基板は平面に矯正され、基板周辺部からの吸着用真空のリークがなくなり、基板はワークステージに吸着保持される。 （もっと読む）

【課題】被吸引保持面が平坦ではないワークであっても、非接触で吸引保持することができる吸引保持ハンドを提供すること。
【解決手段】レンズＬを非接触で吸引保持するベルヌーイチャック、およびベルヌーイチャックを下向きに保持するチャック垂設部７１から成る複数のチャックユニット２と、複数のチャックユニット２を下向きの状態でそれぞれ首振り自在に保持するユニットヘッドと、下流端が複数のベルヌーイチャックに接続されると共に上流端が気体供給源に接続され、複数のベルヌーイチャックに気体を供給する気体供給流路６２，８７，８８と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切換えに要する時間を短縮することができ、構成も簡略化できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬出入機構４は、複数枚の基板Ｗを積層状態で一括して保持するバッチハンド４０と、このバッチハンド４０を進退させるバッチハンド進退機構と、１枚の基板Ｗを保持する枚葉ハンド３９と、この枚葉ハンド３９を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース４１と、保持ベース４１を上下動させる昇降ブロック４３と、前記保持ベース４１を鉛直方向に沿う旋回ブロック４２とを含む。 （もっと読む）

本発明は、半導体チップの小型化及び大容量化の傾向による回路パターンの微細化により、高精度の露光装置が要求されるにつれて、従来の平面型ステージに代わって大面積の半導体基板やディスプレイパネルの基板上に多様な任意の形状の微細なパターンを生成するために円筒状の基板を用いる場合において、円筒状の基板と、上記円筒状の基板に結合した第１永久磁石の配列と第１コイルの配列の組合わせ、そして第２永久磁石の配列と第２コイルの配列の組合わせを含むように構成し、上記コイルの配列に電流を印加することによって発生した磁場が対応する上記永久磁石の配列の磁場との相互作用により発生する磁気力を制御し、微細に上記円筒状の基板の浮上と移送、そして回転を可能にする円筒状の磁気浮上ステージを提供する。
また、上記コイルの配列に熱が発生することを解消するために、上記コイルの配列が組み立てられた固定子に冷却フィンで接触し、上記固定子の内部に形成された冷却管路を含む冷媒循環ループを含む円筒状の磁気浮上ステージ用の冷却装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ステージの目的位置で停止させた後に生じる位置変動（ドリフト）を正確に検出できるようにする。
【解決手段】 固定体に対して相対移動可能なステージの位置変動を検出する装置であって、前記固定体に設けられた検出用固定電極と、前記ステージに設けられた検出用移動電極とを有して構成された、前記ステージの移動にともなって各電極間の電気容量が変動する検出用コンデンサ部と、前記固定体に設けられた参照用固定電極と、前記ステージに設けられた参照用移動電極と、を有して構成された、前記ステージの移動の最中における各電極間の電気容量が略一定とされた参照用コンデンサ部と、前記検出用コンデンサ部および前記参照用コンデンサ部の双方に電圧を印加する電源と、を備え、前記参照用コンデンサ部の電気容量の変動に応じて、前記電源から印加する前記電圧を制御することを特徴とする、ステージの位置変動検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 基板支持装置及びこれを含む基板処理装置が開示される。
【解決手段】 基板支持装置は、本体部、ベースプレート、及び緩衝部を含む。前記本体部は、上面に基板が置かれ、発熱電極が内蔵されたプレート及び前記プレートの下面から突出されたチューブを含む。前記ベースプレートは、前記本体部を支持する。前記緩衝部は、前記本体部のチューブと前記ベースプレートとの間に配置され、前記本体部より高く前記ベースプレートより低い熱膨張率を有する。従って、ベースプレートと本体部のチューブとの間の熱膨張率の差異を緩衝部によって緩衝させることにより、本体部が破損されることを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】オイルによる汚染がなく、磁気ノイズを発生しない、エネルギ効率のよい、高性能なステージ位置決め装置を提供する。
【解決手段】Ｙステージ７をＸ、Ｙ、Ｚの３軸方向に移動するステージ位置決め装置１であって、架台に対してテーブル１０を水圧によってＺ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１１と、テーブル１０に設けられるガイドレール９に対してＸステージ８を水圧によって支持する静圧軸受１８と、テーブル１０に対してＸステージ８を水圧によってＸ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１９と、Ｘステージ８に設けられるガイドレール２０に対してＹステージ７を水圧によって支持する静圧軸受１７と、Ｘステージ８に対してＹステージ７を水圧によってＹ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 粘着特性に優れたアクリル系ブロック共重合体およびその組成物を提供する
【解決手段】 メタアクリル系重合体ブロックおよびアクリル系重合体ブロックからなり、少なくとも一方の重合体ブロック中にカルボキシル基および／または酸無水物基を有するアクリル系ブロック共重合体からなる粘着剤組成物とする。アクリル系ブロック共重合体におけるメタアクリル系重合体ブロックの割合は、１０〜５０重量％であることが好ましい。アクリル系ブロック共重合体は、ジブロック共重合体またはトリブロック共重合体、またはそれらの混合物であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】自動倉庫内のクリーン環境を保ち、保管物品の汚染を効率的に防止し、搬送中に物品が受ける振動を所定のレベル以下に保ち、物品への悪影響を効率的に防止する。
【解決手段】棚と、入出庫装置と、クリーンエアの供給用ファンフィルタユニットと、開度調整自在な排気口と、入出庫装置によって搬送と棚との間の受け渡しが自在なクリーン環境の測定用ユニット、とを備えた自動倉庫であって、予め定められた所定のルールに従って、自動倉庫内のクリーン環境と振動とを測定すると共に、ＦＦＵの送風量及び排気バルブの開度を調整し、搬送中に搬送物品が受ける振動を所定レベル以下に保つためにスタッカークレーンの動作を規制する。 （もっと読む）

【課題】シート状の基材を貼付された基板の一方主面を下向きに保持したまま基材を剥離することのできる剥離装置を提供する。
【解決手段】表面にシートフィルムＦが貼付されフェースダウン状態で搬入された基板Ｗを、吸着ステージブロック１００によりフェースダウン状態のまま吸着保持する（図１０（ａ））。巻き取りローラ２２０を有する巻き取りブロック２００を基板Ｗの左下に移動させ（同図（ｂ））、シートフィルムＦの吸着を一部解除するとともに突き出しピン１４２により突き出すことで、端部を下方に垂れ下がらせる（同図（ｃ））。こうして垂れ下がった端部をシートクランプ２２３、２２５によりクランプし（同図（ｄ））、巻き取りローラ２２０を回転させながら右方向に移動させることにより、シートフィルムを剥離させ巻き取る。 （もっと読む）

【課題】簡易に半導体パッケージを積層した半導体装置を製造することができる技術を提供する。
【解決手段】第１の半導体パッケージを、粘着性を有するパレットに粘着保持させ、パレットに粘着保持された第１の半導体パッケージ上に第２の半導体パッケージを装着、パレットは、第１の半導体パッケージを支持する載置台と、載置台上に設けられ第１の半導体パッケージを粘着保持する粘着部材とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ステージを支持する基体２と、この基体２に設けられ前記ステージを微動可能に支持する支持部と、ステージを微動動作させる手段と、ステージの微動量を検出する変位センサ手段とを具備した微動ステージにおいて、変位センサ手段の分解能を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、ステージを支持する基体と、前記基体に設けられ、前記ステージを微動自在に支持する支持体と、前記ステージを微動作動させる微動駆動手段と、前記ステージの微動を検出する変位センサ手段を有する微動ステージ装置において、前記変位センサ手段は、前記ステージの微動量を検出するプローブ部と、前記プローブ部が検出した検出信号を処理するアンプ部と、前記プローブ部の検出信号を前記アンプ部に送信するケーブルを有し、微動ステージ装置の内部に、前記プローブ部、前記アンプ部、および前記ケーブルを内置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】処理治具や基板に異物が付着するのを抑制し、十分な緩衝効果が期待できる緩衝体及び梱包体を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ搭載用の処理治具を収納可能な樹脂製の処理治具用収納ケースと、熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して成形され、処理治具用収納ケースを挟持する可撓性の一対のトレー３０とを備え、各トレー３０を、容器本体に嵌入されて被覆する嵌入被覆部３１と、嵌入被覆部３１の周囲に形成されて外方向に伸びるフランジ３５と、フランジ３５の一部に形成される凹溝３８と、フランジ３５の残部に形成される凸条３９とから形成する。嵌入被覆部３１の底を凹凸３２に形成し、フランジ３５の一部分を折曲してベローズ３７を形成し、ベローズ３７を嵌入被覆部３１と凹溝３８及び凸条３９の間に介在させ、処理治具用収納ケースを一対のトレー３０間に挟む際、一方のトレー３０の凹溝３８と他方のトレー３０の凸条３９とを嵌合する。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットの位置を高精度で検出することができるロボットのターゲット位置検出装置を提供する。
【解決手段】 ロボット２２は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向に自由度を有するアーム３２の先端部に、水平方向の自由度を有する手首が設けられ、この手首にはエンドエフェクタであるハンド３３が設けられる。制御手段２３は、教示点を記憶部２６に記憶させ、この記憶部２６に記憶させた教示点にハンド３３が向かうように、ロボット２２の動作を制御する。この制御手段２３は、制御ループゲインを変化させて、ハンド３３のターゲット４６への押付け力を変更可能であって、少なくともターゲット４６が存在する教示点近傍から、手首軸の制御ループゲインを所定値よりも低下させて、ハンド３３をターゲット４６に接触させ、ハンド３３がターゲット４６に接触した状態における位置を取り込んで、ターゲット４６の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に傷を生じることなく良好で簡単に基板収納用ケースから基板を取り出すことができる基板収納案内治具を提供する。
【解決手段】上側が開口し、一部有底の第１の枠体からなり、前記第１の枠体の一対の対向する面の両面に複数の溝を有し、前記溝に挿入することにより略同一の円板形状の基板を、起立した状態で、該基板の厚み方向に配列して収納する基板収納用ケースの上に載置して、前記基板を前記基板収納用ケースに収納する際に前記基板の案内となる基板収納案内治具であって、上下が開口する第２の枠体からなり、前記第２の枠体の一対の対向する面の両面に、載置する前記基板収納用ケースの前記溝に前記基板を案内する複数の案内溝を有し、前記案内溝の上端は、載置する前記基板収納用ケースに収納されている前記基板の外周上端より高い。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペースを実現しつつ、基板の端面の汚染に起因した問題（欠陥の発生、トラックや露光装置へのクロスコンタミネーション等）を回避できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板の端面を洗浄する端面洗浄処理ユニットＥＣを備える洗浄処理部９３を、インデクサブロック９に配置する。インデクサブロック９に設けられたインデクサロボットＩＲは、カセットＣから取り出した未処理基板Ｗを、処理部である反射防止膜用処理ブロック１０に搬送する前に洗浄処理部９３に搬送する。洗浄処理部９３においては、基板Ｗの端面および裏面を洗浄する。すなわち、端面および裏面が汚れた基板Ｗが処理部に搬入されることがないので、基板の端面や裏面の汚染に起因した問題を回避できる。 （もっと読む）