【課題】クリーンルームにおいて光起電性モジュールをスパッタシステムへ輸送する際に、該モジュールの容易な回転、先のスパッタプロセスの検査、及び同じスパッタシステム又は生産システムの他の部位への該モジュールの新たな供給を可能にする。
【解決手段】本発明は、特に、クリーンルームにおいて光起電性モジュールをコーティングする際に、スパッタコーティングシステムへの基板ウエハ供給を反転する装置及び方法に関する。本装置及び方法は、ａ）光起電性モジュールの基板ウエハ（１９）を保持する輸送フレーム（１１）と、ｂ）輸送フレーム（１１）をマウントし、回転させ、輸送する手段を有する回転装置と、ｃ）回転装置をスパッタコーティングシステムに対して正確に整列させる手段と、ｄ）スパッタプロセスを検査する検知装置（１８）と、上記ステップを遂行するためのプログラムコードを有するコンピュータプログラムと、を備える。 （もっと読む）

【課題】被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に流体が当たるようにし、被浮上体が撓まないようにして、被浮上体と流体噴出体30との接触防止を図る。
【解決手段】浮上装置10は、複数の通常流体噴出体31（30）が所定の配列で配置されて構成される通常浮上領域40と、浮上した状態の被浮上体の下面に吸着されるものであって通常浮上領域40内の所定位置に配置される吸着体60と、回転軸72を中心に吸着体60を回転させる回転機構70とを備える。回転軸72を中心とし少なくとも一部が通常浮上領域40外を通過する領域外通過円50を設定する。通常浮上領域40外における領域外通過円50の円周上に、円周上流体噴出体32（30）を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分を、円周上流体噴出体32（30）から噴出させた流体により浮上させる。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置において、コーティングモジュールは、基板を水平方向に移送し、前記基板を移送する期間に前記基板上にフォトレジスト組成物を供給して前記基板上にフォトレジスト膜を形成し、ベイクモジュールは、前記コーティングモジュールと隣接するように配置され、前記水平方向に前記基板が移送される期間に前記フォトレジスト膜を硬化させるために前記基板を加熱する。前記コーティングモジュールとベイクモジュールとの間には、前記基板の移送方向に前記基板を伝達する移送モジュールが配置される。 （もっと読む）

【課題】搬送システムにおいて、保管庫とその外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行う。
【解決手段】搬送システムは、保管庫及び複数のコンベアより構成される第２の搬送装置を備える。保管庫は、複数の棚、第１及び第２の移載装置を含む。第１の移載装置は棚と第２の移載装置との間で被搬送物の授受を行う。特に、第２の搬送装置は保管庫内を横断するように配置されている。これにより、保管庫内に対して、第２の搬送装置を通じて被搬送物を直接的に搬送できる。そして、第２の移載装置は、当該保管庫内においてコンベア及び第１の移載装置との間で被搬送物の授受を行う。これによれば、保管庫の外部に配置された搬送装置と、保管庫との間で被搬送物の受け渡しを行う構成と比較して、保管庫内への被搬送物の入出庫時間の短縮が図れ、保管庫とその外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 多数の処理ユニットをプロセスフローの順に並べて配置するインライン型において平流し搬送路上の基板間隔またはタクトタイムの短縮化を実現すること。
【解決手段】このレジスト塗布現像処理システム１０において、乾燥／熱的処理部３２は、平流し搬送路２４に沿って上流側から順に、いずれも平流し方式の搬送ユニットまたは処理ユニットとして構成されている２分割型の搬入用分割コンベア（Ｆ_a／Ｆ_b）４６、２段積層型の並列減圧乾燥ユニット（ＶＤ₁／ＶＤ₂）４８、２分割型の搬出用分割コンベア（Ｒ_a／Ｒ_b）５０、プリベークユニット（ＰＲＥ−ＢＡＫＥ）５２およびクーリングユニット（ＣＯＬ）５４を一列に配置している。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の荷の入出庫が、ＯＨＴ等の搬送車との間で行われる保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を出入庫する。
【解決手段】保管庫（１０）は、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷（３）を出し入れ可能な出入口が、複数段の各々に鉛直方向に並ぶように設けられている本体部と、本体部内に、複数段の各々において、荷を夫々載置可能であると共に相互間で荷を夫々水平移動可能な複数の載置部（２１）と、本体部外にて、複数段の各々における出入口に沿って上下移動可能な複数段に共通の入出庫ポートと、入出庫ポートを上下移動させる上下移動手段（１２）と、複数段の各々において出入口に隣接する一の載置部と一の載置部に対向する位置に移動された入出庫ポートとの間で、荷を水平移動可能な外内移動手段（１６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送システムにおいて、保管庫と、保管庫の外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行う。
【解決手段】搬送システムは、保管庫及び複数のコンベアを有する第２の搬送装置を備える。保管庫は、複数の棚と移載装置を有する。特に、第２の搬送装置は保管庫内を横断して配置される。これにより、保管庫内に対し各コンベアを通じて被搬送物を直接的に搬送することが可能となる。更に、この搬送システムでは、保管庫内に配置された１つの移載装置を用いて棚とコンベアとの間で被搬送物の授受を行う。これにより、保管庫の外部に配置された搬送装置と保管庫との間で被搬送物の授受を行う構成と比較して、保管庫内への被搬送物の入出庫時間の短縮化が図れ、保管庫と搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ピックアップヘッドの複雑な配線を排除するとともに反転部分の小型軽量化を実現した部品ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】先端部にピックアップヘッド５を装着したアーム２３の内部にシャフト４９を貫通させ、シャフト４９の先端部をピックアップヘッド５に装着されたノズル２４の回転レバー５８と係合させ、シャフト４９の後端部側に配置されたモータ５５とカム機構によってシャフト４９を先後に移動させ、回転レバー５８を操作するように構成した。ノズル２４の回転はピックアップヘッド５の外部から電気を用いない機械的動作によって行われるので、ピックアップヘッドに複雑な電気配線が不要であり、反転部分の小型軽量化が可能である。 （もっと読む）

【課題】ピックアップヘッドの複雑な配線を排除するとともに反転部分の小型軽量化を実現した部品ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】先端部にピックアップヘッド５を装着したアーム２３の内部にシャフト４９を貫通させ、シャフト４９の先端部をピックアップヘッド５に装着されたノズル２４の回転レバー５８と係合させ、シャフト４９の後端部側に配置されたモータ５５とカム機構によってシャフト４９を先後に移動させ、回転レバー５８を操作するように構成した。ノズル２４の回転はピックアップヘッド５の外部から電気を用いない機械的動作によって行われるので、ピックアップヘッドに複雑な電気配線が不要であり、反転部分の小型軽量化が可能である。 （もっと読む）

【課題】人手によるハンドリング作業を軽減し、ハンドリングによる汚染を減らした洗浄物の受渡し機構を提供する。
【解決手段】被洗浄物１５を保持する内カゴ１０と、サイクリックな循環過程により、セットされた内カゴ１０を搬送する循環移動台２０と、循環移動台２０により搬送された内カゴ１０を、一時仮置きする置き台３０−０〜４と、内カゴを上下に移動させる昇降台４０と、昇降台４０の内カゴ１０を受け取り搬送する搬送治具５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】サイズの異なる搬送対象物の位置決めをし、複数の搬送対象物を搬送可能な搬送システムを提供する。
【解決手段】水平な搬送軌道上で搬送対象物を搬送する搬送手段と、当接位置と待機位置との間で移動可能に設けられた当接部材と、搬送対象物のサイズに応じて、当接部材を当接位置に移動させる位置決め部Ｐａ１〜Ｐａ４、Ｐｂ１〜Ｐｂ４を選択する選択手段と、当接部材を当接位置に移動させる移動手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハ移動用無塵ケースの搬送方法とそのシステムを提供する。
【解決手段】検知システムは高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを検知すると共に、複数個の第１信号を形成して監視システムに送信し、前記監視システムは前記第１信号を判読して、そのうちの１つの搬送システムにウエハ移動用無塵ケースを空の高架プラットフォーム上に搬送するよう命令し、前記検知システムが高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを再度検知すると共に、複数個の第２信号を形成して前記監視システムに送信し、前記監視システムは前記第２信号を判読して、別の搬送システムにウエハ移動用無塵ケースを高架プラットフォームから搬送する様命令する。こうするとウエハ移動用無塵ケースの搬送速度を上げるのが比較的容易で、しかも製造コストを低減もする。 （もっと読む）

【課題】第１基板処理装置３の所定位置から第２基板処理装置５の所定位置へ基板を移送するまでの移送時間（搬送時間）を大幅に短縮すること。
【解決手段】システムベース１９の第１隣接領域Ａ１に先端側に引出用吸着パッド３１を有した複数の引出アーム２７がＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向に間隔を置いて設けられ、システムベース１９の第２隣接領域Ａ２に送出用吸着パッド４９を有した複数の送出アーム４５がＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向に間隔を置いて設けられ、システムベース１９に中間領域Ａｍに搬送用吸着パッド６７（８５）を有した複数の搬送アーム６３（８１）がＹ軸方向に移動可能かつＸ軸方向に間隔を置いて設けられたこと。 （もっと読む）

【課題】第１基板処理装置３から第２基板処理装置５へ基板を搬送するまでの移送時間を大幅に短縮すること。
【解決手段】システムベース１９の第１隣接領域Ａ１に、先端側に引出用吸着パッド３１を有した複数の引出アーム２７がＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向に間隔を置いて設けられ、システムベース１９の第２隣接領域Ａ２に、先端側に送出用吸着パッド４９を有した複数の送出アーム４５がＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向に間隔を置いて設けられ、システムベース１９のＸ軸方向の一端側に、複数の規制ローラ６３，７３が鉛直な軸心周りに回転可能かつ第１隣接領域Ａ１から第２隣接領域Ａ２にかけてＹ軸方向に間隔を置いて設けられ、システムベース１９のＸ軸方向の他端側に、複数の押えローラ８９が鉛直な軸心周りに回転可能かつ第１隣接領域Ａ１から第２隣接領域Ａ２にかけてＹ軸方に間隔を置いて設けられたこと。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の被搬送物を搬送する搬送システムにおいて、収容装置における入出庫作業を含めて被搬送物を効率良く搬送する。
【解決手段】搬送システム１００は、搬送手段３と、収容装置３１に対応する積み降し用箇所に隣接して配置され、積み降し用箇所に位置する搬送手段との間で被搬送物２の積み降しが夫々行われる複数のポート１１と、複数のポートの各々と、収容装置における被搬送物を出し入れ可能な出入口との間で、被搬送物を移載可能な移載手段２１と、複数のポートのうち被搬送物が載置されていない一の未載置ポートを特定する特定手段と、特定された一の未載置ポートまで被搬送物を搬送すると共に特定された一の未載置ポートに被搬送物が載置されるように、搬送手段を制御する載置制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体基板を移送する基板移送装置及びその基板移送方法を提供する。
【解決手段】基板移送装置は、メーン積載部と、バッファ積載部と、分配ユニットとを含む。メーン積載部は、工程モジュールの前方に設置され、各々複数の基板を収容可能な収容容器を複数個積載でき、積載された収容容器と工程モジュール間での基板の移送が行われるように構成され、バッファ積載部は、収容容器を複数個積載でき、分配ユニットは、メーン積載部の上方に位置し、メーン積載部とバッファ積載部間で収容容器を移送する。このように、本願の基板移送装置は、メーン積載部に加えて、収容容器を積載できるバッファ積載部を具備し、メーン積載部とバッファ積載部間での収容容器の移送は分配ユニットを通じて行われるので、基板の移送に必要な時間を短縮し、生産性を向上できる。 （もっと読む）

本発明（複数可）は、基板表面上に堆積させた材料を効率よく乾燥させる装置および方法を提供する。本明細書に記載する装置および方法は、基板の表面上に堆積させた材料から溶剤タイプの材料を除去するのに有用となり得る。場合によっては、材料は、スクリーン印刷プロセスを用いて堆積させることができる。一実施形態によるスクリーン印刷チャンバは、結晶シリコン基板上にパターン付き材料を堆積させ、次いで、堆積させた材料を乾燥チャンバ内で乾燥させる。一実施形態では、スクリーン印刷チャンバと乾燥チャンバがどちらも、カリフォルニア州サンタクララの本出願人によって市販されるＲｏｔａｒｙ ｌｉｎｅツールまたはＳｏｆｔｌｉｎｅ（商標）ツール内に配置される。
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【課題】基板の処理効率を向上させて、かつ基板の搬送制御を簡易に行う基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板を搬送する経路である一連の基板搬送経路を、上下に階層構造で配設するとともに、１階の処理部搬送経路２５および２階の処理部搬送経路２６間で基板Ｗの受け渡しが可能に構成し、処理部搬送経路２５，２６を、基板が順方向に搬送される行き専用経路と、基板Ｗが逆方向に搬送される帰り専用経路とを上下に配設して構成する。また、処理部搬送経路２５，２６の各々の一端をインデクサ１で連結し、各々の他端をインターフェイス４で連結する。このように構成することで、行き専用経路上で搬送される基板と、帰り専用経路上で搬送される基板との干渉による基板の待ち時間を低減させて、基板の処理効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板に対してレジスト膜を形成し、露光後の基板を現像する装置において、現像処理を行うための処理ユニットや搬送機構のトラブルの発生に対してスループットの低下を抑えること。
【解決手段】処理ブロックＳ２に、３層の塗布膜形成用の単位ブロックＢ３〜Ｂ５と、２層の現像処理用の単位ブロックＢ１，Ｂ２とを互いに積層して設ける。前記現像処理用の単位ブロックＢ１、Ｂ２の各々には、現像用の液処理ユニット、加熱ユニット、冷却ユニット及びキャリアブロック側からインターフェイスブロック側に向かって水平に直線状に伸びる搬送領域に沿って移動するメインアームＡ１が設けられる。 （もっと読む）

【課題】移載対象物の撓みを抑制すると共に、移載能率の向上を図ることができる移載装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板を搬送するハンド装置から受け渡されたガラス基板を支持すると共に、支持したガラス基板を搬送ライン２に移載する移載装置であって、ハンド装置の移動経路上に位置し、ガラス基板を支持する支持位置と、上記移動経路上から退避する退避位置との間を、互いに独立して駆動される複数の支持装置４を有するという構成を採用する。 （もっと読む）