【課題】集積回路上に構成可能で、容量可変比率が大きくかつＱ値が高く、ＶＣＯを構成した時に直線性の高い制御電圧と発振周波数の関係を実現する電圧可変型容量を提供すること。
【解決手段】下部電極を共通接続した複数のＭＯＳ型容量素子（CM1〜CMn）と、該複数のＭＯＳ型容量素子の上部電極に一端を接続し、他端を共通接続する同数の非電圧可変型容量（C1〜Cn）と、これらのＭＯＳ型容量素子と非電圧可変型容量の接続点に夫々異なる固定バイアス電圧を与える手段（VB1〜VBn及び抵抗）により構成され、前記複数のＭＯＳ型容量の共通接続された下部電極に制御電圧を加える。 （もっと読む）

【課題】多くの半導体装置に必要な低温処理と両立しない高温操作を必要とするような欠点がない、堆積可能なアッド‐オン層形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】堆積可能なアッド‐オン層形成方法であって、第一半導体基板の取り外し層の形成、取り外し層の上の第一半導体基板に多くのドーピング領域の形成、ここで多くのドーピング層の形成は、第一電導型を有するように、ドーピングされ、取り外し層の上の第一半導体基板の第一ドーピング層の形成、第一電導型に対する第二電導型を有するようにドーピングされ、第一ドーピング層の上の第一半導体基板に最低中間ドーピング層の形成、及び中間ドーピング層上の第一半導体基板に最低第三ドーピング層の形成からなり、第三ドーピング層上に第一の電導性ブランケット層の形成、第一電導ブランケット層上に第二の電導性ブランケット層の形成、及び第二電導性ブランケット層が第二半導体基板の対応する電導性上部層と接触するように、第一半導体基板を第二半導体基板への取り付け、からなる。 （もっと読む）

【課題】バイパスキャパシタは、半導体基板上に形成される半導体装置と一体化されて形成されているが、半導体装置の製造工程が複雑になると言う欠点がある。
【解決手段】バイパスキャパシタをシート状にモジュール化して、半導体装置に対して外付けできるように構成されたバイパスキャパシタモジュールが得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大容量化及び小面積化の要請に応えつつ、電圧依存性の低いキャパシタ装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】シリコン３１、３２からなる下部電極３０上に、容量絶縁膜４０と上部電極５０が順次積層形成されたキャパシタ装置であって、
前記下部電極は、互いに導電極性の異なるＮ型領域２０とＰ型領域１０とが所定比率で混在配置されているとともに、前記Ｎ型領域の表面が前記Ｐ型領域の表面よりも窪んだ凹凸構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容量耐性を高めると共に信頼性の向上を図った容量付ＰＤを提供する。
【解決手段】ＰＤ、ダイオードを含む素子と複数のＭＩＭ容量を基板上に集積した化合物半導体装置において、前記素子からの引き出し配線とＭＩＭ容量の下部配線を結ぶ線を第１配線、ＭＩＭ容量の上部電極とボンディングパッドを結ぶ線を第２配線としたときに前記第１配線と第２配線をスルーホールで接続し、ＭＩＭ容量に印加する電圧方向を１方向に揃えるように、ＭＩＭ容量の上下メタルに電圧を印加した。 （もっと読む）

【課題】薄膜キャパシタ等において、チューナビリティ、リーク電流特性及び誘電率を向上させ得る誘電体薄膜形成用組成物、誘電体薄膜の形成方法及び誘電体薄膜を提供する。
【解決手段】一般式：Ｂａ_1-xＳｒ_xＴｉ_yＯ₃（式中０．２＜ｘ＜０．６、０．９＜ｙ＜１．１）で示される複合金属酸化物Ａに、Ｃｕ（銅）を含む複合酸化物Ｂが混合した混合複合金属酸化物の形態をとる薄膜を形成するための液状組成物であり、複合金属酸化物Ａを構成するための原料及び複合酸化物Ｂを構成するための原料が上記一般式で示される金属原子比を与えるような割合で、かつＡとＢとのモル比Ｂ／Ａが０．００１≦Ｂ／Ａ＜０．１５の範囲内となるように、有機溶媒中に溶解している有機金属化合物溶液からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より低コストで、より信頼性の高いＭＩＭキャパシタを有する、より信頼性の高い半導体装置、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本製造方法は、半導体基板ＳＵＢを準備する工程と、半導体基板ＳＵＢの一方の主表面上に、アルミニウム層ＡＣ１を有する第１の金属電極ＬＥＬ１と、第１の金属電極ＬＥＬ１上の誘電体層ＤＥＣと、誘電体層ＤＥＣ上の第２の金属電極ＵＥＬとを形成する工程とを備える。第１の金属電極ＬＥＬ１を形成する工程においては、表面がＲｍａｘ＜８０ｎｍ、Ｒｍｓ＜１０ｎｍ、Ｒａ＜９ｎｍの関係を満たすように、アルミニウム層ＡＣ１が形成される。第１の金属電極ＬＥＬ１を形成する工程には、少なくとも１層の第１のバリア層Ｔ１を形成する工程と、第１のバリア層Ｔ１上に、アルミニウム層ＡＣ１を形成する工程と、アルミニウム層ＡＣ１を構成する結晶を再結晶化する工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】補償容量素子を構成する容量絶縁膜が破壊されることのない半導体装置を提供する。
【解決手段】第１の電圧が供給される第１の電源端子２９と、第２の電圧が供給される第２の電源端子２３と、容量絶縁膜４２と該容量絶縁膜４２を挟んで形成される第１及び第２電極とを其々備えており、前記第１及び第２の電源端子間に直列に設けられる複数の補償容量素子４と、奇数番目の前記補償容量素子４と次の偶数番目の前記補償容量素子４とを各々接続する第１の配線層に形成された第１の容量接続配線と、偶数番目の前記補償容量素子４と次の奇数番目の前記補償容量素子４とを各々接続する第２の配線層に形成された第２の容量接続配線と、前記第１及び第２の容量接続配線のいずれか一方に隣接して設けられ、実質的に固定された電圧が供給されるシールド配線５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】キャパシタ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るキャパシタ装置１０は、第１導電型を有して第１電圧が印加される第１ウェル１０５及び第２導電型を有して第２電圧が印加される第２ウェル１１０を有する基板１００、及び第１または第２ウェル１０５，１１０と絶縁されるように第１または第２ウェル１０５，１１０の上部に配されたゲート電極１２６を含み、キャパシタ装置１０のキャパシタンスは、第１ウェル１０５と第２ウェル１１０との間の第１キャパシタンス及び第１または第２ウェル１０５，１１０とゲート電極１２６との間の第２キャパシタンスを含む。 （もっと読む）

【課題】薄膜キャパシタにおける諸特性低下の原因となるヒロックを抑制し、リーク電流特性及び絶縁耐圧特性に優れた薄膜キャパシタを製造する。
【解決手段】下部電極を形成した後、３００℃よりも高い温度のアニール処理を行わずに薄膜形成前駆体溶液を下部電極上に塗布し、乾燥は室温〜４５０℃の範囲内の所定の温度で行い、焼成は乾燥温度よりも高い４５０〜８００℃の範囲内の所定の温度で行い、塗布から焼成までの工程は塗布から焼成までの工程を１回又は２回以上行うか或いは塗布から乾燥までの工程を２回以上行った後、焼成を１回行い、初回の焼成後に形成される誘電体薄膜の厚さは２０〜６００ｎｍにする。下部電極の厚さと初回の焼成後に形成される誘電体薄膜の厚さの比（下部電極の厚さ／誘電体薄膜の厚さ）は０．１０〜１５．０の範囲とするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】従来技術によるスイッチ回路装置では、ドライバ回路がアンテナ端子とポートとの間に振幅の大きい高周波信号を入力した際に、ドライバ回路内部でリーク電流が発生し、スイッチ回路装置の消費電力が増大する、という問題がある。
【解決手段】ドライバ回路の出力部に、リーク電流抑制回路部を設ける。本発明のスイッチ回路装置によれば、リーク電流抑制回路部が高周波信号の侵入を抑制するので、ドライバ回路は出力状態を保持することが出来て、リーク電流の問題が解決される。 （もっと読む）

【課題】エッチング装置の経時変化や状態変化等によらずトレンチの深さのばらつきを低減することができる半導体装置の製造方法を得る。
【解決手段】まず、所望の深さよりも浅い深さを持つトレンチ１６をＳｉ基板１０の主面に形成する。次に、トレンチ１６の深さを測定する。トレンチ１６の底面からＳｉ基板１０に酸素イオン１８を注入する。この際に、測定したトレンチ１６の深さと所望の深さの差に基づいて酸素イオン１８の注入エネルギーを調整して、Ｓｉ基板１０の所望の深さに酸素イオン１８が注入されるようにする。次に、熱処理を行って酸素イオン１８を注入した位置にＳｉＯ_２膜２２を形成する。次に、ＳｉＯ_２膜２２をエッチングストッパとして用いて、トレンチ１６の底面からＳｉ基板１０を更にエッチングしてトレンチ２４を形成する。その後、ＳｉＯ_２膜２２を除去する。 （もっと読む）

【課題】キャパシタを形成する領域の占有面積を縮小する。
【解決手段】本実施形態の半導体装置は、半導体基板１０内に設けられた半導体領域ＡＡＣと、半導体領域ＡＡＣ内に設けられる複数のキャパシタＣｍ，Ｃｎを含むキャパシタ群と、を具備し、キャパシタＣｍ，Ｃｎのそれぞれは、半導体領域ＡＡＣ上のキャパシタ絶縁膜４２Ａと、キャパシタ絶縁膜４２Ａ上のキャパシタ電極３４Ａｍ，３４Ａｍと、キャパシタ電極３４Ａｍ，３４Ａｍに隣接する拡散層３２Ａとを有し、を有し、キャパシタ電極３４Ａｍ，３４Ａｎに接続される配線２９ｍ，２９ｎのそれぞれは、キャパシタＣｍ，Ｃｎ毎に電気的に分離され、キャパシタ電極Ｃｍ，Ｃｎのそれぞれに異なる電位Ｖｍ，Ｖｎが印加されている。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造方法において、半導体装置の小型化を図ること。
【解決手段】第１の領域IにフラッシュメモリセルFLを形成する工程と、第２の領域IIにキャパシタQの第１の電極１１ａを形成する工程と、第２の絶縁膜１４として第１の酸化シリコン膜１４ａ、窒化シリコン膜１４ｂ、及び第２の酸化シリコン膜１４ｃをこの順に形成する工程と、第１の電極１１ａの一部領域CRにおける窒化シリコン膜１４ｂと第２の酸化シリコン膜１４ｃとを除去する工程と、第３の領域III_Hにおける第１の絶縁膜１０と第２の絶縁膜１４とをウエットエッチングする工程と、キャパシタQの第２の電極３０ａを形成する工程と、一部領域CRにおける第１の酸化シリコン膜１４ａをエッチングして除去する工程とを有する半導体装置の製造方法による。 （もっと読む）

【課題】多層配線層の層間における剥離の有無を簡便な手法で検出できるようにする。
【解決手段】第１電極４１２は多層配線層２０に形成されている。第２電極４２２は、絶縁膜２２の一部を介して第１電極４１２と対向している。第１電極パッド４３０は第１電極４１２に接続している。第２電極パッド４３２は第２電極４２２に接続している。そして少なくとも２層以上の絶縁膜２２のそれぞれが、第１電極４１２及び第２電極４２２に挟まれている。そして第１電極４１２及び第２電極４２２により、センサ４０の少なくとも一部が形成されている。センサ４０は、多層配線層２０の層間における剥離の有無を検出するために用いられる。 （もっと読む）

【課題】 ＩＣまたはＬＳＩの標準電源電圧用のトランジスタ構成部分ないしはプロセス技術を活用して高電圧動作電界効果トランジスタを該ＩＣ中に作りこむ。
【解決手段】 電界効果トランジスタの動作電圧を大きくするために、ゲートにドレイン電位に応じて変化する電位分布を設ける手段をとる。 （もっと読む）

【課題】基板とＭＥＭＳ素子との間の寄生容量、および基板の反りを抑えたＭＥＭＳ装置を提供する。
【解決手段】
実施の形態のＭＥＭＳ装置は、表面に開口する凹部と凹部内に、絶縁物、エアギャップ、または絶縁物およびエアギャップが形成された基板と、基板上の絶縁層と、絶縁層上に形成された信号線を有するＭＥＭＳ素子とを有し、上記基板の表面に平行な方向の信号線の位置と上記平行な方向の凹部の位置に重なりがある。 （もっと読む）

【課題】複数の容量を互いに直列接続して一つの昇圧容量を形成した場合の中間ノードの帯電に起因するデバイス破壊を回避するとともに、当該中間ノードのリークパスを介して流れるリーク電流に起因するポンプ効率の低下を回避する。
【解決手段】チャージポンプ回路（１３０７）は、第１静電容量（Ｃａ）とそれに直列接続された第２静電容量（Ｃｂ）とを含む昇圧容量（Ｃ（ｘ−１），Ｃｘ）と、容量ドライバ（ＤＲＶ（ｘ−１），ＤＲＶｘ）と、保護回路（Ｄ１，Ｄ２）とを含む。上記保護回路は、上記昇圧電圧が形成されない状態においては導通状態とされて、上記第１静電容量と上記第２静電容量との直列接続ノードの蓄積電荷を放電し、上記昇圧電圧が形成される状態においては非導通状態を維持する。これにより、昇圧容量の耐圧緩和を図り、また、ポンプ効率の低下を回避する。 （もっと読む）

【課題】容量素子の単位面積当たりの容量を増加させる。
【解決手段】複数の第１電極１１０は互いに離間している。第２電極１２０は複数の第１電極１１０と同一の第１配線層１０２に位置している。図３に示すように複数の第１電極１１０は、第１の六角形の各頂点及び中心に、それぞれの中心が重なるように配置されており、第２電極１２０は、複数の第１電極１１０それぞれの全周に対向している。第１の六角形は、同一形状の２つの二等辺三角形を、底辺が互いに対向する向きに配置することにより、６つの頂点の位置が定められている。 （もっと読む）

【課題】デジタル回路からアナログ回路へのノイズの混入を十分に抑圧する半導体集積回路装置を提供することを目的とする。
【解決手段】デジタル回路を形成するデジタル回路領域１３と、アナログ回路を形成するアナログ回路領域１２とに分離し、アナログ回路領域を、アナログ回路の能動素子を形成する能動素子領域１２ａと、アナログ回路の受動素子を形成する受動素子領域１２ｂ，１２ｃとに分離し、受動素子領域１２ｂ，１２ｃをデジタル回路領域１３と隣り合う領域に配置し、能動素子領域１２ａをデジタル回路領域１３から離れた領域に配置した半導体集積回路装置において、受動素子領域１２ｂ，１２ｃの半導体基板２０に半導体基板の導電型と異なる第１導電型の第１ウェル２１を形成し、第１ウェル２１内に第１ウェルの第１導電型と異なる第２導電型の第２ウェル２２を形成し、第２ウェル２２上に素子分離膜２３を介在させて受動素子を配設した。 （もっと読む）