【課題】容量素子のＱ値（Ｑｕａｌｉｔｙ Ｆａｃｔｏｒ）特性を向上する。
【解決手段】容量素子は、互いに対向する一対の電極ＥＬ１０、ＥＬ２０と、一対の電極の一方の電極に設けられ、一方の電極の両端部から間隔を置いて配置された第１端子部とＴＥ１０、一対の電極の他方の電極に設けられ、他方の電極の両端部から間隔を置いて配置された第２端子部とＴＥ２０を有している。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路装置において、レイアウトの面積効率の低下を抑制可能となる、マルチハイトセルのレイアウト構造を提供する。
【解決手段】標準論理セル１０は、電源配線または接地配線となるメタル配線１２を共有するようにＹ方向に隣接して配置された第１および第２回路領域Ａ１，Ａ２を備えている。Ｘ方向において、第１回路領域Ａ１の両端部の位置ｘ１ａ，ｘ１ｂと第２回路領域Ａ２の両端部の位置ｘ２ａ，ｘ２ｂとは、少なくともいずれか一方が異なっている。すなわち、標準論理セル１０の外形形状ＣＦは、第１および第２回路領域Ａ１，Ａ２の外形形状が矩形であるにもかかわらず、非矩形となっている。 （もっと読む）

【課題】ＭＩＭキャパシタを備え、バイアホールを必須とせず、小さなチップサイズにおいても大きなキャパシタ容量を実現することができ、ＭＩＭキャパシタの内部電極と外部電極の電位の設定自由度が高い半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置２は、半導体チップ１０と、半導体チップ１０の表面１０Ｔに形成された電子回路と、半導体チップ１０の少なくとも１つの側面１０Ｌ、１０Ｒに形成され、半導体チップ１０側から内部電極２１と絶縁膜２２と外部電極２３との積層構造を有するＭＩＭキャパシタ２０とを備えている。半導体装置２は、半導体チップ１０の表面１０Ｔ上から側面１０Ｌ、１０Ｒに形成されたＭＩＭキャパシタ２０上に平面的に延びて、ＭＩＭキャパシタ２０の内部電極２１に接触した表面電極３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】セル高さが低減した場合であっても、容量セルの容量値を十分に確保可能なレイアウト構成を提供する。
【解決手段】第１の電源電圧を供給する電源配線１１が第１の方向に延びており、電源配線１１と平行に、第２の電源電圧を供給する電源配線１２および第３の電源電圧を供給する電源配線１３が延びている。容量素子１６は、ソースおよびドレインに第１の電源電圧が与えられ、ゲートに第２または第３の電源電圧が与えられるトランジスタによって構成されている。容量素子１６は電源配線１１の下に、電源配線１２側の領域から電源配線１３側の領域にわたって形成されている。 （もっと読む）

【課題】キャパシタのエッチングはＮＶＭセルのエッチングの終点検出に有用になるようにキャパシタおよびＮＶＭセルを集積するように形成する。
【解決手段】ＮＶＭ領域およびキャパシタ領域上に２つの導電体層を用いるように達成される。第１導電体層は後のパターニングステップの準備にパターニングされ、これが、ＮＶＭ領域およびキャパシタ領域の両方に第１導電体層および第２導電体層の両方をパターニングするステップを含む。後のエッチングが、同一マスクを用いて両方の導電体層をエッチングされることによって制御ゲート上に浮遊ゲートの重要な配列を提供する。この後のエッチングの間、キャパシタ領域に第１導電体材料をエッチングされることが、ＮＶＭ領域における第１導電体層のエッチングの終点検出を補助する。 （もっと読む）

【課題】低電圧デバイス保護付き高電圧複合半導体デバイスを提供する。
【解決手段】電圧保護されたデバイスを含複合半導体デバイスの１つの好適な実現では、ノーマリオフ複合半導体デバイス３００が、第１出力キャパシタンス３１８を有するノーマリオンIII-窒化物パワートランジスタ３１０と、このノーマリオンIII-窒化物パワートランジスタとカスコード接続された低電圧（ＬＶ）デバイス３２０を具えて、このノーマリオフ複合半導体デバイスを形成し、このＬＶデバイスは第２出力キャパシタンス３４８を有する。第１出力キャパシタンス対第２出力キャパシタンスの比率を、ノーマリオンIII-窒化物パワートランジスタのドレイン電圧対ＬＶデバイスの降伏電圧の比率に基づいて設定して、ＬＶデバイスの電圧保護を行う。 （もっと読む）

【課題】 電気信号の電圧振幅が大きいときにも、可変容量回路に形成されるトランジスタの寄生ダイオードがオンすることを防止し、電気信号の波形が歪むことを防止する。
【解決手段】 可変容量回路は、電気信号が伝達されるノードに一端が接続される容量素子と、容量素子の他端と第１電源線との間に配置される第１トランジスタと、他端と第２電源線との間に直列に配置される抵抗素子および第１トランジスタと極性が逆の第２トランジスタとを含んでいる。第１トランジスタはゲートで第１制御信号を受け、第１モード中にオンし、第２モード中にオフする。第２トランジスタは、ゲートで第２制御信号を受け、第１モード中にオフし、第２モード中にオンする。これにより、容量素子の他端の中心電圧は、第１トランジスタのオフ中に第２電源線の電圧に設定され、第２トランジスタのオフ中に第１電源線の電圧に設定される。 （もっと読む）

【課題】基板裏面側にグラウンドプレーンと信号配線との絶縁構造を構成しなくてもすみ、かつ、寄生インダクタンスをゼロに近づけられるようにする。
【解決手段】外側導体２ａと中心導体２ｃとの間に誘電体２ｂを配置し、外側導体２ａを下面配線層６に直接接触させると共に、誘電体２ｂを中心導体２ｃの先端に残す。これにより、中心導体２ｃと外側導体２ａとの間の誘電体２ｂを通じてノイズが流れる。よって、キャパシタ構造部２と下面配線層６との間の寄生インダクタンス成分や寄生抵抗成分をゼロに近づけられ、キャパシタ構造部２でフィルタリングされたノイズをより除去できる。また、中心導体２ｃが誘電体２ｂを貫通していないため、中心導体２ｃと接続するための配線層をシリコン基板１の裏面側に形成しなくても済む。このため、シリコン基板１の裏面側にはグラウンドプレーンとなる下面配線層６のみ形成すれば良く、多層配線等の複雑な工程が不要となる。 （もっと読む）

【課題】温度係数の小さいポリシリコン抵抗体を含む半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１にノンドープポリシリコン膜４を形成する工程と、ノンドープポリシリコン膜４をパターニングしてノンドープポリシリコンパターン４０を形成する工程と、ノンドープポリシリコンパターン４０を窒素雰囲気中でアニールし、ノンドープポリシリコンパターン４０のシリコン結晶粒径を拡大する第１アニール工程と、第１アニール工程においてシリコン結晶粒径が拡大されたノンドープポリシリコンパターン４０に導電型がＰ型のＢＦ2⁺イオンを注入する工程と、ＢＦ2⁺イオンが注入されたポリシリコン抵抗体８を酸素雰囲気中でアニールする第２アニール工程によって半導体装置を形成し、第１アニール工程は、不純物を注入する前で、ポリシリコン膜形成の後に行われ、処理時間が不純物の量に対応する。 （もっと読む）

【課題】キャパシタの高容量化と面積の低減を可能とした半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＥＥＰＲＯＭメモリセル５０は、シリコン基板１のメモリセル領域に設けられたＮ^-層２１ａと、トンネル絶縁膜１３ａと、浮遊ゲート電極１５ａと、電極間絶縁膜
１７ａと、制御ゲート電極１９ａと、を有する。また、キャパシタ６０は、シリコン基板１のキャパシタ領域に設けられた下部電極層２４ａと、第１の誘電体膜１３ｃと、共通電極１５ｃと、第２の誘電体膜１７ｃと、上部電極１９ｃと、を有する。下部電極層２４ａと第１の誘電体膜１３ｃと共通電極１５ｃとにより第１のキャパシタ６１が構成されると共に、共通電極１５ｃと第２の誘電体膜１７ｃと上部電極１９ｃとにより第２のキャパシタ６２が構成されており、第１のキャパシタ６１と第２のキャパシタ６２とが並列に接続されている。 （もっと読む）

【課題】容量素子を備え、電気的特性の安定化が可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基体１上の配線層に形成されている配線と絶縁層とからなる容量素子１０を備える。そして、容量素子１０の形成領域内の半導体基体１１上に形成されている導体パターンと、導体パターンの電位を固定するための電位固定端子２８とを備える半導体装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】高周波回路のワンチップ化を実現し、上層回路と下層回路との間におけるアイソレーション特性を向上し、かつ量産性の高い無線通信デバイスを提供する。
【解決手段】ＲＦＩＣと、キャパシタ３２と、インダクタ２４とが積層配置され、キャパシタ３２の少なくとも一部がＲＦＩＣとインダクタ２４との間に位置するようにして前記ＲＦＩＣに対して積層して実装される受動素子チップ１２と、を備えることを特徴とする。このような特徴を有する無線通信デバイスでは、受動素子チップ１２は、キャパシタ３２の上部電極２６を構成する金属パターンとインダクタ２４を構成する金属パターンとを横並びに備え、キャパシタ３２の下部電極を構成する下層金属パターン１８をインダクタ２４を構成する金属パターンの下部にまで延設して構成すると良い。 （もっと読む）

【課題】ラッシュカレントを抑えて、電源電圧の供給・非供給を切り替えることができる電源制御装置を提供する。
【解決手段】電源制御装置は、第１の電源線１と、第２の電源線３と、制御回路と、制御信号線４と、第１の配線と、第２の配線と、第３の配線とを備える。第１の電源線は、基準電源電圧が供給される。第２の電源線は、内部回路に接続される。制御信号線は、前記制御回路に接続され、前記接続を制御する制御信号を供給する。第１の配線は、半導体基板の上方の配線層に形成され、トランジスタの第１の端子と前記第１の電源線とを接続する。第２の配線は、前記半導体基板の上方の配線層に形成され、前記トランジスタの第２の端子と前記第２の電源線とを接続する。第３の配線は、前記半導体基板の上方の配線層で、かつ、前記トランジスタの制御端子の上方に配置されて、前記制御信号線と一体に形成される。 （もっと読む）

【課題】同一半導体基板上に、トランジスタ素子、及び、容量素子、及び、抵抗素子を有する半導体装置において、十分な機能を有する容量素子を提供する。
【解決手段】容量素子をアクティブ領域上、抵抗素子を素子分離領域上に同一の多結晶シリコンで形成した後、ＣＭＰやエッチバック等で、所望の抵抗体の膜厚になるまで、基板表面を平坦化させながら削る。この時、アクティブ領域と、素子分離領域との高さの違いによって、膜厚の薄い抵抗素子と、膜厚の厚い容量素子の上部電極が形成される。容量素子の上部電極が十分な膜厚を持つので、コンタクトの突き抜けや、高抵抗化に伴う電圧依存性の増加などの特性劣化が防止され、アナログ回路に必要な高抵抗素子とプロセスを共通化することが可能であり、かつ、十分な機能を有する容量素子を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】入力信号が有する２値の電位に関わらず、正常に動作させることが可能なデジタ
ル回路の提案を課題とする。
【解決手段】半導体装置の一態様は、入力端子、容量素子、スイッチ、トランジスタ、配
線、及び出力端子を有し、前記入力端子は、前記容量素子の第１の電極に電気的に接続さ
れ、前記配線は、前記スイッチを介して前記容量素子の第２の電極に電気的に接続され、
前記トランジスタのゲートは、前記容量素子の第２の電極に電気的に接続され、前記トラ
ンジスタのソース又はドレインの一方は、前記配線に電気的に接続され、前記トランジス
タのソース又はドレインの他方は、前記配線に電気的に接続されていることを特徴とする
。 （もっと読む）

【課題】基板を貫通するトレンチによって複数の部分領域に分割されてなる領域分割基板およびそれを用いた半導体装置ならびにそれらの製造方法であって、部分領域の側壁に導電層を形成するメリットだけを享受して、該導電層の形成に伴う悪影響を排除することのできる領域分割基板およびそれを用いた半導体装置ならびにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】基板３０の第１表面Ｓ１から第２表面Ｓ２に亘って、当該基板３０を貫通するように形成されたトレンチ３１ａによって、当該基板３０が複数の部分領域Ｃｅ，Ｃｅａ〜Ｃｅｄ，Ｃｅｋ，Ｃｅｌに分割され、前記複数の部分領域のうち、一部の部分領域Ｃｅａ〜Ｃｅｄの側壁に、第１表面Ｓ１の側から第２表面Ｓ２の側に亘って、当該基板３０より高い導電率を有する導電層３５が形成され、トレンチ３１ａに絶縁体３１ｂが埋め込まれてなる領域分割基板Ａ２０とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現し得る半導体装置を提供することにある。
【解決手段】半導体基板に形成され、素子分離領域により画定された第１の素子領域１２ｂと、第１の素子領域上に形成された第１のゲート電極２１ｂと、第１のゲート電極の第１の側における第１の素子領域に形成された第１のソース領域３２Ｓと、第１のゲート電極の第２の側における第１の素子領域に形成された第１のドレイン領域３２Ｄとを有する第１のトランジスタ３６と、第１のゲート電極の第１の側における素子分離領域上に、第１のゲート電極と並行するように形成された第１のパターン３８ａと、第１のソース領域に接続された第１の導体プラグ４４ｃとを有し、第１の導体プラグは、接地線及び電源線のうちの一方に電気的に接続されており、第１のパターンは、接地線及び電源線のうちの他方に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】微細化した半導体集積回路において用いられるキャパシタを提供する。
【解決手段】誘電体の一つの面に接して設けられた、インジウム、錫あるいは亜鉛の少なくとも一つと窒素とを有する仕事関数が５．０電子ボルト以上、好ましくは５．５電子ボルト以上のｎ型半導体による電極を有するキャパシタである。電極の仕事関数が高いため、誘電体のポテンシャル障壁が高くなり、誘電体が１０ｎｍ以下と薄くても十分な絶縁性を保てる。特に、誘電体が、ｈｉｇｈ−ｋ材料である場合に顕著な効果が認められる。 （もっと読む）

【課題】スティッキングによる可変容量素子の動作不良を防ぎ、また、特性ばらつきを抑える。
【解決手段】可変容量素子１は、固定板２と可動板３と誘電体膜８と電極４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６，７Ａ，７Ｂとを備える。電極５Ａ，５Ｂ，７Ａ，７Ｂは対向し、駆動電圧が印加される。誘電体膜８は、電極５Ａ，５Ｂ，７Ａ，７Ｂに対向する領域８Ｃが周囲よりも薄肉で、領域８Ｃを挟むように周囲から突出する２列のストッパ８Ａを備える。ストッパ８Ａの間隔は狭く、可動板３のヤング率は高く、可動板３の厚みは厚く、駆動電圧は低く、ストッパ高さは高いことが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 層間絶縁膜を挟んでゲート電極と容量電極が対向してできる容量の占有面積を小さくする。
【解決手段】 チャネル領域上の層間絶縁膜が周囲よりも膜厚が薄く、その部分で容量電極がゲート電極と対向して容量を形成している半導体装置。 （もっと読む）