【課題】トランジスタの容量の各成分や配線容量を分離してパラメータを最適化することが可能な半導体装置、パラメータ最適化方法、及びプログラムを提供すること。
【解決手段】ＭＯＳトランジスタから構成されたプリミティブゲート回路１１ａを奇数段でリング状に結合した第１リングオシレータ部１１の各前記プリミティブゲート回路の出力部と電気的に接続された負荷部１２となる第１配線を有する配線負荷パターンと、第２リングオシレータ部の各プリミティブゲート回路の出力部が第２配線を介して負荷部となるＭＯＳトランジスタのゲートに電気的に接続された複数のゲート負荷パターンと、第３リングオシレータ部の各プリミティブゲート回路の出力部が第３配線を介して負荷部となる拡散層に電気的に接続された複数の拡散層負荷パターンと、を備え、複数のゲート負荷パターンは、パターンごとに容量負荷が異なり、複数の拡散層負荷パターンは、パターンごとに容量負荷が異なる。 （もっと読む）

【課題】高耐圧の能動素子を含む回路と低電圧で動作するロジック回路とが同一基板上に混載された半導体装置を低コストで実現する。
【解決手段】半導体装置が、ロジック回路５０と、能動素子回路とを具備している。ロジック回路５０は、半導体基板１に形成された半導体素子２を備えている。該能動素子回路は、半導体基板１の上方に形成された拡散絶縁膜７−１の上に形成された半導体層８−１、８−２を用いて形成されたトランジスタ２１−１、２１−２を備えている。この能動素子回路がロジック回路５０により制御される。 （もっと読む）

【課題】安定したチャージポンプ動作を行う。
【解決手段】ノードＡ，Ｂを有するコンデンサＣ１と、ＶＤＤレベルからＶＳＳレベルの間で振幅するポンピング信号ＰＵＭＰ１をコンデンサＣ１のノードＡに供給するポンピング回路１１０と、コンデンサＣ１のノードＢをＶＰＰｅｘｔレベルにプリチャージし、ポンピング信号ＰＵＭＰ１がＶＳＳレベルからＶＤＤレベルに変わった時に、コンデンサＣ１のノードＢをＶＰＰｅｘｔレベルよりも高いレベルに駆動する出力回路１２０とを備える。本発明によれば、コンデンサＣ１のノードＡをポンピングするための電圧と、コンデンサＣ１のノードＢをプリチャージするための電圧が異なっていることから、昇圧電圧を効率よく生成することできる。 （もっと読む）

【課題】ガン発振に伴う負性抵抗を抑制し、安定的かつ高効率の電力増幅を得るための安定化回路を備える半導体装置を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板上に配置され、ガン発振である高周波負性抵抗発振の発振周波数において負性抵抗を生ずる能動素子１４０と、基板上に配置され、能動素子のドレイン端子電極と出力端子との間に接続され、負性抵抗の絶対値に等しい抵抗値を有する抵抗Ｒと、抵抗Ｒに並列に接続され、高周波負性抵抗発振の発振周波数に同調するインダクタンスＬとキャパシタンスＣからなるタンク回路とからなる安定化回路１２０とを備え、安定化回路１２０は、発振周波数に、インダクタンスＬとキャパシタンスＣからなる共振周波数を同調することによって、発振周波数において、抵抗Ｒによって負性抵抗をキャンセルする半導体装置。 （もっと読む）

【課題】消費電力が小さく抑えられ、出力される電位の振幅が小さくなるのを防ぐことができる、単極性のトランジスタを用いた半導体装置。
【解決手段】第１電位を有する第１配線、第２電位を有する第２配線、及び第３電位を有する第３配線と、極性が同じである第１トランジスタ及び第２トランジスタと、第１トランジスタ及び第２トランジスタのゲートに第１電位を与えるか、第１トランジスタ及び第２トランジスタのゲートに第３電位を与えるかを選択し、なおかつ、第１トランジスタ及び第２トランジスタのドレイン端子に、１電位を与えるか否かを選択する複数の第３トランジスタと、を有し、第１トランジスタのソース端子は、第２配線に接続され、第２トランジスタのソース端子は、第３配線に接続されている半導体装置。 （もっと読む）

【課題】ＥＭＩフィルタが形成された半導体素子の小型化を図る。
【解決手段】本発明の実施形態のＥＭＩフィルタは、第１のダイオードＤ１、第１のキャパシタＣ１、及び抵抗体Ｒを備える。第１のダイオードは、第１の半導体層中に設けられ、上記第１の電極、上記第１の半導体層、その表面に形成されたｎ形の第２の半導体層２Ａ、及びその表面上に形成された第２の電極１１を有する。第１のキャパシタは、上記第１の半導体層１表面に形成され、上記第１の電極、上記第１の半導体層、その表面上に形成された第１の誘電体膜１０Ａ、及びその上に形成され第２の電極と電気的に接続された第３の電極１２を有する。抵抗体は、第１の半導体層上に形成され、第１のダイオードの第２の電極と電気的に接続された第４の電極１４を有する。 （もっと読む）

【課題】ＥＯＴの低減及びリーク電流の低減を両立できる半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】被処理体上に第１の高誘電率絶縁膜を成膜する第１の成膜工程と、前記第１の高誘電率絶縁膜を、６５０℃以上で６０秒未満の間熱処理する結晶化熱処理工程と、前記第１の高誘電率絶縁膜上に、前記第１の高誘電率絶縁膜の金属元素のイオン半径よりも小さいイオン半径を有する金属元素を有し、前記第１の高誘電率絶縁膜よりも比誘電率が大きい、第２の高誘電率絶縁膜を成膜する第２の成膜工程と、を含む、半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】多くの電極あるいは電極の組合せのいずれにも簡単に接近できる改良された膜キャパシタ構造の提供。
【解決手段】多層膜キャパシタ構造が、モノリシック基板上の下部電極層、下部電極上に敷かれている膜電極及び誘電体材料の対からなる中間層、及び中間層対の上に敷かれている膜電極及び膜誘電体の対からなる上部層を有する。この構造は、デバイスの全周縁にわたって、それぞれの電極層がその上の層の周縁の外側まで側方に広がる、
メサ形状を有することが望ましい。電極をいかなる組合せでも接続でき、いかなる所望の回路接続もできるように、各電極層はその突き出している縁にビアを通して接続できる上部表面を有する。望ましければ、単層キャパシタ構造をフィルタに最適化し得るように、誘電体材料に異なる周波数特性をもたせることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上においてキャパシタが占める面積の増大を抑えつつ、キャパシタ全体の容量を増やすことを可能とした半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｐ型のシリコン基板１と、シリコン基板１に設けられたＮ−領域１１と、Ｎ−領域１１上に設けられた第１の誘電体膜１５と、第１の誘電体膜１５上に設けられた第１の電極１７と、第１の電極１７の上面に設けられた第２の誘電体膜１９と、第１の電極１７の側面に設けられた第３の誘電体膜２１と、Ｐ型のシリコン基板１のうちのＮ−領域１１に隣接する隣接領域５上に設けられた第４の誘電体膜２３と、第２の誘電体膜１９と第３の誘電体膜２１及び第４の誘電体膜２３を覆うようにシリコン基板１の上方に設けられた第２の電極２４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＥＭＩ低減に有効な半導体集積回路システムを提供する。
【解決手段】バスライン８上に配置された中央演算処理装置１と、演算論理装置６と、デカップリングキャパシタ形成領域１００・合成論理形成領域２００・インピーダンス形成領域３００を有する半導体集積回路４００と、論理ライブラリ情報格納部２２・デカップリングキャパシタ配置配線情報格納部２４・インピーダンス配置配線情報格納部２６・電源配線配置配線情報格納部２８を有する記憶装置２とを備え、論理ライブラリ情報格納部２２・デカップリングキャパシタ配置配線情報格納部２４・インピーダンス配置配線情報格納部２６のそれぞれの格納データに基づいて、それぞれ合成論理形成領域２００・デカップリングキャパシタ形成領域１００・インピーダンス形成領域３００における配置配線を実行する半導体集積回路システム１０。 （もっと読む）

【課題】保護素子とガードリング領域との間のウィークスポットが破壊される危険性を軽減する。
【解決手段】半導体集積回路は、静電保護回路の保護素子Ｍｎ２を形成するために、第１導電型の半導体領域Ｐ−Ｗｅｌｌと第２導電型の第１不純物領域Ｎと第１導電型の第２不純物領域Ｐにより形成されたガードリングＧｒｄ＿Ｒｎｇを具備する。第１不純物領域Ｎは、長辺と短辺を有する長方形の平面構造として半導体領域の内部に形成される。ガードリングは、第１不純物領域Nの周辺を取り囲んで半導体領域の内部に形成される。第１不純物領域Nの長方形の平面構造の短辺には、ウィークスポットＷｋ＿ＳＰが形成される。長方形の長辺と対向するガードリングの第１部分では、複数の電気的コンタクトが形成される。長方形の短辺に形成されるウィークスポットと対向するガードリングの第２部分では、複数の電気的コンタクトの形成が省略される。 （もっと読む）

【課題】少ない工程数で生産性良く、アルミ酸化膜を誘電膜とする容量の大きいキャパシタを製造する。
【解決手段】キャパシタ１の製造方法は、Ａｌを含む第１電極３０を形成する工程と、第１電極３０を覆う層間絶縁膜４０を形成する工程と、層間絶縁膜４０において第１電極３０上の少なくとも一部に開口部４１を形成して、第１電極３０の表面の少なくとも一部を露出させる工程と、開口部４１内の第１電極３０の露出部３０Ａをアノードとして陽極酸化を実施して、酸化膜３１を形成する工程と、開口部４１内にプラグ６０を形成する工程と、プラグ６０上に第２電極７１を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体層を用いた素子を配線層間に形成し、かつ、ゲート電極の材料を、配線の材料以外の導電体にする。
【解決手段】第１配線層１５０の表層には、第１配線２１０が埋め込まれている。第１配線２１０上には、ゲート電極２１８が形成されている。ゲート電極２１８は、第１配線２１０に接続している。ゲート電極２１８は、第１配線２１０とは別工程で形成されている。このため、ゲート電極２１８を第１配線２１０とは別の材料で形成することができる。そしてゲート電極２１８上には、ゲート絶縁膜２１９及び半導体層２２０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】フローティングゲート−基板間容量の影響を抑制し、高度な閾値の制御を実現するニューロンＣＭＯＳ回路を提供する。また、そのようなニューロンＣＭＯＳ回路を備える電子回路を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態によると、基板に形成され、ＣＭＯＳ回路を構成し、共通するフローティングゲート及び複数の入力ゲートを有するＰＭＯＳＦＥＴ及びＮＭＯＳＦＥＴを有し、前記共通するフローティングゲートと前記基板との間の容量は、前記複数の入力ゲートのうちの一つの入力ゲート電極と前記共通するフローティングゲートとの間の容量と概略等しいことを特徴とするニューロンＣＭＯＳ回路が提供される。 （もっと読む）

【課題】回路誤動作を防止できる半導体装置を提供する。
【解決手段】低電位基準回路部ＬＶおよび高電位基準回路部ＨＶを構成する絶縁分離された半導体素子の外周に、ｎ型ガードリング４２ｃ等を形成する。また、活性層２ｃにて構成されるｎ^-型層４２ａ等の中にｐ型ウェル４２ｄ等を形成し、このｐ型ウェル４２ｄ内に半導体素子を形成する。また、外部電源６１に接続されるラインを電源供給ラインとガードリング端子固定ラインとを分岐し、電源供給ラインの電流が流れないガードリング端子固定ラインに抵抗６３を備えることで、バイパスコンデンサ６４をディスクリート部品としなくても良い回路構成とする。 （もっと読む）

【課題】実際の強誘電体メモリセルについて疲労特性を直接に測定する試験方法を含む半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、基板上に形成された強誘電体キャパシタの疲労特性の面内分布を取得する第１の工程と、前記面内分布に基づいて、半導体装置を製造する第２の工程と、を含み、前記第２の工程は、前記半導体装置が形成される基板上に複数の強誘電体キャパシタを形成し、前記第１の工程で取得された疲労特性の面内分布から、前記半導体装置が形成される基板上の特定領域を指定し、前記特定領域に形成された前記強誘電体キャパシタについて疲労特性を測定し、前記特定領域の強誘電体キャパシタについて測定した前記疲労特性に基づき、前記特定領域の強誘電体キャパシタについて良否判定を行い、前記良否判定の結果が良であれば、前記複数の強誘電体キャパシタの全てについて良と判定する。 （もっと読む）

【課題】高周波回路に於いては、トランジスタ等の能動素子間および能動素子と外部端子の間を直流的に遮断する必要がありため、ＭＩＭキャパシタ等が多用される。これらのＭＩＭキャパシタのうち、外部端子に接続されたものは、外部からの静電気の影響を受けやすく、静電破壊等の問題を発生しやすい。
【解決手段】本願発明は、半絶縁性化合物半導体基板上に形成された半導体集積回路装置であって、外部パッドに電気的に接続されたＭＩＭキャパシタの第１の電極は前記半絶縁性化合物半導体基板に電気的に接続されており、一方、前記ＭＩＭキャパシタの第２の電極は前記半絶縁性化合物半導体基板に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】容量値及びその変化量が大きく且つＱ値の高い可変容量素子を備える半導体装置及びその製造方法を実現する。
【解決手段】半導体装置は、可変容量素子を備え、当該可変容量素子は、半導体基板１１上に形成された下部電極１３と、下部電極１３上に形成された容量絶縁膜１４と、容量絶縁膜１４上に形成された上部電極１５とを備える。上部電極１５は、容量絶縁膜１４上に位置する低濃度不純物層１５ａと、低濃度不純物層１５ａ上に位置し且つ低濃度不純物層１５ａよりも不純物濃度が高い高濃度不純物層１５ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】堆積界面のない誘電体膜を有するＭＩＭキャパシタとその製造方法、並びにそのようなＭＩＭキャパシタを備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】ＭＩＭキャパシタは、半導体基板と、該半導体基板の上方に形成された下部電極１６と、該下部電極の上に形成された誘電体膜１８と、該誘電体膜の上に該下部電極と重なるように形成された上部電極２０と、を備える。そして、該下部電極の上面と側面は、該下部電極の中央部分の厚さよりも大きい曲率半径を持つ第１曲面で、角部が形成されないように接続され、該下部電極は、該下部電極の側面に該下部電極の中央部分の厚さよりも大きい曲率半径を持つ第２曲面を形成することにより、該下部電極の外周に向かうほど薄く形成されている。 （もっと読む）

【課題】縦構造キャパシタの剥離を防止し、チップサイズの増加を抑制した半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置には、第１の回路の機能素子として使用される第１の縦構造キャパシタと、第２の回路の機能素子として使用され、第１の縦構造キャパシタよりも容量値の大きい第２の縦構造キャパシタと、が含まれている。半導体装置では、第１の縦構造キャパシタを、第２の縦構造キャパシタに隣接、又は、包含させるようにレイアウトする。 （もっと読む）