【課題】周辺回路領域を整形された形状とすることによりチップ面積を縮小する。
【解決手段】Ｙ方向に延在する複数のデータバスＤＢがピッチＰ１でＸ方向に配列されたメモリセル領域４０と、対応する複数のデータバスＤＢにそれぞれ接続された複数のバッファ回路ＢＣが設けられたバッファ領域６１とを備える。バッファ領域６１上においては、Ｙ方向に延在する複数のデータバスＤＢがピッチＰ２でＸ方向に配列され、ピッチＰ２はピッチＰ１よりも小さい。本発明によれば、データバスＤＢの配列ピッチをバッファ領域上において縮小していることから、他の回路ブロックに割当可能な面積を十分に確保することが可能となる。これにより、当該回路ブロックの幅拡大や形状の変形が不要となることから、無駄な空きスペースが生じにくく、チップ面積を縮小することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンを含む半導体装置の信頼性を向上する。
【解決手段】本実施形態の半導体装置は、素子形成領域１００内の半導体素子と、素子形成領域１００内から引き出し領域１５０内に延在する複数の配線ＷＬと、引き出し領域１５０内の配線ＷＬに接続されるコンタクト部３９と、を具備し、配線ＷＬは、ｎ番（ｎは１以上の整数）の側壁膜のパターンに対応する（ｎ＋１）番目の側壁膜のパターンに基づいて形成され、配線ＷＬの配線幅ＷＷ又は素子形成領域１５０内の配線間隔ＷＤに対応する第１の寸法は、リソグラフィの解像度の限界寸法より小さく、露光波長がλ、レンズの開口数がＮＡ、プロセスパラメータがｋ１で示される場合、第１の寸法は、（ｋ１／２^ｎ）×（λ／ＮＡ）以下であり、引き出し領域内で互いに隣接する配線ＷＬの間隔ＷＣ２に対応する第２の寸法は第１の寸法より大きい。 （もっと読む）

【課題】パターンの微細化、特に、ＳＲＡＭのセル面積を縮小するためには、隣接ゲートの端部間距離を縮小することが重要となる。しかし、２８ｎｍテクノロジノードにおいては、ＡｒＦによる単一回露光でパターンを転写することは、一般に困難である。従って、通常、複数回の露光、エッチング等を繰り返すことによって、微細パターンを形成しているが、ゲートスタック材にＨｉｇｈ−ｋ絶縁膜やメタル電極部材が使用されているため、酸化耐性やウエットエッチ耐性が低い等の問題がある。
【解決手段】本願発明は、メモリ領域におけるｈｉｇｈ−ｋゲート絶縁膜およびメタル電極膜を有するゲート積層膜のパターニングにおいて、最初に、第１のレジスト膜を用いて、隣接ゲート電極間切断領域のエッチングを実行し不要になった第１のレジスト膜を除去した後、第２のレジスト膜を用いて、ライン＆スペースパターンのエッチングを実行するものである。 （もっと読む）

【課題】パターンの微細化、特に、ＳＲＡＭのセル面積を縮小するためには、隣接ゲートの端部間距離を縮小することが重要となる。しかし、２８ｎｍテクノロジノードにおいては、ＡｒＦによる単一回露光でパターンを転写することは、一般に困難である。従って、通常、複数回の露光、エッチング等を繰り返すことによって、微細パターンを形成しているが、ゲートスタック材にＨｉｇｈ−ｋ絶縁膜やメタル電極部材が使用されているため、酸化耐性やウエットエッチ耐性が低い等の問題がある。
【解決手段】本願発明は、メモリ領域におけるｈｉｇｈ−ｋゲート絶縁膜およびメタル電極膜を有するゲート積層膜のパターニングにおいて、ハードマスクに対して、２枚のレジスト膜を用いて、ライン＆スペースパターンおよび隣接ゲート電極間切断領域パターンのパターニングを実行し、パターニングされたハードマスクを用いて、ゲート積層膜のエッチングを実行するものである。 （もっと読む）

【課題】回路動作速度を犠牲にすることなく、待機時の消費電力を小さくすることが可能な半導体集積回路装置を提供する。
【解決手段】同一Si基板上に少なくともソース・ゲート間又はドレイン・ゲート間に流れるトンネル電流の大きさが異なる複数種類のMOSトランジスタを設け、当該複数種類のMOSトランジスタの内、トンネル電流が大きい少なくとも１つのMOSトランジスタで構成された主回路と、トンネル電流が小さい少なくとも１つのMOSトランジスタで構成され、主回路と２つの電源の少なくとも一方の間に挿入した制御回路を有し、制御回路に供給する制御信号で主回路を構成するソース・ゲート間又はドレイン・ゲート間に電流が流れることの許容／不許容を制御し、待機時間中に主回路のINとOUTの論理レベルが異なる際のIN−OUT間リーク電流を防止するスイッチを主回路のIN又はOUTに設ける。 （もっと読む）

【課題】配線層の空きスペースを利用して電源補償容量を形成する。
【解決手段】Ｙ方向に配列された複数のメモリマットＭＡＴと、Ｙ方向に隣接するメモリマットＭＡＴ間にそれぞれ配置されたセンス領域ＳＡと、カラム選択信号を生成するカラムデコーダ１３と、複数のメモリマットＭＡＴ上をＹ方向に延在し、カラム選択信号をカラムデコーダ１３から複数のセンス領域ＳＡに供給するカラム選択線ＹＳと、カラムデコーダ１３からみて最も遠いメモリマットＭＡＴａ上に設けられた電源補償容量３０とを備える。電源補償容量３０は、容量電極として機能する電源配線ＶＬ１，ＶＬ２を含み、その少なくとも一方がカラム選択線ＹＳと同じ配線層に形成されている。本発明によれば、カラム選択線ＹＳを形成する必要のないメモリマットＭＡＴａ上に電源補償容量３０を設けていることから、チップ面積を縮小することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、少ない工程で多層配線化を実現し、小面積で高機能な機能回路を有する配線基板及び半導体装置を提供する。またこのような高機能な機能回路を表示装置と同一基板上に一体形成した半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、絶縁表面を有する基板上に、第１の配線と、第２の配線と、第３の配線と、第１の層間絶縁膜と第２の層間絶縁膜と、第１のコンタクトホールと第２のコンタクトホールを有し、前記第２の配線の幅を前記第１の配線の幅より広いか、あるいは前記第３の配線の幅を前記第１の配線の幅もしくは前記第２の配線の幅より広く、且つ前記第２のコンタクトホールの直径を前記第１のコンタクトホールの直径より大きく形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】論理値の反転処理を行う回路をコアチップ側に設けることなく、ＴＳＶを含む電流パスラインのショート不良を検出する。
【解決手段】半導体装置１０は、第１及び第２の電流パスＳａ，Ｓｂと、これらとそれぞれ電気的に接続する第１及び第２のラッチ回路１００ａ，１００ｂと、第１のラッチ回路１００ａに第１のデータＤ１を供給するとともに、第２のラッチ回路１００ｂに第１のデータとは逆の論理値を有する第２のデータＤ２を供給するドライバ回路１０１と、第１のデータＤ１が第１のラッチ回路１００ａに供給され、かつ第２のデータＤ２が第２のラッチ回路１００ｂに供給されない第１の期間と、第２のデータＤ２が第２のラッチ回路１００ｂに供給され、かつ第１のデータＤ１が第１のラッチ回路１００ａに供給されない第２の期間と、が交互に繰り返されるよう、ドライバ回路１０１を制御する制御回路１０４と、モニタ回路１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】デバイス特性に優れた半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】実施の一形態の半導体装置は、第１および第２の領域を有する機能膜と、前記基板の前記第１の領域に設けられ、第１の幅を有する第１の溝と、前記基板の前記第２の領域に設けられ、第１の幅よりも広い第２の幅を有する第２の溝と、前記第１の溝を埋めるように高分子材料を前駆体として形成された第１の絶縁膜と、前記第１の幅を上回る直径を有し、前記第２の溝を埋める微粒子と、前記第２の溝内で前記微粒子間および前記微粒子と前記第２の溝との間隙を埋める前記高分子材料とを前駆体として形成された第２の絶縁膜とを持つ。 （もっと読む）

【課題】制御チップと複数の被制御チップが積層されたタイプの半導体装置において、コマンド信号よりも層アドレス信号を早く伝送させる。
【解決手段】互いに異なる層情報を保持する複数の被制御チップＣＣ０〜ＣＣ７と、被制御チップＣＣ０〜ＣＣ７に対して層アドレス信号Ａ１３〜Ａ１５及びコマンド信号ＩＣＭＤを共通に供給する制御チップＩＦとを備える。層アドレス信号Ａ１３〜Ａ１５を構成する各ビットは、複数の第１の貫通電極のうち、被制御チップごとに並列接続された少なくとも２本の貫通電極を経由して伝送され、コマンド信号ＩＣＭＤを構成する各ビットは、出力切り替え回路及び入力切り替え回路によって選択された対応する１本の貫通電極を経由して伝送される。これにより、コマンド信号ＩＣＭＤよりも先に層アドレス信号Ａ１３〜Ａ１５が各被制御チップに到達する。 （もっと読む）

【課題】積層型の半導体装置においていずれかのバンクがアクティブ状態であるか否かを判定する。
【解決手段】バンクアドレス信号ＢＡ及びアクティブ信号ＡＣＴ０を出力するインターフェースチップＩＦと、インターフェースチップＩＦに積層され、それぞれ対応するバンクアドレス信号ＢＡ及びアクティブ信号ＡＣＴ０を受けて独立にアクティブ状態となる複数のメモリバンクを備えるコアチップＣＣ０〜ＣＣ７とを備える。コアチップＣＣ０〜ＣＣ７は、其々に含まれる複数のメモリバンクの少なくとも１つがアクティブ状態であるか否かを示すローカルバンクアクティブ信号ＭＣＩＤＴをインターフェースチップＩＦに其々出力し、インターフェースチップＩＦは、ローカルバンクアクティブ信号ＭＣＩＤＴの少なくとも１つが活性状態を示すときにバンクアクティブ信号ＰＭＣＩＴを活性化させる。 （もっと読む）

【課題】貫通電極を有する積層構造の半導体装置、半導体メモリ装置、半導体メモリ・システム及びその動作方法を提供する。
【解決手段】複数の半導体レイヤ間で伝送される情報の衝突を防止する構造を有する半導体装置であり、該半導体装置は、第１温度情報を出力する第１温度センサ回路を含む少なくとも１つの第１半導体チップと、貫通電極に電気的に連結されずに、第１温度センサ回路に電気的に連結される第１バンプと、第１半導体チップの貫通電極に電気的に連結される第２バンプと、を具備する半導体装置であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体装置を高集積化する。
【解決手段】本実施形態の半導体装置は、絶縁体内に設けられ、半導体集積回路を含んでいる半導体基板７０と、絶縁体の開口部ＰＯＰを介してその上面が露出するパッド９０と、パッド９０下方において半導体基板７０のキャパシタ領域９１内に設けられる複数のキャパシタ１と、を具備し、キャパシタ１は、所定の被覆率を満たすように、パッド９０下方のキャパシタ領域９１内に設けられ、キャパシタ１の２つの電極にそれぞれ接続されるコンタクト１８Ａ，１８Ｇは、開口部ＰＯＰと上下に重ならない位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳプロセスで、ダイナミック型半導体記憶装置を形成し、ロジックとの混載に適したダイナミック型半導体記憶装置を実現する。
【解決手段】メモリセル（ＭＣ）のワード線（ＷＬ）を形成する導電線（３）とメモリセルセルプレート電極（ＣＰ）を形成する導電線（５）とを、異なる配線層に形成する。対をなすビット線に並行してメモリセルを接続し、２つのメモリセルで１ビットのデータを記憶する。 （もっと読む）

【課題】 省スペースによって従来よりも多くの論理回路及びヒューズブロックを設けることができる半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】 ヒューズ露出窓を介して外部に露出して互いに並置された複数のヒューズ片を各々が含む複数のヒューズブロックがゲートアレイの近傍において縦列に配置され、電源配線と接地配線とが当該ヒューズ片の並置方向に沿って延在しており、ヒューズブロックの配置のために当該ゲートアレイの近傍のスペースを活用した半導体記憶装置。 （もっと読む）

【課題】浅いトレンチ分離および基板貫通ビアの集積回路設計への統合を提供すること。
【解決手段】ＩＣを製造する方法は、第１の側、および第２の対向する側を有する基板を用意すること、基板の第１の側にＳＴＩ開口を形成すること、および基板の第１の側に部分的ＴＳＶ開口を形成すること、および部分的ＴＳＶ開口を延長することを含む。延長された部分的ＴＳＶ開口は、ＳＴＩ開口より基板内への深さが深い。方法はまた、ＳＴＩ開口を第１の固体材料で充填すること、および延長された部分的ＴＳＶ開口を第２の固体材料で充填することを含む。ＳＴＩ開口、部分的ＴＳＶ開口、または延長された部分的ＴＳＶ開口のいずれも、基板の第２の側の外面を貫通しない。少なくとも、ＳＴＩ開口および部分的ＴＳＶ開口は同時に形成され、またはＳＴＩ開口および延長された部分的ＴＳＶ開口は同時に充填される。 （もっと読む）

【課題】金属部材の劣化を抑えた集積回路装置の製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る集積回路装置の製造方法は、ハロゲンを含むガスを用いて金属部材をエッチングする工程と、エッチングされた前記金属部材を大気に曝すことなく、前記金属部材のエッチング面を覆うようにシリコン酸化膜を形成する工程と、前記シリコン酸化膜を除去する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数のメモリチップが積層された半導体装置においてリードライトバスの本数及び配線長を削減する。
【解決手段】積層された複数のメモリチップＣＣ０〜ＣＣ７を備え、各メモリチップは複数のメモリバンクＢａｎｋ０〜Ｂａｎｋ７と、各メモリバンクにそれぞれ割り当てられた複数のリードライトバスＲＷＢＳ０〜ＲＷＢＳ７と、リードライトバスにそれぞれ割り当てられ当該メモリチップを貫通して設けられた複数の貫通電極ＴＳＶ１とを備える。積層方向から見て互いに同じ位置に設けられた貫通電極ＴＳＶ１はチップ間において共通接続される。メモリチップのそれぞれは、アクセスが要求されたことに応答して積層方向から見て互いに異なる位置に設けられたメモリバンクを同時に活性化し、これにより、平面位置の異なる貫通電極ＴＳＶ１を介してデータの入出力を同時に行う。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜したＷ膜の膜厚面内均一性を向上させることが可能であり、さらにはパーティクルの発生を減少させることが可能なＷスパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】Ｗスパッタリングターゲットは、スパッタリングされる面のＸ線回折により得られた結晶面（１１０）のピークの半値幅が０．３５以下であることを特徴とする。また、本発明の高純度Ｗスパッタリングターゲットの製造方法は、高純度Ｗ粉末を加圧焼結後、得られた焼結体をターゲット形状に加工後、ロータリー研磨およびポリッシングの少なくとも１種の研磨を施し、さらにエッチングおよび逆スパッタリングの少なくとも１種の研磨を施すことにより仕上げ加工することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】活性領域におけるイオン濃度のばらつきを抑制すること。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、半導体基板にイオンを注入するための第１開口を有し、第１層ウェルを形成するための第１マスクを半導体基板上に形成する工程と、第１マスクを用いて半導体基板に第１イオンを注入して、第１領域及び第２領域を有する第１層ウェルを形成する工程と、半導体基板にイオンを注入するための第２開口を有し、第２層ウェルを形成するための第２マスクを半導体基板上に形成する工程と、第２マスクを用いて半導体基板に第２イオンを注入して、第１層ウェルより下方に位置する第２層ウェルを形成する工程と、を含む。第１領域を第２領域より第１層ウェルの外縁寄りに形成する。第１イオンを注入する際に、第１マスクの第１内壁面で反射した第１イオンを第１領域に供給する。第２イオンを注入する際に、第２マスクの第２内壁面で反射した第２イオンを第２領域に供給する。 （もっと読む）