【課題】隣接メモリセルへの漏洩電流を減らすフラッシュメモリ、特にチャージトラップメモリおよびそれを形成するプロセスフローの提供。
【解決手段】セルチャンネル６２０を含む半導体線が、ＳＴＩ領域１２０上に形成される。セルチャンネルは、トンネル酸化物層６２１、トラッピング誘電体層６２３、およびブロッキング誘電体層６２８を含む活性誘電体スタックで覆われる。結果として得られるセルチャンネルを分離するトレンチ６２５は、伝導層４６０で少なくとも部分的に充填され得る。活性誘電体層および／または伝導層の部分は、セルチャンネルの下、たとえば、セルチャンネルおよびＳＴＩ領域の間の界面６９５の下に位置し得る。そのような構成は、活性誘電体スタックおよび／または半導体層がセルチャンネルの下に位置しない構成に比べて、あるセルチャンネルから隣接セルチャンネルに拡散する荷電粒子６７０に対して経路長の増大をもたらす。 （もっと読む）

【課題】多層配線構造を使って、キャパシタンスが大きく、かつキャパシタンス値が安定なキャパシタ素子を半導体基板上に集積化する。
【解決手段】多層配線構造１８は、少なくとも第１層目の層間絶縁膜１６と、第１層目の層間絶縁膜中に埋設された第１配線層と、を含み、第１配線層は、第１の電源に接続され前記第１の層間絶縁膜中に埋設された第１の配線パタ―ン１５Ｃ１と、第２の電源に接続され前記第１の層間絶縁膜中に埋設された第２の配線パタ―ン１５Ｃ２と、を含み、第１の配線パタ―ンと前記第２の配線パタ―ンとは容量結合して第１のキャパシタを形成し、第１の配線パタ―ンは積層配線パタ―ン１３Ｃ上に形成されて、前記第４の電極パターン１３Ｇと容量結合して第２のキャパシタを形成し、第４の電極パターンは第２の配線パタ―ンに電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ゲート絶縁膜の厚さが異なる複数種類の電界効果トランジスタを有する半導体集積回路装置の信頼性を高める。
【解決手段】第１の電界効果トランジスタＱ３及び第２の電界効果トランジスタＱ４は埋込絶縁膜２５によって分離され、ゲート絶縁膜３１，３２は各々熱酸化膜２７、３０と堆積膜２７，２８，２９が積層され、第１の電界効果トランジスタの熱酸化膜は第２の電界効果トランジスタの熱酸化膜より厚く、各トランジスタの堆積膜は、各々各トランジスタの熱酸化膜よりも厚く構成され、第１の電界効果トランジスタのゲート電極は、ゲート幅方向における端部が埋込絶縁膜上に引き出され、かつ端部と埋込絶縁膜との間に第１の電界効果トランジスタの堆積膜が設けられ、第２の電界効果トランジスタのゲート電極は、ゲート幅方向における端部が埋込絶縁膜上に引き出され、かつ前記端部と埋込絶縁膜との間に第２の電界効果トランジスタの堆積膜が設けられる。 （もっと読む）

【課題】デバイス特性の劣化を抑制した不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１ダミーセル領域１２１に設けられた素子分離絶縁層３３と、第２ダミーセル領域１２２に設けられた素子分離絶縁層４３と、第１ダミーセル領域１２１と第２ダミーセル領域１２２との間の境界に位置する素子分離絶縁層５１とを備える。素子分離絶縁層３３の上面は、浮遊電極層３２の上面よりも低い高さに位置する。素子分離絶縁層４３の上面は、浮遊電極層４２の上面と同じ高さに位置する。浮遊電極層３２に隣接する素子分離絶縁層５１の上面の端部は、浮遊電極層３２の上面よりも低い高さに位置する。素子分離絶縁層５１の上面は、浮遊電極層３２の側面から浮遊電極層４２の側面へ向かって上昇する傾斜ＴＬを有する。 （もっと読む）

【課題】電荷を蓄積可能な電荷蓄積膜を有する不揮発性メモリセルを含む半導体装置において、データ保持特性劣化を改善し、その信頼性を向上させることにある。
【解決手段】半導体基板の主面に不揮発性メモリセルを含む半導体装置であって、不揮発性メモリセルは、半導体基板上に第１絶縁膜と、導電膜と、第２絶縁膜と、電荷を蓄積可能な電荷蓄積膜とを有する。また、電荷蓄積膜上に第３絶縁膜と、第１ゲート電極と、第１絶縁膜から前記第１ゲート電極までの一連の積層膜と接するように第４絶縁膜と、第１絶縁膜と並ぶように前記半導体基板上に第５絶縁膜とを有する。さらに、第５絶縁膜上に形成され、第４絶縁膜の側面に前記第１ゲート電極と隣り合うように第２ゲート電極と、第１ゲート電極と第２ゲート電極を挟むように半導体基板にソース領域およびドレイン領域とを有する。半導体装置は、導電膜と電荷蓄積膜が平面的に重なり合うように形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体記憶装置に適するトランジスタ構造及びその製作方法の提供。
【解決手段】デュアルチャネルトランジスタ５０は、少なくとも、第一方向に沿って伸展する第一ＳＴＩ（シャロートレンチアイソレーション）と第二方向に沿って伸展する第二ＳＴＩにより分離され、第一ＳＴＩと第二ＳＴＩが交差する半導体アイランド２２と、第二方向に沿って伸展し、半導体アイランドの表面から内側に向かって凹んだゲートトレンチ２６と、第二方向に沿って伸展し、ゲートトレンチ内に設けられたゲート３０と、第二方向に沿って設けられ、半導体アイランドの上面に設けられた第一ソース／ドレイン領域と、第一ソース／ドレイン領域の間に設けられた第一Ｕ字型チャネル領域６０と、第二方向に沿って設けられ、半導体アイランドの上面に設けられた第二ソース／ドレイン領域と、第二ソース／ドレイン領域の間に設けられた第二Ｕ字型チャネル領域６２とを備える。 （もっと読む）

【課題】メモリセルアレイの耐ストレス性を向上できるようにする。
【解決手段】局所選択ゲート電極ＣＳＧが、部分的にメモリセルトランジスタＭＴを選択（例えばメモリセルトランジスタＭＴ₀〜ＭＴ₇）することで、その他のメモリセルトランジスタＭＴ（例えばメモリセルトランジスタＭＴ₈〜ＭＴ₆₃）を非選択状態にすることができ、当該非選択状態とされたメモリセルトランジスタＭＴに高電圧を与える必要がない。 （もっと読む）

【課題】閾値電圧の制御性を向上させて形成された複数種類のトランジスタを備える不揮発性記憶装置、および、それに適した製造方法を提供する。
【解決手段】１つの半導体基板２の表面に形成された複数種類のＭＯＳトランジスタを有する不揮発性記憶装置であって、ｎ形のソース領域１４およびドレイン領域１５と、その間の半導体基板２の表面上に設けられたゲート絶縁膜１７と、ゲート電極１８と、ゲート絶縁膜１７の直下に位置し、ｎ形不純物とｐ形不純物との両方を含むチャネル領域４２と、を有するＭＯＳトランジスタ１０と、ｎ形のソース領域２４およびドレイン領域２５と、その間の半導体基板２の表面上に設けられたゲート絶縁膜２７と、ゲート電極２８と、ゲート絶縁膜２７の直下に位置し、ｎ形不純物の濃度プロファイルがチャネル領域４２と同じであるチャネル領域４３と、を有するＭＯＳトランジスタ２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高品質な半導体装置およびその製造方法を提供する
【解決手段】半導体基板１内に形成された一対の第１の不純物拡散領域１ｂと、一対の第１の不純物拡散領域１ｂに挟まれ、一対の第１の不純物拡散領域１ｂに隣接して形成され、第１の不純物拡散領域１ｂと同じ導電型且つ第１の不純物拡散領域１ｂよりも不純物濃度の低い一対の第２の不純物拡散領域１ａと、一対の第２の不純物拡散領域１ａに挟まれたチャネル領域と、第１の不純物拡散領域１ｂ上に形成された周辺絶縁膜４と、第２の不純物拡散領域１ａ上およびチャネル領域上に形成され、周辺絶縁膜４よりも膜厚の厚いゲート絶縁膜３と、ゲート絶縁膜３上且つチャネル領域の略直上に形成されたゲート電極５とを備える。 （もっと読む）

【課題】安定した容量を確保し配置面積低減が可能なキャパシタ素子を有する半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】第１の上面１２ａを有するメモリセル領域１及び第１の上面１２ａより裏面に近い第２の上面１２ｂを有する周辺回路領域３を有する半導体基板１１、メモリセル領域１の第１の上面１２ａ上のトンネル絶縁膜１３ａ及びトンネル絶縁膜１３ａ上の下層電極膜１５ａを有するメモリセルトランジスタ１ａ、トンネル絶縁膜１３ａより厚い周辺回路領域３の第２の上面１２ｂ上のゲート絶縁膜１３ｂ及び下層電極膜１５ａと同じ膜厚のゲート絶縁膜１３ｂ上の下層電極膜１５ｂを有する高電圧トランジスタ３ａ、並びに周辺回路領域３にあり、第１及び第２の上面１２ａ、１２ｂをそれぞれ上端面及び底面とする凹凸面に沿ったキャパシタ誘電体膜１３ｃ及びキャパシタ誘電体膜１３ｃ上の下面に凹凸をなす下層電極膜１５ｃを有するキャパシタ素子３ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】トランジスタ間の分離性が良好な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置において、第１導電型の半導体基板と、前記半導体基板の上層部分を複数の能動領域に区画する素子分離絶縁膜と、前記能動領域の上部に相互に離隔して形成された第２導電型のソース層及びドレイン層と、前記半導体基板上における前記ソース層と前記ドレイン層との間のチャネル領域の直上域に設けられたゲート電極と、前記半導体基板と前記ゲート電極との間に設けられたゲート絶縁膜と、第１導電型であり、実効的な不純物濃度が前記半導体基板の実効的な不純物濃度よりも高く、前記能動領域における前記ソース層及び前記ドレイン層の直下域に形成され、前記ゲート電極の直下域には形成されていないパンチスルーストッパ層と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】フラッシュメモリの製造工程において、エッチングによるＳＴＩ膜の膜減りを抑制することができる製造方法と、それを可能にするスプリットゲートタイプのＭＯＮＯＳ型フラシュメモリ構造を提供する。
【解決手段】ワードゲートとコントロールゲートを含むスプリットゲートタイプのＭＯＮＯＳ型フラシュメモリの製造方法であって、ＳＴＩによって分離された半導体基板の不純物拡散層上に、酸化膜を挟んだワードゲートを形成する工程と、該ＳＴＩとワードゲートが形成された半導体基板の表面全体に酸化膜、窒化膜、酸化膜の順に成膜されるＯＮＯ層を形成する工程と、該ＯＮＯ層の上にコントロールゲート用導電膜（１０）を形成する工程と、該コントロールゲート用導電膜の表面全体にマスク用絶縁膜（２６）を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】埋立ビットラインを有する半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】埋立ビットラインを備えて低抵抗を有する垂直ピラートランジスタを含む半導体装置及びその製造方法が開示される。垂直ピラートランジスタは、基板上に形成され、下部と上部を有する本体、本体の上部に配置されるソース／ドレインノード、そして、本体の下部に配置されるドレイン／ソースノードを含む。半導体装置は、少なくとも本体の下部の上部表面に形成され、金属シリサイドを含む前記埋立ビットライン及び前記本体の上部を部分的に包むワードラインを備える。 （もっと読む）

【課題】正確なデータの読み出しが可能な半導体記憶装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、基板と基板の表面に形成された周辺回路とを有する基体と、基体上にそれぞれ交互に積層された複数の導電層と複数の絶縁層とを有する積層体と、積層体の積層方向に形成されたメモリホールの内壁に設けられた電荷蓄積膜を含むメモリ膜と、メモリホール内におけるメモリ膜の内側に設けられたチャネルボディと、積層体を貫通して設けられたコンタクトプラグと、周辺回路と積層体との間に設けられコンタクトプラグの下端部に接続されたグローバルビット線と、積層体の上に設けられ、その延在方向に分断された複数のローカルビット線であって、チャネルボディに接続されると共にコンタクトプラグを介してグローバルビット線に対して共通に接続された複数のローカルビット線と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】電極構造体を具備するキャパシタ、その製造方法及び電極構造体を含む半導体装置を提供すること。
【解決手段】構造的安全性及び電気的特性が改善された電極構造体を有するキャパシタとそのような電極構造体が適用された半導体装置が開示される。電極構造体は絶縁層を有する基板、絶縁層を埋め立てる金属を含む第１導電パターン、第１導電パターンから延びて金属酸化物を含む第２導電パターン、そして第２導電パターン上に配置される第３導電パターンを含むことができる。写真エッチング工程を利用せずに簡単な工程で要求されるレベルの電気的な特性と集積度を確保することのできるキャパシタと半導体装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】メモリ混載ロジックデバイスのＲＡＭ領域の閾値電圧のばらつきを低減する。
【解決手段】本発明の半導体装置は、ロジック領域１０１と、ＲＡＭ領域１０２とが設けられたシリコン基板１と、ロジック領域１０１に形成されたＮＭＯＳトランジスタ２０と、ＲＡＭ領域１０２に形成されたＮＭＯＳトランジスタ４０と、を備える。ＮＭＯＳトランジスタ２０、４０は、ゲート絶縁膜５とメタルゲート電極６との順でシリコン基板１上に積層された積層構造を有する。ＮＭＯＳトランジスタ２０は、シリコン基板１とメタルゲート電極６との間に、構成元素として、ランタン、イッテルビウム、マグネシウム、ストロンチウム及びエルビウムからなる群から選択される元素を含む、キャップメタル４を有する。ＮＭＯＳトランジスタ４０には、キャップメタル４が形成されていない。 （もっと読む）

【課題】ＤＲＡＭと論理集積回路とを混載したシステムオンチップ構造の半導体集積回路装置において、ＤＲＡＭと論理集積回路のそれぞれの性能を共に維持しながらワンチップ化を実現する。
【解決手段】ＤＲＡＭと論理集積回路とを混載したシステムオンチップ構造の半導体集積回路装置において、ＤＲＡＭの直接周辺回路を構成するＭＩＳＦＥＴ（Ｑｎ_１、Ｑｐ_１）のソース、ドレインの表面と、間接周辺回路を構成するＭＩＳＦＥＴのソース、ドレインの表面と、論理集積回路を構成するＭＩＳＦＥＴ（Ｑｎ_２、Ｑｐ_２）のソース、ドレインの表面にシリサイド層（２０）を形成し、ＤＲＡＭのメモリセルを構成するメモリセル選択用ＭＩＳＦＥＴ（Ｑｓ）のソース、ドレインの表面にはシリサイド層を形成しない。 （もっと読む）

【課題】メモリセルアレイ端部の耐圧を向上させる。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置１０は、メモリセルトランジスタが配置される第１の領域と、メモリセルトランジスタに電気的に接続されたワード線を引き出す電極２１が配置される第２の領域と、周辺トランジスタが配置される第３の領域とを有する。第１の領域には、第１の幅を有する複数の第１のアクティブ領域ＡＡ１が設けられ、第２及び第３の領域にはそれぞれ、第１の幅より広い第２の幅を有する複数の第２及び第３のアクティブ領域ＡＡ３，ＡＡ５が設けられる。第２の領域の素子分離層２３Ｂの上面は、第１の領域の素子分離層２３Ａの上面より高く、第２の領域の電荷蓄積層３２Ｂは、上部の角の曲率半径が、第３の領域の電荷蓄積層４３よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】メモリセル領域の配線容量を低減し、かつ、周辺回路領域の配線抵抗を低減した半導体装置とその製造方法の提供。
【解決手段】本発明の半導体装置の製造方法は、メモリセル領域に縦型ＭＯＳトランジスタを、周辺回路領域にプレーナ型ＭＯＳトランジスタを形成し、前記縦型ＭＯＳトランジスタ上に深孔型立体キャパシタ素子１０を形成する第１工程と、キャパシタ素子１０上にメモリセル領域全体を覆うようにキャパシタ上部電極層３１を形成し、前記メモリセル領域の上面の位置を、前記周辺回路領域の上面の位置よりも高く設定する第２工程と、前記周辺回路領域に第２コンタクトプラグ３５を形成する第３工程と、前記メモリセル領域のキャパシタ上部電極層３１上にセル部上部配線３８を形成し、前記周辺回路領域に第２コンタクトプラグ３５と接続し、セル部上部配線３８よりも鉛直方向の膜厚が厚い周辺部上部配線３９を形成する第４工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型化が容易な不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に、不純物が導入された半導体膜と不純物が導入されていない半導体膜とを交互に積層させて積層体を形成し、第１領域において貫通ホール及びスリットを形成する。そして、貫通ホール又はスリットを介したエッチングにより、不純物が導入されていない半導体膜における第１領域に配置された部分を除去し、第２領域に配置された部分を残留させる。次に、不純物が導入されていない半導体膜を除去した空間に絶縁材料を埋め込む。次に、貫通ホールの内面上に電荷蓄積膜を形成し、貫通ホール内に半導体ピラーを形成する。次に、第２領域において、積層体を貫くコンタクトホールを形成し、その側面上にスペーサ絶縁膜を形成し、その内部にコンタクトを形成する。 （もっと読む）