【課題】圧力調整弁の開弁時における流量の増大を図る。
【解決手段】圧力調整弁は、１次側流路と２次側流路の間に開閉可能に設けられ、両流路間を流れる流体の流量を調整する弁体を備える。そして、この弁体に対しては、１次側流路１０４の壁面から離れた位置に設けられた開口部１３２によって取り込まれた流体の静圧が、その閉方向に作用される。開口部１３２では、流体の速度が速く、低い静圧を有する。したがって、弁体の開弁時には、流体の流れに鋭敏に反応して開弁量が増大するため、十分な流量を流すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 レギュレータ本体を大型化することなく、非常に高圧の流体であっても精度良く調圧することができる流体用レギュレータを提供すること。
【解決手段】 流体用レギュレータ１では、調圧室９を、大径部９ａと小径部９ｂとを有するシート７側に凸となる段差形状として、小径部９ｂの径がシート７の外径よりも小さくしている。このため、シート７と小径部９ｂの底面との間の肉厚Ｔｉｎが従来のままで、シート７と大径部９ａの底面との間の肉厚Ｔｏｕｔが厚くなっている（Ｔｏｕｔ＞Ｔｉｎ）。これにより、流通路８の長さが変わらないので調圧バルブ１１のロッド１２を長くする必要がないので、レギュレータ本体を大型化させることなく、ボデー２のＡ部付近の肉厚を厚くして剛性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】燃料電池自動車に搭載されている燃料電池に供給する水素の圧力を制御する水素圧力制御装置として好適に用いることができる流体圧力制御装置を提供する。
【解決手段】水素ガス圧力制御弁１００は、第１ダイアフラム１２１と第２ダイアフラム１２２を挟んで背圧室１３１と調圧室１１１が設けられている。背圧室１３１には、制御用流入口１３５を介して加圧空気が流入する。また、背圧室１３１内の加圧空気は、制御用流出口１３７に連接して設けられている電磁弁２００によって排出される。制御装置は、入力信号に応じたデューティ比を有する電力パルスを、電磁弁２００のソレノイドコイル２１４に供給する。 （もっと読む）

【課題】
高圧流体を大流量の条件下で調節弁を用いて急激に減圧すると、気体の膨張により流体自身の温度が急激に低下し、調節弁の下流部の温度が氷点下になる可能性がある。気体中に水分が含まれている場合、縮流部である弁孔の弁座−弁体−弁座間隙の流路表面で水分が凍りつき、弁体の動きを妨げ、流体制御に支障をきたすことがある。これにより、気体の脈動、調節弁の異常振動、弁座のエロージョン、騒音等を引き起こし、気体供給システムの健全な運転の維持は困難となる。流体圧力の制御機器では弁座付近の縮流部が氷結しても流体制御を可能とすることが重要である。
【解決手段】
制御対象の流体流路に沿って、遮断弁（２）と、調節弁（３）と、圧力センサー（４）とを一体化して設け、該圧力センサー（４）の検出圧力信号をもとに、遮断弁（２）と、調節弁（３）とを自動制御することを特徴とする流体制御装置。 （もっと読む）

【課題】中空体内の圧力を一定に維持するために調圧用ガスの供給量を制御する。
【解決手段】圧力制御装置１０は、熱処理装置２０のマッフル２１内の圧力を一定に維持すべく、流量計２、圧力センサ３、制御回路４、マスフローコントローラ６、ポンプ７を備えている。流量計２が規定する一定の流量で、供給管１１を介してマッフル２１内に充填用ガスは供給される。ポンプ７は、排気管１２を経由してマッフル２１内の充填用ガスを外部に排出する。制御回路４は、圧力センサ３が検出したマッフル２１内の圧力が規定値よりも高いか低いかに応じて、マスフローコントローラ６に設定すべき調圧用ガスの供給量を減少又は増加させる。 （もっと読む）

【課題】 振動緩衝装置を備えた流体制御装置を提供する。
【解決手段】 この流体制御装置は、ハウジング１０４と、外周面を有しているとともにハウジング内の流体流量制御部材１１６の位置を制御するためにハウジング内の圧力に応答するように構成されているピストン１２６とを備えており、また、ハウジングに結合されているとともにピストンのうちの少なくとも一部を受容するように構成されている開口部１３６を有しているガイドリング１３４と、ピストンの外周面と摩擦係合するためにガイドリングとピストンとの間に配設されている振動緩衝器１３２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りながらも流体の流れを遮断でき且つ高圧の流体に対応可能なマイクロレギュレータを提供する。
【解決手段】弁体形成基板２０とベース基板１０との間にベース基板１０の流入口１１を通して流体が充填される流体充填空間４０が形成され、弁体形成基板２０とベース基板１０とで構成されて流体充填空間４０を外部と隔てる第１の隔壁に流体の流出口１２が形成され、弁体形成基板２０と変位空間形成基板３０とで構成される第２の隔壁により囲まれた閉鎖空間５０に受圧媒体が封入され、第２の隔壁の一部に、流体充填空間４０に充填された流体の流体圧を受けて閉鎖空間５０の容積が変化するように変形することで弁体部２３が流入口１１を閉止するように弁体部２３に圧力を作用させる圧力伝達手段たる圧力伝達部２８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】調節ねじへの二次側圧力の影響を排除することにより、調節ねじの操作を軽くすることができる減圧弁装置を提供すること。
【解決手段】調節ねじ機構１０を、ばね押えピストン８から延設されシリンダ５を貫通するスリーブ８１と、スリーブ８１を貫通し、外側でシリンダ側の雌ねじ１２ａと螺合するとともに、スリーブ８１によって二次側圧力が作用しないようにした調節ねじ１１とで構成する。 （もっと読む）

【課題】 地震等の不慮の災害に備えて流量計にはガス遮断機構が設けられている。しかし、地震等で家屋が破壊された場合、ガスボンベと流量計の間には前記圧力調整器や流量計までに配管があり、この配管部分が破損してガスの大気への拡散の危険性がある。
【解決手段】 本発明の圧力調整器は、ガス流入口を開閉する弁体と、リンク機構を介して前記弁体を駆動するレバーと、前記レバーと係合されたステムと、前記ステムを上下動させるシャフトと駆動装置からなる圧力調整器で、前記駆動装置が電気信号によって駆動されると前記シャフトと前記ステムと前記レバーを機械的に動作させて、前記弁体を閉塞させる機構を有する。 （もっと読む）

【課題】圧力調整器に直接装着することが可能な構造を有することで、コンパクト且つ取り付け作業性が良好な圧力調整器マウント用ディジタル表示計を得る。
【解決手段】正面に調整ハンドル３１を有し一次圧力及び二次圧力をそれぞれ測定するための各圧力センサ５０を設けた圧力調整器３０に対し装着され、前記一次圧力及び二次圧力を表示するな圧力調整器マウント用ディジタル表示計１であって、正面側にディジタル表示部２１を有し前記圧力調整器の上方に位置する匡体２０を設け、該匡体内には、前記各圧力センサ５０からの信号線に接続され各圧力値をディジタル表示するためのデバイスが収納され、前記匡体２０は、その前面又は後面に固定される平面パネル１０（背面パネル１５）により圧力調整器３０に装着して成る。 （もっと読む）

【課題】 加圧流体を調圧機構を解して減圧する圧力調整器において、小型化を可能にし、さらに溶解性の高いガス等の流体に対しても長時間使用可能とする。
【解決手段】 圧力調整器は、流体供給源から１次圧力の加圧流体が供給される入口孔２１および減圧された２次圧力の加圧流体が排出される排出孔２２を有するとともに入口孔２１から排出孔２２に至る流路が内部に形成されたハウジング２と、流路の途中に配置されて、１次圧力を２次圧力に減圧する調圧機構とを備える。調圧機構が、流体の圧力変動に応じて変位するダイヤフラム８を含む移動体７を有する。入口孔２１と移動体７が、前記ダイヤフラムの変位する方向と略直交する方向に並んでいる。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内を排気し、その後ガスを導入して一定の流量とガス圧に制御するような場合に、容易に制御出来る圧力・流量コントロールシステムを提供する。
【解決手段】圧力と流量の両方をセンシングできるセンサチップと、センサチップからの信号を設定値と比較して設定圧力・流量に制御するためのコントローラと、コントローラからの制御信号により圧力・流量を制御するコンダクタンスバルブとニードルバルブとで圧力・流量自動制御システムを構成した。
センサチップは、シリコン基板を用いて製作される。基板から熱分離された薄膜上に、薄膜ヒータと１個以上の温度センサを集積化させる。温度センサを用いて圧力または流量変化による温度差を検出できる。時分割で測定すれば、圧力・流量を１個のセンサチップで測定出来る。 （もっと読む）

【課題】 圧力調整器において、加圧流体の過大な１次圧力によっても調圧機構が破損することのない比較的簡単な構成且つ信頼性の高いものとし、また圧力調整器単体で調圧機構を保護することができるようにする。
【解決手段】 １次圧力の加圧流体が供給される入口孔７６および減圧された２次圧力の加圧流体が排出される排出孔３８を有するとともに入口孔７６から排出孔３８に至る流路が内部に形成されたハウジング５と、流路の途中に配置されて、１次圧力を２次圧力に減圧する調圧機構とを備えた圧力調整器１において、調圧機構は、流体の圧力の変動に応じて変位する、ダイヤフラム１２を含む移動体を有し、移動体は、１次圧力が過大になった際に、ハウジング５の一部に当接して移動体の過度の変位を阻止する当接部１４ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】新規な構造と機構を有する、精密制御で、誤作動のない、供給能力が十分でなかったり、供給側の圧力変動が大きい場合でも、安定した供給が可能になる流体圧力調整装置を提供することである。
【解決手段】流体流路の一次側と二次側の間に設けられ、二次側流体圧力を所定範囲に保持するための流体圧力調整装置において、二次圧力又は一次圧力を測定するために二次側又は一次側の流路に圧力センサを設け、該圧力センサで測定した圧力信号を、演算部を有する制御回路に送り、一次側と二次側の間に、ソレノイドに直結した圧力調整弁を設け、その流路特性に適するように、流路特性を配慮して演算して得た制御信号により該ソレノイドを制御する制御回路を有することを特徴とする電子式流体圧力調整装置である。 （もっと読む）

気体貯蔵器から気体作動装置への気体の圧力を制御する気体調整組立体が、一対の気体調整器を包囲している主筐体を含んでいる。これらの気体調整器は、高圧気体を受け入れるための入口と制御済圧力気体を解放するための出口との間で主筐体内に直列に並べられている。入力及び出力を定める封止可能弁を各々の気体調整器が含んでおり、シリンダ及び棒を有するピストンを各々の弁が含んでいる。上記ピストンシリンダを対応する上記入口から離隔させるためにばねが上記ピストンに隣接しており、上記ばねによって上記ピストンシリンダに印加される力を調節するために詰め物が上記ばねに近接している。夫々の気体調整器の夫々の出口において所定圧力が達成されるまで気体が対応する気体調整器を縦走することを各々の弁が可能にし、その達成時点でその所定圧力が対応する弁を閉じる。
（もっと読む）

【課題】チェインバを大気中に解放したときにパーティクルが流入するのを防止する。
【解決手段】入口ポート２２、出口ポート２４及びパイロット室を具えた本体２０と、ばね４８によって本体２０上部に取付けられ、滑り面２９ａ，２９ｂに対して軸方向に摺動可能に保持されたスプールと、入口ポート２２の気体の圧力を検知する絶対圧センサＳＡ及び入口ポート２２の気体の圧力と大気圧との差を検知する差圧センサＳＢと、パイロット室に圧力調整用ガスを供給する制御バルブＶと、各センサＳＡ，ＳＢの切換信号を送り、各センサＳＡ又はＳＢの出力に基づいて制御バルブＶを駆動する制御回路からなる。成膜時には、絶対圧センサＳＡで検知した入口ポート２２の圧力Ｐ１を用いて入口ポート２２の絶対圧が制御され、チェインバ解放時には、差圧センサＳＢの出力を用いて、チェインバ内部の圧力が大気圧に戻される。 （もっと読む）

【課題】 導入ガスの圧力が高まっても応答性が低下しない調圧器、およびその調圧器を備える燃料電池システムを提供する。
【解決手段】 水素ガスが導入される調圧室１３と、調圧室１３に連通する流路と、調圧室１３への水素ガスの流入量を調節する弁体３２と、水素ガスが導入される背圧室３８と、背圧室３８に連通する流路と、弁体３２を付勢する各スプリング１７，３３とを備える調圧器ＲＧにおいて、調圧室１３および調圧室１３に連通する流路によって第１のヘルツホルム共鳴器を構成し、背圧室３８および背圧室３８に連通する流路によって第２のヘルツホルム共鳴器を構成し、弁体３２および各スプリング１７，３３によって構成される機械振動系の共振周波数を、各ヘルツホルム共鳴器の共鳴周波数と一致させる。 （もっと読む）

【課題】 延長ホ−ス先のノズル等の閉開が，元栓側に設けた弁が連動する様に装置した自動弁装置を提供する。
【解決手段】 元栓に取付けた，メンパイプ（１）を貫いて自動弁室（２），副自動弁室（３）を設け，圧力の変化で両方の内側を移動する様に設けた，動弁体（４）の往復運動が，弁の閉開をする様にした「請求項１」の自動弁装置。 自動弁室（２）の隣に補助弁室（１５）を設け，内部に設けた補助弁（１６）の往復運動が，動弁体（４）の運動を後押しする様にした，「請求項２」の自動弁装置。 自動弁室（２），副自動弁室（３）の装置の代わりに，ベロ−ズ（２４）の弾性力を利用しての，動弁体（４）の往復運動が弁の閉開をする，「請求項３」の自動弁装置。 （もっと読む）

【課題】バタフライバルブを備える圧力調整器において、バタフライバルブの下流のバルブ下流圧力はほぼ一定に制御する必要があるにもかかわらず、バタフライバルブの下流の機器の作動状況に影響されて変化すると言う不具合が生じた。
【解決手段】吸気管路２内に配置されるバタフライバルブ３と、バタフライバルブ３を開閉する駆動部４とを備え、バタフライバルブ３の上流圧力を駆動力にしてバタフライバルブ３の下流圧力をほぼ一定に調圧する圧力調整器１であって、バタフライバルブ３より下流の全圧と静圧との差圧を検出するとともに検出した差圧に基づいて下流圧力を補正して駆動部４に供給する下流フィードバック圧力補正機構６を備えている。したがって、バタフライバルブ３の下流の流量変化により変化する圧力の変動を抑制して調圧精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】ガス圧力調整器および調整器の組立および分解方法
【解決手段】ガス圧力調整器（１）は、第１のガス入口管（４）および第２のガス出口管（６）、ガスが第１管（４）から第２管（６）に流れる校正ガス通路（８）、本体（２）に少なくとも部分的に収容され、校正通路（８）の開口を調整するために第１定義線（Ｄ）に沿って長手方向 に移動するシャッタ（９）、シャッタ（９）を駆動するためのデバイス（１４）およびシャッタ（９）の運動に対抗する調整器ばねユニット（３０）を有する本体（２）を備えている。 （もっと読む）