【課題】一次圧が低下しても取出しガス流量が低下せず、ガス容器内に残圧を確保しながら、ガス充填時に簡単に開弁でき、しかも減圧したガス圧力を所定の二次圧に精緻に制御できるようにする。
【解決手段】減圧部材(16)を開弁バネ(18)で開弁方向へ付勢する。減圧部材(16)を挟んで減圧弁座(15)とは反対側に受圧室(19)を形成し、減圧部材(16)に透設した減圧連通路(20)を介して出口路(11)に連通させる。出口路(11)に残圧保持弁箱(24)を減圧部材(16)に対し進退自在に配置する。残圧保持弁箱(24)の外面に閉止操作部(31)を設けて減圧連通路(20)に臨ませる。残圧保持弁箱(24)とハウジング(２)との間に戻しバネ(34)を配置して、残圧保持弁箱(24)を減圧部材(16)から離隔したガス取出し姿勢(Ｙ)へ付勢する。残圧保持弁箱(24)を減圧部材(16)に近接したガス充填姿勢に切り換えると、閉止操作部(31)で減圧連通路(20)を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】付勢手段を有する減圧弁において、ピストンの傾きを抑える減圧弁を提供することである。
【解決手段】減圧弁１０は、１次圧流体が供給される入力室１１３と、連通路１１１を介して入力室１１３と接続され、２次圧流体が出力される出力室１１４と、出力室１１４の内壁に沿い軸方向に移動可能なピストン１０８と、ピストン１０８を軸方向に付勢する付勢手段と、ピストン１０８と連動して軸方向に移動し、連通路１１１を開閉する弁体１１０と、を備え、付勢手段は、出力室１１４内に配置され、有効巻数がｎを整数として、ｎ＋０．５のコイルバネ１０４である。 （もっと読む）

【課題】 腐食性ガスを含めて、あらゆるガス種を対象とする流量制御器の流量校正を簡単に行うことが出来、しかも安価で且つ高流量制御精度を備えた圧力制御式流量基準器を提供する。
【解決手段】 校正用ガス供給源からの校正ガスの圧力を調整する圧力制御器と、圧力制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた被校正流量制御器の接続口と、被校正流量制御器の下流側の接続孔に接続した基準圧力式流量制御器と、基準圧力式流量制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた真空ポンプとから圧力制御式流量器準器を校正する。 （もっと読む）

【課題】 非臨界膨張条件にある流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】 流量制御用のオリフィス４と、オリフィス４の上流側配管に設けられたコントロールバルブ２２と、オリフィス４とコントロールバルブ２２の間に設けて上流側圧力Ｐ_１を検出する上流側圧力センサ１０と、オリフィス４の下流側配管に設けて下流側圧力Ｐ_２を検出する下流側圧力センサ１２と、上流側圧力Ｐ_１と下流側圧力Ｐ_２によりオリフィス通過流量を流量式Ｑｃ＝ＫＰ_２^ｍ（Ｐ_１−Ｐ_２）^ｎによって演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置であって、上流側圧力センサ１０又は下流側圧力センサ１２は圧力を受けたときに電気抵抗が変化する抵抗素子から構成され、この圧力センサとしての抵抗素子を同時に温度センサとしても用いる。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ１６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流量計１２で計測した流入流量をフィードバック制御する流入流量制御系を構成すると共に、流入流量と圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値とに基づいて等温化圧力容器１３から流出する流出流量を推定するオブザーバを構成し、推定した流出流量を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

【課題】ピストン型の減圧弁において、シリンダとピストンとの摩擦によって生じる摩擦粉に起因したガス漏れを抑制する。
【解決手段】減圧弁１００は、シリンダ１０と、シリンダ１０内を往復動するピストン２０と、ピストン２０の外周部に設けられ、ピストン２０とシリンダ１０の内壁面との間の気密性を確保するＵシール３０と、ピストン２０が往復動の方向に対して傾いた状態でシリンダ１０内を往復動した場合に、ピストン２０の一部とシリンダ１０の内壁面との摩擦を抑制する摩擦抑制機構と、を備える。摩擦抑制機構として、例えば、Ｕシール３０をピストン２０に固定するためのナット２４に、ナット２４とシリンダ１０の内壁部との衝突を抑制するための切り欠き部２４Ｒを設ける。 （もっと読む）

【課題】低圧または高圧、少量または大量、バースト的供給または連続的供給をそれぞれ選択して空気／ガスを供給できるようにするとともに、供給源の空気／ガスの圧力が低下しても安定した圧力で空気／ガスを出力する。
【解決手段】レギュレータ１は、圧縮空気を使ったツールに動力を供給するためのシステムで用いられる。レギュレータ１は、高圧ガス供給源とガス流を交換するための高圧入力開口部１１と、高圧ピストンアセンブリ４０と高圧力カートリッジ３とを含み、高圧チャンバ１４と低圧チャンバ１６の間でガスの供給を制御する高圧サブアセンブリと、低圧ピストンアセンブリ８０とスプリングシート６１とスプリング６２と低圧レギュレータピン６３とを含み、低圧チャンバ１６と出力チャンバ１９の間でガスの供給を制御する低圧サブアセンブリと、出力チャンバ１９とガス流を交換する出力ポート１８と、を備える。 （もっと読む）

モジュラー式インライン型流体調整装置について記載する。記載するある例示的なモジュラー式流体調整システムは、本体を備えており、この本体は、流体の入口と、もう一方の流体調整装置のねじが設けられた開口に螺合して第１の調整装置と第２の調整装置を直列に流体連通させるねじが設けられた外面とを有する。この例示的な流体調整設備はまた、第１の流体調整装置を通過する流体の流れを調整する弁と、この弁の位置を調整して第１の流体調整装置の出口における出力圧力を調整する、この弁に作動可能に結合された圧力検出部材も備える。圧力検出部材及び弁は、ねじが設けられた開口に近接した第２の流体調整装置のキャビティ内に収容されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】流量制御機器が流量制御を開始した直後から流量特性を検定することができる流量検定システムを提供すること。
【解決手段】第１遮断弁７Ａと、第１遮断弁７Ａの下流側に配置された流量制御機器８Ａと、流量制御機器８Ａの下流側の圧力を測定する圧力センサ１２とを有するガス配管系の流量を、圧力センサ１２が測定した圧力に基づいて検定する流量検定システム１６において、流量制御機器８Ａの正常時に圧力センサ１２が測定する圧力を積算した標準値を記憶する標準値記憶手段２７と、第１遮断弁７Ａを介して流量制御機器８Ａに供給され、流量制御機器８Ａに流量を制御されたプロセスガスを、圧力センサ１２に供給したときに、圧力センサ１２が測定する圧力を積算して圧力積算値を算出し、圧力積算値を標準値と比較して、流量の異常を検知する異常検知手段１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程で使用する真空圧力制御システムにおいて、給気したガスを正確な真空圧力値で迅速に保持できると共に、このガスを真空容器外に迅速に排気可能な真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空圧力制御システム１は、真空チャンバ１１と、真空チャンバ１１内のガスを吸引する真空ポンプ１５と、真空チャンバ１１と真空ポンプ１５との間に接続し、動力源として、エア供給源２０から供給される駆動エアＡＲにより、弁開度ＶＬを変化させて真空チャンバ１１内の真空圧力を制御する真空開閉弁３０と、真空開閉弁３０を制御する真空圧力制御装置７０と、真空開閉弁３０の弁開度ＶＬを制御するサーボ弁６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、高圧ガス供給システムの運転時における遮断弁開弁時に、２次室側圧力のオーバーシュートと異音の発生を防止することができる減圧弁および該減圧弁を用いた高圧ガス供給システムを提供することにある。
【解決手段】本発明に関わる減圧用レギュレータは、１次側圧力室１８に連通する配管Ｈ１と２次側圧力室１９に連通する配管Ｈ２とが連通状態となり、レギュレータピストン体１１が、１次側圧力室のガス圧力により移動しケース１２に接触し停止した場合に、受圧部１１ｓが２次側圧力室１９の圧力を受ける受圧面積を確保するための凸状の突出部１１ｓ2を、少なくともレギュレータピストン体１１のケース１２との接触部１１ｓまたはケース１２のレギュレータピストン体１１との接触部１９ａの何れか一方に設けている。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の出力圧に応じて、この圧力調整弁を開閉制御して所定の出力圧を取出すようにした制御装置において、とくに開弁動作と閉弁動作の差異による応答性の相違に応じて、制御要素が最適な比例定数あるいはパラメータを設定できるようにする。
【解決手段】制御要素を構成する比例要素１５、積分要素１６、および微分要素１７がそれぞれ開弁動作および閉弁動作に応じた適正な制御をできるように、正側のパラメータと負側のパラメータとを備えており、目標値と圧力センサ１２の出力とを比較するコンパレータ１３の出力の極性を極性判別器２１によって判別し、これに応じてスイッチ１８、１９、２０を切換えて適正なパラメータの選択を行なう。 （もっと読む）

流体調節器を構成するための装置が開示される。一例においては、流体調節器において使用するためのステムガイドが説明される。ステムガイドが、バルブステムをスライド可能に受け入れるための開口を有している本体を備えており、該本体の外表面が、前記本体を調節器のケーシングの穴に着脱可能に接続させ、前記調節器のケーシングまたはバルブに整列させる複数の周状のシールを有している。 （もっと読む）

ガスレギュレータが、アクチュエータと、弁と、通常の動作状態においてアクチュエータの下流側に向けてかつアクチュエータとは反対側に向けて流体を案内または「ブースト」することによりレギュレータの動作効率を向上させるために弁内に配置されたカートリッジとを備えている。このカートリッジは、第一の直径を有した第一の部分と、第一の直径よりも大きな第二の直径を有した第二の部分とを備えている。通常の動作時、第一の部分は、弁体およびカートリッジが弁とアクチュエータとの間の流体の流れを制限する（絞る）ように、実質的に漏洩しない許容差内で、アクチュエータの弁体を受けるようになっている。このことにより、ガスが弁の流出口に向けて案内または「ブースト」されることになる。また、逃がし動作時、カートリッジの第二の部分が、弁体を受け、ガスをアクチュエータに向けて自由に流すことを可能とするようになっている。
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【課題】流体レギュレータに用いられる２ピーストリム装置を提供する。
【解決手段】流体レギュレータ５００は、弁箱１１８と、第一の流れ特性を提供する弁座リング２０４とを備えており、弁座リング２０４は、弁箱１１８内に配置され、流体オリフィス１２６が形成されており、弁座リング２０４は、第一の流れ特性とは異なる第二の流れ特性を提供する第二の弁座リングと交換可能となっており、この流体レギュレータ５００は、第三の流れ特性を提供するとともに上記弁座リング２０４に着脱可能に結合されるケージをさらに備えており、このケージは、第三の流れ特性とは異なる第四の流体流れ特性を提供する第二のケージと交換可能となっており、上記ケージを上記弁座リング２０４もしくは第二の弁座リングに選択的に結合することができ、また、弁座リング２０４を上記ケージもしくは第二のケージに選択的に結合することができる。 （もっと読む）

圧力制御システムは、圧力センサと圧力コントローラとの間に、ディジタル通信ネットワークを含む。ディジタル通信ネットワークは、圧力センサと圧力コントローラとの間で信号を伝達するように構成されている。圧力センサは、処理ツールの中にある圧力チャンバ内部の圧力を測定するように構成されている。圧力コントローラは、圧力センサによって取り込まれディジタル通信ネットワークを通じて圧力コントローラに伝達される圧力測定値に応答して、真空チャンバ内の圧力を、ツールから受信した圧力設定点に維持するように、真空チャンバ内部の圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】ハウジングに配設される弁座に着座可能な弁体に、圧力受動部材の中央部に同軸に連結されるとともに隔壁を摺動可能に貫通する弁軸が連結される減圧弁において、弁体および弁座間への磨耗粉の噛み込みを防止するとともに製造コストの低減を図った上で、組付け工数の増大を回避しつつ弁軸の摺動性を高める。
【解決手段】弁体５９と同軸である貫通孔１０４が隔壁７８に設けられ、合成樹脂により形成されて貫通孔１０４に嵌入される円筒状のガイド部材１０６の一端に、隔壁７８の一面に当接するフランジ部１０６ａが一体に設けられ、ガイド部材１０６の他端に、貫通孔１０４内に挿通されるようにして撓むことを可能とした係合部１０６ｂが、貫通孔１０４から突出した状態では隔壁７８の他面に弾発係合するようにして一体に設けられ、弁軸１０５がガイド部材１０６を貫通するようにしてガイド部材１０６に摺動可能に嵌合される。 （もっと読む）

【課題】減圧作動に対する一次圧の影響を抑えて二次圧を所定圧力に制御し、圧力変動に対して良好に応答させ、しかも減圧部材に付設したシール部材の寿命を長くする。
【解決手段】減圧弁室(10)に開口する出口路(11)の周囲に弁座(18)を形成する。減圧部材(19)にシール部材(20)を弁座(18)に対面させて設ける。作動室内のピストン部材を減圧部材(19)と連係する。減圧部材(19)と減圧弁室(10)内面との間に第１シール部(24)を設け、第１シール部(24)での第１シール面積(S1)を弁座シール面積(S0)よりも広くする。減圧部材(19)内にガス導入路(25)を形成し、入口路(９)を第１シール部(24)と弁座(18)との間の弁室内空間(Ａ)に連通する。弁室内空間(Ａ)よりも上流側で、ハウジング(５)と減圧部材(19)との間に第２シール部(26)を設ける。第２シール部(26)での第２シール面積(S2)を、第１シール面積(S1)と弁座シール面積(S0)との面積差と略等しくする。 （もっと読む）

停止手順の間、流体調整システム（１００、３００）が診断機能を提供できる。一態様では、流体調整システム（１００）はバルブ位置決定システム（１１０、３１０）を含むことができる。バルブ位置決定システム（１１０）はコントローラ（１１１、３１１）、および電気圧力変換器（１１２、３１３）などの構成要素を含むことができる。コントローラは指令信号（１３０、３４０）を受信し、その指令信号を修正し、指令信号（１３０、３４０）に基づいて電気圧力変換器（１１２、３１３）への制御信号を調整し、および／またはバルブ（１２０、３３０）を閉じている間構成要素を監視できる。バルブ位置決定システム（１１０、３１０）は、１０^−３未満の作動要求時破損確率を有することができる。
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【課題】設定圧力の上昇を防止できるレギュレータを提供すること。
【解決手段】流体を設定圧力に制御するレギュレータ１において、弁体７が当接又は離間する弁座部１５の硬度が、Ｄ７０以下である。流体を設定圧力に制御するレギュレータ１において、弁体７が当接又は離間する弁座部１５の引張伸び率が、温度２３度の条件下で、２５０％以上である。上記弁座部１５は、ＰＦＡ又はＰＴＦＥを材質とすることが望ましい。 （もっと読む）