【課題】構造を単純にすることにより小型化を容易にし、腐食性のある流体を流しても劣化しにくいバルブおよびそれを用いた燃料電池を提供する。
【解決手段】流体の導入口１および導出口２と、前記導入口および導出口を結ぶ流体流路２９と、前記流体流路中に設けられた弁体４を有するバルブであって、前記流体流路２９の内部と外部とを隔てて配置され、前記流体流路の内部の圧力と外部の圧力の差圧によって変形するダイアフラム３と、前記ダイアフラムに設けられ、かつ前記ダイアフラムを変形させる形状記憶合金、熱膨張物質、電磁石から選ばれた少なくとも１種からなるアクチュエータ７を有し、前記ダイアフラム３はバルブ軸５を介して弁体４と連結し、前記ダイアフラムの変形により弁体が変位して開閉するバルブおよびそれを用いた燃料電池。 （もっと読む）

【課題】特別な操作を必要とせず、ガスが大気に放出されることもない圧力指示部材を有する圧力調整器を提供する。
【解決手段】圧力調整器は、内部に第１空室１１ａ、第２空室１１ｂが形成され第２空室を横断して開口１１ｅが形成された筒体１１と、軸部１２ａとピストン部１２ｂとからなり軸部の外周面に第１模様１２ｃと第２模様１２ｄが形成され筒体１１に摺動可能に挿入された摺動部材１２と、第１空室の第２空室側の端部に配置されガスの漏洩を防ぐＯリング１３と、Ｏリング押さえ部材１４と、Ｏリング押さえ部材とピストン部との間に配置された圧縮バネ１５と、摺動部材の摺動限を規定する規定部材１６とを有する圧力指示部材１０を本体１に固定して構成される。 （もっと読む）

【課題】 圧力制御システム及びその圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 圧力調整弁を含む圧力制御システムであって、圧力調整弁は、チャンバーを有し、前記チャンバーは、入口端及び出口端を有するバルブ本体を含み、移動できる方式で前記チャンバーに設置し、前記入口端と相対応し、且つ第一接触表面を有する第一ピストンと、前記第一ピストンと接続し、且つ前記出口端と相対応し、第二接触表面を有し、前記第一ピストンと同時に移動し、且つ前記第一接触表面は、前記第二接触表面より小さい第二ピストンとを含むピストンアセンブリを含む圧力制御システム。 （もっと読む）

【課題】大気雰囲気あるいは真空雰囲気に切り替え可能な室の内圧を切り替える際の開閉バルブの開動作に伴う発塵、あるいは開閉バルブ連通時の断熱膨張に伴う結露を防止する。
【解決手段】真空処理室１にウエハを搬入出するためのロック室３と、カセット内のウエハを、大気ローダ５、前記ロック室および真空搬送室７を介して前記真空処理室に搬入し、前記処理室で真空処理された処理済ウエハを搬出するための搬送制御を行う制御手段を備えた真空処理装置において、前記搬送制御手段は、前記ロック室内の圧力を大気圧に切り替えるとき、不活性ガス供給ライン１１の開閉バルブを一旦開放してロック室内の圧力を圧力計で設定した所定値に設定した後、大気連通ライン１８を開放したときロック室内に結露が生じるか否かを判定し、結露が生じると判定したとき大気連通ラインを介して供給される大気の流量を前記大気連通ラインに挿入された流量制御手段で制限する。 （もっと読む）

温度制御圧力調節器が記述される。本明細書に記載される、例示的な温度制御圧力調節器は、第１の通路を介して出口に流体連通される入口を有する、調節器本体を含む。加熱ブロックは、該調節器本体内に配置され、該第１の通路の少なくとも一部分を受容する。該加熱ブロックは、プロセス流体が、該プロセス流体を該加熱ブロックから分離する該第１の通路を介して、該加熱ブロックを通って流れる際、該プロセス流体に熱を提供するためのものである。 （もっと読む）

内部逃し弁装置を有する、負荷調整装置の一例は、第１のケーシングと第２のケーシングとの間に配置される、負荷ダイヤフラムを有する、本体を含む。負荷ダイヤフラムの第１のケーシングおよび第１の側面は、第１のチャンバを画定し、負荷ダイヤフラムの第２のケーシングおよび第２の側面は、第２のチャンバを画定する。逃し弁アセンブリが、負荷ダイヤフラムに連結される。逃し弁アセンブリは、第１のチャンバおよび第２のチャンバを流体的に連結するための通路を形成する開口部を有する、逃し弁座と、逃し弁座に可動的に連結される逃し弁プラグとを含む。逃し弁プラグは、負荷調整装置がロックアップ状態に入る圧力よりも実質的に高い出口圧力に応じて、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の流体の流動を可能にするように、逃し弁座から離れて、流出位置まで移動するためのものである。
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【課題】圧力制御応答性を向上させることができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】真空比例開閉弁１６の弁開度を調整して、反応室１０内の真空圧力を目標圧力にフィードバック制御する真空圧力制御システムにおいて、反応室１０内の真空圧力、または真空目標圧力から予圧圧力値（Ｏリング４９のリーク開始位置）を算出し、その予圧圧力値をフィードバック制御の下限値とする。 （もっと読む）

本発明は加圧ガス調節装置に係り、装置は、着座部5と係合し加圧ガス通路を閉鎖可能な栓4と、着座部5の下流の所謂低圧チャンバ29を含み、低圧チャンバは栓4に連結された板27を含み、板が低圧チャンバに収容されたばね30の力を受け着座部(5)に対して同心状に配置され、着座部5の固定手段28が設けられている。チャンバ29は板27と自由に接触する薄膜26により画定される。薄膜26の反対の表面は、制御手段13、14により調整可能な予応力を有するばね20の力を受ける。制御手段は二つの位置：栓4にて装置の閉鎖を確実する第一の予応力解除位置、調節器の作動位置に対応する薄膜26に校正された予応力を与える第二の位置、にて印付けされている。低圧チャンバ29の反対の薄膜26の表面により画定されたシールされたチャンバ24が、薄膜の潜在的な漏れを検知すべく、漏れ又は使用ガスの存在を検知する検知器への接続を確実にする予応力制御手段により形成される。
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ガスレギュレータは、アクチュエータ、バルブ、及びバルブ内部に配置される流量調整のためのバランス型ポートハウジングを含み、流体が、バルブの出口内部に配置されたピトー管の検出点に到達する際に、バルブ内部の乱流を層流に変換する。バランス型ポートハウジングは、側壁を貫通してバルブのバルブポートと出口との間に配置される開口を含む。この開口は、バッフル又はメッシュスクリーンのような、流体が通過して流れることにより乱流を層流に変換するための、部分的障害物を含み得る。レギュレータは、上流圧力と流体連通するバランス調整ダイアフラムを有するバランス型トリムを更に含み、バルブのバルブディスクに対して、上流圧力によってバルブディスクに加えられる力の反対方向に、力が加えられることにより、上流圧力は、レギュレータによる下流圧力の制御に影響を及ぼすことがない。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】ポペット弁の圧力バランスをとることで、二次圧の大気圧近くまで低下した場合や、規定以上に一次圧が上昇した場合にも一次圧により閉弁する力が強くなることの無いようにした減圧弁を提供する。
【解決手段】弁本体１１、弁本体１１に穿設された一次ポート１２、二次圧を吐出する二次ポート１３、一次ポート１２から二次ポート１３に流れる作動油の流れを規制するポペット弁１４、シート部材１５、ポペット弁１４を開閉する操作ロッド１６、二次ポート１３の二次圧を受圧して操作ロッド１６を閉弁方向へ付勢する受圧部材１７、ポペット弁１４の開弁方向の弾性付勢力を与えるばね部材１９と、受圧部材１７の内部に圧力室２５を構成するためのピストン２６、ばね部材２７を備えた。 （もっと読む）

【課題】主弁、排気弁にガイド機構を設けながら、潤滑剤を不要とし、弁自体の芯出しも可能な減圧弁を提供する。
【解決手段】１次圧力室１３と２次圧力室３２間を開閉する開閉弁１６と、２次圧力室の圧力変動に応じて変位するダイアフラム体２４と、ダイアフラム体に設けられた、２次圧力室と外気間を連通する排気穴及びこの排気穴２３を開閉する排気弁２６と、開閉弁及び排気弁を連動して開閉動作させる連動部材を備えた減圧弁であって、連動部材は、上記第１圧力室と２次圧力室を連通する弁通路１５を有する弁ガイド４０と、弁通路を貫通し、弁ガイドに形成されたピントル軸穴４１に摺動自在にガイドされたピントル３０を有し、ピントルの下端部に開閉弁を、上端部に排気弁を設け、弁通路及びピントル軸穴の延長上に排気穴を形成し、弁ガイド及び上記ピントルの一方は樹脂で形成し、他方は金属で形成した。 （もっと読む）

【課題】軽量化しても耐久性の高い弁装置を提供することを解決すべき課題とする。
【解決手段】高圧流体の流れを制御する弁部材と、前記弁部材が内設され、前記高圧流体が流入する高圧側の内面が円筒状である弁挿着孔と、前記弁挿着孔の前記高圧側の円筒状空間の側面に一端が開口し、前記円筒状空間の軸方向に交叉する方向に形成された連通孔であり、前記高圧流体が前記弁挿着孔内に流れ込む導入流路１１１と、をもつ内部空間を区画するボディ１１とを有し、ボディ１１はアルミニウム合金から形成され、導入流路１１１は円筒状空間１１ａ内面の導入流路１１１の開口部における法線に対して円筒状空間１１ａの軸方向から見て傾斜していることにある。 （もっと読む）

【課題】 流量調整器の出力流量を変更したり、流通するガス種を変更した場合に、その出力側の流量にオーバーシュートが生じないようにする。
【解決手段】 流量調整器へ供給するガス供給圧力の自動圧力調整器２０であって、圧電素子駆動型圧力調整弁１５と，圧力調整弁１５の出力側に設けた制御圧検出器１４と，制御圧検出器１４の検出値Ｐ₂と制御圧の設定値Ｐｓｔとが入力され、圧力調整弁１５の圧電素子駆動部へ比例制御方式により制御信号を供給して弁の開度調整を行うコントローラ１６とから前記自動圧力調整器２０を構成すると共に、積分動作を無効とすることにより、コントローラの前記比例制御方式を制御圧に残留偏差を生ずる制御とする。 （もっと読む）

流体流量を調整する装置を開示する。該装置は、例示的な調整弁、例示的な自動調節または自己調節増幅弁を含み、下流要求が低い流体流量条件の間は、流体流量を維持し、下流要求が高い流体流量条件の間は、該調整弁の操作の正確性および安定性を維持する。 （もっと読む）

本発明は、高純度の流体を取扱う分野における使用に適した高純度用レギュレータに関する。本発明は、レギュレータの構成部品の一つであるプラグを本体側に固定するとき、プラグを本体に直接掛止して固定させる新しい形態のプラグ固定方式を実現することで、異物が引っかかる問題や、騷音を誘発する問題などを完全に排除しながら流体の流れの安全性を確保することができ、それゆえ高純度用に使用することに適し、また追加部品などを必要としないので部品数の減少および装置の小型化を実現できる高純度用レギュレータを提供する。 （もっと読む）

【課題】 ディスク状主弁体が小刻みに開閉弁を繰り返すチャタリング現象を生じない安価な減圧弁を提供すると共に、ディスク状主弁体の凸部を短くできる減圧弁を提供する。
【解決手段】 弁ケーシング１に入口２と出口３を形成する。入口２と出口３を連通する主弁口５を開けた弁座部材４を弁ケーシング１に取り付ける。主弁口５を開閉するディスク状主弁体６をコイルバネ１７で閉弁方向に付勢して配置する。コイルバネ１７のピッチをディスク状主弁体６に近い側は小さくし、ディスク状主弁体６に遠い側は大きくした不均等ピッチのコイルバネ１７にすると共に、ディスク状主弁体６のコイルバネ１７当接面に凸部１０を設けて、当該凸部１０の外周にコイルバネ１７のピッチの小さな部分を位置させてコイルバネ１７のディスク状主弁体６に近い側を保持する。 （もっと読む）

本発明は、圧縮ガス貯蔵容器と接続された放出チャネル（３）と、放出チャネル（３）内に可動に配置されている閉鎖要素（５）とを備え、該閉鎖要素（５）は、作動段階に依存して放出チャネル（３）を外側へ開放し、圧縮ガス貯蔵容器とは反対を向いた側が圧縮ガス貯蔵容器の方を向いた側よりも大きい断面積（Ａ２）を有しており、放出チャネル（３）が該閉鎖要素（５）の圧縮ガス貯蔵容器とは反対を向いた側にくびれ（７）を備えている圧縮ガス貯蔵容器用安全バルブに関する。 （もっと読む）

【課題】 流体制御弁を高温の圧力流体を供給する流体供給源と接続する場合に、外部に熱交換器を設けなくても、部材の熱膨張による影響がなく、圧力や流量を精度よく制御できる流体制御弁を提供することである。
【解決手段】 ボディ１に、弁部材１１，１３を組み込むとともに、この弁部材１１，１３に対して圧力流体を導く流入ポート７と、弁部材１１，１３によって圧力もしくは流量を制御された流体を流出させる流出ポート８と、流体供給源からの圧力流体を導く導入ポート６とを設け、上記導入ポート６と流入ポート７とを接続する冷却用迂回路９を、上記弁部材よりも外側におけるボディ１内に設ける。そして、この冷却用迂回路９を通過する過程で、高温の圧力流体がボディ１外の空気と熱交換して冷却されるようにした。 （もっと読む）

【課題】 その高圧側の弁体が安定に支持されていて使用中にいつも正当位置からずれにくい圧力制御弁を提供する。
【解決手段】 圧力制御弁を、その高圧側の弁体が、高圧室にあるが、その連通路の方に向かっている面に、連通路内に入ってから、低圧側弁体が押圧されると低圧側弁体の先端に押されることができる箇所まで延び続ける上、連通路の周壁と動き嵌めになっている突起を有するように構成し、連通路の周壁での突起を支えることにより高圧側弁体を支持する。 （もっと読む）