【課題】 広範囲な流量に対して安定したガス圧力が得られ、しかもよりコンパクトな形状の圧力調整器を提供する。
【解決手段】 弁座を閉塞・離反させるポペットが連結されたダイヤフラムを使用した直動式の第１段減圧装置と第２段減圧装置を、直列に結合した二段式の圧力調整器であって、ダイヤフラム裏側のダイヤフラムを調整するロードスプリングを収容した調整バネ室を真空に保ち、減圧された低圧ガスの流路を調整バネ室とハウジングの間に設ける構造にする。 （もっと読む）

本発明のバランサ装置は第一弁および第二弁（３５ａ、３５ｂ）を有し、各弁がチャンバ（１３ａ、１３ｂ）を備え、該チャンバは、導入オリフィス（１９ａ、１９ｂ）を介して第一流体または第二流体を保持する回路に連通し、かつ、排出オリフィス（１８ａ、１８ｂ）を介して、第一流体または第二流体の排出手段に連通し、排出オリフィス（１８ａ、１８ｂ）の閉位置と開位置との間で移動できるように弁のチャンバ内に取付けられた少なくとも１つの逆止弁（２０ａ、２０ｂ）と、該逆止弁に連結されたピストン（２２ａ、２４ａ、２２ｂ、２４ｂ）と、逆止弁を閉位置に戻す弾性戻し手段（３２ａ、３２ｂ）とを更に有する。
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【課題】排出側からガス流入が可能な圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 二次圧を受ける受圧面を備えた第１のピストン５と、弁体４と、ピストン５と弁体４とを接続する接続部材６を備え、減圧作動中には、接続部材６を介して、ピストン５と弁体４とが一体として駆動する圧力調整弁１において、接続部材６の挿脱部６１がピストン５の挿脱穴５４に挿脱自在に挿入されており、二次圧室２５に形成された排出口２５１側からガスが送入された場合、挿脱部６１が挿脱穴５４から弁体４の方向へ移動し、弁体４がピストン５から離れて開閉口２３１を開放する。この弁体４の移動により、排出側からのガスの送入が可能となる。 （もっと読む）

本発明は、ガスレギュレータに関し、より詳細には、圧力容器に酸素など各種ガスを高圧で圧縮しておき、使用するときに出力負荷の変化と関係なく、吐出圧力を一定に保持することができるガスレギュレータに関する。本発明は、規定以上のガスがガスレギュレータの内部に流入した場合、補助シリンダーユニットが設定圧力によって自動的に遮断されるようになり、使用者の不注意で発生するガスレギュレータの損傷を防止できる。また、横隔膜を使用することなくピストンを使用することにより、寿命が半永久的であり、ガス漏洩現象を根本的に防止できる。また、補助シリンダー室のスプリングとメインシリンダー室のスプリングとの加圧力に違いを与えることにより、高圧ガスの流入で補助ピストンとメインピストンとが受ける力に差異を持たせるようにし、前記補助ピストンとメインピストンが同時に、または個別に作動することができる。また、メインピストンユニット上に補助ピストンユニットを位置させ、補助ピストンユニットの固定ボルトとスプリングにより補助ピストンが受ける圧力を調節することで、より効率よく圧力調節を行うことができる。また、メインシリンダー室と安全バルブを連通し、メインシリンダー室に流入した高圧ガスを安全バルブを介して外部に放出することで、より効率よく保護することができる。また、ガス吐出ニップルがボディの一側から下向きに所定の傾斜角を有して結合されており、ホースとの連結を容易とすることができるという効果を得ることができる。
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【課題】 真空圧力センサの異常、反応炉のリーク、配管のつまり等のシステムにおける異常を早期に検知することができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】 ポテンショメータ１８を介して取得される真空比例開閉弁１６のバルブ開度が予め設定された設定値Ｘ１に到達したときに（Ｓ２２：ＹＥＳ）、圧力センサ１４，１５を介して取得される反応室１０の真空圧力が予め設定された設定値Ｘ２よりも大きい場合（Ｓ２４：ＮＯ）、真空圧力センサの異常、反応炉のリーク、配管のつまり等のシステムにおける異常が発生していると判断し異常時処理を行う（Ｓ２５）。そして、設定値Ｘ１，Ｘ２は、真空圧力センサの異常、反応炉のリーク、配管のつまり等の各異常を適切に検出することができるように実験などにより予め求めておく。 （もっと読む）

【課題】 急速開放できると共に二次側圧力を目的とする圧力以下に制限することができる簡単な構造の急速開放調圧弁を提供する。
【解決手段】 急速開放調圧弁を本体１、弁体部材２、バネ受け３、バネ４、封圧機構５、弁作動機構６等で構成し、弁作動機構６の作動で尖端６５が封板５２を破って開受圧面２５に入口１１ａの圧力をかける。この状態で、弁座１３の当たり面直径、閉受圧面２４及び開受圧面２５の受圧面積、並びにバネ４の力を、出口１２ａの圧力が所定圧力以下になる関係に定める。弁作動機構６の不作動時は、弁キャップ２２に作用する入口圧力による力がバネ４に勝って弁を閉じる。弁作動機構６の作動時は、開受圧面２５に作用する力が弁キャップ２２に作用する力を相殺してバネ力で弁を開く。出口圧力上昇時には、閉受圧面２４に作用する力がバネ力に勝って弁を閉じ、出口圧力を一定以内に制限する。これによって管、弁等の耐圧は、低くてすむ。 （もっと読む）

【課題】 圧力の変動する流路内の流体を減圧可能な減圧装置において、低圧時の流路抵抗の影響を低減して、流体の流通を確保することを可能とする。
【解決手段】 減圧装置は、減圧装置に流入する流体の圧力が所定の開放圧力より大きいときに流体を減圧して減圧装置から流出させる通常減圧状態と、減圧装置に流入する流体の圧力が所定の開放圧力以下のときに流体を減圧せずに減圧装置から流出させる非減圧状態と、の２つの状態を有する。 （もっと読む）

ｉを１からＮまでの整数としてｉ個の区域に管を介して接続可能なｉ個のラインを流れる流体フローを制御するシステムである。このシステムは、ｉ個のラインのそれぞれにおける少なくとも１つの弁と圧力トランスデューサと、弁を制御する制御装置と、区域圧力評価計とを含む。区域圧力評価計は圧力トランスデューサに接続されており、ｉ個の区域のそれぞれにおける評価された圧力を計算し、評価された圧力を制御装置に提供する。
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【課題】半導体又はフラットパネルディスプレイ製造アセンブリの真空チャンバのための圧力制御方法を提供する。
【解決手段】本発明は、チャンバをガス抜きするためのポンプと、チャンバ内へのガスの流入を可能にするための流量コントローラとを含む圧力制御システムを備えた真空システムのチャンバ内の圧力を所要圧力に設定する方法に関し、本方法は、圧力増加率を増大させるために、圧力が所要圧力を超過することを許さない過渡期間にわたって発生するチャンバに入る及び／又はそこから出る初期流量を所要圧力を超える圧力を達成するように設定する段階と、過渡期間が経過した後のチャンバに入る及び／又はそこから出る事前設定流量を所要圧力を達成して維持するように設定する段階とを含む。所要圧力を達成して維持するために、Ｉｐｅｒｉｏｄが経過する。 （もっと読む）

背圧調整装置は、燃料電池試験ステーション又は燃料電池パワー・モジュールに組み込むことができる。燃料及びオキシダントの各ラインでは、ガス圧力調整器が設けられている。圧力調整器はパイロットガスによって制御され、圧力調整弁及び三方弁によって供給される。三方弁の別のポートは、逆止弁及びニードル弁を通る通気孔を設けている。ニードル弁は、燃料及びオキシダントのパイロットガス・ライン用の両逆止弁に接続されている。通常動作において、パイロットガス圧力は圧力調整弁によって調整され、適切な圧力調整器に供給され、燃料及びオキシダントのそれぞれのガス圧力を制御する。運転停止時に、三方弁は個々の逆止弁を介して圧力調整器をニードル弁に接続する。これにより、燃料ガス及びオキシダントガスの圧力の衰退制御が行われる。
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本発明は、ガス供給入口が開かれ閉じられた時に、高圧回路（３）と低圧回路（４）とが装置の耐侵入性を最もよく保障する順序を用いて自動的にコントロールされるように、高圧回路（３）と低圧回路（４）とを分離するための調整手段（８）を備えている膨張弁ブロックに関する。
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【課題】 二次圧力の急激な変化によるダイヤフラムの偏心や傾きを制限し、ダイヤフラム部品が二次室の周壁面に強く衝突して異音を発生することをなくす。
【解決手段】 二次圧力の変動を感知して変位し一次室２から二次室６への流体流量を制御する弁体２０を動作させるダイヤフラム９に重ねたダイヤフラムプラグ１２の外側周縁に案内裾体２５を設けた。案内裾体２５は二次室６にその周壁面と狭い隙間を有して装入され、偏心や傾きを僅かにとどめてダイヤフラムプラグ１２が周壁面に強く衝突しないように働く。 （もっと読む）