【課題】密閉チャンバ（パスボックス４）内の圧力変動を緩和する。
【解決手段】密閉チャンバ４には、無菌フィルタ１４を介して外部から給気する給気通路１２と、無菌フィルタ２２を介して排気する排気通路２０が接続され、給気通路１２および排気通路２０をそれぞれ連通遮断する給気バルブ１８および排気バルブ２６が設けられている。また、これら両バルブ１８、２６の開閉を制御して密閉チャンバ４内の圧力を所定の陽圧に制御する制御手段４６が設けられている。さらに、排気通路２０の無菌フィルタ２２と排気バルブ２６との間に、密閉チャンバ４内の圧力の変動に応じて膨張、または収縮して、圧力変動を緩和するシリコン膜４８を取り付けている。 （もっと読む）

【課題】消音器の着脱作業を軽減することが可能なガス減圧弁の提供を目的とする。
【解決手段】本発明のガバナ１０は、ガス流入部屋２０の下方にガス流出部屋２１を備え、ガス流出部屋２１内に消音器４０を備えている。消音器４０は筒形構造をなし、ガス流入部屋２０とガス流出部屋２１とを区画する区画壁２２と、ガス流出部屋２１の底壁との間に挟まれている。ガス流出部屋２１の底壁は着脱可能な蓋体３７で構成され、蓋体３７を取り外すことでガス流出部屋２１に対して消音器４０を単独で着脱することができる。よって、消音器４０の着脱作業を従来よりも軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】子調整器の診断を行うことが可能な調整器診断システム、調整器診断装置及び調整器診断方法を提供する。
【解決手段】調整器診断システム１００は、ガスボンベ１１０から複数の住宅２側に燃料ガスを供給するメイン流路１２１と、メイン流路１２１をバイパスするバイパス流路１２２と、メイン流路１２１に設けられた親調整器１４０と、バイパス流路１２２に設けられ、親調整器１４０の調整圧力よりも調整圧力が高く設定された子調整器１５０と、子調整器１５０を診断する調整器診断装置１６０と、を備えている。調整器診断装置１６０は、バイパス流路１２２における燃料ガスの圧力又は流量に応じた計測信号を出力する計測センサと、計測センサにより出力された計測信号の所定以上の変化時からの微小時間中に得られる振動波形に基づいて、子調整器１５０の異常を診断する異常診断部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】子調整器の診断を行うことが可能な調整器診断システム、調整器診断装置及び調整器診断方法を提供する。
【解決手段】調整器診断システム１００は、ガスボンベ１１０から複数の住宅２側に燃料ガスを供給するメイン流路１２１と、メイン流路１２１をバイパスするバイパス流路１２２と、メイン流路１２１に設けられた親調整器１４０と、バイパス流路１２２に設けられ、親調整器１４０の調整圧力よりも調整圧力が高く設定された子調整器１５０と、子調整器１５０を診断する調整器診断装置１６０と、を備えている。調整器診断装置１６０は、子調整器１５０のみを介して流れる燃料ガスの最大流量値以下の流量範囲において計測された圧力値と、所定値との差に基づいて子調整器１５０の異常を診断する異常診断部を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な設備構成により、正圧及び負圧のいずれの圧力も付与することが可能な圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】排気通路領域２３は、給気通路領域２１と排気ポート１４とを繋ぐ分岐通路領域２４を備えている。分岐通路領域２４は、給気通路領域２１から分岐させて形成されており、さらに負圧発生用領域２５を備えている。負圧発生用領域２５にはノズル３１が形成されているとともに吸引空間３４が形成されている。吸引空間３４には排気用電磁弁１７側に分岐させて吸引通路領域３６が形成されている。給気通路領域２１から負圧発生用領域２５に分流された作動エアがノズル３１を通過することで吸引空間３４内が減圧され、吸引通路領域３６側に負圧が付与されることとなる。そして、排気用電磁弁１７が開制御されている場合には出力ポート１５に負圧が付与されることとなる。 （もっと読む）

ガス圧力レギュレーター（１）は、第一のガス入口パイプ（３）と第二のガス出口パイプ（４）を有している中心体（２）と、前記中心体（２）の中に少なくとも部分的に収納されており、ガスの通過のための断面（６）の開口を調節するために、前記断面（６）が完全に開かれた位置（Ｂ）と、前記断面（６）が閉じられた位置（Ａ）の間を移動可能なシャッター（５）と、前記ガスの通過によって作り出されるノイズの低減のための、前記中心体（２）の中に前記通過断面（６）に配置された消音デバイス（７）と、前記消音デバイスを前記中心体（２）に固定するための手段（１１）を備えている。前記消音デバイス（７）は、前記ガスの通過を可能にする円筒状穴あきプレート（９）を備えている。
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【課題】ガス流路に配設した流路弁が供給側ガス圧の影響を受けず、出口側ガス圧を安定的に維持できるとともに、構造が簡単で、部品点数が少なく低コストの減圧装置を提供すること。
【解決手段】ガス流路に配設した流路弁２２を有天筒状の弁体で構成し、この流路弁２２の周壁２２ａをガス供給口２１ａ１、２１ａ２の開口面と平行に摺動させることによって、流路弁２２の摺動方向に長いスリット状の複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２を開閉するようにするとともに、流路弁２２によるガス供給口２１ａ１、２１ａ２の閉鎖側のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の長さを複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の間で異なるように形成する。 （もっと読む）

流体調整デバイスは、入口、出口、弁口を有する弁本体と、弁本体内でシフト可能な制御要素とを含む。制御アセンブリは、制御要素に連結されるアクチュエータを含み、ダイヤフラムチャンバに隣接して配置されるダイヤフラムを含む。検知管は、第１の端部、第２の端部、および中間部分を有し、第１の端部は、ダイヤフラムチャンバと連通するように位置付けられ、第２の端部は、出口に隣接して配置され、中間部分は、出口の中間部分に隣接して配置される。検知管は、肩部および広がり部分を含み、広がり部分は、第２の端部に隣接して配置される。 （もっと読む）

【課題】圧力制御応答性を向上させることができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】真空比例開閉弁１６の弁開度を調整して、反応室１０内の真空圧力を目標圧力にフィードバック制御する真空圧力制御システムにおいて、反応室１０内の真空圧力、または真空目標圧力からＯリング４９のリーク開始位置を算出し、その予圧圧力値をフィードバック制御の下限値とする。 （もっと読む）

【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】真空容器の真空引きの過程において発生するパーティクルの巻き上がりを抑制する技術を簡易に実装する技術を提供する。
【解決手段】真空制御バルブ１００は、真空容器に接続される上流側流路１４１と、真空ポンプに接続される下流側流路１４２と、を含む流路１４０と、弁開度を操作することによって、上流側流路１４１と下流側流路１４２との間のコンダクタンスを変化させる開閉弁１１０と、上流側流路１４１の内部の圧力を計測する圧力センサ１２０と、上流側流路１４１の目標圧力値を予め設定された時間関数として変化させ、計測された圧力と目標圧力値との間の偏差に応じて開度を操作する制御部１５０と、を備え、制御部１５０は、真空制御バルブ１００の外部からの開始入力に応じて、コンダクタンスを操作することによって偏差を小さくする制御を開始する。コンダクタンスは、ゼロから予め設定された範囲までの連続した範囲で操作することができる。 （もっと読む）

【課題】 オリフィスに付着する異物を自動的に排除できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 上面と下面を連通するオリフィス２７を開けたピストン７の上面に設定圧力と二次側圧力との偏差に基づいて一次側流体を導入することによりピストン７を変位せしめてピストン７に連結した主弁６を開閉操作する。ピストン７の変位によりオリフィス２７内に進入してオリフィス２７に付着した異物を排除する異物排除部材２８を弁ケーシングにねじ結合して設ける。ピストン７が下方に変位したときに異物排除部材２８がオリフィス２７内に進入してオリフィス２７に付着した異物を排除する。 （もっと読む）

【課題】分離向上等の目的で分析条件を時間変化させる測定においても圧力変動の小さい超臨界流体用圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 超臨界流体が通る流路に設けられた弁室１２と、
該弁室１２に配置され、弁閉時に弁室１２へ先端部が嵌め合わされ、弁開時に弁室１２より退避するよう電気的に操作された弁体１６と、を備えた弁と、
前記弁室１２の上流側又は下流側の流路内超臨界流体圧力を検出する圧力検出手段２２と、
前記圧力検出手段２２により検出された圧力が、目標圧力となるように制御する開閉制御手段２４と、
前記超臨界流体の状態により開時の弁開度を調整する弁開度調整手段３０と、
を備えたことを特徴とする超臨界流体用圧力制御装置１０。 （もっと読む）

【課題】真空弁のメンテナンスサイクルを長くできる排気圧力制御システム及び排気圧力制御方法を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３に接続される排気系１０に配設される真空弁１５と、排気系１０の排気圧力を目標圧力に制御するように真空弁１５のバルブ開度を制御するコントローラ１２とを有する排気圧力制御システム１１において、排気系１０に接続するパージガス供給系１４と、パージガス供給系１４に配設され、排気系１０に供給されるパージガスの流量を制御するパージガス流量コントローラ１３と、を有し、パージガス流量コントローラ１３により流量制御されたパージガスを排気系１０に供給することにより、コントローラ１２が制御する真空弁１５のバルブ開度を、パージガスを排気系１０に供給しないで排気圧力を目標圧力に制御する場合より大きくする。 （もっと読む）

【課題】乾式機械式一次ポンプと少なくとも１つの二次ポンプとからなるポンプユニットに配管によって接続された、排出物を含んでいるチャンバ内の圧力調整の範囲を増大させ、短い反応時間を得る。
【解決手段】乾式機械式一次ポンプ４と少なくとも１つの二次ポンプ５との両方の回転速度を同時に制御する速度調整器６を含む。 （もっと読む）

【課題】ガスの種類、流量等で変化する真空容器内の圧力をシミュレーションし得る装置を提供する。
【解決手段】真空バルブにより真空容器内圧力を所定の処理時間間隔で制御する圧力制御装置９を具備する真空処理装置における真空容器のシミュレーション装置で、開度検出器22で検出されたバルブ開度を入力してバルブ特性曲線に基づきバルブのコンダクタンスを求めるコンダクタンス取得部72と、ここで得られたコンダクタンスに、前回処理時の真空容器内圧力を乗算して排出ガス量を求める排出ガス量計算部73と、ここで得られた排出ガス量に、ガス流量テーブルから処理経過時間に応じて得られた今回処理時における流入ガス量を入力して真空容器内の圧力変化を求める圧力変化計算部75と、ここで得られた圧力変化に前回処理時における真空容器内圧力を加算して今回処理時における真空容器内圧力を求める容器圧力計算部76とを具備したもの。 （もっと読む）

【課題】圧力調整器の外部に流体が漏出することをより効果的に抑制する。
【解決手段】圧力調整器は、弁体１８の位置を調整するために、シリンダ１６と、シリンダ１６内を上下動するピストン１４とを備えている。ピストン１４の側面には、第１のＯリング５８が設けられており、更に、この第１のＯリング５８よりも弁体１８から離れた位置に第２のＯリング５９が設けられている。第１のＯリング５８の弁体１８側および第２のＯリング５９側には、一対のバックアップリング６０，６１が配置されている。 （もっと読む）

ガス流れ圧力調整器（３００）を通って流れるガスの圧力調整する調整器弁アセンブリ（２００）内で使用するための弁ポペット（５４）が提供される。弁ポペットは、弁棒（５２）の上下の動きを軸方向に可能にするために、可撓性部分（６０ａ）を有する弁体（５４）を含む。弁体は、事前に負荷をかける力を提供して弁座（７０）内で弁体を自己整合させて弁棒の運動を軸方向に抑制するエッジ部分（６０ｂ）を有することができる。弁棒（５２）は、封止部分（５８）から弁体に対して垂直に延びることができる。弁棒の動きは軸方向に抑制され、その結果、弁を開閉すると、可撓性部分の上下の動きが生じる。弁体の可撓性部分および端部部分は、弁体を自己整合させて軸方向に抑制する複数の渦巻き状アームから形成することができる。
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流体のための流路（１０８）を画定し、かつ、弁座（１０４）と、弁本体に結合された駆動器筐体（１２２、１２４）と、駆動器筐体内に配置され、開放位置と制御部材が弁座に係合する閉鎖位置の間で移動することによって流路を通る流体の流れを調節するために、弁本体および弁座に対する変位のために適合された、制御部材（１３０）と、制御部材に動作可能に結合され、制御部材を開放位置に向かって付勢する、ばね（１９３）と、を有する弁本体（１０２）を有する調節器（１００）。制御部材は、弁座に面し、陥凹状である表面を含む。陥凹表面は、座ぐり穴（１４８）であってもよく、もしくは、凸形状、円錐形状、または他の適切な陥凹表面を有してもよい。そうした構成によって、取り替えられた調節器は、高い入口圧力、低い出口圧力、高流速の実施において、安定性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】効率的に流動体を移動体に充填できる流動体充填システム、移動体、及び供給設備を提供すること。
【解決手段】流動体を充填可能なタンク１９を備える移動体３と、前記タンク１９に前記流動体を充填可能な供給設備１とから成る流動体充填システムであって、前記移動体３は、前記流動体の充填圧力を充填開始からの経過時間ごとに規定する充填プロファイルを記憶する充填プロファイル記憶手段３４と、前記充填プロファイルを前記供給設備１に送信する充填プロファイル送信手段２５ａ、２５ｂ・・・とを備えるとともに、前記供給設備１は、前記充填プロファイルを受信する充填プロファイル受信手段１１ａ、１１ｂ・・・と、前記充填プロファイルに応じて充填圧力を制御する充填圧力制御手段１５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）