【課題】ガス燃料用レギュレータについて、組付け性を損なうことなく弁軸とダイヤフラムの連結部分から異音が生じないようにする。
【解決手段】弁軸１０中途位置に形成した弁体１１とシート部材１６からなる調圧弁を有し弁軸１０先端側を大径化した軸頭部１２をダイヤフラム１４中央下部側の軸頭挿入部２１に挿入・係合してなり、ダイヤフラム１４の変位動作で調圧弁を開閉しながら導入したガス燃料を所定圧力に減圧・調整して下流側に送出するガス燃料用レギュレータ１Ａにおいて、軸頭部１２と軸頭挿入部２１の連結部分で軸頭部１２上面と軸頭挿入部２１頂壁との間に形成される隙間内で軸頭部１２が軸線方向に動くのを抑制するための樹脂製の隙間充填部材２３を、軸頭挿入部２１内で軸頭部１２との隙間を埋めるようにして配設して、ダイヤフラム１４の振動で軸頭部１２外面が軸頭挿入部２１内面に連続的に衝突するのを回避するものとした。 （もっと読む）

【課題】真空容器の内部におけるガスの流れを制御する技術を提供する。
【解決手段】ガス供給部からプロセスガスの供給を受けてプロセス対象にプロセスを実行する真空容器５００におけるプロセスガスの真空圧力と流れとを真空ポンプを使用して制御する真空制御システム１０を提供する。真空制御システム１０は、真空容器５００において相互に相違する位置に配置された複数のガス排出口５６１，５６２の各々と真空ポンプ３００との間に接続されている各真空制御バルブ１００，２００と、プロセス対象に供給されるプロセスガスの真空圧力を計測する圧力計測部６３１と、計測された真空圧力に応じて複数の真空制御バルブ５６１，５６２の各々の開度を操作する制御装置６１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】消音器の着脱作業を軽減することが可能なガス減圧弁の提供を目的とする。
【解決手段】本発明のガバナ１０は、ガス流入部屋２０の下方にガス流出部屋２１を備え、ガス流出部屋２１内に消音器４０を備えている。消音器４０は筒形構造をなし、ガス流入部屋２０とガス流出部屋２１とを区画する区画壁２２と、ガス流出部屋２１の底壁との間に挟まれている。ガス流出部屋２１の底壁は着脱可能な蓋体３７で構成され、蓋体３７を取り外すことでガス流出部屋２１に対して消音器４０を単独で着脱することができる。よって、消音器４０の着脱作業を従来よりも軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力調整システム内に防食電流が流れるのを阻止できる技術を実現する。
【解決手段】パイロット弁４は、バネ荷重の調整により駆動圧を変更設定自在な圧力設定バネＧ２を有するとともに、従動回転軸の回転により圧力設定バネＧ２の伸縮方向に位置決めされてバネ荷重を調整自在な圧力調整ネジを有するパイロット圧調整機構Ｓを備えて構成される圧力調整システムであって、従動回転軸に連結された連結状態で、従動回転軸の回転位置を調整可能な駆動回転軸を調整装置１００に備え、従動回転軸と駆動回転軸とが連結された連結状態で、従動回転軸と駆動回転軸との間を電気的に絶縁する。 （もっと読む）

ガス圧力レギュレーター（１）は、第一のガス入口パイプ（３）と第二のガス出口パイプ（４）を有している中心体（２）と、前記中心体（２）の中に少なくとも部分的に収納されており、ガスの通過のための断面（６）の開口を調節するために、前記断面（６）が完全に開かれた位置（Ｂ）と、前記断面（６）が閉じられた位置（Ａ）の間を移動可能なシャッター（５）と、前記ガスの通過によって作り出されるノイズの低減のための、前記中心体（２）の中に前記通過断面（６）に配置された消音デバイス（７）と、前記消音デバイスを前記中心体（２）に固定するための手段（１１）を備えている。前記消音デバイス（７）は、前記ガスの通過を可能にする円筒状穴あきプレート（９）を備えている。
（もっと読む）

【課題】真空容器の真空引きの過程において発生するパーティクルの巻き上がりを抑制する技術を簡易に実装する技術を提供する。
【解決手段】真空制御バルブ１００は、真空容器に接続される上流側流路１４１と、真空ポンプに接続される下流側流路１４２と、を含む流路１４０と、弁開度を操作することによって、上流側流路１４１と下流側流路１４２との間のコンダクタンスを変化させる開閉弁１１０と、上流側流路１４１の内部の圧力を計測する圧力センサ１２０と、上流側流路１４１の目標圧力値を予め設定された時間関数として変化させ、計測された圧力と目標圧力値との間の偏差に応じて開度を操作する制御部１５０と、を備え、制御部１５０は、真空制御バルブ１００の外部からの開始入力に応じて、コンダクタンスを操作することによって偏差を小さくする制御を開始する。コンダクタンスは、ゼロから予め設定された範囲までの連続した範囲で操作することができる。 （もっと読む）

【課題】ガスの種類、流量等で変化する真空容器内の圧力をシミュレーションし得る装置を提供する。
【解決手段】真空バルブにより真空容器内圧力を所定の処理時間間隔で制御する圧力制御装置９を具備する真空処理装置における真空容器のシミュレーション装置で、開度検出器22で検出されたバルブ開度を入力してバルブ特性曲線に基づきバルブのコンダクタンスを求めるコンダクタンス取得部72と、ここで得られたコンダクタンスに、前回処理時の真空容器内圧力を乗算して排出ガス量を求める排出ガス量計算部73と、ここで得られた排出ガス量に、ガス流量テーブルから処理経過時間に応じて得られた今回処理時における流入ガス量を入力して真空容器内の圧力変化を求める圧力変化計算部75と、ここで得られた圧力変化に前回処理時における真空容器内圧力を加算して今回処理時における真空容器内圧力を求める容器圧力計算部76とを具備したもの。 （もっと読む）

【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポートに連通する２次室６８と、１次室と２次室とを連通する連通流路６９と、１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、弁体本体８１を保持する保持部８２ａと、保持部８２ａから連通流路６９を挿通して延びる作動軸部８２ｂと、作動軸部８２ｂの先端に設けられ、受圧膜体７３に当接し、且つ平行に対面する当接板部８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】特に水の使用量が著しく減少しても、チャタリングの発生や二次側圧力が過大に上昇することのない減圧装置を提供する。
【解決手段】弁体を直接駆動する構成のために小流量域での開閉弁の応答性が良好でチャタリングの発生や閉弁時に二次側圧力がその設定圧力より上昇しない直動式減圧弁３と、大流量の給水に適したパイロット式減圧弁４とを並列に配管し、直動式減圧弁３の設定圧力をパイロット式減圧弁４の設定圧力よりも高く設定したので、必ずパイロット式減圧弁４が先に閉弁し、その時に二次側圧力が上昇しても、減圧装置１全体としては直動式減圧弁３が開弁中でその圧力は給水管２の末端に取付けられる使用中の蛇口などの水栓から排出され、その後に直動式減圧弁３が閉弁することにより、減圧装置１全体が全閉することになるので、チャタリングの発生や二次側圧力の過大な上昇は皆無である。 （もっと読む）

【課題】圧力流体の流通する流体圧機器において塵埃等による目詰まりを防止しつつ、前記圧力流体の消費量を削減する。
【解決手段】一次側ポート３８とノズル背圧室７８との間にノズル通路９８が形成され、前記ノズル通路９８には、複数のオリフィスプレート１０４ａ〜１０４ｄからなる絞り機構１０６が設けられる。このオリフィスプレート１０４ａ〜１０４ｄには、ノズル通路９８より小径な開孔１０２を有し、その外縁部がシール部材１０８を介して第２ボディ３４に保持されている。また、オリフィスプレート１０４ａ〜１０４ｄは、ノズル通路９８の延在方向に向かって互いに所定間隔離間して設けられている。 （もっと読む）

【課題】低圧または高圧、少量または大量、バースト的供給または連続的供給をそれぞれ選択して空気／ガスを供給できるようにするとともに、供給源の空気／ガスの圧力が低下しても安定した圧力で空気／ガスを出力する。
【解決手段】レギュレータ１は、圧縮空気を使ったツールに動力を供給するためのシステムで用いられる。レギュレータ１は、高圧ガス供給源とガス流を交換するための高圧入力開口部１１と、高圧ピストンアセンブリ４０と高圧力カートリッジ３とを含み、高圧チャンバ１４と低圧チャンバ１６の間でガスの供給を制御する高圧サブアセンブリと、低圧ピストンアセンブリ８０とスプリングシート６１とスプリング６２と低圧レギュレータピン６３とを含み、低圧チャンバ１６と出力チャンバ１９の間でガスの供給を制御する低圧サブアセンブリと、出力チャンバ１９とガス流を交換する出力ポート１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】流体レギュレータに用いられる２ピーストリム装置を提供する。
【解決手段】流体レギュレータ５００は、弁箱１１８と、第一の流れ特性を提供する弁座リング２０４とを備えており、弁座リング２０４は、弁箱１１８内に配置され、流体オリフィス１２６が形成されており、弁座リング２０４は、第一の流れ特性とは異なる第二の流れ特性を提供する第二の弁座リングと交換可能となっており、この流体レギュレータ５００は、第三の流れ特性を提供するとともに上記弁座リング２０４に着脱可能に結合されるケージをさらに備えており、このケージは、第三の流れ特性とは異なる第四の流体流れ特性を提供する第二のケージと交換可能となっており、上記ケージを上記弁座リング２０４もしくは第二の弁座リングに選択的に結合することができ、また、弁座リング２０４を上記ケージもしくは第二のケージに選択的に結合することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低流量域における圧力調整弁の振動を防止することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る圧力調整弁は、ダイヤフラム１５によって仕切られた制御圧室Ｃと圧力調整室Ｐと、ダイヤフラム１５と共に軸方向に変位するバルブ本体１７と、バルブ本体１７が接離するバルブシート２３とを備え、圧力調整室Ｐ内の流体によるダイヤフラム押圧力が制御圧室Ｃ側からのダイヤフラム押圧力よりも大きいときに、ダイヤフラム１５がバルブ本体１７をリフトさせて流体排出通路２２を開く構成の圧力調整弁であって、バルブシート２３に対するバルブ本体１７のリフト量Ｘが150［μm］よりも小さい範囲では、流体排出通路２２を流れる流体流量Ｑ［リットル／時間］とリフト量Ｘ［μm］との関係が、Ｑ÷Ｘ＜0.46となるように、バルブ本体１７とバルブシート２３との形状、及び流体排出通路２２の径寸法が設定されている。 （もっと読む）

装置は基体の表面に配置された複数の閉セルからなる。閉セルの各々は約１ミリメートル以内の少なくとも１つの寸法を有し、媒質を保持するように構成されている。装置はまた、閉セルと接触する気泡液からなる。気泡液が界面活性剤を含む流動体壁を有し、気泡液層にあるバブルが媒質で満たされている。
（もっと読む）

【課題】ガス圧力調整器を大型化することなく、かつ圧力調整機構の応答性に影響を与えることのない発電機能を圧力調整器に持たせる。
【解決手段】ガス流入口に調圧弁２０を介して連通された調圧室１１の隔壁の一部を形成するダイアフラム１４と、このダイアフラムを調圧室側に付勢する調圧ばね１６とを備え、ダイアフラムの動きに連動して調圧弁の開度を調整して調圧室内のガス圧を調整する圧力調整器において、ダイアフラムと調圧ばねの少なくとも一方の振動を受ける部位に、機械エネルギを電気エネルギに変換する圧電素子モジュール６１、６２を配置し、ダイアフラムと調圧ばねの振動により発電するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

ネットワークを通じて、マスタ弁および少なくとも１つのスレーブ弁が接続されており、マスタ弁の位置設定点をブロードキャストして、少なくとも１つのスレーブ弁が、短縮した時間期間以内に、対応する位置に到達する。このようなネットワークは、専用ネットワーク、または位置設定点を優先する高速共有ネットワークである。 （もっと読む）

【課題】流体圧アクチュエータの作動制御を、電気配線を用いずに行い得るようにすることにある。
【解決手段】コンプレッサ１からの加圧空気の供給路２に接続された空気圧制御弁３−１〜３−ｎと、それらの空気圧制御弁を作動させるために、コンプレッサ１からの加圧流体に所定周波数の振動を加える振動子１２および振動子駆動回路１３とを具え、空気圧制御弁３−１〜３−ｎが各々、上記加圧空気から所定周波数の振動を伝えられるとその振動に共振して上記加圧空気の流路を開放するように振動する弁体を有することを特徴とする、共振制御式空気圧制御システムである。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの押圧板に形成されている山形環状リブの存在にかかわりなく洩れ試験の時間短縮を可能にした圧力調整器を提供する。
【解決手段】ガス導入口Ｉから調整弁機構Ｒを経てガス導出口Ｏに通じ、上記ガス導出口Ｏとダイヤフラム室４６とを連通させて、ガス導出口Ｏの圧力変動をダイヤフラム室４６に導き、ダイヤフラム２１の変位により上記調整弁機構Ｒを作動させる圧力調整器５０において、上記ダイヤフラム２１をバックアップする押圧板２２の山形環状リブ４４に通気孔２２ｂを設けてなる構成を採用したものであり、必要ならば上記調整弁機構Ｒの弁棒を共有するハイカット弁機構Ｈを併設することができる。 （もっと読む）

【課題】 給湯装置の利用の度に、給湯路側から湯水が出てしまうといった使い勝手の悪さをなくし、かつ、給湯装置の寿命も長くできるようにする。
【解決手段】 弁本体ボデイ内２に、弁室３と、弁室３に流体が流入する一次側流路４と、弁室３から流体が流出する二次側流路５とを設ける。弁室３に収容された弁体８には開弁方向の付勢力をメインばね９により印加し、二次側流路５の二次圧が設定圧よりも大のときには二次圧によりメインばね９の付勢力に抗して閉弁方向に移動して弁部７により弁孔６を閉止する。二次側流路５の圧力が給湯熱交換器の後沸き現象等によってさらに高くなると、導圧路１０を介して二次側流路５から水が膨張タンク室１１に流れ込む水の力によって、弁体８に係止した可動部材１３が押圧ばね１５の付勢力に抗して弁体８の係止部１２と反対側に移動しながら膨張タンク室１１内に流入し、膨張タンク室１１を広げる構成とする。 （もっと読む）

【課題】 逆止弁構造および逆止弁用弁体並びに弁体の製造方法において、流体の供給が停止した際に、流体の逆流や漏出を確実に防止する。
【解決手段】 逆止弁構造の弁体６００ａは、通常状態では加圧流体の通過を許容し圧縮された状態では加圧流体の通過を阻止する被圧縮層６０８と、被圧縮層６００ａを隔壁５４２との間に挟んで配される、加圧流体を通過させない非透過層６０６とを有する２層構造からなり、空間６０２には、弁体６００ａの移動を所定範囲内に規制する規制部５３３が設けられ、加圧流体の供給時には被圧縮層６０８が通常状態となって加圧流体の通過を許容し、非供給時には、弁体６００ａが他方の空間６０２の圧力により隔壁５４２に押し付けられて被圧縮層６０８が隔壁５４２に圧接されて圧縮する。 （もっと読む）