【課題】二個の整圧器を用いて下流側の異常昇圧を防止することができ、ガスの供給のための復帰が自動化できると共に、設置スペースと設備コストの低減が図れる整圧装置を提供する。
【解決手段】一本の管路ボディ５１に、下流側の圧力変動で開閉動作して下流側の圧力を所定範囲に保つ主整圧器５２と、下流側の圧力が設定圧力よりも上昇すると上流側と下流側の連通を遮断し、下流側圧力の低下に伴い流体の下流側への供給を再開する副整圧器５３の二台の整圧器を搭載し、前記両整圧器５２、５３を個々に独立して圧力設定できるようにする。 （もっと読む）

チェンバ（１０５）内における流体の圧力を制御する圧力制御システムは、チェンバ内における流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサ（１１０）と、チェンバから流出する流体の流量を規制することによって、チェンバにおける流体の圧力を制御するように構成されている弁（１２０）とを含む。圧力制御システムは、更に、コントローラ（１４０）も含む。コントローラは、チェンバの容積を推定し、弁の圧出速度曲線を発生するように構成されている。更に、コントローラは、圧出速度曲線の傾きを少なくとも最小値に維持するように、圧出速度曲線を監視し修正し、チェンバにおける圧力を所望の圧力設定点に維持するように、圧力センサによる圧力測定に応答して、弁の位置を調節するために、修正した圧出速度曲線を用いるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ハンチング抑制機能を備えたロードセンシング方式の油圧制御装置に好適な減圧弁を提供する。
【解決手段】弁本体１２内に第１、第２の貫通孔１４、１６が形成され、第２の貫通孔にスプール１８が摺動可能に収容されている。同スプールには第１ランド２０、第２径小部２２、第２ランド２４、第１径小部２６、第３ランド２８が形成され、第１および第２ランドの外径Ｄ２は第３ランドの外径Ｄ１より大きく形成されている。減圧弁１０の一次側ＬＳＩＮは前記第２径小部と第３ランド端面側に供給されている。また、二次側ＬＳＯＵＴは第１の貫通孔と接続されている。したがって、スプールの左右端面の受圧面積の差により第２径小部室Ｖ２と第１の貫通孔とが間断なく連通、遮断を繰り返し、結果として二次側の圧力を減圧する。 （もっと読む）

本発明はレギュレータのように、流入口ポートと流出口ポートとの間の流体の流れを制御し、デバイスを閉じるために必要な圧力を含むデバイスの流出口圧力を変えるための内部調節機構を備えた流量制御装置に関する。このデバイスは、当該デバイスのハウジングを形成するために着脱可能に取り付けられて内部デバイスキャビティを形成する弁箱及びボンネットのような第１及び第２の構成部品を有しうる。ピストンはデバイスキャビティ内に配置されてその内部を移動可能であり、デバイスキャビティの内面との間が密封されるようにして設けられている。これら構成部品とピストンは、流入口ポートを流出口ポートと連通させるデバイスキャビティ内のチャネルを形成するよう構成され、流出口ポートへの流体の流れを阻止する閉弁位置と該流体の流れを許容する開弁位置との間で移動可能となっている。内部調節機構は、ピストンが閉弁位置に移動するときの流出口圧力を上昇または降下させるために任意の方向に回転しうるホイールの形態であってもよい。ハウジングの長手軸線に対して変位して設けられる排出ポートにより、調節機構を操作するためにデバイスの内部へとアクセス可能となっている。
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【課題】ダイアフラムを備えたガスガバナでは、１次圧室から２次圧室への開口の面積よりダイアフラムの受圧面積が小さくなると２次圧が設定圧力より高くなる現象が生じる。また、開口の開度が大きい状態、すなわち大火状態で１次圧が上昇すると２次圧は設定圧力より低い圧力に制限することが望ましいが、小火状態では２次圧を設定圧力より低い圧力に制限すると、立ち消えのおそれが生じる。
【解決手段】大火状態で開口２１の面積Ｄ１よりダイアフラム６の受圧面積を大きく設定すると共に、閉弁状態から全開状態に変化するにつれて、ダイアフラム６の受圧面積がＤ２からＤ３へと大きくなるように設定した。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムに連結されたシール部材により１次側流体と２次側流体との接続部を開閉する圧力調整弁において、シール部材の振動を抑制することができる圧力調整弁を提供すること。
【解決手段】凹部１８が形成された弁本体１０と、弁座１６と、凹部１８の開口部１８ａを覆うように取付けられ、シール部材２６と連結され、又は連動するダイヤフラム２１と、ダイヤフラム２１を凹部１８側に付勢する付勢手段３０とを備え、シール部材２６が接続部１５を開閉する圧力調整弁１であって、弾性部材と、前記付勢手段３０の移動部側に設けられ、前記付勢手段３０の軸線Ｏ１に垂直な面に対して傾斜して形成された第１の支持部と、前記弁本体１０側に設けられ、前記軸線Ｏ１に垂直な面に対して傾斜して形成された第２の支持部とを備え、前記弾性部材が、前記第１の支持部と前記第２の支持部との間に配置される振動抑制手段５０を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

ドームロード型圧力調整器が開示されている。一例として示されている圧力調整器は、圧力入口と圧力出口とを有する本体を備えており、この本体には、ピストンが配説されている。ピストンは、流体を通じて、圧力入口、圧力出口および圧力制御入口に繋がれている。また、ピストンは、圧力制御入口を通じてピストンの表面に加えられる圧力に応答して、弁座に接触し、圧力入口から圧力出口へ流れる流体の流れを制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】単一のバルブ構造で、カット弁と減圧弁の二つの機能を併せ持った油圧制御弁を提供する。
【解決手段】バルブボディ１１０、スプール１２０、スプールを付勢するスプリング１３０、バルブボディに入力油圧を導入する導入通路１１１、スプリングと逆方向に制御力を作用させる反力油室１１３、バルブボディから出力油圧を排出する排出通路１１４、及び反力油室に入力油圧を導入する反力通路１１８とを設け、導入通路に供給された入力油圧が第１設定圧よりも低いときにスプールが導入通路と排出通路との連絡を遮断する作動位置に位置し、第１設定圧よりも高く第２設定圧よりも低いときにスプールが導入通路と排出通路との連絡を連通させる作動位置に位置し、第２設定圧よりも高いときにスプールが導入通路と排出通路との連絡を制限して排出通路から出力される作動油の出力油圧を第２設定圧に調圧する作動位置に位置するように油圧制御弁を構成する。 （もっと読む）

【課題】ボデー全体を大型化することなくコンパクトでありながらダイヤフラムの受圧面積を大きくして圧力制御時の精度や耐久性の向上を図ることができる流体制御機器を提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム２５の上下側を２つの環状部材２１、２３で挟み、ダイヤフラム２５と環状部材２１、２３を外径側からシール溶接したダイヤフラムユニット２０を構成し、このユニット２０のボデー接続側にネジ部２２を設け、このネジ部１３とボデー１２に形成したネジ部１３とを内側に装着したガスケット２７を介してユニット２０とボデー１２を螺着して、ダイヤフラムユニット２０とボデー１２をシール一体化した流体制御機器である。 （もっと読む）

【課題】 より一層のコンパクト化が果たされるとともに、圧力センサ単独での交換が容易な集積化流体制御装置を可能とする圧力センサ装置および圧力センサ内蔵流体制御機器を提供する。
【解決手段】 圧力センサ装置21は、所定の通路22aが形成された第１通路ブロック22と、所定の通路23aが形成されかつ第１通路ブロック22に所定間隔をおいて対向する第２通路ブロック23と、第１および第２のいずれか一方の通路ブロック23の対向面に設けられてその内部通路23bの流体圧力を検知する圧力センサ24とからなり、プレッシャレギュレータ16に一体化されている。 （もっと読む）

多機能または多用途の非常停止バルブコントローラを、さまざまな種類および構成の非常停止装置および関連の補助設備のテストを可能にするために、さまざまに異なる非常停止の構成において使用することができる。一例においては、非常停止バルブとともに使用するためのデジタル・バルブ・コントローラが、２つの圧力センサを備えており、空気式のバルブアクチュエータおよびソレノイドバルブ装置へと接続されるように構成されており、バルブアクチュエータのオンラインでのテストおよびソレノイドバルブのオンラインでのテストを助ける。ソレノイドバルブのテストを実行するために、バルブコントローラは、ソレノイドバルブがきわめて短い時間期間にわたって駆動されるときに、ソレノイドバルブの別個のポートの圧力を測定することができる。バルブコントローラは、ソレノイド装置が完全に機能または動作できるか否かを、測定された圧力信号の間の差の微分にもとづいて、すなわち測定された圧力信号の間の差の経時変化の速度にもとづいて、判断することができる。 （もっと読む）

【課題】減圧弁の弁体が接続部を開閉する場合に発生する２次側圧力のオーバーシュートやチャタリングの発生を抑制し、安定した減圧圧力と気体流量の供給が可能な減圧弁を提供すること。
【解決手段】１次側流体の流入口２１と、２次側流体の流出口３１と、流入口２１との接続部２８に弁座２９が設けられた弁室２と、前記弁座２９を押圧するシール部材４８を有し前記弁室２内に移動自在に配置され、前記２次側流体の圧力により前記シール部材４８を前記弁座２９に押圧する弁体４０と、前記シール部材４８を前記弁座２９から離間する方向に付勢する付勢部材とを備え、前記２次側流体の圧力が所定圧になることで前記接続部を閉塞されるとともに、前記２次側流体の圧力が所定圧未満となることで前記接続部２８が開放される減圧弁１であって、前記シール部材４８が弁座２９を開閉する際の移動速度を小さくする緩衝手段を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各ラインの流体を任意の比率で混合させ、脈動した流体も流量制御することができ、コンパクトな構成で狭いスペースに設置可能であり、設置における配管及び配線接続が容易である流体混合装置の提供。
【解決手段】２つの供給ラインがそれぞれ第一、第二流体制御弁と、各ラインの実流量を計測し信号を出力する各流量計測器と、各流体制御弁を制御するための指令信号を出力する各制御部とを具備し、２つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる。第一流体制御弁は制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御し、第２流体制御弁は流路の開口面積を変化させて流体の流量を制御する。例えば、半導体製造用の洗浄液を得るためにフッ化水素酸または塩酸が１に対して純水が１０〜２００の比率で混合される。 （もっと読む）

【課題】課題は、図１のようなダイアフラム式の圧力調整器において、ピンとダイアフラムを一体化し、リリーフ通路を持たせながら、バルブ１０とのスライドを可能にするために、５の調圧スプリングの両端面平行度などの形状精度が悪くても、３のダイアフラムが傾かないようにしようとする点である。
【解決手段】図２において、ダイアフラムアッセンブリ１４のピン部１８をバルブ１０でセンタリング勘合支持するとともに、ダイアフラムアッセンブリ１４の調圧スプリング側の端面１７を球面とし、調圧スプリング用リテーナ１５を設け、該リテーナとは上記球面で接触させ、スプリングの形状バラツキを両側の球状体で逃がす。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の開弁時における流量の増大を図る。
【解決手段】圧力調整弁は、１次側流路と２次側流路の間に開閉可能に設けられ、両流路間を流れる流体の流量を調整する弁体を備える。そして、この弁体に対しては、１次側流路１０４の壁面から離れた位置に設けられた開口部１３２によって取り込まれた流体の静圧が、その閉方向に作用される。開口部１３２では、流体の速度が速く、低い静圧を有する。したがって、弁体の開弁時には、流体の流れに鋭敏に反応して開弁量が増大するため、十分な流量を流すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 操作力の増減に応じて２次側圧力を増減できるリリーフ機能付き低圧流体減圧弁を提供する。
【解決手段】 第１の弾性シール材（ベローズ１４）と第２の弾性シール材（ベローズ２１）と、第１のポペット１０と挿通孔９の縁部間に形成された減圧絞り部１３と、該減圧絞り部１３と出力側弁室７を連通する減圧通路１２と、第２のポペット１７が当接する前記第１のポペット１０端部と前記第２のポペット１７端部間に形成されたリリーフ絞り部１８と、第１のポペット１０を貫通してリリーフ絞り部１８と第１の封止スペース１５を連通させるリリーフ通路１９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 レギュレータ本体を大型化することなく、非常に高圧の流体であっても精度良く調圧することができる流体用レギュレータを提供すること。
【解決手段】 流体用レギュレータ１では、調圧室９を、大径部９ａと小径部９ｂとを有するシート７側に凸となる段差形状として、小径部９ｂの径がシート７の外径よりも小さくしている。このため、シート７と小径部９ｂの底面との間の肉厚Ｔｉｎが従来のままで、シート７と大径部９ａの底面との間の肉厚Ｔｏｕｔが厚くなっている（Ｔｏｕｔ＞Ｔｉｎ）。これにより、流通路８の長さが変わらないので調圧バルブ１１のロッド１２を長くする必要がないので、レギュレータ本体を大型化させることなく、ボデー２のＡ部付近の肉厚を厚くして剛性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】調圧シャフトの往復動に伴って発生する摺動抵抗を低減させることができ、もって製品の小型化とともに製品特性の高精度化を実現する。
【解決手段】給水配管に用いられる減圧弁１であって、流出側２次圧Ｐ_２とこれに対抗するよう配置した調圧スプリング１５のバネ力との均衡点を求めて作動する調圧ダイアフラム１４に連結されて往復動することにより弁体部２０を弁座部２１に対して接近離反させる調圧シャフト１６を有し、シャフト１６には２次圧Ｐ_２が背圧として作用する減圧弁１において、シャフト１６はホルダー２２により摺動自在に支持されるとともにホルダー２２はフローティング状態にて弁ケース２に保持される。また流入側１次圧Ｐ_１が背圧室２６に流入しないようシャフト１６およびホルダー２２間に設けられる内側シール３２は、ホルダー２２の内周面に設けた装着溝３３に装着されてシャフト１６の外周面に摺動自在に密接する。 （もっと読む）

【課題】燃料電池自動車に搭載されている燃料電池に供給する水素の圧力を制御する水素圧力制御装置として好適に用いることができる流体圧力制御装置を提供する。
【解決手段】水素ガス圧力制御弁１００は、第１ダイアフラム１２１と第２ダイアフラム１２２を挟んで背圧室１３１と調圧室１１１が設けられている。背圧室１３１には、制御用流入口１３５を介して加圧空気が流入する。また、背圧室１３１内の加圧空気は、制御用流出口１３７に連接して設けられている電磁弁２００によって排出される。制御装置は、入力信号に応じたデューティ比を有する電力パルスを、電磁弁２００のソレノイドコイル２１４に供給する。 （もっと読む）

【課題】主弁の主弁体の開度が小さい場合であっても安定して制御ができ、更にコンパクト化を図ることができる減圧弁を提供すること。
【解決手段】減圧弁１は、主流路５の主弁口11を開閉するピストン主弁体12を有する主弁10と、ピストン主弁体12を開閉方向に摺動案内するガイド棒40と、一次側流路６と二次側流路７とを連通する副流路50と、副流路50の途中に設けられた副弁口21を開閉する副弁体22及び該副弁体22を副弁軸23を介して開閉動作させる副シリンダ駆動部25を有する副弁20と、を備える。副流路50は、ガイド棒40の内部及びピストン主弁体12の内部を順次通って設けられている。副弁口21はガイド棒40の内部に設けられている。ガイド棒40の内部に副弁口21と連通して設けられた中空部53b内に、副弁20の副弁体22及び副弁軸23が副弁口21に対して開閉動作可能にガイド棒40の軸方向に挿入配置されている。 （もっと読む）