本発明は、共振超音波圧電素子駆動段（１）を制御する装置に関するものであり、前記装置は：ＤＣ電圧（ＶＢＡＴＴ）を中間ＤＣ電圧（Ｖｉｎｔｅｒ）に昇圧する第１段（２）と、第２変換段（３）を備え、前記第２段は、前記中間ＤＣ電圧に接続されるインダクタ（Ｌｐ）と、第１スイッチングトランジスタ（Ｍ）を含み、前記第１スイッチングトランジスタは、前記インダクタを充電するフェーズ、及び前記インダクタに蓄積されるエネルギーを第１指令パルス列（Ｖ１）に応答して転移するフェーズを選択的に制御することにより、前記圧電素子駆動段の励磁電圧（ＶＥ）を生成し、前記第２段は、前記第１トランジスタのドレインと前記インダクタの一方の端子との間に直列接続される第２スイッチングトランジスタ（Ｍ’）を含み、前記第２スイッチングトランジスタは、前記充電フェーズ中に前記インダクタに蓄積されるエネルギーを第２指令パルス列（Ｖ２）に応答して制限することにより、前記励磁電圧の振幅を減少させるために適することを特徴とする。
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【課題】圧電素子を駆動源として用いて新規なメカニズムにより動作する球面モータを提供する。
【解決手段】ベース１２の表面には４個の支持台１４が円周方向に均等角度間隔に固定配置されている。各支持台１４には圧電素子１１がそれぞれ収容されている。各圧電素子１１は電圧の印加により長手方向に伸長する。各支持台１４の上部には凹所１６がそれぞれ形成されている。凹所１６には円柱状のローラ１８が上下方向に移動自在にそれぞれ横倒しで収容されている。ローラ１８は圧電素子１１の上に載置支持されている。４個のローラ１８上には大球２０の下面が四点支持されている。大球２０は板ばね３０、小球４８，スライド棒３８、コイルスプリング４６等で構成された弾性押圧部材により上側から支持されている。各圧電素子１１は矩形波、のこぎり波等により選択的に駆動される。 （もっと読む）

【課題】エンコーダなどのセンサを用いることなく、移動体の回転位置や回転速度の検出が可能なセルフセンシング方式の超音波モータにおいて、駆動性能の低下を抑える。
【解決手段】振動体（ステータ）は圧電素子１２ａの振動によって移動体（ロータ）を駆動し、その移動体に形成した溝を振動体の接触部が通過する際の検出電極ＩＳからの出力変化で移動体の回転位置を検出するにあたって、振幅検出部２８は検出電極ＩＳからの出力振幅を検出し、偏差算出部２９が、理想振幅値（最適駆動の振幅値）との偏差を演算し、その演算結果に応じて制御部２４が駆動電圧発生部２５の発振周波数を変化させる。したがって、溝の無い通常域の通過時には通常の共振周波数で振動させ、溝の有る検出域の通過時には振動周波数を低下させて共振周波数にマッチさせ、駆動性能（トルク）の低下を抑えることができる。回転位置は、位置検出部３０が、駆動周波数の変化から検出する。 （もっと読む）

【課題】容量性負荷のための簡単な又は低廉な駆動回路を提供する。
【解決手段】駆動回路は、直流電源と、制御信号を供給する制御ユニットと、入力端子、出力端子及び制御端子を各々含む第１スイッチ及び第２スイッチより成るパワースイッチトポロジーであって、入力端子は電源に各々接続され、制御端子は制御ユニットに接続されてそこから制御信号を受信し、出力端子はノードに接続されるようなパワースイッチトポロジーと、そのノードと電源との間で容量性負荷に直列に接続されたインダクタンスとを備え、制御信号がスイッチを交互に導通するように制御して、ノードがパルス信号を出力するようにさせる。 （もっと読む）

【課題】目標位置に正確に停止させることができる振動型アクチュエータ制御装置、レンズ鏡筒、撮像装置、振動型アクチュエータの制御方法、振動型アクチュエータの制御プログラムを提供する。
また、個体差、負荷条件、環境条件等によらず駆動時に発生する音を低減できる振動型アクチュエータ制御装置、レンズ鏡筒、撮像装置、振動型アクチュエータの制御方法、振動型アクチュエータの制御プログラムを提供する。
【解決手段】伝達機構２１０のバックラッシュが解消するまでの超音波モータ２０６の掃引レートと、解消後の掃引レートとを変更する。さらに、加速掃引時の移動量から減速に要する移動量を予測することで、減速開始位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】複数のアクチュエータを安定に動作させることができる駆動装置及び光学装置を提供する。
【解決手段】
圧電素子６ａ，８ａに駆動軸６ｂ，８ｂを取り付けたアクチュエータ６，８を有し、駆動信号により圧電素子を伸縮させ、圧電素子６ａ，８ａの伸縮動作に応じて駆動軸６ｂ，８ｂを往復運動させて、駆動軸６ｂ，８ｂに摩擦係合させた被駆動部材を移動させる駆動装置において、駆動信号として、同一の周波数ｆで位相が異なるパルス信号Ｓｙ，Ｓｘを用いる第１制御部３０を備えることで、各圧電素子の消費電流が最大となるタイミングをずらし、圧電素子６ａ，８ａに共通の電源回路６３が出力する瞬間最大電流の増大を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】振動アクチュエータの組立性を向上させる。
【解決手段】振動アクチュエータ１００は、ロータ１６０、ステータ１２０、及び電気機械変換部１３０に挿通され、ベース部１５０と螺合しており、ベース部１５０と共にステータ１２０及び電気機械変換部１３０を締付ける締付部１１６と、ステータ１２０からロータ１６０の側へ延びる外延部１１２とが設けられた軸部材１１０と、外延部１１２が挿通されると共にステータ１２０に接するように配され、外延部１１２と螺合し、ステータ１２０から振動を付与される振動体２１０とを備え、軸部材１１０とベース部１５０との螺合部と、外延部１１２と振動体２１０との螺合部とが互いに逆ネジの関係にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ステージをコンパクトに構成できると共に、所望の精度を確保でき、更にスケールの防塵を行うことができるようにする。
【解決手段】ベース部２と、テーブル３と、ベース部２とテーブル３との間に配置される案内部材１ａ、１ｂと、テーブル３に摺動板固定部材９と一体的に固定される摺動板８と、超音波モータ１０と、テーブル３にスケール固定部材６と一体的に固定されるスケール４と、センサ５とを含むステージにおいて、治具部材２１を用いて案内部材１ａ、１ｂに予圧を与えた状態で案内部材１ａ、１ｂを固定した後に治具部材２１を取り外し、治具部材２１を取り外した位置に摺動板固定部材９と一体的に固定した摺動板８をテーブル３に固定し、及び又は、治具部材２１を取り外した位置にスケール固定部材６と一体的に固定したスケール４をテーブル３に固定する、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】環境温度が異なっても、安定した速度制御が可能な振動アクチュエータの駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ７の駆動装置１０は、周波数が変更可能な駆動信号を発生する駆動信号生成手段１２と、駆動信号生成手段より発生された駆動信号を移相させる移相手段１３と、移相前の駆動信号と移相後の駆動信号を振動アクチュエータに出力する出力手段１２と、周波数を一定で移相手段による駆動信号の移相量を変更することにより、振動アクチュエータによる被駆動物体の駆動速度ｕを制御する制御手段１１と、振動アクチュエータの環境温度を検出する温度検出手段１７とを有し、制御手段は、予め記憶された、環境温度に対応した周波数の補正量のデータに基づいて、温度検出手段による検出結果に対応した補正量により補正した周波数で駆動信号を発生させるように駆動信号生成手段を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】出力トルクを効率よく向上させることができる振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】振動アクチュエータ１００は、軸部材１１０と、軸部材１１０の軸線Ｌ周りに回転自在な一対のロータ１６０、１６１と、一対のロータ１６０、１６１の間に、一対のロータ１６０、１６１のそれぞれに接して配された一対のステータ１２０、１２１と、一対のステータ１２０、１２１の間に配され、一対のステータ１２０、１２１のそれぞれに対して軸線Ｌの周りに遷移する振動を付与する一対の電気機械変換部１３０、１３１と、一対の電気機械変換部１３０、１３１の間に配され、ステータ１２０、１２１の両方に結合してステータ１２０、１２１のそれぞれとの間で対応する電気機械変換部１３０、１３１を保持する保持部材１７０とを備え、ステータ１２０、１２１と保持部材１７０とは、電気機械変換部１３０、１３１よりも保持部材１７０側で結合されている。 （もっと読む）

【課題】実際の製品として利用可能な形態で超音波振動子から被駆動部材への押圧力を直接的に高精度で測定することができ、製品に組み込まれた後であっても容易に押圧力を再設定できる超音波モータ及び超音波モータの押圧力検出方法を提供すること。
【解決手段】内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bが設けられた圧電シートが複数枚積層されて構成された圧電振動子３に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させて楕円振動を発生させて駆動力を得る超音波モータに、前記圧電振動子3の出力端を被駆動部材7に押し付ける押圧手段5と、前記押圧手段5による押圧力を検出する押圧力検出手段と、を具備させる。前記押圧力検出手段は、前記内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bと、前記内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bにおいて圧電効果によって生じた電気信号に所定のフィルタ処理を施す積分器101と、を有する。 （もっと読む）

【課題】振動板の剥がれを防止して耐久性及び信頼性を向上したアクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】振動板と、振動板上に下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備するアクチュエータ装置であって、振動板が、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）からなる絶縁体膜を少なくとも含み、絶縁体膜の結晶は（−１１１）面が優先配向しているようにする。 （もっと読む）

【課題】被駆動部材の移動抵抗及び摩擦抵抗を低減しつつ確実にガイドすることができ、かつ、小型化可能なリニア駆動型超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、被駆動部材に当接する球状の転動部材と、転動部材を介して被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備する超音波モータであって、転動部材は、被駆動部材と第１の当接点で当接し、かつ、ベース部材と２つの第２の当接点で当接しており、第１の当接点と２つの第２の当接点とをそれぞれ結ぶ２本の直線の長さが略等しい。 （もっと読む）

【課題】安定した押圧力を得ることができ、外部装置との関係における制約が少ない、小型のリニア駆動型超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、第１の収容凹部が形成され、その内部に超音波振動子と押圧部材が収容された第１のケース部材と、被駆動部材を移動可能に支持する案内手段と、第２の収容凹部が形成され、その内部に転動部材が収容された第２のケース部材と、を少なくとも具備している。 （もっと読む）

【課題】安定した押圧力を得ることができ、外部装置との関係における制約が少ない、小型のリニア駆動型超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、超音波振動子、押圧部材、及び被駆動部材を収納するケース部材と、ケース部材内部において被駆動部材に連結する連結部材と、を少なくとも具備したリニア駆動型超音波モータであって、ケース部材は、連結部材の一部を通すための開口部を備える。 （もっと読む）

【課題】安定した押圧力を得ることができ、外部装置との関係における制約が少ない、小型のリニア駆動型超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、超音波振動子と押圧部材を収容するケース部材と、被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備し、押圧部材の中央部が超音波振動子と当接し、かつ、押圧部材の端部のうちの少なくとも中央部を挟む二つの端部がケース部材と当接した状態でケース部材がベース部材に組みつけられる。 （もっと読む）

【課題】好適な制御が可能な振動アクチュエータ駆動装置を提供すること。
【解決手段】振動アクチュエータ３０を駆動させるための駆動信号を発生させる駆動回路４１と、前記駆動回路４１の近傍に備えられ温度を検出するセンサ４６と、前記センサ４６の出力に応じて前記駆動信号を補正する制御部４３とを含むことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。 （もっと読む）

【課題】多自由度の振動アクチュエータにおいて、可動子の蛇行を抑制するように駆動条件を設定することができる振動アクチュエータ及びその制御方法ならびにロボットハンドを提供する。
【解決手段】振動アクチュエータは、所定の試験時間中に、駆動用の交流電圧である第１駆動電圧Ｖｄ１、第２駆動電圧Ｖｄ２、および第３駆動電圧Ｖｄ３の周波数を変化させつつ、回転子６の意図した方向への移動量に関連する移動表示値と、意図しない方向への蛇行量に関連する蛇行表示値とを測定する。Ｘ軸周りの回転の場合、移動表示値は、第１電流測定値Ｉｍ１および第２電流測定値Ｉｍ２であり、蛇行表示値は第３電圧測定値Ｖｍ３である。そして、測定された移動表示値および蛇行表示値に基づいて交流電圧の運転用の周波数を決定する。 （もっと読む）

【課題】駆動速度のバラツキの小さい圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】圧電素子３と、圧電素子３に一端が固定された駆動軸４と、駆動軸４に摩擦係合する移動部材５とを含む圧電アクチュエータ１の圧電素子３にレーザ光線Ｌを照射することによって、圧電素子３を部分的に、好ましくはキュリー温度以上に加熱し、圧電アクチュエータ１の駆動速度が所望の速度になるまで、圧電素子３の分極率を低下させる。 （もっと読む）

【課題】小型化および構造の簡略化を図ると共に、効率および精度の高い動作を行なう。
【解決手段】矩形型の圧電振動子１の二組の辺のうち、一方の組の辺の長さをＬとし、他方の組の辺の長さをｗとし、ｗ／Ｌを変数として、ｗ／Ｌと拡がり振動モードの共振周波数とを対応させると共に、ｗ／Ｌと曲げ振動モードの共振周波数とを対応させた場合、圧電振動子１は、ｗ／Ｌの値が実質的に０．８５となるように形成されており、圧電振動子１のいずれか一方の主面上に並設された２枚の電極４ａ、４ｂと、少なくとも一方の電極に対して交流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる共振駆動装置３２と、２枚の電極４ａ、４ｂのうち、少なくとも一方に対して直流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる直流駆動装置３３と、共振駆動装置３２または直流駆動装置３３のいずれか一方を選択して動作させる制御部３４と、を備える。 （もっと読む）