【課題】ＯＣＸＯにおいて、水晶振動子及び発振回路の置かれている雰囲気温度を高い精度でコントロールし、出力周波数について高い安定度が得られること。
【解決手段】第１及び第２の水晶振動子１０、２０の発振出力をｆ１、ｆ２とし、基準温度における前記発振出力の発振周波数を夫々ｆ１ｒ、ｆ２ｒとすると、周波数差検出部３により、｛（ｆ２−ｆ１）／ｆ１｝−｛（ｆ２ｒ−ｆ１ｒ）／ｆ１ｒ｝を演算する。この値を３４ビットのディジタル値で表わすことにより温度に対応してディジタル値を得ることができる。従ってこの値を温度検出値として取り扱い、温度設定値との差分をループフィルタ６１に供給し、ここからのディジタル値を直流電圧に変換し、ヒータ５を制御する。更に前記温度検出値に基づいて、ＯＣＸＯの設定周波数を補正し、雰囲気温度が基準温度からずれたことによる周波数の変動分を補償するようにする。 （もっと読む）

【課題】複数の振動領域を有する水晶振動子において、一方の振動領域が他方の振動領域に与える影響を抑えると共に簡素な構成の水晶発振器を構成することができる技術を提供すること。
【解決手段】水晶片に設けられる第１の振動領域と、前記水晶片に設けられ、第１の振動領域とはその厚さ及びＸ軸の正負の向きが異なる第２の振動領域と、第１の振動領域、第２の振動領域に夫々設けられ、各振動領域を独立して振動させるための励振電極と、を備えるように水晶振動子を構成する。一方の振動領域と他方の振動領域とから夫々温度変化に対して互いに異なる大きさで変化する周波数を取り出すことができるので、温度に対して明確に周波数変化が起きる方の振動領域の発振周波数に基づいて、他の振動領域からの発振周波数を制御することができる。これにより、水晶発振器の複雑化を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＬＬ回路を有する発振器であって、小型化を図ることができる発振器を提供する。
【解決手段】発振器１００は、基板１１０の上方に配置された第１ＭＥＭＳ振動子１２を含み第１発振信号を出力する基準発振回路と、基板１１０の上方に配置された第２ＭＥＭＳ振動子５２を含み制御信号で発振周波数が制御され第２発振信号を出力する電圧制御発振回路と、前記第２発振信号を分周して分周信号を出力する分周回路と、前記分周信号と前記第１発振信号との位相差に基づいた前記制御信号を出力する位相比較回路と、を含み、第１ＭＥＭＳ振動子１２および第２ＭＥＭＳ振動子５２の各々は、第１電極と、第２電極と、を有し、第２電極は、第１電極と対向配置された可動部を有し、基板の平面視において第１ＭＥＭＳ振動子１２の可動部の面積は、第２ＭＥＭＳ振動子５２の可動部の面積よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】動作温度範囲内（−４０℃から＋８５℃）における周波数変動量を１０ｐｐｍ以内とすることのできる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】３次関数温度特性を備え前記３次関数温度特性における３次温度係数が−γ_１でありγ_１＞０である第１の共振子１４と、第１の共振子１４に接続され、３次関数温度特性を備え前記３次関数温度特性における３次温度係数がγ_２でありγ_２＞０である第２の共振子１６とを備え、第１の共振子１４と第２の共振子１６との間における変曲点の差が１９℃以下であり、０＜｜γ_１｜≦｜２．４γ_２｜の関係を満たすことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能なＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳ素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された空洞部３２と、空洞部３２に収容された第１振動子２０ａと、空洞部３２に収容された第２振動子２０ｂと、を含む。 （もっと読む）

【課題】周波数安定度に優れると共に電子雑音特性が良好であり、且つ回路を簡単に構成できる温度補償圧電発振器を提供すること。
【解決手段】温度補償圧電発振器（ＴＣＸＯ）において、補償電圧ΔＶを求めるための温度Ｔを検出する温度検出部３２として、外部に設定周波数ｆ_０を出力する主発振部１１と水晶基板２を共用する補助発振部２１を用いると共に、水晶基板２上にはこれらの主発振部１１及び補助発振部２１の電極１３、２３を個別に設けて、主発振部１１及び補助発振部２１では夫々例えば基本波及びオーバートーンを利用するか、あるいは厚み滑り振動及び輪郭滑り振動を利用する。 （もっと読む）

【課題】品質係数Ｑ値が高く、しかも容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ_１が、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ_２より大きくなるように、音叉形状と溝と電極の寸法が決定される。水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成、その上にレジストが塗布され、第１音叉腕４６と第２音叉腕４７とを備えた音叉形状を形成、第１音叉腕４６と第２音叉腕４７の各々の上面と下面の各々に溝が形成され、金属膜の上に塗布されたレジストを除去し、溝の面の上に第１電極が形成され、かつ、第１音叉腕４６と第２音叉腕４７の各々の側面に第２電極が形成され、各音叉型屈曲水晶振動子を水晶ウエハから切り離し、音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する。 （もっと読む）

【課題】品質係数Ｑ値が高く、容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】逆相の屈曲モードで振動し、音叉基部と音叉基部に接続された第１及び第２音叉腕とを備えた音叉型水晶振動子７０と、ケース７１と、蓋７２を備えて構成されるユニット１７０であって、水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成し、その上にレジストを塗布、第１及び第２音叉腕とを形成し、第１及び第２音叉腕の各々の上面と下面に溝を形成、その上に形成された第１電極が、第２音叉腕の側面に形成された第２電極に接続され、同様に第２音叉腕に形成された第３電極が、第１音叉腕の側面に形成された第４電極に接続され、音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が少なくとも２回、異なる工程で調整されていて、ケースの固定部に音叉型屈曲水晶振動子が固定され、ケースに蓋が接続される。 （もっと読む）

【課題】温度補償の演算処理をデジタル化して小型化できるとともに、高精度な温度補正を可能とすることを目的とする。
【解決手段】本発明の温度特性補償方法は、２次の温度特性を有し２次温度係数が同一で頂点温度が互いに異なる２つの電圧制御発振器２０，２２の初期周波数を設定し、電圧制御発振器２０，２２を起動してそれぞれの出力周波数を測定し、測定した電圧制御発振器２０，２２の出力周波数の差分を算出し、差分に対応した補正値を計算し、得られた補正値を前記２つの電圧制御発振器２０，２２に入力し周波数補正することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の連続性を備えながら広帯域化を実現する。
【解決手段】弾性表面波発振器１は、出力端子ＯＵＴ１と出力端子ＯＵＴ２に差動接続されたクロスカップル型回路１０と、クロスカップル型回路１０に並列に接続される共振周波数の異なるＳＡＷ共振子２０，３０と、出力端子ＯＵＴ１から印加される第１の制御電圧に応じて容量値が変化するバリキャップダイオード５０を含みＳＡＷ共振子２０共振周波数を変化させる可変容量回路１００と、出力端子ＯＵＴ２から印加される第２の制御電圧に応じて容量値が変化するバリキャップダイオード６０を含みＳＡＷ共振子３０の共振周波数を変化させる可変容量回路２００と、を有し、ＳＡＷ共振子２０と可変容量回路１００、ＳＡＷ共振子３０と可変容量回路２００、とが接続され、クロスカップル型回路１０によって、ＳＡＷ共振子２０とＳＡＷ共振子３０との結合された発振出力を出力する。 （もっと読む）

【課題】消費電力が小さく周波数温度変化量が小さい小型の水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶振動子１０は、基部２１と、基部２１から平行に延在される少なくとも
一対の振動腕３０，４０とを有し、振動腕３０，４０それぞれが、先端部に設けられる付
加質量部３６，４６と付加質量部３６，４６よりも厚さが薄いアーム部３５，４５と、電
極５１〜６０とを有している。また、水晶振動子１０は、水晶振動片２０と直列接続され
るとともにアーム部３５，４５それぞれの表面３１，４１に設けられる圧電体薄膜７１，
７２と、圧電体薄膜７１，７２の表面に形成される電極５５，６０とを含む圧電体薄膜素
子１００，１０１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】２個以上の発振器が必要であり、ＦＳＫ送受信装置が大型化し、かつ高コスト化した。
【解決手段】送信のための第１、第２の搬送波、及び、受信のための第３の搬送波を生成可能な弾性表面波素子型発振器を含む。 （もっと読む）

本発明は２つの表面波シングルゲートレゾネータと活性の電子回路との接続体から成る発振器回路に関する。２つのレゾネータは並列に接続されても直列に接続されてもよいが、高周波数の反共振または高周波数の共振が発生するようにする。ここで、例えばレゾネータに直列または並列に接続された個々のキャパシタンスが用いられ、インダクタンス素子が必要ない。各レゾネータはインターディジタルトランスデューサを含む。各インターディジタルトランスデューサのアパーチャ、フィンガ数、電極層の厚さなどの特性および伝搬方向は、接続体の温度‐位相特性の変化が他の素子の温度‐位相特性の異なる符号にともなって生じるように選定される。これは電子回路の負の差動抵抗の値を選定することによっても達成される。
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【課題】寄生容量や寄生インダクタンスを低減しながら初期周波数調整を行なうことを可能とし、安定した特性を有する小型の弾性表面波デバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＡＷ発振器１０は、回路定数の異なる複数の発振回路１４〜１６を有する半導体回路領域１３と、ＩＤＴ電極４を有する弾性表面波素子領域１２とを有している。そして、ＩＤＴ電極４のＩＤＴ接続パッド５ａ，５ｂと、複数の発振回路１４〜１６のうち選択された一つの発振回路１５の回路接続パッド１５ａ，１５ｂのそれぞれとが、液滴吐出用導電材料からなる回路接続配線９により接続され、ＳＡＷ発振器１０の一つの回路が形成されている。回路接続配線９は液滴吐出用導電材料からなり、液滴吐出法により形成されているので、マスクが不要で工程の簡略化も可能となり、寄生容量や寄生インダクタンスを低減できる。 （もっと読む）

【課題】数１００ＭＨｚから１０ＧＨｚ付近までの高周波数領域において、高い周波数純度の原発振が得られ、スプリアスが少なく信頼性の高い小型で使い易い、薄膜バルク弾性波発振器、および、その製造方法を提供すること。また、広帯域化された可変周波数範囲を有する電圧可変発振器、および、その製造方法を提供する。
【解決手段】微細加工技術を用いて基板上にトランジスタやキャパシタンスの回路素子が形成された回路素子部と、回路素子部の上層であって基板及び該回路素子部と音響的に分離する為の高音響インピーダンス材料で構成される薄膜と低音響インピーダンス材料で構成される薄膜とを交互に積み重ねて構成された音響ミラー層と、該音響ミラー層の直上に薄膜形成技術を用いて形成された圧電体薄膜を上部電極層と下部電極層とで挟み込んだ構造とされかつ基板側と音響的に分離された薄膜バルク弾性波共振子とからなり、回路素子と薄膜バルク弾性波共振子とを微細加工技術を用いて配線接続する。 （もっと読む）

【課題】エネルギ効率のよい小さく安価なクロックを提供すること
【解決手段】第1と第2の共振器が互いに隣接してモノリシックに製造される。第1の共振器は基準共振器である。第2の共振器の共振周波数は、第1の共振器から差周波数Foだけオフセットしている。各共振器は、発振器内に包含される。ミクサーが、双方の発振器の出力を受け取る。低域フィルタが、ミクサーの出力を受け取り、差周波数Foに等しい周波数のクロック信号を生成する。 （もっと読む）

機械的発振器（２０）が、サブミクロンの範囲の寸法を有する構成要素を有し、ギガヘルツの範囲において共振モードの発振を生じる。大きな要素（２１）が、小さなサブミクロンの要素（２２）と結合され、直ちに利用可能な技術を用いて検出される大増幅のギガヘルツ周波数発振を生じる。機械的構造は、ビームと、リングとを含む多くのジオメトリに従って形成され得、静電気と、磁気と、熱に関係する力ならびに他の励起技術を用いて励起される。機械的構造は、増幅およびミキシングなどの適用のためにアレイに配列され得、電気的または光学的な相対物よりも衝撃および放熱の環境に対して感応しにくい。
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本発明は、２つのワンポート表面波共振器を周波数規定エレメントとして含む発振器に関するものである。本発明の基礎とする課題は、音響表面波共振器を周波数規定エレメントとして含む公知の形式の発振器を改善し、それぞれの温度で調整される発振器周波数のパラメータ｜Ｓ２１｜が僅かしか温度に依存しないようにすることである。本発明による発振器は、所定の温度を基準にして、２つのワンポート表面波共振器（２，３；１２，１３；４２，４３）の同期周波数の一次の温度係数が異なる符合を有するか、またはゼロであり、２つのワンポート表面波共振器の同期周波数の二次の温度係数が同じ符合を有する。２つのワンポート表面波共振器からなる回路は双極子または四極子である。変換器相互のアパーチャ比および櫛の歯数比は、発振器の使用温度領域において温度が発振器周波数に及ぼす影響が最小であるように選択されている。
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【課題】 ＳＡＷ素子を用いて所望の回路を構成する場合において、ＳＡＷ素子の周波数特性の選択範囲を広げることができると同時に、回路の小型化や低コスト化を図ることのできる半導体装置を提供する。
【解決手段】 本発明の半導体装置１００は、半導体回路１２０が構成されてなる半導体基板１０１と、前記半導体基板上に形成された圧電体薄膜１０４と、圧電体薄膜上に形成された複数のＩＤＴ１０５を含み構成された複数のＳＡＷ素子１１０とを具備し、半導体回路１２０には、複数のＳＡＷ素子のいずれかに接続される共通回路構成部１２３，１２４，１２５，１２６，１２７と、複数のＳＡＷ素子を切り替えて共通回路構成部に接続する切替手段構成部１２２とが設けられ、複数のＳＡＷ素子が相互に異なるＳＡＷ特性を有するように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２周波出力の電圧制御圧電発振器において、二つの水晶発振器の出力周波数が大きく異なると、それぞれの発振器出力にＬＣ同調回路を必要とするので、部品点数が増えて小型化の障害となる。
【解決手段】第１の圧電発振器と、第２の圧電発振器と、外部から供給された選択信号に基づき前記第１、第２の圧電発振器がそれぞれ出力する発振信号のうち、いずれか一方を選択し出力する切替手段とを備えた２周波出力圧電発振器において、前記切替手段の出力に少なくともインダクタンス素子と可変容量素子とを有するＬＣ可変同調回路を備えたことを特徴とする２周波出力圧電発振器。 （もっと読む）