【課題】硬質の導電性接着剤により圧電振動素子をセラミックパッケージ内底面に接続しても、熱応力の発生に起因する諸特性の劣化を解決する表面実装型圧電デバイス（振動子、フィルタ）を提供する。
【解決手段】圧電振動素子を表面実装型パッケージ内に片持ち保持で電気的機械的に接続する圧電デバイスであって、圧電振動素子の片面上のパッド電極と表面実装型パッケージ内底面上の導通パッドとの接続を硬質の導電性接着剤にて行ったものにおいて、パッド電極上の各導電性接着剤を結ぶ直線の延長上に圧電振動素子の主振動部が位置するように構成した。これにより導電性接着剤固着部の支持拘束力が圧電振動素子の温度変化に付随した膨張、収縮を妨げることを防止し、熱応力の発生を抑制し、諸特性の劣化を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】デジタル地上波ＴＶ電波に整合させた広い通過域を有して低損失になり、かつＴＶ電波の帯域外における互いに接近した減衰域では急峻で大きな減衰量を得ることができ、そしてインダクタの使用個数を抑えられる弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】信号路の同電位点に、複数の減衰域を夫々形成するための複数の並列腕をなし、直列共振を起こす素子部を接続し、これら複数の素子部からなる素子部の組を前記信号路に複数段接続し、また互いに隣接する素子部の組の間における前記信号路に位相反転用のインダクタを設ける。更に、信号路に直列腕をなし、通過域よりも高域側に反共振点を有しかつ通過域に共振点を有する弾性波共振子を接続し、信号路に前記弾性波共振子と直列に設けられ、一端が当該弾性波共振子に接続されると共に、他端が入力ポートに接続されるか、または当該弾性波共振子に隣接する前記素子部の組の同電位点にインダクタを接続する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子を備えたフィルタを小型化することができるとともに、メンブレン端部にクラックが入ることを防ぐ。
【解決手段】上部電極２と下部電極３とが圧電膜４を挟んで対向する共振部（メンブレン領域）が、空隙９を挟んで基板１上に配されている圧電薄膜共振子を複数備えている。空隙９は、複数の圧電薄膜共振子の下部において連続した空間として備わっている。また、犠牲層エッチング液を注入するためのリリース孔６を備えている。これにより、複数の圧電薄膜共振子で空隙９を共有することができ、リリース孔を減らすことができ、フィルタを小型化することができる。また、共振部がエアーブリッジ型電極８で支持されていることにより、共振部の端部に応力が集中するのを防ぎ、クラック等が入ることを防止する。 （もっと読む）

【課題】従来の格子フィルタと比較して、通過帯域のエッジの減衰勾配が急なフィルタ構造を提供すること。
【解決手段】一実施形態によるフィルタは、第１信号線および第２信号線を備える第１ポートと；第１信号線および第２信号線を備える第２ポートと；前記第１ポートの前記第１信号線を前記第２ポートの前記第１信号線に接続する第１共振子と；前記第１ポートの前記第２信号線を前記第２ポートの前記第２信号線に接続する第２共振子と；前記第１ポートの前記第１信号線を前記第２ポートの前記第２信号線に接続する第３共振子と；前記第１ポートの前記第２信号線を前記第２ポートの前記第１信号線に接続する第４共振子と；を有し、前記第１〜第４共振子はいずれもバルク音波共振子であり、前記第１及び第２共振子は第１の面積を有し、前記第３及び第４共振子は第２の面積を有し、前記第１の面積は前記第２の面積よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】高減衰、高アイソレーション化と同時に低損失化を可能とする。
【解決手段】任意の周波数帯域の信号を抽出するフィルタ部３と、フィルタ部３に接続され、フィルタ部３の通過帯域より高い反共振周波数を持つ共振器１と、共振器１に並列接続されている位相変換器２とを備え、位相変換器２は、フィルタ部３の通過帯域外の周波数帯において電気的に誘導性となり、かつ入力される信号を共振器１の位相と１８０度異なる位相に変換する。 （もっと読む）

【課題】同一チップ内に各々異なる共振周波数を有する複数の圧電薄膜共振子からなる弾性波デバイスの形成を可能とし、高価な装置を使用することなく、スプリアスを低減した優れた特性を得る。
【解決手段】周波数制御膜５１は、複数の凸形状の島パターン１５１または複数のホールパターンを備えている。島パターン１５１は、各共振子間において、共通のスプリアス調整ピッチかつ異なる面積で配置されている。ホールパターンは、各共振子間において、共通のスプリアス調整ピッチかつ異なる開口面積としている。 （もっと読む）

【課題】
複数の共振器から構成される弾性波フィルタの小型化に伴い、弾性フィルタ内の配線パターンが隣接し不要な電磁結合が生じ、弾性波フィルタの特性劣化が生じるのを抑制する。
【解決手段】
基板上に配置された弾性波を利用するＳＡＷやＦＢＡＲ等の複数の共振器の間や、これら複数の共振器とグランド端子との間、共振器と入力端子との間や共振器と出力端子との間に配置された複数の配線パターンに沿って、これら配線パターンと隣接し、対向し、好ましくは配線パターン幅よりも広い幅を有するシールド電極を配置し、弾性波フィルタの小型化に伴う、弾性フィルタ内の配線パターン間の不要な電磁結合を抑制し、弾性波フィルタの特性劣化を防止する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを著しく低下させつつ、加工中にフィルタを自動的にチューニングする方法の提供を図る。
【解決手段】共振器の所定の共振周波数を提供するために目標厚の層のスタックを物理的気相成長によって堆積する方法であって、圧電層２０６を堆積し、該圧電層の厚さをｉｎｓｉｔｕ測定し、そして、スタックの複合厚が前記目標厚と実質的に等しくなるように、さらなる１または２以上のフィルムを堆積することを含むように構成する。 （もっと読む）

【課題】質量付加膜の材料の選択の幅が広がる、または、共振周波数を調整できる範囲が広がること。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に設けられた圧電薄膜１４と、前記圧電薄膜１４の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極１２および上部電極１６と、前記圧電薄膜１４を挟み前記下部電極１２および上部電極１６が対向する共振領域５０と、前記圧電薄膜１４と上部電極１６との間の前記共振領域５０に設けられ、前記共振領域５０とは異なる形状である第１付加膜２８と、を備える圧電薄膜共振器を具備する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術により形成される１つの共振子で、複数の周波数帯域や広い周波数帯域にわたった所望の共振周波数が得られるようにする。
【解決手段】層間絶縁層１０３（基板１０１）の上に離間して配置された共振子可動電極１０５と、一端が共振子可動電極１０５の一方の対向する側面に各々連結して同一直線上に配置される一対の導電性を有する直線状の共振子ばね梁１０８と、各々の共振子ばね梁１０８を層間絶縁層１０３の上に離間して支持する共振子ばね梁１０８の他端に連結する一対の電極端子１０９と、共振子可動電極１０５の他方の両側面の側の層間絶縁層１０３に固定された一対の共振子固定電極１１０とを備える。また、共振子ばね梁１０８の側部に接触する状態に、基板１０１の平面に平行な平面内で移動可能とされたロッド１１３を備える。 （もっと読む）

【課題】フィルタの損失を抑えた分波器を提供する。
【解決手段】分波器は、共通端子に接続される、通過帯域の異なる２以上のフィルタＦ１，Ｆ２を備え、フィルタＦ１、Ｆ２の少なくとも１つは、フィルタの入力端子および出力端子を繋ぐ線路に直列に接続された複数の直列共振器Ｓ１〜Ｓｎと、前記線路に並列に接続された並列共振器Ｐ１〜Ｐｍを含み、直列共振器の少なくとも１つには、インダクタンスＬ１が並列接続されており、インダクタンスＬ１が並列接続された直列共振器Ｓ１は、直列に接続された複数の共振器Ｓ１１〜Ｓ１３に分轄されている。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動モードを利用し、電極厚とは別に調整しても、少なくとも電気機械結合係数を含む圧電振動子の複数の特性を変更できる構造を備える圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１は、周波数信号の印加により主面法線方向に屈曲振動する振動部を備える。この振動部は上主面電極２と圧電基板３と下主面電極４と誘電体層５とを含む複数の層を主面法線方向に積層した構成である。上主面電極２は、圧電基板３の上主面に設けられる。下主面電極４は圧電基板３の下主面に設けられる。誘電体層５は下主面電極４に積層される。 （もっと読む）

【課題】ねじり振動モードを利用したＭＥＭＳ共振器において、振動部材の周辺への異物混入を容易に防止可能とする。
【解決手段】共振器パッケージ１０１は、平坦な上面３１ｕを有する基材３１と、上面３１ｕに固定されたアンカ部２ａ，２ｂと、上面３１ｕから離隔して梁状に延在する振動部材４と、振動部材４の周囲を取り囲む包囲部下部４５と、振動部材４と同じ材料で同じ高さで形成され、振動部材４の周囲を取り囲むように配置された包囲部上部４６と、アンカ部２ａ，２ｂの上面と包囲部下部４５の上面とに配置された絶縁膜パターン２２ｄ，２２ｅと、包囲部上部４６の上側に配置され、振動部材４からは離隔しつつ、内側の領域を完全に被覆するキャップ部材４３と、上面３１ｕに形成された配線とを備え、前記配線は、前記上面３１ｕに沿うように包囲部下部４５の下側を通過して外側にまで引き出されている。 （もっと読む）

【課題】従来よりもＳ／Ｎ比を向上させることが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Ｓinの周波数に応じて縦波振動による共振振動を行う振動部１１内において、振動部１１内に（ＬＣＲ直列共振回路と並列に）、導体部１１１よりも抵抗値の高い高抵抗部１１３を設ける。共振ピークの信号レベルＳｐを低下させずに、バックグランドレベルＳｂｇを下げることができる。なお、振動部１１において、梁部１２Ｈおよび支持部１３Ｈとの接続部分ならびにその周辺領域が高抵抗部１１３となっていると共に、これら梁部１２Ｈおよび支持部１３Ｈもまた高抵抗部（高抵抗領域）となっているようにするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】従来よりもインピーダンスを低減することが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Ｓinの周波数に応じて縦波振動による共振振動を行う振動部１１内において、絶縁膜１１２を３つ以上設ける。振動部１１内における各絶縁膜１１２の面積（Ｙ−Ｚ端面の面積）の総和が大きくなり、従来よりもインピーダンスを低減することができる。なお、振動部の振動面内において、各絶縁膜１１２が、互いに直交する２方向のそれぞれに沿って振動するようにしたり、同心円の中心から外周方向へ向かって放射状に振動するようにしたり、円環状の振動部における周回方向に沿って振動するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】複数の共振周波数を有する共振器において、従来よりも小型化を図ることが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Ｓinが入力される入力端子を、複数の端子in３，in５，in７間で切り換えることにより、導体部１１１におけるブロックに対する入力交流信号Ｓinの入力経路を切り換える。また、出力交流信号Ｓoutが出力される出力端子を、複数の端子out３，out５，out７間で切り換えることにより、導体部１１１におけるブロックからの出力交流信号Ｓoutの出力経路を切り換える。これにより、単一構造の共振器１内において、電位差が生じる絶縁膜１１２の振動部１１内での位置に応じて、複数の共振周波数ｆｒ（複数の次数の共振モード）が励起される。 （もっと読む）

【課題】少ないエネルギーで素子を加熱することができ、かつ、パッケージ外への熱伝導が抑制された、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる圧電デバイス１００は、パッケージ１０と、パッケージ１０内に収納された圧電素子２０と、パッケージ１０内に収納されたヒーター素子３０と、を有し、圧電素子２０は、基部２２および基部２２から延出した梁部２４を有し、基部２２によって片持梁状または両持梁状に固定され、ヒーター素子３０は、支持部３２および支持部３２によってパッケージ１０から離間して支持される発熱部３４を有し、発熱部３４は、支持部３２によって片持梁状または両持梁状に固定され、発熱部３４および梁部２４は、互いに離間している。 （もっと読む）

調節可能な共振周波数を有し、大きな信号を扱うことができる調整可能なＭＥＭＳ共振器が説明される。１つの例示的設計では、調整可能なＭＥＭＳ共振器は、（ｉ）キャビティおよび支柱を有する第１の部分と、（ｉｉ）支柱の下に配置された可動プレートを含み、第１の部分と対になった第２の部分とを含む。各部分は、もう一方の部分と対向する表面上を金属層で覆われていてもよい。ＭＥＭＳ共振器の共振周波数を変化させるために、可動プレートを、直流電圧で機械的に動かすことができる。キャビティは、長方形または円形の形状を有してもよく、空であっても、誘電材料で満たされていてもよい。支柱は、キャビティの中央に位置してもよい。可動プレートは、第２の部分に、（ｉ）１つのアンカーによって取り付けられて片持ち梁として働いてもよく、あるいは、（ｉｉ）２つのアンカーによって取り付けられてブリッジとして働いてもよい。
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圧電共振器装置は５つの層を備える。第１層及び第５層は１つまたは複数の金属電極を含む。第２層及び第４層は圧電材料を含む。第３層は金属層を含む。第１層の第１領域において、第１層金属電極は、１つまたは複数の第１層金属電極の１つと第１層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第１層周期的構造を含む。第５層の第２領域において、第５層金属電極は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つと第５層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第５層周期的構造を含む。第１層周期的構造及び第５層周期的構造は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の無い空間の下に中心が置かれ、１つまたは複数の第１層金属電極の１つが第５層金属電極の無い空間上に中心が置かれるように配列されるか、または１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の下に中心が置かれるように配列される。
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【課題】小型で、かつ、狭帯域な周波数フィルターを構成することができる振動片を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる複合音叉型振動片１００は、Ｘ軸の方向に延在された支持梁１０と、支持梁１０からＸ軸と直交するＹ軸の方向に突出して形成された複数の音叉型振動片２０と、隣り合う音叉型振動片２０を連結し、支持梁１０と離間して形成された連結梁３０と、を含み、音叉型振動片２０は、基部２２および一対の振動腕２４を有し、連結梁３０は、音叉型振動片２０の基部２２に連結されている。 （もっと読む）