【課題】大きなインダクタンスをもつインダクタ素子を実現する音響半導体装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、素子部と、第１端子と、を備えた音響半導体装置が提供される。前記素子部は、半導体結晶を含み音響定在波が励起可能な音響共振部を含む。前記第１端子は、前記素子部と電気的に接続される。前記第１端子を介して、前記音響定在波と同期する電気的信号を前記音響共振部から出力する、及び、前記音響定在波と同期する電気的信号を前記音響共振部に入力する、の少なくもいずれかを実施可能である。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜の分離面の欠陥層を選択的にエッチングして平坦化し、均一な膜厚の圧電薄膜を得る圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】まず、圧電単結晶基板１の表面１２側から水素イオンを注入することで、圧電単結晶基板１にイオン注入部分１００を形成する。次に、支持基板５０を圧電単結晶基板１に接合する。そして、圧電単結晶基板１と支持基板５０との接合体を加熱し、イオン注入部分１００を分離面とした分離を行う。ここで、支持基板５０に形成された圧電薄膜１０をアニールする。そして、圧電薄膜１０の分離面における欠陥層１３を選択的にエッチングして結晶層１１を露出させることで、圧電薄膜１０の分離面を平坦化する。 （もっと読む）

【課題】成長基板を設けるステップと、成長基板上にＩＩＩ族窒化物のエピタキシャル層を成長させるステップを有するバルク音響波デバイスの作製方法を提供する。
【解決手段】第１の電極１６をエピタキシャル層１４上に堆積させる。キャリア基板１８を設け、成長基板１２とエピタキシャル層１４と第１の金属電極１６の組合せをキャリア基板１８上にフリップチップ実装する。成長基板１２を除去し、第２の電極をエピタキシャル層１４上に堆積させて、エピタキシャル層１４が第１の金属電極１６と第２の金属電極の間には挟まれるようにする。バルク音響波デバイス１０は、第１の金属電極１６及び第２の金属電極と、第１の金属電極１６と第２の金属電極の間に挟まれたＩＩＩ族窒化物のエピタキシャル層１４とを備えている。キャリア基板１８を備え、第１の金属電極１６及び第２の金属電極ならびにエピタキシャル層１４がキャリア基板１８上に位置している。 （もっと読む）

【課題】角型ウエハにマスク材膜を成膜する際の膜厚のムラを抑制できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片の製造装置、圧電振動片、この圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜８５ａ（マスク材膜）をスピンコート法により成膜するフォトレジスト膜成膜工程を有し、フォトレジスト膜成膜工程は、ウエハ保持部７２の中心軸を回転中心Ｋとして角型ウエハ６５を回転させて行い、スピンチャック７０は支柱部７６を備え、整流板８８は支柱部７６が挿通される挿通孔８９ａを有し、整流板８８の上面８８ａには、角型ウエハ６５の第２面６５ｂに向かって気体を吹き出す吹き出し孔９６が、角型ウエハ６５の外縁６６よりウエハ保持部７２の径方向の内側であって挿通孔８９ａの内周面よりも径方向の外側に複数形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】基板側の電極表面と振動部材の下面とが十分に狭い間隙で対向した構造を有し、ねじり振動を利用するＭＥＭＳデバイスを容易に製造する。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスの製造方法は、基材と、浮き構造体と、浮き構造体の一部の領域に対して離隔対向するかさ上げ対向部とを備える、ＭＥＭＳデバイスを製造する方法であって、ＳＯＩ基板を用意する工程Ｓ１と、第１シリコン層をパターニングすることによって、かさ上げ対向部、支持梁部などを形成する工程Ｓ２と、第１領域を厚み方向の途中までエッチング除去する工程Ｓ３と、中間絶縁層の少なくとも一部をエッチングしてかさ上げ対向部と第２シリコン層との間の接続を断つ工程Ｓ４と、基材を貼り付ける工程Ｓ５と、第２シリコン層をパターニングすることによって浮き構造体を形成するとともに、かさ上げ対向部を外枠部から分離させる工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、接続電極の形状及び形成位置を調整することにより異なる大きさの圧電振動片を収納できる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、第１長さ（Ｘ３）を有し励振電極（１３１）及び引出電極（１３２）を含む第１圧電振動片（１３０Ａ）と、第１長さよりも短い第２長さを有し励振電極及び引出電極を含む第２圧電振動片とのどちらか一方を有し、パッケージ（１２０）内の接続電極（１２４）に引出電極を導電性接着剤（１４１）で導通する圧電デバイスであって、パッケージが第１圧電振動片又は第２圧電振動片を載置する載置部（１２３）を有し、載置部の表面の少なくとも一部に接続電極が形成されており、第１圧電振動片の引出電極が接続電極に導通された際には、第１圧電振動片の一方の励振電極が他方の接続電極に導通せず、第２圧電振動片の引出電極は接続電極に導通可能である。 （もっと読む）

【課題】マスクの位置合わせの作業性を向上させつつ、位置合わせの精度を高め、容易に、かつ高精度に圧電板や電極を形成することができる圧電振動片の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】ウエハ側マーク群７１と、電極マスク側マーク群５２とを検出する電極マーク群検出工程と、ウエハ側マーク群７１と電極マスク側マーク群５２とを位置合わせしながらウエハに電極膜用マスクを配置する電極マスク配置工程とを有し、ウエハ側マーク群７１、および電極マスク側マーク群５２は、それぞれ互いに大きさの異なるマーク５１ａ〜７１ｄにより構成され、それぞれ最も小さいウエハ側マーク７１ｄ、および電極マスク側マーク５２ｄを互いのマークの位置合わせ用として利用し、これ以外のウエハ側マーク７１ａ〜７１ｃ、および電極マスク側マーク５２ａ〜５２ｃを、電極マーク群検出工程に利用する。 （もっと読む）

【課題】圧電板の外形を正しく認識して、電極部を高精度に形成できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】金属積層膜２８上にフォトレジスト材を塗布し、金属積層膜２８上にフォトレジスト膜４４を形成する第１フォトレジスト膜材形成工程と、フォトレジスト膜４４をパターニングしてレジストパターン５４を形成する第１パターニング工程と、レジストパターン５４の形成領域以外の領域の金属積層膜２８を除去して、下地電極膜を形成する第１エッチング工程と、を有し、フォトレジスト膜形成工程は、ウエハＳにおける第１面Ｓａ側に配置された第１治具７２、及び第２面Ｓｂ側に配置された第２治具７３により、ウエハＳを厚さ方向の両側から挟持して行い、第１治具７２及び第２治具７３は、ウエハＳの厚さ方向から見て重なり合わない位置に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】共振特性の劣化を抑制すること。
【解決手段】本発明は、基板１０と、前記基板１０上に設けられた圧電膜１４と、前記圧電膜１４の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極１２および上部電極１６と、前記圧電膜１４を挟み前記下部電極１２および上部電極１６が対向する共振領域５０内に、複数の第１パターンと前記複数の第１パターンを連結する第２パターンとから構成された質量負荷膜２８と、を具備する弾性波デバイスである。 （もっと読む）

【課題】不要なリップルを抑えることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電薄膜３と、圧電薄膜３の一方の主面に設けられた上部電極１３、２３と、圧電薄膜３の他方の主面に設けられた下部電極１１、２１とを有し、基板２から音響的に分離されるように、上部電極１３、２３及び下部電極１１、２１が圧電薄膜３を介して重なり合う部分で圧電振動部１５、２５が構成されている第１及び第２の圧電共振子１０、２０とを備え、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは入力端子と出力端子に対して直列または並列に接続されており、入力端子からみた圧電薄膜３の分極方向は互いに逆であり、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは、横振動モードの共振周波数が互いに異なるように形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】線形性能の高い分波器を提供すること。
【解決手段】受信端子Ｔｒｘとアンテナ端子Ｔａｎｔとの間に接続され、弾性波共振器である１または複数の直列共振器を含む、受信帯域を有する受信用フィルタ１０と、送信端子Ｔｔｘと前記アンテナ端子との間に接続され、弾性波共振器を含む、送信帯域を有する送信用フィルタ２０と、を具備し、前記受信用フィルタの前記１または複数の直列共振器のうち前記アンテナ端子に最も近い直列共振器Ｓ１１の共振周波数は、前記受信帯域の上端周波数より高い分波器。 （もっと読む）

【課題】信号レベルの減衰の対象となる周波数帯域のみにおいて信号レベルを減衰させ、さらにその減衰量を大きくする。
【解決手段】帯域阻止フィルタには、２つの圧電基板５，６が気密封止されており、圧電基板５，６それぞれには、一主面に入出力電極対が形成され、他主面に入出力電極対に対応したアース電極が形成されている。これら入出力電極対は、入力振動電極と出力振動電極とがギャップを有して一主面に配されてなる。また、圧電基板５，６の入力振動電極及び出力振動電極が相互に接続されている。 （もっと読む）

【課題】平衡−不平衡変換機能を有するバランス型のバルク弾性波フィルタ装置において、バランス特性を向上させる。
【解決手段】バルク弾性波フィルタ装置１は、平衡信号端子１０と、第１及び第２の不平衡信号端子１１，１２と、バランス型のバルク弾性波フィルタ部２０と、第１の配線４１と、第２の配線４２とを備えている。バルク弾性波フィルタ部２０は、平衡信号端子１０と第１及び第２の不平衡信号端子１１，１２との間に接続されている。バルク弾性波フィルタ部２０は、平衡−不平衡変換機能を有する。第１の配線４１は、バルク弾性波フィルタ部２０と第１の不平衡信号端子１１とを接続している。第２の配線４２は、バルク弾性波フィルタ部２０と第２の不平衡信号端子１２とを接続している。第１の配線４１と第２の配線４２とは、非対称に構成されている。 （もっと読む）

【課題】垂直配向型及び平行配向型以外の配向を有するウルツ鉱圧電体薄膜であって、その配向により従来にない特性が得られるウルツ鉱圧電体薄膜を提供する。
【解決手段】ウルツ鉱型の結晶構造を有する材料から成る薄膜であって、該薄膜に対する法線とc軸が成す角である傾斜角が、縦波に関する圧電定数e₃₃がゼロになる臨界傾斜角よりも大きく、且つ90°未満であることを特徴とする。この薄膜は、垂直配向のウルツ鉱型結晶薄膜とは逆位相の縦波振動が生じるという、従来にない特性を有する薄膜共振子に用いることができる。この薄膜は、ウルツ鉱型の結晶構造を有する材料Ｍを基板Ｓの表面に堆積させつつ、基板Ｓの表面に対して10°を超え40°以下の角度αで入射するようにイオンビームＩＢを照射することにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】端子に加えられる引張力が弾性波装置の信頼性低下に及ぼす影響を好適に抑制可能な弾性波装置を提供する。
【解決手段】ＳＡＷ装置１は、基板３と、基板３の上面３ａに配置された励振電極１３と、励振電極１３を覆うカバー５と、励振電極１３と電気的に接続され、カバー５の上面５ａに露出する端子７とを有する。端子７の上面７ａは、導電性を有する第１領域７ａａと、第１領域７ａａに比較して、端子７の上面７ａに配置された半田１０５に及ぼす引張応力を低減可能な第２領域７ａｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】高アイソレーションを得ることが可能な分波器を提供すること。
【解決手段】本発明は、上面に送信フィルタＦ２及び受信フィルタＦ１を搭載し、下面に送信フィルタＦ２及び受信フィルタＦ１の各々と電気的に接続するフットパッド層２６を有する絶縁性基板１０と、上面に設けられ、送信フィルタＦ２と電気的に接続される送信用パッド３４と、上面に設けられ、受信フィルタＦ１と電気的に接続される受信用パッド３２ａ及び３２ｂと、上面に設けられ、送信用パッド３４、受信用パッド３２ａ及び３２ｂを囲む環状電極３０と、フットパッド層２６に設けられた接地用フットパッド６４ｅと、環状電極３０の、送信用パッド３４と受信用パッド３２ｂとを結ぶ経路のうち短い経路Ａに沿う領域３０ａに設けられ、環状電極３０と、接地用フットパッド６４ｅと電気的に接続するビア配線２８ａと、を具備する分波器。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ共振器において、差動動作を可能とする構成を有して、ノイズの低減を図ることができ、小型で高出力の捩り振動を用いたＭＥＭＳ共振器を提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳ共振器は、両端が捩り振動の節となり、中央が捩り振動の腹となる振動部（５ａ）を有する振動子（５）と、前記振動部（５ａ）の外周面を構成する少なくとも２つの側面に対向し、前記振動部（５ａ）の中央に配置された少なくとも３つの電極（２，３，７）と、を備えており、前記少なくとも３つの電極における２つの電極に対して、互いに位相が１８０度異なる交流信号が入力または出力されるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】挿入損失の劣化を抑制し、かつ特定周波数帯域の抑圧を高めることができる。
【解決手段】入力端子と出力端子との間に接続され、通過帯域を有するフィルタ部１０と、前記入力端子と前記出力端子との間に、前記フィルタ部に並列に接続された経路１２と、を具備し、前記経路は、前記入力端子から入力され前記経路を通過して前記出力端子に出力される第１信号の位相と、前記入力端子から入力され前記フィルタ部を通過して前記出力端子から出力される第２信号の位相と、が前記通過帯域外の周波数帯域において逆位相となり、かつ前記第１信号の振幅と、前記第２信号の振幅と、が前記周波数帯域において同一となるようなインピーダンスを有するフィルタ回路。 （もっと読む）

【課題】送信端子と受信端子との間の電磁的な結合の影響を低減し、アイソレーション特性を向上させること。
【解決手段】本発明は、四角形の裏面を有する多層基板１０と、多層基板の裏面に、四角形を構成する第１の辺５８の中央部に近接して設けられたアンテナ端子５０と、第１の辺に交差する第２の辺６０の中央部よりもアンテナ端子から離れた側で第２の辺に近接して設けられた送信端子５２と、第２の辺に対向する第３の辺６２の中央部よりもアンテナ端子から離れた側で第３の辺に近接して設けられた第１受信端子５４と、線路パターン／フットパッド層３０に設けられ、送信端子又は第１受信端子を投影させた領域の少なくとも一方を囲む第１導体４６と、第１導体の下側に位置し、送信端子と第１の辺に対向する第４の辺６４との間又は第１受信端子と第４の辺との間の少なくとも一方に少なくとも設けられたグランド端子５６と、を備える分波器である。 （もっと読む）

【課題】パッケージング応力特性が改善され、基材へのエネルギ損失を低減し、振動中の重心の安定性を改良し最適にする、マイクロ電気機械的共振器構造を提供する。
【解決手段】細長いビーム区分１０２の各々は、先端が、湾曲区分１０４を介して別の細長いビーム区分に連結されており、これによって、湾曲区分によって相互連結された少なくとも二つの細長いビーム区分を持つ幾何学的形状（丸みのある三角形形状、正方形又は矩形形状）を形成する。構造は、一つ又はそれ以上の節点又は節領域を、構造の湾曲区分の一つ又はそれ以上の部分又は領域に含む。これらの節点は、共振器構造を基材に固定するのに適した及び／又は好ましい位置である。作動では、共振器構造は、伸長（即ちブリージング）モード及びベンディングモードの組み合わせで振動する。即ち、ビーム区分（同じ周波数で振動する）は、伸長様（即ちベンディング様）動作及びベンディング様動作を行う。 （もっと読む）