【課題】温度係数が逆符号のＸカット水晶板とＹカット水晶板とを直接接合して零温度係数をもつ水晶振動子を構成し、温度依存性が小さく、かつ、電気機械結合係数が大な、さらに周波数温度特性の良い水晶振動子を得る。
【解決手段】プラスの温度係数を有するＸカット水晶板１０とマイナスの温度係数を有するＹカット水晶板１１の対向する主面を適宜の接合方法により直接接合するとともに、他の対向する露出した主面に電極１２をそれぞれ形成して零温度係数を有する水晶振動子を構成する。 （もっと読む）

【課題】等価直列容量Ｃ１が大きく、等価直列抵抗ＥＳＲが小さいＧＴカットの水晶振動子を得る。
【解決手段】ＧＴカットにおける直交する２つの縦振動モードの振動方向をそれぞれ長軸と短軸とする楕円形に形成され、同一の共振周波数を有する複数の水晶板２１ａ，２１ｂと、各水晶板ごとに、その水晶板の外周において振動変位が極小となる位置に対して接続し、その水晶板を枠体に支持する支持部２２と、一方の水晶板２１ａの外周と他方の水晶板２１ｂの外周とを接続してこれらを機械的に結合する接続部材２８とを形成する。一方の水晶板２１ａが第１の方向に伸長しているときに他方の水晶板２１ｂが第１の方向に直交する方向で伸長するように、各水晶板に設けられる励振電極を相互に接続する。 （もっと読む）

【課題】送受信帯域外の減衰特性と送受信端子間のアイソレーション特性を低下させることなく、従来よりも小型化、低背化が可能なアンテナ分波器を提供する。
【解決手段】アンテナ端子と送信端子との間に配置される送信フィルタと前記アンテナ端子と受信端子との間に配置される受信フィルタとをパッケージに実装してなるアンテナ分波器において、パッケージ内の受信フィルタ用のグランドパターン１５２は、他のグランドパターン１５６，１５７とは分離されており、２つ以上のフットパッドを有する。 （もっと読む）

【課題】低損失、低コストであり、かつスプリアスを抑制すること。
【解決手段】基板１０と、基板上に形成された下部電極１２と、前記下部電極上に形成された圧電膜１４と、前記圧電膜上に形成された上部電極１６と、を具備し、前記圧電膜を挟み下部電極と上部電極とが対向する共振領域２０の端において、前記下部電極および前記上部電極の少なくとも一方が前記共振領域の中央部に対し厚く形成された厚膜領域３２が形成され、前記厚膜領域の幅は、前記圧電膜の厚さ方向に交差する方向に伝搬する弾性波の波長より狭い圧電薄膜共振子。 （もっと読む）

【課題】振動特性に悪影響を及ぼすことなく、小型で簡単な構造の支持部を設けることができるＧＴカットの水晶振動子を提供する。
【解決手段】ＧＴカットの水晶板３１を楕円形に形成する。楕円の長軸と短軸とを、ＧＴカットにおける直交する２つの縦振動モードの振動方向（Ｘ”軸方向及びＺ”軸方向）に一致させる。２つの縦振動モードが結合したときに水晶板３１の外周において振動変位が極小となる位置（Ｐ₁〜Ｐ₄）のいずれか１つまたは複数に対し、水晶板３１を支持する支持部を接続する。 （もっと読む）

【課題】不要なリップルを抑えることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電薄膜３と、圧電薄膜３の一方の主面に設けられた上部電極１３、２３と、圧電薄膜３の他方の主面に設けられた下部電極１１、２１とを有し、基板２から音響的に分離されるように、上部電極１３、２３及び下部電極１１、２１が圧電薄膜３を介して重なり合う部分で圧電振動部１５、２５が構成されている第１及び第２の圧電共振子１０、２０とを備え、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは入力端子と出力端子に対して直列または並列に接続されており、入力端子からみた圧電薄膜３の分極方向は互いに逆であり、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは、横振動モードの共振周波数が互いに異なるように形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】複数の水晶振動素子を同一の素子搭載部材に搭載することなく複数の振動モードを有した生産性のよい水晶デバイスを提供する。
【解決手段】水晶振動素子が搭載されている素子搭載部材が蓋部材と接合されて素子搭載部材と蓋部材とで水晶振動素子を気密封止している水晶デバイスであって、矩形形状の平板状の基部１３１ａと基部の側面から同一方向に延設された２つ一対の振動腕部１３１ｂとから構成されており音叉形状の水晶片１３１と、両主面がＹ軸及びＺ軸に平行な基部の両主面に厚み縦振動用励振電極１３２が設けられ、振動腕部に屈曲振動用励振電極が設けられ、所定の接続電極１３４ａが厚み縦振動用励振電極と電気的に接続され、所定の他の接続電極１３４ｂが屈曲振動用励振電極と電気的に接続されている水晶振動素子を用いる。 （もっと読む）

【課題】 高発振周波数に対応して小型化する圧電振動板の主振動による振動エネルギーを効率よく得ることができると共に、前記圧電振動板を安定して支持することのできる支持構造を備えた幅縦・長さ縦結合モードの圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺２２ａ，２２ｂ及び長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺からなる四角形状の圧電振動板２２と、一対の主振動辺から外方向に延びる支持アーム２５，２３と、圧電振動板２２の外周に設けられ、支持アーム２５，２３の一端が接続されるフレーム２４とを備えた圧電振動子２１であって、一方の支持アーム２５は主振動辺２２ａから２つの屈曲部２５ａ，２５ｂを有し、他方の支持アーム２３は主振動辺２２ｂから２つの屈曲部２３ａ，２３ｂを有し、これら支持アーム２５，２３とフレーム２４との間が一つの経路によって結ばれるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動板の内部形状やこの圧電振動板上に形成される励振電極の膜厚等を変化させることなく、幅縦モードと長さ縦モードによる振動の変動率を長さ縦モードの周波数のみによる独立した調整を可能とすることで、高発振周波数に対応して小型化する圧電振動子の周波数特性や温度特性を最適化することのできる圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺１２ａ，１２ｂ及びこの一対の主振動辺と直交し、長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺１２ｃ，１２ｄを有し、表面に励振電極が形成された四角形状の圧電振動板１２と、前記一対の主振動辺１２ａ，１２ｂから外方向に延びる支持アーム１３，１４と、前記主振動辺の略中間位置から外方向に突出し、先端に重量を調整するための張出部を有する突起片１５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】一般的な共振回路において可変リアクタンス素子や可変インダクタンス素子を使用することなく、発振周波数やフィルタの周波数特性を制御し得る共振回路、及びかかる共振回路を使用した発振回路やフィルタ等を提供する。
【解決手段】水晶振動子等の圧電振動子やコイル、コンデンサあるいはそれらと等価的な素子を組み合わせた共振回路であって、互いに共振周波数の異なる少なくとも２つの共振回路を組み合わせ、夫々の共振回路の励振電流若しくは電圧を独立に変化させると、複合共振回路全体の反共振周波数を変動させることができる現象を利用して、その周波数特性を自在に調整し得る発振回路やフィルタを構成する。 （もっと読む）

【課題】振動腕に溝部が形成された音叉型圧電振動片、その圧電振動片を用いる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ内に導電性接着剤で固定される音叉型圧電振動片１００であって、導電性接着剤と電気的に接続する接続電極と、圧電材からなる基部１１から所定方向に伸び、接続電極と電気的に接続する励振電極５３が形成された一対の振動腕１２と、を備え、振動腕は、表裏面と表裏面の両側で交差する両側面とを有し、表裏面には所定方向に伸びる溝部２３Ｌ、２３Ｒがそれぞれ形成され、励振電極は、表裏面の溝部内にそれぞれ形成された表裏電極５３１Ｒ、５３１Ｌと、両側面にそれぞれ形成された側面電極５３２Ｒ、５３２Ｌと、を有し、表裏電極の膜厚は、接続電極の膜厚よりも薄い。 （もっと読む）

【課題】発振子のＱ_ｍａｘを大きくし、且つ低温環境下で発振子の発振周波数Ｆ_０の変化を抑制できる圧電磁器組成物を提供する。
【解決手段】圧電磁器組成物は、下記一般式（１）で表される組成を有する。（Ｐｂ_αＬｎ_βＭｅ_γ）（Ｔｉ_{１−（ｘ＋ｙ＋ｚ）}Ｚｒ_ｘＭｎ_ｙＮｂ_ｚ）Ｏ_３（１）［式（１）中、Ｌｎはランタノイド元素を示し、Ｍｅはアルカリ土類金属元素を示し、α＞０，β＞０，γ≧０，０．９６５≦α＋β＋γ≦１．０００，０．１５８≦ｘ≦０．２１０，ｙ≧０，ｚ≧０，１−（ｘ＋ｙ＋ｚ）＞０。］ （もっと読む）

【課題】 製造時における周波数調整を容易且つ精度よく行うとともに、製造後においても周波数変動やバラツキを防止して安定した発振周波数を得ることが可能な圧電振動子の製造方法を提供することである。
【解決手段】 励振電極２９，３０が形成された振動腕部２３，２４に周波数調整領域を設けることによって、発振周波数Ｆを所定の目標周波数ｆ０に調整する圧電振動子の製造方法において、前記周波数調整領域に第１の金属膜３１を形成した後、この第１の金属膜３１にレーザビームを照射することによって発振周波数Ｆを粗調整する粗調整工程Ａと、前記粗調整された第１の金属膜３１の表面に第２の金属膜３３を形成した後、この第２の金属膜３３にイオンビームを照射することによって発振周波数Ｆを目標周波数ｆ０に向けて微調整する微調整工程Ｂとを備えた。 （もっと読む）

【課題】従来よりもＳ／Ｎ比を向上させることが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Ｓinの周波数に応じて縦波振動による共振振動を行う振動部１１内において、振動部１１内に（ＬＣＲ直列共振回路と並列に）、導体部１１１よりも抵抗値の高い高抵抗部１１３を設ける。共振ピークの信号レベルＳｐを低下させずに、バックグランドレベルＳｂｇを下げることができる。なお、振動部１１において、梁部１２Ｈおよび支持部１３Ｈとの接続部分ならびにその周辺領域が高抵抗部１１３となっていると共に、これら梁部１２Ｈおよび支持部１３Ｈもまた高抵抗部（高抵抗領域）となっているようにするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】従来よりもインピーダンスを低減することが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Ｓinの周波数に応じて縦波振動による共振振動を行う振動部１１内において、絶縁膜１１２を３つ以上設ける。振動部１１内における各絶縁膜１１２の面積（Ｙ−Ｚ端面の面積）の総和が大きくなり、従来よりもインピーダンスを低減することができる。なお、振動部の振動面内において、各絶縁膜１１２が、互いに直交する２方向のそれぞれに沿って振動するようにしたり、同心円の中心から外周方向へ向かって放射状に振動するようにしたり、円環状の振動部における周回方向に沿って振動するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】複数の共振周波数を有する共振器において、従来よりも小型化を図ることが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Ｓinが入力される入力端子を、複数の端子in３，in５，in７間で切り換えることにより、導体部１１１におけるブロックに対する入力交流信号Ｓinの入力経路を切り換える。また、出力交流信号Ｓoutが出力される出力端子を、複数の端子out３，out５，out７間で切り換えることにより、導体部１１１におけるブロックからの出力交流信号Ｓoutの出力経路を切り換える。これにより、単一構造の共振器１内において、電位差が生じる絶縁膜１１２の振動部１１内での位置に応じて、複数の共振周波数ｆｒ（複数の次数の共振モード）が励起される。 （もっと読む）

【課題】静電容量の温度特性の向上、誘電損失の減少、及び比誘電率の低下を可能とする誘電体磁器組成物を提供すること。
【解決手段】圧電素子及び負荷容量素子を備える発振子において負荷容量素子が有する誘電体磁器組成物であって、下記化学式（Ａ）で表される組成を有し、０．９８≦ａ≦１．０１、０．０１≦ｂ≦０．０２、０．０２≦ｃ≦０．０４及び０．４８≦ｄ≦０．５１、を満たすペロブスカイト型の複合酸化物と、Ｎｉ元素と、を備え、ＮｉＯに換算したＮｉ元素の含有量が、複合酸化物１００質量部に対して０．０１〜０．３質量部であり、Ｃｏ_３Ｏ_４に換算したＣｏ元素の含有量が、複合酸化物１００質量部に対して０質量部以上０．１質量部未満である、誘電体磁器組成物。
Ｐｂ_ａ［Ｚｎ_ｂＮｂ_ｃＴｉ_{｛１−（ｂ＋ｃ＋ｄ）｝}Ｚｒ_ｄ］Ｏ_３ （Ａ） （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い圧電共振器を提供する。
【解決手段】 基板と、圧電膜と、前記圧電膜の厚み方向一表面上に少なくとも一部が積層される上部電極と、前記圧電膜の厚み方向他表面上に少なくとも一部が積層される下部電極とを含んで構成され、前記基板の厚み方向一表面上に、前記基板との間に空隙を形成するように配置される共振器本体と、前記上部電極の前記圧電膜と接する面と反対側の面を被覆する第１保護膜と、前記第１保護膜と同じ材料からなり、前記下部電極の前記圧電膜と接する面と反対側の面を被覆する第２保護膜と、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】圧電層の結晶性を向上させることができ且つ製造歩留まりを向上させることができるＢＡＷ共振装置の製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板（単結晶ＭｇＯ基板）１の一表面側の全面に下部電極３１、圧電層（ＰＺＴ薄膜）３２を形成した後にそれぞれをパターニングし、支持基板１の上記一表面側に圧電層３２の一部を露出させる開孔部４ａおよびエッチングホール５を有する絶縁層４を形成してから、上部電極３３を形成する。支持基板１における空洞形成予定領域に、空洞２を形成する際に用いるエッチング液によりエッチングされやすい変質部１ａを形成する。その後、支持基板１の上記一表面側に上部電極３３および絶縁層４を保護するレジスト層６を形成し、レジスト層６の開孔部７および各エッチングホール５を通してエッチング液を導入し支持基板１における空洞形成予定領域をエッチングすることにより空洞２を形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電層の結晶性を向上できるとともに共振子全体の機械的品質係数を向上でき、且つ、堅牢化が可能で、しかも、空洞を形成する際のエッチャントによる圧電層の浸食を防止可能なＢＡＷ共振装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板１に、ＰＺＴ薄膜からなる圧電層３２を有する共振子３の下部電極３１および絶縁層４における支持基板１側の表面を露出させる空洞１ａが形成され、絶縁層４に、空洞１ａに連通するエッチングホール５が形成されている。支持基板１が、単結晶ＭｇＯ基板からなる上層基板１１と、単結晶Ｓｉ基板からなる下層基板１２とで構成され、空洞１ａが、上層基板１１の厚み方向の両面側から上層基板１１に対してエッチング速度の結晶方位依存性を利用した湿式の異方性エッチングを行うことで形成された開口部１１ａと、下層基板１２の厚み方向に貫設され開口部１１ａに連通する貫通孔１２ａとで構成されている。 （もっと読む）