【課題】生産性の良い圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の圧電素子２が一体的に形成された圧電素子ウエハ１を、予め表面に導電性接着剤等の接合部材６が配されたベース基板５に突き合せて配置し、その状態で加熱処理等を適宜行うことにより接合部材６を溶着又は固化させて圧電素子２をベース基板５に接合し、その後、レーザー等により圧電素子２を圧電素子ウエハ１から分離させた上で、圧電素子２のみをそのままベース基板５上に残す形で、それ以外の領域の圧電素子ウエハ１をベース基板５上から取り除く。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性の高い小型の振動片、およびそれらを用いた圧電デバイス、電子機器を提供する。
【解決手段】水晶振動片２０は、基部２１と基部２１の一端側から二股に別れて互いに並行するように延出する一対の振動腕２２とを備え、基部２１には、その両主面に括れた形状が表れるように１つの直線に沿って対向方向に一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂが形成されている。基部２１の一対の振動腕２２が延びている方向とは交差方向の二つの端部からは、それぞれ相互に反対方向に延出されてから、屈曲部３１で屈曲して一対の振動腕２２と並行して延びる一対の支持腕３０が設けられている。支持腕３０の先端側には、隣接する振動腕２２の通常の振動の振幅範囲外に配置されて、且つ隣接する振動腕２２に通常の振幅範囲を越えた変位が生じた場合にその振動腕２２が当接される位置に配置された受け部３５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高い圧電性能と高いキュリー温度を両立した圧電材料を提供する。また、それを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）：ｘＢａＴｉＯ_３−ｙＢｉＦｅＯ_３−ｚＢｉ（Ｍ_０．５Ｔｉ_０．５）Ｏ_３…（１）（式中、ＭはＭｇおよびＮｉから選択される少なくとも１種の元素であり、ｘは０．２５≦ｘ≦０．７５、ｙは０．１５≦ｙ≦０．７０、ｚは０．０５≦ｚ≦０．６０の範囲の数値を表わす。但し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。）で表わされるペロブスカイト型金属酸化物からなることを特徴とする圧電材料。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、枠部の外側側面に引出電極を形成することにより浮遊容量の発生が抑えられ、引出電極の電気抵抗値が低くされた圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、両主面に形成された一対の励振電極（１５）により振動する圧電振動部（１１）と、圧電振動部を囲む４辺からなる矩形状の枠部（１２）と、圧電振動部と枠部のうちの第１辺又は第１辺の端部の近傍とを連結する連結部（１４）と、を有する圧電フレーム（１０）を備え、圧電フレームの枠部は、一対の励振電極の一方から連結部を介して第１辺の側に引き出された第１引出電極（１６ａ）と、一対の励振電極の他方から連結部及び枠部の第１辺に交差する第２辺の圧電振動部の反対側の外側側面を介して第１辺に対向する側に引き出された第２引出電極（１６ｂ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】周波数可変感度を高くするとともに、不要な振動を抑圧したメサ型振動片およびこれを用いたメサ型振動デバイスを提供する。
【解決手段】メサ型振動片１０は、肉厚部１４および肉薄部１６を有している。励振電極２２は、肉厚部１４の主面と、メサ型振動片１０に励起される主振動の変位方向に肉厚部１４から延設した方向にある肉薄部１６の主面とに設けてある。そして主振動の変位方向における励振電極２２の一方の端部、肉厚部１４の一方の端部、肉厚部１４の他方の端部、および励振電極２２の他方の端部は、不要振動の腹の位置に配設してある。そして隣り合う端部同士では、不要振動の腹の向きが互い違いになっている。 （もっと読む）

【課題】側面電極の断線が発生しない圧電デバイス及びその製造方法の提供。
【解決手段】圧電デバイス１００は、一主面Ｍｉ及び他主面Ｍｅに励振電極１０２ａ、１０２ｂが形成される圧電振動片１０１と貫通開口１０４を隔てて引出電極１０３ａ、１０３ｂを有する枠体１０６とを有する圧電フレーム１０と、接合面Ｍ２と外部電極１２２ａ、１２２ｂが形成された実装面Ｍ３と接合面から実装面まで形成されたキャスタレーション１２４ａ、１２４ｂとキャスタレーションに形成され引出電極と外部電極とを接続する側面電極１２３ａ、１２３ｂとを有するベース部１２と、を備える。また、キャスタレーションと接合面とが交わる周長Ｌ１がキャスタレーションと実装面とが交わる周長Ｌ２よりも長い。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子の発振周波数の変動を低減することができ、時間の低減をし、生産性を向上させることができる圧電デバイス及びその製造方法の提供。
【解決手段】基板部１１０ａと、該基板部の一方の主面に設けられる第１の枠部１１０ｂと、基板部の他方の主面に設けられる第２の枠部１１０ｃとからなる素子搭載部材１１０と、第１の凹部空間Ｋ１内に設けられた圧電振動素子搭載パッド１１１に搭載されている圧電振動素子１２０と、第１の凹部空間を気密封止する蓋部材１３０と、一方の主面に設けられているサーミスタ素子搭載パッド２１２と他方の主面の角に外部接続用電極端子Ｇが設けられている絶縁基板２１０と、サーミスタ素子搭載パッドに搭載されているとサーミスタ素子１４０と、を備え、サーミスタ素子が基板部と第２の枠部とで形成される第２の凹部空間Ｋ２内に収容される様に、素子搭載部材１１０と絶縁基板２１０とが接合されている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子の発振周波数変動を低減する事ができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】基板部１１０ａと、この基板部の一方の主面に設けられる第１の枠部１１０ｂと、基板部の他方の主面に設けられる第２の枠部１１０ｃとからなる素子搭載部材１１０と、第１の凹部空間Ｋ１内に露出した基板部主面に設けられた圧電振動素子搭載パッド１１１に搭載の圧電振動素子１２０と、第２の凹部空間Ｋ２内に露出した基板部の主面に設けられたサーミスタ素子搭載パッド１１２に搭載されているサーミスタ素子１４０と、第１の凹部空間を気密封止する蓋部材１３０と、第２の枠部の基板部の他方の主面と同一方向を向く面の４角に２個一対の圧電振動素子用電極端子Ｇ１と２個一対のサーミスタ素子用電極端子Ｇ２とから構成される外部接続用電極端子Ｇと、を備え、前記サーミスタ素子用電極端子の１つが蓋部材と電気的に接続され、グランドと接続される構成。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単かつ安価に、所望の振動特性を得ることができる振動体を用いた振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動体２は、基部２７と、該基部から延出する３つの振動腕２８、２９、３０と、該振動腕上に設けられた圧電体素子２２、２３、２４とを有し、該圧電体素子は、該振動腕上に設けられた第１の電極層２２１、２３１、２４１と、該第１の電極層上に設けられた圧電体層２２２、２３２、２４２と、該圧電体層上に設けられた第２の電極層２２３、２３３、２４３とを備え、これらの層のうちの少なくとも１つの層には、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、これにより、該圧電体素子の振動特性が調整されている。 （もっと読む）

【課題】 隣り合った圧電振動片からの影響がなく、ウエハ状態で各圧電振動片の周波数を別々に測定して調整できる圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、両主面に形成された一対の励振電極と一対の励振電極から引き出した一対の引出電極とを有する圧電振動片（１０）と、圧電振動片側の第１面に形成され一対の引出電極に接続される一対の接続電極と第１面の反対側の第２面に形成された二対の実装端子とを有し第１面から見て四辺を有する四角形状のベース部（１２）と、を備える。ベース部の互いに対向した二辺には、ベース部の中心側に窪んだ二対のベースキャスタレーション（１２２ａ〜１２２ｄ）と、二対のベースキャスタレーションに第１面と第２面とを結ぶ二対の側面電極とが形成される。また、二対の側面電極中の一対は、一対の接続電極及び二対の実装端子中の一対にそれぞれ接続される。 （もっと読む）

【課題】輪郭すべり振動に基づく副振動の発生を抑えること。
【解決手段】厚みすべり振動を主振動とする圧電体をなす水晶片３０の両面に夫々励振電極３１，３２が形成された水晶振動子３において、前記水晶片３０の輪郭に沿って、水晶よりも音響抵抗が大きい材質例えばガラスにより環状の振動吸収部材４を形成する。この振動吸収部材４により輪郭すべり振動の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】水晶発振器において、パッケージの低背化の流れに逆らうことなく、また、特別にそのための製造工程数を増やすことなく、浮遊容量が水晶発振器の発振周波数に及ぼす影響を低減する。
【解決手段】水晶発振器は、水晶振動子３、水晶振動子３の励振電極３１、３２に繋がる水晶端子３３、３４に接続され、水晶振動子３と協働して発振回路を形成する発振回路用ＩＣ４、水晶振動子３と発振回路用ＩＣ４とを密閉収納するための収納室を備えた絶縁性のパッケージ、及び、パッケージの下面に形成され、発振回路のアース端、発振回路に電力を供給する電力供給端、及び、発振回路の出力端がそれぞれ接続された複数の表面実装用端子であって、実装用半田がブリッジを形成しない程度の狭い相互間隙Gを有して配置されているとともに、単独あるいは複合して、実質的にパッケージの下面全面を覆う表面実装用端子６を備える。 （もっと読む）

【課題】振動腕部の振動が基部側に振動漏れすることを防ぎ、振動腕部の振動を安定させた圧電振動片を得る。
【解決手段】振動腕部３の腕幅Ｗより大きく、２本の振動腕部３の間隔Ｐより小さい腕幅Ｗ１を有した腕付根部４とを備えて、腕付根部４が振動腕部３の腕幅Ｗより広い部分を一定長さ有することで、振動腕部３に剛性を持たせるので、振動腕部３の振動が基部２側に漏れることを防ぎ、振動腕部３の振動、および水晶振動片１の振動周波数を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、励振電極をキャビティの外に形成することにより小型化された圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、一主面及び他主面を有し、電圧の印加により振動する圧電振動部（１１１）を有する第１板（１１０）と、第１板の一主面に接合される第２板（１２０）と、第１板の他主面に接合される第３板（１３０）と、圧電振動部を振動させる第１励振電極（１６０ａ）及び第２励振電極（１６０ｂ）と、を備え、第１励振電極は第２板の第１板とは反対側の面に形成され、第２励振電極は第３板の第１板とは反対側の面に形成される圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】振動特性及び耐衝撃性能が向上した振動片、この振動片を備えた振動子、発振器及び電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、環状の支持腕部１０と、平面視において、支持腕部１０の内周の一辺１１から、一辺１１と向かい合う他辺１２に向けて延出する振動部１３と、支持腕部１０の他辺１２側に設けられた固定部１４ａ，１４ｂと、振動部１３の両主面１５，１６に設けられた励振電極１７，１８と、励振電極１７，１８から固定部１４ａ，１４ｂに引き出された引き出し電極１７ａ，１８ａと、振動部１３の先端部１３ａと支持腕部１０とをつなぐ連結部１９ａ，１９ｂと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定した振動特性を有するＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された第１電極２０と、基板１０の上方に形成された支持部３２、および支持部３２に支持されており第１電極２０の上方に配置された梁部３４を有する第２電極３０と、を含み、平面視において、梁部３４は、前記第１電極２０と重なる領域で支持部３２から梁部３４の先端３４ａに向かう方向において、幅Ｗが単調減少する形状である。 （もっと読む）

【課題】表面実装型電子部品の外部電極の耐衝撃性を向上させる。
【解決の手段】貫通電極５が形成された基板１に下地金属層１２が形成されその上に下地金属層１２とはんだ付け金属層１３に熱膨張率が近く、かつ下地金属層１２とはんだ付け金属層１３とはんだ付け温度で反応しにくい金属よりなるバリア金属層１５が形成され、更にその上にはんだ付け金属層１３が形成される。そして最終的に最上層には保護金属層１４が形成される。 （もっと読む）

【課題】メッキダレにより水晶片の振動特性の検査に用いて、側面水晶端子が電気的に短絡するのを防止する。
【解決手段】容器本体１の上端面６ａにシールリング５をロウ付け１１、かつ、水晶端子１０を前記容器本体１の側面に設けた表面実装用発振器において、前記容器本体１を複数のセラミック板６，７，８を積層して形成し、前記シールリング５をロウ付け１１した前記セラミック板６の下層に積層したセラミック板７の外端面を、前記シールリングをロウ付けした前記セラミック板６より、前記容器本体１の内側へ凹ませて積層したことを特徴とする表面実装用発振器に関する。 （もっと読む）

【課題】熱弾性効果に起因するＱ値の低下の防止と同時にＣＩ値を下げることを図る。
【解決手段】本発明の電子機器に用いる振動片１００は、基部１０と、基部１０より延伸して形成され、屈曲振動する振動部としての一対の振動腕２０、２１とを備えている。振動腕２０、２１には、主面１００ａ側に溝２０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂが形成され、他方の主面１００ｂ側に溝２０ｃ、２１ｃが形成されている。振動腕２０の外側面２０ｄと溝２０ａとによって外壁２０ｆが形成される。同様に、外側面２０ｅと溝２０ｂによって外壁２０ｇが形成される。また溝２０ａ、２０ｂ、２０ｃによって、内壁２０ｈ、２０ｉが形成される。振動腕２１も振動腕２０と同様に外壁２１ｆ、２１ｇと内壁２１ｈ、２１ｉが形成される。 （もっと読む）

【課題】外部電極に導電樹脂を利用するガラスよりなる基板部材をもつパッケージよりなる表面実装電子部品の回路基板への実装信頼性を向上させる。
【解決の手段】ガラス基板１には円錐形の貫通孔があけられ、貫通孔には金属棒１２が無鉛低融点ガラス５によって封止されている。
金属棒１２にはこれを被覆するスパッタ金属１７が形成されこれらを覆って導電樹脂１３が形成され、さらにこの導電樹脂に金属電極１４が形成される。 （もっと読む）