【課題】 めっき処理後に被処理基板の表面に未だ付着しているめっき液を、非処理基板全面で均一な洗浄能力で洗浄する方法及び装置を提供する。
【解決手段】 めっき装置の下側には、ウエハ１０３を保持するとともに上下移動させるウエハホルダ１０４が設けられている。このウエハホルダ１０４が上下方向に移動する空間の横に、３つのノズル１Ａ、１Ｂ、１Ｃを上下方向に配置した洗浄装置１が備えられている。中段および最上段のノズル１Ｂ、１Ｃがフラットスプレー式を使用し、最下段のノズル１Ａはスリット式を使用している。また、ウエハ表面に対してノズルごとに洗浄液を供給する場所が異なっている。 （もっと読む）

【課題】これまでに試みられた追加の合金化元素を含む亜鉛−ニッケル合金に関連する所望されない特徴を回避する一方で、輝度、水平度、延性、および強度が高められた亜鉛−ニッケル合金を提供すること。
【解決手段】ａ）亜鉛イオン；ｂ）ニッケルイオン；ならびにｃ）Ｔｅ^＋４、Ｂｉ^＋３およびＳｂ^＋３のイオンから選択される１つ以上のイオン種、およびある実施形態においては、Ｂｉ^＋３、Ｓｂ^＋３、Ａｇ^＋１、Ｃｄ^＋２、Ｃｏ^＋２、Ｃｒ^＋３、Ｃｕ^＋２、Ｆｅ^＋２、Ｉｎ^＋３、Ｍｎ^＋２、Ｍｏ^＋６、Ｐ^＋３、Ｓｎ^＋２、およびＷ^＋６のイオンから選択される１つ以上の追加のイオン種をさらに含む亜鉛−ニッケル三元合金またはより多元の合金を析出するための電気めっき浴、システム、方法、およびこのような合金を析出することから得られる物品。ある実施形態において、該システムは、カソードチャンバー（１１４、２１４、３１４、４１４）中にのみ電気めっき浴を有する状態で、カソードチャンバー（１１４、２１４、３１４、４１４）とアノードチャンバー（１１２、２１２、４１２）を形成する仕切り（１１６、２１６、３１６、４１６）を含む。種々の実施形態において、亜鉛−ニッケル三元合金またはより多元の合金は、該合金がその上に析出された導電性基板に改善された性質を提供し得る。 （もっと読む）

化学的又は電気化学的処理フェーズのシーケンスを通じた金属アイテムのガルバニー電気コーティングのための工程で、各々の前記処理フェーズは以下のステップを含む。
ａ）アイテムを収納したドラムを遠心機へ導入すること
ｂ）最初の化学処理液を遠心機へ送ること
ｃ）処理を実行すること
ｄ）前記の最初の化学処理液を遠心機から排出すること
ｅ）前記の液体を再生するためにアイテムの遠心分離を実行すること
ｆ）遠心機に洗浄水を送ること
ｇ）洗浄を実行すること
ｈ）洗浄水を遠心機から排出すること
ｉ）前記水を再生するためにアイテムの遠心分離を実行すること
ｊ）ドラムを別のステーションへ移すこと、または別の化学処理液を加えて先のステップを繰り返すこと
同じステーションで、化学処理フェーズの次に洗浄を実行し、そこでは実行された処理のおかげでステーションの数を著しく減少させており、さらには全ての処理又は洗浄の後に行う遠心分離によって、１つのステーションから別のステーションへの液体の持ち越し汚染の問題を防ぐことが可能となるとともに、上記のような消費量を削減した液体を再生することが可能となり、さらには環境汚染も防止する。前記工程を具体化したプラントは、一列に並べられたステーション（Ａ）の配列から成り、入口に自動収納ステーションＬ及び出口に自動取り出しステーションＵが設けられており、該プラント内では処理されるアイテムは上面が開放され、孔のあいた円柱ドラムＤ内に収容されており、該ドラムＤはプラント長全体にわたってステーション上に延びるレールＢ上を走る運び台Ｃを用いて１つのステーションから別のステーションへ自動的に移動する。扉によって閉じられた従来のバレルの代わりに、オープンドラム（Ｄ）の使用することで、オペレーターの健康に危険がないことに加えて労働力を大きく削減し、完全に自動化された方法でアイテムの収納及び取り出しをプラントの端のステーションで実行することが可能となる。
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本発明は金属メッキ装置と金属メッキ方法とを提供する。特に自己触媒（すなわち無電解）メッキに適しており、メッキ対象基板を収容し、メッキ液を循環させる加圧密閉容器を利用する。密閉容器内の温度と圧力は厳密に制御される。
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【課題】微小フィーチャ工作物を電気化学的に処理するチャンバ、システム及び方法をここに開示する。
【解決手段】一実施形態では、電気化学堆積チャンバは、微小フィーチャ工作物に第１の処理流動体の流れを運ぶように構成された第１のフローシステムを有している処理部を含む。チャンバは、電極と、電極に少なくとも隣接して第２の処理流動体の流れを運ぶように構成された第２のフローシステムとを有している電極部を更に含む。チャンバは、第１及び第２の処理流動体を分離するために処理部と電極部との間に無孔仕切りを更に含む。無孔仕切りは、陽イオン又は陰イオンが第１及び第２の処理流動体間の仕切りを通って流されるように構成されている。 （もっと読む）

本発明は、平坦なワークピース（１）、例えば、金属箔、プリント回路箔、プリント回路基板の湿式化学処理又は電解処理のための処理ユニットに関するものであり、ワークピース（１）は、搬送部材（６、６’、６”、７）を用いて搬送経路上を輸送される。処理ユニットは、凹部（２１）を備えた担体要素（４）を備えて成り、前記担体要素（４）は、搬送経路、及び、好ましくはペアで配置される挿入要素（１４、２６）から成る搬送部材（６、６’、６”、７）を担持するための少なくとも一つのモジュールシステム、に対して平行になるように向けられ、少なくとも一つのモジュールシステムは、担体要素（４）の凹部（２１）に好ましくは滑り込ますことが可能で、正しく合わされるように構成される。処理ユニットは、水平に搬送設備されたラインにおいて好ましくは利用される。
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鋼板と接触する中空状胴部と、前記胴部に接合された軸部とからなる溶融金属めっき浴用ロールであって、少なくとも前記胴部が常温における熱伝導率が50 W/(m・K)以上の窒化珪素系セラミックスからなり、前記胴部の平均表面粗さRaが1〜20μｍである溶融金属めっき浴用ロール。胴部と軸部の接合を焼嵌めにより行うのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】１つのトーチだけで種々の電解表面処理を行えるようにする。
【解決手段】金属を表面処理するための電解液供給部を備える電極装置であって、外部電源からの単極電流供給部（７）（１６）に接続されたノズル（２）を備え、他方の極は、被処理金属表面に接続され、前記トーチ内のチャンネルを通し、前記ノズルに供給するよう、前記装置に接続されたタンク（６）（２１）に、特定の処理に使用される電解液が収容されている。該電解液が、ユーザーによって制御される計量装置を通過するよう、電解液に送り方向の圧力をかけるようになっている。ユーザーにより噴霧ができるよう、マニュアル操作式ポンプ、または剛性もしくは可撓性タンクを有する別の例もある。タンク（６）（２１）は、迅速に電解液を交換し、金属表面で実行すべき作業を変えることができるよう、取り外し自在であることが好ましい。 （もっと読む）

基板に金属をメッキする方法及び装置。本装置は、メッキ液を含有するように構成された液体ベースンと、液体ベースンの下の部分に配置された陽極液体容積と、液体ベースンの上の部分に配置された陰極液体容積と、陽極液体容積を陰極液体容積から分けるために配置されたイオン膜と、陽極液体容積の中央に配置されたメッキ電極と、陽極液体容積においてメッキ電極に隣接して配置された非メッキ電極とを含んでいる。 （もっと読む）

電気絶縁箔材料上で互いに電気絶縁された小さな導電性構造体の連続的な電解処理を可能にするために、互いに電気絶縁された、ワークピース（１）の表面上の導電性構造体を電解処理するための装置が設けられ、前記装置には、ａ）ワークピース（１）と接触するための少なくとも１つの電極（６）、ならびに少なくとも１つの電解領域であって、そのそれぞれ１つにおいて、少なくとも１つの対向電極（４）およびワークピース（１）が処理液に接触する電解領域、を含む少なくとも１つの配列と、ｂ）少なくとも１つの電解領域の外に配置され、かつ処理液と接触していない少なくとも１の接触電極（４）と、が含まれ、そしてｃ）少なくとも１の接触電極（６）および少なくとも１つの電解領域が共に非常に接近して離間配置されているので、小さな導電性の構造体を電解処理することができる。
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