【課題】線幅の面内均一性（ＣＤＵ）に優れたパターンを形成することができる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）特定のラクトン構造を有する繰り返し単位と、特定の単環脂環構造を有する繰り返し単位とを有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、及び
（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定構造を有する化合物を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ＫｒＦエキシマレーザー、極端紫外線、電子線またはＸ線等の放射線に感応する化合物の提供。
【解決手段】式（７−１）で表される化合物。


（式中、Ｒ１は、酸解離性官能基であり、同一でも異なっていてもよく、Ｒ２Ｂは、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基などからなる群から選ばれる置換基を表し、同一でも異なっていてもよく、Ｒ３、Ｒ７は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ４Ｂは、ナフタレン構造を有する炭素数１０〜２０の二価の置換基であり、ｋ０、ｊ０、ｍ０、ｎ０、ｋ１、ｊ１、ｍ１、ｎ１は０〜３の整数であり、ｋ２、ｊ２、ｍ２、ｎ２は０〜４の整数である。） （もっと読む）

【課題】加熱時に矩形を維持できる隔壁を形成することが可能な隔壁形成用感光性組成物、該隔壁形成用感光性組成物を用いた電子ペーパー用隔壁の形成方法、電子ペーパー用隔壁及び該電子ペーパー用隔壁を有する電子ペーパーを提供することを目的とする。
【解決手段】
電子ペーパー用隔壁を形成するために用いられ、下記（Ａ）成分〜（Ｄ）成分を含有することを特徴とする隔壁形成用感光性組成物。
（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有する構造単位（ａ１）及び脂環式炭化水素基を有する構造単位（ａ２）を有する重合体。
（Ｂ）成分：多官能性単量体。
（Ｃ）成分：感光性重合開始剤。
（Ｄ）成分：有機溶剤。 （もっと読む）

【課題】変色劣化に起因した反射率の低下を防止し、かつ、高反射率で高解像度のソルダーレジスト組成物、及びそれを用いてソルダーレジストを形成して得られるプリント配線板を提供する。
【解決手段】（Ａ）芳香環を有さないカルボキシル基含有樹脂、（Ｂ）ビスアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、（Ｃ）モノアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、（Ｄ）光重合性モノマー、（Ｅ）ルチル型酸化チタン、（Ｆ）エポキシ化合物、（Ｇ）有機溶剤および（Ｈ）酸化防止剤を含み、前記酸化防止剤（Ｈ）は、前記芳香環を有さないカルボキシル基含有樹脂（Ａ）１００質量部に対して０．４〜２５質量部含むソルダーレジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】新規の光酸発生剤化合物およびこの化合物を含むフォトレジスト組成物であり、特に、塩基開裂性基をふくむ光酸発生剤化合物を提供する。
【解決手段】例えば下記反応で得られる化合物で示される光酸発生剤化合物を含むフォトレジスト組成物が例示される。
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【課題】一辺が約１μｍの白色フィルタ画素を含むカラーフィルタがイメージセンサに搭載された場合に、イメージセンサにおける撮像を高品質かつ高感度で行うことのできる上記カラーフィルタを製造可能な、固体撮像素子のカラーフィルタ用感光性透明組成物、並びに、これを用いた固体撮像素子のカラーフィルタの製造方法、固体撮像素子のカラーフィルタ、及び、固体撮像素子を提供する。
【解決手段】（Ａ）重合開始剤、（Ｂ）重合性化合物、及び（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂を含有する、固体撮像素子のカラーフィルタ用感光性透明組成物であって、前記感光性透明組成物から得られる硬化膜の波長６３３ｎｍの光に対する屈折率が１．６０〜１．９０である固体撮像素子のカラーフィルタ用感光性透明組成物、並びに、これを用いた固体撮像素子のカラーフィルタの製造方法、固体撮像素子のカラーフィルタ、及び、固体撮像素子。 （もっと読む）

【課題】優れた解像度を有するレジストパターンを製造できるレジスト組成物の提供。
【解決手段】酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤と、式（Ｉ）で表される化合物とを含有し、樹脂が式（ａ２−０）で表されるモノマーに由来する構造単位を有する樹脂であるレジスト組成物。［Ｒ^１〜Ｒ^４は置換基を有していてもよいアルキル基、飽和環状炭化水素基又はアルケニル基を表す。Ａ^１はハロゲン化アルキル基を表す。］
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【課題】優れたラインウィズスラフネス（ＬＷＲ）を有するパターンを得ることができる
レジスト組成物を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される塩。［Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３は水素原子又は炭素数１〜１２の炭化水素を表すか、Ｒ^２及びＲ^３は互いに結合して炭素原子とともに炭素数３〜２０の環を形成する。Ｒ^４及びＲ^５は水素原子、フッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基を表す。Ｘ^１は２価の炭素数１〜１７の炭化水素基を表し、前記２価の炭化水素基に含まれる−ＣＨ_２−は、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＣＯ−で置き換わっていてもよい。また、前記２価の炭化水素基に含まれる水素原子は、−ＯＨで置き換わっていてもよい。Ｒ^６は水素原子又は炭素数１〜１２の炭化水素を表す。Ａ^＋は有機カチオンを表す。］
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【課題】経時での凝集異物の発生及びコントラスト比の低下を抑制し得る着色組成物を提供すること。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）架橋剤、及び（Ｄ）下記（ｄ−１）〜（ｄ−８）よりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有することを特徴とする着色組成物。
（ｄ−１）特定の置換基を有する脂肪族カルボン酸又はその塩
（ｄ−２）特定の置換基を有する脂肪族スルホン酸又はその塩
（ｄ−３）特定の置換基を有する脂環式カルボン酸又はその塩
（ｄ−４）特定の置換基を有する脂環式スルホン酸又はその塩
（ｄ−５）特定の置換基を有する芳香族炭化水素又はその塩
（ｄ−６）特定の置換基とスルホ基を有する芳香族炭化水素又はその塩
（ｄ−７）カルボキシル基と複素環基を有し、特定原子数で構成される化合物又はその塩
（ｄ−８）スルホ基と複素環基を有し、特定原子数で構成される化合物又はその塩 （もっと読む）

【課題】現像欠陥が改善され、且つ良好なパターン形状を形成可能な感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いて形成された感活性光線性または感放射線性膜、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）活性光線または放射線の照射により下記一般式（Ｉ）又は（Ｉ’）で表される酸を発生する化合物、及び（Ｂ）酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。〔一般式（Ｉ）及び（Ｉ’）中の各記号は、本特許請求の範囲に記載の意味を表す。〕
【化１】
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