【課題】優れたフォーカスマージン（ＤＯＦ）を有するレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式（Ｉ）で表される塩。


［式中、Ｑ^１及びＱ^２はフッ素原子又はペルフルオロアルキル基；Ｌ^１及びＬ^２は２価の飽和炭化水素基、該基に含まれるメチレン基は酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい；環Ｗは２価の脂肪族環を表し、該環に含まれるメチレン基は、酸素原子等で置き換わっていてもよく、該環に含まれる水素原子はヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基等で置換されていてもよい；Ｒ^１は脂肪族炭化水素基、該基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい；Ｒ^２は水素原子、アルキル基等を表す；ｓは０〜３の整数；ｔは０〜２の整数；Ｚ^＋は有機対イオンを表す。］ （もっと読む）

【課題】液浸露光時における疎水性を確保しつつ、アルカリ現像液に対する反応性に優れ、現像欠陥を抑制することができ、さらに被覆率依存性が良好な感放射線性樹脂組成物、これに用いることができる重合体及びこの重合体のモノマーとなる化合物を提供することである。
【解決手段】下記式（１）で表される構造単位を有する重合体を含有する感放射線性樹脂組成物。Ｒ２は、下記式（２）で表される酸解離性基である。
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【課題】顔料含有量が高い、あるいは膜厚が厚くとも、高感度で残膜率が高く、且つ直線性、パタ−ン形状、解像度、現像耐性、薬品耐性が優れた感光性着色組成物、およびそれを用いたカラーフィルタの提供すること。
【解決手段】本発明の感光性着色組成物は、特定の化合物を光重合開始剤として用いることにより、顔料含有量が高い、あるいは各色フィルタセグメントおよびブラックマトリックスの形成膜厚が厚くとも、高感度で、且つ優れた各色フィルタセグメントおよびブラックマトリックスパタ−ンを形成することができる。
従って、本発明の感光性着色組成物を用いることにより、高品質なカラーフィルタを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】良好なパターン形成性を維持したまま、優れた耐光性および耐熱性が得られる着色感光性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）フタロシアニン骨格を有する色材、（Ｂ）溶剤、（Ｃ）重合性モノマー、（Ｄ）バインダー樹脂、（Ｅ）光重合開始剤、及び（Ｆ）下記一般式（１）で表される化合物、を含有する着色感光性組成物。一般式（１）において、Ｒ^１、及びＲ^２は各々独立に、２〜４価の連結基を表し、Ｙ^１、及びＹ^２は各々独立に、２価の連結基を表す。Ｐ^１、及びＰ^２は各々独立に、重合性基を表す。ｍ、及びｎは、各々独立に１以上３以下の整数を表す。
【化１】
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【課題】優れたフォーカスマージンを有するレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される塩を有効成分として含有する酸発生剤と、式（ａ３−２）で表される化合物に由来する構造単位を有する樹脂とを含有するレジスト組成物。


［式中、Ｑ^１及びＱ^２は、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基；Ｌ^１は２価の飽和炭化水素基；Ｌ^２は単結合又は２価の飽和炭化水素基；Ｒ^１は脂肪族炭化水素基；Ｒ^２は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基等；Ｚ^＋は有機対イオン；Ｌ^a5は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k3−ＣＯ−Ｏ−、ｋ３は１〜７の整数、＊は−ＣＯ−との結合手；Ｒ^a22はカルボキシ基、シアノ基又は脂肪族炭化水素基を表す。］ （もっと読む）

【課題】パターン形成が可能で、しかも微細な凹凸に対する優れた追従性と高い接着力を兼ね備えているだけでなく、中空部材に適用した場合に、その中空部に結露を生じることのない、優れた感光性接着剤組成物と、それを用いて得られる中空部材を提供する。
【解決手段】分子中にカルボキシル基とラジカル重合性基とウレタン結合とを有するポリマー（Ａ）をベースポリマーとして含有するとともに、分子中にカルボキシル基を有しないウレタン（メタ）アクリレートポリマー（Ｂ）と、エポキシ樹脂（Ｃ）と、光重合開始剤（Ｄ）と、熱硬化促進剤（Ｅ）と、吸水性付与用ラジカル重合制御剤（Ｆ）とを含有し、上記（Ａ）成分と（Ｃ）成分の配合割合が、（Ｃ）のエポキシ基のモル数／（Ａ）のカルボキシル基のモル数＝１〜１．５となるように設定されている感光性接着剤組成物である。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＥＦ性能及びＬＷＲ性能等のリソグラフィー性能に優れ、かつパターン倒れ耐性にも優れる感放射線性樹脂組成物の提供。
【解決手段】[Ａ］酸分解性基を有する構造単位から成る重合体、［Ｂ］放射線の照射により、スルホン酸、カルボン酸又はスルホンアミドを発生し、このスルホン酸、カルボン酸及びスルホンアミドがα位の炭素原子に結合する少なくとも１個のフッ素原子又はパーフルオロアルキル基を有する化合物、並びに［Ｃ］放射線の照射により、スルホン酸、カルボン酸又はスルホンアミドを発生し、このスルホン酸、カルボン酸及びスルホンアミドがα位の炭素原子に結合するフッ素原子及びパーフルオロアルキル基をいずれも有さない化合物を含有する感放射線性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】良好なパターンプロファイル（矩形性）を示し、微細パターンの形成が可能となる着色感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）着色感放射線性組成物における全固形分中の４５質量％〜８０質量％の着色剤と、（Ｂ）酸性基を有し、酸価２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上である多官能（メタ）アクリル化合物及び親水基を有する多官能（メタ）アクリル化合物から選ばれる少なくとも１種の光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）溶剤とを含み、前記（Ａ）着色剤における１０質量％〜８０質量％が下記式（Ａ−Ｉ）で表される化合物である着色感放射線性組成物である。 （もっと読む）

【課題】青色、緑色、赤色に配置された原色カラーフィルタ用に有用であって、色純度、堅牢性に優れ、高いモル吸光係数を有する感光性着色硬化性組成物の提供。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）のジピロメテン系化合物と、金属又は金属化合物と、から得られるジピロメテン系金属錯体化合物を含有する感光性着色硬化性組成物。
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【課題】基板を再利用することが可能となるドライフィルム及び硬化物、並びにプリント配線板の提供。
【解決手段】式（１）で示される構造を含む化合物から誘導されるカルボン酸樹脂、ポリ（メタ）アクリレート及びエポキシ樹脂のいずれか又は２種以上を組み合わせて成る光硬化性樹脂組成物。
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