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国際特許分類[G03F7/004]の内容

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【課題】十分な隠蔽性を発現し、かつ、保存安定性に優れる黒色感光性組成物を提供する。
【解決手段】カルボキシル基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(A)、ウレタン(メタ)アクリレート(B)、前記(A)及び(B)以外のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)、並びにカーボンブラック(E)を含有する黒色感光性組成物であって、前記カーボンブラック(E)は、メチルエチルケトン溶剤にカーボンブラックを濃度10質量%で分散後、静置して72時間後の溶存酸素濃度の低下率が50%未満であることを特徴とする黒色感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】フォトレジストポリマーに重合可能な新規光酸発生剤化合物、およびこの重合性光酸発生剤を含むフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)を有する化合物:


式中、Qはハロゲン化されているかもしくはハロゲン化されていないC2−30オレフィン含有基であり、Aはフッ素置換C1−30アルキレン基、フッ素置換C3−30シクロアルキレン基、フッ素置換C6−30アリーレン基、もしくはフッ素置換C7−30アルキレン−アリーレン基であり、Zはスルホナート、スルホンアミドもしくはスルホンイミドを含むアニオン性基であり、並びにGは特定のカチオンである。 (もっと読む)


【課題】本発明は、フォトリソグラフィー法を適用した場合に、ばらつきの少ない、三次元形状の再現性に優れた感光性ネガ型樹脂組成物を提供することを目的の一つとする。
【解決手段】本発明は、(a)エポキシ基を有する化合物と、(b)(b1)で表わされるカチオン部構造および(b2)で表されるアニオン部構造を含有する第1のオニウム塩と、(c)(c1)で表わされるカチオン部構造および(c2)で表されるアニオン部構造を含有する第2のオニウム塩と、を含むことを特徴とする感光性ネガ型樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】マイクロカプセル化反応が早い、光重合性化合物を芯物質とするマイクロカプセル、及びその製造方法を提供する。また、このマイクロカプセルを含み、耐汚れ性及び保存安定性を維持しつつ高耐刷なCTP用平版印刷版原版、及び機上現像を含む製版方法を提供する。
【解決手段】芯物質が重合性不飽和基含有化合物及び3価のリン化合物であり、この芯物質を含有する殻壁成分がウレア結合を分子構造中に有することを特徴とするマイクロカプセル。親水性支持体上に、(A)ラジカル重合性化合物、(B)増感色素、(C)重合開始剤、及び(D)上記マイクロカプセルを含有する重合性組成物を含有する画像記録層を有することを特徴とする平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】熱膨張率と残留応力が小さく、銅基板等との密着性に優れ、生成した樹脂の破断強度が大きい感光性ポリイミド前駆体及び感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】テトラカルボン酸と芳香族ジアミンとを重縮合させて得られる繰り返し単位(1)を有し、両末端に化学線官能基が導入された感光性ポリイミド前駆体であって、剛直構造の芳香族テトラカルボン酸を、テトラカルボン酸の全モル数に対し70〜100モル%含有するもので、芳香族ジアミンが、チオフェン含有芳香族ジアミンと、剛直構造芳香族ジアミンとを、モル比で、3:97〜30:70で含有するもので、かつ化学線官能基が、炭素−炭素二重結合を有するフェニルアミノ基又は、炭素−炭素二重結合をエステルとして有するジカルボキシフェニルカルボニル基からなる感光性ポリイミド前駆体及び該前駆体を含む感光性樹脂組成物。
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【課題】ハレーションやアンダーカットが発生せず、安定した高い解像性が得られ、また冷熱サイクル時のクラック発生を抑制することが可能な光硬化性樹脂組成物、それから得られるドライフィルム及び硬化物、並びに該ドライフィルムや硬化物によりTCT耐性、PCT耐性等の諸特性に優れたソルダーレジスト等の硬化皮膜が形成されてなる信頼性の高いプリント配線板を提供する。
【解決手段】光硬化性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂と、光重合開始剤と、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を含有する。好適には、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体は、水酸基を有する化合物である。 (もっと読む)


【課題】SiON、酸化ケイ素、窒化ケイ素、ケイ酸ハフニウム、ケイ酸ジルコニウムおよび他の無機表面のような下地無機表面に対して良好な接着性を示しうるイオン注入リソグラフィ適用に特に有用な新規フォトレジストの提供。
【解決手段】1)樹脂、2)光活性成分、および3)多ケト成分を含む化学増幅ポジ型フォトレジスト組成物のレリーフ像を半導体基体上にコーティングした半導体基体を提供し、並びにイオンを前記基体に適用する。 (もっと読む)


【課題】レジスト組成物、及び該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)と、含窒素有機化合物成分(D)とを含有するレジスト組成物であって、前記酸発生剤成分(B)は、下記一般式(b1−1)で表される化合物からなる酸発生剤(B1)を含有し、前記含窒素有機化合物成分(D)は、下記一般式(d1)で表される化合物(D1)を含むことを特徴とするレジスト組成物。[化1]
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【課題】優れたマスクエラーファクターでのレジストパターン製造用レジスト組成物の提供。
【解決手段】構造単位(aa)と、構造単位(a1−1)又は構造単位(a1−2)の構造単位(ab)とを有する樹脂(A1);構造単位(aa)を有さず、樹脂(A1)が有する構造単位(ab)と同一の構造単位(ab)を有する樹脂(A2);酸発生剤を含有し、かつ「0.8<α/β<1.2、αは樹脂(A1)の全構造単位に対する樹脂(A1)中の構造単位(ab)のモル%;βは樹脂(A2)の全構造単位に対する樹脂(A2)中の構造単位(ab)と同一の構造単位のモル%」の関係を満たすレジスト組成物。
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【課題】耐刷性と現像性が両立できる平版印刷版原版、平版印刷版の製版方法及び平版印刷方法を提供する。
【解決手段】表面親水性の支持体上に、熱可塑性微粒子ポリマー、赤外線吸収剤、及び高分子化合物を含有する画像記録層を有する平版印刷版原版であって、高分子化合物が主鎖が三つ以上に分岐した星型形状を有し、分岐した高分子主鎖の側鎖に親水性基を有することを特徴とする平版印刷版原版。 (もっと読む)


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