【課題】解像性に優れ、レジストパターンの波型の形状不良発生が少なくパターン変動を低減できる化学増幅型ポジ型レジスト組成物を提供する。
【解決手段】酸の作用でアルカリ水溶液に可溶となる樹脂と感放射線性酸発生剤とを含有する化学増幅型ポジ型レジスト組成物であって、該樹脂が、ヒドロキシスチレンから導かれる重合単位と、酸に不安定な基を持つ特定の一般構造式で表される重合単位と、式（III）の重合単位とを含有する。
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【課題】アゾ化合物の金属錯体顔料の分散性、分散安定性に優れ、かつ、コントラストが優れた着色層が得られるカラーフィルタ用顔料分散液、カラーフィルタ用樹脂組成物を提供する。
【解決手段】顔料と、顔料分散剤と、溶媒とを含有する顔料分散液であって、顔料が、アゾ化合物の金属錯体顔料を含み、かつ、顔料分散剤が下記式（１）で表わされる顔料分散剤を含むカラーフィルタ用顔料分散液。
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【課題】露光後ベーク時の加熱条件を従来より緩和しても、露光部のポリイミド前駆体のイミド化を十分に促進する塩基を発生する塩基発生剤、及び、現像時間を短縮でき、アルコール等を添加しない塩基性水溶液を現像液として用いることが可能で、露光部と未露光部の溶解性コントラストが高くなる感光性ポリイミド樹脂組成物を提供する。
【解決手段】発生する塩基が共有結合を用いて潜在化されていて、電磁波の照射により塩基を発生する塩基発生剤であって、水酸基を有する塩基を発生する光塩基発生剤、並びに、ポリイミド前駆体と、前記本発明に係る光塩基発生剤とを含有する、ネガ型感光性ポリイミド樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、基材や下地などとの密着性が良好であり、膜硬度、耐熱性および耐酸性が高く、かつ透過率が高く、特に波長４００ｎｍ付近の透過率が高い感光性樹脂組成物と、それを用いたタッチパネル用絶縁膜を提供することを目的とする。
【解決手段】一般式（１）で表される化合物（ａ１）と、化合物（ａ１）と共重合可能な他の化合物（ａ２）とを共重合してなる樹脂（Ａ１）を含む樹脂（Ａ）、光ラジカル重合開始剤（Ｂ）、光カチオン重合開始剤（Ｃ）、エチレン性不飽和単量体（Ｄ）、エポキシ化合物（Ｅ）、及びオキセタン化合物（Ｆ）を含み、エチレン性不飽和単量体（Ｄ）の重量をＭｅｔ、エポキシ化合物（Ｅ）の重量をＭｃｅ、オキセタン化合物（Ｆ）の重量をＭｃｏとしたとき、（Ｍｃｅ＋Ｍｃｏ）／（Ｍｅｔ＋Ｍｃｅ＋Ｍｃｏ）が、０．４以上０．９以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物により解決される。 （もっと読む）

【課題】高感度とＰＥＤ特性とを両立することができる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（成分Ａ）式（ａ１）〜式（ａ３）で表される構成単位を少なくとも有する共重合体、（成分Ｂ）式（Ｂ）で表されるオキシムスルホネート化合物、及び、（成分Ｃ）溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。Ｒ¹は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ²は炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数４〜７のシクロアルキル基を表し、Ｒ³は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ^B1及びＲ^B2はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、Ｒ^B1及びＲ^B2は連結して環を形成していてもよく、Ｒ^B3は炭素数１〜８のアルキル基、ｐ−トルイル基、フェニル基、カンホリル基、トリフルオロメチル基又はノナフルオロブチル基を表す。
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【課題】従来の酸発生剤を含むレジスト組成物を電子線用レジスト組成物として用いても、得られるレジストパターンの解像度が必ずしも十分に満足できない場合があった。
【解決手段】式（Ｉ）で表される塩。


［式（Ｉ）中、Ｑ^１及びＱ^２は、互いに独立に、フッ素原子等を表す。Ｌ^１は、炭素数１〜１７の２価の飽和炭化水素基等を表す。環Ｗは、炭素数３〜３６の脂肪族環を表す。ｓは、０〜３の整数を表す。ｔは、０〜２の整数を表す。Ｒ^１は、炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基等を表す。Ｒ^２は、水素原子等を表す。Ｚ^＋は、有機対イオンを表す。］ （もっと読む）

【課題】ＰＥＢ温度が低温であっても、感度等に優れ、ＬＷＲ、ＤＯＦ等のリソグラフィー性能が高度にバランスし、エッチング耐性をも十分に満足する化学増幅型レジスト用の感放射線性樹脂組成物、そのパターン形成方法、その重合体、及び化合物を提供する。
【解決手段】［Ａ］下記式（１）で表される構造単位（Ｉ）を有する重合体、及び［Ｂ］感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物。
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【課題】赤外領域における遮光性が高く、可視光領域における透光性が高く、かつ、アルカリ現像による解像性に優れたパターンを形成可能である重合性組成物、並びに、これを用いた感光層、永久パターン、ウエハレベルレンズ、固体撮像素子、及び、パターン形成方法を提供する。
更に、感光層が設けられる基板が凹凸形状を有する場合、基板の該凹凸形状に良好に追従した形状を有する感光層を形成可能な重合性組成物、並びに、これを用いた感光層、永久パターン、ウエハレベルレンズ、固体撮像素子、及び、パターン形成方法を提供する。
【解決手段】重合開始剤、重合性化合物、タングステン化合物、アルカリ可溶性バインダー、及び無機フィラーを含有する重合性組成物。 （もっと読む）

【課題】 塗布時の染みを減らし、塗布均一性を向上させ、真空乾燥時に逆テーパ状とならないように特定構造の共溶媒を含んで、パターン形状を著しく改善するだけでなく、パターン幅の不均一問題を発生しないフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 本発明によるフォトレジスト組成物は、（ａ）ノボラック樹脂５〜３０重量％、（ｂ）ジアジド系感光性化合物２〜１０重量％、（ｃ）ジアルキルエーテル系共溶媒１〜７０重量％、及び（ｄ）有機溶媒残量を含む。 （もっと読む）

【課題】体積抵抗の温度依存性の少ない硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】（成分Ａ）式（ａ１）〜式（ａ４）で表される構成単位を少なくとも有する共重合体、（成分Ｂ）Ｎの隣のＣに−ＣＮ基を有するオキシムスルホネート化合物、及び、（成分Ｃ）溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
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