【課題】硬化感度が高く、現像性が良好で、優れた耐熱性と所望の色相とを有する着色硬化膜を形成しうる着色感光性樹脂組成物、これを用いたパターン形成方法及びカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び、該カラーフィルタを備えた表示素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、（Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）下記一般式（Ｉ）で表される光重合開始剤、（Ｅ）多官能チオール化合物、及び（Ｆ）溶剤を含有する着色感光性樹脂組成物。一般式（Ｉ）中、Ｒ^１は芳香環又はヘテロ芳香環を含む１価の置換基を表し、Ｘ^１、Ｘ^２、Ｘ^３及びＸ^４は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表し、Ｙは単結合又はカルボニル基を表し、Ｚはメチル基又はフェニル基を表す。
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【課題】液浸リソグラフィに有用な新規フォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】１種以上の塩基反応性基、および（ｉ）前記塩基反応性基とは異なる１種以上の極性基を含み、および／または（ｉｉ）前記塩基反応性基の少なくとも１種は過フッ素化されていない塩基反応性基である。本発明の特に好ましいフォトレジストは液浸リソグラフィーの際にレジスト層に接触する液浸流体へのレジスト材料の漏出の低減を示すことができる。 （もっと読む）

【課題】動画性能を向上させられる層間絶縁膜を形成可能な感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】（成分Ａ）式（ａ１）〜式（ａ４）で表される構成単位を少なくとも有する共重合体、（成分Ｂ）Ｎの隣のＣに−ＣＮ基を有するオキシムスルホネート化合物、及び、（成分Ｃ）溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
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【課題】優れたパターン倒れ耐性（PCM）を有するパターンを得ることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物と、酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤とを含むレジスト組成物。［式（Ｉ）中、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立に、炭素数１〜６のアルキル基を表すか、Ｒ^１及びＲ^２は互いに結合して、これらが結合する炭素原子とともに炭素数５〜２０の環を形成する。Ｒ^３は、置換基を有していてもよい炭素数１〜３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる−ＣＨ_２−は、−Ｏ−で置き換わっていてもよい。Ｔ^１は、２価の炭素数１〜１７の炭化水素基を表し、該２価の炭化水素基に含まれる−ＣＨ_２−は、−Ｏ−又は−ＣＯ−で置き換わっていてもよい。ｍは０又は１の整数を表す。］
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【課題】微細パターンの形状を矩形にすると共に、パターン倒れ耐性を向上させる高分子化合物、これを含むポジ型レジスト材料、これを用いるパターン形成方法の提供。
【解決手段】紫外線等の高エネルギー線に感応して酸を発生する一般式（１ａ）及び／又は（１ｂ）で示される構造の繰り返し単位と、特定の構造のラクトン環を有する繰り返し単位及び特定の構造の酸不安定単位を有する繰り返し単位とを含み、いずれの繰り返し単位も水酸基を含まない高分子化合物。
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【課題】本発明の目的は、色特性及び耐熱性、耐光性、耐溶剤性に優れ、塗膜への異物発生もない、安定なカラーフィルタ用青色着色組成物、並びにそれを用いた色特性が良く、耐熱性、耐光性、耐溶剤性に優れるカラーフィルタを提供することである。
【解決手段】 少なくとも着色剤と樹脂とからなるカラーフィルタ用青色着色組成物において、該着色剤が、トリアリールメタン系塩基性染料と芳香族スルホン酸塩化合物とからなるトリアリールメタン造塩化合物（Ａ）および青色顔料を含むことを特徴とするカラーフィルタ用青色着色組成物によって解決される。 （もっと読む）

【課題】優れたマスクエラーファクター（ＭＥＦ）を有するパターンを得ることができるレジスト組成物用に含まれる化合物を提供する。
【解決手段】式（ａ）で表される化合物。［式（ａ）中、Ｒ^１及びＲ^２は、互いに独立に、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数５〜８のシクロアルキル基を表す。Ｒ^３及びＲ^４は、互いに独立に、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^５は、炭素数１〜８のフッ化アルキル基を表す。］
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【解決手段】紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線、エキシマレーザー、γ線、又はシンクロトロン放射線照射の高エネルギー線に感応して酸を発生する特定の構造の繰り返し単位と酸不安定単位を有し、酸によってアルカリ溶解性が向上する高分子化合物（Ａ）、特定の構造のスルホニウム塩（Ｂ）を共に含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。
【効果】本発明は、酸拡散の抑制と溶解コントラスト向上を両立し、かつケミカルフレア耐性を高めることにより、微細パターン、特にトレンチ（溝）パターンやホール（穴）パターンのリソグラフィー性能（形状、ＤＯＦ、エッジラフネス）を改善させることができる。 （もっと読む）

【課題】 本願発明の課題は、リフロー実装後の歪みや反りを低減可能な感光性樹脂組成物を使用した補強板一体型フレキシブルプリント基板及び感光性樹脂組成物を使用した補強板一体型フレキシブルプリント基板の製造方法を提供することである。
【解決手段】 少なくとも（Ａ）ポリイミドフィルムからなる補強板、（Ｂ）感光性樹脂組成物、（Ｃ）フレキシブルプリント基板の順で構成されていることを特徴とする補強板一体型フレキシブルプリント基板の構成をとることにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】プロセスタイムの増大や装置コストの増大を招かずに、低コストで迅速に製造できる、半導体装置用実装品の製法を提供する。
【解決手段】半導体装置に用いる実装用の２部品を準備する工程と、そのいずれかの部品の接着用面に感光性接着剤組成物を付与する工程と、その付与面を露光し現像して所定のパターンに形成する工程と、このパターン形成された接着剤付与面を用いて実装用の２部品を接着して実装品をつくる工程とを備えた半導体装置用実装品の製法において、特殊な感光性接着剤組成物と、特殊な現像液を用いるようにした。 （もっと読む）