【目的】本発明は、エキシマレーザを露光源とするリソグラフィにおいて使用する、優れた透明性及びエッチング耐性のみならず、高感度で、剥がれの少ない放射線感光材料及びその放射線感光材料を用いたパターン形成方法を提供する。
【構成】メタクリル酸アダマンチルモノマとアクリル酸ｔ−ブチルモノマとを１：１で仕込み、重合開始剤としてＡＩＢＮを添加して重合した後、メタノールで沈澱精製を行って得られた構造式
【化２６１】
の共重合体に、トリフェニルスルフォニウムヘキサフロロアンチモンを添加してシクロヘキサノン溶液とし、この溶液をウェーハ上に塗布し、ＫｒＦエキシマステッパで露光し、現像すると、閾値エネルギーＥthは５０ｍＪ／ｃｍ²で、解像力は１３０ｍＪ／ｃｍ²で０．４５μｍ幅のＬ＆Ｓを示した。 （もっと読む）

【目的】 特にレーザ光で直接書き込み可能で、かつ非画像部にインク汚れを生じることなく、しかも耐刷性にすぐれた感光性印刷版を提供する。
【構成】 （１）ラジカルによって付加反応を起し得る官能基を共有結合により結合させた表面を有する支持体と、（２）その表面に設けられた光重合性感光層を有する感光性印刷版であり、その光重合性感光層が光開始剤及び４００〜１０００nmに吸収波長を有する増感剤を含有する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、プリント配線板製造工程等に於て好適に用いられる、アルカリ現像型フォトソルダーレジストの提供を目的とする。
【構成】不飽和多塩基酸またはその無水物の重合体もしくは他のエチレン不飽和化合物との共重合体のラジカル重合性一価アルコールおよび非ラジカル重合性多価アルコールによるハーフエステル化物を含むことを特徴とするフォトソルダーレジスト組成物。
【効果】本発明により、耐薬品性、耐溶剤性、耐水性、耐湿性、耐アルカリ性、耐水溶性フラックス性等において優れた特性を有するフォトソルダーレジスト組成物が得られた。 （もっと読む）

【目的】 従来の光カチオン重合組成物の欠点（感光性平版印刷版の感光層やフォトレジスト等に適用したとき、いずれも、感度、耐薬品性（フォトレジストのエッチングあるいは平版印刷時の）及び機械的強度が不充分である）を改善し、高感度で、かつ耐薬品性及び機械的強度に優れる感光性組成物を提供する。
【構成】 ■有機溶剤に分散可能なマイクロゲル、ビニルエーテル基又はプロペニルエーテル基を有する化合物、及び光酸発生剤を含有する感光性組成物。■表面にビニルエーテル基及びプロペニルエーテル基から選ばれる少なくとも１つ、及びオキシラン、チイラン、オキセタン及びチエタンから選ばれる少なくとも１つの環を有するマイクロゲルを含有する感光性組成物。 （もっと読む）

【構成】基材の上に、窒素、酸素、硫黄各原子のうちの少なくとも１種類の原子で置換された炭化水素基と加水分解性基とがケイ素原子に直接結合したケイ素化合物の層、共役系重合体膜の順に構成されることを特徴とする薄膜を有する基材。
【効果】基材と共役系重合体膜との間に、ケイ素化合物層を介在させることによって、が良好な密着性を有することになり、例えば密着性に優れた反射防止膜や遮光膜が得られる。 （もっと読む）

【目的】 ポジ型版もしくはネガ型版としていずれにも使用することができ、ダイレクトレーザーアドレス可能な版に有用な、そして単一露光のみを必要とする簡単な手順により処理することができる改良された印刷版を提供する。
【構成】 支持体、ならびに、紫外線および赤外線の両方に感受性を有し、ポジ型もしくはネガ型方法のいずれにも機能を果たすことができる画像生成層であって、水性アルカリ性現像液中の前記画像生成層の溶解性が、活性放射線に対する像様露光の工程および加熱工程により、露光済領域では減少し未露光領域では増加する、画像生成層を含んでなる平板印刷版であって、前記画像生成層が、（１）レゾール樹脂、（２）ノボラック樹脂、（３）潜伏性ブロンステッド酸、および（４）赤外吸収剤を含んでなる平板印刷版。 （もっと読む）

【構成】本発明は、シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。
【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、パターン精度および加工性に優れている。 （もっと読む）

【目的】 蛍光体の分散不良を起こさず常時蛍光体の分散安定性に優れたフォトレジスト層を供給すると共に２０μ以上の硬化レジスト層を形成し、パターン形成精度にも優れたフォトレジストフィルムを提供すること。
【構成】 蛍光体を含有せしめた感光性樹脂組成物をベースフィルムに積層したフォトレジストフィルム。 （もっと読む）

【構成】 下記の成分（ｉ）〜（iv）を含有する光重合性組成物。
(i) 付加重合性不飽和結合を有する重合可能な化合物。
(ii) 下記式（Ｉ−６）の化合物。
(iii) 芳香族オニウム塩。
(iv) 下記式 (IV−１）の化合物。
【化１】


【効果】 紫外光から可視光の幅広い領域の活性光線に対して高感度である。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は、化学的に増感されたフォトレジスト組成物を改良することにある。
【構成】 本発明のフォトレジスト組成物は、（i）感光性酸発生体と、（ii）重合体であって、（ア）ヒドロキシスチレンと、（イ）アクリレート、メタクリレート、またはアクリレートとメタクリレートの混合物との反応生成物を含む上記重合体とを含む。
【効果】 本発明によれば、熱安定性が改良され、空気中の汚染物質の影響を受けにくいフォトレジスト組成物が得られる。 （もっと読む）