国際特許分類[G03F7/004]の内容
物理学 (1,541,580) | 写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ (245,998) | フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置 (42,984) | フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化またはパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置 (38,375) | 感光材料 (22,284)
国際特許分類[G03F7/004]の下位に属する分類
アジド (15)
ジアゾニウム塩または化合物 (20)
キノンジアジド (829)
炭素―炭素三重結合を有する非高分子光重合性化合物,例.アセチレン化合物 (3)
炭素―炭素二重結合を有する非高分子光重合性化合物,例.エチレン化合物 (5,469)
不溶性または特異的に親水性になる高分子化合物 (1,733)
光分解可能な高分子化合物,例.ポジ型電子レジスト (3,188)
クロム酸塩
銀塩 (43)
シリコン含有化合物 (806)
接着促進非高分子添加剤に特徴のある感光組成物 (35)
構造の細部,例.支持体,補助層,に特徴のあるもの (2,371)
国際特許分類[G03F7/004]に分類される特許
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光活性化合物
本発明は、フォトレジスト組成物の調合に使用することができる新規の光活性化合物に関する。 (もっと読む)
深紫外線用のフォトレジスト組成物及びそれの製法
本発明は、深紫外線領域の放射線に感度を示す新規のフォトレジスト組成物、特に100〜300nmの範囲に感度を示すポジ型フォトレジスト、並びにそれを使用する方法に関する。このフォトレジスト組成物は、a)水性アルカリ性溶液中に不溶性でかつ少なくとも一つの酸感応性基を含むポリマーであって、更に、少なくとも一種の脂環式炭化水素単位、少なくとも一種の環状酸無水物、構造式1を有する少なくとも一種のアクリレート単位、及び構造式2を有する少なくとも一種のアクリレート単位を含む上記ポリマー;
[式中、
R’及びRは、独立してHまたは(C1-C4)アルキルであり、
R1は、環状ラクトン側鎖基であり、そして
R2は、非ラクトン系脂肪族炭化水素側鎖部である]
b)露光時に酸を生成することができる化合物またはこのような化合物の混合物を含む。本発明は更に、バレロラクトンを含む溶剤を感光性材料の溶剤として使用することにも関する。好ましくは、溶剤はガンマバレロラクトンである。この溶剤は、一種または二種以上の他のフォトレジスト溶剤との混合物でもよい。
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レジスト組成物およびレジストを除去するための有機溶剤
本発明は、有機溶剤としてベンジルアルコールまたはその誘導体を含んでなるレジスト組成物を提供するものである。本発明は、レジストを除去するための、ベンジルアルコールまたはその誘導体を含んでなる有機溶剤も提供する。本発明のレジスト組成物は、UV光で照射することにより、照射部分と非照射部分との間の溶解度の差を利用する、微小パターンを形成するためのリソグラフィー法に使用し、薄膜を塗布した時の被膜厚の均質性を大幅に改良する。さらに、本発明の有機溶剤は、微小回路形成工程の際に感光性材料と接触するデバイスを、デバイスから感光性材料を除去することにより、洗浄するのに使用することができる。本有機溶剤は、感光性材料が塗布されている基材の好ましくない部分上に残留する感光性材料を除去することもできる。 (もっと読む)
新規な感光性樹脂組成物
(a)1つまたはそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー(I):[式中、xは約10〜約1000の整数であり、yは0〜約900の整数であり、また(x+y)は約1000より小さく;Ar1は4価の芳香族基、4価の複素環式基、またはこれらの混在するものからなる群から選択され;Ar2は珪素を含んでよい2価の芳香族基、2価の複素環式基、2価の脂環式基、2価の脂肪族基、またはこれらの混在するものからなる群から選択され;Ar3は2価の芳香族基、2価の脂肪族基、2価の複素環式基、またはこれらの混在するものからなる群から選択され;Ar4はAr1(OH)2またはAr2からなる群から選択され;Gはポリマーの末端NH基に直接結合したカルボニル基、カルボニルオキシ基またはスルホニル基を有する基からなる群から選択される有機基である];
(b)照射に際して酸を放出する1つまたはそれ以上の光活性化合物(PAG);
(c)少なくとも2つの〜N−(CH2OR)n単位を含む潜在的な架橋剤(式中、nは1または2であり、またRは線状または分枝状のC1〜C8のアルキル基であり、ただしグリコールウリルが潜在的な架橋剤として使用されるとき、ポリベンズオキサゾール前駆体ポリマーのG基は環状の酸無水物の反応から生成される);および
(d)NMPではない少なくとも1つの溶媒
を含む耐熱性のネガ型感光性組成物。
【化1】
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フォトレジスト組成物のための溶解速度調整剤
多環式オレフィンモノマー、及び所望によりアリル的又はオレフィン的モノマーのオリゴマー、並びに多環式オレフィンモノマーを、Ni又はPdを含有する触媒の存在中で、或いはアリル的モノマーの場合、フリーラジカル開始剤の存在中で反応させることを含むこのようなオリゴマーを製造する方法。オリゴマーは、フォトレジスト組成物中に溶解速度調整剤として含めることができる。フォトレジスト組成物は、更にポリマーの結合樹脂、光酸発生剤、及び溶媒を含むことができる。 (もっと読む)
金属パターンの形成方法
【課題】本発明は、サブトラクティブ法に於いて、ドライフィルムレジストを用いることで微細な金属パターンを形成できる金属パターンの形成方法を提供するものである。
【解決手段】基板上にドライフィルムレジストを貼り付け(a)てから、エッチング(d)を行うまでの間に、ドライフィルムレジストの薄膜化処理(T1〜T4)を行う金属パターンの形成方法。
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印刷版材料及びプロセスレス印刷版
【課題】耐傷性、特に耐スクラッチ性、耐ゴム擦り性を有し、且つ、耐刷性に優れた印刷版材料及びプロセスレス印刷版を提供する。
【解決手段】基材上の一方の面に、少なくとも1層の親水性層を有する印刷版材料において、該基材がプラスチックフィルムであり、平坦指数が、0.01〜0.075であることを特徴とする印刷版材料。
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耐熱性樹脂前駆体組成物の製造方法および耐熱性樹脂前駆体組成物用モノマーの製造方法
【課題】塩素イオンの含有量の少ない耐熱性樹脂前駆体組成物ならびに感光性耐熱性樹脂前駆体組成物の合成方法を提供すること。
【解決手段】一般式(1)で表される酸無水物を合成する際に、その原料であるトリカルボン酸一無水一塩化物とヒドロキシジアミノ化合物を、ナトリウム,カリウム,亜鉛,リチウム,鉄,ニッケル,クロム,銅,マンガン,カドニウム,アンチモンの総量が1重量%以下である金属酸化物および/または金属炭酸塩を用いて脱塩酸し、その後、該酸無水物と一般式(2)で表されるジアミン化合物を反応させることを特徴とする耐熱性樹脂前駆体組成物の製造方法。
(式中、R7,R9は炭素数2から20の3価の有機基、R8は炭素数2から20の3価の有機基、qは1から4までの整数である。)
(式中、R10は炭素数2から30の2価の有機基である。)
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樹脂組成物及びそれよりなる絶縁膜、半導体装置、及び有機電界発光素子
【課題】感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】一般式(1)で表される構造単位および/または一般式(1)で表される構造単位の前駆体よりなる化合物を成分(a)として含み、かつ、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる少なくとも1つの官能基を有することを特徴とする樹脂組成物。
【化1】
(一般式(1)において、nは1〜2の整数である。R1〜R4はH、F、CF3、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基のいずれかを示し、同じでも異なっていてもよい。R5、R6はH、または炭素数1〜10のアルキル基のいずれか一つを示し、同じでも異なっていてもよい。Raは置換基を示す。)
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画像記録材料
【課題】 赤外線を放射する固体レーザまたは半導体レーザを用いて記録することにより、コンピューター等のデジタルデータから直接製版可能であり、さらに特定の露光波長に対して高感度でありながら、白灯下でも取り扱うことのできるネガ型の画像記録材料を提供する。
【解決手段】 支持体上に、(A)ラジカル発生剤と、(B)ラジカル重合性化合物と、(C)分子内に2つ以上の環式構造を有するキノン類とを含有する画像記録層を設けてなることを特徴とする。
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