【課題】ＭＣＰのイオンの入射方向上流側に配置されたグリッド電極で発生する二次電子に起因する検出誤差を防止することのできる荷電粒子検出器及び飛行時間型質量分析装置を提供すること。
【解決手段】入射されるイオンをＭＣＰ１１，１２を通過させて検出する荷電粒子検出器Ｘは，ＭＣＰ１１へのイオンの入射面１１ａに対向して配置されると共に該入射面１１ａの電位Ｖｉｎより低い電位Ｖｇが与えられたグリッド電極２を備えている。そして，グリッド電極２は，該グリッド電極２にイオンが照射されたときに発生する二次電子をＭＣＰ１１の入射面１１ａに対して離間する方向に移動させる機能を有する。例えば，グリッド電極２は，イオンの入射方向の上流側から下流側のＭＣＰ１１に向けて先細となる三角形の断面形状を有する複数のグリッド線２１により形成されている。 （もっと読む）

【課題】気体電界イオン源を用いて試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを有する汎用性、長器信頼性に優れたイオン顕微鏡を実現する。
【解決手段】イオン源の導電性電極先端１８６の材料と形状を最適化して表面に三量体の原子層を形成し、極低温状体で動作させることにより気体ヘリウムとのイオン化効率を向上する。試料からオージェ電子、二次イオン、二次中性粒子、一次中性粒子、散乱イオン及び光子等の追加の粒子を検出することにより試料についての情報を決定するように構成する。 （もっと読む）

【課題】イオントラップからイオンを出射する際のターンアラウンドタイムを短縮することにより質量分解能を改善する。
【解決手段】イオン出射前のクーリング行程の最終段階で、捕捉電場を形成するためにリング電極に印加する矩形波電圧の周波数を数周期の期間だけ上昇させる。これにより、イオントラップ内部の閉じ込めポテンシャルが浅くなり、捕捉されているイオンの速度が下がる。そのため、矩形波電圧の印加が停止され加速電場が形成された際のイオンのターンアラウンドタイムが短くなり、同一質量電荷比のイオンの飛行時間のばらつきが小さくなる。閉じ込めポテンシャルが浅くなることでイオンは空間的に拡がるが、その拡がりがＴＯＦＭＳにおいて補正可能なエネルギ幅内に収まるように周波数を上昇させる時間を定めておくことにより、質量分解能を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】多重周回飛行時間型質量分析装置において、極力少ない測定回数で周回軌道上でのイオンの追越しの問題を解消した広質量範囲で高精度のマススペクトルを作成する。
【解決手段】微小検出器が２次元的に配置された検出器８を用い、周回軌道から離脱したイオンが検出器８へ向かう射出軌道上に偏向電極７１〜７４を設ける。偏向電極７１〜７４にはゲート電極が開放される時点から時間的に変化する電圧を印加し、時間的に電場の強さを変化させる。周回軌道上での周回遅れのためにm/zが異なる２種のイオンが同時に検出器８に到達した場合、該２種のイオンが偏向電場を通過する時刻は異なるから受ける電場の強さは相違する。そのため、検出面上でのイオン到達位置には相違が生じ、到達位置の変位量から各イオンの偏向電場通過時刻が求まる。これより、各イオンの飛行速度が求まり、おおよその周回数が推定できるため、飛行時間からm/zを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】ＨＩＰＩＭＳのスパッタ源のプラズマに含まれるイオンの生成分布を安定して検出する。
【解決手段】ＨＩＰＩＭＳのスパッタ源で発生したプラズマに含まれるイオンをＴＯＦ質量分析にかけて、イオンの生成分布を検出する。その際、プラズマからの光を検出し、ＴＯＦ分析装置におけるイオンの飛行時間の開始時刻をプラズマからの光に基づき定める。ＨＩＰＩＭＳのスパッタ源に対向するＴＯＦ質量分析装置の開口部はスパッタ源のターゲットより低い電位とする。 （もっと読む）

【課題】イオンの利用効率を高めたタンデム型飛行時間型質量分析計を提供する。
【解決手段】イオン蓄積手段２より吐き出されたイオン群をパルス的に加速する垂直加速部および加速されたイオンを分離する第1飛行時間型イオン光学系３と、所定のプリカーサイオンのみを選択的に通過させるイオンゲート４とイオンゲートを開閉する制御手段、プリカーサイオンの開裂手段および生成したプロダクトイオンを質量分析する第２飛行時間型イオン光学系６を備え、イオン蓄積手段より吐き出されたプリカーサイオンが第1飛行時間イオン光学系への通過率が最良となる位置に到達する到達時間に合わせて、プリカーサイオンをパルス的に加速する様にした。 （もっと読む）

【課題】装置条件を変更した場合でも、常に最適なイオンゲートの時間設定が可能なタンデム型飛行時間型質量分析法および装置を提供する。
【解決手段】所望のプリカーサイオンをイオンゲートで選択し、開裂させてプロダクトイオンを生成させて測定する際に、予め質量電荷比の異なる複数の基準物質を用いて、該基準物質の質量電荷比に対する遅延引き出し条件、およびイオンゲートのオープン時間の最適値を測定して記憶させたテーブルを用意しておき、所望のプリカーサイオンの質量電荷比について質量分解能が最適となるような遅延引き出し条件およびイオンゲートのオープン時間を前記テーブルの記憶値に基づいて求め、求めた前記遅延引き出し条件と前記イオンゲートのオープン時間の最適値をタンデム型飛行時間型質量分析装置に設定するようにした。 （もっと読む）

【課題】従来のＦＡＩＭ装置に比べて、選択イオンの流れをより高速、かつ高精度で制御して、サンプルのスペクトルを作成するＦＡＩＭフィルタおよび検出システムを提供する。
【解決手段】検出システム用の超小型非対称電界イオン移動度フィルタ（２４）であって、サンプル入口（１６）および出口の間において基板間で流路を画定する、間隔を空けた1対の基板と、流路内に配置され、各電極が各基板にそれぞれ結合された間隔を空けた１対のフィルタ電極（２０，２２）を有するイオン・フィルタと、イオン・フィルタ電極の両端にバイアス電圧および非対称の周期的電圧を印加して、フィルタを通過するイオン流路を制御する電子コントローラ（３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】
高コストなインバー材のフライトチューブを使用することなく、低コストかつ簡単な構成で温度ドリフトを阻止し安定した質量スペクトルを得ることのでき、片持ちで支持しても自重によるたわみや外部からの振動の影響を受け難いフライトチューブを用いた飛行時間型質量分析装置を提供する。
【解決手段】
フライトチューブは、内外表面に無電解ニッケルめっき層１７ｂが導電性処理として施されたＣＦＲＰパイプ１７ａを用い、フライトチューブ保持部材１８との接着には導電接着剤２１を使用する。フライトチューブにＣＦＲＰパイプ１７ａを用いると、従来の金属製フライトチューブと異なり、温度調整制御システムがなくても、フライトチューブが変形しない。また、ＣＦＲＰは比重がステンレスの約１/５のため、フライトチューブを片持ち支持してもたわみ難い。そして、ＣＦＲＰは耐振性もあるため、振動の影響も受け難い。 （もっと読む）

【課題】連続的、リアル・タイム、そして現場分析に備えることができる、ロバストな質量分光分析システムを提供し、極少量のＶＯＣを含む、ＶＯＣの存在および識別を信頼性高く判定する。
【解決手段】マイクロ波または高周波ＲＦエネルギ源が、試薬蒸気の粒子をイオン化して、試薬イオンを形成する。試薬イオンは、ドリフト・チェンバのようなチェンバに流入し、流体サンプルと相互作用する。電界が試薬イオンを誘導し、流体サンプルとの相互作用を促進して生成イオンを形成する。次いで、試薬イオンおよび生成イオンは、質量分光計モジュールによる検出のために、電界の影響下においてチェンバから流出する。本システムは、システム・パラメータの値を設定する種々の制御モジュールと、分光分析中におけるイオン種の質量およびピーク強度値の検出ならびにシステム内部における異常の検出のための解析モジュールとを含む。 （もっと読む）