【課題】加工精度を改善し、かつ厚い配線を得るための半導体装置の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】絶縁性基板上に形成された導電性膜上に配線形成領域を覆う第１のフォトレジストパターンを形成する工程と、前記第１のフォトレジストパターンをマスクとする異方性エッチングにより前記導電性膜の上部を除去することで第１溝を形成する工程と、前記第１のフォトレジストパターンを除去した後、前記第１溝の底部の少なくとも一部が露出した開口を有する第２のフォトレジストパターンを形成する工程と、前記第２のフォトレジストパターンをマスクとする異方性エッチングにより前記第１溝の底部に露出する前記導電性膜の下部を少なくとも除去することで第２溝を形成する工程を備えることで、前記第１溝と第２溝に由来する配線分離溝と、前記配線分離溝により分離された配線とを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】得られる電極の適切な電気的性能と基板との密着性を確保する。
【解決手段】導電性組成物は、銀粉末と、Ｂｉ₂Ｏ₃，Ｂ₂Ｏ₃，ＺｎＯ及びアルカリ土類金属酸化物を含む無鉛ガラス粉末と、有機物からなるビヒクルとを含み、窒化ケイ素層１１を貫通してｎ型半導体層１２と導通する電極１３を形成する導電性組成物である。アルカリ土類金属酸化物の組成物中の比率が１０モル％以上５０モル％以下である。ガラス粉末の塩基度が０．３以上０．８以下であって、ガラスの転移点が３００℃〜４５０℃であることが好ましい。Ｂｉ₂Ｏ₃の組成物中の比率が１０モル％以上６５モル％以下であり、Ｂ₂Ｏ₃の組成物中の比率が２０モル％以上５０モル％以下であり、ＺｎＯの組成物中の比率が０．１モル％以上５０モル％以下であることが更に好ましい。アルカリ土類金属酸化物が、ＭｇＯ、ＢａＯ、ＣａＯ、ＳｒＯからなる群より選ばれた１又は２以上を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチング処理工程を含まず、塩素系ガスの専用処理設備を必要としない、安価な装置構成で処理可能な、クロム膜のパターニング方法を提供する。
【解決手段】基材１０上にクロム膜１１’を形成するクロム膜形成工程と、クロム膜１１’の上に、後のパターニング工程における酸素プラズマ条件で除去されないマスク材料膜１２’を形成するマスク材料膜形成工程と、マスク材料１２’膜をパターニングして所定のマスクパターン１２を形成するマスクパターン形成工程と、マスクパターン１２が設けられていない部分のクロム膜を、載置されるステージを加熱して酸素プラズマ条件の温度範囲とし且つ塩素原子を含まない酸素プラズマに晒して酸化クロムとして昇華除去するパターニング工程と、を有するように構成して、所定のクロムパターン１１を得る。 （もっと読む）

【課題】シェアードコンタクトホールの開口不良を抑制できる半導体装置およびフォトマスクを提供する。
【解決手段】シェアードコンタクトホールＳＣ１、ＳＣ２は、ゲート電極層ＧＥ１、ＧＥ２とドレイン領域ＰＩＲとの双方に達している。平面視において、ゲート電極層ＧＥ１、ＧＥ２の一方側壁Ｅ２が、一方側壁Ｅ１の仮想延長線Ｅ１ａよりも他方側壁Ｅ４側にずれて位置している。平面視において、ゲート電極層ＧＥ１、ＧＥ２のシェアードコンタクトホールＳＣ１、ＳＣ２が達する部分の線幅Ｄ１の中心線（Ｃ２−Ｃ２）が、ゲート電極層ＧＥ１、ＧＥ２のチャネル形成領域ＣＨＮ１、ＣＨＮ２上に位置する部分の線幅Ｄ２の中心線（Ｃ１−Ｃ１）に対してずれて位置している。 （もっと読む）

【課題】剥離を十分に抑制することができ、さらには低抵抗でもあって特性に優れた半導体デバイス用裏面電極、その半導体デバイス用裏面電極を含む半導体デバイスおよびその半導体デバイス用裏面電極の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体上のニッケルシリコン合金層またはニッケル層とシリコン層との積層体を加熱して形成されたニッケルシリサイド層と、ニッケルシリサイド層上に設置されたチタン層と、チタン層上に設置された金属層とを含み、金属層は、ニッケル層、白金層、銀層、金層、ニッケル層と銀層との積層体、およびニッケル層と金層との積層体からなる群から選択される少なくとも１種である、半導体デバイス用裏面電極、その半導体デバイス用裏面電極を含む半導体デバイスおよびその半導体デバイス用裏面電極の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ゲート絶縁膜上のゲート電極の仕事関数を増大させることができ、低い閾値電圧の半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１は、基板(シリコン基板２)と、シリコン基板２上に設けられたゲート絶縁膜４と、ゲート絶縁膜４上に設けられたゲート電極(Ｐｔ含有Ｎｉ_３Ｓｉ電極１９)を備え、Ｐｔ含有Ｎｉ_３Ｓｉ電極１９が、ゲート絶縁膜４とＰｔ含有Ｎｉ_３Ｓｉ電極１９との接する部分に、第一金属を含む第一金属シリサイド、および第二金属を含む第二金属シリサイドまたは第二金属を含み、第二金属を含む第二金属シリサイドが、第二金属を含む第二金属シリサイド中のシリコンに対する第二金属の組成比が１より大きい金属リッチシリサイドであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】幅が細く、かつ厚さが均一な断面形状を有するパターン形成方法、デバイスおよび電子機器を提供する。
【解決手段】本発明のパターン形成方法は、基板を所定の温度に加熱する第１の工程と、基板を所定の温度に保持しつつ、パターン形成材料を分散または溶解させた液体材料を基板上に滴下し、乾燥させる第２の工程と、液体材料を所定の温度の基板に滴下させたときの蒸発速度よりも蒸発速度を遅くさせる第３の工程と、液体材料が乾燥してなる乾燥体上に、液体材料を滴下する第４の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 所望の寸法のパターンを有する高信頼性の半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 下地膜１００上に第一の膜１０１及び第二の膜１０２を順に形成し、第二の膜１０２を加工して第二のパターン１０４を形成し、第二のパターン１０４をマスクに第一の膜１０１を加工して第一のパターン１０５を形成し、第二のパターン１０４を除去した後、下地膜上及び第一のパターン１０５上に第三の膜１０６を堆積し、第三の膜１０６を加工して第一のパターン１０５側壁に第三の側壁パターン１０７を形成し、第一のパターン１０５を除去した後、第三の側壁パターン１０７をマスクに下地膜を加工し、下地膜にパターン１０８を形成する半導体装置の製造方法において、下地膜１００に形成するパターン１０８の寸法が下地膜１００に形成するパターン１０８のスペース寸法よりも小さくなるように、下地膜にパターン１０８を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インバータ及びその動作方法並びにインバータを含む論理回路を提供する。
【解決手段】負荷トランジスタと駆動トランジスタとを含み、負荷トランジスタと駆動トランジスタとのうち、少なくとも一つは、ダブルゲート構造を有するインバータである。該ダブルゲート構造によって、負荷トランジスタまたは前記駆動トランジスタのスレショルド電圧が調節され、従って、該インバータは、Ｅ／Ｄ（enhancement／depletion）モードでありうる。 （もっと読む）

【課題】配線とバリア膜との密着性の低下、エレクトロマイグレーション耐性の低下、及び工程数の増加を抑制しつつ、めっき膜の膜厚がウェハ中心部とウェハ周辺部で異なることを抑制できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁膜１００に形成された溝１０２の側面及び底面に、添加元素を含む金属バリア膜１２０を形成する。次いで、金属バリア膜１２０上にシード膜１４２を形成し、さらにシード膜１４２をシードとしてめっき層（Ｃｕ膜１４４）を形成することにより、溝１０２内に金属膜１４０を埋め込む。次いで、金属バリア膜１２０及び金属膜１４０を熱処理することにより、金属バリア膜１２０と金属膜１４０の間に、金属バリア膜１２０を構成する金属、添加元素、及び金属膜１４０を構成する金属を含む合金層を形成し、かつ添加元素を金属膜１４０中に拡散させる工程とを備える。 （もっと読む）