プラズマプロセスシステムは、プラズマ特性のその場測定を行う診断装置を備える。この診断装置は、通常、プラズマプロセスチャンバ内に配置された非侵襲性センサアレイと、このセンサを刺激する電気回路と、プラズマプロセスをモニタまたは制御するために、センサの測定値を記録して通信する手段とを備える。一実施形態では、このセンサは、入射荷電粒子電流と電子温度とを、プロセスシステム内のプラズマ境界近傍で測定する動的にパルス化したデュアルフローティング・ラングミュアプローブである。このプラズマ測定値を用いて、プロセス用プラズマの状態をモニタしてもよいし、プラズマプロセスを制御するのに用いるために、このプラズマ測定値をプロセスシステムコントローラに提供してもよい。 （もっと読む）

本発明は、基材上における酸化チタンのコーティング膜の付着方法において、光化学的性質を備えた該コーティング膜が、特に該金属酸化物の少なくとも１種の有機金属前駆体及び／又は金属ハロゲン化物を含むガス混合物から、気相において化学的に蒸着され、しかもこの蒸着がプラズマ源により援助されることを特徴とする方法に関する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、陰電圧パルスによるプラズマイオン注入によって立体の形状を有する重合体の表面の帯電防止及び伝導性などの向上のための連続表面処理装置及び方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は陰電圧パルスによるプラズマイオン注入によって立体の形状を有する重合体の表面の帯電防止及び伝導性などの向上のための連続表面処理装置及び方法に関し、プラズマを発生させてイオン注入するために高周波電力供給装置とマッチングボックス及びアンテナを含む高周波供給部と、プラズマを構成するためのイオン化される工程ガスを供給するガス導入装置と、これに連結されるガス供給源と、真空ポンプなどが具備される処理室を含む表面処理装置において、上記処理室の前後に互いに隣接して取り付けられる、脱気可能な引入室と脱気可能な引出室と、上記引入室、処理室及び引出室を順次に経由するように取り付けられる移送装置と、上記移送装置を駆動する移送手段を含んでなり、上記引入室と、上記引出室と、上記引入室と処理室の間の隔壁及び上記処理室と引出室の間の隔壁に上記移送装置が通過することができる自動開閉が可能なドアを含んでなることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明のプラズマ発生電極１は、互いに対向する二以上の電極２と、電極２のそれぞれを所定間隔に隔てて保持する保持部材３とを備えてなり、電極２相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極１であって、互いに対向する電極２のうちの少なくとも一方が、誘電体となる板状のセラミック体６と、セラミック体６の内部に配設された導電膜７とを有するとともに、保持部材３が、対向する電極２のそれぞれの反対側の端部５（固定端部５ａ）を片持ち梁の状態で固定して、全体として電極２のそれぞれを、互い違いに向きの異なった片持ち梁の状態で、所定間隔に隔てて保持している。このため、熱応力が緩和され、温度変化による電極の歪みや破損を有効に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを生成するために使用される装置の電力を大きく増加させる必要なくよりよい経済的条件の下でおよそ１３．５ｎｍのスペクトル範囲でＥＵＶリソグラフィーへの使用を可能にする一方、装置を使用者の特定のニーズに合わせる高い柔軟性を提供する。
【解決手段】極紫外線（ＥＵＶ）又は軟Ｘ線放射を発生させる装置が、プラズマを生成するために１０^６Ｗ／ｃｍ^２を超える強度でターゲットにフォーカスされたレーザ放射を生成するためにレーザ源と、レーザ源で生成されたプラズマの経路の周りに位置した電極とを有する。電極は、レーザ生成プラズマ膨張時間の時定数より小さい固有の時定数を有する急放電をプラズマ中で生成するための手段と結合している。
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本発明のプラズマ発生電極１は、複数の単位電極２が所定間隔を隔てて階層的に積層され、単位電極２が、導電膜４を欠落した部分を有する欠落単位電極２ｂと、欠落した部分を有しない通常単位電極２ａとから構成されてなり、各単位電極２間に形成される空間Ｖが、導電膜４間の距離が単位電極２相互間の距離となるように形成された通常空間Ｖａと、通常単位電極２ａ相互間に、導電膜４間の距離が通常空間Ｖａにおける導電膜４間の距離よりも長くなるように形成された欠落空間Ｖｂとから構成されている。本発明のプラズマ発生電極１は、被処理流体を一度流すだけで、含有される複数の所定成分を、それぞれの反応に適した複数の異なるプラズマにより、効率的に処理することができる。 （もっと読む）

本発明によれば、基板（４）のコーティングした面に向けられたプラズマの助けによって、コーティング、特に金属含有コーティングを備える基板（４）の一部の範囲、特に周辺ゾーン（１１）で層を除去する。プラズマヘッド（１０）を基板（４）に対してしかるべく位置合わせすること、及び／または対応する必要な数のプラズマヘッド（１０）を動作させて、１列の互いに隣接して配置したいくつかのプラズマヘッド（１０）または修正可能な断面を有する１つのプラズマヘッドから、望ましい層除去幅でプラズマを基板に向けることによって、層を除去するゾーン（１１）の幅を調整すればよい。層の厚さ全体にわたるコーティングを部分的にだけ除去することも可能である。
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本発明は、ガス混合物が中を循環し、その混合物が排出領域に輸送されることを可能とする中空金属電極を備える非大気性の制御されたガス混合物の存在下で誘電バリア放電により物品の帯域状表面処理を行うための装置に関し、それにより前記電極は、回動される要素と放電が起こらないように問題の要素と反対の物品の部分との間に十分な距離を確保するために中心軸の周りをそれぞれ回動し得る個別の要素に分割される。中心の回動軸は電極の内側のガス混合物の循環のためのチャンネルとして用いられ、ガス混合物が放電領域に排出されることを可能とするオリフィスを備える。電極の要素の１つを回動させることは、連なる排出オリフィスを遮蔽し、ガス混合物は、回動されない要素の排出オリフィスを介してのみ排出され得る。
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【課題】 熱速度まで加速された高速プラズマ流、いわゆる太陽風を生成する装置を提供する。
【解決手段】 ガス溜め１からのガス流７を、ラバール管３のネック断面積９で超音速に加速する。加速された超音速ガス流１０をプラズマ生成予備加速システム４でプラズマ化し、熱速度又は熱速度近傍の流速を有する初期プラズマ流を生成する。次いで、前記初期プラズマ流をアークジェット放電装置内に導入し、その粘性力を通じて、太陽風と同様に超高速に加速する。 （もっと読む）

【課題】 被処理物の特定の部分にのみプラズマ処理を行いやすく、しかも被処理物を連続的に処理することができて処理時間を短くすることができるプラズマ処理システムを提供する。
【解決手段】 外側電極１を備えた筒状の反応管２、及び反応管２の内部に配置される内側電極３を具備して構成される。外側電極１と内側電極３の少なくとも一方に冷却手段を設けて構成される。反応管２に不活性ガスまたは不活性ガスと反応ガスの混合気体を導入すると共に外側電極１と内側電極３の間に交流電界を印加することにより大気圧下で反応管２の内部にグロー放電を発生させ、反応管２からプラズマジェット６５を吹き出すプラズマ処理装置。プラズマジェット６５が吹き出される位置に被処理物７を搬送する搬送装置２３とを備える。大気圧下で周波数の高い交流でプラズマを生成しても、外側電極１あるいは内側電極３の温度上昇を抑えることができる。 （もっと読む）