説明

アレイ型光学部品およびその製造方法、ならびにアレイ型半導体レーザ用光学系

【課題】比較的簡単な構成で、アレイ型半導体レーザの出力光を等方的な集光性の光ビームに変換できるアレイ型光学部品およびアレイ型半導体レーザ用光学系を提供する。
【解決手段】アレイ型光学部品3は、アレイ型半導体レーザ1からの出力光が入射する光入射面3aと、光入射面3aで屈折した光を反射する光反射面3bと、光反射面3bで反射した光を屈折させる光出射面3cとを有する三角柱状の単位透過光学素子が、光反射面3b同士が略平行となるように複数積み重ねられて構成され、アレイ型半導体レーザ1の発光点の配列方向をX方向とし、出力光の進行方向をZ方向とし、X方向およびZ方向に垂直な方向をY方向として、各単位透過光学素子の光反射面3bがZ方向に対して平行、かつX−Z面に対して略45°で交差するように配置される。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アレイ型半導体レーザからの出力光を、光ファイバ等の光学素子と結合させるためのアレイ型光学部品、これを用いたアレイ型半導体レーザ用光学系、およびアレイ型光学部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
小型で高い出力が得られるレーザ光源として、アレイ型半導体レーザの応用が拡大している。アレイ型半導体レーザは、十数個〜数十個の複数の発光点を有し、それぞれの発光点から光が出力されるように構成されている。これらのアレイ状発光点からの複数の出力光を収束することによって、高出力のレーザ光源として利用することができる。例えぱ、アレイ型半導体レーザの出力光を光ファイバに結合することによって、より自由度が高く多様な応用が可能となる。
【0003】
一般に、アレイ型半導体レーザの各発光点の出力ビームは、発光点の配列方向に対して垂直な方向には集光性が高いが、発光点の配列方向と平行な方向には集光性が低いといった特性を有する。従って、集光性の低い方向に多数のビームが整列するため、アレイ型半導体レーザ全体として発光点の配列方向と平行な方向の集光性が極端に低くなり、円形断面の光ファイバとの結合は困難である。
【0004】
アレイ型半導体レーザの結合光学系として、例えば、下記の非特許文献1の図8には、ステップミラーが記載されている。これは下記の特許文献1に開示されたものと同一である。ステップミラーは、洗濯板状に切り出した構造を持つミラーを2枚重ね合わせ、斜めに傾斜したステップ面を90°ねじって向かい合わせたものである。向かい合ったステップ面が反射面となっており、アレイ型半導体レーザの各発光点からの各々の出射ビームを第1、第2のステップミラーでの合計2回の反射によって90°回転させる。これによって集光性の高い方向に沿って多数個のビームが並ぶように各発光点のビームを再配列し、アレイ型半導体レーザの出力光を円形の光ファイバへの結合に適した等方的な集光性のビームに変換するものである。
【0005】
しかしながら、こうしたステップミラーの組合せは、形状が複雑で、製作も困難であり、結合光学系が高価となる問題がある。
【0006】
また、実際には、ステップミラーとは別に、発光点の配列方向に垂直な方向と平行な方向で異なるビームの発散角を平行に揃えてから集光するためのコリメートレンズが用いられており、平行な方向に関しては、各発光点間のビームが発散角によって混合する前に各発光点からのビームをコリメートする必要がある。従来のステップミラー方式では、ビーム再配列に要する伝搬距離が長く、ステップミラーの後では各発光点間のビームが混合してしまうため、ステップミラーへの入射前に複雑な形状のマイクロレンズアレイを挿入する必要がある。その結果、全体の光学系がさらに高価となる問題がある。
【0007】
非特許文献1の図6には、プリズムアレイを用いた構成も報告されている。非特許文献1の図7には、アレイ型半導体レーザから入射したビームがプリズム内の反射によって変換されて出射していく様子が模式的に示されている。プリズム内面の3回の全反射によって、アレイ型半導体レーザの各発光点から出射されるビームを90°回転して平行成分と垂直成分を入れ換えることが可能であり、前述したステップミラーの構成と同様に、アレイ型半導体レーザの出力光を円形の光ファイバへの結合に適した等方的な集光性のビームに変換することができる。
【0008】
プリズムアレイを用いた方式では、各プリズム素子の形状は斜角柱形状であり、入出射面と3つの反射面を合わせて5面が光学面であることから、個々のプリズム素子を光学仕上げする必要があり、結合光学系が高価となる問題がある。
【0009】
また、プリズムアレイを用いた方式においても、ビーム再配列に要する伝搬距離が比較的長く、マイクロレンズアレイを挿入する必要があり、全体の光学系がさらに高価となる問題がある。
【0010】
【特許文献1】特表平10−510933号公報
【非特許文献1】山口哲著、「半導体レーザー光の伝送技術」レーザー研究、第27巻3号(1999年3月)、161〜166頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0011】
上述したように、従来のアレイ型半導体レーザの結合光学系は、アレイ型半導体レーザの各発光点のビームを再配列して円形光ファイバへの結合に適したビームに変換するための光学部品として、製造が難しく、高価な部品が必要であるという問題がある。
【0012】
さらに、ビーム再配列のために比較的長い伝搬距離を要するために、マイクロレンズアレイを併用する必要があり、全体の光学系がさらに複雑で高価となる問題がある。
【0013】
本発明の目的は、比較的簡単な構成で、アレイ型半導体レーザの出力光を等方的な集光性の光ビームに変換できるアレイ型光学部品およびアレイ型半導体レーザ用光学系を提供することである。
【0014】
また本発明の目的は、こうしたアレイ型光学部品を安価かつ大量に生産が可能なアレイ型光学部品の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0015】
本発明に係るアレイ型光学部品は、光入射面と、該光入射面で屈折した光を反射する光反射面と、該光反射面で反射した光を屈折させる光出射面とを有する三角柱状の単位透過光学素子が、光反射面同士が略平行となるように複数積み重ねられて構成されたことを特徴とする。
【0016】
また本発明に係るアレイ型半導体レーザ用光学系は、複数の発光点を有するアレイ型半導体レーザからの出力光を集光するための光学系であって、
出力光が入射する光入射面と、該光入射面で屈折した光を反射する光反射面と、該光反射面で反射した光を屈折させる光出射面とを有する三角柱状の単位透過光学素子が、光反射面同士が略平行となるように複数積み重ねられて構成されたアレイ型光学部品を備え、
アレイ型半導体レーザの発光点の配列方向をX方向とし、出力光の進行方向をZ方向とし、X方向およびZ方向に垂直な方向をY方向として、各単位透過光学素子の光反射面がZ方向に対して平行、かつX−Z面に対して略45°で交差するように、前記アレイ型光学部品が配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0017】
本発明によれば、比較的単純な三角柱形状の素子を積み重ねた光学部品を用いて、アレイ型半導体レーザの出力光を等方的な集光性のビームに変換することが可能になる。その結果、円形の光ファイバへの結合光学系として、従来知られているステップミラーやプリズムアレイ方式と比較して、大量生産に適した低価格のアレイ型半導体レーザ用光学系を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0018】
実施の形態1.
図1は、本発明の第1実施形態を示す斜視図である。アレイ型半導体レーザ用光学系は、アレイ型半導体レーザ1からの出力光を光ファイバ6に結合させる機能を有し、光進行方向に沿って、コリメートレンズ2と、アレイ型光学部品3と、コリメートレンズ4と、集光レンズ5などで構成される。
【0019】
アレイ型半導体レーザ1は、十数個〜数十個の複数の発光点を有し、各発光点から光が出力される。ここでは、理解容易のため、アレイ型半導体レーザ1の発光点の配列方向をX方向とし、出力光の進行方向をZ方向とし、X方向およびZ方向に垂直な方向をY方向としている。
【0020】
コリメートレンズ2は、アレイ型半導体レーザ1からの出力光をY方向に集光する機能を有し、例えば、X方向に平行な母線を有するシリンドリカルレンズで構成される。
【0021】
コリメートレンズ4は、アレイ型光学部品3を通過した光をY方向に集光する機能を有し、例えば、X方向に平行な母線を有するシリンドリカルレンズで構成される。
【0022】
集光レンズ5は、コリメートレンズ4を通過した光をX方向およびY方向に集光する機能を有し、例えば、回転対称系のレンズで構成される。
【0023】
アレイ型光学部品3は、光入射面3aと、光入射面3aで屈折した光を反射する光反射面3bと、光反射面3bで反射した光を屈折させる光出射面3cとを有する三角柱状の単位透過光学素子が、光反射面3b同士が略平行となるように複数積み重ねられて構成される。そして、アレイ型光学部品3は、各単位透過光学素子の光反射面3bがZ方向に対して平行、かつX−Z面に対して略45°で交差するように、コリメートレンズ2とコリメートレンズ4の間に配置されている。
【0024】
図2は、アレイ型光学部品3の機能を示す説明図であり、図2(a)は光進行方向に垂直なX−Y面を示し、図2(b)は単位透過光学素子の断面図を示す。図2(a)に示すように、水平なスリット状の光束(a−b)がZ方向に進行して、光入射面3aに入射すると、光入射面3aで屈折して、光反射面3bに向けて進行する。続いて、光束は光反射面3bで反射されて、光出射面3cに向けて進行し、光出射面3cで屈折すると、垂直なスリット状の光束(A−B)に変換される。
【0025】
従って、1つの単位透過光学素子は、X方向に細長い光束がZ方向に沿って光入射面3aに入射すると、光束をZ軸回りに90°回転して、光出射面3cからY方向に細長い光束をZ方向に沿って出射する機能、即ち、90°回転プリズムとして機能することが判る。
【0026】
再び、図1に戻って、アレイ型半導体レーザ1の各発光点から出射したビームは、発光点の配列方向であるX方向には集光性が低く、Y方向には集光性が高いことから、コリメートレンズ2によりY方向にのみ集光され、Y方向に関して略平行なビームに変換される。X方向については、アレイ型半導体レーザ1での放射角がそのまま維持されるため、隣接した発光点からのビームが互いに混合する前に90°回転が完了するように、アレイ型光学部品3が位置決めされる。
【0027】
コリメートレンズ2を通過した各ビームが、アレイ型光学部品3の各光入射面3aに入射すると、上述のようにZ軸回りに90°回転して、光出射面3cから出射する。これにより各ビームのX方向発散角とY方向発散角が交換される。さらに、光出射面3cから出射した各ビームがコリメートレンズ4を通過すると、Y方向にのみ集光され、Y方向に関して略平行なビームに変換される。X方向については、コリメートレンズ2によって制御された発散角がそのまま維持される。
【0028】
こうして各発光点から出射したビームは、コリメートレンズ2,アレイ型光学部品3およびコリメートレンズ4を通過することによって、等方的な集光性のビームに変換され、直交2方向に関する発散角が制御される。さらに、コリメートレンズ2,4の倍率を調整することによって、X方向発散角とY方向発散角が等しい円形のビームを得ることができる。
【0029】
コリメートレンズ4を通過したビームは、集光レンズ5によってX方向およびY方向に集光され、光ファイバ6の開口数に適合した発散角およびビーム径に調整された後、光ファイバ6に入射する。
【0030】
以上のように、アレイ型光学部品3は、単純な形状である三角柱状の透過光学素子を多段に積み重ねて構成しているために、結合光学系を安価に構成できる。
【0031】
本発明に係るアレイ型光学部品3は、ビームの90°回転に要する伝搬距離が短くて済むため、アレイ型半導体レーザ1の隣接発光点からのビームが混合する前に90°回転を完了させることができる。このため、各発光点からのビームのX方向発散角は、単純な形状のコリメートレンズ4を用いて制御可能になるため、従来で必要であったマイクロレンズアレイが不要となり、安価な結合光学系を構成できる。
【0032】
なお、アレイ型光学部品3を構成する単位透過光学素子は、少なくとも光入射面3aと、光反射面3bと、光出射面3cとを含む略三角形の断面形状である場合を説明したが、ビームの不通過部分を切り落とした多角形形状でも同じ機能を有することは言うまでもない。
【0033】
アレイ型光学部品3の製造方法としては、切削および研磨による製作が容易であり、あるいはモールド成形のための金型製作が容易である。
【0034】
また、アレイ型光学部品3は、3つの光学面を持つ三角柱であるから、長尺の三角柱を製作し、いわば金太郎飴のように適当に分割して積み重ねることによって安価に製造することができる。
【0035】
また、アレイ型光学部品3は、光ファイバの延伸法と同様に、底面同士が略平行となるように、複数の三角形が積み重なった断面形状を有する相似形の素材(プリフォーム)を、断面垂直方向に沿って引き伸ばすことによって製作することも可能であり、これにより安価で大量に生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【0036】
【図1】本発明の第1実施形態を示す斜視図である。
【図2】アレイ型光学部品3の機能を示す説明図であり、図2(a)は光進行方向に垂直なX−Y面を示し、図2(b)は単位透過光学素子の断面図を示す。
【符号の説明】
【0037】
1 アレイ型半導体レーザ、 2 コリメートレンズ、 3 アレイ型光学部品、
3a 光入射面、 3b 光反射面、 3c 光出射面、 4 コリメートレンズ、
5 集光レンズ、 6 光ファイバ。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
光入射面と、該光入射面で屈折した光を反射する光反射面と、該光反射面で反射した光を屈折させる光出射面とを有する三角柱状の単位透過光学素子が、光反射面同士が略平行となるように複数積み重ねられて構成されたことを特徴とするアレイ型光学部品。
【請求項2】
複数の発光点を有するアレイ型半導体レーザからの出力光を集光するための光学系であって、
出力光が入射する光入射面と、該光入射面で屈折した光を反射する光反射面と、該光反射面で反射した光を屈折させる光出射面とを有する三角柱状の単位透過光学素子が、光反射面同士が略平行となるように複数積み重ねられて構成されたアレイ型光学部品を備え、
アレイ型半導体レーザの発光点の配列方向をX方向とし、出力光の進行方向をZ方向とし、X方向およびZ方向に垂直な方向をY方向として、各単位透過光学素子の光反射面がZ方向に対して平行、かつX−Z面に対して略45°で交差するように、前記アレイ型光学部品が配置されていることを特徴とするアレイ型半導体レーザ用光学系。
【請求項3】
アレイ型半導体レーザとアレイ型光学部品との間に設けられ、アレイ型半導体レーザからの出力光をY方向に集光するための第1集光レンズと、
アレイ型光学部品を通過した光をY方向に集光するための第2集光レンズと、
第2集光レンズを通過した光をX方向およびY方向に集光するための第3集光レンズとをさらに備えることを特徴とする請求項2記載のアレイ型半導体レーザ用光学系。
【請求項4】
第3集光レンズを通過した光を伝送するための光ファイバをさらに備えることを特徴とする請求項3記載のアレイ型半導体レーザ用光学系。
【請求項5】
底面同士が略平行となるように、複数の三角形が積み重なった断面形状を有する素材を、断面垂直方向に沿って引き伸ばすことによって製作することを特徴とするアレイ型光学部品の製造方法。

【図1】
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【図2】
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【公開番号】特開2009−294236(P2009−294236A)
【公開日】平成21年12月17日(2009.12.17)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−264033(P2006−264033)
【出願日】平成18年9月28日(2006.9.28)
【出願人】(000006013)三菱電機株式会社 (33,312)
【Fターム(参考)】