インクジェット塗布方法及びインクジェット塗布装置
【課題】 塗布対象にインク液滴を塗布する方式の自由度が高くなるインクジェット塗布方法を提供する。
【解決手段】 インクジェット塗布方法は、インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた噴射情報が記録されている噴射パターン情報を、相対移動ごとに、記憶する記憶ステップと、インクジェットヘッドが相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、上記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択する選択ステップＳ２５，Ｓ１６０と、選択工程で選択された噴射パターン情報に記録されている噴射情報に従って、インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、上記複数の位置の各々に対して、液滴を噴射させて塗布させるか又は液滴を噴射させない塗布ステップＳ９０とを有する。
【解決手段】 インクジェット塗布方法は、インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた噴射情報が記録されている噴射パターン情報を、相対移動ごとに、記憶する記憶ステップと、インクジェットヘッドが相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、上記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択する選択ステップＳ２５，Ｓ１６０と、選択工程で選択された噴射パターン情報に記録されている噴射情報に従って、インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、上記複数の位置の各々に対して、液滴を噴射させて塗布させるか又は液滴を噴射させない塗布ステップＳ９０とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクの液滴を噴射して塗布対象にインクを塗布するインクジェット塗布方法及びインクジェット塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、パーソナルコンピュータ等においては、その表示装置として例えば、液晶ディスプレイが用いられている。この液晶ディスプレイの製造工程においては、ノズルから微小な液滴を噴射するようになされたいわゆるインクジェット塗布装置を用いて、透明基板上の各ドットにR（赤）、G（緑）、B（青）の各色のインクを順次塗布することにより、これら各色のドットが順次配列されてなるカラーフィルタを作成するようになされている。
【０００３】
このような表示装置の製造工程においては、インク液滴を噴射するためのノズルを有するインクジェットヘッドを塗布対象である基板の塗布対象開始位置に対向する位置まで移動させた後、インクジェットヘッド及び基板の相対位置を移動させながら、所定の塗布対象位置でノズルからインクを順次噴射して塗布させるようにしている。
【０００４】
ここで、例えば、インクジェット塗布装置のメモリには、塗布対象上における各塗布対象位置に対して、それぞれ、インク液滴の噴射に関する情報である噴射情報（例えば、ノズルの圧電素子に印加する電圧波形など）が記憶されており、ノズルを制御するノズル制御部は、各塗布対象位置に対応する噴射情報に基づいて、インクジェットヘッドの各ノズルを用いて、上記各塗布対象位置に、インク液滴を噴射させて塗布させていた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来技術では、ノズル制御部は、各塗布対象位置に対応する噴射情報に基づいて、インク液滴の噴射を各ノズルに行わせ、各塗布対象位置に対して、順番にインク液滴を塗布させていくことしかできなかった。このため、例えば、塗布対象領域上の同じ塗布対象位置を、複数の異なるノズルでインク液滴を塗布させるような複雑な塗布方式を行うことはできず、塗布対象にインク液滴を塗布する方式の自由度が低くなってしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、塗布対象にインク液滴を塗布する方式の自由度が高くなるインクジェット塗布方法、インクジェット塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の問題点を解決するために、本発明は、液滴を噴射するためのノズルを複数有するインクジェットヘッドを塗布対象に対して相対移動させながら、前記塗布対象に各ノズルから前記液滴を噴射させて塗布するインクジェット塗布方法であって、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、前記相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた前記液滴の噴射に関する情報が記録されている噴射パターン情報を、前記相対移動ごとに、記憶する記憶工程と、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、前記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択する選択工程と、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を行う場合、前記選択工程で選択された噴射パターン情報に記録されている前記液滴の噴射に関する情報に従って、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、前記複数の位置の各々に対して、前記液滴を噴射させて塗布させるか又は前記液滴を噴射させない塗布工程とを有することを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明は、液滴を噴射するためのノズルを複数有するインクジェットヘッドを塗布対象に対して相対移動させながら、前記塗布対象に各ノズルから前記液滴を噴射させて塗布するインクジェット塗布装置であって、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、前記相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた前記液滴の噴射に関する情報が記録されている噴射パターン情報を、前記相対移動ごとに、記憶する記憶部（例えば、メモリ１０２）と、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、前記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択し、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を行う場合、選択された噴射パターン情報に記録されている前記液滴の噴射に関する情報に従って、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、前記複数の位置の各々に対して、前記液滴を噴射させて塗布させるか又は前記液滴を噴射させない制御部（例えば、インク噴射制御回路１００）を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
以上説明したように、本発明によれば、塗布対象にインク液滴を塗布する方式の自由度が高くなるインクジェット塗布方法、インクジェット塗布装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
（本発明の実施形態）
（インクジェット塗布装置の構成）
図１は、インクジェット塗布装置の全体構成を示す図である。図１に示すように、本実施形態のインクジェット塗布方法を実施するためのインクジェット塗布装置１は、ノズルからインクの液滴を噴射するインクジェットヘッド４２を用いて基板３０にインクを塗布するインク塗布ボックス３と、このインク塗布ボックス３にインクを補給するインク補給ボックス４とを備えている。インクジェットヘッド４２の各々の基板と対向する表面には、インク液滴を噴射するためのノズルが所定間隔離間して複数配列されている。
【００１２】
インク塗布ボックス３においては、架台２の上面にＹ軸方向ガイド板２０が固定されており、このＹ軸方向ガイド板２０の上面には、Ｙ軸方向に複数のガイド溝２１が延設されている。このガイド溝２１にはＹ軸方向移動テーブル２２の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＹ軸方向移動テーブル２２は、ガイド溝２１にガイドされてＹ軸方向に移動自在に支持されている。このＹ軸方向移動テーブル２２は、Ｙ方向移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝２１に沿ってＹ軸方向に移動される。
【００１３】
また、Ｙ軸方向移動テーブル２２の上面には、Ｘ軸方向に複数のガイド溝（図示せず）が延設されている。このガイド溝には、Ｘ軸方向移動テーブル２３の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＸ軸方向移動テーブル２３は、このガイド溝にガイドされてＸ軸方向に移動自在に支持されている。このＸ軸方向移動テーブル２３は、Ｘ方向移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝に沿ってＸ軸方向に移動される。
【００１４】
Ｘ軸方向移動テーブル２３の上面には、基板保持テーブル２６が固定されており、この基板保持テーブル２６の上面には把持機構２７が設けられており、インクの塗布対象である基板３０を把持して固定し得るようになされている。なお、基板３０の固定手段として、把持機構２７による把持に代えて、例えば、吸着機構を設けるようにしてもよい。
【００１５】
基板保持テーブル２６のＸ方向への移動量は、Ｘ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができ、基板保持テーブル２６のＹ方向への移動量は、Ｙ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。
【００１６】
また、インク塗布ボックス３において、架台２の上面には、インクジェットヘッドユニット４０がＸ軸方向、Ｙ軸方向及び上下方向であるＺ軸方向に移動自在に支持されている。即ち、インク塗布ボックス３において、架台２の上面には、Ｙ軸方向スライド板２０を挟む位置に１組のコラム３３ａ、３３ｂが立設されており、このコラム３３ａ、３３ｂの上部にはＸ方向ガイド板３５が横架されている。
【００１７】
Ｘ方向ガイド板３５の前面には、Ｘ方向にガイド溝３６が延設されており、このガイド溝３６には、複数のインクジェットヘッドユニット４０を垂設するベース板４１の突起部が係合されている。これによりベース板４１は、このガイド溝３６にガイドされてＸ軸方向に移動自在に支持されている。このベース板４１は、ヘッドユニット移動用モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝３６に沿ってＸ軸方向に移動される。
【００１８】
インク塗布ボックス３においては、インクジェット塗布装置１の動作を制御する制御部１０により、これらＹ方向移動テーブル２２のＹ方向への移動、Ｘ方向移動テーブル２３のＸ方向への移動及びベース板４１のＸ方向への移動をそれぞれ制御し、これにより基板保持テーブル２６に保持された基板３０とベース板４１に垂設されたインクジェットヘッドユニット４０との相対位置を種々に変化させることができる。
【００１９】
またベース板４１には、複数（例えば３つ）のインクジェットヘッドユニット４０が垂設されており、このインクジェットヘッドユニット４０において、その下端部に設けられたインクジェットヘッド４２により下方にインクを噴射するようになされている。これら複数のインクジェットヘッドユニット４０は、それぞれ同一の構成を有する。
【００２０】
図２は、インクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。図２に示すように、インクジェットヘッドユニット４０においては、ベース板４１に支持され、移動部４４ａをＺ方向（上下方向）に移動自在に支持するＺ方向移動機構４４と、このＺ方向移動機構４４の移動部４４ａに支持され、移動部４５ａをＹ方向に移動自在に支持するＹ方向移動機構４５と、このＹ方向移動機構４５の移動部４５ａに支持され、回転部４６ａをＺ方向周りの回転方向であるθ方向に回転自在に支持するθ方向回転機構４６と、このθ方向回転機構４６の回転部４６ａに垂下されるインクジェットヘッド４２とを有し、Ｚ方向移動機構４４によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＺ方向に調整し得ると共に、Ｙ方向移動機構４５によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＹ方向に調整し得る。また、θ方向回転機構４６によりインクジェットヘッド４２の向きを基板３０に対してθ方向に回転し得るようになされている。なお、Ｙ方向移動機構４５及びＺ方向移動機構４４には、それぞれヘッド調整用モータ（図示せず）が設けられ、これらによりインクジェットヘッド４２をモータ駆動によってＹ方向、Ｚ方向へ移動させることができる。また、θ方向回転機構４６には、θ方向回転モータ（図示せず）が設けられており、これによりインクジェットヘッド４２をモータ駆動によってθ方向に回転させることができる。またインクジェットヘッド４２のθ方向への回転量は、θ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。
【００２１】
このようにインクジェットヘッドユニット４０においては、基板保持テーブル２６に対するインクジェットヘッド４２の位置を種々に調整し得るようになされている。
【００２２】
図３は、インクジェットヘッド４２を示す斜視図である。図３に示すように、このインクジェットヘッドユニット４０の下端部に設けられたインクジェットヘッド４２において、その下方に向けられたノズル面４８には複数のノズルがそれぞれノズル噴射口５０を下方に向けるようにして一定の間隔を隔てて直列に穿設されている。
【００２３】
インクジェットヘッド４２の内部には、各ノズルに連通してなるインクタンクが設けられており、このインクタンクの上面にはダイアフラム及び圧電素子が設けられている。制御部１０からの噴射制御信号によってこの圧電素子を駆動させることにより、インクタンク内の圧力を変化させて該インクタンク内のインクをノズルより噴射させるようになされている。インクジェットヘッドユニット４０では、このようにしてノズル噴射口から下方にインク液滴を噴射させることにより、インクジェットヘッド４２の下方において基板保持テーブル２６に保持された基板３０の上面にインクを塗布する。
【００２４】
なお、本実施形態では、一例として、ベース板４１は固定されており、Ｙ方向移動テーブル２３、Ｘ方向移動テーブル２２が移動可能な場合の説明を行う。但し、ベース板４１がＹ方向及びＸ方向に移動して、Ｙ方向移動テーブル２３、Ｘ方向移動テーブル２２が固定している場合や、ベース板４１がＹ方向及びＸ方向に移動して、Ｙ方向移動テーブル２３、Ｘ方向移動テーブル２２が移動している場合に対しても、本発明の適用は可能である。
【００２５】
そして、Ｙ方向移動テーブル２３又はＸ方向移動テーブル２２がベース板４１に対して移動することにより、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動することになる。以下、このような移動を、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動するという。この際、インクジェットヘッド４２は、そのノズル面４８と基板３０との間のＺ方向上の距離が所定距離離間するようにしながら、基板３０に対して相対的に移動する。
【００２６】
また、本実施形態では、インクジェットヘッド４２が、Ｙ方向に沿った複数のドット位置がＸ方向に複数配置された所定領域（後述の図５参照）に対して、相対的に移動することが行われる。この移動の詳細な説明は後述する。
【００２７】
次に、インク液滴の塗布処理を制御する制御部１０について説明する。図４は、制御部１０のブロック構成を示す図である。図４に示すように、制御部１０においては、基板保持テーブル２６及びインクジェットヘッド４２を移動制御するとともにインクジェットヘッド４２におけるインクの噴射を制御するインク噴射制御回路１００が設けられている。このインク噴射制御回路１００には、Ｘ方向移動モータ、Ｙ方向移動モータ及びθ方向回転モータを駆動させるためのモータ駆動回路１０１が接続されている。
【００２８】
また、インク噴射制御回路１００には、メモリ１０２が接続されている。このメモリ１０２には、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々と、Ｙ方向に沿った複数のドット位置の各々との組合せに対応づけられたインク液滴の噴射に関する情報（以下、噴射情報という）が記録されている噴射パターン情報が、相対移動の回数ごとに記憶されている。ここで、Ｙ方向に沿った複数のドット位置とは、相対移動の幅に含まれる複数の位置のことである。
【００２９】
相対移動とは、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々が、特定領域内のＹ方向に沿った複数のドット位置を対向可能なように、インクジェットヘッド４２が上記特定領域に対して相対的に移動することをいう。そして、本実施形態のインクジェット塗布方法では、特定領域を異ならせて上述の相対移動（以下、相対移動をスキャン移動という）を複数回行いながら、基板３０にインク液滴を塗布させることが行われる。
【００３０】
噴射情報は、例えば、ノズルからインク液滴の噴射を行うか否かを示す噴射オン／オフ情報、塗布位置の補正量を示す位置補正情報、ノズルの圧電素子に印加する電圧波形の情報を示す電圧波形情報から構成されている。ノズルの圧電素子に印加される電圧波形を変化させることにより、インクジェットヘッド４２のノズルから噴射されるインクの液滴量を制御可能であることから、各ドット位置に応じて最適な電圧波形情報がメモリ１０２に記憶される。なお、噴射情報としては、インク液滴の噴射条件に関する他の複数の情報が含まれていてもよい。
【００３１】
以下に、図５、図６、図７を用いながら、噴射パターン情報の詳細な説明の一例を行う。図５に示すように、基板３０の領域（図５中の斜線が施された領域）を含む所定領域（図５中の最も外側の実線で囲まれた領域）内には、後述する特定領域Ｋ１（図５中の点線で囲まれた領域）、特定領域Ｋ２（図５中の斜線が施された領域）、特定領域Ｋ３（図５中の一点鎖線が施された領域）が含まれている。そして、所定領域内には、例えば、Ｙ方向に沿った１００個のドット位置がＸ方向に１００個配置されている。ここで、各ドット位置は、所定領域内の最も左頂部に存在するドット位置を、原点とした場合に、Ｙ方向において上記各ドット位置までに存在するドット位置の数（原点のドット位置を除く）を示すＹ座標と、Ｘ方向において上記各ドット位置までに存在するドット位置の数（原点のドット位置を除く）を示すＸ座標とにより特定される。例えば、（０，１）により特定されるドット位置とは、Ｘ方向における１番上の１００個のドット位置のうち、最も左側のドット位置の隣のドット位置（図５参照）である。ここで、例えば、インクジェットヘッド４２のノズルが、ノズルｎ１、ノズルｎ２、．．．．ノズルｎ４９、ノズルｎ５０であるとする。そして、特定領域Ｋ１は、例えば、Ｘ座標が０から４９の各々と、Ｙ座標が０から９９の各々との組合せ（例えば、（０，０）、．．．（４９，９９））の座標により特定されるドット位置が配置されている領域のことである。
【００３２】
また、特定領域Ｋ２は、例えば、Ｘ座標が２５から７４の各々と、Ｙ座標が０から９９の各々との組合せ（例えば、（２５，０）、．．．（７４，９９））の座標により特定されるドット位置が配置されている領域のことである。この特定領域Ｋ１は、基板３０の領域に相当する。
【００３３】
また、特定領域Ｋ３は、例えば、Ｘ座標が５０から９９の各々と、Ｙ座標が０から９９の各々との組合せ（例えば、（５０，０）、．．．、（９９，９９）など）の座標により特定されるドット位置が配置されている領域のことである。
【００３４】
そして、図６（ａ）に示すように、１回目のスキャン移動として、インクジェットヘッド４２が特定領域Ｋ１に対してスキャン移動を行う場合には、ノズルｎ２６からノズルｎ５０の各々が、基板３０上のＹ方向の１００個のドット位置を対向しながら通過するように、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動する。また、図６（ｂ）に示すように、２回目のスキャン移動として、インクジェットヘッド４２が特定領域Ｋ２に対してスキャン移動を行う場合には、ノズルｎ１からノズルｎ５０の各々が、基板３０上のＹ方向の１００個のドット位置を対向しながら通過するように、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動する。また、図６（ｃ）に示すように、３回目のスキャン移動として、インクジェットヘッド４２が特定領域Ｋ３に対してスキャン移動を行う場合には、ノズルｎ１からノズル２５の各々が、基板３０上のＹ方向の１００個のドット位置を対向しながら通過するように、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動する。
【００３５】
そして、図７（ａ）に示すように、１回目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報Ｐ１には、ノズルｎ１と、座標（０，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．、ノズルｎ１と、座標（０，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）、、、、、ノズルｎ２５と、座標（２４，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．．、ノズルｎ２５と、座標（２４，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）、ノズルｎ２６と、座標（２５，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．、ノズルｎ２６と、座標（２５，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、、、、、ノズルｎ５０と、座標（４９，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．．、ノズルｎ５０と、座標（４９，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−９９（噴射オン／オフ情報はオン）が含まれている。
【００３６】
また、図７（ｂ）に示すように、２回目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報Ｐ２には、ノズルｎ１と、座標（２５，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．、ノズルｎ１と、座標（２５，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、、、、、、、ノズルｎ５０と、座標（７４，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．．、ノズルｎ５０と、座標（７４，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−９９（噴射オン／オフ情報はオン）が含まれている。
【００３７】
また、図７（ｃ）に示すように、３回目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報Ｐ３には、ノズルｎ１と、座標（５０，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．、ノズルｎ１と、座標（５０，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、、、、、ノズルｎ２５と、座標（７４，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．．、ノズルｎ２５と、座標（７４，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、ノズルｎ２６と、座標（７５，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．、ノズルｎ２６と、座標（７５，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）、、、、、ノズルｎ５０と、座標（９９，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．．、ノズルｎ５０と、座標（９９，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）が含まれている。
【００３８】
この結果、１回目のスキャン移動、３回目のスキャン移動では、特定領域のうち、基板３０の領域以外の領域に含まれるドット位置に対応する噴射オン／オフ情報はオフであり、基板３０の領域に含まれるドット位置に対応する噴射オン／オフ情報はオンであるので、基板３０の領域以外の領域内の各ドット位置に、インク液滴が塗布されず、基板３０の領域内の各ドット位置には、インク液滴が塗布される。
【００３９】
また、２回目のスキャン移動では、特定領域は、基板３０の領域に相当し、その領域に含まれるドット位置に対応する噴射オン／オフ情報はオンであるので、基板３０の領域内の各ドット位置には、インク液滴が塗布される。
【００４０】
また、制御部１０において、インク噴射制御回路１００には、Ｙ方向移動モータの駆動により移動する基板保持テーブル２６の移動量を検出するためのＹ方向エンコーダからのパルス信号の数をカウントする、スタートカウンタ１０３、ドットカウンタ１０４、ノズルカウンタ１０５と、Ｘ方向移動モータの駆動により移動する基板保持テーブル２６の移動量を検出するためのＸ方向カウンタ（図示せず）と、θ方向エンコーダからのパルス信号をカウントするθ方向カウンタ（図示せず）とが接続されている。これらのカウンタは、インク噴射制御回路１００からのスタート信号によってカウント動作が開始される。ここで、Ｙ方向エンコーダ、Ｘ方向エンコーダは、例えば、基板保持テーブル２６が１μｍ移動するごとにパルス信号を出力する。また、θ方向エンコーダは、インクジェットヘッド４２がθ方向に１°回転するごとにパルス信号を出力する。
【００４１】
これにより、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１に、各モータに対して駆動信号を送出させた際に、各モータの駆動結果によって所定領域に対して相対的に移動するインクジェットヘッド４２の移動結果を各エンコーダからのパルス出力によって検出することができる。
【００４２】
スタートカウンタ１０３には、インクジェットヘッド４２がスキャン移動を開始する前の待機中において、ノズルｎ１から、スキャン移動が開始してからノズルｎ１が最初に到達するドット位置までの距離に対応するカウント値が設定されている。例えば、１、２，３回目のスキャン移動の場合、図８に示すように、インクジェットヘッド４２の待機位置は、ノズル１が、座標（０，０）、座標（２５，０）、座標（５０，０）で特定されるドット位置からＹ方向に距離Ａだけ離れた位置に設定されており、スタートカウンタ１０３においては、この距離Ａに対応するカウント値が設定されている。スタートカウンタ１０３は、インク噴射制御回路１００を通して入力されるスタート信号によりカウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントする。そして設定されているカウント値に達すると、ノズルｎ１が最初に到達するドット位置に到達したことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。
【００４３】
ドットカウンタ１０４は、各ノズルごとに対応して設けられている。ドットカウンタ１０４には、Ｙ方向におけるドット位置間の距離に対応するカウント値（例えば、図８に示す距離ｄに対応するカウント値）が設定される。ドットカウンタ１０４は、インク噴射制御回路１００を通して入力されるスタート信号によりカウント動作を開始し、所定領域に対してインクジェットヘッド４２が相対的に移動することに伴ってＹ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、このカウント結果が予め設定されているカウント値に達したとき、所定領域に対してインクジェットヘッド４２の位置がドット位置間隔の距離ｄ１だけＹ方向に進んだことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。また、ドットカウンタ１０４は、カウント結果が予め設定されているカウント値に達するごとに、カウント結果をクリアしてカウント動作を繰り返す。これにより図８に示すように、所定領域に対して、インクジェットヘッド４２がＹ方向へ相対的に移動することに伴って、Ｙ方向に隣接する各ドット位置を順次検出することができる。
【００４４】
ノズルカウンタ１０５においては、スキャン移動が開始してからあるノズルが最初に到達するドット位置に到達してから、そのノズルに隣接するノズルが、スキャン移動が開始してからあるノズルが最初に到達するドット位置に到達するまで、インクジェットヘッド４２が所定領域に対して相対的に移動する移動距離Ｂに対応するカウント値が設定されている。また、ノズルカウンタ１０５も、インク噴射制御回路１００を通して入力されるスタート信号によりカウント動作を開始する。図８に示すように、インクジェットヘッド４２をθ方向に回転させて、各ノズルのＸ方向のピッチｊ１をドット位置のＸ方向のピッチｊ２と一致させた場合、直線状に配列されたノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……は、Ｘ方向に対してある角度αだけ傾斜した状態となる。即ち、各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……のＹ方向の位置は、傾斜した分だけずれた状態となる。従って、この状態で、インクジェットヘッド４２をＹ方向に所定領域に対して相対的に移動させながら、各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……が、それぞれ対応するドット位置（スキャン移動が開始してから各ノズルが最初に到達するドット位置）に対向する位置に到達するためには、インクジェットヘッド４２の傾斜に応じた各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……のＹ方向のずれ量に対応するカウント値を設定しておき、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、カウントした値が、設定されたカウント値に到達するごとに、カウント結果をクリアしてカウント動作を繰り返す。これにより、各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……ごとの、上述した最初に到達するドット位置を検出するようになされている。
【００４５】
また、Ｘ方向カウンタには、ある回数目のスキャン移動の開始の前にインクジェットヘッド４２が待機するＸ方向における位置と、次の回数目のスキャン移動の開始の前にインクジェットヘッド４２が待機するＸ方向における位置との差に相当するカウント値が設定されている。Ｘ方向カウンタは、所定領域に対してインクジェットヘッド４２がＸ方向に相対的に移動することに伴ってＸ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、このカウント結果が予め設定されているカウント値に達したとき、所定領域に対してインクジェットヘッド４２の位置が、設定されたカウント値に対応する距離ＤだけＸ方向に進んだことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。またＸ方向カウンタは、カウント結果が予め設定されているカウント値に達するごとに、カウント結果をクリアしてカウント動作を繰り返すようになされている。
【００４６】
またθ方向カウンタは、インクジェットヘッド４２がＸ方向に対して傾斜する傾斜角度αに対応するカウント値が設定されている。θ方向カウンタは、インクジェットヘッド４２の回転に伴ってθ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、このカウント結果が予め設定されているカウント値に達したとき、傾斜角度αだけインクジェットヘッド４２が回転したことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。
【００４７】
また、インク噴射制御回路１００には、ノズル指定カウンタ（図示せず）と、スキャン回数カウンタ（図示せず）と、各ノズルにそれぞれ対応する移動回数カウンタ（図示せず）とが含まれている。ノズル指定カウンタとは、後述するステップ９０におけるノズル制御の対象となるノズルの数をカウントするものである。スキャン回数カウンタとは、スキャン移動の回数をカウントするものであり、初期値は１とする。各ノズルにそれぞれ対応する移動回数カウンタとは、所定領域に対して、各ノズルがＹ方向へ相対的に移動する場合に、各ノズルが通過したドット位置の数をカウントするものである。
【００４８】
インク噴射制御回路１００には、インクジェットヘッド４２の各ノズルの圧電素子に電圧を印加するためのノズル駆動回路１０６が接続されている。インク噴射制御回路１００は、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の所定のノズルの相対位置が、インク液滴を塗布する対象のドット位置に到達した際に、そのドット位置に対応した電圧波形データを読み出してノズル駆動回路１０６に出力する。ノズル駆動回路１０６は、電圧波形データに基づいて電圧を発生させて上記所定のノズルの圧電素子に印加する。これにより基板３０のインク塗布位置に移動されたインクジェットヘッド４２のノズルからインクを噴射させることができる。
【００４９】
また、インク噴射制御回路１００は、インクジェットヘッド４２が所定の回数目のスキャン移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、所定の回数に対応する噴射パターン情報を選択し、選択した噴射パターン情報に記録されている噴射情報に従って、インクジェットヘッド４２の全ノズル（例えば、ノズルｎ１からノズルｎ５０）の各々に、Ｙ方向に沿った複数のドット位置（例えば、図５に示すＹ方向に沿った１００個のドット位置）の各々に対して、インク液滴を噴射させて塗布させるか又は噴射させない機能を有する。
【００５０】
インク噴射制御回路１００が、インク液滴の噴射のためにノズル駆動回路に対して行う処理の具体的な説明の一例は以下の通りである。インクジェットヘッド４２が塗布領域Ｋ１に対して、１回目のスキャン移動を開始する場合、インク噴射制御回路１００は、メモリ１０２から、複数の噴射パターン情報のうち、スキャン移動回数１に対応する噴射パターン情報Ｐ１を選択して、読み出す。インク噴射制御回路１００は、１回目のスキャン移動により、インクジェットヘッド４２のノズルｎ１の位置が、座標（０，０）により特定されるドット位置に到達した際に、読み出した噴射パターン情報に含まれる噴射情報１−０に従ってノズルｎ１がインク液滴の噴射動作を行わないための情報をノズル駆動回路１０６に出力する。また、インク噴射制御回路１００は、１回目のスキャン移動により、インクジェットヘッド４２のノズルｎ５０の位置が、座標（４９，０）により特定されるドット位置に到達した際に、読み出した噴射パターン情報に含まれる噴射情報５０−０に従ってノズルｎ５０がインク液滴の噴射動作を行うための電圧波形情報をノズル駆動回路１０６に出力する。
【００５１】
また、インク噴射制御回路１００は、空打ち処理を実行するように指示する信号が送られると、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータ、Ｙ方向移動モータの駆動により、基板保持テーブル２６を、インクジェットヘッド４２と対向しない位置に退避させる。空打ち処理とは、インクジェットヘッド４２のノズルの各々からインク液滴を噴射させて塗布対象である基板３０に対する塗布処理が行われていない期間において、塗布対象とは別の領域（本実施形態では空打ち用のケース）に向かって、各ノズルからインク液滴を噴射させ続ける処理のことである。
【００５２】
そして、空打ち用のケース（図示せず）を、インクジェットヘッド４２と対向する位置に移動させる。そして、インク噴射制御回路１００は、ノズル駆動回路１０６を介して、インクジェットヘッド４２の全ノズルに、インク液滴を空打ち用ケースに噴射させる（空打ち処理）。その後、インク噴射制御回路１００は、空打ち用ケースを、空打ち処理が行われる前の位置に退避させる。なお、空打ち用のケースの存在が塗布対象に対する塗布処理に影響を与えない場合には、空打ち用のケースを進退させる機構は不要である。
【００５３】
（インクジェット塗布方法）
次に、上述のインクジェット塗布装置を用いたインクジェット塗布方法について説明する。ここでは、一例として、図５に示すようなドット位置が配置された所定領域に対して、インクジェットヘッド４２が相対的に移動する場合を考える。また、インクジェットヘッド４２のノズルは、上述したようなノズルｎ１、ノズルｎ２、．．．．ノズルｎ５０であるとする。そして、インクジェットヘッド４２が、塗布領域Ｋ１に対して、１回目のスキャン移動を行い、塗布領域Ｋ２に対して、２回目のスキャン移動を行い、塗布領域Ｋ３に対して、３回目のスキャン移動を行う場合を考える。
【００５４】
また、ここでは、１つのインクジェットヘッド４２（例えば、Ｒ（赤）用のインク液滴を噴射するインクジェットヘッド４２）の塗布方法の説明を例にして、行うが、他の２つのインクジェットヘッド４２（例えば、Ｇ（青）用のインク液滴を噴射するインクジェットヘッド４２、Ｂ（青）用のインク液滴を噴射するインクジェットヘッド４２）を用いたインク液滴の塗布方法も、同様にして行われる。
【００５５】
先ず、作業者が、各スキャン移動の回数に対応する噴射パターン情報に必要な情報を図示しない情報入力部を用いて入力すると、インク噴射制御回路１００に送られ、インク噴射制御回路１００は、各スキャン移動の回数ごとの噴射パターン情報を生成し、メモリ１０２に記憶させる。
【００５６】
次に、基板３０にインク液滴を塗布する方法について、図９，１０に示すフローチャート図を用いて説明する。
【００５７】
ステップ１０では、インク噴射制御回路１００は、空打ち処理を行う。具体的には、作業者が、空打ち処理の実行のための所定の操作ボタン（インクジェット塗布装置に設けられている操作ボタン、図示せず）を操作することにより、操作信号がインク噴射制御回路１００に送られる。インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、基板保持テーブル２６を、インクジェットヘッド４２と対向しない位置に退避させるとともに、空打ち用のケース（図示せず）を、インクジェットヘッド４２と対向する位置に移動させる。そして、インク噴射制御回路１００は、ノズル駆動回路１０６を介して、インクジェットヘッド４２の全ノズルに、インク液滴を空打ち用ケースに噴射させる（空打ち処理）。これにより、インクジェットヘッド４２の各ノズルにおいて空打ちが行われて強制的にインクが噴射され、これらのノズルの詰まり等の防止が可能となる。その後、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、空打ち用ケースを、空打ち処理が行われる前の位置に退避させる。
【００５８】
ステップ２０では、インク噴射制御回路１００は、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の相対位置を初期位置に設定する。具体的には、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動、Ｙ方向移動モータの駆動、θ方向移動モータの駆動により、図８に示すように、インクジェットヘッド４２をＸ方向に対して角度αだけ傾斜させるとともに、インクジェットヘッド４２のノズルｎ１と、座標（０，０）により特定されるドット位置との間の距離が距離Ａ離間するような位置に、インクジェットヘッド４２を配置させる。これにより、インクジェットヘッド４２が所定領域に対して、Ｘ方向に相対的に移動すると、塗布領域Ｋ１に対して、１回目のスキャン移動を行うことになる。
【００５９】
ステップ２５では、インク噴射制御回路１００は、メモリ１０２にアクセスして、複数の噴射パターン情報Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３のうち、スキャン回数カウンタの値１（１回目のスキャン移動）に対応する噴射パターン情報Ｐ１を選択して読み出し、設定する。
【００６０】
ステップ３０では、インク噴射制御回路１００は、スタートカウンタ１０３によるカウント動作を開始させるとともに、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動によりインクジェットヘッド４２を所定領域に対してＹ方向に相対的に移動させることを開始する。なお、この移動は、後述のステップ１２０まで継続して行われる。スタートカウンタ１０３は、上述したように、距離Ａに対応するカウント値が設定されており、インク噴射制御回路１００を介して入力されるスタート信号により、カウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルス数をカウントする。
【００６１】
ステップ４０では、インク噴射制御回路１００は、スタートカウンタ１０３のカウント動作によるカウント値が、距離Ａに対応するカウント値に達したか否かを判定し、距離Ａに対応するカウント値に達した場合には、ステップ５０の処理が行われ、距離Ａに対応するカウント値に達していない場合には、ステップ３０の処理が繰り返される。
【００６２】
ステップ５０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値が全ノズル数（ここでは、５０）に対応するカウント値に達したか否かを判定し、全ノズル数に対応するカウント値に達した場合には、ステップ１００の処理が行われ、全ノズル数に対応するカウント値に達してない場合には、ステップ５５の処理が行われる。
【００６３】
ステップ５５では、インク噴射制御回路１００は、スキャン回数カウンタのカウント値が２以上であるか否かを判定し、２以上である場合には、ステップ５７の処理を行い、１である場合には、ステップ６０の処理を行う。
【００６４】
ステップ５７では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動によりインクジェットヘッド４２を所定領域に対してＹ方向に相対的に移動させることを開始する。なお、この移動は、後述のステップ１２０まで継続して行われる。
【００６５】
ステップ６０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値に１を加算する。その後、ステップ７０の処理を行うとともに、ステップ９０の処理も並行して行う。
【００６６】
ステップ７０では、インク噴射制御回路１００は、ノズルカウンタ１０５によるカウント動作を開始させる。ノズルカウンタ１０５には、上述したように、移動距離Ｂに対応するカウント値が設定されている。ノズルカウンタ１０５は、インク噴射制御回路１００を介して入力されるスタート信号により、カウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントする。
【００６７】
ステップ８０では、インク噴射制御回路１００は、ノズルカウンタ１０５のカウント動作によるカウント値が、移動距離Ｂに対応するカウント値に達したか否かを判定し、移動距離Ｂに対応するカウント値に達した場合には、ステップ８５で、ノズルカウンタのカウント値がリセットされた後、ステップ５０の処理に戻り、移動距離Ｂに対応するカウント値に達していない場合には、ステップ７０の処理が繰り返される。
【００６８】
ステップ９０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値がノズル番号であるようなノズルの制御処理（以下、ノズル制御処理）を行う。このノズル制御処理は、ステップ６０で、ノズル指定カウンタのカウント値が新たな値となるごとに、行われる。即ち、インクジェットヘッド４２の全ノズルに対して、ノズル制御処理が行われる。このノズル制御処理の詳細な説明を図１０に示すフローチャート図を用いて説明する。
【００６９】
ステップ９０−１では、インク噴射制御回路１００は、ステップ６０で設定されたノズル指定カウンタのカウント値（即ち、ノズル番号）に対応するドットカウンタ１０４によるカウント動作を開始させる。各ドットカウンタ１０４には、Ｙ方向におけるドット位置間の距離ｄに対応するカウント値が設定されている。各ドットカウンタ１０４は、インク噴射制御回路１００を介して入力されるスタート信号により、カウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルス数をカウントする。
【００７０】
ステップ９０−２では、インク噴射制御回路１００は、ドットカウンタ１０４のカウント動作によるカウント値が、距離ｄに対応するカウント値に達したか否かを判定し、距離ｄに対応するカウント値に達した場合には、ステップ９０−３の処理が行われ、距離ｄに対応するカウント値に達していない場合には、ステップ９０−２の処理が繰り返される。
【００７１】
ステップ９０−３では、インク噴射制御回路１００は、移動回数カウンタのカウント値に１を加算する。
【００７２】
ステップ９０−４では、インク噴射制御回路１００は、現在設定されている噴射パターン情報を参照して、移動回数カウンタのカウント値から１を引いた値をＹ座標とし、ノズル指定カウンタのカウント値から１を引いた値をＸ座標とした場合における（Ｘ座標、Ｙ座標）により特定されるドット位置と、ノズル制御の対象であるノズルとに対応する噴射情報を取得する。そして、インク噴射制御回路１００は、取得した噴射情報に従って、ノズル制御の対象であるノズルが、上記ドット位置に対して、インク液滴を噴射して塗布するための情報、又は、インク液滴を噴射しないための情報を、ノズル駆動回路１０６に出力する。これにより、これにより、ノズル駆動回路１０６からの信号により、上記ノズルに対応する圧電素子が駆動され、上記ノズルからインク液滴が上記ドット位置に噴射され塗布されるか、又は、ノズル駆動回路１０６からの信号により、上記ノズルに対応する圧電素子が駆動されず、上記ノズルからインク液滴が上記ドット位置に噴射されないことになる。
【００７３】
ステップ９０−５では、インク噴射制御回路１００は、移動回数カウンタのカウント値が、所定領域内のＹ方向における総ドット位置の数（ここでは、１００）に達したか否かを判定し、上記Ｙ方向における総ドット位置の数に達した場合には、ステップ９０−６で、移動回数カウンタのカウント値がリセット（０にリセット）された後、本ノズル制御処理が終了し、達していない場合には、再度、ステップ９０−１の処理以降の処理が行われる。
【００７４】
ステップ１００では、インク噴射制御回路１００は、全ノズルに対応するノズル制御処理が終了したか否かを判定し、終了していない場合には、ノズル制御処理が終了していないノズルについてステップ９０の処理を行い、終了した場合には、ステップ１１０の処理が行われる。
【００７５】
ステップ１１０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値を０にリセットする。
【００７６】
ステップ１２０では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動によるインクジェットヘッド４２のＹ方向への相対的な移動を停止させる。
【００７７】
ステップ１３０では、インクジェット噴射制御回路は、スキャン回数カウンタのカウント値に１を加算する。
【００７８】
ステップ１４０では、インク噴射制御回路１００は、スキャン回数カウンタの値が、総スキャン移動回数（ここでは、３）に達したか否かを判定し、総スキャン移動回数に達した場合には、ステップ１４５の処理が行われ、総スキャン回数に達しない場合には、ステップ１６０の処理が行われる。
【００７９】
ステップ１４５では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータ、Ｙ方向移動モータの駆動により、インクジェットヘッド４２の相対位置を、初期設定位置（ステップ１０が行われる前の初期位置）に戻す。
【００８０】
ステップ１５０では、インク噴射制御回路１００は、スキャン回数カウンタのカウント値を１にリセットし、インクジェット塗布処理を終了する。
【００８１】
ステップ１６０では、インクジェット噴射制御回路は、メモリ１０２にアクセスして、複数の噴射パターン情報Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３のうち、スキャン回数カウンタの値（２回目のスキャン移動又は３回目のスキャン移動）に対応する噴射パターン情報を選択して読み出し、既に設定している噴射パターン情報に代えて、新たに読み出した噴射パターン情報を設定する。
【００８２】
ステップ１７０では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動により、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の相対位置を、今回のスキャン移動を開始する前に、インクジェットヘッド４２が待機していた位置（例えば、１回目のスキャン移動が終了した場合には、ステップ２０における初期位置）に、戻す。
【００８３】
具体的には、インク噴射制御回路１００は、Ｘ方向移動モータの駆動により、１回目のスキャン移動終了の場合には座標（０，０）により特定されるドット位置とインクジェットヘッド４２のノズルｎ１との間の距離が距離Ａ離間するような位置に、２回目のスキャン移動終了の場合には座標（２５，０）により特定されるドット位置とインクジェットヘッド４２のノズルｎ１との間の距離が距離Ａ離間するような位置に、インクジェットヘッド４２を所定領域に対して相対的に配置させる。
【００８４】
そして、ステップ１８０では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動により、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の相対位置を、Ｘ方向に距離Ｄだけ進ませる。具体的には、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動を開始させる。そして、Ｘ方向カウンタは、所定領域に対してインクジェットヘッド４２がＸ方向に相対的に移動することに伴ってＸ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、設定値に達したとき、所定領域に対してインクジェットヘッド４２の位置が、設定されたカウント値に対応する距離ＤだけＸ方向に進んだことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動を停止させる。なお、ステップ１７０の処理、ステップ１８０の処理は、動作方向を独立させて、同時に実施されるようにしてもよい。また、あるスキャン移動の終了から、次のスキャン移動の開始までの間におけるインクジェットヘッド４２の移動の仕方は、上述の移動の仕方に限定されず、他の移動の仕方であってもよい。
【００８５】
そして、ステップ３０以降の処理が行われることにより、以下のような処理が行われることになる。インクジェットヘッド４２が塗布領域Ｋ２に対して、２回目のスキャン移動を行うことになり、ノズルｎ１からノズルｎ５０が、基板３０上の各ドット位置を対向しながら通過して、基板３０上の各ドット位置に対して、インク液滴を噴射して塗布することになる。また、インクジェットヘッド４２が塗布領域Ｋ３に対して、３回目のスキャン移動を行うことになり、ノズルｎ１からノズルｎ２５が、基板３０上の各ドット位置を対向しながら通過して、基板３０上の各ドット位置に対して、インク液滴を噴射して塗布することになる。
【００８６】
なお、上述した特定領域（特定領域Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３）、スキャン移動の回数（３）、各噴射情報の設定は、上述の場合に限られず、種々に設定することができる。また、本実施形態のインクジェットヘッド４２は、３つのヘッドに限定されず、複数のヘッドであればよい。また、上述したスキャン移動の方法は、一例であり、他の方法で行われてもよい。例えば、１回目のスキャン移動が終了した時点で、そのまま、インクジェットヘッド４２はＸ方向に相対的に移動し、その後、インクジェットヘッド４２がＸ方向（１回目のスキャン移動の方向とは逆方向）への２回目のスキャン移動を開始するようにしてもよい。また、本実施形態のインクジェット塗布方法により、基板３０上における塗布対象の各ドット位置に、異なる２つのノズルで、それぞれインク液滴を２回塗布させるようにしたが、これに限定されず、基板３０上における塗布対象の各ドット位置に、異なる複数（２以上）のノズルで、それぞれインク液滴を複数回（２回以上）塗布させることができる。
【００８７】
（作用効果）
以上説明した本実施形態のインクジェット塗布方法によれば、従来技術のように、塗布対象領域（基板３０上の領域）上の塗布対象位置（インク塗布対象のドット位置）だけに対応する噴射情報が記録された噴射パターン情報を記憶するのではなく、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々と、基板３０の領域を含む所定領域のＹ方向における複数のドット位置の各々と、の組合せに対応づけられた噴射情報が記録されている噴射パターン情報を、スキャン移動の回数ごとに、記憶することができる。
【００８８】
そして、インクジェットヘッド４２が各回数目のスキャン移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、各回数に対応する噴射パターン情報を選択し、選択した噴射パターン情報に記録されている噴射情報に従って、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々に、上記Ｙ方向における複数のドット位置の各々に対して、インク液滴を噴射させて塗布させるか又は噴射させないようにしている。
【００８９】
このため、スキャン移動の回数ごとに、特定領域を塗布対象領域に限らず所定領域内で様々に設定することができ、上記組合せに対して、噴射情報を様々に設定することができる。これにより、基板３０に対するインク液滴を塗布する方式として、例えば、基板３０上における同じ塗布対象位置に、異なる複数のノズルで、それぞれインク液滴を複数回塗布させるような複雑な塗布方式を行わせたい場合、各スキャン移動に対応する特定領域の設定と、上記組合せに対応する噴射情報の設定とを適切に行う（例えば、本実施形態のように設定する）ことにより、実現が可能となる。
【００９０】
従って、本実施形態によれば、塗布対象である基板３０にインク液滴を塗布する方式の自由度が高くなるインクジェット塗布方法を提供することができる。
【００９１】
また、本実施形態によれば、基板３０上における各ドット位置に、異なる複数のノズルで、複数回インク液滴を塗布させることが可能となるので、基板３０上でインクのにじみが生じないような場合でも、基板３０上で、インクが広がっているように視認されるので、各ノズルによるインク塗布位置の誤差があっても、誤差がないように視認されることが可能となる。これにより、ノズルの製造のばらつきによるインク塗布位置の誤差のために、表示装置の画像表示性能が低下してしまうことが回避される。
【００９２】
（変更例）
なお、２回目以降の所定回数目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報の選択は、上記所定回数の前の回数のスキャン移動が行われている間に、行われるようにしてもよい。即ち、上述の実施形態では、インクジェットヘッド４２がスキャン移動を終了するごとに、インクジェットヘッド４２のスキャン移動が停止され（ステップ１２０）、その停止中に、メモリ１０２からスキャン移動回数に対応する噴射パターン情報が選択され設定されていたが（ステップ１６０）、本変更例では、インクジェットヘッド４２がスキャン移動を行っている間に、メモリ１０２から次のスキャン移動回数に対応する噴射パターン情報が選択され、インクジェットヘッド４２がスキャン移動を終了した際に、選択した噴射パターン情報が新たに設定される。
【００９３】
具体的には、例えば、図９に示すフローチャート図において、ステップ１６０の処理は行われない。そして、ステップ５０からステップ１００までの処理の間のいずれかの処理で、現在行われているスキャン移動の次のスキャン移動に対応する噴射パターン情報の選択が行われ、ステップ１７０の前の処理で、選択した噴射パターン情報の設定が行われる。
【００９４】
このような本変更例によれば、インクジェットヘッド４２によるスキャン移動の停止中に、噴射パターン情報の選択が行なわれず、インクジェットヘッド４２のスキャン移動中に噴射パターン情報の選択が行われるので、インクジェットヘッド４２の停止時間を必要以上に長くする必要がなく、例えば、スキャン移動回数が非常に多い場合における停止時間のためのタイムロスを少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本実施形態のインクジェット塗布装置を示す斜視図である。
【図２】本実施形態のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。
【図３】本実施形態のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。
【図４】本実施形態の制御部の構成を示すブロック図である。
【図５】本実施形態の噴射パターン情報を説明するための補足図である。
【図６】本実施形態の噴射パターン情報を説明するための補足図である。
【図７】本実施形態の噴射パターン情報を説明するための補足図である。
【図８】本実施形態のインクジェットヘッドのスキャン移動前における配置を説明するための補足図である。
【図９】本実施形態のインクジェット塗布方法を説明するためのフローチャート図である。
【図１０】本実施形態のインクジェット塗布方法のうち、ノズル制御処理を説明するためのフローチャート図である。
【符号の説明】
【００９６】
１…インクジェット塗布装置、２…架台、３…インク塗布ボックス、４…インク補給ボックス、１…インクジェット塗布装置、１０…制御部、３０…基板、４０…インクジェットヘッドユニット、４２…インクジェットヘッド４２、４８…ノズル面、４９…フレームカバー、５０…ノズル、１００…インク噴射制御回路、１０１…モータ駆動回路、１０２…メモリ、１０３…スタートカウンタ、１０４…ドットカウンタ、１０５…ノズルカウンタ、１０６…ノズル駆動回路。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクの液滴を噴射して塗布対象にインクを塗布するインクジェット塗布方法及びインクジェット塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、パーソナルコンピュータ等においては、その表示装置として例えば、液晶ディスプレイが用いられている。この液晶ディスプレイの製造工程においては、ノズルから微小な液滴を噴射するようになされたいわゆるインクジェット塗布装置を用いて、透明基板上の各ドットにR（赤）、G（緑）、B（青）の各色のインクを順次塗布することにより、これら各色のドットが順次配列されてなるカラーフィルタを作成するようになされている。
【０００３】
このような表示装置の製造工程においては、インク液滴を噴射するためのノズルを有するインクジェットヘッドを塗布対象である基板の塗布対象開始位置に対向する位置まで移動させた後、インクジェットヘッド及び基板の相対位置を移動させながら、所定の塗布対象位置でノズルからインクを順次噴射して塗布させるようにしている。
【０００４】
ここで、例えば、インクジェット塗布装置のメモリには、塗布対象上における各塗布対象位置に対して、それぞれ、インク液滴の噴射に関する情報である噴射情報（例えば、ノズルの圧電素子に印加する電圧波形など）が記憶されており、ノズルを制御するノズル制御部は、各塗布対象位置に対応する噴射情報に基づいて、インクジェットヘッドの各ノズルを用いて、上記各塗布対象位置に、インク液滴を噴射させて塗布させていた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来技術では、ノズル制御部は、各塗布対象位置に対応する噴射情報に基づいて、インク液滴の噴射を各ノズルに行わせ、各塗布対象位置に対して、順番にインク液滴を塗布させていくことしかできなかった。このため、例えば、塗布対象領域上の同じ塗布対象位置を、複数の異なるノズルでインク液滴を塗布させるような複雑な塗布方式を行うことはできず、塗布対象にインク液滴を塗布する方式の自由度が低くなってしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、塗布対象にインク液滴を塗布する方式の自由度が高くなるインクジェット塗布方法、インクジェット塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の問題点を解決するために、本発明は、液滴を噴射するためのノズルを複数有するインクジェットヘッドを塗布対象に対して相対移動させながら、前記塗布対象に各ノズルから前記液滴を噴射させて塗布するインクジェット塗布方法であって、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、前記相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた前記液滴の噴射に関する情報が記録されている噴射パターン情報を、前記相対移動ごとに、記憶する記憶工程と、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、前記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択する選択工程と、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を行う場合、前記選択工程で選択された噴射パターン情報に記録されている前記液滴の噴射に関する情報に従って、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、前記複数の位置の各々に対して、前記液滴を噴射させて塗布させるか又は前記液滴を噴射させない塗布工程とを有することを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明は、液滴を噴射するためのノズルを複数有するインクジェットヘッドを塗布対象に対して相対移動させながら、前記塗布対象に各ノズルから前記液滴を噴射させて塗布するインクジェット塗布装置であって、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、前記相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた前記液滴の噴射に関する情報が記録されている噴射パターン情報を、前記相対移動ごとに、記憶する記憶部（例えば、メモリ１０２）と、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、前記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択し、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を行う場合、選択された噴射パターン情報に記録されている前記液滴の噴射に関する情報に従って、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、前記複数の位置の各々に対して、前記液滴を噴射させて塗布させるか又は前記液滴を噴射させない制御部（例えば、インク噴射制御回路１００）を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
以上説明したように、本発明によれば、塗布対象にインク液滴を塗布する方式の自由度が高くなるインクジェット塗布方法、インクジェット塗布装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
（本発明の実施形態）
（インクジェット塗布装置の構成）
図１は、インクジェット塗布装置の全体構成を示す図である。図１に示すように、本実施形態のインクジェット塗布方法を実施するためのインクジェット塗布装置１は、ノズルからインクの液滴を噴射するインクジェットヘッド４２を用いて基板３０にインクを塗布するインク塗布ボックス３と、このインク塗布ボックス３にインクを補給するインク補給ボックス４とを備えている。インクジェットヘッド４２の各々の基板と対向する表面には、インク液滴を噴射するためのノズルが所定間隔離間して複数配列されている。
【００１２】
インク塗布ボックス３においては、架台２の上面にＹ軸方向ガイド板２０が固定されており、このＹ軸方向ガイド板２０の上面には、Ｙ軸方向に複数のガイド溝２１が延設されている。このガイド溝２１にはＹ軸方向移動テーブル２２の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＹ軸方向移動テーブル２２は、ガイド溝２１にガイドされてＹ軸方向に移動自在に支持されている。このＹ軸方向移動テーブル２２は、Ｙ方向移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝２１に沿ってＹ軸方向に移動される。
【００１３】
また、Ｙ軸方向移動テーブル２２の上面には、Ｘ軸方向に複数のガイド溝（図示せず）が延設されている。このガイド溝には、Ｘ軸方向移動テーブル２３の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＸ軸方向移動テーブル２３は、このガイド溝にガイドされてＸ軸方向に移動自在に支持されている。このＸ軸方向移動テーブル２３は、Ｘ方向移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝に沿ってＸ軸方向に移動される。
【００１４】
Ｘ軸方向移動テーブル２３の上面には、基板保持テーブル２６が固定されており、この基板保持テーブル２６の上面には把持機構２７が設けられており、インクの塗布対象である基板３０を把持して固定し得るようになされている。なお、基板３０の固定手段として、把持機構２７による把持に代えて、例えば、吸着機構を設けるようにしてもよい。
【００１５】
基板保持テーブル２６のＸ方向への移動量は、Ｘ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができ、基板保持テーブル２６のＹ方向への移動量は、Ｙ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。
【００１６】
また、インク塗布ボックス３において、架台２の上面には、インクジェットヘッドユニット４０がＸ軸方向、Ｙ軸方向及び上下方向であるＺ軸方向に移動自在に支持されている。即ち、インク塗布ボックス３において、架台２の上面には、Ｙ軸方向スライド板２０を挟む位置に１組のコラム３３ａ、３３ｂが立設されており、このコラム３３ａ、３３ｂの上部にはＸ方向ガイド板３５が横架されている。
【００１７】
Ｘ方向ガイド板３５の前面には、Ｘ方向にガイド溝３６が延設されており、このガイド溝３６には、複数のインクジェットヘッドユニット４０を垂設するベース板４１の突起部が係合されている。これによりベース板４１は、このガイド溝３６にガイドされてＸ軸方向に移動自在に支持されている。このベース板４１は、ヘッドユニット移動用モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝３６に沿ってＸ軸方向に移動される。
【００１８】
インク塗布ボックス３においては、インクジェット塗布装置１の動作を制御する制御部１０により、これらＹ方向移動テーブル２２のＹ方向への移動、Ｘ方向移動テーブル２３のＸ方向への移動及びベース板４１のＸ方向への移動をそれぞれ制御し、これにより基板保持テーブル２６に保持された基板３０とベース板４１に垂設されたインクジェットヘッドユニット４０との相対位置を種々に変化させることができる。
【００１９】
またベース板４１には、複数（例えば３つ）のインクジェットヘッドユニット４０が垂設されており、このインクジェットヘッドユニット４０において、その下端部に設けられたインクジェットヘッド４２により下方にインクを噴射するようになされている。これら複数のインクジェットヘッドユニット４０は、それぞれ同一の構成を有する。
【００２０】
図２は、インクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。図２に示すように、インクジェットヘッドユニット４０においては、ベース板４１に支持され、移動部４４ａをＺ方向（上下方向）に移動自在に支持するＺ方向移動機構４４と、このＺ方向移動機構４４の移動部４４ａに支持され、移動部４５ａをＹ方向に移動自在に支持するＹ方向移動機構４５と、このＹ方向移動機構４５の移動部４５ａに支持され、回転部４６ａをＺ方向周りの回転方向であるθ方向に回転自在に支持するθ方向回転機構４６と、このθ方向回転機構４６の回転部４６ａに垂下されるインクジェットヘッド４２とを有し、Ｚ方向移動機構４４によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＺ方向に調整し得ると共に、Ｙ方向移動機構４５によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＹ方向に調整し得る。また、θ方向回転機構４６によりインクジェットヘッド４２の向きを基板３０に対してθ方向に回転し得るようになされている。なお、Ｙ方向移動機構４５及びＺ方向移動機構４４には、それぞれヘッド調整用モータ（図示せず）が設けられ、これらによりインクジェットヘッド４２をモータ駆動によってＹ方向、Ｚ方向へ移動させることができる。また、θ方向回転機構４６には、θ方向回転モータ（図示せず）が設けられており、これによりインクジェットヘッド４２をモータ駆動によってθ方向に回転させることができる。またインクジェットヘッド４２のθ方向への回転量は、θ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。
【００２１】
このようにインクジェットヘッドユニット４０においては、基板保持テーブル２６に対するインクジェットヘッド４２の位置を種々に調整し得るようになされている。
【００２２】
図３は、インクジェットヘッド４２を示す斜視図である。図３に示すように、このインクジェットヘッドユニット４０の下端部に設けられたインクジェットヘッド４２において、その下方に向けられたノズル面４８には複数のノズルがそれぞれノズル噴射口５０を下方に向けるようにして一定の間隔を隔てて直列に穿設されている。
【００２３】
インクジェットヘッド４２の内部には、各ノズルに連通してなるインクタンクが設けられており、このインクタンクの上面にはダイアフラム及び圧電素子が設けられている。制御部１０からの噴射制御信号によってこの圧電素子を駆動させることにより、インクタンク内の圧力を変化させて該インクタンク内のインクをノズルより噴射させるようになされている。インクジェットヘッドユニット４０では、このようにしてノズル噴射口から下方にインク液滴を噴射させることにより、インクジェットヘッド４２の下方において基板保持テーブル２６に保持された基板３０の上面にインクを塗布する。
【００２４】
なお、本実施形態では、一例として、ベース板４１は固定されており、Ｙ方向移動テーブル２３、Ｘ方向移動テーブル２２が移動可能な場合の説明を行う。但し、ベース板４１がＹ方向及びＸ方向に移動して、Ｙ方向移動テーブル２３、Ｘ方向移動テーブル２２が固定している場合や、ベース板４１がＹ方向及びＸ方向に移動して、Ｙ方向移動テーブル２３、Ｘ方向移動テーブル２２が移動している場合に対しても、本発明の適用は可能である。
【００２５】
そして、Ｙ方向移動テーブル２３又はＸ方向移動テーブル２２がベース板４１に対して移動することにより、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動することになる。以下、このような移動を、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動するという。この際、インクジェットヘッド４２は、そのノズル面４８と基板３０との間のＺ方向上の距離が所定距離離間するようにしながら、基板３０に対して相対的に移動する。
【００２６】
また、本実施形態では、インクジェットヘッド４２が、Ｙ方向に沿った複数のドット位置がＸ方向に複数配置された所定領域（後述の図５参照）に対して、相対的に移動することが行われる。この移動の詳細な説明は後述する。
【００２７】
次に、インク液滴の塗布処理を制御する制御部１０について説明する。図４は、制御部１０のブロック構成を示す図である。図４に示すように、制御部１０においては、基板保持テーブル２６及びインクジェットヘッド４２を移動制御するとともにインクジェットヘッド４２におけるインクの噴射を制御するインク噴射制御回路１００が設けられている。このインク噴射制御回路１００には、Ｘ方向移動モータ、Ｙ方向移動モータ及びθ方向回転モータを駆動させるためのモータ駆動回路１０１が接続されている。
【００２８】
また、インク噴射制御回路１００には、メモリ１０２が接続されている。このメモリ１０２には、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々と、Ｙ方向に沿った複数のドット位置の各々との組合せに対応づけられたインク液滴の噴射に関する情報（以下、噴射情報という）が記録されている噴射パターン情報が、相対移動の回数ごとに記憶されている。ここで、Ｙ方向に沿った複数のドット位置とは、相対移動の幅に含まれる複数の位置のことである。
【００２９】
相対移動とは、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々が、特定領域内のＹ方向に沿った複数のドット位置を対向可能なように、インクジェットヘッド４２が上記特定領域に対して相対的に移動することをいう。そして、本実施形態のインクジェット塗布方法では、特定領域を異ならせて上述の相対移動（以下、相対移動をスキャン移動という）を複数回行いながら、基板３０にインク液滴を塗布させることが行われる。
【００３０】
噴射情報は、例えば、ノズルからインク液滴の噴射を行うか否かを示す噴射オン／オフ情報、塗布位置の補正量を示す位置補正情報、ノズルの圧電素子に印加する電圧波形の情報を示す電圧波形情報から構成されている。ノズルの圧電素子に印加される電圧波形を変化させることにより、インクジェットヘッド４２のノズルから噴射されるインクの液滴量を制御可能であることから、各ドット位置に応じて最適な電圧波形情報がメモリ１０２に記憶される。なお、噴射情報としては、インク液滴の噴射条件に関する他の複数の情報が含まれていてもよい。
【００３１】
以下に、図５、図６、図７を用いながら、噴射パターン情報の詳細な説明の一例を行う。図５に示すように、基板３０の領域（図５中の斜線が施された領域）を含む所定領域（図５中の最も外側の実線で囲まれた領域）内には、後述する特定領域Ｋ１（図５中の点線で囲まれた領域）、特定領域Ｋ２（図５中の斜線が施された領域）、特定領域Ｋ３（図５中の一点鎖線が施された領域）が含まれている。そして、所定領域内には、例えば、Ｙ方向に沿った１００個のドット位置がＸ方向に１００個配置されている。ここで、各ドット位置は、所定領域内の最も左頂部に存在するドット位置を、原点とした場合に、Ｙ方向において上記各ドット位置までに存在するドット位置の数（原点のドット位置を除く）を示すＹ座標と、Ｘ方向において上記各ドット位置までに存在するドット位置の数（原点のドット位置を除く）を示すＸ座標とにより特定される。例えば、（０，１）により特定されるドット位置とは、Ｘ方向における１番上の１００個のドット位置のうち、最も左側のドット位置の隣のドット位置（図５参照）である。ここで、例えば、インクジェットヘッド４２のノズルが、ノズルｎ１、ノズルｎ２、．．．．ノズルｎ４９、ノズルｎ５０であるとする。そして、特定領域Ｋ１は、例えば、Ｘ座標が０から４９の各々と、Ｙ座標が０から９９の各々との組合せ（例えば、（０，０）、．．．（４９，９９））の座標により特定されるドット位置が配置されている領域のことである。
【００３２】
また、特定領域Ｋ２は、例えば、Ｘ座標が２５から７４の各々と、Ｙ座標が０から９９の各々との組合せ（例えば、（２５，０）、．．．（７４，９９））の座標により特定されるドット位置が配置されている領域のことである。この特定領域Ｋ１は、基板３０の領域に相当する。
【００３３】
また、特定領域Ｋ３は、例えば、Ｘ座標が５０から９９の各々と、Ｙ座標が０から９９の各々との組合せ（例えば、（５０，０）、．．．、（９９，９９）など）の座標により特定されるドット位置が配置されている領域のことである。
【００３４】
そして、図６（ａ）に示すように、１回目のスキャン移動として、インクジェットヘッド４２が特定領域Ｋ１に対してスキャン移動を行う場合には、ノズルｎ２６からノズルｎ５０の各々が、基板３０上のＹ方向の１００個のドット位置を対向しながら通過するように、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動する。また、図６（ｂ）に示すように、２回目のスキャン移動として、インクジェットヘッド４２が特定領域Ｋ２に対してスキャン移動を行う場合には、ノズルｎ１からノズルｎ５０の各々が、基板３０上のＹ方向の１００個のドット位置を対向しながら通過するように、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動する。また、図６（ｃ）に示すように、３回目のスキャン移動として、インクジェットヘッド４２が特定領域Ｋ３に対してスキャン移動を行う場合には、ノズルｎ１からノズル２５の各々が、基板３０上のＹ方向の１００個のドット位置を対向しながら通過するように、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動する。
【００３５】
そして、図７（ａ）に示すように、１回目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報Ｐ１には、ノズルｎ１と、座標（０，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．、ノズルｎ１と、座標（０，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）、、、、、ノズルｎ２５と、座標（２４，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．．、ノズルｎ２５と、座標（２４，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）、ノズルｎ２６と、座標（２５，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．、ノズルｎ２６と、座標（２５，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、、、、、ノズルｎ５０と、座標（４９，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．．、ノズルｎ５０と、座標（４９，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−９９（噴射オン／オフ情報はオン）が含まれている。
【００３６】
また、図７（ｂ）に示すように、２回目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報Ｐ２には、ノズルｎ１と、座標（２５，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．、ノズルｎ１と、座標（２５，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、、、、、、、ノズルｎ５０と、座標（７４，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．．、ノズルｎ５０と、座標（７４，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−９９（噴射オン／オフ情報はオン）が含まれている。
【００３７】
また、図７（ｃ）に示すように、３回目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報Ｐ３には、ノズルｎ１と、座標（５０，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．、ノズルｎ１と、座標（５０，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、、、、、ノズルｎ２５と、座標（７４，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．．、ノズルｎ２５と、座標（７４，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、ノズルｎ２６と、座標（７５，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．、ノズルｎ２６と、座標（７５，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）、、、、、ノズルｎ５０と、座標（９９，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．．、ノズルｎ５０と、座標（９９，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）が含まれている。
【００３８】
この結果、１回目のスキャン移動、３回目のスキャン移動では、特定領域のうち、基板３０の領域以外の領域に含まれるドット位置に対応する噴射オン／オフ情報はオフであり、基板３０の領域に含まれるドット位置に対応する噴射オン／オフ情報はオンであるので、基板３０の領域以外の領域内の各ドット位置に、インク液滴が塗布されず、基板３０の領域内の各ドット位置には、インク液滴が塗布される。
【００３９】
また、２回目のスキャン移動では、特定領域は、基板３０の領域に相当し、その領域に含まれるドット位置に対応する噴射オン／オフ情報はオンであるので、基板３０の領域内の各ドット位置には、インク液滴が塗布される。
【００４０】
また、制御部１０において、インク噴射制御回路１００には、Ｙ方向移動モータの駆動により移動する基板保持テーブル２６の移動量を検出するためのＹ方向エンコーダからのパルス信号の数をカウントする、スタートカウンタ１０３、ドットカウンタ１０４、ノズルカウンタ１０５と、Ｘ方向移動モータの駆動により移動する基板保持テーブル２６の移動量を検出するためのＸ方向カウンタ（図示せず）と、θ方向エンコーダからのパルス信号をカウントするθ方向カウンタ（図示せず）とが接続されている。これらのカウンタは、インク噴射制御回路１００からのスタート信号によってカウント動作が開始される。ここで、Ｙ方向エンコーダ、Ｘ方向エンコーダは、例えば、基板保持テーブル２６が１μｍ移動するごとにパルス信号を出力する。また、θ方向エンコーダは、インクジェットヘッド４２がθ方向に１°回転するごとにパルス信号を出力する。
【００４１】
これにより、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１に、各モータに対して駆動信号を送出させた際に、各モータの駆動結果によって所定領域に対して相対的に移動するインクジェットヘッド４２の移動結果を各エンコーダからのパルス出力によって検出することができる。
【００４２】
スタートカウンタ１０３には、インクジェットヘッド４２がスキャン移動を開始する前の待機中において、ノズルｎ１から、スキャン移動が開始してからノズルｎ１が最初に到達するドット位置までの距離に対応するカウント値が設定されている。例えば、１、２，３回目のスキャン移動の場合、図８に示すように、インクジェットヘッド４２の待機位置は、ノズル１が、座標（０，０）、座標（２５，０）、座標（５０，０）で特定されるドット位置からＹ方向に距離Ａだけ離れた位置に設定されており、スタートカウンタ１０３においては、この距離Ａに対応するカウント値が設定されている。スタートカウンタ１０３は、インク噴射制御回路１００を通して入力されるスタート信号によりカウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントする。そして設定されているカウント値に達すると、ノズルｎ１が最初に到達するドット位置に到達したことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。
【００４３】
ドットカウンタ１０４は、各ノズルごとに対応して設けられている。ドットカウンタ１０４には、Ｙ方向におけるドット位置間の距離に対応するカウント値（例えば、図８に示す距離ｄに対応するカウント値）が設定される。ドットカウンタ１０４は、インク噴射制御回路１００を通して入力されるスタート信号によりカウント動作を開始し、所定領域に対してインクジェットヘッド４２が相対的に移動することに伴ってＹ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、このカウント結果が予め設定されているカウント値に達したとき、所定領域に対してインクジェットヘッド４２の位置がドット位置間隔の距離ｄ１だけＹ方向に進んだことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。また、ドットカウンタ１０４は、カウント結果が予め設定されているカウント値に達するごとに、カウント結果をクリアしてカウント動作を繰り返す。これにより図８に示すように、所定領域に対して、インクジェットヘッド４２がＹ方向へ相対的に移動することに伴って、Ｙ方向に隣接する各ドット位置を順次検出することができる。
【００４４】
ノズルカウンタ１０５においては、スキャン移動が開始してからあるノズルが最初に到達するドット位置に到達してから、そのノズルに隣接するノズルが、スキャン移動が開始してからあるノズルが最初に到達するドット位置に到達するまで、インクジェットヘッド４２が所定領域に対して相対的に移動する移動距離Ｂに対応するカウント値が設定されている。また、ノズルカウンタ１０５も、インク噴射制御回路１００を通して入力されるスタート信号によりカウント動作を開始する。図８に示すように、インクジェットヘッド４２をθ方向に回転させて、各ノズルのＸ方向のピッチｊ１をドット位置のＸ方向のピッチｊ２と一致させた場合、直線状に配列されたノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……は、Ｘ方向に対してある角度αだけ傾斜した状態となる。即ち、各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……のＹ方向の位置は、傾斜した分だけずれた状態となる。従って、この状態で、インクジェットヘッド４２をＹ方向に所定領域に対して相対的に移動させながら、各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……が、それぞれ対応するドット位置（スキャン移動が開始してから各ノズルが最初に到達するドット位置）に対向する位置に到達するためには、インクジェットヘッド４２の傾斜に応じた各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……のＹ方向のずれ量に対応するカウント値を設定しておき、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、カウントした値が、設定されたカウント値に到達するごとに、カウント結果をクリアしてカウント動作を繰り返す。これにより、各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……ごとの、上述した最初に到達するドット位置を検出するようになされている。
【００４５】
また、Ｘ方向カウンタには、ある回数目のスキャン移動の開始の前にインクジェットヘッド４２が待機するＸ方向における位置と、次の回数目のスキャン移動の開始の前にインクジェットヘッド４２が待機するＸ方向における位置との差に相当するカウント値が設定されている。Ｘ方向カウンタは、所定領域に対してインクジェットヘッド４２がＸ方向に相対的に移動することに伴ってＸ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、このカウント結果が予め設定されているカウント値に達したとき、所定領域に対してインクジェットヘッド４２の位置が、設定されたカウント値に対応する距離ＤだけＸ方向に進んだことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。またＸ方向カウンタは、カウント結果が予め設定されているカウント値に達するごとに、カウント結果をクリアしてカウント動作を繰り返すようになされている。
【００４６】
またθ方向カウンタは、インクジェットヘッド４２がＸ方向に対して傾斜する傾斜角度αに対応するカウント値が設定されている。θ方向カウンタは、インクジェットヘッド４２の回転に伴ってθ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、このカウント結果が予め設定されているカウント値に達したとき、傾斜角度αだけインクジェットヘッド４２が回転したことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。
【００４７】
また、インク噴射制御回路１００には、ノズル指定カウンタ（図示せず）と、スキャン回数カウンタ（図示せず）と、各ノズルにそれぞれ対応する移動回数カウンタ（図示せず）とが含まれている。ノズル指定カウンタとは、後述するステップ９０におけるノズル制御の対象となるノズルの数をカウントするものである。スキャン回数カウンタとは、スキャン移動の回数をカウントするものであり、初期値は１とする。各ノズルにそれぞれ対応する移動回数カウンタとは、所定領域に対して、各ノズルがＹ方向へ相対的に移動する場合に、各ノズルが通過したドット位置の数をカウントするものである。
【００４８】
インク噴射制御回路１００には、インクジェットヘッド４２の各ノズルの圧電素子に電圧を印加するためのノズル駆動回路１０６が接続されている。インク噴射制御回路１００は、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の所定のノズルの相対位置が、インク液滴を塗布する対象のドット位置に到達した際に、そのドット位置に対応した電圧波形データを読み出してノズル駆動回路１０６に出力する。ノズル駆動回路１０６は、電圧波形データに基づいて電圧を発生させて上記所定のノズルの圧電素子に印加する。これにより基板３０のインク塗布位置に移動されたインクジェットヘッド４２のノズルからインクを噴射させることができる。
【００４９】
また、インク噴射制御回路１００は、インクジェットヘッド４２が所定の回数目のスキャン移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、所定の回数に対応する噴射パターン情報を選択し、選択した噴射パターン情報に記録されている噴射情報に従って、インクジェットヘッド４２の全ノズル（例えば、ノズルｎ１からノズルｎ５０）の各々に、Ｙ方向に沿った複数のドット位置（例えば、図５に示すＹ方向に沿った１００個のドット位置）の各々に対して、インク液滴を噴射させて塗布させるか又は噴射させない機能を有する。
【００５０】
インク噴射制御回路１００が、インク液滴の噴射のためにノズル駆動回路に対して行う処理の具体的な説明の一例は以下の通りである。インクジェットヘッド４２が塗布領域Ｋ１に対して、１回目のスキャン移動を開始する場合、インク噴射制御回路１００は、メモリ１０２から、複数の噴射パターン情報のうち、スキャン移動回数１に対応する噴射パターン情報Ｐ１を選択して、読み出す。インク噴射制御回路１００は、１回目のスキャン移動により、インクジェットヘッド４２のノズルｎ１の位置が、座標（０，０）により特定されるドット位置に到達した際に、読み出した噴射パターン情報に含まれる噴射情報１−０に従ってノズルｎ１がインク液滴の噴射動作を行わないための情報をノズル駆動回路１０６に出力する。また、インク噴射制御回路１００は、１回目のスキャン移動により、インクジェットヘッド４２のノズルｎ５０の位置が、座標（４９，０）により特定されるドット位置に到達した際に、読み出した噴射パターン情報に含まれる噴射情報５０−０に従ってノズルｎ５０がインク液滴の噴射動作を行うための電圧波形情報をノズル駆動回路１０６に出力する。
【００５１】
また、インク噴射制御回路１００は、空打ち処理を実行するように指示する信号が送られると、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータ、Ｙ方向移動モータの駆動により、基板保持テーブル２６を、インクジェットヘッド４２と対向しない位置に退避させる。空打ち処理とは、インクジェットヘッド４２のノズルの各々からインク液滴を噴射させて塗布対象である基板３０に対する塗布処理が行われていない期間において、塗布対象とは別の領域（本実施形態では空打ち用のケース）に向かって、各ノズルからインク液滴を噴射させ続ける処理のことである。
【００５２】
そして、空打ち用のケース（図示せず）を、インクジェットヘッド４２と対向する位置に移動させる。そして、インク噴射制御回路１００は、ノズル駆動回路１０６を介して、インクジェットヘッド４２の全ノズルに、インク液滴を空打ち用ケースに噴射させる（空打ち処理）。その後、インク噴射制御回路１００は、空打ち用ケースを、空打ち処理が行われる前の位置に退避させる。なお、空打ち用のケースの存在が塗布対象に対する塗布処理に影響を与えない場合には、空打ち用のケースを進退させる機構は不要である。
【００５３】
（インクジェット塗布方法）
次に、上述のインクジェット塗布装置を用いたインクジェット塗布方法について説明する。ここでは、一例として、図５に示すようなドット位置が配置された所定領域に対して、インクジェットヘッド４２が相対的に移動する場合を考える。また、インクジェットヘッド４２のノズルは、上述したようなノズルｎ１、ノズルｎ２、．．．．ノズルｎ５０であるとする。そして、インクジェットヘッド４２が、塗布領域Ｋ１に対して、１回目のスキャン移動を行い、塗布領域Ｋ２に対して、２回目のスキャン移動を行い、塗布領域Ｋ３に対して、３回目のスキャン移動を行う場合を考える。
【００５４】
また、ここでは、１つのインクジェットヘッド４２（例えば、Ｒ（赤）用のインク液滴を噴射するインクジェットヘッド４２）の塗布方法の説明を例にして、行うが、他の２つのインクジェットヘッド４２（例えば、Ｇ（青）用のインク液滴を噴射するインクジェットヘッド４２、Ｂ（青）用のインク液滴を噴射するインクジェットヘッド４２）を用いたインク液滴の塗布方法も、同様にして行われる。
【００５５】
先ず、作業者が、各スキャン移動の回数に対応する噴射パターン情報に必要な情報を図示しない情報入力部を用いて入力すると、インク噴射制御回路１００に送られ、インク噴射制御回路１００は、各スキャン移動の回数ごとの噴射パターン情報を生成し、メモリ１０２に記憶させる。
【００５６】
次に、基板３０にインク液滴を塗布する方法について、図９，１０に示すフローチャート図を用いて説明する。
【００５７】
ステップ１０では、インク噴射制御回路１００は、空打ち処理を行う。具体的には、作業者が、空打ち処理の実行のための所定の操作ボタン（インクジェット塗布装置に設けられている操作ボタン、図示せず）を操作することにより、操作信号がインク噴射制御回路１００に送られる。インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、基板保持テーブル２６を、インクジェットヘッド４２と対向しない位置に退避させるとともに、空打ち用のケース（図示せず）を、インクジェットヘッド４２と対向する位置に移動させる。そして、インク噴射制御回路１００は、ノズル駆動回路１０６を介して、インクジェットヘッド４２の全ノズルに、インク液滴を空打ち用ケースに噴射させる（空打ち処理）。これにより、インクジェットヘッド４２の各ノズルにおいて空打ちが行われて強制的にインクが噴射され、これらのノズルの詰まり等の防止が可能となる。その後、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、空打ち用ケースを、空打ち処理が行われる前の位置に退避させる。
【００５８】
ステップ２０では、インク噴射制御回路１００は、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の相対位置を初期位置に設定する。具体的には、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動、Ｙ方向移動モータの駆動、θ方向移動モータの駆動により、図８に示すように、インクジェットヘッド４２をＸ方向に対して角度αだけ傾斜させるとともに、インクジェットヘッド４２のノズルｎ１と、座標（０，０）により特定されるドット位置との間の距離が距離Ａ離間するような位置に、インクジェットヘッド４２を配置させる。これにより、インクジェットヘッド４２が所定領域に対して、Ｘ方向に相対的に移動すると、塗布領域Ｋ１に対して、１回目のスキャン移動を行うことになる。
【００５９】
ステップ２５では、インク噴射制御回路１００は、メモリ１０２にアクセスして、複数の噴射パターン情報Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３のうち、スキャン回数カウンタの値１（１回目のスキャン移動）に対応する噴射パターン情報Ｐ１を選択して読み出し、設定する。
【００６０】
ステップ３０では、インク噴射制御回路１００は、スタートカウンタ１０３によるカウント動作を開始させるとともに、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動によりインクジェットヘッド４２を所定領域に対してＹ方向に相対的に移動させることを開始する。なお、この移動は、後述のステップ１２０まで継続して行われる。スタートカウンタ１０３は、上述したように、距離Ａに対応するカウント値が設定されており、インク噴射制御回路１００を介して入力されるスタート信号により、カウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルス数をカウントする。
【００６１】
ステップ４０では、インク噴射制御回路１００は、スタートカウンタ１０３のカウント動作によるカウント値が、距離Ａに対応するカウント値に達したか否かを判定し、距離Ａに対応するカウント値に達した場合には、ステップ５０の処理が行われ、距離Ａに対応するカウント値に達していない場合には、ステップ３０の処理が繰り返される。
【００６２】
ステップ５０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値が全ノズル数（ここでは、５０）に対応するカウント値に達したか否かを判定し、全ノズル数に対応するカウント値に達した場合には、ステップ１００の処理が行われ、全ノズル数に対応するカウント値に達してない場合には、ステップ５５の処理が行われる。
【００６３】
ステップ５５では、インク噴射制御回路１００は、スキャン回数カウンタのカウント値が２以上であるか否かを判定し、２以上である場合には、ステップ５７の処理を行い、１である場合には、ステップ６０の処理を行う。
【００６４】
ステップ５７では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動によりインクジェットヘッド４２を所定領域に対してＹ方向に相対的に移動させることを開始する。なお、この移動は、後述のステップ１２０まで継続して行われる。
【００６５】
ステップ６０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値に１を加算する。その後、ステップ７０の処理を行うとともに、ステップ９０の処理も並行して行う。
【００６６】
ステップ７０では、インク噴射制御回路１００は、ノズルカウンタ１０５によるカウント動作を開始させる。ノズルカウンタ１０５には、上述したように、移動距離Ｂに対応するカウント値が設定されている。ノズルカウンタ１０５は、インク噴射制御回路１００を介して入力されるスタート信号により、カウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントする。
【００６７】
ステップ８０では、インク噴射制御回路１００は、ノズルカウンタ１０５のカウント動作によるカウント値が、移動距離Ｂに対応するカウント値に達したか否かを判定し、移動距離Ｂに対応するカウント値に達した場合には、ステップ８５で、ノズルカウンタのカウント値がリセットされた後、ステップ５０の処理に戻り、移動距離Ｂに対応するカウント値に達していない場合には、ステップ７０の処理が繰り返される。
【００６８】
ステップ９０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値がノズル番号であるようなノズルの制御処理（以下、ノズル制御処理）を行う。このノズル制御処理は、ステップ６０で、ノズル指定カウンタのカウント値が新たな値となるごとに、行われる。即ち、インクジェットヘッド４２の全ノズルに対して、ノズル制御処理が行われる。このノズル制御処理の詳細な説明を図１０に示すフローチャート図を用いて説明する。
【００６９】
ステップ９０−１では、インク噴射制御回路１００は、ステップ６０で設定されたノズル指定カウンタのカウント値（即ち、ノズル番号）に対応するドットカウンタ１０４によるカウント動作を開始させる。各ドットカウンタ１０４には、Ｙ方向におけるドット位置間の距離ｄに対応するカウント値が設定されている。各ドットカウンタ１０４は、インク噴射制御回路１００を介して入力されるスタート信号により、カウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルス数をカウントする。
【００７０】
ステップ９０−２では、インク噴射制御回路１００は、ドットカウンタ１０４のカウント動作によるカウント値が、距離ｄに対応するカウント値に達したか否かを判定し、距離ｄに対応するカウント値に達した場合には、ステップ９０−３の処理が行われ、距離ｄに対応するカウント値に達していない場合には、ステップ９０−２の処理が繰り返される。
【００７１】
ステップ９０−３では、インク噴射制御回路１００は、移動回数カウンタのカウント値に１を加算する。
【００７２】
ステップ９０−４では、インク噴射制御回路１００は、現在設定されている噴射パターン情報を参照して、移動回数カウンタのカウント値から１を引いた値をＹ座標とし、ノズル指定カウンタのカウント値から１を引いた値をＸ座標とした場合における（Ｘ座標、Ｙ座標）により特定されるドット位置と、ノズル制御の対象であるノズルとに対応する噴射情報を取得する。そして、インク噴射制御回路１００は、取得した噴射情報に従って、ノズル制御の対象であるノズルが、上記ドット位置に対して、インク液滴を噴射して塗布するための情報、又は、インク液滴を噴射しないための情報を、ノズル駆動回路１０６に出力する。これにより、これにより、ノズル駆動回路１０６からの信号により、上記ノズルに対応する圧電素子が駆動され、上記ノズルからインク液滴が上記ドット位置に噴射され塗布されるか、又は、ノズル駆動回路１０６からの信号により、上記ノズルに対応する圧電素子が駆動されず、上記ノズルからインク液滴が上記ドット位置に噴射されないことになる。
【００７３】
ステップ９０−５では、インク噴射制御回路１００は、移動回数カウンタのカウント値が、所定領域内のＹ方向における総ドット位置の数（ここでは、１００）に達したか否かを判定し、上記Ｙ方向における総ドット位置の数に達した場合には、ステップ９０−６で、移動回数カウンタのカウント値がリセット（０にリセット）された後、本ノズル制御処理が終了し、達していない場合には、再度、ステップ９０−１の処理以降の処理が行われる。
【００７４】
ステップ１００では、インク噴射制御回路１００は、全ノズルに対応するノズル制御処理が終了したか否かを判定し、終了していない場合には、ノズル制御処理が終了していないノズルについてステップ９０の処理を行い、終了した場合には、ステップ１１０の処理が行われる。
【００７５】
ステップ１１０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値を０にリセットする。
【００７６】
ステップ１２０では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動によるインクジェットヘッド４２のＹ方向への相対的な移動を停止させる。
【００７７】
ステップ１３０では、インクジェット噴射制御回路は、スキャン回数カウンタのカウント値に１を加算する。
【００７８】
ステップ１４０では、インク噴射制御回路１００は、スキャン回数カウンタの値が、総スキャン移動回数（ここでは、３）に達したか否かを判定し、総スキャン移動回数に達した場合には、ステップ１４５の処理が行われ、総スキャン回数に達しない場合には、ステップ１６０の処理が行われる。
【００７９】
ステップ１４５では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータ、Ｙ方向移動モータの駆動により、インクジェットヘッド４２の相対位置を、初期設定位置（ステップ１０が行われる前の初期位置）に戻す。
【００８０】
ステップ１５０では、インク噴射制御回路１００は、スキャン回数カウンタのカウント値を１にリセットし、インクジェット塗布処理を終了する。
【００８１】
ステップ１６０では、インクジェット噴射制御回路は、メモリ１０２にアクセスして、複数の噴射パターン情報Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３のうち、スキャン回数カウンタの値（２回目のスキャン移動又は３回目のスキャン移動）に対応する噴射パターン情報を選択して読み出し、既に設定している噴射パターン情報に代えて、新たに読み出した噴射パターン情報を設定する。
【００８２】
ステップ１７０では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動により、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の相対位置を、今回のスキャン移動を開始する前に、インクジェットヘッド４２が待機していた位置（例えば、１回目のスキャン移動が終了した場合には、ステップ２０における初期位置）に、戻す。
【００８３】
具体的には、インク噴射制御回路１００は、Ｘ方向移動モータの駆動により、１回目のスキャン移動終了の場合には座標（０，０）により特定されるドット位置とインクジェットヘッド４２のノズルｎ１との間の距離が距離Ａ離間するような位置に、２回目のスキャン移動終了の場合には座標（２５，０）により特定されるドット位置とインクジェットヘッド４２のノズルｎ１との間の距離が距離Ａ離間するような位置に、インクジェットヘッド４２を所定領域に対して相対的に配置させる。
【００８４】
そして、ステップ１８０では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動により、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の相対位置を、Ｘ方向に距離Ｄだけ進ませる。具体的には、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動を開始させる。そして、Ｘ方向カウンタは、所定領域に対してインクジェットヘッド４２がＸ方向に相対的に移動することに伴ってＸ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、設定値に達したとき、所定領域に対してインクジェットヘッド４２の位置が、設定されたカウント値に対応する距離ＤだけＸ方向に進んだことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動を停止させる。なお、ステップ１７０の処理、ステップ１８０の処理は、動作方向を独立させて、同時に実施されるようにしてもよい。また、あるスキャン移動の終了から、次のスキャン移動の開始までの間におけるインクジェットヘッド４２の移動の仕方は、上述の移動の仕方に限定されず、他の移動の仕方であってもよい。
【００８５】
そして、ステップ３０以降の処理が行われることにより、以下のような処理が行われることになる。インクジェットヘッド４２が塗布領域Ｋ２に対して、２回目のスキャン移動を行うことになり、ノズルｎ１からノズルｎ５０が、基板３０上の各ドット位置を対向しながら通過して、基板３０上の各ドット位置に対して、インク液滴を噴射して塗布することになる。また、インクジェットヘッド４２が塗布領域Ｋ３に対して、３回目のスキャン移動を行うことになり、ノズルｎ１からノズルｎ２５が、基板３０上の各ドット位置を対向しながら通過して、基板３０上の各ドット位置に対して、インク液滴を噴射して塗布することになる。
【００８６】
なお、上述した特定領域（特定領域Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３）、スキャン移動の回数（３）、各噴射情報の設定は、上述の場合に限られず、種々に設定することができる。また、本実施形態のインクジェットヘッド４２は、３つのヘッドに限定されず、複数のヘッドであればよい。また、上述したスキャン移動の方法は、一例であり、他の方法で行われてもよい。例えば、１回目のスキャン移動が終了した時点で、そのまま、インクジェットヘッド４２はＸ方向に相対的に移動し、その後、インクジェットヘッド４２がＸ方向（１回目のスキャン移動の方向とは逆方向）への２回目のスキャン移動を開始するようにしてもよい。また、本実施形態のインクジェット塗布方法により、基板３０上における塗布対象の各ドット位置に、異なる２つのノズルで、それぞれインク液滴を２回塗布させるようにしたが、これに限定されず、基板３０上における塗布対象の各ドット位置に、異なる複数（２以上）のノズルで、それぞれインク液滴を複数回（２回以上）塗布させることができる。
【００８７】
（作用効果）
以上説明した本実施形態のインクジェット塗布方法によれば、従来技術のように、塗布対象領域（基板３０上の領域）上の塗布対象位置（インク塗布対象のドット位置）だけに対応する噴射情報が記録された噴射パターン情報を記憶するのではなく、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々と、基板３０の領域を含む所定領域のＹ方向における複数のドット位置の各々と、の組合せに対応づけられた噴射情報が記録されている噴射パターン情報を、スキャン移動の回数ごとに、記憶することができる。
【００８８】
そして、インクジェットヘッド４２が各回数目のスキャン移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、各回数に対応する噴射パターン情報を選択し、選択した噴射パターン情報に記録されている噴射情報に従って、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々に、上記Ｙ方向における複数のドット位置の各々に対して、インク液滴を噴射させて塗布させるか又は噴射させないようにしている。
【００８９】
このため、スキャン移動の回数ごとに、特定領域を塗布対象領域に限らず所定領域内で様々に設定することができ、上記組合せに対して、噴射情報を様々に設定することができる。これにより、基板３０に対するインク液滴を塗布する方式として、例えば、基板３０上における同じ塗布対象位置に、異なる複数のノズルで、それぞれインク液滴を複数回塗布させるような複雑な塗布方式を行わせたい場合、各スキャン移動に対応する特定領域の設定と、上記組合せに対応する噴射情報の設定とを適切に行う（例えば、本実施形態のように設定する）ことにより、実現が可能となる。
【００９０】
従って、本実施形態によれば、塗布対象である基板３０にインク液滴を塗布する方式の自由度が高くなるインクジェット塗布方法を提供することができる。
【００９１】
また、本実施形態によれば、基板３０上における各ドット位置に、異なる複数のノズルで、複数回インク液滴を塗布させることが可能となるので、基板３０上でインクのにじみが生じないような場合でも、基板３０上で、インクが広がっているように視認されるので、各ノズルによるインク塗布位置の誤差があっても、誤差がないように視認されることが可能となる。これにより、ノズルの製造のばらつきによるインク塗布位置の誤差のために、表示装置の画像表示性能が低下してしまうことが回避される。
【００９２】
（変更例）
なお、２回目以降の所定回数目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報の選択は、上記所定回数の前の回数のスキャン移動が行われている間に、行われるようにしてもよい。即ち、上述の実施形態では、インクジェットヘッド４２がスキャン移動を終了するごとに、インクジェットヘッド４２のスキャン移動が停止され（ステップ１２０）、その停止中に、メモリ１０２からスキャン移動回数に対応する噴射パターン情報が選択され設定されていたが（ステップ１６０）、本変更例では、インクジェットヘッド４２がスキャン移動を行っている間に、メモリ１０２から次のスキャン移動回数に対応する噴射パターン情報が選択され、インクジェットヘッド４２がスキャン移動を終了した際に、選択した噴射パターン情報が新たに設定される。
【００９３】
具体的には、例えば、図９に示すフローチャート図において、ステップ１６０の処理は行われない。そして、ステップ５０からステップ１００までの処理の間のいずれかの処理で、現在行われているスキャン移動の次のスキャン移動に対応する噴射パターン情報の選択が行われ、ステップ１７０の前の処理で、選択した噴射パターン情報の設定が行われる。
【００９４】
このような本変更例によれば、インクジェットヘッド４２によるスキャン移動の停止中に、噴射パターン情報の選択が行なわれず、インクジェットヘッド４２のスキャン移動中に噴射パターン情報の選択が行われるので、インクジェットヘッド４２の停止時間を必要以上に長くする必要がなく、例えば、スキャン移動回数が非常に多い場合における停止時間のためのタイムロスを少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本実施形態のインクジェット塗布装置を示す斜視図である。
【図２】本実施形態のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。
【図３】本実施形態のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。
【図４】本実施形態の制御部の構成を示すブロック図である。
【図５】本実施形態の噴射パターン情報を説明するための補足図である。
【図６】本実施形態の噴射パターン情報を説明するための補足図である。
【図７】本実施形態の噴射パターン情報を説明するための補足図である。
【図８】本実施形態のインクジェットヘッドのスキャン移動前における配置を説明するための補足図である。
【図９】本実施形態のインクジェット塗布方法を説明するためのフローチャート図である。
【図１０】本実施形態のインクジェット塗布方法のうち、ノズル制御処理を説明するためのフローチャート図である。
【符号の説明】
【００９６】
１…インクジェット塗布装置、２…架台、３…インク塗布ボックス、４…インク補給ボックス、１…インクジェット塗布装置、１０…制御部、３０…基板、４０…インクジェットヘッドユニット、４２…インクジェットヘッド４２、４８…ノズル面、４９…フレームカバー、５０…ノズル、１００…インク噴射制御回路、１０１…モータ駆動回路、１０２…メモリ、１０３…スタートカウンタ、１０４…ドットカウンタ、１０５…ノズルカウンタ、１０６…ノズル駆動回路。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を噴射するためのノズルを複数有するインクジェットヘッドを塗布対象に対して相対移動させながら、前記塗布対象に各ノズルから前記液滴を噴射させて塗布するインクジェット塗布方法であって、
前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、前記相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた前記液滴の噴射に関する情報が記録されている噴射パターン情報を、前記相対移動ごとに、記憶する記憶工程と、
前記インクジェットヘッドが前記相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、前記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択する選択工程と、
前記インクジェットヘッドが前記相対移動を行う場合、前記選択工程で選択された噴射パターン情報に記録されている前記液滴の噴射に関する情報に従って、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、前記複数の位置の各々に対して、前記液滴を噴射させて塗布させるか又は前記液滴を噴射させない塗布工程とを有することを特徴とするインクジェット塗布方法。
【請求項２】
液滴を噴射するためのノズルを複数有するインクジェットヘッドを塗布対象に対して相対移動させながら、前記塗布対象に各ノズルから前記液滴を噴射させて塗布するインクジェット塗布装置であって、
前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、前記相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた前記液滴の噴射に関する情報が記録されている噴射パターン情報を、前記相対移動ごとに、記憶する記憶部と、
前記インクジェットヘッドが前記相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、前記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択し、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を行う場合、選択された噴射パターン情報に記録されている前記液滴の噴射に関する情報に従って、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、前記複数の位置の各々に対して、前記液滴を噴射させて塗布させるか又は前記液滴を噴射させない制御部を有することを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項１】
液滴を噴射するためのノズルを複数有するインクジェットヘッドを塗布対象に対して相対移動させながら、前記塗布対象に各ノズルから前記液滴を噴射させて塗布するインクジェット塗布方法であって、
前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、前記相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた前記液滴の噴射に関する情報が記録されている噴射パターン情報を、前記相対移動ごとに、記憶する記憶工程と、
前記インクジェットヘッドが前記相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、前記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択する選択工程と、
前記インクジェットヘッドが前記相対移動を行う場合、前記選択工程で選択された噴射パターン情報に記録されている前記液滴の噴射に関する情報に従って、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、前記複数の位置の各々に対して、前記液滴を噴射させて塗布させるか又は前記液滴を噴射させない塗布工程とを有することを特徴とするインクジェット塗布方法。
【請求項２】
液滴を噴射するためのノズルを複数有するインクジェットヘッドを塗布対象に対して相対移動させながら、前記塗布対象に各ノズルから前記液滴を噴射させて塗布するインクジェット塗布装置であって、
前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々と、前記相対移動の幅に含まれる複数の位置の各々との組合せに対応づけられた前記液滴の噴射に関する情報が記録されている噴射パターン情報を、前記相対移動ごとに、記憶する記憶部と、
前記インクジェットヘッドが前記相対移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、前記相対移動に対応する噴射パターン情報を選択し、前記インクジェットヘッドが前記相対移動を行う場合、選択された噴射パターン情報に記録されている前記液滴の噴射に関する情報に従って、前記インクジェットヘッドの全ノズルの各々に、前記複数の位置の各々に対して、前記液滴を噴射させて塗布させるか又は前記液滴を噴射させない制御部を有することを特徴とするインクジェット塗布装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００６−１５９０３７（Ｐ２００６−１５９０３７Ａ）
【公開日】平成１８年６月２２日（２００６．６．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−３５１８６５（Ｐ２００４−３５１８６５）
【出願日】平成１６年１２月３日（２００４．１２．３）
【出願人】（０００００３０７８）株式会社東芝 (54,554)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年６月２２日（２００６．６．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年１２月３日（２００４．１２．３）
【出願人】（０００００３０７８）株式会社東芝 (54,554)
【Ｆターム（参考）】
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