ダミーフレーム及び樹脂モールド方法
【課題】実際の半導体実装基板を用いることなく、半導体チップの封止樹脂を高精度に評価可能なダミーフレームを提供する。
【解決手段】ダミーフレーム110は、少なくとも一つの半導体チップを実装した半導体実装基板のモールド樹脂を評価するために用いられるダミーフレームであって、半導体実装基板を模した平面状の金属板100と、金属板100の上に半導体チップを模して搭載された少なくとも一つの凸部120とを有する。
【解決手段】ダミーフレーム110は、少なくとも一つの半導体チップを実装した半導体実装基板のモールド樹脂を評価するために用いられるダミーフレームであって、半導体実装基板を模した平面状の金属板100と、金属板100の上に半導体チップを模して搭載された少なくとも一つの凸部120とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、複数の半導体チップを実装した半導体実装基板の封止樹脂を評価するために用いられるダミーフレーム、及び、そのダミーフレームを用いた樹脂モールド方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体実装基板に対して樹脂モールドを行う際には、使用される金型、及び、樹脂の材料や圧力などの諸条件を評価して調整する必要がある。従来、樹脂モールドの評価及び調整を行う場合、実際に半導体チップをワイヤボンディング又はフリップチップで実装した半導体実装基板を用いていた。
【0003】
一方、特許文献1には、1ショット成形分のリードフレームの不足部にダミーフレームを供給して樹脂モールドを行い、樹脂モールドされた成形品をリードフレームとダミーフレームに分けて収納するダミーフレームの供給収納機構を備えた樹脂モールド装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開平09−155916号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、実際に半導体チップが半導体実装基板を用いて樹脂モールドの評価及び調整を行おうとすると、樹脂モールドの評価開始時という早い段階から実際の半導体実装基板を用意する必要がある。一方、半導体チップが実装されていない基板を用いて樹脂モールドの評価を行うと、半導体チップが実装された半導体実装基板とはその対象が異なるため、樹脂モールドの正確な評価が困難となる。
【0006】
そこで本発明は、実際の半導体実装基板を用いることなく、半導体チップの封止樹脂を高精度に評価可能なダミーフレーム及びそのダミーフレームを用いた樹脂モールド方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一側面としてのダミーフレームは、少なくとも1つの半導体チップを実装した半導体実装基板の封止樹脂を評価するために用いられるダミーフレームであって、前記半導体実装基板を模した平面状の金属板と、前記金属板の上に前記半導体チップを模して搭載された少なくとも1つの凸部とを有する。
【0008】
本発明の他の側面としての樹脂モールド方法は、ダミーフレームを用いた半導体実装基板の樹脂モールド方法であって、前記ダミーフレームを用いて樹脂モールドを行う工程と、前記ダミーフレームを用いた前記樹脂モールドの結果を評価する工程と、前記ダミーフレームを用いて得られた前記樹脂モールドの評価結果に基づいて、実際の半導体チップを実装した半導体実装基板に対して樹脂モールドを行う工程とを有する。
【0009】
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、実際の半導体実装基板を用いることなく、半導体チップの封止樹脂を高精度に評価可能なダミーフレーム及びそのダミーフレームを用いた樹脂モールド方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】実施例1における半導体実装基板の概略構成図である。
【図2】実施例1における樹脂モールドされた半導体実装基板の概略構成図である。
【図3】実施例1におけるダミーフレームの概略平面図である。
【図4】実施例1におけるダミーフレームの概略断面図である。
【図5】実施例1において、ダミーフレームを設置する前の状態における金型の概略断面図である。
【図6】実施例1において、下型ライナーを用いてダミーフレームを設置した状態における金型の概略断面図である。
【図7】実施例1において、下型ライナーを用いずにダミーフレームを設置した状態における金型の概略断面図である。
【図8】実施例1において、ダミーフレームをクランプした状態における金型の概略断面図である。
【図9】実施例1における上金型の概略構成図である。
【図10】実施例1における下金型の概略構成図である。
【図11】実施例1において、図9の上金型及び図10の下金型を用いた樹脂モールド方法の概略構成図である。
【図12】実施例1における上金型の概略構成図である。
【図13】実施例1における下金型の概略構成図である。
【図14】実施例1における樹脂モールド方法のフローチャートである。
【図15】実施例2におけるダミーフレームの概略平面図である。
【図16】実施例2における半導体実装基板から半導体装置までの工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【実施例1】
【0013】
まず、図1を参照して、本発明の実施例1におけるダミーフレーム及び樹脂モールド方法の対象となる半導体実装基板について説明する。図1は、本実施例における半導体実装基板の概略構成図である。図1(a)は平面図、図1(b)は断面図、図1(c)は他の形態の半導体実装基板の断面図である。図1(b)、(c)はそれぞれ、図1(a)中のI−I切断面に相当する。
【0014】
図1(a)に示されるように、半導体実装基板11において、基板10は、例えば縦70mm、横240mmの長方形の形状を有する。基板10の上には、複数の半導体チップ12(本実施例では縦3個、横11個の半導体チップ)が格子状に配列されている。なお、本実施例では複数の半導体チップが搭載されているが、本実施例はこれに限定されるものではなく、少なくとも一つの半導体チップが実装されている半導体実装基板に対して適用可能である。また、基板10の四隅にはパイロット孔14が形成されている。図1(b)に示されるように、基板10とその上に実装されている複数の半導体チップ12のそれぞれとの間は、金ワイヤなどのワイヤ16を用いて電気的に接続されている。図1(c)に示されるように、他の形態の半導体実装基板11aでは、複数の半導体チップ12がフリップチップで基板10の上に実装され、導電性接着剤17を用いて基板10との間で電気的に接続されている。
【0015】
次に、図2を参照して、樹脂モールドされた半導体実装基板について説明する。図2は、本実施例における樹脂モールドされた半導体実装基板の概略構成図である。図2(a)は平面図であり、図2(b)〜(g)はそれぞれ異なる形態を示す断面図である。図2(b)〜(g)はそれぞれ、図2(a)中のII−II切断面に相当する。
【0016】
図2(a)に示されるように、半導体実装基板11は、複数の半導体チップ12の全てを覆うように樹脂20によりモールドされる。図2(b)の形態では、ワイヤ16で接続された複数の半導体チップ12が基板10に実装され、樹脂20bは半導体チップ12の全てを覆うように基板10上にモールドされる。図2(c)の形態では、図2(b)と同様に、樹脂20cは基板10の一方の面(上面)に配列された半導体チップ12の全てを覆うように基板10上にモールドされる。更に、樹脂20cは基板10の他方の面(下面)にもモールドされている。図2(d)の形態では、ワイヤ16で接続された複数の半導体チップ12のそれぞれの上に放熱板15が配置されている。樹脂20aは、半導体チップ12を覆って放熱板15の上部が露出するように、基板10上にモールドされる。
【0017】
図2(e)の形態では、複数の半導体チップ12がフリップチップで基板10上に導電性接着剤17を介して実装されている。樹脂20eは、複数の半導体チップ12の全てを覆うように基板10上にモールドされている。図2(f)の形態では、図2(e)と同様に、複数の半導体チップ12がフリップチップで実装されている。ただし図2(e)とは異なり、樹脂20fは、実装された半導体チップ12の上面(基板実装面とは反対側の面)が露出するように基板10上にモールドされている。図2(g)の形態では、フリップチップで実装された複数の半導体チップ12のそれぞれの上に放熱板15が配置されている。樹脂20gは、半導体チップ12を覆って放熱板15の上部が露出するように、基板10上にモールドされる。
【0018】
次に、図3及び図4を参照して、本実施例におけるダミーフレームについて説明する。図3は、本実施例におけるダミーフレームの概略平面図であり、図4はダミーフレームの概略断面図であり、図3(a)中のIV−IV切断面に相当する。ダミーフレーム110は、複数の半導体チップを実装した半導体実装基板のモールド樹脂を評価するために用いられる。
【0019】
図3(a)に示されるように、ダミーフレーム110は、半導体実装基板を模した平面状の金属板100を備える。金属板100は、実際の半導体実装基板と同様の大きさを有する。例えば、縦70mm、横240mmの大きさを有する半導体実装基板を模したダミーフレームとして用いる場合には、このダミーフレームは、縦70mm、横240mmの大きさとして作製される。また、金属板100は例えばSLD材質から構成され、その表面にはクロムめっきが施されている。金属板100の表面上には、半導体チップを模した(擬似チップ形状の)少なくとも一つの凸部120が格子状に配列(搭載)されている。本実施例において、金属板100の上には縦3個、横11個の凸部120が設けられているが、これに限定されるものではない。模倣の対象となる半導体実装基板に実装される半導体チップの個数に応じて、他の個数の凸部を設けることができる。また、ダミーフレーム110の四隅のそれぞれには、パイロット孔を模した孔部140が形成されている。
【0020】
図3(b)は、他の実施形態におけるダミーフレーム110aの平面図を示している。ダミーフレーム110aは、金属板100aの端部近傍の一辺に凹部180が形成されている点で、図3(a)に示されるダミーフレーム110とは異なる。凹部180は、オーバーフローキャビティとして設けられている。図3(b)において、二つの凹部180が金属板100aの下端の近傍に形成されているが、これに限定されるものではなく、一つの凹部180として形成してもよい。また、右端や左端の短辺にも同様の凹部180を形成することもできる。
【0021】
ダミーフレーム110の厚さは、金型や対象とする半導体実装基板に応じて、種々のものを選択することが可能である。例えば、樹脂モールドの際に、金型における下型ライナーを外さずにダミーフレームを使用する場合、図4(a)に示されるように、例えば0.1〜0.3mm程度の厚さd1を有する金属板100bが用いられる。一方、樹脂モールドの際に、下型ライナーを外してダミーフレームを使用する場合、図4(b)に示されるように、例えば3.1〜3.3mm程度の厚さd2を有する金属板100cが用いられる。ダミーフレームの金属板は、薄くなると金属板に反りが発生しやすく、結果として割れやすくなる。このため、耐性を考慮すると、金属板はできるだけ厚くすることが好ましい。ただし、通常の金型で使用可能に構成するため、金属板は、下型ライナーを外して使用する場合には、例えば2〜15mm程度の厚さに設定される。
【0022】
図4(c)は、金属板100の上に形成された一つの凸部120aの拡大図である。図4(c)に示されるように、凸部120aの側面の傾斜方向と金属板100の平面に直交方向とがなす角度αは10°に設定される。ただし本実施例はこれに限定されるものではなく、樹脂や半導体チップの種類に応じて、角度αを10°以外の角度に設定してもよい。
【0023】
次に、図5乃至図14を参照して、本実施例のダミーフレーム(及び、半導体実装基板)の樹脂モールド時に用いられる金型について説明する。図5は、ダミーフレームを設置する前の金型の概略断面図である。図6は、下型ライナーを用いてダミーフレームを設置した状態における金型の概略断面図である。図7は、下型ライナーを用いずにダミーフレームを設置した状態における金型の概略断面図である。図8は、ダミーフレームをクランプした状態における金型の概略断面図である。
【0024】
図5乃至図8に示されるように、本実施例において、金型は上金型50と下金型60を備えて構成される。上金型50は、センターブロック51とキャビティブロック52を有する。センターブロック51には、カル54とランナ55の一部が形成されている。キャビティブロック52には、ランナ55の一部、ゲート56、及び、キャビティ53が形成されている。キャビティ53は、トランスファモールドにより樹脂モールドされ、ダミーフレームの金属板100を封止する樹脂の形状を決定する。
【0025】
下金型60は、チェイスブロック62、及び、チェイスブロック62の上に配置された下センターブロック61を備える。一つの実施形態として、下金型60は、図6に示されるようにチェイスブロック62の上に配置された下型ライナー63、及び、下型ライナー63の上に配置された下キャビティブロック64を備える。凸部120を備えたダミーフレーム110の金属板100bは、下キャビティブロック64の上に配置される。他の実施形態として、下金型60は、図7に示されるようにチェイスブロック62の上に直接配置された下キャビティブロック64を備える。ダミーフレーム110の金属板100cは、下キャビティブロック64の上に配置される。図7に示される実施形態では、下型ライナー63を使用せずにダミーフレームの樹脂モールドが行われる。なお、下型ライナー63は、本実施例では3mmの厚さを有するが、これに限定されるものではない。このように本実施例の金型は、上金型50と下金型60とを主体として構成されている。樹脂モールド時には、図8に示されるように、上金型50と下金型60とでダミーフレーム(金属板100b、100c)をクランプし(挟み)、キャビティ53の内部に樹脂が充填される。
【0026】
70は、熱硬化性樹脂等をタブレット(円柱)状に成形した樹脂タブレットである。樹脂モールド時には、図5乃至図8に示されるように、予熱された下金型60のポット66内に樹脂タブレット70を投入して、溶融させる。そして、プランジャ68を上動させて溶融した樹脂を圧送することにより、上金型50と下金型60との間が樹脂で充填される。プランジャ68は、トランスファ機構(不図示)によってポット66に沿って上下に摺動可能に構成されている。なお、樹脂タブレット70に代えて液状の熱硬化性樹脂をディスペンサ(不図示)で供給することができ、また、顆粒樹脂をポットに投入することもできる。プランジャ68によって樹脂が圧送されることにより、溶融した樹脂は、カル54、ランナ55、及び、ゲート56を介してキャビティ53へ供給され、キャビティ53の内部が樹脂で充填される。
【0027】
次に、図9乃至図11を参照して、本実施例で用いられる金型の平面と断面図について説明する。本実施形態では、ボイドがキャビティ内に溜まりやすい等の何らかの問題が発生した場合や、発生する可能性が予測される場合に、オーバーフローキャビティとしての凹部を備えた上金型を加工製作する前に、オーバーフローキャビティを掘り込んだダミーフレームを製作する。そして、実験的に試し打ちを行い、結果が良好になることを確認した後、上金型にオーバーフローキャビティ凹部を加工する。
【0028】
図9は、本実施例における上金型50aの概略構成図であり、図9(a)は上金型50aの平面図、図9(b)は図9(a)のB−B切断面における断面図を示す。上金型50aには、キャビティ凹部が加工されており、上金型50aの右半分は長辺に短辺を含むゲート流入辺以外の3箇所が加工され、左半分は長辺のみ加工した場合を示す。また図10は、ダミーフレームを搭載した状態の下金型60の概略構成図であり、図10(a)は下金型60の平面図、図10(b)は図10(a)のB−B切断面における断面図を示す。また図11は、図9の上金型及び図10の下金型を用いた樹脂モールド方法の概略構成図であり、図11(a)は下金型60(図10参照)と上金型50とを用いてダミーフレームをクランプした状態、図11(b)は上金型50a(図9参照)と下金型60とを用いて半導体実装基板をクランプした状態を示す。なお、図11(b)に示される上金型50aにおいて、キャビティ凹部(オーバーフローキャビティ57)は長辺のみに加工されている。
【0029】
図9に示されるように、上金型50aは、オーバーフローキャビティ57が形成されたキャビティブロック52a、及び、オーバーフローキャビティ57、58が形成されたキャビティブロック52bを備える。このように上金型50aのキャビティブロック52bには、オーバーフローキャビティ57とは異なる端部(向かい合う両端部)において、オーバーフローキャビティ58が形成されている。
【0030】
図10に示されるように、ダミーフレーム110a(金属板100a)は、下金型60の下キャビティブロック64の上に搭載される。ダミーフレーム110aの金属板100aにはオーバーフローキャビティとしての凹部180aが形成されている。上金型50と下金型60を用いてダミーフレーム110aをクランプすると、オーバーフローキャビティとしての凹部180aがダミーフレーム110aと上金型50との間で形成される。なお、上金型のキャビティ53の樹脂がダミーフレーム110aの凹部180aに流れ込むための重なりが必要である。また、凹部180aとしては、樹脂硬化後剥離させるために上に10度程度開いた凹部であることが望ましい。なお、上金型50a(金型)にオーバーフローキャビティ57、58を形成するなどの加工を行うと、金型の形状を元に戻すことはできない。このため、ダミーフレーム110aのように金属板100aにオーバーフローキャビティとしての凹部180aを形成(試作)して樹脂モールドを評価し、その評価結果が好ましい場合に金型に加工を行うためのものである。
【0031】
図11(a)に示されるように、本実施形態では、オーバーフローキャビティ57を備えた上金型を加工製作する前に、オーバーフローキャビティとしての凹部180aを掘り込んだダミーフレーム(金属板100a)を製作する。このとき、凹部180aは、上金型50のキャビティ53と重なり合う領域を有し、キャビティ53内の樹脂が凹部180aへ流れるように構成されている。そして、実験的に試し打ちを行って結果が良好になることを確認した後、図11(b)に示されるようにオーバーフローキャビティ57を備えた上金型50aを用いて、半導体実装基板(基板10)に対する樹脂モールドを行う。これにより、低コストで効率的な樹脂モールド方法を提供することができる。
【0032】
次に、図12及び図13を参照して、本実施例で用いられる他の形態の金型について説明する。図12は、本実施例における上金型50bの概略構成図であり、図12(a)は上金型50bの平面図、図12(b)は図12(a)のB−B切断面における断面図を示す。図13は、下金型60の概略構成図であり、図13(a)は下金型60の平面図を示す。図13(b)は図13(a)のB−B切断面における断面図であり、図12(b)の上金型50bと下金型60とを用いてダミーフレームをクランプした状態を示す。
【0033】
図12に示されるように、上金型50bの左半分は、枝分かれランナ55a及びゲート56aが形成されたキャビティブロック52cを備える。また上金型50bの右半分は、複数のランナ55に共通の総ゲート56bが形成されたキャビティブロック52dを備える。本実施形態では、図13(a)の二点鎖線で示されるように、各キャビティに個々1本のランナ及びゲートで樹脂封止をした場合に樹脂流動性に問題が発生したときは、実験的にゲートを枝分かれさせ、又は、総ゲート溝としての凹部をダミーフレームに形成している。図13に示されるように、下金型60の下キャビティブロック64の一方(図13中の左側の下キャビティブロック)の上には、ダミーフレーム110d(金属板100d)が搭載される。また、下キャビティブロック64の他方(図13中の右側の下キャビティブロック)の上には、ダミーフレーム110e(金属板100e)が搭載される。
【0034】
ダミーフレーム110dには、枝分かれランナ溝としての凹部190が形成されている。図13(b)に示されるように、金型を用いてダミーフレーム110dをクランプした際に、ダミーフレーム110dの凹部190は、上金型50bのランナ55a(ゲート56a)と向かい合うように配置されている。ダミーフレーム110eには、総ゲート溝としての凹部195が形成されている。図13(b)に示されるように、金型を用いてダミーフレーム110eをクランプした際に、ダミーフレーム110eの凹部195は、上金型50bの総ゲート56bと向かい合うように配置されている。このような構成により、樹脂モールドの際に、樹脂の流動性を向上させることができる。
【0035】
なお、上金型50b(金型)に枝分かれランナ55aや総ゲート56bを形成するなどの加工を行うと、金型の形状を元に戻すことはできない。このため、ダミーフレーム110d、110eに凹部190、195をそれぞれ形成(試作)して樹脂モールドを評価し、その評価結果が好ましい場合に金型に加工を行うように構成する。
【0036】
本実施例のダミーフレームは、金属板における封止樹脂の流入箇所に凹部が形成されていればよく、ランナ、ゲート、オーバーフローキャビティを決めるための実験用としてだけでなく、エアーベントの深さ、本数や位置を決めるためにも用いることができる。また、キャビティの樹脂量を決めるために実験的にキャビティ部分となる箇所にも凹部、又は、場合に拠っては凸部の大きさを変えて加工することも可能である。また、下パッケージの場合であっても同様にダミーフレームを加工することができるし、上下パッケージの場合にはダミーフレームのキャビティ部分に通し孔を形成して用いることができる。更に、本実施例は、マップ状の製品に限定されるものではなく、マトリクス配置の製品にも適用可能である。このように本実施例では、樹脂が流れるいずれの箇所でも、ダミーキャビティを使用して実験することが可能である。
【0037】
次に、図14を参照して、本実施例におけるダミーフレームを用いた半導体実装基板の樹脂モールド方法について説明する。図14は、本実施例における樹脂モールド方法(モールド成形方法)のフローチャートである。
【0038】
まず、ステップS101において、金属板を加工して、所望の形状を有するダミーフレームを作製する。続いてステップS102において、所定の金型(上金型及び下金型)を用いて、ステップS101で作製されたダミーフレームをクランプして樹脂モールドを行い、その結果を評価する。この評価結果が好ましい場合(良)にはステップS104に進み、評価結果が好ましくない場合(不良)にはステップS103に進む。
【0039】
ステップS102における評価結果が好ましくない場合には、ステップS103においてパラメータ振りを行う。すなわち、樹脂モールドを行う際の各種条件を変更する。ここで各種条件とは、例えば、樹脂材料、樹脂モールド時の圧力と温度、半導体チップを模して搭載された凸部120の大きさ、金型のゲート形状などであるが、これらに限定されるものではない。
【0040】
ステップS103におけるパラメータ振りが完了すると、ステップS101に戻り、ステップS103で設定された各種条件を満たすように(変更後の条件で)ダミーフレームを加工する。また、ステップS102において、所定の金型(変更後の金型)を用いて再度樹脂モールドを行い、その結果を評価する。評価結果が好ましくなるまで、すなわち「良」と判定されるまで、これらの工程を繰り返す。
【0041】
ステップS102において評価結果が好ましいと判定された場合には、ステップS104に進み、正規の半導体実装基板、すなわち実際の半導体チップが実装された半導体実装基板を用意する。ここで用意される半導体実装基板は、ステップS102で評価結果が好ましいと判定されたときに用いられたダミーフレームの形状に相当するものである。続いてステップS105において、ステップS102で用いた金型により、この半導体実装基板をクランプして樹脂モールドを行う。ステップS105では、ステップS102にて最終的に好ましいと判断されたとき同様の金型及び樹脂などの樹脂モールドの各種条件で、実際の樹脂モールドが行われる。
【0042】
ステップS105における樹脂モールドが好ましくない場合(不良)には、ステップS106に進み、金型の形状などの条件を修正する。条件修正後、ステップS104に戻って実際の半導体実装基板を用意し、ステップS105において、修正後の金型を用いて樹脂モールドが行われる。これらの工程は、ステップS105において樹脂モールドが好ましいと判定されるまで繰り返される。ステップS105における樹脂モールドが好ましい(良)と判定された場合には、このときの条件が最終的な樹脂モールドの条件に決定され、金型が完成する(ステップS107)。以後、決定された各種条件で半導体実装基板の樹脂モールドが行われる。
【0043】
このように、本実施例の樹脂モールド方法によれば、ダミーフレームを用いて樹脂モールドを行って樹脂モールド時の好ましい諸条件を決定してから実際の半導体チップが実装された半導体実装基板に対する樹脂モールドを行い、最終的な諸条件を確定する。このため、実際の半導体実装基板を用いることなく、最適な樹脂モールドの条件をある程度まで決定することができる。最終的には、実際の半導体実装基板が必要であるが、半導体実装基板を用いて最適な諸条件を確定するまでの工程を減少させることが可能である。
【実施例2】
【0044】
次に、図15及び図16を参照して、本発明の実施例2におけるダミーフレーム及び半導体実装基板について説明する。図15は、本実施例におけるダミーフレームの概略平面図である。図16(a)〜(d)は、本実施例における半導体実装基板が最終製品としての半導体装置に個片化されるまでの工程を示す図である。本実施例の半導体実装基板は、EWLP(埋め込み型ウェーハ・レベル・パッケージ)である。
【0045】
図15に示されるように、本実施例のダミーフレーム111は、半導体ウエハ形状を有する。このため、ダミーフレーム111は、円形の一部に切り欠き部131が形成されている。また、ダミーフレーム111は、例えば8インチ又は12インチの半導体ウエハ形状の金属板130の上に、複数の半導体チップを模倣して格子状に配列された複数の凸部120が形成されている。なお本実施例において、ダミーフレームは半導体ウエハ形状に限定されるものではなく、四角形状等の他の形状を有するものであってもよい。
【0046】
次に、図16を参照して、本実施例における半導体実装基板から最終製品である半導体装置に個片化されるまでの工程について説明する。図16(a)に示されるように、本実施例の半導体実装基板では、キャリア13の上に両面テープ25を介して複数の半導体チップ12が実装されている。キャリア13は、例えばステンレスガラス、又は、半導体ウエハなどの材料からなる。半導体チップ12は、半導体ウエハから個片化された半導体チップである。
【0047】
続いて、図16(b)に示されるように、金型(不図示)を用いて複数の半導体チップ12を覆うように樹脂20をキャリア13上に充填する。そして図16(c)に示されるように、樹脂モールド後、キャリア13を外す。また、図16(d)に示されるように、はんだボール28を搭載して、ダイサー(不図示)を用いて最終製品である複数の半導体装置に個片化する。
【0048】
本実施例によれば、半導体ウエハ形状を有するダミーフレームを用いることで、EWLPのような半導体実装基板の樹脂モールドを簡易かつ高精度に評価することができる。
【0049】
上記各実施例によれば、実際の半導体実装基板を用いることなく、半導体チップの封止樹脂を高精度に評価可能なダミーフレーム及びそのダミーフレームを用いた樹脂モールド方法を提供することができる。
【0050】
以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施例として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。
【符号の説明】
【0051】
50 上金型
60 下金型
70 樹脂タブレット
100 金属板
110 ダミーフレーム
120 凸部
180 凹部
【技術分野】
【0001】
本発明は、複数の半導体チップを実装した半導体実装基板の封止樹脂を評価するために用いられるダミーフレーム、及び、そのダミーフレームを用いた樹脂モールド方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体実装基板に対して樹脂モールドを行う際には、使用される金型、及び、樹脂の材料や圧力などの諸条件を評価して調整する必要がある。従来、樹脂モールドの評価及び調整を行う場合、実際に半導体チップをワイヤボンディング又はフリップチップで実装した半導体実装基板を用いていた。
【0003】
一方、特許文献1には、1ショット成形分のリードフレームの不足部にダミーフレームを供給して樹脂モールドを行い、樹脂モールドされた成形品をリードフレームとダミーフレームに分けて収納するダミーフレームの供給収納機構を備えた樹脂モールド装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開平09−155916号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、実際に半導体チップが半導体実装基板を用いて樹脂モールドの評価及び調整を行おうとすると、樹脂モールドの評価開始時という早い段階から実際の半導体実装基板を用意する必要がある。一方、半導体チップが実装されていない基板を用いて樹脂モールドの評価を行うと、半導体チップが実装された半導体実装基板とはその対象が異なるため、樹脂モールドの正確な評価が困難となる。
【0006】
そこで本発明は、実際の半導体実装基板を用いることなく、半導体チップの封止樹脂を高精度に評価可能なダミーフレーム及びそのダミーフレームを用いた樹脂モールド方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一側面としてのダミーフレームは、少なくとも1つの半導体チップを実装した半導体実装基板の封止樹脂を評価するために用いられるダミーフレームであって、前記半導体実装基板を模した平面状の金属板と、前記金属板の上に前記半導体チップを模して搭載された少なくとも1つの凸部とを有する。
【0008】
本発明の他の側面としての樹脂モールド方法は、ダミーフレームを用いた半導体実装基板の樹脂モールド方法であって、前記ダミーフレームを用いて樹脂モールドを行う工程と、前記ダミーフレームを用いた前記樹脂モールドの結果を評価する工程と、前記ダミーフレームを用いて得られた前記樹脂モールドの評価結果に基づいて、実際の半導体チップを実装した半導体実装基板に対して樹脂モールドを行う工程とを有する。
【0009】
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、実際の半導体実装基板を用いることなく、半導体チップの封止樹脂を高精度に評価可能なダミーフレーム及びそのダミーフレームを用いた樹脂モールド方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】実施例1における半導体実装基板の概略構成図である。
【図2】実施例1における樹脂モールドされた半導体実装基板の概略構成図である。
【図3】実施例1におけるダミーフレームの概略平面図である。
【図4】実施例1におけるダミーフレームの概略断面図である。
【図5】実施例1において、ダミーフレームを設置する前の状態における金型の概略断面図である。
【図6】実施例1において、下型ライナーを用いてダミーフレームを設置した状態における金型の概略断面図である。
【図7】実施例1において、下型ライナーを用いずにダミーフレームを設置した状態における金型の概略断面図である。
【図8】実施例1において、ダミーフレームをクランプした状態における金型の概略断面図である。
【図9】実施例1における上金型の概略構成図である。
【図10】実施例1における下金型の概略構成図である。
【図11】実施例1において、図9の上金型及び図10の下金型を用いた樹脂モールド方法の概略構成図である。
【図12】実施例1における上金型の概略構成図である。
【図13】実施例1における下金型の概略構成図である。
【図14】実施例1における樹脂モールド方法のフローチャートである。
【図15】実施例2におけるダミーフレームの概略平面図である。
【図16】実施例2における半導体実装基板から半導体装置までの工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【実施例1】
【0013】
まず、図1を参照して、本発明の実施例1におけるダミーフレーム及び樹脂モールド方法の対象となる半導体実装基板について説明する。図1は、本実施例における半導体実装基板の概略構成図である。図1(a)は平面図、図1(b)は断面図、図1(c)は他の形態の半導体実装基板の断面図である。図1(b)、(c)はそれぞれ、図1(a)中のI−I切断面に相当する。
【0014】
図1(a)に示されるように、半導体実装基板11において、基板10は、例えば縦70mm、横240mmの長方形の形状を有する。基板10の上には、複数の半導体チップ12(本実施例では縦3個、横11個の半導体チップ)が格子状に配列されている。なお、本実施例では複数の半導体チップが搭載されているが、本実施例はこれに限定されるものではなく、少なくとも一つの半導体チップが実装されている半導体実装基板に対して適用可能である。また、基板10の四隅にはパイロット孔14が形成されている。図1(b)に示されるように、基板10とその上に実装されている複数の半導体チップ12のそれぞれとの間は、金ワイヤなどのワイヤ16を用いて電気的に接続されている。図1(c)に示されるように、他の形態の半導体実装基板11aでは、複数の半導体チップ12がフリップチップで基板10の上に実装され、導電性接着剤17を用いて基板10との間で電気的に接続されている。
【0015】
次に、図2を参照して、樹脂モールドされた半導体実装基板について説明する。図2は、本実施例における樹脂モールドされた半導体実装基板の概略構成図である。図2(a)は平面図であり、図2(b)〜(g)はそれぞれ異なる形態を示す断面図である。図2(b)〜(g)はそれぞれ、図2(a)中のII−II切断面に相当する。
【0016】
図2(a)に示されるように、半導体実装基板11は、複数の半導体チップ12の全てを覆うように樹脂20によりモールドされる。図2(b)の形態では、ワイヤ16で接続された複数の半導体チップ12が基板10に実装され、樹脂20bは半導体チップ12の全てを覆うように基板10上にモールドされる。図2(c)の形態では、図2(b)と同様に、樹脂20cは基板10の一方の面(上面)に配列された半導体チップ12の全てを覆うように基板10上にモールドされる。更に、樹脂20cは基板10の他方の面(下面)にもモールドされている。図2(d)の形態では、ワイヤ16で接続された複数の半導体チップ12のそれぞれの上に放熱板15が配置されている。樹脂20aは、半導体チップ12を覆って放熱板15の上部が露出するように、基板10上にモールドされる。
【0017】
図2(e)の形態では、複数の半導体チップ12がフリップチップで基板10上に導電性接着剤17を介して実装されている。樹脂20eは、複数の半導体チップ12の全てを覆うように基板10上にモールドされている。図2(f)の形態では、図2(e)と同様に、複数の半導体チップ12がフリップチップで実装されている。ただし図2(e)とは異なり、樹脂20fは、実装された半導体チップ12の上面(基板実装面とは反対側の面)が露出するように基板10上にモールドされている。図2(g)の形態では、フリップチップで実装された複数の半導体チップ12のそれぞれの上に放熱板15が配置されている。樹脂20gは、半導体チップ12を覆って放熱板15の上部が露出するように、基板10上にモールドされる。
【0018】
次に、図3及び図4を参照して、本実施例におけるダミーフレームについて説明する。図3は、本実施例におけるダミーフレームの概略平面図であり、図4はダミーフレームの概略断面図であり、図3(a)中のIV−IV切断面に相当する。ダミーフレーム110は、複数の半導体チップを実装した半導体実装基板のモールド樹脂を評価するために用いられる。
【0019】
図3(a)に示されるように、ダミーフレーム110は、半導体実装基板を模した平面状の金属板100を備える。金属板100は、実際の半導体実装基板と同様の大きさを有する。例えば、縦70mm、横240mmの大きさを有する半導体実装基板を模したダミーフレームとして用いる場合には、このダミーフレームは、縦70mm、横240mmの大きさとして作製される。また、金属板100は例えばSLD材質から構成され、その表面にはクロムめっきが施されている。金属板100の表面上には、半導体チップを模した(擬似チップ形状の)少なくとも一つの凸部120が格子状に配列(搭載)されている。本実施例において、金属板100の上には縦3個、横11個の凸部120が設けられているが、これに限定されるものではない。模倣の対象となる半導体実装基板に実装される半導体チップの個数に応じて、他の個数の凸部を設けることができる。また、ダミーフレーム110の四隅のそれぞれには、パイロット孔を模した孔部140が形成されている。
【0020】
図3(b)は、他の実施形態におけるダミーフレーム110aの平面図を示している。ダミーフレーム110aは、金属板100aの端部近傍の一辺に凹部180が形成されている点で、図3(a)に示されるダミーフレーム110とは異なる。凹部180は、オーバーフローキャビティとして設けられている。図3(b)において、二つの凹部180が金属板100aの下端の近傍に形成されているが、これに限定されるものではなく、一つの凹部180として形成してもよい。また、右端や左端の短辺にも同様の凹部180を形成することもできる。
【0021】
ダミーフレーム110の厚さは、金型や対象とする半導体実装基板に応じて、種々のものを選択することが可能である。例えば、樹脂モールドの際に、金型における下型ライナーを外さずにダミーフレームを使用する場合、図4(a)に示されるように、例えば0.1〜0.3mm程度の厚さd1を有する金属板100bが用いられる。一方、樹脂モールドの際に、下型ライナーを外してダミーフレームを使用する場合、図4(b)に示されるように、例えば3.1〜3.3mm程度の厚さd2を有する金属板100cが用いられる。ダミーフレームの金属板は、薄くなると金属板に反りが発生しやすく、結果として割れやすくなる。このため、耐性を考慮すると、金属板はできるだけ厚くすることが好ましい。ただし、通常の金型で使用可能に構成するため、金属板は、下型ライナーを外して使用する場合には、例えば2〜15mm程度の厚さに設定される。
【0022】
図4(c)は、金属板100の上に形成された一つの凸部120aの拡大図である。図4(c)に示されるように、凸部120aの側面の傾斜方向と金属板100の平面に直交方向とがなす角度αは10°に設定される。ただし本実施例はこれに限定されるものではなく、樹脂や半導体チップの種類に応じて、角度αを10°以外の角度に設定してもよい。
【0023】
次に、図5乃至図14を参照して、本実施例のダミーフレーム(及び、半導体実装基板)の樹脂モールド時に用いられる金型について説明する。図5は、ダミーフレームを設置する前の金型の概略断面図である。図6は、下型ライナーを用いてダミーフレームを設置した状態における金型の概略断面図である。図7は、下型ライナーを用いずにダミーフレームを設置した状態における金型の概略断面図である。図8は、ダミーフレームをクランプした状態における金型の概略断面図である。
【0024】
図5乃至図8に示されるように、本実施例において、金型は上金型50と下金型60を備えて構成される。上金型50は、センターブロック51とキャビティブロック52を有する。センターブロック51には、カル54とランナ55の一部が形成されている。キャビティブロック52には、ランナ55の一部、ゲート56、及び、キャビティ53が形成されている。キャビティ53は、トランスファモールドにより樹脂モールドされ、ダミーフレームの金属板100を封止する樹脂の形状を決定する。
【0025】
下金型60は、チェイスブロック62、及び、チェイスブロック62の上に配置された下センターブロック61を備える。一つの実施形態として、下金型60は、図6に示されるようにチェイスブロック62の上に配置された下型ライナー63、及び、下型ライナー63の上に配置された下キャビティブロック64を備える。凸部120を備えたダミーフレーム110の金属板100bは、下キャビティブロック64の上に配置される。他の実施形態として、下金型60は、図7に示されるようにチェイスブロック62の上に直接配置された下キャビティブロック64を備える。ダミーフレーム110の金属板100cは、下キャビティブロック64の上に配置される。図7に示される実施形態では、下型ライナー63を使用せずにダミーフレームの樹脂モールドが行われる。なお、下型ライナー63は、本実施例では3mmの厚さを有するが、これに限定されるものではない。このように本実施例の金型は、上金型50と下金型60とを主体として構成されている。樹脂モールド時には、図8に示されるように、上金型50と下金型60とでダミーフレーム(金属板100b、100c)をクランプし(挟み)、キャビティ53の内部に樹脂が充填される。
【0026】
70は、熱硬化性樹脂等をタブレット(円柱)状に成形した樹脂タブレットである。樹脂モールド時には、図5乃至図8に示されるように、予熱された下金型60のポット66内に樹脂タブレット70を投入して、溶融させる。そして、プランジャ68を上動させて溶融した樹脂を圧送することにより、上金型50と下金型60との間が樹脂で充填される。プランジャ68は、トランスファ機構(不図示)によってポット66に沿って上下に摺動可能に構成されている。なお、樹脂タブレット70に代えて液状の熱硬化性樹脂をディスペンサ(不図示)で供給することができ、また、顆粒樹脂をポットに投入することもできる。プランジャ68によって樹脂が圧送されることにより、溶融した樹脂は、カル54、ランナ55、及び、ゲート56を介してキャビティ53へ供給され、キャビティ53の内部が樹脂で充填される。
【0027】
次に、図9乃至図11を参照して、本実施例で用いられる金型の平面と断面図について説明する。本実施形態では、ボイドがキャビティ内に溜まりやすい等の何らかの問題が発生した場合や、発生する可能性が予測される場合に、オーバーフローキャビティとしての凹部を備えた上金型を加工製作する前に、オーバーフローキャビティを掘り込んだダミーフレームを製作する。そして、実験的に試し打ちを行い、結果が良好になることを確認した後、上金型にオーバーフローキャビティ凹部を加工する。
【0028】
図9は、本実施例における上金型50aの概略構成図であり、図9(a)は上金型50aの平面図、図9(b)は図9(a)のB−B切断面における断面図を示す。上金型50aには、キャビティ凹部が加工されており、上金型50aの右半分は長辺に短辺を含むゲート流入辺以外の3箇所が加工され、左半分は長辺のみ加工した場合を示す。また図10は、ダミーフレームを搭載した状態の下金型60の概略構成図であり、図10(a)は下金型60の平面図、図10(b)は図10(a)のB−B切断面における断面図を示す。また図11は、図9の上金型及び図10の下金型を用いた樹脂モールド方法の概略構成図であり、図11(a)は下金型60(図10参照)と上金型50とを用いてダミーフレームをクランプした状態、図11(b)は上金型50a(図9参照)と下金型60とを用いて半導体実装基板をクランプした状態を示す。なお、図11(b)に示される上金型50aにおいて、キャビティ凹部(オーバーフローキャビティ57)は長辺のみに加工されている。
【0029】
図9に示されるように、上金型50aは、オーバーフローキャビティ57が形成されたキャビティブロック52a、及び、オーバーフローキャビティ57、58が形成されたキャビティブロック52bを備える。このように上金型50aのキャビティブロック52bには、オーバーフローキャビティ57とは異なる端部(向かい合う両端部)において、オーバーフローキャビティ58が形成されている。
【0030】
図10に示されるように、ダミーフレーム110a(金属板100a)は、下金型60の下キャビティブロック64の上に搭載される。ダミーフレーム110aの金属板100aにはオーバーフローキャビティとしての凹部180aが形成されている。上金型50と下金型60を用いてダミーフレーム110aをクランプすると、オーバーフローキャビティとしての凹部180aがダミーフレーム110aと上金型50との間で形成される。なお、上金型のキャビティ53の樹脂がダミーフレーム110aの凹部180aに流れ込むための重なりが必要である。また、凹部180aとしては、樹脂硬化後剥離させるために上に10度程度開いた凹部であることが望ましい。なお、上金型50a(金型)にオーバーフローキャビティ57、58を形成するなどの加工を行うと、金型の形状を元に戻すことはできない。このため、ダミーフレーム110aのように金属板100aにオーバーフローキャビティとしての凹部180aを形成(試作)して樹脂モールドを評価し、その評価結果が好ましい場合に金型に加工を行うためのものである。
【0031】
図11(a)に示されるように、本実施形態では、オーバーフローキャビティ57を備えた上金型を加工製作する前に、オーバーフローキャビティとしての凹部180aを掘り込んだダミーフレーム(金属板100a)を製作する。このとき、凹部180aは、上金型50のキャビティ53と重なり合う領域を有し、キャビティ53内の樹脂が凹部180aへ流れるように構成されている。そして、実験的に試し打ちを行って結果が良好になることを確認した後、図11(b)に示されるようにオーバーフローキャビティ57を備えた上金型50aを用いて、半導体実装基板(基板10)に対する樹脂モールドを行う。これにより、低コストで効率的な樹脂モールド方法を提供することができる。
【0032】
次に、図12及び図13を参照して、本実施例で用いられる他の形態の金型について説明する。図12は、本実施例における上金型50bの概略構成図であり、図12(a)は上金型50bの平面図、図12(b)は図12(a)のB−B切断面における断面図を示す。図13は、下金型60の概略構成図であり、図13(a)は下金型60の平面図を示す。図13(b)は図13(a)のB−B切断面における断面図であり、図12(b)の上金型50bと下金型60とを用いてダミーフレームをクランプした状態を示す。
【0033】
図12に示されるように、上金型50bの左半分は、枝分かれランナ55a及びゲート56aが形成されたキャビティブロック52cを備える。また上金型50bの右半分は、複数のランナ55に共通の総ゲート56bが形成されたキャビティブロック52dを備える。本実施形態では、図13(a)の二点鎖線で示されるように、各キャビティに個々1本のランナ及びゲートで樹脂封止をした場合に樹脂流動性に問題が発生したときは、実験的にゲートを枝分かれさせ、又は、総ゲート溝としての凹部をダミーフレームに形成している。図13に示されるように、下金型60の下キャビティブロック64の一方(図13中の左側の下キャビティブロック)の上には、ダミーフレーム110d(金属板100d)が搭載される。また、下キャビティブロック64の他方(図13中の右側の下キャビティブロック)の上には、ダミーフレーム110e(金属板100e)が搭載される。
【0034】
ダミーフレーム110dには、枝分かれランナ溝としての凹部190が形成されている。図13(b)に示されるように、金型を用いてダミーフレーム110dをクランプした際に、ダミーフレーム110dの凹部190は、上金型50bのランナ55a(ゲート56a)と向かい合うように配置されている。ダミーフレーム110eには、総ゲート溝としての凹部195が形成されている。図13(b)に示されるように、金型を用いてダミーフレーム110eをクランプした際に、ダミーフレーム110eの凹部195は、上金型50bの総ゲート56bと向かい合うように配置されている。このような構成により、樹脂モールドの際に、樹脂の流動性を向上させることができる。
【0035】
なお、上金型50b(金型)に枝分かれランナ55aや総ゲート56bを形成するなどの加工を行うと、金型の形状を元に戻すことはできない。このため、ダミーフレーム110d、110eに凹部190、195をそれぞれ形成(試作)して樹脂モールドを評価し、その評価結果が好ましい場合に金型に加工を行うように構成する。
【0036】
本実施例のダミーフレームは、金属板における封止樹脂の流入箇所に凹部が形成されていればよく、ランナ、ゲート、オーバーフローキャビティを決めるための実験用としてだけでなく、エアーベントの深さ、本数や位置を決めるためにも用いることができる。また、キャビティの樹脂量を決めるために実験的にキャビティ部分となる箇所にも凹部、又は、場合に拠っては凸部の大きさを変えて加工することも可能である。また、下パッケージの場合であっても同様にダミーフレームを加工することができるし、上下パッケージの場合にはダミーフレームのキャビティ部分に通し孔を形成して用いることができる。更に、本実施例は、マップ状の製品に限定されるものではなく、マトリクス配置の製品にも適用可能である。このように本実施例では、樹脂が流れるいずれの箇所でも、ダミーキャビティを使用して実験することが可能である。
【0037】
次に、図14を参照して、本実施例におけるダミーフレームを用いた半導体実装基板の樹脂モールド方法について説明する。図14は、本実施例における樹脂モールド方法(モールド成形方法)のフローチャートである。
【0038】
まず、ステップS101において、金属板を加工して、所望の形状を有するダミーフレームを作製する。続いてステップS102において、所定の金型(上金型及び下金型)を用いて、ステップS101で作製されたダミーフレームをクランプして樹脂モールドを行い、その結果を評価する。この評価結果が好ましい場合(良)にはステップS104に進み、評価結果が好ましくない場合(不良)にはステップS103に進む。
【0039】
ステップS102における評価結果が好ましくない場合には、ステップS103においてパラメータ振りを行う。すなわち、樹脂モールドを行う際の各種条件を変更する。ここで各種条件とは、例えば、樹脂材料、樹脂モールド時の圧力と温度、半導体チップを模して搭載された凸部120の大きさ、金型のゲート形状などであるが、これらに限定されるものではない。
【0040】
ステップS103におけるパラメータ振りが完了すると、ステップS101に戻り、ステップS103で設定された各種条件を満たすように(変更後の条件で)ダミーフレームを加工する。また、ステップS102において、所定の金型(変更後の金型)を用いて再度樹脂モールドを行い、その結果を評価する。評価結果が好ましくなるまで、すなわち「良」と判定されるまで、これらの工程を繰り返す。
【0041】
ステップS102において評価結果が好ましいと判定された場合には、ステップS104に進み、正規の半導体実装基板、すなわち実際の半導体チップが実装された半導体実装基板を用意する。ここで用意される半導体実装基板は、ステップS102で評価結果が好ましいと判定されたときに用いられたダミーフレームの形状に相当するものである。続いてステップS105において、ステップS102で用いた金型により、この半導体実装基板をクランプして樹脂モールドを行う。ステップS105では、ステップS102にて最終的に好ましいと判断されたとき同様の金型及び樹脂などの樹脂モールドの各種条件で、実際の樹脂モールドが行われる。
【0042】
ステップS105における樹脂モールドが好ましくない場合(不良)には、ステップS106に進み、金型の形状などの条件を修正する。条件修正後、ステップS104に戻って実際の半導体実装基板を用意し、ステップS105において、修正後の金型を用いて樹脂モールドが行われる。これらの工程は、ステップS105において樹脂モールドが好ましいと判定されるまで繰り返される。ステップS105における樹脂モールドが好ましい(良)と判定された場合には、このときの条件が最終的な樹脂モールドの条件に決定され、金型が完成する(ステップS107)。以後、決定された各種条件で半導体実装基板の樹脂モールドが行われる。
【0043】
このように、本実施例の樹脂モールド方法によれば、ダミーフレームを用いて樹脂モールドを行って樹脂モールド時の好ましい諸条件を決定してから実際の半導体チップが実装された半導体実装基板に対する樹脂モールドを行い、最終的な諸条件を確定する。このため、実際の半導体実装基板を用いることなく、最適な樹脂モールドの条件をある程度まで決定することができる。最終的には、実際の半導体実装基板が必要であるが、半導体実装基板を用いて最適な諸条件を確定するまでの工程を減少させることが可能である。
【実施例2】
【0044】
次に、図15及び図16を参照して、本発明の実施例2におけるダミーフレーム及び半導体実装基板について説明する。図15は、本実施例におけるダミーフレームの概略平面図である。図16(a)〜(d)は、本実施例における半導体実装基板が最終製品としての半導体装置に個片化されるまでの工程を示す図である。本実施例の半導体実装基板は、EWLP(埋め込み型ウェーハ・レベル・パッケージ)である。
【0045】
図15に示されるように、本実施例のダミーフレーム111は、半導体ウエハ形状を有する。このため、ダミーフレーム111は、円形の一部に切り欠き部131が形成されている。また、ダミーフレーム111は、例えば8インチ又は12インチの半導体ウエハ形状の金属板130の上に、複数の半導体チップを模倣して格子状に配列された複数の凸部120が形成されている。なお本実施例において、ダミーフレームは半導体ウエハ形状に限定されるものではなく、四角形状等の他の形状を有するものであってもよい。
【0046】
次に、図16を参照して、本実施例における半導体実装基板から最終製品である半導体装置に個片化されるまでの工程について説明する。図16(a)に示されるように、本実施例の半導体実装基板では、キャリア13の上に両面テープ25を介して複数の半導体チップ12が実装されている。キャリア13は、例えばステンレスガラス、又は、半導体ウエハなどの材料からなる。半導体チップ12は、半導体ウエハから個片化された半導体チップである。
【0047】
続いて、図16(b)に示されるように、金型(不図示)を用いて複数の半導体チップ12を覆うように樹脂20をキャリア13上に充填する。そして図16(c)に示されるように、樹脂モールド後、キャリア13を外す。また、図16(d)に示されるように、はんだボール28を搭載して、ダイサー(不図示)を用いて最終製品である複数の半導体装置に個片化する。
【0048】
本実施例によれば、半導体ウエハ形状を有するダミーフレームを用いることで、EWLPのような半導体実装基板の樹脂モールドを簡易かつ高精度に評価することができる。
【0049】
上記各実施例によれば、実際の半導体実装基板を用いることなく、半導体チップの封止樹脂を高精度に評価可能なダミーフレーム及びそのダミーフレームを用いた樹脂モールド方法を提供することができる。
【0050】
以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施例として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。
【符号の説明】
【0051】
50 上金型
60 下金型
70 樹脂タブレット
100 金属板
110 ダミーフレーム
120 凸部
180 凹部
【特許請求の範囲】
【請求項1】
少なくとも1つの半導体チップを実装した半導体実装基板の封止樹脂を評価するために用いられるダミーフレームであって、
前記半導体実装基板を模した平面状の金属板と、
前記金属板の上に前記半導体チップを模して搭載された少なくとも1つの凸部と、を有することを特徴とするダミーフレーム。
【請求項2】
前記金属板における前記封止樹脂の流入箇所に凹部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のダミーフレーム。
【請求項3】
前記凹部は、前記金属板の端部近傍の少なくとも一辺に形成され、前記封止樹脂のオーバーフローキャビティを構成することを特徴とする請求項2に記載のダミーフレーム。
【請求項4】
前記凹部は、前記金属板の端部近傍の一辺に形成され、前記封止樹脂の総ゲート又は枝分かれランナ、及び、ゲートを構成することを特徴とする請求項2に記載のダミーフレーム。
【請求項5】
前記金属板の表面にはクロムめっきが施されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のダミーフレーム。
【請求項6】
前記金属板の厚さは2〜15mmであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のダミーフレーム。
【請求項7】
前記金属板は、半導体ウエハ形状であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のダミーフレーム。
【請求項8】
ダミーフレームを用いた半導体実装基板の樹脂モールド方法であって、
前記ダミーフレームを用いて樹脂モールドを行う工程と、
前記ダミーフレームを用いた前記樹脂モールドの結果を評価する工程と、
前記ダミーフレームを用いて得られた前記樹脂モールドの評価結果に基づいて、実際の半導体チップを実装した半導体実装基板に対して樹脂モールドを行う工程と、を有することを特徴とする樹脂モールド方法。
【請求項9】
前記ダミーフレームを用いた前記樹脂モールドの結果を評価した後、樹脂モールドの条件を変更して、変更後の条件で該ダミーフレームの樹脂モールドを行うことを特徴とする請求項8に記載の樹脂モールド方法。
【請求項10】
前記ダミーフレームを用いた前記樹脂モールドの結果を評価した後、該樹脂モールドの際に用いられる金型を変更して、変更後の金型で樹脂モールドを行うことを特徴とする請求項8に記載の樹脂モールド方法。
【請求項1】
少なくとも1つの半導体チップを実装した半導体実装基板の封止樹脂を評価するために用いられるダミーフレームであって、
前記半導体実装基板を模した平面状の金属板と、
前記金属板の上に前記半導体チップを模して搭載された少なくとも1つの凸部と、を有することを特徴とするダミーフレーム。
【請求項2】
前記金属板における前記封止樹脂の流入箇所に凹部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のダミーフレーム。
【請求項3】
前記凹部は、前記金属板の端部近傍の少なくとも一辺に形成され、前記封止樹脂のオーバーフローキャビティを構成することを特徴とする請求項2に記載のダミーフレーム。
【請求項4】
前記凹部は、前記金属板の端部近傍の一辺に形成され、前記封止樹脂の総ゲート又は枝分かれランナ、及び、ゲートを構成することを特徴とする請求項2に記載のダミーフレーム。
【請求項5】
前記金属板の表面にはクロムめっきが施されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のダミーフレーム。
【請求項6】
前記金属板の厚さは2〜15mmであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のダミーフレーム。
【請求項7】
前記金属板は、半導体ウエハ形状であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のダミーフレーム。
【請求項8】
ダミーフレームを用いた半導体実装基板の樹脂モールド方法であって、
前記ダミーフレームを用いて樹脂モールドを行う工程と、
前記ダミーフレームを用いた前記樹脂モールドの結果を評価する工程と、
前記ダミーフレームを用いて得られた前記樹脂モールドの評価結果に基づいて、実際の半導体チップを実装した半導体実装基板に対して樹脂モールドを行う工程と、を有することを特徴とする樹脂モールド方法。
【請求項9】
前記ダミーフレームを用いた前記樹脂モールドの結果を評価した後、樹脂モールドの条件を変更して、変更後の条件で該ダミーフレームの樹脂モールドを行うことを特徴とする請求項8に記載の樹脂モールド方法。
【請求項10】
前記ダミーフレームを用いた前記樹脂モールドの結果を評価した後、該樹脂モールドの際に用いられる金型を変更して、変更後の金型で樹脂モールドを行うことを特徴とする請求項8に記載の樹脂モールド方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【公開番号】特開2012−114305(P2012−114305A)
【公開日】平成24年6月14日(2012.6.14)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−263065(P2010−263065)
【出願日】平成22年11月26日(2010.11.26)
【出願人】(000144821)アピックヤマダ株式会社 (194)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年6月14日(2012.6.14)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年11月26日(2010.11.26)
【出願人】(000144821)アピックヤマダ株式会社 (194)
【Fターム(参考)】
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