ペリクル収納容器
【解決手段】ペリクルが載置されるトレイと、トレイを覆ってトレイと共にペリクルを収容する閉空間を形成するカバーとを備え、トレイが、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の一部に設けられた粘着剤の未塗布領域とのみ接触することによってペリクルを支持するペリクルフレーム支持体と、ペリクルフレームをペリクルフレーム支持体上で固定する保持機構とを有し、ペリクルフレーム支持体が、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成され、両者が硬さの異なる部材の接合体で形成されたペリクル収納容器。
【効果】粘着剤層がペリクル収納容器に接触することなくペリクルが収納容器内で固定され、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護することができるため、保管中にセパレータを必要としない。
【効果】粘着剤層がペリクル収納容器に接触することなくペリクルが収納容器内で固定され、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護することができるため、保管中にセパレータを必要としない。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、プリント基板、液晶ディスプレイ等を製造する際に使用されるペリクルの収納容器、特には、液晶ディスプレイ製造に使用される大型のペリクルの収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造、液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウェハー又は液晶用原板に光を照射してパターンを作製するが、このときに用いるフォトマスク又はレチクル（以下、単にフォトマスクと記述する）にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジが、がさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりするなど、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。
【０００３】
このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しい。そこで、フォトマスク表面にゴミ除けとしてペリクルを貼り付けた後に露光をする方法が一般に採用されている。この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００４】
一般に、ペリクルには、ペリクルフレームの上端面に透明なペリクル膜が張設されるとともに、下端面にフォトマスクに貼り付けるための粘着剤層が形成されている。具体的には、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、フッ素樹脂などからなる透明なペリクル膜をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布した後、風乾して接着する（特許文献１：特開昭５８−２１９０２３号公報）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着する（特許文献２：米国特許第４８６１４０２号明細書、特許文献３：特公昭６３−２７７０７号公報）。更に、ペリクルフレームの下端面には、フォトマスクに装着するためのポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着剤層、及び必要に応じて、粘着剤層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が貼り付けられる。
【０００５】
セパレータは、通常ＰＥＴ樹脂などの１００〜２００μｍ程度の薄いフィルム上に離型剤を塗布し、所望の形状に切断加工したものが使用される。セパレータは、フィルムの薄さに加え、なおかつ、フレームの外形とほぼ同じ枠状の形状をしているため、紐のようになってしまい、きれいに洗浄することが困難であるほか、粘着剤層への貼り付け等の作業上において取り扱いが極めて不便であるという問題がある。
【０００６】
また、セパレータは継ぎ目、折り目等のない一枚の原材料シートで製造される必要がある。セパレータに継ぎ目、折り目等の段差があると、貼り付けた粘着剤層に形状が転写されてしまい、貼り付け後のマスクの安定性に影響を及ぼすおそれがある。このような継ぎ目、折り目等のない大型の一枚の原材料シートを製造することは困難であり、また、離型剤を全面にわたって欠陥なく塗布することも困難である。そのため、大型のペリクル、特には１辺の長さが１ｍを超えるような大型のペリクルに対するセパレータの製造は困難であった。
【０００７】
セパレータは粘着剤層を保護する機能のみを必要とされ、ペリクル使用時には剥がされ廃棄されるものであるため、これらの問題を解決するためにはセパレータを用いなければよい。セパレータの使用を省略するためには、例えば、ペリクル収納容器を用いればよく、この場合、通常ペリクルは粘着剤層を下側（ペリクル収納容器側）に向けて収納容器に収容するが、逆に粘着剤層を上側に向け、ペリクル膜側を下側に向けて載置することも考えられる。しかし、この場合、ペリクル膜内側がペリクル収納容器内で上方を向くことになり、最も保護しなければならない部分に異物が付着する懸念があり、好ましくない。そのため、これまでのところ、保管中にセパレータを必要とせずにペリクルを収納できるペリクル収納容器はほとんど提案されていなかった。
【０００８】
保管中にセパレータを必要としないペリクル及びペリクル収納容器として、ペリクル収納容器内にペリクルフレーム支持体を設けたものがある（特許文献４：特開２００９−１２８６３５号公報）。しかし、ペリクルフレーム支持体が軟らかい場合には、ペリクルフレーム支持体をペリクル容器へ確実にネジ止め等により十分に固定することができなかったり、ペリクルフレーム支持体が硬い場合には、ペリクル収納容器を移動する際に生じるペリクルフレームへの振動・衝撃を十分吸収できなかったりという不具合があり、問題解決には至らなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開昭５８−２１９０２３号公報
【特許文献２】米国特許第４８６１４０２号明細書
【特許文献３】特公昭６３−２７７０７号公報
【特許文献４】特開２００９−１２８６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、ペリクル、特には、少なくとも一つの辺長が５００ｍｍ以上の大型のペリクルについて、セパレータ以外の粘着剤層保護手段、即ち、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護し、かつ、保管中や輸送中の振動、衝撃がある場合にも確実にペリクルを保持することができるペリクル収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、前記問題点を解決するため鋭意検討を行った結果、ペリクルが載置されるトレイと、トレイを覆ってトレイと共にペリクルを収容する閉空間を形成するカバーとを備え、トレイが、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の一部に設けられた粘着剤の未塗布領域とのみ接触することによってペリクルを支持するペリクルフレーム支持体と、ペリクルフレームをペリクルフレーム支持体上で固定する保持機構とを有し、更に、ペリクルフレーム支持体が、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成され、両者が硬さの異なる部材の接合体で形成されているペリクル収納容器が、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護し、かつ、保管中や輸送中の振動、衝撃がある場合にも確実にペリクルを保持することができることを見出し、本発明をなすに至った。
【００１２】
従って、本発明は、下記ペリクル収納容器を提供する。
請求項１：
ペリクルが載置されるトレイと、トレイを覆って該トレイと共にペリクルを収容する閉空間を形成するカバーとを備え、前記トレイが、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の一部に設けられた粘着剤の未塗布領域とのみ接触することによってペリクルを支持するペリクルフレーム支持体と、ペリクルフレームをペリクルフレーム支持体上で固定する保持機構とを有するペリクル収納容器であって、
前記ペリクルフレーム支持体が、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成され、両者が硬さの異なる部材の接合体で形成されてなることを特徴とするペリクル収納容器。
請求項２：
前記ペリクルフレーム支持体の基体部がエンジニアリングプラスチックで形成され、前記ペリクルフレーム支持体の緩衝部がゴム又はエラストマーで形成されてなることを特徴とする請求項１記載のペリクル収納容器。
請求項３：
前記ペリクルフレーム支持体の基体部が緩衝部より硬く形成され、該緩衝部の硬さがデュロメータタイプＡで１０以上８０以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のペリクル収納容器。
請求項４：
前記ペリクルフレーム支持体の基体部と緩衝部とが二色成型により一体成型されてなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のペリクル収納容器。
【００１３】
本発明のペリクル収納容器は、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護し、かつ、保管中や輸送中の振動、衝撃がある場合にも確実にペリクルを保持することができる。更には、セパレータを使用しないため、特に、大型ペリクルにおける大型セパレータの原材料入手難という問題を解決できるほか、セパレータ自体のコストのみならず、セパレータの洗浄作業、貼り付け作業等関連作業を削減できるため、製造コストを大きく低減することができる。以上のことから、産業上における利用価値は極めて高い。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、粘着剤層がペリクル収納容器に接触することなくペリクルが収納容器内で固定され、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護することができるため、保管中にセパレータを必要としないペリクルの収納容器を提供することができる。よって、特に大型のペリクルにおけるセパレータ原材料の入手難という問題を解決できる。また、輸送中やセパレータの剥離作業におけるセパレータ自体からの発塵がなくなるため、異物付着防止の観点からも効果が大きい。更に、セパレータ自体のコストのみならず、洗浄作業、貼り付け作業等の関連する工程を削減できるため、製造コストを大幅に低減することができる。
【００１５】
また、ペリクルフレーム支持体を硬さの異なる部材の組み合わせとすることにより、輸送中のペリクルの振動・衝撃を効果的に吸収、緩和することができ、特に、ペリクルフレームをゴム又はエラストマーで支持するようにした場合、輸送中のペリクルの振動・衝撃をゴム又はエラストマーで吸収・緩和し、ペリクルフレームやペリクル膜がペリクル収納容器と接触し、傷ついてしまうことを効果的に防ぐことができる。更に、ペリクルフレーム支持体を、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成すれば、それぞれ最適な部材を使用することができる。更には、二色成型による成型方法により、一体成型することにより、基体部と緩衝部とを接合する工程を省くことができ、しかも強力に接合することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のペリクル収納容器の一実施形態を示し、ペリクル収納容器にペリクルを収容した状態を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’線における断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図、（Ｄ）は（Ｂ）においてＣで囲まれた部分の拡大図、（Ｅ）は、カバーを開けた状態の平面図である。
【図２】本発明のペリクルフレーム支持体の一実施形態を示す縦断面図である。
【図３】実施例において使用したペリクルを示す図であり、（Ａ）は粘着剤塗布端面側から見た底面図、（Ｂ）は、（Ａ）のＤ−Ｄ’線における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図１は、本発明のペリクル収納容器の一実施形態を示す図であり、この場合、ペリクル１を収容した状態のペリクル収納容器を示している。図１中、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’線における断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図、（Ｄ）は（Ｂ）においてＣで囲まれた部分の拡大図、（Ｅ）は、カバーを開けた状態の平面図である。
【００１８】
本発明のペリクル収納容器は、図１に示されるように、ペリクル１が載置されるトレイ２１と、トレイ２１を覆ってトレイ２１と共にペリクル１を収容する閉空間を形成するカバー２２とを備える。トレイとカバーは、発塵しにくい硬質の材料、例えば、エンジニアリングプラスチック等の樹脂や金属などで形成される。ペリクルは、フォトマスクの形状に合わせて作製され、通常、四角形（長方形又は正方形）であるが、トレイは、ペリクルを収容できるように、ペリクルの形状及びサイズに合わせて形成される。図１に示されるペリクル収納容器２の場合、トレイ２１は略長方形形状に形成され、この場合、外周壁の内側には、外周壁に沿って、土手部２１１が全周に亘って凸設されている。
【００１９】
カバー２２は、トレイ２１を覆う蓋状に形成されており、この場合、カバー２２の外周縁部は、外側に、更に上方に向かって折り返された形状となっており、トレイ２１にカバー２２が載置されたとき、折り返しによって形成されたカバー２２の底面が、トレイ２１の外周壁と土手部２１１との間の上面に、また、折り返しによって形成されたカバー２２の外周面が、トレイ２１の外周壁の内周面に、各々が接して、ペリクル１を収容する閉空間が形成されるようになっている。
【００２０】
ペリクル収納容器には、図１に示されるように、フォトマスクの形状に合わせて形成された四角形リング形状（図１の場合、長方形リング形状）のペリクルフレーム１１の一端面にペリクル膜１２が張設され、他端面に粘着剤（粘着剤層）１３が、通常、ペリクルフレーム１１の全周に亘って塗布されたペリクル１が収容される。そして、図１に示されるように、ペリクルフレーム１１の粘着剤塗布端面の一部（外周側、幅方向中央部、内周側のいずれでもよい）にのみ粘着剤層１３が形成され（図１の場合、内周側に形成されている）、残部は、粘着剤１３が塗布されていない未塗布領域ａとなっている。
【００２１】
本発明のペリクル収納容器のトレイには、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の一部に設けられた粘着剤の未塗布領域とのみ接触することによってペリクルを支持するペリクルフレーム支持体が設けられている。ペリクルフレーム支持体は、トレイの上に設けられ、例えば、図１に示される場合は、トレイ２１の上面（図１の場合は、トレイ２１の外周縁部に凸設された土手部２１１上）に、ペリクルフレーム支持体３が設けられている。ペリクルフレーム支持体は、ペリクルフレーム上に塗布された粘着剤により形成された粘着剤層とトレイとが接触しないように十分に離間した状態となる高さに形成される。なお、図１の場合は、土手部２１１上にペリクルフレーム支持体３が設けられているが、これに限定されず、土手部２１１を形成せずに、トレイ２１の上に、必要な高さのペリクルフレーム支持体３を直接形成してもよい。
【００２２】
ペリクルフレーム支持体３は、トレイ２１の外周縁の内側（例えば、図１に示されるように土手部２１１上）に、外周縁に沿って全周又は周の一部に設けられる。図１の場合、円錐台形状のペリクルフレーム支持体３が、土手部２１１のトレイ２１の周方向に、略等間隔に８個設けられている。
【００２３】
なお、図１では円錐台形状のペリクルフレーム支持体を８ヶ所設けたものを例示しているが、ペリクルフレーム支持体の位置や個数、個々の形状については、収納するペリクルやペリクル収納容器の形状によって適宜設定することができる。基本的には、輸送中の振動や衝撃でペリクルフレームが動いても粘着剤層と、ペリクル収納容器のトレイ及びペリクルフレーム支持体との間隙が確実に確保されるようになっていればよい。ペリクルフレーム支持体をトレイの周方向に一部に設ける場合、ペリクルフレーム支持体の個数は特に限定されるものではないが、ペリクルを安定して支持するためには、ペリクルフレーム支持体を３個以上、特に４個以上設けることが好ましい。
【００２４】
ペリクルフレーム支持体には、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の粘着剤が塗布されていない未塗布領域だけが接触するように載置される。図１の場合、ペリクルフレーム１１の粘着剤塗布端面の内周側のみに粘着剤層１２が形成されており、円錐台形状のペリクルフレーム支持体３の上面が、ペリクルフレーム１１の粘着剤塗布端面の粘着剤が塗布されていない未塗布領域ａと接して、ペリクルを支持するようになっており、この際、粘着剤層１３とペリクルフレーム支持体３とは、接触しないようになっている。
【００２５】
また、本発明のペリクル収納容器のトレイには、ペリクルフレームをペリクルフレーム支持体上で固定する保持機構が設けられている。この保持機構としては、例えば、フレーム側面や膜接着層側端面をクランプする保持機構などでもよいが、特に、ペリクルフレーム側面に設けられた非貫通穴にピンを挿入してペリクルフレームを固定する保持機構が好適である。
【００２６】
図１に示されるペリクル１には、ペリクルフレーム１１の周面から（図１の場合は外周面から形成されているが、内周面からでもよい）ペリクルフレーム１１の内部に向かって水平方向に、後述するペリクルフレーム１１を固定する保持機構４のピン４１が挿入される非貫通穴１１ａが、保持機構４のピン４１の数に対応する所定個数（図１の場合、ペリクルフレーム１１の角部に計４個）設けられている。
【００２７】
一方、トレイ２１上には、非貫通穴１１ａに対応する位置（図１の場合は、土手部２１１上の４箇所）に、ピン４１を有する保持機構４が設けられている。これにより、ペリクルの輸送中にペリクル収納容器内でペリクルが移動することを防ぐことができる。図１は、ペリクル１が保持機構４によってペリクル収納容器内で固定されている状態を示している。ピン４１は、非貫通穴１１ａ内に進退可能となっており、ペリクルフレーム１１をペリクルフレーム支持体３上に載置し、非貫通穴１１ａにピン４１を挿入することにより、ペリクルフレーム１１がペリクルフレーム支持体３上で固定され、ピン４１を非貫通穴１１ａから引き抜くことにより、ペリクル１を保持機構４から解放することができるようになっている。また、保持機構のピンの先端には、ゴムなどの弾性体を設けることができ、この場合、より安定な固定が可能となるため好ましい。
【００２８】
本発明のペリクル収納容器のペリクルフレーム支持体は、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成されている。そして、基体部及び緩衝部の両者が硬さの異なる部材の接合体で形成されている。図２は、図１に示されるペリクル収納容器２のペリクルフレーム支持体３の拡大縦断面図であり、この場合、円錐台形のペリクルフレーム支持体３の下部（トレイ２１側）が基体部３１、上部、即ち、ペリクルフレーム１１と接する側が緩衝部３２となっている。ペリクルフレーム支持体の基体部は、緩衝部より硬く形成されていることが好ましい。
【００２９】
基体部は、トレイから一体に形成してもよいが、ペリクルの大きさや形状に合わせてペリクルフレーム支持体の位置を調整できることから、トレイとは別部材として設けることが好ましい。その場合、基体部３１は、トレイ２１との接着、ねじ止め等による確実な固定が必要であるため、硬度、強度がある材料、例えば、エンジニアリングプラスチックで形成することが好ましい。エンジニアリングプラスチックの材質としては、発塵しにくく、表面を平滑に加工できるものであればよく、例えば、ＡＢＳ（アクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＩ（ポリイミド）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＳＰＳ（シンジオタクチックポリスチレン）などを用いることができる。
【００３０】
一方、緩衝部は、ペリクルフレームにかかる振動や衝撃を吸収・緩和する必要があるため、ゴム又はエラストマーであることが好ましい。ゴム又はエラストマーの材質としては表面を平滑に加工できるものであればよく、例えば、ＮＢＲ（アクリロニトリルブタジエンゴム）、ＩＲ（イソプレンゴム）、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）、ＣＲ（クロロプレンゴム）、Ｑ（シリコーンゴム）、ＳＢＲ（スチレンブタジエンゴム）、ＢＲ（ブタジエンゴム）、ＦＫＭ（フッ素ゴム）、ＩＩＲ（ブチルゴム）等のゴム、ＰＳ（ポリスチレン）系、ＰＥ（ポリエチレン）系、ＰＰ（ポリプロピレン）系等のエラストマー（ＰＳ、ＰＥ、ＰＰと、ＰＢ（ポリブタジエン）との共重合体）などを用いることができる。
【００３１】
緩衝部に用いられるゴム又はエラストマーは、その硬さがデュロメータタイプＡで１０以上８０以下の硬さのものが好ましく、更には、１０以上６０以下のものがより好ましい。硬さがデュロメータタイプＡで１０より低いと、緩衝部がペリクルフレームを支えきれず潰れてしまったり、軟らかすぎて加工が困難であったりするおそれがある。また、硬さが８０より高いと、緩衝部が硬すぎてペリクルフレームにかかる振動や衝撃を吸収・緩和できない場合がある。
【００３２】
これらのエンジニアリングプラスチック、ゴム及びエラストマーには、帯電防止性能付与のため、界面活性剤やカーボン、金属、金属酸化物などを配合してもよい。これによって、輸送中やペリクル収納容器からの取り出し時におけるペリクルの帯電を防止することができ、静電気による異物の付着やペリクル貼り付け時のマスクパターンの静電破壊発生の懸念が低下する。
【００３３】
更に、ペリクルフレーム支持体の基体部と緩衝部との接合には、両面テープや接着剤、粘着剤等を用いてもよいが、二色成型による一体成型がより好ましい。両面テープでは基体部と緩衝部との接合面に合うように切断し、貼り付けることが困難な場合があり、接着剤や粘着剤では硬化時にガスが発生したり、接合面以外にはみ出してしまったりすることがある。また、それらの工程は、非常に精細な工程であり時間がかかる。これに対して、二色成型による成型であれば、金型内での成型時に基体部と緩衝部とを一体物として成型することができるため、短時間で容易に作製することができる。
【００３４】
本発明のペリクル収納容器を用いれば、粘着剤層はトレイに接触することなくペリクル収納容器内に固定、保持された状態で収容される。したがって、セパレータによって粘着剤層を保護する必要がなくなり、セパレータの使用を省略することができる。また、本発明のペリクル収納容器は、セパレータとして、継ぎ目、折り目等のない一枚の原材料シートを確保することが容易ではない、少なくとも一つの辺長が５００ｍｍ以上、特に１０００ｍｍ以上、とりわけ１５００ｍｍ以上の大型のペリクルを収納する容器として特に好適である。
【実施例】
【００３５】
以下、実施例及び比較例を示して本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００３６】
［実施例１］
図３に示すようなペリクル１を作製した。即ち、ペリクルフレーム１１として長辺外寸１６００ｍｍ、短辺外寸１５００ｍｍ、高さ５．８ｍｍ、幅１３ｍｍの５０００系アルミニウム合金を機械加工により切削し、表面には黒色アルマイト処理を施した。このペリクルフレーム１１の外側面の所定の４箇所には、保持機構４のピン４１を挿入する非貫通穴１１ａを設けた。このペリクルフレームを純水で洗浄、乾燥した後、粘着剤層１３として、シリコーン粘着剤（信越化学工業株式会社製、製品名：Ｘ−４０−３１２２）をトルエンで希釈したものを直交３軸ディスペンサーロボットで塗布した。なお、粘着剤層１３は、幅４ｍｍ、高さ１．５ｍｍの蒲鉾型の断面形状とした。このとき、ペリクルフレームの幅１３ｍｍに対して４ｍｍの粘着剤層が内側に形成されているので、外側に９ｍｍ幅の未塗布領域ａがあることになる。
【００３７】
更に、ペリクル膜接着剤層（図示せず）としてシリコーン粘着剤（信越化学工業株式会社製、製品名：ＫＲ−３７００）をトルエンで希釈して、乾燥後の厚さが０．１ｍｍとなるように粘着剤塗布端面の反対面に塗布した後、１３０℃に加熱してこれらを硬化させた。ペリクル膜１２は、表面を平滑に研磨した１６００ｍｍ×１７００ｍｍの矩形石英基板上にフッ素樹脂（旭硝子株式会社製、製品名：サイトップ）をダイコート法にて塗布し、溶媒を乾燥させた後、石英基板より引き剥がし、厚さ４μｍのペリクル膜を得た。そして、このペリクル膜１２をペリクル膜接着剤層上に貼り付け、カッターで外側の不要部分を切除し、ペリクル１を完成させた。
【００３８】
一方、厚さ５ｍｍの黒色帯電防止ＡＢＳ樹脂（東レ株式会社製、製品名：トヨラックパレル）を真空成型法により成型し、図１に示されるような、ペリクル収納容器２のトレイ２１を作製した。また、同様にして、厚さ５ｍｍの黒色帯電防止ＡＢＳ樹脂（東レ株式会社製、製品名：トヨラックパレル）を用い、真空成型法によりペリクル収納容器２のカバー２２を作製した。ペリクル収納容器トレイ２１上にはＡＢＳ樹脂を射出成型して作製したピン４１を有する保持機構４を、ペリクルフレーム１１に設けた非貫通穴１１ａに嵌合するよう位置調整の上、接着固定した。
【００３９】
そして更に、ペリクル収納容器２のトレイ２１上の８箇所に、ペリクルフレーム１１の粘着剤の未塗布領域ａにのみ接触するように、ペリクルフレーム支持体３を設けた。ペリクルフレーム支持体３は、ＡＢＳ樹脂からなる基体部３１と、ＰＳ−（ＰＥ／ＰＰ／ＰＢ）共重合体（クラレプラスチックス株式会社製、製品名：セプトンＫＣ−５９６、硬さ：デュロメータタイプＡで４０）からなるペリクルフレーム緩衝部３２とを二色成型により一体の接合体として作製し、トレイ２１上に取り付けた。二色成型時には金型温度は４０℃に保持し、成型機のシリンダー温度を１９０℃まで加熱して成型した。
【００４０】
このペリクル収納容器２をクリーンルーム内で、純水で洗浄、乾燥させた後、ペリクルフレーム支持体３が、ペリクルフレーム１１の粘着剤の未塗布領域ａにのみ接触するように載置し、保持機構４でペリクルを固定してペリクル１を収容し、ペリクル収納容器２に収納した。
【００４１】
［実施例２］
ペリクルフレーム支持体の基体部をポリカーボネート、緩衝部をシリコーンゴム（信越化学工業株式会社製、製品名：ＫＥ−１９５０−１０、硬さ：デュロメータタイプＡで１０）として二色成型により成型したほかは、実施例１と同様にペリクル収納容器を作製し、ペリクルを固定・収納した。
【００４２】
［実施例３］
ペリクルフレーム支持体の基体部をＡＢＳ、緩衝部をＰＳ−（ＰＥ／ＰＰ／ＰＢ）共重合体（クラレプラスチックス株式会社製、製品名：セプトンＫＣ−６２３、硬さ：デュロメータタイプＡで８０）として二色成型により成型したほかは、実施例１と同様にペリクル収納容器を作製し、ペリクルを固定・収納した。
【００４３】
［比較例１］
ペリクルフレーム支持体の基体部をＡＢＳ、緩衝部をシリコーンゲル（信越化学工業株式会社製、製品名：ＫＥ−１０５２Ａ／Ｂ、硬さ：デュロメータタイプＡで１以下、アスカＣで１０）として二色成型により成型したほかは、実施例１と同様にペリクル収納容器を作製し、ペリクルを固定・収納した。
【００４４】
［比較例２］
ペリクルフレーム支持体の基体部をＡＢＳ、緩衝部をシリコーンゴム（信越化学工業株式会社製、製品名：ＫＥＲ−２６６７、硬さ：デュロメータタイプＡで９０以上、ショアＤで７０）として二色成型により成型したほかは、実施例１と同様にペリクル収納容器を作製し、ペリクルを固定・収納した。
【００４５】
実施例１〜３及び比較例１、２にて作製したペリクル収納容器の評価を行った。評価方法は以下の通りである。結果を表１に示す。
評価項目１（ペリクル保持性）：ペリクルをペリクル収納容器に収納したときのペリクルフレーム支持体によるペリクル（ペリクルフレーム）保持性を目視して確認した。
評価項目２（異物の付着状況）：ペリクルが収納されたペリクル収納容器を垂直に立て、１分間保持した後、水平に戻す動作を３回行い、ペリクル膜、ペリクルフレームへの異物の付着状況を目視して確認した。
【００４６】
【表１】
【符号の説明】
【００４７】
１ ペリクル
１１ ペリクルフレーム
１１ａ 非貫通穴
１２ ペリクル膜
１３ 粘着剤（粘着剤層）
２ ペリクル収納容器
２１ トレイ
２１１ 土手部
２２ カバー
３ ペリクルフレーム支持体
３１ 基体部
３２ 緩衝部
４ 保持機構
４１ ピン
ａ 粘着剤の未塗布領域
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、プリント基板、液晶ディスプレイ等を製造する際に使用されるペリクルの収納容器、特には、液晶ディスプレイ製造に使用される大型のペリクルの収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造、液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウェハー又は液晶用原板に光を照射してパターンを作製するが、このときに用いるフォトマスク又はレチクル（以下、単にフォトマスクと記述する）にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジが、がさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりするなど、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。
【０００３】
このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しい。そこで、フォトマスク表面にゴミ除けとしてペリクルを貼り付けた後に露光をする方法が一般に採用されている。この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００４】
一般に、ペリクルには、ペリクルフレームの上端面に透明なペリクル膜が張設されるとともに、下端面にフォトマスクに貼り付けるための粘着剤層が形成されている。具体的には、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、フッ素樹脂などからなる透明なペリクル膜をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布した後、風乾して接着する（特許文献１：特開昭５８−２１９０２３号公報）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着する（特許文献２：米国特許第４８６１４０２号明細書、特許文献３：特公昭６３−２７７０７号公報）。更に、ペリクルフレームの下端面には、フォトマスクに装着するためのポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着剤層、及び必要に応じて、粘着剤層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が貼り付けられる。
【０００５】
セパレータは、通常ＰＥＴ樹脂などの１００〜２００μｍ程度の薄いフィルム上に離型剤を塗布し、所望の形状に切断加工したものが使用される。セパレータは、フィルムの薄さに加え、なおかつ、フレームの外形とほぼ同じ枠状の形状をしているため、紐のようになってしまい、きれいに洗浄することが困難であるほか、粘着剤層への貼り付け等の作業上において取り扱いが極めて不便であるという問題がある。
【０００６】
また、セパレータは継ぎ目、折り目等のない一枚の原材料シートで製造される必要がある。セパレータに継ぎ目、折り目等の段差があると、貼り付けた粘着剤層に形状が転写されてしまい、貼り付け後のマスクの安定性に影響を及ぼすおそれがある。このような継ぎ目、折り目等のない大型の一枚の原材料シートを製造することは困難であり、また、離型剤を全面にわたって欠陥なく塗布することも困難である。そのため、大型のペリクル、特には１辺の長さが１ｍを超えるような大型のペリクルに対するセパレータの製造は困難であった。
【０００７】
セパレータは粘着剤層を保護する機能のみを必要とされ、ペリクル使用時には剥がされ廃棄されるものであるため、これらの問題を解決するためにはセパレータを用いなければよい。セパレータの使用を省略するためには、例えば、ペリクル収納容器を用いればよく、この場合、通常ペリクルは粘着剤層を下側（ペリクル収納容器側）に向けて収納容器に収容するが、逆に粘着剤層を上側に向け、ペリクル膜側を下側に向けて載置することも考えられる。しかし、この場合、ペリクル膜内側がペリクル収納容器内で上方を向くことになり、最も保護しなければならない部分に異物が付着する懸念があり、好ましくない。そのため、これまでのところ、保管中にセパレータを必要とせずにペリクルを収納できるペリクル収納容器はほとんど提案されていなかった。
【０００８】
保管中にセパレータを必要としないペリクル及びペリクル収納容器として、ペリクル収納容器内にペリクルフレーム支持体を設けたものがある（特許文献４：特開２００９−１２８６３５号公報）。しかし、ペリクルフレーム支持体が軟らかい場合には、ペリクルフレーム支持体をペリクル容器へ確実にネジ止め等により十分に固定することができなかったり、ペリクルフレーム支持体が硬い場合には、ペリクル収納容器を移動する際に生じるペリクルフレームへの振動・衝撃を十分吸収できなかったりという不具合があり、問題解決には至らなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開昭５８−２１９０２３号公報
【特許文献２】米国特許第４８６１４０２号明細書
【特許文献３】特公昭６３−２７７０７号公報
【特許文献４】特開２００９−１２８６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、ペリクル、特には、少なくとも一つの辺長が５００ｍｍ以上の大型のペリクルについて、セパレータ以外の粘着剤層保護手段、即ち、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護し、かつ、保管中や輸送中の振動、衝撃がある場合にも確実にペリクルを保持することができるペリクル収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、前記問題点を解決するため鋭意検討を行った結果、ペリクルが載置されるトレイと、トレイを覆ってトレイと共にペリクルを収容する閉空間を形成するカバーとを備え、トレイが、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の一部に設けられた粘着剤の未塗布領域とのみ接触することによってペリクルを支持するペリクルフレーム支持体と、ペリクルフレームをペリクルフレーム支持体上で固定する保持機構とを有し、更に、ペリクルフレーム支持体が、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成され、両者が硬さの異なる部材の接合体で形成されているペリクル収納容器が、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護し、かつ、保管中や輸送中の振動、衝撃がある場合にも確実にペリクルを保持することができることを見出し、本発明をなすに至った。
【００１２】
従って、本発明は、下記ペリクル収納容器を提供する。
請求項１：
ペリクルが載置されるトレイと、トレイを覆って該トレイと共にペリクルを収容する閉空間を形成するカバーとを備え、前記トレイが、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の一部に設けられた粘着剤の未塗布領域とのみ接触することによってペリクルを支持するペリクルフレーム支持体と、ペリクルフレームをペリクルフレーム支持体上で固定する保持機構とを有するペリクル収納容器であって、
前記ペリクルフレーム支持体が、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成され、両者が硬さの異なる部材の接合体で形成されてなることを特徴とするペリクル収納容器。
請求項２：
前記ペリクルフレーム支持体の基体部がエンジニアリングプラスチックで形成され、前記ペリクルフレーム支持体の緩衝部がゴム又はエラストマーで形成されてなることを特徴とする請求項１記載のペリクル収納容器。
請求項３：
前記ペリクルフレーム支持体の基体部が緩衝部より硬く形成され、該緩衝部の硬さがデュロメータタイプＡで１０以上８０以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のペリクル収納容器。
請求項４：
前記ペリクルフレーム支持体の基体部と緩衝部とが二色成型により一体成型されてなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のペリクル収納容器。
【００１３】
本発明のペリクル収納容器は、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護し、かつ、保管中や輸送中の振動、衝撃がある場合にも確実にペリクルを保持することができる。更には、セパレータを使用しないため、特に、大型ペリクルにおける大型セパレータの原材料入手難という問題を解決できるほか、セパレータ自体のコストのみならず、セパレータの洗浄作業、貼り付け作業等関連作業を削減できるため、製造コストを大きく低減することができる。以上のことから、産業上における利用価値は極めて高い。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、粘着剤層がペリクル収納容器に接触することなくペリクルが収納容器内で固定され、セパレータを使用せずとも粘着剤層を保護することができるため、保管中にセパレータを必要としないペリクルの収納容器を提供することができる。よって、特に大型のペリクルにおけるセパレータ原材料の入手難という問題を解決できる。また、輸送中やセパレータの剥離作業におけるセパレータ自体からの発塵がなくなるため、異物付着防止の観点からも効果が大きい。更に、セパレータ自体のコストのみならず、洗浄作業、貼り付け作業等の関連する工程を削減できるため、製造コストを大幅に低減することができる。
【００１５】
また、ペリクルフレーム支持体を硬さの異なる部材の組み合わせとすることにより、輸送中のペリクルの振動・衝撃を効果的に吸収、緩和することができ、特に、ペリクルフレームをゴム又はエラストマーで支持するようにした場合、輸送中のペリクルの振動・衝撃をゴム又はエラストマーで吸収・緩和し、ペリクルフレームやペリクル膜がペリクル収納容器と接触し、傷ついてしまうことを効果的に防ぐことができる。更に、ペリクルフレーム支持体を、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成すれば、それぞれ最適な部材を使用することができる。更には、二色成型による成型方法により、一体成型することにより、基体部と緩衝部とを接合する工程を省くことができ、しかも強力に接合することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のペリクル収納容器の一実施形態を示し、ペリクル収納容器にペリクルを収容した状態を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’線における断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図、（Ｄ）は（Ｂ）においてＣで囲まれた部分の拡大図、（Ｅ）は、カバーを開けた状態の平面図である。
【図２】本発明のペリクルフレーム支持体の一実施形態を示す縦断面図である。
【図３】実施例において使用したペリクルを示す図であり、（Ａ）は粘着剤塗布端面側から見た底面図、（Ｂ）は、（Ａ）のＤ−Ｄ’線における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図１は、本発明のペリクル収納容器の一実施形態を示す図であり、この場合、ペリクル１を収容した状態のペリクル収納容器を示している。図１中、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’線における断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図、（Ｄ）は（Ｂ）においてＣで囲まれた部分の拡大図、（Ｅ）は、カバーを開けた状態の平面図である。
【００１８】
本発明のペリクル収納容器は、図１に示されるように、ペリクル１が載置されるトレイ２１と、トレイ２１を覆ってトレイ２１と共にペリクル１を収容する閉空間を形成するカバー２２とを備える。トレイとカバーは、発塵しにくい硬質の材料、例えば、エンジニアリングプラスチック等の樹脂や金属などで形成される。ペリクルは、フォトマスクの形状に合わせて作製され、通常、四角形（長方形又は正方形）であるが、トレイは、ペリクルを収容できるように、ペリクルの形状及びサイズに合わせて形成される。図１に示されるペリクル収納容器２の場合、トレイ２１は略長方形形状に形成され、この場合、外周壁の内側には、外周壁に沿って、土手部２１１が全周に亘って凸設されている。
【００１９】
カバー２２は、トレイ２１を覆う蓋状に形成されており、この場合、カバー２２の外周縁部は、外側に、更に上方に向かって折り返された形状となっており、トレイ２１にカバー２２が載置されたとき、折り返しによって形成されたカバー２２の底面が、トレイ２１の外周壁と土手部２１１との間の上面に、また、折り返しによって形成されたカバー２２の外周面が、トレイ２１の外周壁の内周面に、各々が接して、ペリクル１を収容する閉空間が形成されるようになっている。
【００２０】
ペリクル収納容器には、図１に示されるように、フォトマスクの形状に合わせて形成された四角形リング形状（図１の場合、長方形リング形状）のペリクルフレーム１１の一端面にペリクル膜１２が張設され、他端面に粘着剤（粘着剤層）１３が、通常、ペリクルフレーム１１の全周に亘って塗布されたペリクル１が収容される。そして、図１に示されるように、ペリクルフレーム１１の粘着剤塗布端面の一部（外周側、幅方向中央部、内周側のいずれでもよい）にのみ粘着剤層１３が形成され（図１の場合、内周側に形成されている）、残部は、粘着剤１３が塗布されていない未塗布領域ａとなっている。
【００２１】
本発明のペリクル収納容器のトレイには、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の一部に設けられた粘着剤の未塗布領域とのみ接触することによってペリクルを支持するペリクルフレーム支持体が設けられている。ペリクルフレーム支持体は、トレイの上に設けられ、例えば、図１に示される場合は、トレイ２１の上面（図１の場合は、トレイ２１の外周縁部に凸設された土手部２１１上）に、ペリクルフレーム支持体３が設けられている。ペリクルフレーム支持体は、ペリクルフレーム上に塗布された粘着剤により形成された粘着剤層とトレイとが接触しないように十分に離間した状態となる高さに形成される。なお、図１の場合は、土手部２１１上にペリクルフレーム支持体３が設けられているが、これに限定されず、土手部２１１を形成せずに、トレイ２１の上に、必要な高さのペリクルフレーム支持体３を直接形成してもよい。
【００２２】
ペリクルフレーム支持体３は、トレイ２１の外周縁の内側（例えば、図１に示されるように土手部２１１上）に、外周縁に沿って全周又は周の一部に設けられる。図１の場合、円錐台形状のペリクルフレーム支持体３が、土手部２１１のトレイ２１の周方向に、略等間隔に８個設けられている。
【００２３】
なお、図１では円錐台形状のペリクルフレーム支持体を８ヶ所設けたものを例示しているが、ペリクルフレーム支持体の位置や個数、個々の形状については、収納するペリクルやペリクル収納容器の形状によって適宜設定することができる。基本的には、輸送中の振動や衝撃でペリクルフレームが動いても粘着剤層と、ペリクル収納容器のトレイ及びペリクルフレーム支持体との間隙が確実に確保されるようになっていればよい。ペリクルフレーム支持体をトレイの周方向に一部に設ける場合、ペリクルフレーム支持体の個数は特に限定されるものではないが、ペリクルを安定して支持するためには、ペリクルフレーム支持体を３個以上、特に４個以上設けることが好ましい。
【００２４】
ペリクルフレーム支持体には、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の粘着剤が塗布されていない未塗布領域だけが接触するように載置される。図１の場合、ペリクルフレーム１１の粘着剤塗布端面の内周側のみに粘着剤層１２が形成されており、円錐台形状のペリクルフレーム支持体３の上面が、ペリクルフレーム１１の粘着剤塗布端面の粘着剤が塗布されていない未塗布領域ａと接して、ペリクルを支持するようになっており、この際、粘着剤層１３とペリクルフレーム支持体３とは、接触しないようになっている。
【００２５】
また、本発明のペリクル収納容器のトレイには、ペリクルフレームをペリクルフレーム支持体上で固定する保持機構が設けられている。この保持機構としては、例えば、フレーム側面や膜接着層側端面をクランプする保持機構などでもよいが、特に、ペリクルフレーム側面に設けられた非貫通穴にピンを挿入してペリクルフレームを固定する保持機構が好適である。
【００２６】
図１に示されるペリクル１には、ペリクルフレーム１１の周面から（図１の場合は外周面から形成されているが、内周面からでもよい）ペリクルフレーム１１の内部に向かって水平方向に、後述するペリクルフレーム１１を固定する保持機構４のピン４１が挿入される非貫通穴１１ａが、保持機構４のピン４１の数に対応する所定個数（図１の場合、ペリクルフレーム１１の角部に計４個）設けられている。
【００２７】
一方、トレイ２１上には、非貫通穴１１ａに対応する位置（図１の場合は、土手部２１１上の４箇所）に、ピン４１を有する保持機構４が設けられている。これにより、ペリクルの輸送中にペリクル収納容器内でペリクルが移動することを防ぐことができる。図１は、ペリクル１が保持機構４によってペリクル収納容器内で固定されている状態を示している。ピン４１は、非貫通穴１１ａ内に進退可能となっており、ペリクルフレーム１１をペリクルフレーム支持体３上に載置し、非貫通穴１１ａにピン４１を挿入することにより、ペリクルフレーム１１がペリクルフレーム支持体３上で固定され、ピン４１を非貫通穴１１ａから引き抜くことにより、ペリクル１を保持機構４から解放することができるようになっている。また、保持機構のピンの先端には、ゴムなどの弾性体を設けることができ、この場合、より安定な固定が可能となるため好ましい。
【００２８】
本発明のペリクル収納容器のペリクルフレーム支持体は、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成されている。そして、基体部及び緩衝部の両者が硬さの異なる部材の接合体で形成されている。図２は、図１に示されるペリクル収納容器２のペリクルフレーム支持体３の拡大縦断面図であり、この場合、円錐台形のペリクルフレーム支持体３の下部（トレイ２１側）が基体部３１、上部、即ち、ペリクルフレーム１１と接する側が緩衝部３２となっている。ペリクルフレーム支持体の基体部は、緩衝部より硬く形成されていることが好ましい。
【００２９】
基体部は、トレイから一体に形成してもよいが、ペリクルの大きさや形状に合わせてペリクルフレーム支持体の位置を調整できることから、トレイとは別部材として設けることが好ましい。その場合、基体部３１は、トレイ２１との接着、ねじ止め等による確実な固定が必要であるため、硬度、強度がある材料、例えば、エンジニアリングプラスチックで形成することが好ましい。エンジニアリングプラスチックの材質としては、発塵しにくく、表面を平滑に加工できるものであればよく、例えば、ＡＢＳ（アクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＩ（ポリイミド）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＳＰＳ（シンジオタクチックポリスチレン）などを用いることができる。
【００３０】
一方、緩衝部は、ペリクルフレームにかかる振動や衝撃を吸収・緩和する必要があるため、ゴム又はエラストマーであることが好ましい。ゴム又はエラストマーの材質としては表面を平滑に加工できるものであればよく、例えば、ＮＢＲ（アクリロニトリルブタジエンゴム）、ＩＲ（イソプレンゴム）、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）、ＣＲ（クロロプレンゴム）、Ｑ（シリコーンゴム）、ＳＢＲ（スチレンブタジエンゴム）、ＢＲ（ブタジエンゴム）、ＦＫＭ（フッ素ゴム）、ＩＩＲ（ブチルゴム）等のゴム、ＰＳ（ポリスチレン）系、ＰＥ（ポリエチレン）系、ＰＰ（ポリプロピレン）系等のエラストマー（ＰＳ、ＰＥ、ＰＰと、ＰＢ（ポリブタジエン）との共重合体）などを用いることができる。
【００３１】
緩衝部に用いられるゴム又はエラストマーは、その硬さがデュロメータタイプＡで１０以上８０以下の硬さのものが好ましく、更には、１０以上６０以下のものがより好ましい。硬さがデュロメータタイプＡで１０より低いと、緩衝部がペリクルフレームを支えきれず潰れてしまったり、軟らかすぎて加工が困難であったりするおそれがある。また、硬さが８０より高いと、緩衝部が硬すぎてペリクルフレームにかかる振動や衝撃を吸収・緩和できない場合がある。
【００３２】
これらのエンジニアリングプラスチック、ゴム及びエラストマーには、帯電防止性能付与のため、界面活性剤やカーボン、金属、金属酸化物などを配合してもよい。これによって、輸送中やペリクル収納容器からの取り出し時におけるペリクルの帯電を防止することができ、静電気による異物の付着やペリクル貼り付け時のマスクパターンの静電破壊発生の懸念が低下する。
【００３３】
更に、ペリクルフレーム支持体の基体部と緩衝部との接合には、両面テープや接着剤、粘着剤等を用いてもよいが、二色成型による一体成型がより好ましい。両面テープでは基体部と緩衝部との接合面に合うように切断し、貼り付けることが困難な場合があり、接着剤や粘着剤では硬化時にガスが発生したり、接合面以外にはみ出してしまったりすることがある。また、それらの工程は、非常に精細な工程であり時間がかかる。これに対して、二色成型による成型であれば、金型内での成型時に基体部と緩衝部とを一体物として成型することができるため、短時間で容易に作製することができる。
【００３４】
本発明のペリクル収納容器を用いれば、粘着剤層はトレイに接触することなくペリクル収納容器内に固定、保持された状態で収容される。したがって、セパレータによって粘着剤層を保護する必要がなくなり、セパレータの使用を省略することができる。また、本発明のペリクル収納容器は、セパレータとして、継ぎ目、折り目等のない一枚の原材料シートを確保することが容易ではない、少なくとも一つの辺長が５００ｍｍ以上、特に１０００ｍｍ以上、とりわけ１５００ｍｍ以上の大型のペリクルを収納する容器として特に好適である。
【実施例】
【００３５】
以下、実施例及び比較例を示して本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００３６】
［実施例１］
図３に示すようなペリクル１を作製した。即ち、ペリクルフレーム１１として長辺外寸１６００ｍｍ、短辺外寸１５００ｍｍ、高さ５．８ｍｍ、幅１３ｍｍの５０００系アルミニウム合金を機械加工により切削し、表面には黒色アルマイト処理を施した。このペリクルフレーム１１の外側面の所定の４箇所には、保持機構４のピン４１を挿入する非貫通穴１１ａを設けた。このペリクルフレームを純水で洗浄、乾燥した後、粘着剤層１３として、シリコーン粘着剤（信越化学工業株式会社製、製品名：Ｘ−４０−３１２２）をトルエンで希釈したものを直交３軸ディスペンサーロボットで塗布した。なお、粘着剤層１３は、幅４ｍｍ、高さ１．５ｍｍの蒲鉾型の断面形状とした。このとき、ペリクルフレームの幅１３ｍｍに対して４ｍｍの粘着剤層が内側に形成されているので、外側に９ｍｍ幅の未塗布領域ａがあることになる。
【００３７】
更に、ペリクル膜接着剤層（図示せず）としてシリコーン粘着剤（信越化学工業株式会社製、製品名：ＫＲ−３７００）をトルエンで希釈して、乾燥後の厚さが０．１ｍｍとなるように粘着剤塗布端面の反対面に塗布した後、１３０℃に加熱してこれらを硬化させた。ペリクル膜１２は、表面を平滑に研磨した１６００ｍｍ×１７００ｍｍの矩形石英基板上にフッ素樹脂（旭硝子株式会社製、製品名：サイトップ）をダイコート法にて塗布し、溶媒を乾燥させた後、石英基板より引き剥がし、厚さ４μｍのペリクル膜を得た。そして、このペリクル膜１２をペリクル膜接着剤層上に貼り付け、カッターで外側の不要部分を切除し、ペリクル１を完成させた。
【００３８】
一方、厚さ５ｍｍの黒色帯電防止ＡＢＳ樹脂（東レ株式会社製、製品名：トヨラックパレル）を真空成型法により成型し、図１に示されるような、ペリクル収納容器２のトレイ２１を作製した。また、同様にして、厚さ５ｍｍの黒色帯電防止ＡＢＳ樹脂（東レ株式会社製、製品名：トヨラックパレル）を用い、真空成型法によりペリクル収納容器２のカバー２２を作製した。ペリクル収納容器トレイ２１上にはＡＢＳ樹脂を射出成型して作製したピン４１を有する保持機構４を、ペリクルフレーム１１に設けた非貫通穴１１ａに嵌合するよう位置調整の上、接着固定した。
【００３９】
そして更に、ペリクル収納容器２のトレイ２１上の８箇所に、ペリクルフレーム１１の粘着剤の未塗布領域ａにのみ接触するように、ペリクルフレーム支持体３を設けた。ペリクルフレーム支持体３は、ＡＢＳ樹脂からなる基体部３１と、ＰＳ−（ＰＥ／ＰＰ／ＰＢ）共重合体（クラレプラスチックス株式会社製、製品名：セプトンＫＣ−５９６、硬さ：デュロメータタイプＡで４０）からなるペリクルフレーム緩衝部３２とを二色成型により一体の接合体として作製し、トレイ２１上に取り付けた。二色成型時には金型温度は４０℃に保持し、成型機のシリンダー温度を１９０℃まで加熱して成型した。
【００４０】
このペリクル収納容器２をクリーンルーム内で、純水で洗浄、乾燥させた後、ペリクルフレーム支持体３が、ペリクルフレーム１１の粘着剤の未塗布領域ａにのみ接触するように載置し、保持機構４でペリクルを固定してペリクル１を収容し、ペリクル収納容器２に収納した。
【００４１】
［実施例２］
ペリクルフレーム支持体の基体部をポリカーボネート、緩衝部をシリコーンゴム（信越化学工業株式会社製、製品名：ＫＥ−１９５０−１０、硬さ：デュロメータタイプＡで１０）として二色成型により成型したほかは、実施例１と同様にペリクル収納容器を作製し、ペリクルを固定・収納した。
【００４２】
［実施例３］
ペリクルフレーム支持体の基体部をＡＢＳ、緩衝部をＰＳ−（ＰＥ／ＰＰ／ＰＢ）共重合体（クラレプラスチックス株式会社製、製品名：セプトンＫＣ−６２３、硬さ：デュロメータタイプＡで８０）として二色成型により成型したほかは、実施例１と同様にペリクル収納容器を作製し、ペリクルを固定・収納した。
【００４３】
［比較例１］
ペリクルフレーム支持体の基体部をＡＢＳ、緩衝部をシリコーンゲル（信越化学工業株式会社製、製品名：ＫＥ−１０５２Ａ／Ｂ、硬さ：デュロメータタイプＡで１以下、アスカＣで１０）として二色成型により成型したほかは、実施例１と同様にペリクル収納容器を作製し、ペリクルを固定・収納した。
【００４４】
［比較例２］
ペリクルフレーム支持体の基体部をＡＢＳ、緩衝部をシリコーンゴム（信越化学工業株式会社製、製品名：ＫＥＲ−２６６７、硬さ：デュロメータタイプＡで９０以上、ショアＤで７０）として二色成型により成型したほかは、実施例１と同様にペリクル収納容器を作製し、ペリクルを固定・収納した。
【００４５】
実施例１〜３及び比較例１、２にて作製したペリクル収納容器の評価を行った。評価方法は以下の通りである。結果を表１に示す。
評価項目１（ペリクル保持性）：ペリクルをペリクル収納容器に収納したときのペリクルフレーム支持体によるペリクル（ペリクルフレーム）保持性を目視して確認した。
評価項目２（異物の付着状況）：ペリクルが収納されたペリクル収納容器を垂直に立て、１分間保持した後、水平に戻す動作を３回行い、ペリクル膜、ペリクルフレームへの異物の付着状況を目視して確認した。
【００４６】
【表１】
【符号の説明】
【００４７】
１ ペリクル
１１ ペリクルフレーム
１１ａ 非貫通穴
１２ ペリクル膜
１３ 粘着剤（粘着剤層）
２ ペリクル収納容器
２１ トレイ
２１１ 土手部
２２ カバー
３ ペリクルフレーム支持体
３１ 基体部
３２ 緩衝部
４ 保持機構
４１ ピン
ａ 粘着剤の未塗布領域
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルが載置されるトレイと、トレイを覆って該トレイと共にペリクルを収容する閉空間を形成するカバーとを備え、前記トレイが、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の一部に設けられた粘着剤の未塗布領域とのみ接触することによってペリクルを支持するペリクルフレーム支持体と、ペリクルフレームをペリクルフレーム支持体上で固定する保持機構とを有するペリクル収納容器であって、
前記ペリクルフレーム支持体が、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成され、両者が硬さの異なる部材の接合体で形成されてなることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
前記ペリクルフレーム支持体の基体部がエンジニアリングプラスチックで形成され、前記ペリクルフレーム支持体の緩衝部がゴム又はエラストマーで形成されてなることを特徴とする請求項１記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
前記ペリクルフレーム支持体の基体部が緩衝部より硬く形成され、該緩衝部の硬さがデュロメータタイプＡで１０以上８０以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のペリクル収納容器。
【請求項４】
前記ペリクルフレーム支持体の基体部と緩衝部とが二色成型により一体成型されてなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のペリクル収納容器。
【請求項１】
ペリクルが載置されるトレイと、トレイを覆って該トレイと共にペリクルを収容する閉空間を形成するカバーとを備え、前記トレイが、ペリクルフレームの粘着剤塗布端面の一部に設けられた粘着剤の未塗布領域とのみ接触することによってペリクルを支持するペリクルフレーム支持体と、ペリクルフレームをペリクルフレーム支持体上で固定する保持機構とを有するペリクル収納容器であって、
前記ペリクルフレーム支持体が、基体部と、ペリクルフレームと接する緩衝部とで構成され、両者が硬さの異なる部材の接合体で形成されてなることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
前記ペリクルフレーム支持体の基体部がエンジニアリングプラスチックで形成され、前記ペリクルフレーム支持体の緩衝部がゴム又はエラストマーで形成されてなることを特徴とする請求項１記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
前記ペリクルフレーム支持体の基体部が緩衝部より硬く形成され、該緩衝部の硬さがデュロメータタイプＡで１０以上８０以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のペリクル収納容器。
【請求項４】
前記ペリクルフレーム支持体の基体部と緩衝部とが二色成型により一体成型されてなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のペリクル収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１１−３４０２０（Ｐ２０１１−３４０２０Ａ）
【公開日】平成２３年２月１７日（２０１１．２．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１８３０３３（Ｐ２００９−１８３０３３）
【出願日】平成２１年８月６日（２００９．８．６）
【出願人】（０００００２０６０）信越化学工業株式会社 (3,361)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月１７日（２０１１．２．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年８月６日（２００９．８．６）
【出願人】（０００００２０６０）信越化学工業株式会社 (3,361)
【Ｆターム（参考）】
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