モータ付属の仕切り構造、真空用モータ
【課題】真空側空間に不純物ガスを放出しないモータ付属の仕切り構造を提供する。
【解決手段】前記開口部と前記透過板との間において、高圧側から低圧側に向かって前記固着部材、前記密閉部材の順に設けられてなる。
【解決手段】前記開口部と前記透過板との間において、高圧側から低圧側に向かって前記固着部材、前記密閉部材の順に設けられてなる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータに付属する仕切り構造、真空モータに係り、真空下で構成部材から発生したガスの漏洩を防止できる真空用モータと真空用ロボットに用いて好適な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、マルチチャンバ型のＣＶＤ装置などの真空装置には、仕込・取出室や処理室などの間で被成膜物を搬送するための搬送装置が備えられている。こうした搬送装置は、例えば基板を支持して動かすローラや、このローラを回転させるモータなどから構成されている（例えば、特許文献１参照）。従来、搬送装置に用いられるモータは、真空環境となるチャンバの外側、即ち外気に接するところに配置され、モータシャフト（回転軸）をチャンバの中に配されたローラに接続することによって、チャンバ内のローラを回転させていた。このため、モータシャフトがチャンバの壁面を突き抜ける部分には、チャンバ内の気密を保つための気密シールが設けられた構造が知られている。
【０００３】
しかし、搬送装置のモータをチャンバ外に設置して、気密シールを介してモータシャフトをチャンバ内のローラに接続する構造では、搬送装置全体が大型化してしまい、真空装置の小型化の障害となっていた。また、モータシャフトとチャンバ壁面との間に気密シールが必要になるなど構造が複雑化するといった課題もあった。さらに、こうした気密シールはモータシャフトの回転数が５００ｒｐｍ程度までしかチャンバ内の気密を保つことができず、モータの回転数を例えば２０００〜３０００ｒｐｍ程度まで高めて被成膜物を高速搬送する際の障害となっていた。また、チャンバ壁面に対して、モータの設置位置が制限され、真空装置内におけるモータ等のレイアウトの自由度が制限されてしまうので、これを改善したいという要求がある。
【０００４】
このため、真空装置において搬送装置の真空モータをチャンバの内部に配置する真空モータも知られている（例えば、特許文献２参照）。モータをチャンバの内部に配置することによって、モータシャフトとチャンバ壁面との間の気密シールが不要になり、構成を簡単にして真空装置の小型化が可能になるとともに、チャンバ内部の気密を保ちつつモータの回転数を高めて被成膜物の高速搬送が可能になる。
【０００５】
しかし、モータ回転軸の回転位置を検出するサーボモータなどにおいて、位置検出をおこなうセンサは真空側からの信号を読み取る必要があり、このため、センサが真空に曝される。
【０００６】
特許文献３では、センサのモールド樹脂に発ガスの低いエポキシ樹脂を用いる技術が開示されているが、モールド樹脂からの発ガスをゼロにすることは困難であり、真空排気装置に接続された空間には不純物ガスが放出されていた。
放出されたガスは基板が移動・載置される真空槽内に拡散し、基板に付着したり、真空槽の内壁面に付着するという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−３３９９２０号公報
【特許文献２】特開２００７−２７７６１７号公報
【特許文献３】特開２００２−２８１７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記従来技術の問題を解決するためになされたものであり、真空排気装置に接続された減圧側空間に不純物ガスを放出しないモータ付属の仕切り構造、真空用モータさらに、真空用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明のモータに付属する仕切り構造は、モータ回転軸および該回転軸の回転を検知するための回転検知板が配置される低圧側の駆動空間と、
前記回転検知板の回転状態を検知するセンサが配置される高圧側のセンサ空間と、
前記センサによる前記回転検知板の回転状態を検知可能とするように前記駆動空間と前記センサ空間との境界部材に設けられる開口部（開口）とが設けられ、
これら駆動空間と前記センサ空間とを密閉するためモータに付属する仕切り構造であって、
前記仕切り構造が、前記開口部に嵌め込まれる非磁性体からなる透過板と、該透過板を前記境界部材に固着する固着部材と、前記透過板と前記境界部材との間を密閉する密閉部材と、を有し、
前記開口部と前記透過板との間において、高圧側から低圧側に向かって前記固着部材、前記密閉部材の順に設けられてなることを特徴とする。
本発明は、前記透過板が高圧側から低圧側に向かって縮径するように段差を有し、この段差面に前記密閉部材が密着するように設けられ、段差面の高圧側に前記固着部材が配されて該透過板を固定してなることができる。
本発明は、前記境界部材における前記開口部の周囲には高圧側に凹部が周設され、この凹部内に前記透過板が設けられて、この凹部内の低圧側に密閉部材が前記透過板と密着するように設けられ、凹部内の高圧側に前記固着部材が配されて前記透過板を固定してなることができる。
本発明は、前記透過板が低圧側から高圧側に向かって縮径するように段差を有し、この段差面に前記密閉部材が密着するように設けられ、段差面の高圧側に前記固着部材が配されて該透過板を固定してなることができる。
本発明は、前記境界部材が、前記センサのケース部材とされてなる部分を有することが可能である。
本発明は、前記固着部材が接着剤とされ、前記密閉部材がＯリングとされることができる。
本発明は、前記センサが光学式センサとされ、前記透過板がガラス板とされることができる。
本発明は、前記センサが磁気式センサとされ、前記透過板が非磁性金属板とされることを特徴とすることができる。
【００１０】
本発明の真空用モータは、また、円筒形状の筒部材と、前記筒部材の内側に前記筒部材と同軸状に配置された回転軸と、前記回転軸の外周側面に設けられた磁石と、前記磁石の外側に前記磁石と対向して配置されたコイルと、リング形状の板であり、リングの穴には前記回転軸が挿通され、表面には信号を生成する符号が前記回転軸の中心軸線を中心とする円周に沿って配置された回転検知板（回転板）と、前記回転検知板の前記表面と対向して配置され、前記信号を検出できるセンサと、を有し、前記回転板が配置された空間は真空排気装置に接続されて真空排気される真空用モータであって、
内部に前記センサが配置され、前記センサと対向する部分には開口が設けられたセンサ室（センサ空間）と、前記開口に配置され、前記信号を透過する透過窓と、を有し、
前記透過窓は前記開口を塞ぐように設けられ、前記センサ室の内部空間は前記回転板が配置された空間から分離された上記のいずれか記載のモータ付属の仕切り構造を有することができる。
本発明は真空用モータであって、前記符号は、第一信号を生成する第一領域と、第二信号を生成する第二領域とで構成され、前記センサは前記第一、第二信号を検出できることもある。
本発明は真空用モータであって、前記センサは磁気抵抗累子牽有し、前記第一、第二信号は互いに向きが異なる磁気信号であり、前記透過窓は非磁性体からなることができる。
本発明は真空用モータであって、前記回転軸の中心軸線は、前記回転板の前記表面が位置する平面に対して直角に向けられたことができる。
本発明は真空用モータであって、前記符号は第一、第二の値を有し、前記第一、第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置されたことができる。
本発明は真空用モータであって、前記符号は前記円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされたことができる。
【００１１】
本発明の真空処理装置は、上記のいずれか記載の真空用モータと、
真空槽と、該真空槽内で被処理基板を搬送する搬送ローラとを有し、前記真空用モータが前記搬送ローラに駆動することができる。
本発明の真空用ロボットは、上記のいずれか記載の真空用モータと、真空槽と、真空槽内を真空排気する真空排気装置と、基板を保持する腕部と、を有し、前記真空用モータの前記筒部材の一端は前記真空槽に設けられた挿入口に接続され。前記回転軸の一端は前配挿入口を通って前記真空槽内に挿入され、前記腕部は前記真空槽内に配置され、前記回転軸の前記一端に取り付けられたことができる。
【発明の効果】
【００１２】
真空処理装置等において、真空排気装置に接続された空間と、センサが配置される空間とが分離されるので、真空排気装置に接続された空間に不純物ガスは放出されず、真空排気装置に後続された空間を清浄に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第１実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第２実施形態を示す断面図である。
【図３】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第３実施形態を示す断面図である。
【図４】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第４実施形態を示す断面図である。
【図５】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第５実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明の第一例の真空用モータの内部構成図である。
【図７】第一例の真空用モータの回転板の平面図である。
【図８】本発明の真空用ロボットの内部構威図である。
【図９】本発明の第二例の真空用モータの内部構成図である。
【図１０】第二例の真空用モータの回転板の平面図である。
【図１１】本発明の第三例の真空用モータの内部構成図である。
【図１２】本発明の第四例の真空用モータの内部構成図である。
【図１３】本発明の真空装置内のモータ配置例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図であり、図において、符号１２は、モータの回転軸である。
【００１５】
本実施形態のモータに付属する仕切り構造は、後述するようにモータに設けられ、図１に示すように、モータ回転軸（回転軸）１２および該回転軸１２の回転を検知するための回転検知板Ｍ２１が配置される低圧（真空）側の駆動空間Ｍ０１と、回転検知板Ｍ２１の回転状態を検知するセンサＭ２２が配置される高圧側のセンサ空間Ｍ２４とを有するモータにおいて、センサＭ２２による回転検知板Ｍ２１の回転状態を検知可能とするように駆動空間Ｍ０１と前記センサ空間Ｍ２２との境界部材Ｍ１１に設けられる開口部Ｍ０２とが設けられている。
【００１６】
本実施形態のモータに付属する仕切り構造において、開口部Ｍ０２には、透過板Ｍ２３が嵌め込まれて、駆動空間Ｍ０１とセンサ空間Ｍ２４とを密閉している。
この仕切り構造は、前記開口部に嵌め込まれる非磁性体からなる透過板Ｍ２３と、透過板Ｍ２３を境界部材Ｍ１１に固着する固着部材Ｍ０３と、透過板Ｍ２３と境界部材Ｍ１１との間を密閉する密閉部材Ｍ０４とを有する。
【００１７】
開口部Ｍ０２には、段差面Ｍ０２１を有する段差が設けられ、開口部Ｍ０２は駆動空間Ｍ０１側に比べセンサ空間Ｍ２４側が拡径するように凹部を形成している。
透過板Ｍ２３開口部Ｍ０２はセンサ空間Ｍ２４側に比べ駆動空間Ｍ０１側が縮径するように段差を有し、この段差面Ｍ０２１に接着剤とされる固着部材Ｍ０３が密着するように設けられ、段差面Ｍ０２１の駆動空間Ｍ０１側にＯリングとされる密閉部材Ｍ０４が配されて該透過板Ｍ２３を固定している。なお、Ｏリングとされる密閉部材Ｍ０４を収納するための溝は境界部材Ｍ１１に図示していない。
【００１８】
つまり、開口部Ｍ０２に嵌め込まれた透過板Ｍ２３には、高圧側であるセンサ空間Ｍ２４から低圧側である駆動空間Ｍ０１に向かって固着部材Ｍ０３、密閉部材Ｍ０４の順に設けられている。
【００１９】
透過板Ｍ２３は、センサＭ２２が検知する回転検知板Ｍ２１からの信号を透過可能であればよく、センサＭ２２が磁気式とされる場合には非磁性金属、センサＭ２２が光学式である場合にはガラス等の光透過性を有するものとされる。
なお、本実施形態において、駆動空間Ｍ０１とセンサ空間Ｍ２４とは、圧力差を有する状態であればよく、真空状態と、大気圧状態であるとは限らない。特に、駆動空間Ｍ０１とセンサ空間Ｍ２４とのどちらかが、少なくとも発ガス性に影響のある減圧側とされ、かつ、駆動空間Ｍ０１とセンサ空間Ｍ２４とにおいてにおける圧力差があるものとされる。
【００２０】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第２実施形態を、図面に基づいて説明する。
図２は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図である。
本実施形態において、図１に示した第１実施形態と異なるのは、固着部材に関する点であり、これ以外の対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２１】
本実施形態においては、第１実施形態における接着剤の代わりに、固着部材としてネジＭ０３１が採用されている。このネジＭ０３１は透過板Ｍ２３の段差面Ｍ０２１よりもセンサ空間Ｍ２４側の位置で、かつ、低圧側であるセンサ空間Ｍ２４側に透過板Ｍ２３を貫通するように設けられ、対応する境界部材に設けられた雌ネジに螺合することで透過板M２３を固着している。これにより、センサM２２が透過板Ｍ２３に接触するように配置でき、センサＭ２２が回転検知板Ｍ２１から遠くなり検知感度が低下することあるいは検知が不正確になることを防止できる。
【００２２】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
図３は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図である。
本実施形態において、図１に示した第１実施形態と異なるのは、開口形状に関する点であり、これ以外の対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２３】
本実施形態においては、第１実施形態における段差の代わりに、開口部Ｍ０２が球面状となっており、透過板Ｍ２３の外面形状も球面とされている。つまり、開口Ｍ０２そのものが凹部を形成している。また、センサＭ２２と透過板Ｍ２３とが一体とされており、透過板Ｍ２３のセンサ空間Ｍ２４側の位置に接着剤とされる固着部材Ｍ０３が設けられてセンサＭ２２および透過板Ｍ２３が固着されており、これよりも駆動空間Ｍ０１側にＯリングとされる密閉部材Ｍ０４が設けられる。これにより、センサＭ２２と回転検知板Ｍ２１とをより一層近づけて、検知感度が低下することあるいは検知が不正確になることを防止できる。
【００２４】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第４実施形態を、図面に基づいて説明する。
図４は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図である。
本実施形態において、図１に示した第１実施形態と異なるのは、境界部材に関する点であり、これ以外の対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２５】
本実施形態においては、第１実施形態における境界部材Ｍ１１が、センサＭ２２のケース部材を兼ねており、また、センサＭ２２と透過板Ｍ２３とケースＭ１１Ｃとが一体とされている。
センサＭ２２は、ケースＭ１１Ｃ内部に収納されており、その一端には開口Ｍ０２が設けられ、透過板Ｍ２３が嵌合されている。また、ケースＭ１１Ｃの他端には、拡径するフランジＭ１１Ｂが設けられ、これが貫通孔Ｍ１１Ａ周縁の境界部材に当接することで、境界部材Ｍ１１に設けられた貫通孔Ｍ１１Ａに嵌め込まれたケースＭ１１Ｃを境界部材Ｍ１１に固定している。境界部材Ｍ１１のフランジＭ１１Ｂに接触する位置には、ＯリングＭ１１Ｄが設けられ、ケースＭ１１Ｃと境界部材Ｍ１１との間のシールを維持している。また、ケースＭ１１Ｃの他端は、封止部材Ｍ１１Ｅによって閉塞されている。これにより、センサＭ２２と回転検知板Ｍ２１とをより一層近づけて、検知感度が低下することあるいは検知が不正確になることを防止できる。
【００２６】
第４実施形態において、センサＭ２２の発ガス性が充分低い場合、またはケースＭ１１Ｃの防ガス性能が充分高い場合、には、センサＭ２２を低圧側である駆動空間Ｍ０１に連通する位置に配置することもできる。
【００２７】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第５実施形態を、図面に基づいて説明する。
図５は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図である。
本実施形態において、図１に示した第１実施形態と異なるのは、開口形状に関する点であり、これ以外の対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２８】
本実施形態においては、第１実施形態における段差が、高圧側と低圧側とが逆になるように開口部Ｍ０２が形成されている。
【００２９】
開口部Ｍ０２には、段差面Ｍ０２２を有する段差が設けられ、開口部Ｍ０２はセンサ空間Ｍ２４側に比べ駆動空間Ｍ０１側が拡径するように凹部を形成している。
透過板Ｍ２３および開口部Ｍ０２は駆動空間Ｍ０１側に比べセンサ空間Ｍ２４側が縮径するように段差を有し、この段差面Ｍ０２２に接着剤とされる固着部材Ｍ０３が密着するように設けられ、段差面Ｍ０２２の駆動空間Ｍ０１側にＯリングとされる密閉部材Ｍ０４が配されて該透過板Ｍ２３を固定している。開口部Ｍ０２に嵌め込まれた透過板Ｍ２３には、高圧側であるセンサ空間Ｍ２４から低圧側である駆動空間Ｍ０１に向かって固着部材Ｍ０３、密閉部材Ｍ０４の順に設けられている。
【００３０】
本実施形態によれば、センサ空間Ｍ２４側に比べ駆動空間Ｍ０１側が拡径するように凹部を形成しているので、組み立て時に透過板Ｍ２３を駆動空間Ｍ０１側から開口部Ｍ０２に組み付けて勘合することができるので、センサ空間Ｍ２４をセンサＭ２２と同程度の大きさに設定して、センサ空間Ｍ２４のみを真空雰囲気内に設置して密閉することが容易となる。
【００３１】
これらの各実施形態によれば、センサＭ２２からのガス放出量を低減でき、また、ガスの中に含まれる不純ガスを低減できる。これにより、モータの設けられる空間の真空雰囲気を清浄に保つことができ、例えば、真空装置とされる空間内で搬送されるガラス基板やウエハの表面を汚染することがない。
加えて、センサＭ２２と回転検知板Ｍ２１の間隔を小さくできるので、センサＭ２２の位置検出感度が向上し、真空装置内でガラス基板やウエハを位置精度良く搬送することが可能となる。
【００３２】
透過板Ｍ２３を接着剤のみで固定した場合は、接着不良により、真空の気密が保てない場合や、接着剤から発ガスするおそれがあるが、本発明の各実施形態では、透過板Ｍ２３固定力は接着剤とされる固着部材Ｍ０３で維持し、シール性は弾性体シールである密閉部材Ｍ０４で維持しているので、開口部Ｍ０２付近の構造が単純となり、安定したシール性能のセンサユニット、真空モータとすることができる。
【００３３】
以下に、本発明におけるモータ付属の仕切り構造の設けられるモータの例を詳細に説明する。
【００３４】
＜第一例の真空用モータの構造＞
本発明の第一例の真空用モータ１０ａの構造を説明する。
図６は第一例の真空用モータ１０ａの内部構成図であり、図７は回転板２１ａの一例の平面図である。
第一例の真空用モータ１０ａは、図６，図７に示すように、円筒形状の筒部材１１と、筒部材１１の内側に筒部材１１と同軸状に配置された回転軸１２と、回転軸１２の外周側面に設けられた磁石１４と、磁石１４の外側に磁石１４と対向して配置されたコイル１５とを有している。
【００３５】
本実施例では、筒部材１１の内周側面には回転軸１２側に突出する接触部１１１、１１２が設けられ、接触部１１１、１１２と回転軸１２との間には球状部材１９１、１９２が配置されている。回転軸１２は球状部材１９１、１９２を介して接触部１１１、１１２に支持されておリ、回転軸１２の中心軸線は筒部材１１の中心軸線からずれないようになっている。
回転軸１２に中心軸線を中心とする回転力が加わると、回転軸１２は中心軸線を中心に回転できるようになっている。各球状部材１９１、１９２は接触部１１１、１１２と回転軸１２とにそれぞれ点で接触されており、回転軸１２が中心軸線を中心に回転すると、各球状部材１９１、１９２は回転軸１２の中心軸線を中心に回転しながらそれぞれ自転して、接触部接触部１１１、１１２と回転軸１２との間に摩擬がかからないようになっている。そのため、接触部１１１、１１２の表面と回転軸１２の表面とが麿耗して不純物（ダスト）が発生することが防止される。
【００３６】
磁石１４にはここでは表面がＮｉメッキされたものが用いられる、Ｎｉメッキにより磁石１４の表面が酸化又は腐食することが防止され、磁石１４の表面から不純物（ダスト）が発生しないようになっている。
磁石１４は回転軸１２の外周側面に固定されている。
磁石１４の外側にはコイル室１６が配置され、コイル１５はコイル室１６内に配置されている。
【００３７】
ここではコイル室１６は、椀状のコイル室蓋部材１７を有している。コイル室蓋部材１７の緑部は筒部材１１の内側側面に環状に密着して固定され、コイル室１６の内部空間は磁石１４が配覆された空間から分離されている。
そのため、コイル１５が発熱して、コイル１５の導線の被覆や、コイル１５の導線を固定しているワニスやモールド材からガスが放出されても、放出されたガスは磁石１４が配置された空間に拡散しないようになっている。
【００３８】
コイル室蓋部材１７は非磁性体であり、ここではアルミニウムが用いられ、コイル１５と磁石１４との間の部分の厚みは１ｍｍ以下にされている。コイル１５と磁石１４との間の部分の厚みは薄い方が、コイル１５と磁石１４との間の聞隔が狭くなり、相互の磁気結合力を大きくできるため好ましい。
コイル１５にはコイル用電源１８が電気的に接続されている。
コイル用電源１８からコイル１５に電流を流すと、コイル１５が形成する磁力線が磁石１４を貫通して、磁石１４は回転力を受け、回転軸１２と一緒に回転軸１２の中心軸線を中心として回転するようになっている。
【００３９】
第一例の真空用モータ１０ａは、回転舳１２の回転角度を検知する回転検知部３０ａを有している。
回転検知部３０ａは、回転検知板２１ａとセンサ２２ａとを有している。
なお、センサＭ２２はセンサ２２ａ、回転検知板Ｍ２１は回転板２１ａ、センサ空間Ｍ２４はセンサ室２４ａ、境界部材Ｍ１１の一部は接触部１１１、透過板Ｍ２３は透過窓２３ａにそれぞれ対応する。
【００４０】
回転板２１ａは、図７に示すように、リング形状の板であり、表面には信号を生成する符号が回転板２１ａの中心を中心とする円周に沿って配置されている。
本実施例では、符号は第一信号を生成する第一領域５１と第二信号を生成する第二領域５２とで構成されているが、第一〜第Ｎ信号を生成する第一〜第Ｎ領域（Ｎは３以上の自然数）で構成されている場合も本発明に含まれる。
【００４１】
ここでは回転板２１ａは厚み方向に磁化された磁性体の板であり、第一領域５１には開口が設けられ、第二領域５２は開口以外の遮蔽部分で構成されている。
従って、第一領域５１はゼロの磁場（磁気信号）である第一信号を生成し、第二領域５２は厚み方向の磁場（磁気信号）である第二信号を生成する。
なお、第一、第二領域５１、５２の個々の構造は上記構成に限定されず、互いに異なる二方向にそれぞれ磁化された部分であり、第一、第二信号は互いに向きが異なる磁場（磁気信号）であってもよい。
【００４２】
ここでは、第一領域５１と第二領域５２は、回転板２１ａの中心を中心とする円周に沿って交互に等間隔に配置されており、第一信号を第一の値とし、第二信号を第二の値とすると、第一、第二領域５１、５２で構成された符号は第一、第二、の値を有し、第一の値と第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置されている。
【００４３】
図６を参照し、回転板（回転検知板）２１ａのリングの穴には回転軸１２が挿通され、回転軸１２の中心軸線が回転板２１ａの表面が位置する平面に対して直角に向けられた状態で、回転板２１ａは回転柚１２に対して固定されている。回転板２１ａは回転軸１２と同軸状に配置されている。
筒部材１１のうち回転板２１ａが配置された空間（駆動空間）は磁石１４が配置された空間と連通されている。
【００４４】
センサ２２ａは、同転板２１ａの表面と対向して配置され、第一、第二領域５１、５２が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
ここではセンサ２２ａは磁気抵抗素子３１を有している。磁気抵抗素子３１は、磁気信号を受けると抵抗値が磁気信号の強さや向きに応じた値に変化する素子である。
磁気抵抗素子３１はモールド樹脂３２で覆われて封止されており、磁気抵抗素子３１にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
センサ２２ａにはセンサ用電源２７が電気的に接続されており、センサ２２ａは、第一、第二信号を受け取ると、第一、第二信号に応じて異なる電圧値の電気信号を出力するように構成されている。
センサ２２ａには制御装置２８が接続されている。
制御装置２８は、センサ２２ａが出力する電気信号を受け取ると、受け取った電気信号から回転板２１ａの回転角度を求めることできるように構成されている。
【００４５】
ここでは制御装置２８は、受け取った電気信号の電圧値の変化の立ち上がり又は立ち下がりの数を数え、隣合う二つの第一領域５１の中心間の中心角又は隣り合う二つの第二領域５２の中心間の中心角に数えたカウント値を積算することにより、回転板２１ａの回転角度を算出するように構成されている。
また制御装置２８は、回転板２１ａの回転角度が所定角度になると、コイル用電源１８に制御信号を送信してコイル１５への電流供給を停止させ、回転軸１２の回転を停止させるように構成されている。
回転検知部３０ａは、内部にセンサ２２ａが配置され、センサ２２ａの検知面と対向する部分には開口（開口部）が設けられたセンサ室（センサ空間）２４ａと、センサ室２４ａの開ロに配置され、第一、第二信号を透過する透過窓（透過板）２３ａとを有している。
センサ室２４ａはここでは椀状のセンサ室蓋部材２６を有している。センサ室蓋部材２６の緑部は筒部材１１の内側側面と接触部１１１とに亘って環状に密着して固定されており、センサ室２４ａの開口はここでは接触部１１１に設けられている。
【００４６】
透過窓（透過板）２３ａは加熱されてもガスを放出しない非磁性体からなり、第一、第二信号を透過できるようになっている。ここでは透過窓２３ａにはガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない非磁性体であればガラスに限定されず、例えばアルミニウムを用いることもできる。
透過窓２３ａはセンサ室２４ａの開口を塞ぐように設けられ、センサ室２４ａの内部空間は回転板２１ａが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により。センサ２２ａが加熱されて、モールド樹脂３２からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ａが配置された空間（駆動空間）に拡散しないようになっている。
【００４７】
＜真空用ロボットの構造＞
第一例の真空用モータ１０ａを用いた真空用ロボットの構造を説明する。
【００４８】
図８は真空用ロボット４０の内部構成図である。
真空用ロボット４０は、図５、図６に示した第一例の真空用モータ１０ａと、真空槽４１と、真空槽４１内部に連通した真空排気装置４２と、基板を保持する腕部４３とを有している。
【００４９】
真空槽４１の壁面には挿入ロ４５が設けられている。
真空用モータ１０ａの筒部材１１の一端は、挿入口４５の外周を取り囲んで真空槽４１の壁面に環状に密着して固定され、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置される空間は挿入ロ４５を介して真空槽４１の内部空間と連通されている。
真空排気装置４２により真空槽４１内を真空排気すると、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間も一緒に真空排気されるようになっている。
【００５０】
回転軸１２の一端は挿入口４５を通って真空槽４１内に揮入されており、腕部４３は真空槽４１内に配置され、回転軸１２の前記一端に取り付けられている。回転軸１２を回転軸１２の中心軸線を中心に回転させると、腕部４３も回転軸１２と一緒に回転するようになっている。
【００５１】
＜真空用ロボットの使用方法＞
上述の真里用ロボット４０の使用方法を説明する。
真空排気装置４２により真空槽４１内を真空排気し、真空雰囲気を形成する。
このとき、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間も真空排気され、真空雰囲気が形成される。以後、真空排気装置４２による真空排気を継続して、真空槽４１内の真空雰囲気と、回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間の真空雰囲気とを維持する。
【００５２】
真空槽４１内の真空雰囲気を維持しながら、真空槽４１内に基板を搬入し、腕部４３上に配置する。
基板を回転移動させる回転角度をあらかじめ定めておく。
制御装置２８が受け取る電気信号のカウント値を初期化する（ここではゼロにする）。
コイル用電源１８からコイル１５に電流を流し磁力線を発生させ、発生させた磁力線を貫通させて磁石１４に回転力を与え、回転軸１２を回転板２１ａと腕部４３と一緒に回転軸１２の中心軸線を中心として回転させる。腕部４３上の基板も回転軸１２の中心軸線を中心として回転移動する。
【００５３】
電流が流れたコイル１５と、磁力線が貫通した磁石１４はそれぞれ発熱し、コイル１５と磁石１４からの熱により回転板２１ａとセンサ２２ａとがそれぞれ加熱される。
磁石１４と回転板２１ａはガスを放出する部材を有しておらず、加熱されても磁石１４と回転板２１ａからガスは放出されない。
【００５４】
一方、コイル１５が加熱されると導線の被膜や導線を固定しているワニスやモールド材からガスが放出され、センサ２２ａが加熱されるとモールド樹脂３２からガスが放出されるが、コイル室１６とセンサ室２４ａは回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間から分離されており、回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間内にガスは拡敬しない。
そのため、挿入口４５を通って真空槽４１内に不純物であるガスが拡散することは起こらず、ガスが基板に付着したり、真空槽４１の内壁面に付着する問題は起こらない。
【００５５】
回転板２Ｉａが回転すると、回転板２１ａ表面の第一、第二領域５１、５２はセンサ２２ａと対面する位置を交互に通過する。
センサ２２ａは回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２と対面すると、第一、第二信号に応じた電圧値の電気信号を出力し、制御装置２８は電気信号の電圧値の変化の立ち上がり又は立ち下がりの数を数えて、数えたカウント値から回転板２１ａの回転角度を求める。
【００５６】
求めた回転板２１ａの回転角度が所定角度になったら、制御装置２８はコイル用電源１８に制御信号を送って、コイル１５への電力供給を停止させ、回転軸１２の回転を停止させる。
このようにして、腕部４３に保持された基板は、回転軸１２の中心軸線を中心に所定角度回転移動した後、静止される。
真空槽４１内の真空雰囲気を維持しながら基板を真空槽４１の外側に搬出し、後工程に送る。
【００５７】
＜第二例の真空用モータの構造＞
第二例の真空用モータの構造を説明する。
【００５８】
図９は第二例の真空用モータ１０ｂの内部構成図であり、図１０は回転板２１ｂの一例の平面図である。第二例の真空用モータ１０ｂの構造のうち、図６，図７に示す第一例の真空用モータ１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第二例の真空用モータ１０ｂは、図９，図１０に示すように、第一例の真空用モータ１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｂを有している。
なお、センサＭ２２はセンサ２２ｂ、回転検知板Ｍ２１は回転板２１ｂ、センサ空間Ｍ２４はセンサ室２４ｂ、境界部材Ｍ１１の一部は接触部１１１、透過板Ｍ２３は透過窓２３ｂにそれぞれ対応する。
【００５９】
第二例の真空用モータ１０ｂの回転検知部３０ｂの構造を脱明する。
回転検知部３０ｂは、回転板２１ｂとセンサ２２ｂとを有している。
回転板２１ｂの材質と、第一、第二領域５１、５２の個々の構造は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａにおける前記材質、前記構造と同様であり、説明を省略する。
【００６０】
回転板２１ｂ表面での第一、第二領域５１、５２の配置を脱明する。
回転板２１ｂの表面には互いに直径が異なる複数の円周Ｒ１〜Ｒ４が同心状に配置され、第一第二領域５１、５２は各円周Ｒ１〜Ｒ４上に円周に沿って交互に配置されている。
【００６１】
回転板２１ｂの半径方向に沿った一組の第一、第二領域５１、５２で一の符号が構成されている。符号５３は一の符号を構成する第一、第二領域５１、５２の組を示している。
各符号は円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされている。
従って、回転板２１ｂの中心を始点とする一の半直線を基準線と呼び、基準線からの回転角度を絶対角度と呼ぶと、各符号から一の絶対角度が分かるようになっている。
【００６２】
図９を参照し、回転板２１ｂの筒部袴１１内での配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
センサ２２ｂは複数の磁気抵抗素子３１１〜３１４を有している。
各磁気抵抗素子３１１〜３１４はモールド樹脂３２で覆われて封止されており、磁気抵抗素子３１１〜３１４にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
センサ２２ｂは、回転板２１ｂの表面と対向して配置され、各磁気抵抗素子３１１〜３１４は回転板２１ｂのうち互いに異なる円周Ｒ１〜Ｒ４上に配置されている。
従って、各磁気抵抗索子３１１〜３１４は、互いに異なる円周Ｒ１〜Ｒ４上の第一、第二領域５１、５２からの第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００６３】
制御装置２８には、符号と絶対角度との対応関孫があらかじめ記憶されている。
制御装置２８は、各磁気抵抗素子３１１〜３１４が出力する電気信号を受け取ると、受け取った一組の電気信号から一の符号を構成し、あらかじめ記憶された対応関係に基づいて、回転板２１ｂの基準線からの回転角度（絶対角度）を求めるように構成されている。
回転板２１ｂを回転させる前後で第一、第二の絶対角度をそれぞれ求め、第二の絶対角度から第一の絶対角度を減算ずると、回転板２１ｂの回転角度が算出される。
【００６４】
回転検知部３０ｂは、内部にセンサ２２ｂが配置され。センサ２２ｂの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ｂと、センサ室２４ｂの開ロに配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｂとを有している。
センサ室２４ｂと透過窓２３ｂの構遣は、第一例の真空用モータ１０ａのセンサ室２４ａと透過窓２３ａの構造と同様であり、説明を省略する。
センサ室２４ｂの内部空間は回転板２１ｂが配置された空間から分離されており、センサ２２ｂが加熱されて、モールド樹脂３２からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｂが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００６５】
第二例の真空用モータ１０ｂは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モータ１０ａの代わりに用いることができる。第二例の真空用モータ１０ｂを有する真空用ロボットの使用方法は、上述の回転板２１ｂの角度算出方法以外は第一例の真空用モータ１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省陥する。
第二例の真空用モータ１０ｂでは、第一例の真空用モータ１０ａと比較して、制御装置２８のカウンタ値を初期化する手間が不要になるという利点がある。
また、算出した回転角度の正負の符号から回転板２１ｂの回転方向が分かるという利点がある。
【００６６】
＜第三例の真空用モータの構造＞
第三例の真空用モータの構造を説明する。
【００６７】
図１１は第三例の真空用モータ１０ｃの内部構成図である。第三例の真空用モータ１０ｃの構造のうち、図６，図７に示す第一例の真空用モータ１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第三例の真空用モータ１０ｃは、第一例の真空用モータ１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｃを有している。
なお、センサＭ２２はセンサ２２ｃおよび投光器２５ｃ、回転検知板Ｍ２１は回転板２１ｃ、センサ空間Ｍ２４はセンサ室２４ｃ、境界部材Ｍ１１の一部は接触部１１１、透過板Ｍ２３は透過窓２３ｃにそれぞれ対応する。
【００６８】
第三例の真空用モータ１０ｃの回転検知部３０ｃの構造を説明する。
回転検知部３０ｃは、回転板２１ｃとセンサ２２ｃと投光部２５ｃとを有している。
回転板２１ｃはリング形状の板であり、表面には、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成された符号が、回転板２１ｃの中心を中心とする円周に沿って配置されている。
【００６９】
本実施例では、回転板２１ｃは表面が光を反射できるようにされた板であり、第一領域には開ロが設けられ、第二領域は開ロ以外の反射部分で構成されている。従って、第一、第二領域に光が照射されると、第一領域は光を反射せずに強度がゼロの光信号である第一信号を生成し、第二領域は光を反射して強度がゼロより大きい光信号である第二信号を生成するようになっている。
なお、第一、第二領域の個々の構造は上記構成に限定されず、互いに異なる反射率の部分であり、第一、第二信号は互いに強度が異なる光信号であってもよい。第一、第二領域は例えば反射率の異なるインクを塗布されて形成される。
【００７０】
ここでは回転板２１ｃの表面内での第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａにおける第一、第二領域５１、５２の配置（図７参照）と同様であり、説明を省略する。
また回転板２１ｃの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
【００７１】
投光部２５ｃとセンサ２２ｃは、回転板２１ｃの表面と対向して配置され、投光部２５ｃは第一、第二領域に光を照射し、センサ２２ｃは第一、第二領域が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
投光部２５ｃは発光素子３５を有し、センサ２２ｃは受光素子３３を有している。発光素子３５は電圧を印加されると発光する素子であり、受光素子３３は光信号を受けると光信号の強度に応じた電圧値の電気信号を出力する素子である。
発光素子３５と受光素子３３はそれぞれ透明なモールド樹脂３６、３４で覆われて封止されており、発光素子３５と受光素子３３にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
【００７２】
投光部２５ｃとセンサ２２ｃにはセンサ用電源２７がそれぞれ電気的に接続されている。投光部２５ｃは電圧を印加されると第一、第二領域５１、５２に光を照射し、センサ２２ｃは第一、第二信号を受け取ると第一、第二信号に応じた電圧値の電気信号を出力するようになっている。
回転検知部３０ｃは、内部に投光部２５ｃとセンサ２２ｃとが配置され、投光部２５ｃの投光面とセンサ２２ｃの検知面とそれぞれ対向する部分に開口が設けられたセンサ室２４ｃと、センサ室２４ｃの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｃとを有している。
【００７３】
センサ室２４ｃの構造は第一例の真空用モータ１０ａのセンサ室２４ａの構造と同様であり、説明を省略する。
透過窓２３ｃは加熱されてもガスを放出しない光透過性部材からなり、第一、第二信号を透過できるようになっている。ここでは透過窓２３ｃにはガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない光透過性部材であればガラスに限定されない。
透過窓２３ｃはセンサ室２４ｃの開ロを塞ぐように設けられ、センサ室２４ｃの内部空間は回転板２１ｃが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、投光部２５ｃとセンサ２２ｃとが加熱されて、モールド樹脂３６、３４からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｃが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００７４】
第三例の真空用モータ１０ｃは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モータ１０ａの代わりに用いることができる。第三例の真空用モータ１０ｃを有する真空用ロボットの使用方法は第一例の真空用モータ１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００７５】
上述の説明では、回転板２１ｃの第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２の配置（図７参照）と同様に構成されていたが、第二例の真空用モータ１０ｂの回転板２１ｂの第一、第二領域５１、５２の配置（図１０参照）と同様に構成されていてもよい。この場合には、センサ２２ｃに複数の受光素子を設け、各受光素子を回転板２１ｃのうち互いに異なる円周上に配置すればよい。
また、投光部２５ｃに複数の発光素子を設け、センサ２２ｃに発光素子と同数の複数の受光素子を設け、各発光素子と受光素子の一対ずつを回転板２１ｃのうち互いに異なる円周上に配置してもよい。
【００７６】
＜第四例の真空用モータの構造＞
第四例の真空用モータの構造を説明する。
【００７７】
図１２は第四例の真空用モータ１０ｄの内部構成図である。第四例の真空用モータ１０ｄの構遺のうち図６，図７に示す第一例の真空用モータ１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第四例の真空用モータ１０ｄは、第一例の真空用モータ１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｄを有している、
なお、センサＭ２２はセンサ２２ｄおよび投光器２５ｄ、回転検知板Ｍ２１は回転板２１ｄ、センサ空間Ｍ２４はセンサ室２４ｄおよび投光室２９、境界部材Ｍ１１の一部は接触部１１１、透過板Ｍ２３は透過窓２３ｄおよび副透過窓２７にそれぞれ対応する。
【００７８】
第四例の真空用モータ１０ｄの回転検知部３０ｄの構造を説明する。
回転検知部３０ｄは、回転板２１ｄとセンサ２２ｄと投光部２５ｄとを有している。
回転板２１ｄはリング形状の板であり、表面には、第一信号を生成ずる第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成された符号が、回転軸１２の中心軸線を中心とする円周に沿って配置されている。
【００７９】
本実施例では、回転板２１ｄは光を遮断する板であり、第一領域には開ロが設けられ、第二領域は開ロ以外の遮蔽部分で構成されている。従って、第一、第二領域の裏面側から光が照射されると、第一領域は光を透過して強度がゼロより大きい光信号である第一信号を生成し、第二領域は光を遮断して強度がゼロの光信号である第二信号を生成する。
【００８０】
なお、第一、第二領域は上記構成に限定されず、互いに異なる光透過率の部分であり、第一、第二信号は互いに強度が異なる光信号であってもよい。例えば、回転板２１ｄは光を透過する板であり、第一領域又は第二領域には回転板２１ｄよりも光透過率の小さいインクが塗布されて形成される。
【００８１】
ここでは、回転板２１ｄの表面内での第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａにおける第一、第二領域５１、５２の配置と同様であり、説明を省略する。
また回転板２１ｄの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
投光部２５ｄとセンサ２２ｄの構造は第三例の真空用モータ１０ｃの投光部２５ｃとセンサ２２ｃの構造とそれぞれ同様であリ、説明を省略する。
【００８２】
センサ２２ｄは回転板２１ｄの表面と対向して配置され、投光部２５ｄは回転板２１ｄから見てセンサ２２ｄとは逆側に、回転板２１ｄの裏面と対向して配置されている。投光部２５ｄは第一、第二領域５１、５２の裏面側に光を照射し、センサ２２ｄは第一、第二領域５１、５２が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００８３】
回転検知部３０ｄは、内部にセンサ２２ｄが配置され、センサ２２ｄの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ｄと、センサ室２４ｄの開ロに配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｄとを有している。
【００８４】
センサ室２４ｄと透過窓２３ｄの構造は、第三例の真空用モータ１０ｃのセンサ室２４ｃと透過窓２３ｃの構造と同様であリ、説明を省略する。
コイル１５や磁石１４の発熱により、センサ２２ｄが加熱されて、モールド樹脂からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｄが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００８５】
また、回転検知部３０ｄは、内部に投光部２５ｄが配置され、投光部２５ｄの投光面と対向する部分には開ロが設けられた投光室２８と、投光室２８の開口に配置され、光を透過する副透過窓２７とを有している。
投光室２８はここでは椀状の投光室蓋部材２９を有している。投光室蓋部材２９の縁部は筒部材１１の内側面と環状に密着して固定されており、投光室２８の開口はここでは投光室蓋部材２９に設けられている。
【００８６】
副透過窓２７は加熱されてもガスを放出しない光透過性部材からなり、ここではガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない光透過性部材であればガラスに限定されない。
副透過窓２７は投光室２８の開口を塞ぐように設けられ、投光室２８の内部空間は回転板２１ｄが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、投光部２５ｄが加熱されて、モールド樹脂からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｄが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００８７】
第四例の真空用モータ１０ｄは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モータ１０ａの代わりに用いることができる。第四例の真空用モータ１０ｄを有する真空用ロボットの使用方法は第一例の真空用モータ１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００８８】
上述の説明では、回転板２１ｄの第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２の配置（図７参照）と同様に構成されていたが、第二例の真空用モータ１０ｂの回転板２１ｂの第一、第二領域５１、５２の配置（図１０参照）と同様に構成されていてもよい。この場合には、センサ２２ｄに複数の受光素子を設け、各受光素子を回転板２１ｄのうち互いに異なる円周上に配置すればよい。
【００８９】
また、投光部２５ｄに複数の発光素子を設け、センサ２２ｄに発光素子と同数の複数の受光素子を設け、各発光素子と受光素子の一対ずつを回転板２１ｄのうち互いに異なる円周上に配置してもよい。
【００９０】
上述の第一〜第四例の真空用モータ１０ａ〜１０ｄにおいて、回転軸１２を中心軸線に平行な方向に移動できるように構成してもよい。光信号は磁気信号に比べて到達距離が長いため、第三、第四例の真空用モータ１０ｃ、１０ｄでは、第一、第二例の真空用モータ１０ａ、１０ｂに比べて、同転軸１２の中心軸線に平行な方向の移動範囲を広くすることができる。
【００９１】
＜真空処理装置の構造＞
第一例の真空用モータ１０ａを用いた真空処理装置の構造を説明する。
【００９２】
図１３は真空処理装置Ｃ００の内部構成を示す模式図である。
真空処理装置Ｃ００は、図６、図７に示した第一例の真空用モータかこれに準じる真空モータＭ１０と、真空モータＭ１０が内部に配された真空槽Ｃ０１と、真空槽Ｃ０１内でガラス基板Ｇを搬送する搬送ローラＭ６７とを有している。
真空用モータＭ１０は、ガラス基板Ｇを立てた状態で搬送する搬送ローラＭ６７を駆動するものとされ、図１に示したモータ付属の仕切り構造と同様に、真空槽Ｃ０１の隔壁ＣＣに対して回転自在に支持された回転軸１２には回転検知板Ｍ２１が取り付けられ、この回転を検知するセンサＭ２２が設けられたセンサ室Ｍ２４を有する。
センサ室Ｍ２４内のセンサ配線は、配線密閉パイプＭＰによって隔壁ＣＣ外部の大気圧となる空間Ｃ００に接続されている。
【００９３】
本実施形態によれば、真空処理装置Ｃ００においてセンサＭ２４からのガス放出量を低減でき、また、ガスの中に含まれる不純ガスを低減できる。これにより、真空処理装置Ｃ００において、モータＭ１０の設けられる内部空間Ｃ０１の真空雰囲気を清浄に保つことができ、処理空間Ｃ０１内で搬送されるガラス基板Ｇの表面を汚染することがない。
加えて、センサＭ２２と回転検知板Ｍ２１の間隔を小さくできるので、センサＭ２２の位置検出感度が向上し、真空装置内Ｃ００でガラス基板Ｇを精度良く搬送することが可能となる。
【符号の説明】
【００９４】
Ｍ１１……境界部材
１２……回転軸
Ｍ０１……駆動空間
Ｍ０２……開口部
Ｍ０２１……段差面
Ｍ０２２……段差面
Ｍ２１……回転板
Ｍ２２……センサ
Ｍ２３……透過板
Ｍ２４……センサ室
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータに付属する仕切り構造、真空モータに係り、真空下で構成部材から発生したガスの漏洩を防止できる真空用モータと真空用ロボットに用いて好適な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、マルチチャンバ型のＣＶＤ装置などの真空装置には、仕込・取出室や処理室などの間で被成膜物を搬送するための搬送装置が備えられている。こうした搬送装置は、例えば基板を支持して動かすローラや、このローラを回転させるモータなどから構成されている（例えば、特許文献１参照）。従来、搬送装置に用いられるモータは、真空環境となるチャンバの外側、即ち外気に接するところに配置され、モータシャフト（回転軸）をチャンバの中に配されたローラに接続することによって、チャンバ内のローラを回転させていた。このため、モータシャフトがチャンバの壁面を突き抜ける部分には、チャンバ内の気密を保つための気密シールが設けられた構造が知られている。
【０００３】
しかし、搬送装置のモータをチャンバ外に設置して、気密シールを介してモータシャフトをチャンバ内のローラに接続する構造では、搬送装置全体が大型化してしまい、真空装置の小型化の障害となっていた。また、モータシャフトとチャンバ壁面との間に気密シールが必要になるなど構造が複雑化するといった課題もあった。さらに、こうした気密シールはモータシャフトの回転数が５００ｒｐｍ程度までしかチャンバ内の気密を保つことができず、モータの回転数を例えば２０００〜３０００ｒｐｍ程度まで高めて被成膜物を高速搬送する際の障害となっていた。また、チャンバ壁面に対して、モータの設置位置が制限され、真空装置内におけるモータ等のレイアウトの自由度が制限されてしまうので、これを改善したいという要求がある。
【０００４】
このため、真空装置において搬送装置の真空モータをチャンバの内部に配置する真空モータも知られている（例えば、特許文献２参照）。モータをチャンバの内部に配置することによって、モータシャフトとチャンバ壁面との間の気密シールが不要になり、構成を簡単にして真空装置の小型化が可能になるとともに、チャンバ内部の気密を保ちつつモータの回転数を高めて被成膜物の高速搬送が可能になる。
【０００５】
しかし、モータ回転軸の回転位置を検出するサーボモータなどにおいて、位置検出をおこなうセンサは真空側からの信号を読み取る必要があり、このため、センサが真空に曝される。
【０００６】
特許文献３では、センサのモールド樹脂に発ガスの低いエポキシ樹脂を用いる技術が開示されているが、モールド樹脂からの発ガスをゼロにすることは困難であり、真空排気装置に接続された空間には不純物ガスが放出されていた。
放出されたガスは基板が移動・載置される真空槽内に拡散し、基板に付着したり、真空槽の内壁面に付着するという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−３３９９２０号公報
【特許文献２】特開２００７−２７７６１７号公報
【特許文献３】特開２００２−２８１７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記従来技術の問題を解決するためになされたものであり、真空排気装置に接続された減圧側空間に不純物ガスを放出しないモータ付属の仕切り構造、真空用モータさらに、真空用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明のモータに付属する仕切り構造は、モータ回転軸および該回転軸の回転を検知するための回転検知板が配置される低圧側の駆動空間と、
前記回転検知板の回転状態を検知するセンサが配置される高圧側のセンサ空間と、
前記センサによる前記回転検知板の回転状態を検知可能とするように前記駆動空間と前記センサ空間との境界部材に設けられる開口部（開口）とが設けられ、
これら駆動空間と前記センサ空間とを密閉するためモータに付属する仕切り構造であって、
前記仕切り構造が、前記開口部に嵌め込まれる非磁性体からなる透過板と、該透過板を前記境界部材に固着する固着部材と、前記透過板と前記境界部材との間を密閉する密閉部材と、を有し、
前記開口部と前記透過板との間において、高圧側から低圧側に向かって前記固着部材、前記密閉部材の順に設けられてなることを特徴とする。
本発明は、前記透過板が高圧側から低圧側に向かって縮径するように段差を有し、この段差面に前記密閉部材が密着するように設けられ、段差面の高圧側に前記固着部材が配されて該透過板を固定してなることができる。
本発明は、前記境界部材における前記開口部の周囲には高圧側に凹部が周設され、この凹部内に前記透過板が設けられて、この凹部内の低圧側に密閉部材が前記透過板と密着するように設けられ、凹部内の高圧側に前記固着部材が配されて前記透過板を固定してなることができる。
本発明は、前記透過板が低圧側から高圧側に向かって縮径するように段差を有し、この段差面に前記密閉部材が密着するように設けられ、段差面の高圧側に前記固着部材が配されて該透過板を固定してなることができる。
本発明は、前記境界部材が、前記センサのケース部材とされてなる部分を有することが可能である。
本発明は、前記固着部材が接着剤とされ、前記密閉部材がＯリングとされることができる。
本発明は、前記センサが光学式センサとされ、前記透過板がガラス板とされることができる。
本発明は、前記センサが磁気式センサとされ、前記透過板が非磁性金属板とされることを特徴とすることができる。
【００１０】
本発明の真空用モータは、また、円筒形状の筒部材と、前記筒部材の内側に前記筒部材と同軸状に配置された回転軸と、前記回転軸の外周側面に設けられた磁石と、前記磁石の外側に前記磁石と対向して配置されたコイルと、リング形状の板であり、リングの穴には前記回転軸が挿通され、表面には信号を生成する符号が前記回転軸の中心軸線を中心とする円周に沿って配置された回転検知板（回転板）と、前記回転検知板の前記表面と対向して配置され、前記信号を検出できるセンサと、を有し、前記回転板が配置された空間は真空排気装置に接続されて真空排気される真空用モータであって、
内部に前記センサが配置され、前記センサと対向する部分には開口が設けられたセンサ室（センサ空間）と、前記開口に配置され、前記信号を透過する透過窓と、を有し、
前記透過窓は前記開口を塞ぐように設けられ、前記センサ室の内部空間は前記回転板が配置された空間から分離された上記のいずれか記載のモータ付属の仕切り構造を有することができる。
本発明は真空用モータであって、前記符号は、第一信号を生成する第一領域と、第二信号を生成する第二領域とで構成され、前記センサは前記第一、第二信号を検出できることもある。
本発明は真空用モータであって、前記センサは磁気抵抗累子牽有し、前記第一、第二信号は互いに向きが異なる磁気信号であり、前記透過窓は非磁性体からなることができる。
本発明は真空用モータであって、前記回転軸の中心軸線は、前記回転板の前記表面が位置する平面に対して直角に向けられたことができる。
本発明は真空用モータであって、前記符号は第一、第二の値を有し、前記第一、第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置されたことができる。
本発明は真空用モータであって、前記符号は前記円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされたことができる。
【００１１】
本発明の真空処理装置は、上記のいずれか記載の真空用モータと、
真空槽と、該真空槽内で被処理基板を搬送する搬送ローラとを有し、前記真空用モータが前記搬送ローラに駆動することができる。
本発明の真空用ロボットは、上記のいずれか記載の真空用モータと、真空槽と、真空槽内を真空排気する真空排気装置と、基板を保持する腕部と、を有し、前記真空用モータの前記筒部材の一端は前記真空槽に設けられた挿入口に接続され。前記回転軸の一端は前配挿入口を通って前記真空槽内に挿入され、前記腕部は前記真空槽内に配置され、前記回転軸の前記一端に取り付けられたことができる。
【発明の効果】
【００１２】
真空処理装置等において、真空排気装置に接続された空間と、センサが配置される空間とが分離されるので、真空排気装置に接続された空間に不純物ガスは放出されず、真空排気装置に後続された空間を清浄に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第１実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第２実施形態を示す断面図である。
【図３】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第３実施形態を示す断面図である。
【図４】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第４実施形態を示す断面図である。
【図５】本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第５実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明の第一例の真空用モータの内部構成図である。
【図７】第一例の真空用モータの回転板の平面図である。
【図８】本発明の真空用ロボットの内部構威図である。
【図９】本発明の第二例の真空用モータの内部構成図である。
【図１０】第二例の真空用モータの回転板の平面図である。
【図１１】本発明の第三例の真空用モータの内部構成図である。
【図１２】本発明の第四例の真空用モータの内部構成図である。
【図１３】本発明の真空装置内のモータ配置例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図であり、図において、符号１２は、モータの回転軸である。
【００１５】
本実施形態のモータに付属する仕切り構造は、後述するようにモータに設けられ、図１に示すように、モータ回転軸（回転軸）１２および該回転軸１２の回転を検知するための回転検知板Ｍ２１が配置される低圧（真空）側の駆動空間Ｍ０１と、回転検知板Ｍ２１の回転状態を検知するセンサＭ２２が配置される高圧側のセンサ空間Ｍ２４とを有するモータにおいて、センサＭ２２による回転検知板Ｍ２１の回転状態を検知可能とするように駆動空間Ｍ０１と前記センサ空間Ｍ２２との境界部材Ｍ１１に設けられる開口部Ｍ０２とが設けられている。
【００１６】
本実施形態のモータに付属する仕切り構造において、開口部Ｍ０２には、透過板Ｍ２３が嵌め込まれて、駆動空間Ｍ０１とセンサ空間Ｍ２４とを密閉している。
この仕切り構造は、前記開口部に嵌め込まれる非磁性体からなる透過板Ｍ２３と、透過板Ｍ２３を境界部材Ｍ１１に固着する固着部材Ｍ０３と、透過板Ｍ２３と境界部材Ｍ１１との間を密閉する密閉部材Ｍ０４とを有する。
【００１７】
開口部Ｍ０２には、段差面Ｍ０２１を有する段差が設けられ、開口部Ｍ０２は駆動空間Ｍ０１側に比べセンサ空間Ｍ２４側が拡径するように凹部を形成している。
透過板Ｍ２３開口部Ｍ０２はセンサ空間Ｍ２４側に比べ駆動空間Ｍ０１側が縮径するように段差を有し、この段差面Ｍ０２１に接着剤とされる固着部材Ｍ０３が密着するように設けられ、段差面Ｍ０２１の駆動空間Ｍ０１側にＯリングとされる密閉部材Ｍ０４が配されて該透過板Ｍ２３を固定している。なお、Ｏリングとされる密閉部材Ｍ０４を収納するための溝は境界部材Ｍ１１に図示していない。
【００１８】
つまり、開口部Ｍ０２に嵌め込まれた透過板Ｍ２３には、高圧側であるセンサ空間Ｍ２４から低圧側である駆動空間Ｍ０１に向かって固着部材Ｍ０３、密閉部材Ｍ０４の順に設けられている。
【００１９】
透過板Ｍ２３は、センサＭ２２が検知する回転検知板Ｍ２１からの信号を透過可能であればよく、センサＭ２２が磁気式とされる場合には非磁性金属、センサＭ２２が光学式である場合にはガラス等の光透過性を有するものとされる。
なお、本実施形態において、駆動空間Ｍ０１とセンサ空間Ｍ２４とは、圧力差を有する状態であればよく、真空状態と、大気圧状態であるとは限らない。特に、駆動空間Ｍ０１とセンサ空間Ｍ２４とのどちらかが、少なくとも発ガス性に影響のある減圧側とされ、かつ、駆動空間Ｍ０１とセンサ空間Ｍ２４とにおいてにおける圧力差があるものとされる。
【００２０】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第２実施形態を、図面に基づいて説明する。
図２は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図である。
本実施形態において、図１に示した第１実施形態と異なるのは、固着部材に関する点であり、これ以外の対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２１】
本実施形態においては、第１実施形態における接着剤の代わりに、固着部材としてネジＭ０３１が採用されている。このネジＭ０３１は透過板Ｍ２３の段差面Ｍ０２１よりもセンサ空間Ｍ２４側の位置で、かつ、低圧側であるセンサ空間Ｍ２４側に透過板Ｍ２３を貫通するように設けられ、対応する境界部材に設けられた雌ネジに螺合することで透過板M２３を固着している。これにより、センサM２２が透過板Ｍ２３に接触するように配置でき、センサＭ２２が回転検知板Ｍ２１から遠くなり検知感度が低下することあるいは検知が不正確になることを防止できる。
【００２２】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
図３は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図である。
本実施形態において、図１に示した第１実施形態と異なるのは、開口形状に関する点であり、これ以外の対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２３】
本実施形態においては、第１実施形態における段差の代わりに、開口部Ｍ０２が球面状となっており、透過板Ｍ２３の外面形状も球面とされている。つまり、開口Ｍ０２そのものが凹部を形成している。また、センサＭ２２と透過板Ｍ２３とが一体とされており、透過板Ｍ２３のセンサ空間Ｍ２４側の位置に接着剤とされる固着部材Ｍ０３が設けられてセンサＭ２２および透過板Ｍ２３が固着されており、これよりも駆動空間Ｍ０１側にＯリングとされる密閉部材Ｍ０４が設けられる。これにより、センサＭ２２と回転検知板Ｍ２１とをより一層近づけて、検知感度が低下することあるいは検知が不正確になることを防止できる。
【００２４】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第４実施形態を、図面に基づいて説明する。
図４は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図である。
本実施形態において、図１に示した第１実施形態と異なるのは、境界部材に関する点であり、これ以外の対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２５】
本実施形態においては、第１実施形態における境界部材Ｍ１１が、センサＭ２２のケース部材を兼ねており、また、センサＭ２２と透過板Ｍ２３とケースＭ１１Ｃとが一体とされている。
センサＭ２２は、ケースＭ１１Ｃ内部に収納されており、その一端には開口Ｍ０２が設けられ、透過板Ｍ２３が嵌合されている。また、ケースＭ１１Ｃの他端には、拡径するフランジＭ１１Ｂが設けられ、これが貫通孔Ｍ１１Ａ周縁の境界部材に当接することで、境界部材Ｍ１１に設けられた貫通孔Ｍ１１Ａに嵌め込まれたケースＭ１１Ｃを境界部材Ｍ１１に固定している。境界部材Ｍ１１のフランジＭ１１Ｂに接触する位置には、ＯリングＭ１１Ｄが設けられ、ケースＭ１１Ｃと境界部材Ｍ１１との間のシールを維持している。また、ケースＭ１１Ｃの他端は、封止部材Ｍ１１Ｅによって閉塞されている。これにより、センサＭ２２と回転検知板Ｍ２１とをより一層近づけて、検知感度が低下することあるいは検知が不正確になることを防止できる。
【００２６】
第４実施形態において、センサＭ２２の発ガス性が充分低い場合、またはケースＭ１１Ｃの防ガス性能が充分高い場合、には、センサＭ２２を低圧側である駆動空間Ｍ０１に連通する位置に配置することもできる。
【００２７】
以下、本発明に係るモータ付属の仕切り構造の第５実施形態を、図面に基づいて説明する。
図５は、本実施形態におけるモータ付属の仕切り構造の一部を示す断面図である。
本実施形態において、図１に示した第１実施形態と異なるのは、開口形状に関する点であり、これ以外の対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２８】
本実施形態においては、第１実施形態における段差が、高圧側と低圧側とが逆になるように開口部Ｍ０２が形成されている。
【００２９】
開口部Ｍ０２には、段差面Ｍ０２２を有する段差が設けられ、開口部Ｍ０２はセンサ空間Ｍ２４側に比べ駆動空間Ｍ０１側が拡径するように凹部を形成している。
透過板Ｍ２３および開口部Ｍ０２は駆動空間Ｍ０１側に比べセンサ空間Ｍ２４側が縮径するように段差を有し、この段差面Ｍ０２２に接着剤とされる固着部材Ｍ０３が密着するように設けられ、段差面Ｍ０２２の駆動空間Ｍ０１側にＯリングとされる密閉部材Ｍ０４が配されて該透過板Ｍ２３を固定している。開口部Ｍ０２に嵌め込まれた透過板Ｍ２３には、高圧側であるセンサ空間Ｍ２４から低圧側である駆動空間Ｍ０１に向かって固着部材Ｍ０３、密閉部材Ｍ０４の順に設けられている。
【００３０】
本実施形態によれば、センサ空間Ｍ２４側に比べ駆動空間Ｍ０１側が拡径するように凹部を形成しているので、組み立て時に透過板Ｍ２３を駆動空間Ｍ０１側から開口部Ｍ０２に組み付けて勘合することができるので、センサ空間Ｍ２４をセンサＭ２２と同程度の大きさに設定して、センサ空間Ｍ２４のみを真空雰囲気内に設置して密閉することが容易となる。
【００３１】
これらの各実施形態によれば、センサＭ２２からのガス放出量を低減でき、また、ガスの中に含まれる不純ガスを低減できる。これにより、モータの設けられる空間の真空雰囲気を清浄に保つことができ、例えば、真空装置とされる空間内で搬送されるガラス基板やウエハの表面を汚染することがない。
加えて、センサＭ２２と回転検知板Ｍ２１の間隔を小さくできるので、センサＭ２２の位置検出感度が向上し、真空装置内でガラス基板やウエハを位置精度良く搬送することが可能となる。
【００３２】
透過板Ｍ２３を接着剤のみで固定した場合は、接着不良により、真空の気密が保てない場合や、接着剤から発ガスするおそれがあるが、本発明の各実施形態では、透過板Ｍ２３固定力は接着剤とされる固着部材Ｍ０３で維持し、シール性は弾性体シールである密閉部材Ｍ０４で維持しているので、開口部Ｍ０２付近の構造が単純となり、安定したシール性能のセンサユニット、真空モータとすることができる。
【００３３】
以下に、本発明におけるモータ付属の仕切り構造の設けられるモータの例を詳細に説明する。
【００３４】
＜第一例の真空用モータの構造＞
本発明の第一例の真空用モータ１０ａの構造を説明する。
図６は第一例の真空用モータ１０ａの内部構成図であり、図７は回転板２１ａの一例の平面図である。
第一例の真空用モータ１０ａは、図６，図７に示すように、円筒形状の筒部材１１と、筒部材１１の内側に筒部材１１と同軸状に配置された回転軸１２と、回転軸１２の外周側面に設けられた磁石１４と、磁石１４の外側に磁石１４と対向して配置されたコイル１５とを有している。
【００３５】
本実施例では、筒部材１１の内周側面には回転軸１２側に突出する接触部１１１、１１２が設けられ、接触部１１１、１１２と回転軸１２との間には球状部材１９１、１９２が配置されている。回転軸１２は球状部材１９１、１９２を介して接触部１１１、１１２に支持されておリ、回転軸１２の中心軸線は筒部材１１の中心軸線からずれないようになっている。
回転軸１２に中心軸線を中心とする回転力が加わると、回転軸１２は中心軸線を中心に回転できるようになっている。各球状部材１９１、１９２は接触部１１１、１１２と回転軸１２とにそれぞれ点で接触されており、回転軸１２が中心軸線を中心に回転すると、各球状部材１９１、１９２は回転軸１２の中心軸線を中心に回転しながらそれぞれ自転して、接触部接触部１１１、１１２と回転軸１２との間に摩擬がかからないようになっている。そのため、接触部１１１、１１２の表面と回転軸１２の表面とが麿耗して不純物（ダスト）が発生することが防止される。
【００３６】
磁石１４にはここでは表面がＮｉメッキされたものが用いられる、Ｎｉメッキにより磁石１４の表面が酸化又は腐食することが防止され、磁石１４の表面から不純物（ダスト）が発生しないようになっている。
磁石１４は回転軸１２の外周側面に固定されている。
磁石１４の外側にはコイル室１６が配置され、コイル１５はコイル室１６内に配置されている。
【００３７】
ここではコイル室１６は、椀状のコイル室蓋部材１７を有している。コイル室蓋部材１７の緑部は筒部材１１の内側側面に環状に密着して固定され、コイル室１６の内部空間は磁石１４が配覆された空間から分離されている。
そのため、コイル１５が発熱して、コイル１５の導線の被覆や、コイル１５の導線を固定しているワニスやモールド材からガスが放出されても、放出されたガスは磁石１４が配置された空間に拡散しないようになっている。
【００３８】
コイル室蓋部材１７は非磁性体であり、ここではアルミニウムが用いられ、コイル１５と磁石１４との間の部分の厚みは１ｍｍ以下にされている。コイル１５と磁石１４との間の部分の厚みは薄い方が、コイル１５と磁石１４との間の聞隔が狭くなり、相互の磁気結合力を大きくできるため好ましい。
コイル１５にはコイル用電源１８が電気的に接続されている。
コイル用電源１８からコイル１５に電流を流すと、コイル１５が形成する磁力線が磁石１４を貫通して、磁石１４は回転力を受け、回転軸１２と一緒に回転軸１２の中心軸線を中心として回転するようになっている。
【００３９】
第一例の真空用モータ１０ａは、回転舳１２の回転角度を検知する回転検知部３０ａを有している。
回転検知部３０ａは、回転検知板２１ａとセンサ２２ａとを有している。
なお、センサＭ２２はセンサ２２ａ、回転検知板Ｍ２１は回転板２１ａ、センサ空間Ｍ２４はセンサ室２４ａ、境界部材Ｍ１１の一部は接触部１１１、透過板Ｍ２３は透過窓２３ａにそれぞれ対応する。
【００４０】
回転板２１ａは、図７に示すように、リング形状の板であり、表面には信号を生成する符号が回転板２１ａの中心を中心とする円周に沿って配置されている。
本実施例では、符号は第一信号を生成する第一領域５１と第二信号を生成する第二領域５２とで構成されているが、第一〜第Ｎ信号を生成する第一〜第Ｎ領域（Ｎは３以上の自然数）で構成されている場合も本発明に含まれる。
【００４１】
ここでは回転板２１ａは厚み方向に磁化された磁性体の板であり、第一領域５１には開口が設けられ、第二領域５２は開口以外の遮蔽部分で構成されている。
従って、第一領域５１はゼロの磁場（磁気信号）である第一信号を生成し、第二領域５２は厚み方向の磁場（磁気信号）である第二信号を生成する。
なお、第一、第二領域５１、５２の個々の構造は上記構成に限定されず、互いに異なる二方向にそれぞれ磁化された部分であり、第一、第二信号は互いに向きが異なる磁場（磁気信号）であってもよい。
【００４２】
ここでは、第一領域５１と第二領域５２は、回転板２１ａの中心を中心とする円周に沿って交互に等間隔に配置されており、第一信号を第一の値とし、第二信号を第二の値とすると、第一、第二領域５１、５２で構成された符号は第一、第二、の値を有し、第一の値と第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置されている。
【００４３】
図６を参照し、回転板（回転検知板）２１ａのリングの穴には回転軸１２が挿通され、回転軸１２の中心軸線が回転板２１ａの表面が位置する平面に対して直角に向けられた状態で、回転板２１ａは回転柚１２に対して固定されている。回転板２１ａは回転軸１２と同軸状に配置されている。
筒部材１１のうち回転板２１ａが配置された空間（駆動空間）は磁石１４が配置された空間と連通されている。
【００４４】
センサ２２ａは、同転板２１ａの表面と対向して配置され、第一、第二領域５１、５２が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
ここではセンサ２２ａは磁気抵抗素子３１を有している。磁気抵抗素子３１は、磁気信号を受けると抵抗値が磁気信号の強さや向きに応じた値に変化する素子である。
磁気抵抗素子３１はモールド樹脂３２で覆われて封止されており、磁気抵抗素子３１にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
センサ２２ａにはセンサ用電源２７が電気的に接続されており、センサ２２ａは、第一、第二信号を受け取ると、第一、第二信号に応じて異なる電圧値の電気信号を出力するように構成されている。
センサ２２ａには制御装置２８が接続されている。
制御装置２８は、センサ２２ａが出力する電気信号を受け取ると、受け取った電気信号から回転板２１ａの回転角度を求めることできるように構成されている。
【００４５】
ここでは制御装置２８は、受け取った電気信号の電圧値の変化の立ち上がり又は立ち下がりの数を数え、隣合う二つの第一領域５１の中心間の中心角又は隣り合う二つの第二領域５２の中心間の中心角に数えたカウント値を積算することにより、回転板２１ａの回転角度を算出するように構成されている。
また制御装置２８は、回転板２１ａの回転角度が所定角度になると、コイル用電源１８に制御信号を送信してコイル１５への電流供給を停止させ、回転軸１２の回転を停止させるように構成されている。
回転検知部３０ａは、内部にセンサ２２ａが配置され、センサ２２ａの検知面と対向する部分には開口（開口部）が設けられたセンサ室（センサ空間）２４ａと、センサ室２４ａの開ロに配置され、第一、第二信号を透過する透過窓（透過板）２３ａとを有している。
センサ室２４ａはここでは椀状のセンサ室蓋部材２６を有している。センサ室蓋部材２６の緑部は筒部材１１の内側側面と接触部１１１とに亘って環状に密着して固定されており、センサ室２４ａの開口はここでは接触部１１１に設けられている。
【００４６】
透過窓（透過板）２３ａは加熱されてもガスを放出しない非磁性体からなり、第一、第二信号を透過できるようになっている。ここでは透過窓２３ａにはガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない非磁性体であればガラスに限定されず、例えばアルミニウムを用いることもできる。
透過窓２３ａはセンサ室２４ａの開口を塞ぐように設けられ、センサ室２４ａの内部空間は回転板２１ａが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により。センサ２２ａが加熱されて、モールド樹脂３２からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ａが配置された空間（駆動空間）に拡散しないようになっている。
【００４７】
＜真空用ロボットの構造＞
第一例の真空用モータ１０ａを用いた真空用ロボットの構造を説明する。
【００４８】
図８は真空用ロボット４０の内部構成図である。
真空用ロボット４０は、図５、図６に示した第一例の真空用モータ１０ａと、真空槽４１と、真空槽４１内部に連通した真空排気装置４２と、基板を保持する腕部４３とを有している。
【００４９】
真空槽４１の壁面には挿入ロ４５が設けられている。
真空用モータ１０ａの筒部材１１の一端は、挿入口４５の外周を取り囲んで真空槽４１の壁面に環状に密着して固定され、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置される空間は挿入ロ４５を介して真空槽４１の内部空間と連通されている。
真空排気装置４２により真空槽４１内を真空排気すると、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間も一緒に真空排気されるようになっている。
【００５０】
回転軸１２の一端は挿入口４５を通って真空槽４１内に揮入されており、腕部４３は真空槽４１内に配置され、回転軸１２の前記一端に取り付けられている。回転軸１２を回転軸１２の中心軸線を中心に回転させると、腕部４３も回転軸１２と一緒に回転するようになっている。
【００５１】
＜真空用ロボットの使用方法＞
上述の真里用ロボット４０の使用方法を説明する。
真空排気装置４２により真空槽４１内を真空排気し、真空雰囲気を形成する。
このとき、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間も真空排気され、真空雰囲気が形成される。以後、真空排気装置４２による真空排気を継続して、真空槽４１内の真空雰囲気と、回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間の真空雰囲気とを維持する。
【００５２】
真空槽４１内の真空雰囲気を維持しながら、真空槽４１内に基板を搬入し、腕部４３上に配置する。
基板を回転移動させる回転角度をあらかじめ定めておく。
制御装置２８が受け取る電気信号のカウント値を初期化する（ここではゼロにする）。
コイル用電源１８からコイル１５に電流を流し磁力線を発生させ、発生させた磁力線を貫通させて磁石１４に回転力を与え、回転軸１２を回転板２１ａと腕部４３と一緒に回転軸１２の中心軸線を中心として回転させる。腕部４３上の基板も回転軸１２の中心軸線を中心として回転移動する。
【００５３】
電流が流れたコイル１５と、磁力線が貫通した磁石１４はそれぞれ発熱し、コイル１５と磁石１４からの熱により回転板２１ａとセンサ２２ａとがそれぞれ加熱される。
磁石１４と回転板２１ａはガスを放出する部材を有しておらず、加熱されても磁石１４と回転板２１ａからガスは放出されない。
【００５４】
一方、コイル１５が加熱されると導線の被膜や導線を固定しているワニスやモールド材からガスが放出され、センサ２２ａが加熱されるとモールド樹脂３２からガスが放出されるが、コイル室１６とセンサ室２４ａは回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間から分離されており、回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間内にガスは拡敬しない。
そのため、挿入口４５を通って真空槽４１内に不純物であるガスが拡散することは起こらず、ガスが基板に付着したり、真空槽４１の内壁面に付着する問題は起こらない。
【００５５】
回転板２Ｉａが回転すると、回転板２１ａ表面の第一、第二領域５１、５２はセンサ２２ａと対面する位置を交互に通過する。
センサ２２ａは回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２と対面すると、第一、第二信号に応じた電圧値の電気信号を出力し、制御装置２８は電気信号の電圧値の変化の立ち上がり又は立ち下がりの数を数えて、数えたカウント値から回転板２１ａの回転角度を求める。
【００５６】
求めた回転板２１ａの回転角度が所定角度になったら、制御装置２８はコイル用電源１８に制御信号を送って、コイル１５への電力供給を停止させ、回転軸１２の回転を停止させる。
このようにして、腕部４３に保持された基板は、回転軸１２の中心軸線を中心に所定角度回転移動した後、静止される。
真空槽４１内の真空雰囲気を維持しながら基板を真空槽４１の外側に搬出し、後工程に送る。
【００５７】
＜第二例の真空用モータの構造＞
第二例の真空用モータの構造を説明する。
【００５８】
図９は第二例の真空用モータ１０ｂの内部構成図であり、図１０は回転板２１ｂの一例の平面図である。第二例の真空用モータ１０ｂの構造のうち、図６，図７に示す第一例の真空用モータ１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第二例の真空用モータ１０ｂは、図９，図１０に示すように、第一例の真空用モータ１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｂを有している。
なお、センサＭ２２はセンサ２２ｂ、回転検知板Ｍ２１は回転板２１ｂ、センサ空間Ｍ２４はセンサ室２４ｂ、境界部材Ｍ１１の一部は接触部１１１、透過板Ｍ２３は透過窓２３ｂにそれぞれ対応する。
【００５９】
第二例の真空用モータ１０ｂの回転検知部３０ｂの構造を脱明する。
回転検知部３０ｂは、回転板２１ｂとセンサ２２ｂとを有している。
回転板２１ｂの材質と、第一、第二領域５１、５２の個々の構造は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａにおける前記材質、前記構造と同様であり、説明を省略する。
【００６０】
回転板２１ｂ表面での第一、第二領域５１、５２の配置を脱明する。
回転板２１ｂの表面には互いに直径が異なる複数の円周Ｒ１〜Ｒ４が同心状に配置され、第一第二領域５１、５２は各円周Ｒ１〜Ｒ４上に円周に沿って交互に配置されている。
【００６１】
回転板２１ｂの半径方向に沿った一組の第一、第二領域５１、５２で一の符号が構成されている。符号５３は一の符号を構成する第一、第二領域５１、５２の組を示している。
各符号は円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされている。
従って、回転板２１ｂの中心を始点とする一の半直線を基準線と呼び、基準線からの回転角度を絶対角度と呼ぶと、各符号から一の絶対角度が分かるようになっている。
【００６２】
図９を参照し、回転板２１ｂの筒部袴１１内での配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
センサ２２ｂは複数の磁気抵抗素子３１１〜３１４を有している。
各磁気抵抗素子３１１〜３１４はモールド樹脂３２で覆われて封止されており、磁気抵抗素子３１１〜３１４にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
センサ２２ｂは、回転板２１ｂの表面と対向して配置され、各磁気抵抗素子３１１〜３１４は回転板２１ｂのうち互いに異なる円周Ｒ１〜Ｒ４上に配置されている。
従って、各磁気抵抗索子３１１〜３１４は、互いに異なる円周Ｒ１〜Ｒ４上の第一、第二領域５１、５２からの第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００６３】
制御装置２８には、符号と絶対角度との対応関孫があらかじめ記憶されている。
制御装置２８は、各磁気抵抗素子３１１〜３１４が出力する電気信号を受け取ると、受け取った一組の電気信号から一の符号を構成し、あらかじめ記憶された対応関係に基づいて、回転板２１ｂの基準線からの回転角度（絶対角度）を求めるように構成されている。
回転板２１ｂを回転させる前後で第一、第二の絶対角度をそれぞれ求め、第二の絶対角度から第一の絶対角度を減算ずると、回転板２１ｂの回転角度が算出される。
【００６４】
回転検知部３０ｂは、内部にセンサ２２ｂが配置され。センサ２２ｂの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ｂと、センサ室２４ｂの開ロに配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｂとを有している。
センサ室２４ｂと透過窓２３ｂの構遣は、第一例の真空用モータ１０ａのセンサ室２４ａと透過窓２３ａの構造と同様であり、説明を省略する。
センサ室２４ｂの内部空間は回転板２１ｂが配置された空間から分離されており、センサ２２ｂが加熱されて、モールド樹脂３２からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｂが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００６５】
第二例の真空用モータ１０ｂは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モータ１０ａの代わりに用いることができる。第二例の真空用モータ１０ｂを有する真空用ロボットの使用方法は、上述の回転板２１ｂの角度算出方法以外は第一例の真空用モータ１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省陥する。
第二例の真空用モータ１０ｂでは、第一例の真空用モータ１０ａと比較して、制御装置２８のカウンタ値を初期化する手間が不要になるという利点がある。
また、算出した回転角度の正負の符号から回転板２１ｂの回転方向が分かるという利点がある。
【００６６】
＜第三例の真空用モータの構造＞
第三例の真空用モータの構造を説明する。
【００６７】
図１１は第三例の真空用モータ１０ｃの内部構成図である。第三例の真空用モータ１０ｃの構造のうち、図６，図７に示す第一例の真空用モータ１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第三例の真空用モータ１０ｃは、第一例の真空用モータ１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｃを有している。
なお、センサＭ２２はセンサ２２ｃおよび投光器２５ｃ、回転検知板Ｍ２１は回転板２１ｃ、センサ空間Ｍ２４はセンサ室２４ｃ、境界部材Ｍ１１の一部は接触部１１１、透過板Ｍ２３は透過窓２３ｃにそれぞれ対応する。
【００６８】
第三例の真空用モータ１０ｃの回転検知部３０ｃの構造を説明する。
回転検知部３０ｃは、回転板２１ｃとセンサ２２ｃと投光部２５ｃとを有している。
回転板２１ｃはリング形状の板であり、表面には、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成された符号が、回転板２１ｃの中心を中心とする円周に沿って配置されている。
【００６９】
本実施例では、回転板２１ｃは表面が光を反射できるようにされた板であり、第一領域には開ロが設けられ、第二領域は開ロ以外の反射部分で構成されている。従って、第一、第二領域に光が照射されると、第一領域は光を反射せずに強度がゼロの光信号である第一信号を生成し、第二領域は光を反射して強度がゼロより大きい光信号である第二信号を生成するようになっている。
なお、第一、第二領域の個々の構造は上記構成に限定されず、互いに異なる反射率の部分であり、第一、第二信号は互いに強度が異なる光信号であってもよい。第一、第二領域は例えば反射率の異なるインクを塗布されて形成される。
【００７０】
ここでは回転板２１ｃの表面内での第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａにおける第一、第二領域５１、５２の配置（図７参照）と同様であり、説明を省略する。
また回転板２１ｃの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
【００７１】
投光部２５ｃとセンサ２２ｃは、回転板２１ｃの表面と対向して配置され、投光部２５ｃは第一、第二領域に光を照射し、センサ２２ｃは第一、第二領域が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
投光部２５ｃは発光素子３５を有し、センサ２２ｃは受光素子３３を有している。発光素子３５は電圧を印加されると発光する素子であり、受光素子３３は光信号を受けると光信号の強度に応じた電圧値の電気信号を出力する素子である。
発光素子３５と受光素子３３はそれぞれ透明なモールド樹脂３６、３４で覆われて封止されており、発光素子３５と受光素子３３にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
【００７２】
投光部２５ｃとセンサ２２ｃにはセンサ用電源２７がそれぞれ電気的に接続されている。投光部２５ｃは電圧を印加されると第一、第二領域５１、５２に光を照射し、センサ２２ｃは第一、第二信号を受け取ると第一、第二信号に応じた電圧値の電気信号を出力するようになっている。
回転検知部３０ｃは、内部に投光部２５ｃとセンサ２２ｃとが配置され、投光部２５ｃの投光面とセンサ２２ｃの検知面とそれぞれ対向する部分に開口が設けられたセンサ室２４ｃと、センサ室２４ｃの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｃとを有している。
【００７３】
センサ室２４ｃの構造は第一例の真空用モータ１０ａのセンサ室２４ａの構造と同様であり、説明を省略する。
透過窓２３ｃは加熱されてもガスを放出しない光透過性部材からなり、第一、第二信号を透過できるようになっている。ここでは透過窓２３ｃにはガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない光透過性部材であればガラスに限定されない。
透過窓２３ｃはセンサ室２４ｃの開ロを塞ぐように設けられ、センサ室２４ｃの内部空間は回転板２１ｃが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、投光部２５ｃとセンサ２２ｃとが加熱されて、モールド樹脂３６、３４からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｃが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００７４】
第三例の真空用モータ１０ｃは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モータ１０ａの代わりに用いることができる。第三例の真空用モータ１０ｃを有する真空用ロボットの使用方法は第一例の真空用モータ１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００７５】
上述の説明では、回転板２１ｃの第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２の配置（図７参照）と同様に構成されていたが、第二例の真空用モータ１０ｂの回転板２１ｂの第一、第二領域５１、５２の配置（図１０参照）と同様に構成されていてもよい。この場合には、センサ２２ｃに複数の受光素子を設け、各受光素子を回転板２１ｃのうち互いに異なる円周上に配置すればよい。
また、投光部２５ｃに複数の発光素子を設け、センサ２２ｃに発光素子と同数の複数の受光素子を設け、各発光素子と受光素子の一対ずつを回転板２１ｃのうち互いに異なる円周上に配置してもよい。
【００７６】
＜第四例の真空用モータの構造＞
第四例の真空用モータの構造を説明する。
【００７７】
図１２は第四例の真空用モータ１０ｄの内部構成図である。第四例の真空用モータ１０ｄの構遺のうち図６，図７に示す第一例の真空用モータ１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第四例の真空用モータ１０ｄは、第一例の真空用モータ１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｄを有している、
なお、センサＭ２２はセンサ２２ｄおよび投光器２５ｄ、回転検知板Ｍ２１は回転板２１ｄ、センサ空間Ｍ２４はセンサ室２４ｄおよび投光室２９、境界部材Ｍ１１の一部は接触部１１１、透過板Ｍ２３は透過窓２３ｄおよび副透過窓２７にそれぞれ対応する。
【００７８】
第四例の真空用モータ１０ｄの回転検知部３０ｄの構造を説明する。
回転検知部３０ｄは、回転板２１ｄとセンサ２２ｄと投光部２５ｄとを有している。
回転板２１ｄはリング形状の板であり、表面には、第一信号を生成ずる第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成された符号が、回転軸１２の中心軸線を中心とする円周に沿って配置されている。
【００７９】
本実施例では、回転板２１ｄは光を遮断する板であり、第一領域には開ロが設けられ、第二領域は開ロ以外の遮蔽部分で構成されている。従って、第一、第二領域の裏面側から光が照射されると、第一領域は光を透過して強度がゼロより大きい光信号である第一信号を生成し、第二領域は光を遮断して強度がゼロの光信号である第二信号を生成する。
【００８０】
なお、第一、第二領域は上記構成に限定されず、互いに異なる光透過率の部分であり、第一、第二信号は互いに強度が異なる光信号であってもよい。例えば、回転板２１ｄは光を透過する板であり、第一領域又は第二領域には回転板２１ｄよりも光透過率の小さいインクが塗布されて形成される。
【００８１】
ここでは、回転板２１ｄの表面内での第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａにおける第一、第二領域５１、５２の配置と同様であり、説明を省略する。
また回転板２１ｄの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
投光部２５ｄとセンサ２２ｄの構造は第三例の真空用モータ１０ｃの投光部２５ｃとセンサ２２ｃの構造とそれぞれ同様であリ、説明を省略する。
【００８２】
センサ２２ｄは回転板２１ｄの表面と対向して配置され、投光部２５ｄは回転板２１ｄから見てセンサ２２ｄとは逆側に、回転板２１ｄの裏面と対向して配置されている。投光部２５ｄは第一、第二領域５１、５２の裏面側に光を照射し、センサ２２ｄは第一、第二領域５１、５２が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００８３】
回転検知部３０ｄは、内部にセンサ２２ｄが配置され、センサ２２ｄの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ｄと、センサ室２４ｄの開ロに配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｄとを有している。
【００８４】
センサ室２４ｄと透過窓２３ｄの構造は、第三例の真空用モータ１０ｃのセンサ室２４ｃと透過窓２３ｃの構造と同様であリ、説明を省略する。
コイル１５や磁石１４の発熱により、センサ２２ｄが加熱されて、モールド樹脂からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｄが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００８５】
また、回転検知部３０ｄは、内部に投光部２５ｄが配置され、投光部２５ｄの投光面と対向する部分には開ロが設けられた投光室２８と、投光室２８の開口に配置され、光を透過する副透過窓２７とを有している。
投光室２８はここでは椀状の投光室蓋部材２９を有している。投光室蓋部材２９の縁部は筒部材１１の内側面と環状に密着して固定されており、投光室２８の開口はここでは投光室蓋部材２９に設けられている。
【００８６】
副透過窓２７は加熱されてもガスを放出しない光透過性部材からなり、ここではガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない光透過性部材であればガラスに限定されない。
副透過窓２７は投光室２８の開口を塞ぐように設けられ、投光室２８の内部空間は回転板２１ｄが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、投光部２５ｄが加熱されて、モールド樹脂からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｄが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００８７】
第四例の真空用モータ１０ｄは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モータ１０ａの代わりに用いることができる。第四例の真空用モータ１０ｄを有する真空用ロボットの使用方法は第一例の真空用モータ１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００８８】
上述の説明では、回転板２１ｄの第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モータ１０ａの回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２の配置（図７参照）と同様に構成されていたが、第二例の真空用モータ１０ｂの回転板２１ｂの第一、第二領域５１、５２の配置（図１０参照）と同様に構成されていてもよい。この場合には、センサ２２ｄに複数の受光素子を設け、各受光素子を回転板２１ｄのうち互いに異なる円周上に配置すればよい。
【００８９】
また、投光部２５ｄに複数の発光素子を設け、センサ２２ｄに発光素子と同数の複数の受光素子を設け、各発光素子と受光素子の一対ずつを回転板２１ｄのうち互いに異なる円周上に配置してもよい。
【００９０】
上述の第一〜第四例の真空用モータ１０ａ〜１０ｄにおいて、回転軸１２を中心軸線に平行な方向に移動できるように構成してもよい。光信号は磁気信号に比べて到達距離が長いため、第三、第四例の真空用モータ１０ｃ、１０ｄでは、第一、第二例の真空用モータ１０ａ、１０ｂに比べて、同転軸１２の中心軸線に平行な方向の移動範囲を広くすることができる。
【００９１】
＜真空処理装置の構造＞
第一例の真空用モータ１０ａを用いた真空処理装置の構造を説明する。
【００９２】
図１３は真空処理装置Ｃ００の内部構成を示す模式図である。
真空処理装置Ｃ００は、図６、図７に示した第一例の真空用モータかこれに準じる真空モータＭ１０と、真空モータＭ１０が内部に配された真空槽Ｃ０１と、真空槽Ｃ０１内でガラス基板Ｇを搬送する搬送ローラＭ６７とを有している。
真空用モータＭ１０は、ガラス基板Ｇを立てた状態で搬送する搬送ローラＭ６７を駆動するものとされ、図１に示したモータ付属の仕切り構造と同様に、真空槽Ｃ０１の隔壁ＣＣに対して回転自在に支持された回転軸１２には回転検知板Ｍ２１が取り付けられ、この回転を検知するセンサＭ２２が設けられたセンサ室Ｍ２４を有する。
センサ室Ｍ２４内のセンサ配線は、配線密閉パイプＭＰによって隔壁ＣＣ外部の大気圧となる空間Ｃ００に接続されている。
【００９３】
本実施形態によれば、真空処理装置Ｃ００においてセンサＭ２４からのガス放出量を低減でき、また、ガスの中に含まれる不純ガスを低減できる。これにより、真空処理装置Ｃ００において、モータＭ１０の設けられる内部空間Ｃ０１の真空雰囲気を清浄に保つことができ、処理空間Ｃ０１内で搬送されるガラス基板Ｇの表面を汚染することがない。
加えて、センサＭ２２と回転検知板Ｍ２１の間隔を小さくできるので、センサＭ２２の位置検出感度が向上し、真空装置内Ｃ００でガラス基板Ｇを精度良く搬送することが可能となる。
【符号の説明】
【００９４】
Ｍ１１……境界部材
１２……回転軸
Ｍ０１……駆動空間
Ｍ０２……開口部
Ｍ０２１……段差面
Ｍ０２２……段差面
Ｍ２１……回転板
Ｍ２２……センサ
Ｍ２３……透過板
Ｍ２４……センサ室
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータ回転軸および該回転軸の回転を検知するための回転検知板が配置される低圧側の駆動空間と、
前記回転検知板の回転状態を検知するセンサが配置される高圧側のセンサ空間と、
前記センサによる前記回転検知板の回転状態を検知可能とするように前記駆動空間と前記センサ空間との境界部材に設けられる開口部とが設けられ、
これら駆動空間と前記センサ空間とを密閉するためモータに付属する仕切り構造であって、
前記仕切り構造が、前記開口部に嵌め込まれる非磁性体からなる透過板と、該透過板を前記境界部材に固着する固着部材と、前記透過板と前記境界部材との間を密閉する密閉部材と、を有し、
前記開口部と前記透過板との間において、高圧側から低圧側に向かって前記固着部材、前記密閉部材の順に設けられてなることを特徴とするモータ付属の仕切り構造。
【請求項２】
前記透過板が高圧側から低圧側に向かって縮径するように段差を有し、この段差面に前記密閉部材が密着するように設けられ、段差面の高圧側に前記固着部材が配されて該透過板を固定してなることを特徴とする請求項１記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項３】
前記境界部材における前記開口部の周囲には高圧側に凹部が周設され、この凹部内に前記透過板が設けられて、この凹部内の低圧側に密閉部材が前記透過板と密着するように設けられ、凹部内の高圧側に前記固着部材が配されて前記透過板を固定してなることを特徴とする請求項１記載のモータに付属する仕切り構造。
【請求項４】
前記透過板が低圧側から高圧側に向かって縮径するように段差を有し、この段差面に前記密閉部材が密着するように設けられ、段差面の高圧側に前記固着部材が配されて該透過板を固定してなることを特徴とする請求項１記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項５】
前記境界部材が、前記センサのケース部材とされてなる部分を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項６】
前記固着部材が接着剤とされ、前記密閉部材がＯリングとされることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項７】
前記センサが光学式センサとされ、前記透過板がガラス板とされることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項８】
前記センサが磁気式センサとされ、前記透過板が非磁性金属板とされることを特徴とすることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項９】
円筒形状の筒部材と、前記筒部材の内側に前記筒部材と同軸状に配置された回転軸と、前記回転軸の外周側面に設けられた磁石と、前記磁石の外側に前記磁石と対向して配置されたコイルと、リング形状の板であり、リングの穴には前記回転軸が挿通され、表面には信号を生成する符号が前記回転軸の中心軸線を中心とする円周に沿って配置された回転検知板と、前記回転検知板の前記表面と対向して配置され、前記信号を検出できるセンサと、を有し、前記回転板が配置された空間は真空排気装置に接続されて真空排気される真空用モータであって、
内部に前記センサが配置され、前記センサと対向する部分には開口が設けられたセンサ室と、前記開口に配置され、前記信号を透過する透過窓と、を有し、
前記透過窓は前記開口を塞ぐように設けられ、前記センサ室の内部空間は前記回転板が配置された空間から分離された請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載のモータ付属の仕切り構造を有することを特徴とする真空用モータ。
【請求項１０】
前記符号は、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成され、前記センサは前記第一、第二信号を検出できる請求項９記載の真空用モータ。
【請求項１１】
前配センサは磁気抵抗素子を有し、前記第一、第二信号は互いに向きが異なる磁気信号であり、前記透過窓は非磁性体からなる請求項１０記載の真空用モータ。
【請求項１２】
前記回転軸の中心軸線は、前記回転板の前記表面が位置する平面に対して直角に向けられた請求項９ないし請求項１１のいずれか１項記載の真空用モータ。
【請求項１３】
前記符号は第一、第二の値を有し、前記第一、第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置された請求項９乃至請求項１２のいずれか１項記載の真空用モータ。
【請求項１４】
前記符号は前記円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされた請求項９乃至請求項１２のいずれか１項記載の真空用モータ。
【請求項１５】
請求項９乃至請求項１４のいずれか１項記載の真空用モータと、
真空槽と、該真空槽内で被処理基板を搬送する搬送ローラとを有し、前記真空用モータが前記搬送ローラに駆動することを特徴とする真空処理装置。
【請求項１６】
請求項９乃至請求項１４のいずれか１項記載の真空用モータと、
真空槽と、
真空槽内を真空排気する真空排気装置と、
基板を保持する腕部と、
を有し、
前記真空用モータの前記筒部材の一端は前記真窒槽に設けられた挿入口に接続され、
前記回転軸の一端は前記挿入ロを通って前記真空槽内に挿入され、
前記腕部は前記真空槽内に配置され、前記回転軸の前記一端に取り付けられた真空用ロボット。
【請求項１】
モータ回転軸および該回転軸の回転を検知するための回転検知板が配置される低圧側の駆動空間と、
前記回転検知板の回転状態を検知するセンサが配置される高圧側のセンサ空間と、
前記センサによる前記回転検知板の回転状態を検知可能とするように前記駆動空間と前記センサ空間との境界部材に設けられる開口部とが設けられ、
これら駆動空間と前記センサ空間とを密閉するためモータに付属する仕切り構造であって、
前記仕切り構造が、前記開口部に嵌め込まれる非磁性体からなる透過板と、該透過板を前記境界部材に固着する固着部材と、前記透過板と前記境界部材との間を密閉する密閉部材と、を有し、
前記開口部と前記透過板との間において、高圧側から低圧側に向かって前記固着部材、前記密閉部材の順に設けられてなることを特徴とするモータ付属の仕切り構造。
【請求項２】
前記透過板が高圧側から低圧側に向かって縮径するように段差を有し、この段差面に前記密閉部材が密着するように設けられ、段差面の高圧側に前記固着部材が配されて該透過板を固定してなることを特徴とする請求項１記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項３】
前記境界部材における前記開口部の周囲には高圧側に凹部が周設され、この凹部内に前記透過板が設けられて、この凹部内の低圧側に密閉部材が前記透過板と密着するように設けられ、凹部内の高圧側に前記固着部材が配されて前記透過板を固定してなることを特徴とする請求項１記載のモータに付属する仕切り構造。
【請求項４】
前記透過板が低圧側から高圧側に向かって縮径するように段差を有し、この段差面に前記密閉部材が密着するように設けられ、段差面の高圧側に前記固着部材が配されて該透過板を固定してなることを特徴とする請求項１記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項５】
前記境界部材が、前記センサのケース部材とされてなる部分を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項６】
前記固着部材が接着剤とされ、前記密閉部材がＯリングとされることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項７】
前記センサが光学式センサとされ、前記透過板がガラス板とされることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項８】
前記センサが磁気式センサとされ、前記透過板が非磁性金属板とされることを特徴とすることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のモータ付属の仕切り構造。
【請求項９】
円筒形状の筒部材と、前記筒部材の内側に前記筒部材と同軸状に配置された回転軸と、前記回転軸の外周側面に設けられた磁石と、前記磁石の外側に前記磁石と対向して配置されたコイルと、リング形状の板であり、リングの穴には前記回転軸が挿通され、表面には信号を生成する符号が前記回転軸の中心軸線を中心とする円周に沿って配置された回転検知板と、前記回転検知板の前記表面と対向して配置され、前記信号を検出できるセンサと、を有し、前記回転板が配置された空間は真空排気装置に接続されて真空排気される真空用モータであって、
内部に前記センサが配置され、前記センサと対向する部分には開口が設けられたセンサ室と、前記開口に配置され、前記信号を透過する透過窓と、を有し、
前記透過窓は前記開口を塞ぐように設けられ、前記センサ室の内部空間は前記回転板が配置された空間から分離された請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載のモータ付属の仕切り構造を有することを特徴とする真空用モータ。
【請求項１０】
前記符号は、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成され、前記センサは前記第一、第二信号を検出できる請求項９記載の真空用モータ。
【請求項１１】
前配センサは磁気抵抗素子を有し、前記第一、第二信号は互いに向きが異なる磁気信号であり、前記透過窓は非磁性体からなる請求項１０記載の真空用モータ。
【請求項１２】
前記回転軸の中心軸線は、前記回転板の前記表面が位置する平面に対して直角に向けられた請求項９ないし請求項１１のいずれか１項記載の真空用モータ。
【請求項１３】
前記符号は第一、第二の値を有し、前記第一、第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置された請求項９乃至請求項１２のいずれか１項記載の真空用モータ。
【請求項１４】
前記符号は前記円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされた請求項９乃至請求項１２のいずれか１項記載の真空用モータ。
【請求項１５】
請求項９乃至請求項１４のいずれか１項記載の真空用モータと、
真空槽と、該真空槽内で被処理基板を搬送する搬送ローラとを有し、前記真空用モータが前記搬送ローラに駆動することを特徴とする真空処理装置。
【請求項１６】
請求項９乃至請求項１４のいずれか１項記載の真空用モータと、
真空槽と、
真空槽内を真空排気する真空排気装置と、
基板を保持する腕部と、
を有し、
前記真空用モータの前記筒部材の一端は前記真窒槽に設けられた挿入口に接続され、
前記回転軸の一端は前記挿入ロを通って前記真空槽内に挿入され、
前記腕部は前記真空槽内に配置され、前記回転軸の前記一端に取り付けられた真空用ロボット。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１３−３８９６５（Ｐ２０１３−３８９６５Ａ）
【公開日】平成２５年２月２１日（２０１３．２．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１７４１９７（Ｐ２０１１−１７４１９７）
【出願日】平成２３年８月９日（２０１１．８．９）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年２月２１日（２０１３．２．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月９日（２０１１．８．９）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
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