レンズ系、光学機器及びレンズ系の製造方法
【課題】コマ収差を含む諸収差が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を持つレンズ系、光学機器及びレンズ系の製造方法を提供する。
【解決手段】物体側から正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有するレンズ系において、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間に絞りＳを配置し、非球面レンズを少なくとも１枚有し、第２レンズ群Ｇ２は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分Ｌ２１と、その像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分Ｌ２２とを有し、以下の条件式を満足するとともに、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成される。１．０≦（ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ）＜１２．０、０．８＜ｆ２２／ｆ＜２．０
【解決手段】物体側から正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有するレンズ系において、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間に絞りＳを配置し、非球面レンズを少なくとも１枚有し、第２レンズ群Ｇ２は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分Ｌ２１と、その像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分Ｌ２２とを有し、以下の条件式を満足するとともに、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成される。１．０≦（ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ）＜１２．０、０．８＜ｆ２２／ｆ＜２．０
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一眼レフカメラ用交換レンズや複写用レンズなどに好適なレンズ系、光学機器及びレンズ系の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一眼レフカメラ用交換レンズや複写用レンズなどに用いられるレンズ系は、所謂ガウス型レンズ系が用いられ、数多く提案されている。また近年、このようなレンズ系に対しては、収差性能だけではなく、光学性能を損なう要因の一つであるゴーストやフレアに関する要求も厳しさを増しており、そのためレンズ面に施される反射防止膜にもより高い性能が要求され、要求に応えるべく多層膜設計技術や多層膜成膜技術も進歩を続けている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−２３０２０８号公報
【特許文献２】特開２０００−３５６７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のレンズ系では、コマ収差が大きく残存し、十分に高い光学性能を有しているとは言えなかった。それと同時に、このようなレンズ系における光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題があった。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、コマ収差を含む諸収差が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を持つレンズ系、光学機器及びレンズ系の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群とを有するレンズ系において、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間に絞りを配置し、非球面レンズを少なくとも１枚有し、前記第２レンズ群は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分と、前記第１のレンズ成分の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分とを有し、以下の条件式を満足するとともに、前記第２レンズ群を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とするレンズ系を提供する。
１．０ ≦ （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＜ １２．０
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０
但し、
ｒ２１Ｒ：前記第１のレンズ成分の像側レンズ面の曲率半径、
ｒ２２Ｆ：前記第２のレンズ成分の物体側レンズ面の曲率半径、
ｆ２２：前記第２のレンズ成分の焦点距離、
ｆ：前記レンズ系全体の焦点距離（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）。
【０００７】
また、本発明は、前記レンズ系を有することを特徴とする光学機器を提供する。
【０００８】
また、本発明は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群とを有するレンズ系の製造方法であって、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間に絞りを配置し、非球面レンズを少なくとも１枚有し、前記第２レンズ群は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分と、前記第１のレンズ成分の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分とを有し、以下の条件式を満足するとともに、前記第２レンズ群を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んで構成されるように、レンズ鏡筒内に各レンズを組み込み、各種の動作確認を行うことを特徴とするレンズ系の製造方法を提供する。
１．０ ≦ （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＜ １２．０
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０
但し、
ｒ２１Ｒ：前記第１のレンズ成分の像側レンズ面の曲率半径、
ｒ２２Ｆ：前記第２のレンズ成分の物体側レンズ面の曲率半径、
ｆ２２：前記第２のレンズ成分の焦点距離、
ｆ：前記レンズ系全体の焦点距離（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、コマ収差を含む諸収差が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を持つレンズ系、光学機器及びレンズ系の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図２】第１実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図３】第１実施例に係るレンズ系の構成を示す断面図であって、入射した光線が第１番目のゴースト発生面と第２番目のゴースト発生面で反射する様子の一例を説明する図である。
【図４】第２実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図５】第２実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図６】第３実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図７】第３実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図８】第４実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図９】第４実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１０】第５実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図１１】第５実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１２】第６実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図１３】第６実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１４】第７実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図１５】第７実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１６】第８実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図１７】第８実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１８】本実施形態に係るレンズ系を備えた光学機器（カメラ）の構成を示した図である。
【図１９】本実施形態に係るレンズ系の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図２０】反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。
【図２１】反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図２２】変形例に係る反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図２３】変形例に係る反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【図２４】従来技術で作成した反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図２５】従来技術で作成した反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本実施形態に係るレンズ系について、図面を用いて説明する。本実施形態に係るレンズ系は、図１に示すように、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、（開口）絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有する構成とすることで、所謂ガウス型の屈折力配置を実現し、歪曲収差を良好に補正するとともに、球面収差と像面湾曲を補正している。
【００１２】
非球面を持たないガウス型レンズ系では、負の球面収差は良好に補正されているものの、サジタルコマ収差の補正が不足していた。そこで、本実施形態のレンズ系では、レンズ端ほどの幅を持つ非球面レンズを少なくとも１枚有することにより、負の球面収差の補正を効率的に行うことが可能であると同時に、サジタルコマ収差を抑えることが可能となっている。
【００１３】
さらに、本実施形態に係るレンズ系においては、第２レンズ群Ｇ２は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分Ｌ２１と、この第１のレンズ成分Ｌ２１の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分Ｌ２２とを有し、像側に位置する第２のレンズ成分Ｌ２２とを有し、第１のレンズ成分Ｌ２１の像側レンズ面の曲率半径をｒ２１Ｒとし、第２のレンズ成分Ｌ２２の物体側レンズ面の曲率半径をｒ２２Ｆとし、第２のレンズ成分Ｌ２２の焦点距離をｆ２２とし、レンズ系全体の焦点距離をｆとしたとき（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）、以下の条件式（１）及び（２）を満足する。
【００１４】
１．０≦（ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ）＜１２．０ …（１）
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０ …（２）
【００１５】
上記条件式（１）は、コマ収差、像面湾曲、非点収差に関係する条件式である。この条件式（１）が上限値を上回ると、ペッツバール和が減少し、非点隔差が増大する。また、
コマ収差の形状が外コマ傾向になり、結像性能が劣化する。逆に、条件式（１）が下限値を下回ると、ペッツバール和が増大し、非点収差及び像面湾曲が補正しきれなくなる。また、コマ収差の形状が内コマ傾向になり、結像性能が劣化する。
【００１６】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（１）の上限値を７．０とすることが望ましい。
【００１７】
上記条件式（２）は、像面湾曲に関する条件式である。この条件式（２）が上限値を上回ると、ペッツバール和が正に増大し、非点収差及び像面湾曲が補正しきれなくなり、結像性能が劣化する。逆に、条件式（２）が下限値を下回ると、良好なペッツバール和が得られるが、非点隔差が増大し、結像性能が劣化する。
【００１８】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（２）の上限値を１．５とすることが望ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（２）の下限値を１．０とすることが望ましい。
【００１９】
また、本実施形態に係るレンズ系は、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ（図１では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面（面番号１０）と、正メニスカスレンズＬ２２の物体側のレンズ面（面番号１１）が相当）、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいる。このように構成すれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。
【００２０】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このように構成すれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。
【００２１】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長587.6nm）における屈折率をｎｄとしたとき、屈折率ｎｄが１．３０以下であることが好ましい。このように構成すれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。
【００２２】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記反射防止膜が設けられた光学面は、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面であり、当該光学面は、（開口）絞りＳから見て凹面であることが好ましい。開口絞りＳから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２３】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記開口絞りから見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも１つのレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２４】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記開口絞りから見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも１つのレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生しやすいため、このような光
学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２５】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記開口絞りから見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群の前記開口絞りから像面側に向かって２番目に位置するレンズのレンズ面であることが好ましい。開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２６】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記開口絞りから見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群の前記開口絞りから像面側に向かって３番目に位置するレンズのレンズ面であることが好ましい。開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２７】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記反射防止膜が設けられた光学面は、像面から見て凹面であることが好ましい。像面から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２８】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記像面から見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群の前記開口絞りから像面側に向かって４番目に位置するレンズのレンズ面であることが好ましい。像面から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２９】
なお、本実施形態に係るレンズ系では、前記反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜はｄ線における屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。このように反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が１．３０以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。
【００３０】
また、本実施形態に係るレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の最も像側に配置されたレンズの焦点距離をｆ２Ｌとし、レンズ系全体の焦点距離をｆとしたとき、以下の条件式（３）を満足することが好ましい。
【００３１】
０．５ ＜ ｆ２Ｌ／ｆ ＜ １．５ …（３）
【００３２】
上記条件式（３）は、好適なバックフォーカスを確保し、且つ高い光学性能を実現するための条件式である。この条件式（３）が上限値を上回ると、レンズ系全体の焦点距離に対してバックフォーカスが相対的に長くなり、レンズ系の対称性から離れるため、歪曲収差を補正することが困難になり、光学性能が劣化する。逆に、条件式（３）が下限値を下回ると、レンズ系の焦点距離に対してバックフォーカスが相対的に短くなり、好適なレンズ系を得ることができない。また、像面湾曲を補正することが困難になる。
【００３３】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（３）の上限値を１．０とすることが望ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（３）の下限値を０．７とすることが望ましい。
【００３４】
また、本実施形態のレンズ系において、非球面レンズは、第２レンズ群Ｇ２に少なくとも１枚設けられていることが好ましい。この構成により、負の球面収差の補正やサジタルコマ収差の補正を行い、高い光学性能を実現することができる。
【００３５】
また、本実施形態のレンズ系において、非球面レンズは、ガラス材料と樹脂材料との複合からなる複合型非球面レンズであることが好ましい。この構成により、球面収差及びコマ収差を良好に補正することができる。
【００３６】
また、本実施形態のレンズ系において、複合型非球面レンズを構成する樹脂材料のｄ線における屈折率をｎａとしたとき、以下の条件式（４）を満足することが好ましい。
【００３７】
１．４５０ ＜ ｎａ ＜ １．８００ …（４）
【００３８】
上記条件式（４）は、高い光学性能を得るため、複合型非球面レンズの樹脂材料の屈折率の適切な範囲を規定する条件式である。この条件式（４）の上限値を上回ると、複合型非球面レンズの樹脂材料の屈折率が過度に高くなり、温度変化や吸湿変化をしやすい樹脂材料において、温度や湿度などの影響を過剰に受けやすくなり、これら変化に伴い収差が大きく変動し、球面収差及びコマ収差の補正が困難となり、高い光学性能を実現できなくなる。逆に、条件式（４）の下限値を下回ると、複合型非球面レンズの樹脂材料の屈折率が過度に小さくなり、非球面による効果を十分に得るために母球面からの非球面乖離量を大きくする必要がある。すると、温度変化や吸湿変化をしやすい樹脂材料において、非球面乖離量に比例して複合型非球面レンズの樹脂材料の厚さが光軸付近とレンズ周辺部で大きく異なることになり、温度変化や湿度変化に伴い収差が大きく変動し、球面収差及びコマ収差の補正が困難となり、高い光学性能を実現できなくなる。
【００３９】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（４）の上限値を１．６５０とすることが望ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（４）の下限値を１．５００とすることが望ましい。
【００４０】
図１８に、上記構成のレンズ系を撮影レンズ１として備えたデジタル一眼レフカメラＣＡＭ（光学機器）の略断面図を示す。図１８に示すデジタル一眼レフカメラＣＡＭにおいて、不図示の物体（被写体）からの光は、撮影レンズ１で集光されて、クイックリターンミラー３を介して焦点板４に結像される。そして、焦点板４に結像された光は、ペンタプリズム５中で複数回反射されて接眼レンズ６へと導かれる。これにより、撮影者は、物体（被写体）像を接眼レンズ６を介して正立像として観察することができる。
【００４１】
また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー３が光路外へ退避し、撮影レンズ１で集光された不図示の物体（被写体）の光は撮像素子７上に被写体像を形成する。これにより、物体（被写体）からの光は、当該撮像素子７により撮像され、物体（被写体）画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者は本カメラＣＡＭによる物体（被写体）の撮影を行うことができる。なお、図１８に記載のカメラＣＡＭは、撮影レンズ１を着脱可能に保持するものでもよく、撮影レンズ１と一体に成形されるものでもよい。また、カメラＣＡＭは、いわゆる一眼レフカメラでもよく、クイックリターンミラー等を有さないコンパクトカメラでもよい。
【００４２】
続いて、図１９を参照しながら、上記構成のレンズ系の製造方法について説明する。
まず、鏡筒内に第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２を組み込む（ステップＳ１０）。この組み込みステップにおいて、第１レンズ群Ｇ１は正の屈折力を持つように、第２レンズ群Ｇ２は正の屈折力を持つように、各レンズを配置する。
【００４３】
次に、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間に絞りＳを配置し、本レンズ系内に非球面レンズを少なくとも１枚配置する（ステップＳ２０）。
【００４４】
続いて、第２レンズ群Ｇ２は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分Ｌ２１と、この第１のレンズ成分Ｌ２１の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分Ｌ２２とを有し、第１のレンズ成分Ｌ２１の像側レンズ面の曲率半径をｒ２１Ｒとし、第２のレンズ成分Ｌ２２の物体側レンズ面の曲率半径をｒ２２Ｆとし、第２のレンズ成分Ｌ２２の焦点距離をｆ２２とし、レンズ系全体の焦点距離をｆとしたとき（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）、以下の条件式（１）及び（２）を満足するように、各レンズを配置する（ステップＳ３０）。
【００４５】
１．０≦（ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ）＜１２．０ …（１）
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０ …（２）
【００４６】
ここで、本実施形態におけるレンズ配置の一例を挙げると、図１に示すように、第１レンズ群Ｇ１として、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを配置し、第２レンズ群Ｇ２として、光軸に沿って物体側から順に、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを配置する。
【００４７】
そして、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜がウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んで構成されるように、各レンズを配置する（ステップＳ４０）。
【００４８】
以上のような本実施形態に係る製造方法によれば、コマ収差を含む諸収差が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を持つレンズ系を得ることができる。
【実施例】
【００４９】
以下、本実施形態に係る各実施例について、図面を参照しつつ説明する。以下に、表１〜表８を示すが、これらは第１〜第８実施例における各諸元の表である。［全体諸元］において、ｆはレンズ系全体の焦点距離を、ＦＮＯはＦナンバーを、ωは半画角（単位：度）を、ＴＬは最も物体側に配置されたレンズの物体側の面から像面Ｉまでのレンズ全長を示す。［レンズデータ］においては、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序を、ｒは各レンズ面の曲率半径を、ｄは各光学面から次の光学面（又は像面）までの光軸上の距離である面間隔を、ｎｄはｄ線（波長587.6nm）に対する屈折率を、νｄはｄ線を基準とするアッベ数を示す。なお、表中において、空気の屈折率「1.00000」の記載は省略している。［可変間隔データ］において、Ｒは撮影距離すなわち物体から像面Ｉまでの距離（単位：ｍ）を、βは撮影倍率を、Ｂｆはバックフォーカスを示す。［各群焦点距離データ］において、各群の初面及び焦点距離を示す。［条件式］において、上記の条件式（１）〜（４）に対応する値を示す。
【００５０】
［非球面データ］には、［レンズデータ］に示した非球面について、その形状を次式（ａ）で示す。すなわち、光軸に垂直な方向の高さをｙとし、非球面の頂点における接平面から高さｙにおける非球面上の位置までの光軸に沿った距離（サグ量）をＳ（ｙ）とし、基準球面の曲率半径（近軸曲率半径）をｒとし、円錐係数をκとし、ｎ次の非球面係数を
Ａｎとしたとき、以下の式（ａ）で示している。また、Ｅ-nは、×10-nを表す。例えば、1.234E-05＝1.234×10-5である。
【００５１】
Ｓ（ｙ）＝（ｙ2／ｒ）／｛１＋（１−κ・y2／ｒ2）1/2｝
＋Ａ4×ｙ4＋Ａ6×ｙ6 …（ａ）
【００５２】
なお、表中において、焦点距離ｆ、曲率半径ｒ、面間隔ｄ、その他の長さの単位は、一般に「mm」が使われている。但し、光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「mm」に限定されることなく、他の適当な単位を用いることが可能である。
【００５３】
以上の表の説明は、他の実施例においても同様とし、その説明を省略する。
【００５４】
（第１実施例）
第１実施例について、図１、図２及び表１を用いて説明する。図１に示すように、第１実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００５５】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００５６】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【００５７】
像面Ｉは、不図示の撮像素子上に形成され、該撮像素子はＣＣＤやＣＭＯＳ等から構成されている。（像面Ｉの説明については、以降の実施例についても同様である。）
【００５８】
なお、第１実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【００５９】
以下の表１に、第１実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表１における面番号１〜１５は、図１に示す面１〜１５に対応している。
【００６０】
（表１）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.85
ω＝23.07
ＴＬ＝76.16397（無限時）〜77.90701（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 40.0000 4.7000 1.83481 42.73
2 381.8864 0.3000
3 24.1500 2.9000 1.80400 46.60
4 33.0000 1.5000
5 79.4297 1.4000 1.67270 32.19
6 18.6247 5.9000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -21.0783 1.1000 1.69895 30.13
9 48.0712 3.2000 1.80400 46.60
10 -160.0000 1.9000
＊11 -115.0000 0.1000 1.55389 38.09
12 -115.0000 3.6000 1.77250 49.62
13 -34.3596 0.1000
14 435.5383 4.0000 1.80400 46.60
15 -40.1003 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-4.1755E-06 ， A6＝-2.0235E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.72
β 0.0 1/30
Bf 40.16397 41.90701
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 130.24595
Ｇ２ ８ 49.74685
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 6.111
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.205
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.888
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【００６１】
表１に示す諸元の表から、第１実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【００６２】
図２は、第１実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【００６３】
なお、各収差図において、ＦＮＯはＦナンバーを、Ａは光線入射角（単位：度）を、ＮＡは開口数を、ＨＯは物体高（単位：mm）をそれぞれ示す。また、ｄはｄ線（波長587.6nm）、ｇはｇ線（波長435.8nm）に対する諸収差を、記載のないものはｄ線に対する諸収差をそれぞれ示す。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示す。コマ収差図は、各入射角又は物体高において実線はｄ線及びｇ線に対するメリディオナルコマ収差、原点より右側の破線はｄ線に対してメリディオナル方向に発生するサジタルコマ収差、原点より左側の破線はｄ線に対してサジタル方向に発生す
るサジタルコマ収差を表す。以上の収差図の説明は、他の実施例においても同様とし、その説明を省略する。
【００６４】
各収差図から明らかなように、第１実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【００６５】
図３は、第１実施例のレンズ系において、物体側から入射した光線ＢＭによりゴーストが発生する状態を示している。図３において、物体側からの光線ＢＭが図示のようにレンズ系Ｌに入射すると、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面（第１番目のゴースト発生面でありその面番号は１１）で反射し、その反射光は両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面（第２番目のゴースト発生面でありその面番号は１０）で再度反射して像面Ｉに到達し、ゴーストを発生させてしまう。なお、第１番目のゴースト発生面１１および第２番目のゴースト発生面１０は、それぞれ開口絞りＳに対して凹面である。また、Ｌ２２は開口絞りＳから像面側に向かって３番目に位置するレンズであり、Ｌ２１ｂは開口絞りＳから像面側に向かって２番目に位置するレンズである。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストを効果的に低減させることができる。
【００６６】
（第２実施例）
第２実施例について、図４、図５及び表２を用いて説明する。図４に示すように、第２実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００６７】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００６８】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【００６９】
なお、第２実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【００７０】
以下の表２に、第２実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表２における面番号１〜１５は、図４に示す面１〜１５に対応している。
【００７１】
（表２）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.85
ω＝23.06
ＴＬ＝75.46398（無限時）〜77.18384（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 41.4455 4.4000 1.83481 42.72
2 436.2147 0.1000
3 23.5000 3.0000 1.80400 46.58
4 31.9799 1.6000
5 72.5066 1.3000 1.67270 32.11
6 18.6402 5.9000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -21.3881 1.1000 1.69895 30.13
9 41.4568 3.2000 1.80400 46.58
10 -352.2422 1.8000
＊11 -113.8699 0.1000 1.55389 38.09
12 -113.8699 3.5000 1.80400 46.58
13 -35.9305 0.1000
14 312.3862 3.9000 1.80400 46.58
15 -38.2693 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-4.4243E-06 ， A6＝-3.2750E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.72
β 0.0 1/30
Bf 40.16398 41.88384
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 122.89764
Ｇ２ ８ 50.91118
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 1.955
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.240
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.826
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【００７２】
表２に示す諸元の表から、第２実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【００７３】
図５は、第２実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【００７４】
各収差図から明らかなように、第２実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【００７５】
（第３実施例）
第３実施例について、図６、図７及び表３を用いて説明する。図６に示すように、第３
実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００７６】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００７７】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、像側のレンズ面に非球面が形成された両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【００７８】
なお、第３実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【００７９】
以下の表３に、第３実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表３における面番号１〜１５は、図６に示す面１〜１５に対応している。
【００８０】
（表３）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.85
ω＝22.99
ＴＬ＝75.26421（無限時）〜76.98419（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 42.0000 4.5000 1.83481 42.72
2 447.9130 0.1000
3 23.5000 3.0000 1.80400 46.58
4 32.5000 1.2500
5 65.7613 1.3000 1.67270 32.11
6 18.7699 5.9000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -21.1460 1.1000 1.69895 30.13
9 48.5018 2.7500 1.80400 46.58
10 -1539.0914 1.8000
＊11 -120.0000 0.1000 1.55389 38.09
12 -120.0000 3.8000 1.77250 49.61
13 -33.0270 0.1000
＊14 303.4237 4.1000 1.80400 46.58
15 -39.3434 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-3.4030E-06 ， A6＝-1.2487E-09
第14面
κ＝0.0000 ， A6＝-1.1491E-11
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.72
β 0.0 1/30
Bf 40.16421 41.88419
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 111.08380
Ｇ２ ８ 53.13000
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 1.169
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.121
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.844
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【００８１】
表３に示す諸元の表から、第３実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【００８２】
図７は、第３実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【００８３】
各収差図から明らかなように、第３実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【００８４】
（第４実施例）
第４実施例について、図８、図９及び表４を用いて説明する。図８に示すように、第４実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００８５】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００８６】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【００８７】
なお、第４実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成
されている。
【００８８】
以下の表４に、第４実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表４における面番号１〜１５は、図８に示す面１〜１５に対応している。
【００８９】
（表４）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.79
ω＝23.04
ＴＬ＝74.26413（無限時）〜75.98397（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 35.3612 4.4000 1.88300 40.77
2 180.3711 0.1000
3 25.7131 3.0000 1.83481 42.72
4 35.7739 1.3000
5 66.7298 1.2000 1.71736 29.52
6 18.3543 6.0000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -20.0000 1.1000 1.75520 27.51
9 99.6345 2.5000 1.80400 46.58
10 -138.9486 2.0000
＊11 -76.7808 0.1000 1.55389 38.09
12 -76.7808 3.0000 1.78800 47.38
13 -30.4743 0.1000
14 274.8017 4.0000 1.83481 42.72
15 -38.0635 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-3.8621E-06 ， A6＝1.2233E-10
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.72
β 0.0 1/30
Bf 40.16413 41.88397
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 113.18227
Ｇ２ ８ 51.94840
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 3.470
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.207
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.781
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【００９０】
表４に示す諸元の表から、第４実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【００９１】
図９は、第４実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【００９２】
各収差図から明らかなように、第４実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【００９３】
（第５実施例）
第５実施例について、図１０、図１１及び表５を用いて説明する。図１０に示すように、第５実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００９４】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００９５】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、物体側レンズ面が非球面である、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３と、両凸レンズＬ２４とを有して構成される。
【００９６】
なお、第５実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【００９７】
以下の表５に、第５実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表５における面番号１〜１６は、図１０に示す面１〜１６に対応している。
【００９８】
（表５）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.85
ω＝23.05
ＴＬ＝77.06402（無限時）〜78.80311（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 37.3000 4.4000 1.83481 42.72
2 300.5542 0.1000
3 24.5000 2.9000 1.83481 42.72
4 30.9227 1.3000
5 64.2355 1.3000 1.68893 31.06
6 18.9457 5.9000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -20.6094 1.1000 1.69895 30.13
9 38.5017 2.9000 1.77250 49.61
10 -269.9764 1.9000
＊11 -97.2397 3.6000 1.85135 40.04
12 -33.8205 0.1000
13 407.6013 2.6000 1.80400 46.58
14 -5362.1017 0.5000
15 1158.2078 3.0000 1.77250 49.61
16 -38.4663 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-2.7883E-06 ， A6＝-3.8369E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.74
β 0.0 1/30
Bf 40.16402 41.90311
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 116.97308
Ｇ２ ８ 51.19371
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 2.126
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.150
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.935
【００９９】
表５に示す諸元の表から、第５実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（３）を満たすことが分かる。
【０１００】
図１１は、第５実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【０１０１】
各収差図から明らかなように、第５実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【０１０２】
（第６実施例）
第６実施例について、図１２、図１３及び表６を用いて説明する。図１２に示すように、第６実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【０１０３】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凸レンズＬ１１と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１４とを有して構成される。
【０１０４】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、物体側レンズ面が非球面である、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【０１０５】
なお、第６実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【０１０６】
以下の表６に、第６実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表６における面番号１〜１６は、図１２に示す面１〜１６に対応している。
【０１０７】
（表６）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.80
ω＝23.02
ＴＬ＝77.06418（無限時）〜78.77765（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 43.6955 4.4000 1.88300 40.77
2 -880.0755 0.7000
3 -147.9752 2.0000 1.88300 40.77
4 -235.4993 0.1000
5 25.0406 3.0000 1.83481 42.72
6 31.4071 1.5000
7 77.3387 1.2000 1.71736 29.52
8 20.4873 6.0000
9 0.0000 5.3000 （開口絞り）
10 -20.0000 1.1000 1.75520 27.51
11 58.2122 2.5000 1.80400 46.58
12 -146.5114 2.0000
＊13 -89.1564 3.0000 1.85135 40.04
14 -32.6904 0.1000
15 299.5251 4.0000 1.83481 42.72
16 -36.9303 (Bf)
［非球面データ］
第13面
κ＝0.0000 ， A4＝-3.2500E-06 ， A6＝-6.2453E-10
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.71
β 0.0 1/30
Bf 40.16418 41.87765
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 129.42495
Ｇ２ 10 48.82961
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 4.109
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.147
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.767
【０１０８】
表６に示す諸元の表から、第６実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（３）を満たすことが分かる。
【０１０９】
図１３は、第６実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【０１１０】
各収差図から明らかなように、第６実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【０１１１】
（第７実施例）
第７実施例について、図１４、図１５及び表７を用いて説明する。図１４に示すように、第７実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【０１１２】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【０１１３】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、物体側レンズ面が非球面である、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【０１１４】
なお、第７実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【０１１５】
以下の表７に、第７実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表７における面番号１〜１４は、図１４に示す面１〜１４に対応している。
【０１１６】
（表７）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.86
ω＝23.06
ＴＬ＝70.86471（無限時）〜72.56010（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 40.0000 4.7000 1.83481 42.73
2 320.2167 0.3000
3 24.1500 2.9000 1.80400 46.60
4 33.0000 1.5000
5 75.2087 1.4000 1.67270 32.19
6 18.4804 5.9000
7 0.0000 d7(可変) （開口絞り）
8 -21.4080 1.1000 1.69895 30.13
9 32.9830 3.2000 1.80400 46.60
10 -154.0000 2.0000
＊11 -125.0000 3.6000 1.85135 40.04
12 -37.8007 0.1000
13 1843.2441 4.0000 1.80400 46.60
14 -39.1647 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-3.6998E-06 ， A6＝-1.7387E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
d7 5.30 5.70
Ｒ ∞ 1.70
β 0.0 1/30
Bf 40.16471 41.86010
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 135.26038
Ｇ２ ８ 49.55684
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 9.621
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.211
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.925
【０１１７】
表７に示す諸元の表から、第７実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（３）を満たすことが分かる。
【０１１８】
図１５は、第７実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【０１１９】
各収差図から明らかなように、第７実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【０１２０】
（第８実施例）
第８実施例について、図１６、図１７及び表８を用いて説明する。図１６に示すように、第８実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【０１２１】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１４とを有して構成される。
【０１２２】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとかる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【０１２３】
なお、第８実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【０１２４】
以下の表８に、第８実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表８における面番号１〜１７は、図１６に示す面１〜１７に対応している。
【０１２５】
（表８）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.86
ω＝22.97
ＴＬ＝75.36324（無限時）〜77.10462（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 351.5819 1.0000 1.83481 42.72
2 417.5699 0.1000
3 37.8725 4.0000 1.83481 42.72
4 275.0973 0.1000
5 23.9000 2.8000 1.83481 42.72
6 31.2851 1.4000
7 65.8376 1.3000 1.68893 31.06
8 18.6190 5.9000
9 0.0000 5.3000 （開口絞り）
10 -20.7925 1.1000 1.69895 30.13
11 44.6623 2.8000 1.80400 46.58
12 -191.3408 1.8000
＊13 -97.7291 0.1000 1.55389 38.09
14 -97.7291 3.8000 1.80400 46.58
15 -34.3000 0.1000
16 733.5980 3.6000 1.80400 46.58
17 -37.9712 (Bf)
［非球面データ］
第13面
κ＝0.0000 ， A4＝-5.0532E-06 ， A6＝-1.3389E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.74
β 0.0 1/30
Bf 40.16324 41.90462
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 115.96322
Ｇ２ 10 52.49924
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 3.088
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.240
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.872
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【０１２６】
表８に示す諸元の表から、第８実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【０１２７】
図１７は、第８実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【０１２８】
各収差図から明らかなように、第８実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【０１２９】
ここで、本実施形態に係るレンズ系に用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜とも言う）について説明する。図２０は、反射防止膜の膜構成を示す図である。この反射防止膜１０１は７層からなり、レンズ等の光学部材１０２の光学面に形成される。第１層１０１ａは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第１層１０１ａの上にさらに真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第２層１０１ｂが形成される。さらに、この第２層１０１ｂの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第３層１０１ｃが形成され、この第３層１０１ｃの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第４層１０１ｄが形成される。またさらに、この第４層１０１ｄの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第５層１０１ｅが形成され、この第５層１０１ｅの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第６層１０１ｆが形成される。
【０１３０】
そして、このようにして形成された第６層１０１ｆの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第７層１０１ｇが形成されて本実施形態の反射防止膜１０１が形成される。第７層１０１ｇの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法を用いている。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。
【０１３１】
このように、この反射防止膜１０１の第１層１０１ａ〜第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第７層１０１ｇは、フッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に真空蒸着装置を用いて第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材１０２を取り出した後、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式（５）に示す。
【０１３２】
２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2 → ＭｇＦ2＋２ＣＨ3ＣＯＯＨ …（５）
【０１３３】
この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。
【０１３４】
このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図２１に示す分光特性を用いて説明する。
【０１３５】
本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表９に示す条件で形成されている。ここで表９は、基準波長をλとし、基板の屈折率（光学部材）が１．６２、１．７４及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表９では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表している。
【０１３６】
図２１は、表９において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。
【０１３７】
図２１から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることが分かる。また、表９において基準波長λをｄ線（波長587.6nm）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図２１に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合とほぼ同等の分光特性を有する。
【０１３８】
（表９）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1.00
第７層 MgF2＋SiO2 1.26 0.268λ 0.271λ 0.269λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ 0.054λ 0.059λ
第５層 Al2O3 1.65 0.171λ 0.178λ 0.162λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.127λ 0.13λ 0.158λ
第３層 Al2O3 1.65 0.122λ 0.107λ 0.08λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.059λ 0.075λ 0.105λ
第１層 Al2O3 1.65 0.257λ 0.03λ 0.03λ
基板の屈折率 1.62 1.74 1.85
【０１３９】
次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は５層からなり、表９と同様、以下の表１０で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。
【０１４０】
図２２は、表１０において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図２２から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることが分かる。なお、表１０において基準波長λをｄ線（波長587.6nm）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図２２に示す分光特性とほぼ同等の特性を有する。
【０１４１】
図２３は、図２２に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図２２、図２３には表１０に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が１．５２とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。
【０１４２】
（表１０）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1.00
第５層 MgF2＋SiO2 1.26 0.275λ 0.269λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.045λ 0.043λ
第３層 Al2O3 1.65 0.212λ 0.217λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.077λ 0.066λ
第１層 Al2O3 1.65 0.288λ 0.290λ
基板の屈折率 1.46 1.52
【０１４３】
また比較のため、図２４に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図２４は、表１０と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表１１で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図２５は、図２４に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。
【０１４４】
（表１１）
物質 屈折率 光学膜厚
媒質 空気 1.00
第７層 MgF2 1.39 0.243λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.119λ
第５層 Al2O3 1.65 0.057λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.220λ
第３層 Al2O3 1.65 0.064λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ
第１層 Al2O3 1.65 0.193λ
基板の屈折率 1.52
【０１４５】
図２１〜図２３で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図２４および図２５で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれ
の入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良く分かる。
【０１４６】
次に、本願の第１実施例〜第８実施例に、上記表９、表１０に示す反射防止膜の適用例について説明する。
【０１４７】
第１実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表１に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の樹脂の屈折率は、ｎｄ＝１．５５３８９であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２の物体側の樹脂のレンズ面に、基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜（表１０参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１４８】
第２実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表２に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の樹脂の屈折率は、ｎｄ＝１．５５３８９であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２における物体側の樹脂のレンズ面に、基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜（表１０参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１４９】
第３実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表３に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２３の屈折率は、ｎｄ＝１．８０４００であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜（表９参照）を用い、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５０】
第４実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表４に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２３の屈折率は、ｎｄ＝１．８３４８１であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５１】
第５実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表５に示すように、ｎｄ＝１．７７２５０であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、ｎｄ＝１．８５１３５であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５２】
第６実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表６に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、ｎｄ＝１．８５１３５であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用
い、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５３】
第７実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表７に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、ｎｄ＝１．８５１３５であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５４】
第８実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表８に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２３の屈折率は、ｎｄ＝１．８０４００であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５５】
なお、上述の実施形態において、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。
【０１５６】
上記実施例では２群構成を示したが、３群等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、変倍時に変化する空気間隔で分離された、少なくとも１枚のレンズを有する部分を示す。
【０１５７】
また、単独または複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸方向に移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としてもよい。前記合焦レンズ群は、オートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の（超音波モーター等の）モーター駆動にも適している。特に、全系を合焦レンズ群とするのが好ましい。
【０１５８】
また、レンズ群または部分レンズ群を光軸に垂直の成分を持つように移動させ、または、光軸を含む面内方向に回転移動（揺動）させて、手ブレによって生じる像ブレを補正する防振レンズ群としてもよい。特に、第２レンズ群Ｇ２の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。
【０１５９】
また、各レンズ面は、球面または平面で形成されても、非球面で形成されても構わない。なお、レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整誤差による光学性能の劣化を防げるので好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないので好ましい。一方、レンズ面が非球面の場合、この非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモールド非球面、ガラスの表面に樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも構わない。また、各レンズ面は、回折面としてもよく、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）あるいはプラスチックレンズとしてもよい。
【０１６０】
開口絞りＳは、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間に配置されるのが好ましいが、開口絞りとしての部材を設けずに、レンズ枠でその役割を代用してもよい。
【０１６１】
また、各レンズ面には、フレアやゴーストを軽減し、高コントラストの高い光学性能を達成するために、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施してもよい。
【０１６２】
また、本実施形態においては、第１レンズ群Ｇ１が、正レンズ成分を２つと、負レンズ成分を１つ有するのが好ましい。また、物体側から順に、正正負の順番にレンズ成分を、空気間隔を介在させて配置するのが好ましい。
【０１６３】
また、本実施形態においては、第２レンズ群Ｇ２が、正レンズ成分を２つと、負レンズ成分を１つ有するのが好ましい。また、物体側から順に、負正正の順番にレンズ成分を、空気間隔を介在させて配置するのが好ましい。
【０１６４】
なお、本発明を分かりやすくするために、実施形態の構成要件を付して説明したが、本発明がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。
【０１６５】
以上のように、本発明によれば、コマ収差を含む諸収差が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を持つレンズ系、これを備えた光学機器及び製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【０１６６】
Ｇ１ 第１レンズ群
Ｇ２ 第２レンズ群
Ｓ 開口絞り
Ｉ 像面
ＣＡＭ デジタル一眼レフカメラ（光学機器）
１０１ 反射防止膜
１０１ａ 第１層
１０１ｂ 第２層
１０１ｃ 第３層
１０１ｄ 第４層
１０１ｅ 第５層
１０１ｆ 第６層
１０１ｇ 第７層
１０２ 光学部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一眼レフカメラ用交換レンズや複写用レンズなどに好適なレンズ系、光学機器及びレンズ系の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一眼レフカメラ用交換レンズや複写用レンズなどに用いられるレンズ系は、所謂ガウス型レンズ系が用いられ、数多く提案されている。また近年、このようなレンズ系に対しては、収差性能だけではなく、光学性能を損なう要因の一つであるゴーストやフレアに関する要求も厳しさを増しており、そのためレンズ面に施される反射防止膜にもより高い性能が要求され、要求に応えるべく多層膜設計技術や多層膜成膜技術も進歩を続けている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−２３０２０８号公報
【特許文献２】特開２０００−３５６７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のレンズ系では、コマ収差が大きく残存し、十分に高い光学性能を有しているとは言えなかった。それと同時に、このようなレンズ系における光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題があった。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、コマ収差を含む諸収差が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を持つレンズ系、光学機器及びレンズ系の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群とを有するレンズ系において、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間に絞りを配置し、非球面レンズを少なくとも１枚有し、前記第２レンズ群は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分と、前記第１のレンズ成分の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分とを有し、以下の条件式を満足するとともに、前記第２レンズ群を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とするレンズ系を提供する。
１．０ ≦ （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＜ １２．０
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０
但し、
ｒ２１Ｒ：前記第１のレンズ成分の像側レンズ面の曲率半径、
ｒ２２Ｆ：前記第２のレンズ成分の物体側レンズ面の曲率半径、
ｆ２２：前記第２のレンズ成分の焦点距離、
ｆ：前記レンズ系全体の焦点距離（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）。
【０００７】
また、本発明は、前記レンズ系を有することを特徴とする光学機器を提供する。
【０００８】
また、本発明は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群とを有するレンズ系の製造方法であって、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間に絞りを配置し、非球面レンズを少なくとも１枚有し、前記第２レンズ群は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分と、前記第１のレンズ成分の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分とを有し、以下の条件式を満足するとともに、前記第２レンズ群を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んで構成されるように、レンズ鏡筒内に各レンズを組み込み、各種の動作確認を行うことを特徴とするレンズ系の製造方法を提供する。
１．０ ≦ （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＜ １２．０
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０
但し、
ｒ２１Ｒ：前記第１のレンズ成分の像側レンズ面の曲率半径、
ｒ２２Ｆ：前記第２のレンズ成分の物体側レンズ面の曲率半径、
ｆ２２：前記第２のレンズ成分の焦点距離、
ｆ：前記レンズ系全体の焦点距離（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、コマ収差を含む諸収差が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を持つレンズ系、光学機器及びレンズ系の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図２】第１実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図３】第１実施例に係るレンズ系の構成を示す断面図であって、入射した光線が第１番目のゴースト発生面と第２番目のゴースト発生面で反射する様子の一例を説明する図である。
【図４】第２実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図５】第２実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図６】第３実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図７】第３実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図８】第４実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図９】第４実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１０】第５実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図１１】第５実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１２】第６実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図１３】第６実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１４】第７実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図１５】第７実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１６】第８実施例に係るレンズ系の断面図を示した図である。
【図１７】第８実施例に係るレンズ系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）における諸収差図、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影距離β＝-1/30）における諸収差図をそれぞれ示した図である。
【図１８】本実施形態に係るレンズ系を備えた光学機器（カメラ）の構成を示した図である。
【図１９】本実施形態に係るレンズ系の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図２０】反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。
【図２１】反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図２２】変形例に係る反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図２３】変形例に係る反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【図２４】従来技術で作成した反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図２５】従来技術で作成した反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本実施形態に係るレンズ系について、図面を用いて説明する。本実施形態に係るレンズ系は、図１に示すように、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、（開口）絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有する構成とすることで、所謂ガウス型の屈折力配置を実現し、歪曲収差を良好に補正するとともに、球面収差と像面湾曲を補正している。
【００１２】
非球面を持たないガウス型レンズ系では、負の球面収差は良好に補正されているものの、サジタルコマ収差の補正が不足していた。そこで、本実施形態のレンズ系では、レンズ端ほどの幅を持つ非球面レンズを少なくとも１枚有することにより、負の球面収差の補正を効率的に行うことが可能であると同時に、サジタルコマ収差を抑えることが可能となっている。
【００１３】
さらに、本実施形態に係るレンズ系においては、第２レンズ群Ｇ２は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分Ｌ２１と、この第１のレンズ成分Ｌ２１の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分Ｌ２２とを有し、像側に位置する第２のレンズ成分Ｌ２２とを有し、第１のレンズ成分Ｌ２１の像側レンズ面の曲率半径をｒ２１Ｒとし、第２のレンズ成分Ｌ２２の物体側レンズ面の曲率半径をｒ２２Ｆとし、第２のレンズ成分Ｌ２２の焦点距離をｆ２２とし、レンズ系全体の焦点距離をｆとしたとき（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）、以下の条件式（１）及び（２）を満足する。
【００１４】
１．０≦（ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ）＜１２．０ …（１）
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０ …（２）
【００１５】
上記条件式（１）は、コマ収差、像面湾曲、非点収差に関係する条件式である。この条件式（１）が上限値を上回ると、ペッツバール和が減少し、非点隔差が増大する。また、
コマ収差の形状が外コマ傾向になり、結像性能が劣化する。逆に、条件式（１）が下限値を下回ると、ペッツバール和が増大し、非点収差及び像面湾曲が補正しきれなくなる。また、コマ収差の形状が内コマ傾向になり、結像性能が劣化する。
【００１６】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（１）の上限値を７．０とすることが望ましい。
【００１７】
上記条件式（２）は、像面湾曲に関する条件式である。この条件式（２）が上限値を上回ると、ペッツバール和が正に増大し、非点収差及び像面湾曲が補正しきれなくなり、結像性能が劣化する。逆に、条件式（２）が下限値を下回ると、良好なペッツバール和が得られるが、非点隔差が増大し、結像性能が劣化する。
【００１８】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（２）の上限値を１．５とすることが望ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（２）の下限値を１．０とすることが望ましい。
【００１９】
また、本実施形態に係るレンズ系は、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ（図１では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面（面番号１０）と、正メニスカスレンズＬ２２の物体側のレンズ面（面番号１１）が相当）、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいる。このように構成すれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。
【００２０】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このように構成すれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。
【００２１】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長587.6nm）における屈折率をｎｄとしたとき、屈折率ｎｄが１．３０以下であることが好ましい。このように構成すれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。
【００２２】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記反射防止膜が設けられた光学面は、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面であり、当該光学面は、（開口）絞りＳから見て凹面であることが好ましい。開口絞りＳから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２３】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記開口絞りから見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも１つのレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２４】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記開口絞りから見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも１つのレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生しやすいため、このような光
学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２５】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記開口絞りから見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群の前記開口絞りから像面側に向かって２番目に位置するレンズのレンズ面であることが好ましい。開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２６】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記開口絞りから見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群の前記開口絞りから像面側に向かって３番目に位置するレンズのレンズ面であることが好ましい。開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２７】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記反射防止膜が設けられた光学面は、像面から見て凹面であることが好ましい。像面から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２８】
また、本実施形態に係るレンズ系では、前記像面から見て凹面のレンズ面は、第２レンズ群の前記開口絞りから像面側に向かって４番目に位置するレンズのレンズ面であることが好ましい。像面から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２９】
なお、本実施形態に係るレンズ系では、前記反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜はｄ線における屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。このように反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が１．３０以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。
【００３０】
また、本実施形態に係るレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の最も像側に配置されたレンズの焦点距離をｆ２Ｌとし、レンズ系全体の焦点距離をｆとしたとき、以下の条件式（３）を満足することが好ましい。
【００３１】
０．５ ＜ ｆ２Ｌ／ｆ ＜ １．５ …（３）
【００３２】
上記条件式（３）は、好適なバックフォーカスを確保し、且つ高い光学性能を実現するための条件式である。この条件式（３）が上限値を上回ると、レンズ系全体の焦点距離に対してバックフォーカスが相対的に長くなり、レンズ系の対称性から離れるため、歪曲収差を補正することが困難になり、光学性能が劣化する。逆に、条件式（３）が下限値を下回ると、レンズ系の焦点距離に対してバックフォーカスが相対的に短くなり、好適なレンズ系を得ることができない。また、像面湾曲を補正することが困難になる。
【００３３】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（３）の上限値を１．０とすることが望ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（３）の下限値を０．７とすることが望ましい。
【００３４】
また、本実施形態のレンズ系において、非球面レンズは、第２レンズ群Ｇ２に少なくとも１枚設けられていることが好ましい。この構成により、負の球面収差の補正やサジタルコマ収差の補正を行い、高い光学性能を実現することができる。
【００３５】
また、本実施形態のレンズ系において、非球面レンズは、ガラス材料と樹脂材料との複合からなる複合型非球面レンズであることが好ましい。この構成により、球面収差及びコマ収差を良好に補正することができる。
【００３６】
また、本実施形態のレンズ系において、複合型非球面レンズを構成する樹脂材料のｄ線における屈折率をｎａとしたとき、以下の条件式（４）を満足することが好ましい。
【００３７】
１．４５０ ＜ ｎａ ＜ １．８００ …（４）
【００３８】
上記条件式（４）は、高い光学性能を得るため、複合型非球面レンズの樹脂材料の屈折率の適切な範囲を規定する条件式である。この条件式（４）の上限値を上回ると、複合型非球面レンズの樹脂材料の屈折率が過度に高くなり、温度変化や吸湿変化をしやすい樹脂材料において、温度や湿度などの影響を過剰に受けやすくなり、これら変化に伴い収差が大きく変動し、球面収差及びコマ収差の補正が困難となり、高い光学性能を実現できなくなる。逆に、条件式（４）の下限値を下回ると、複合型非球面レンズの樹脂材料の屈折率が過度に小さくなり、非球面による効果を十分に得るために母球面からの非球面乖離量を大きくする必要がある。すると、温度変化や吸湿変化をしやすい樹脂材料において、非球面乖離量に比例して複合型非球面レンズの樹脂材料の厚さが光軸付近とレンズ周辺部で大きく異なることになり、温度変化や湿度変化に伴い収差が大きく変動し、球面収差及びコマ収差の補正が困難となり、高い光学性能を実現できなくなる。
【００３９】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（４）の上限値を１．６５０とすることが望ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（４）の下限値を１．５００とすることが望ましい。
【００４０】
図１８に、上記構成のレンズ系を撮影レンズ１として備えたデジタル一眼レフカメラＣＡＭ（光学機器）の略断面図を示す。図１８に示すデジタル一眼レフカメラＣＡＭにおいて、不図示の物体（被写体）からの光は、撮影レンズ１で集光されて、クイックリターンミラー３を介して焦点板４に結像される。そして、焦点板４に結像された光は、ペンタプリズム５中で複数回反射されて接眼レンズ６へと導かれる。これにより、撮影者は、物体（被写体）像を接眼レンズ６を介して正立像として観察することができる。
【００４１】
また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー３が光路外へ退避し、撮影レンズ１で集光された不図示の物体（被写体）の光は撮像素子７上に被写体像を形成する。これにより、物体（被写体）からの光は、当該撮像素子７により撮像され、物体（被写体）画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者は本カメラＣＡＭによる物体（被写体）の撮影を行うことができる。なお、図１８に記載のカメラＣＡＭは、撮影レンズ１を着脱可能に保持するものでもよく、撮影レンズ１と一体に成形されるものでもよい。また、カメラＣＡＭは、いわゆる一眼レフカメラでもよく、クイックリターンミラー等を有さないコンパクトカメラでもよい。
【００４２】
続いて、図１９を参照しながら、上記構成のレンズ系の製造方法について説明する。
まず、鏡筒内に第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２を組み込む（ステップＳ１０）。この組み込みステップにおいて、第１レンズ群Ｇ１は正の屈折力を持つように、第２レンズ群Ｇ２は正の屈折力を持つように、各レンズを配置する。
【００４３】
次に、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間に絞りＳを配置し、本レンズ系内に非球面レンズを少なくとも１枚配置する（ステップＳ２０）。
【００４４】
続いて、第２レンズ群Ｇ２は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分Ｌ２１と、この第１のレンズ成分Ｌ２１の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分Ｌ２２とを有し、第１のレンズ成分Ｌ２１の像側レンズ面の曲率半径をｒ２１Ｒとし、第２のレンズ成分Ｌ２２の物体側レンズ面の曲率半径をｒ２２Ｆとし、第２のレンズ成分Ｌ２２の焦点距離をｆ２２とし、レンズ系全体の焦点距離をｆとしたとき（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）、以下の条件式（１）及び（２）を満足するように、各レンズを配置する（ステップＳ３０）。
【００４５】
１．０≦（ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ）＜１２．０ …（１）
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０ …（２）
【００４６】
ここで、本実施形態におけるレンズ配置の一例を挙げると、図１に示すように、第１レンズ群Ｇ１として、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを配置し、第２レンズ群Ｇ２として、光軸に沿って物体側から順に、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを配置する。
【００４７】
そして、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜がウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んで構成されるように、各レンズを配置する（ステップＳ４０）。
【００４８】
以上のような本実施形態に係る製造方法によれば、コマ収差を含む諸収差が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を持つレンズ系を得ることができる。
【実施例】
【００４９】
以下、本実施形態に係る各実施例について、図面を参照しつつ説明する。以下に、表１〜表８を示すが、これらは第１〜第８実施例における各諸元の表である。［全体諸元］において、ｆはレンズ系全体の焦点距離を、ＦＮＯはＦナンバーを、ωは半画角（単位：度）を、ＴＬは最も物体側に配置されたレンズの物体側の面から像面Ｉまでのレンズ全長を示す。［レンズデータ］においては、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序を、ｒは各レンズ面の曲率半径を、ｄは各光学面から次の光学面（又は像面）までの光軸上の距離である面間隔を、ｎｄはｄ線（波長587.6nm）に対する屈折率を、νｄはｄ線を基準とするアッベ数を示す。なお、表中において、空気の屈折率「1.00000」の記載は省略している。［可変間隔データ］において、Ｒは撮影距離すなわち物体から像面Ｉまでの距離（単位：ｍ）を、βは撮影倍率を、Ｂｆはバックフォーカスを示す。［各群焦点距離データ］において、各群の初面及び焦点距離を示す。［条件式］において、上記の条件式（１）〜（４）に対応する値を示す。
【００５０】
［非球面データ］には、［レンズデータ］に示した非球面について、その形状を次式（ａ）で示す。すなわち、光軸に垂直な方向の高さをｙとし、非球面の頂点における接平面から高さｙにおける非球面上の位置までの光軸に沿った距離（サグ量）をＳ（ｙ）とし、基準球面の曲率半径（近軸曲率半径）をｒとし、円錐係数をκとし、ｎ次の非球面係数を
Ａｎとしたとき、以下の式（ａ）で示している。また、Ｅ-nは、×10-nを表す。例えば、1.234E-05＝1.234×10-5である。
【００５１】
Ｓ（ｙ）＝（ｙ2／ｒ）／｛１＋（１−κ・y2／ｒ2）1/2｝
＋Ａ4×ｙ4＋Ａ6×ｙ6 …（ａ）
【００５２】
なお、表中において、焦点距離ｆ、曲率半径ｒ、面間隔ｄ、その他の長さの単位は、一般に「mm」が使われている。但し、光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「mm」に限定されることなく、他の適当な単位を用いることが可能である。
【００５３】
以上の表の説明は、他の実施例においても同様とし、その説明を省略する。
【００５４】
（第１実施例）
第１実施例について、図１、図２及び表１を用いて説明する。図１に示すように、第１実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００５５】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００５６】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【００５７】
像面Ｉは、不図示の撮像素子上に形成され、該撮像素子はＣＣＤやＣＭＯＳ等から構成されている。（像面Ｉの説明については、以降の実施例についても同様である。）
【００５８】
なお、第１実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【００５９】
以下の表１に、第１実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表１における面番号１〜１５は、図１に示す面１〜１５に対応している。
【００６０】
（表１）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.85
ω＝23.07
ＴＬ＝76.16397（無限時）〜77.90701（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 40.0000 4.7000 1.83481 42.73
2 381.8864 0.3000
3 24.1500 2.9000 1.80400 46.60
4 33.0000 1.5000
5 79.4297 1.4000 1.67270 32.19
6 18.6247 5.9000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -21.0783 1.1000 1.69895 30.13
9 48.0712 3.2000 1.80400 46.60
10 -160.0000 1.9000
＊11 -115.0000 0.1000 1.55389 38.09
12 -115.0000 3.6000 1.77250 49.62
13 -34.3596 0.1000
14 435.5383 4.0000 1.80400 46.60
15 -40.1003 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-4.1755E-06 ， A6＝-2.0235E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.72
β 0.0 1/30
Bf 40.16397 41.90701
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 130.24595
Ｇ２ ８ 49.74685
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 6.111
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.205
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.888
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【００６１】
表１に示す諸元の表から、第１実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【００６２】
図２は、第１実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【００６３】
なお、各収差図において、ＦＮＯはＦナンバーを、Ａは光線入射角（単位：度）を、ＮＡは開口数を、ＨＯは物体高（単位：mm）をそれぞれ示す。また、ｄはｄ線（波長587.6nm）、ｇはｇ線（波長435.8nm）に対する諸収差を、記載のないものはｄ線に対する諸収差をそれぞれ示す。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示す。コマ収差図は、各入射角又は物体高において実線はｄ線及びｇ線に対するメリディオナルコマ収差、原点より右側の破線はｄ線に対してメリディオナル方向に発生するサジタルコマ収差、原点より左側の破線はｄ線に対してサジタル方向に発生す
るサジタルコマ収差を表す。以上の収差図の説明は、他の実施例においても同様とし、その説明を省略する。
【００６４】
各収差図から明らかなように、第１実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【００６５】
図３は、第１実施例のレンズ系において、物体側から入射した光線ＢＭによりゴーストが発生する状態を示している。図３において、物体側からの光線ＢＭが図示のようにレンズ系Ｌに入射すると、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面（第１番目のゴースト発生面でありその面番号は１１）で反射し、その反射光は両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面（第２番目のゴースト発生面でありその面番号は１０）で再度反射して像面Ｉに到達し、ゴーストを発生させてしまう。なお、第１番目のゴースト発生面１１および第２番目のゴースト発生面１０は、それぞれ開口絞りＳに対して凹面である。また、Ｌ２２は開口絞りＳから像面側に向かって３番目に位置するレンズであり、Ｌ２１ｂは開口絞りＳから像面側に向かって２番目に位置するレンズである。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストを効果的に低減させることができる。
【００６６】
（第２実施例）
第２実施例について、図４、図５及び表２を用いて説明する。図４に示すように、第２実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００６７】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００６８】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【００６９】
なお、第２実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【００７０】
以下の表２に、第２実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表２における面番号１〜１５は、図４に示す面１〜１５に対応している。
【００７１】
（表２）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.85
ω＝23.06
ＴＬ＝75.46398（無限時）〜77.18384（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 41.4455 4.4000 1.83481 42.72
2 436.2147 0.1000
3 23.5000 3.0000 1.80400 46.58
4 31.9799 1.6000
5 72.5066 1.3000 1.67270 32.11
6 18.6402 5.9000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -21.3881 1.1000 1.69895 30.13
9 41.4568 3.2000 1.80400 46.58
10 -352.2422 1.8000
＊11 -113.8699 0.1000 1.55389 38.09
12 -113.8699 3.5000 1.80400 46.58
13 -35.9305 0.1000
14 312.3862 3.9000 1.80400 46.58
15 -38.2693 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-4.4243E-06 ， A6＝-3.2750E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.72
β 0.0 1/30
Bf 40.16398 41.88384
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 122.89764
Ｇ２ ８ 50.91118
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 1.955
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.240
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.826
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【００７２】
表２に示す諸元の表から、第２実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【００７３】
図５は、第２実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【００７４】
各収差図から明らかなように、第２実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【００７５】
（第３実施例）
第３実施例について、図６、図７及び表３を用いて説明する。図６に示すように、第３
実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００７６】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００７７】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、像側のレンズ面に非球面が形成された両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【００７８】
なお、第３実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【００７９】
以下の表３に、第３実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表３における面番号１〜１５は、図６に示す面１〜１５に対応している。
【００８０】
（表３）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.85
ω＝22.99
ＴＬ＝75.26421（無限時）〜76.98419（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 42.0000 4.5000 1.83481 42.72
2 447.9130 0.1000
3 23.5000 3.0000 1.80400 46.58
4 32.5000 1.2500
5 65.7613 1.3000 1.67270 32.11
6 18.7699 5.9000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -21.1460 1.1000 1.69895 30.13
9 48.5018 2.7500 1.80400 46.58
10 -1539.0914 1.8000
＊11 -120.0000 0.1000 1.55389 38.09
12 -120.0000 3.8000 1.77250 49.61
13 -33.0270 0.1000
＊14 303.4237 4.1000 1.80400 46.58
15 -39.3434 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-3.4030E-06 ， A6＝-1.2487E-09
第14面
κ＝0.0000 ， A6＝-1.1491E-11
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.72
β 0.0 1/30
Bf 40.16421 41.88419
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 111.08380
Ｇ２ ８ 53.13000
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 1.169
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.121
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.844
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【００８１】
表３に示す諸元の表から、第３実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【００８２】
図７は、第３実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【００８３】
各収差図から明らかなように、第３実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【００８４】
（第４実施例）
第４実施例について、図８、図９及び表４を用いて説明する。図８に示すように、第４実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００８５】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００８６】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【００８７】
なお、第４実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成
されている。
【００８８】
以下の表４に、第４実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表４における面番号１〜１５は、図８に示す面１〜１５に対応している。
【００８９】
（表４）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.79
ω＝23.04
ＴＬ＝74.26413（無限時）〜75.98397（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 35.3612 4.4000 1.88300 40.77
2 180.3711 0.1000
3 25.7131 3.0000 1.83481 42.72
4 35.7739 1.3000
5 66.7298 1.2000 1.71736 29.52
6 18.3543 6.0000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -20.0000 1.1000 1.75520 27.51
9 99.6345 2.5000 1.80400 46.58
10 -138.9486 2.0000
＊11 -76.7808 0.1000 1.55389 38.09
12 -76.7808 3.0000 1.78800 47.38
13 -30.4743 0.1000
14 274.8017 4.0000 1.83481 42.72
15 -38.0635 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-3.8621E-06 ， A6＝1.2233E-10
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.72
β 0.0 1/30
Bf 40.16413 41.88397
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 113.18227
Ｇ２ ８ 51.94840
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 3.470
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.207
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.781
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【００９０】
表４に示す諸元の表から、第４実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【００９１】
図９は、第４実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【００９２】
各収差図から明らかなように、第４実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【００９３】
（第５実施例）
第５実施例について、図１０、図１１及び表５を用いて説明する。図１０に示すように、第５実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【００９４】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【００９５】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、物体側レンズ面が非球面である、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３と、両凸レンズＬ２４とを有して構成される。
【００９６】
なお、第５実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【００９７】
以下の表５に、第５実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表５における面番号１〜１６は、図１０に示す面１〜１６に対応している。
【００９８】
（表５）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.85
ω＝23.05
ＴＬ＝77.06402（無限時）〜78.80311（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 37.3000 4.4000 1.83481 42.72
2 300.5542 0.1000
3 24.5000 2.9000 1.83481 42.72
4 30.9227 1.3000
5 64.2355 1.3000 1.68893 31.06
6 18.9457 5.9000
7 0.0000 5.3000 （開口絞り）
8 -20.6094 1.1000 1.69895 30.13
9 38.5017 2.9000 1.77250 49.61
10 -269.9764 1.9000
＊11 -97.2397 3.6000 1.85135 40.04
12 -33.8205 0.1000
13 407.6013 2.6000 1.80400 46.58
14 -5362.1017 0.5000
15 1158.2078 3.0000 1.77250 49.61
16 -38.4663 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-2.7883E-06 ， A6＝-3.8369E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.74
β 0.0 1/30
Bf 40.16402 41.90311
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 116.97308
Ｇ２ ８ 51.19371
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 2.126
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.150
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.935
【００９９】
表５に示す諸元の表から、第５実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（３）を満たすことが分かる。
【０１００】
図１１は、第５実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【０１０１】
各収差図から明らかなように、第５実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【０１０２】
（第６実施例）
第６実施例について、図１２、図１３及び表６を用いて説明する。図１２に示すように、第６実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【０１０３】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凸レンズＬ１１と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１４とを有して構成される。
【０１０４】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、物体側レンズ面が非球面である、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【０１０５】
なお、第６実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【０１０６】
以下の表６に、第６実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表６における面番号１〜１６は、図１２に示す面１〜１６に対応している。
【０１０７】
（表６）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.80
ω＝23.02
ＴＬ＝77.06418（無限時）〜78.77765（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 43.6955 4.4000 1.88300 40.77
2 -880.0755 0.7000
3 -147.9752 2.0000 1.88300 40.77
4 -235.4993 0.1000
5 25.0406 3.0000 1.83481 42.72
6 31.4071 1.5000
7 77.3387 1.2000 1.71736 29.52
8 20.4873 6.0000
9 0.0000 5.3000 （開口絞り）
10 -20.0000 1.1000 1.75520 27.51
11 58.2122 2.5000 1.80400 46.58
12 -146.5114 2.0000
＊13 -89.1564 3.0000 1.85135 40.04
14 -32.6904 0.1000
15 299.5251 4.0000 1.83481 42.72
16 -36.9303 (Bf)
［非球面データ］
第13面
κ＝0.0000 ， A4＝-3.2500E-06 ， A6＝-6.2453E-10
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.71
β 0.0 1/30
Bf 40.16418 41.87765
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 129.42495
Ｇ２ 10 48.82961
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 4.109
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.147
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.767
【０１０８】
表６に示す諸元の表から、第６実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（３）を満たすことが分かる。
【０１０９】
図１３は、第６実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【０１１０】
各収差図から明らかなように、第６実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【０１１１】
（第７実施例）
第７実施例について、図１４、図１５及び表７を用いて説明する。図１４に示すように、第７実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【０１１２】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１３とを有して構成される。
【０１１３】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとからなる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、物体側レンズ面が非球面である、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【０１１４】
なお、第７実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【０１１５】
以下の表７に、第７実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表７における面番号１〜１４は、図１４に示す面１〜１４に対応している。
【０１１６】
（表７）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.86
ω＝23.06
ＴＬ＝70.86471（無限時）〜72.56010（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 40.0000 4.7000 1.83481 42.73
2 320.2167 0.3000
3 24.1500 2.9000 1.80400 46.60
4 33.0000 1.5000
5 75.2087 1.4000 1.67270 32.19
6 18.4804 5.9000
7 0.0000 d7(可変) （開口絞り）
8 -21.4080 1.1000 1.69895 30.13
9 32.9830 3.2000 1.80400 46.60
10 -154.0000 2.0000
＊11 -125.0000 3.6000 1.85135 40.04
12 -37.8007 0.1000
13 1843.2441 4.0000 1.80400 46.60
14 -39.1647 (Bf)
［非球面データ］
第11面
κ＝0.0000 ， A4＝-3.6998E-06 ， A6＝-1.7387E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
d7 5.30 5.70
Ｒ ∞ 1.70
β 0.0 1/30
Bf 40.16471 41.86010
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 135.26038
Ｇ２ ８ 49.55684
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 9.621
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.211
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.925
【０１１７】
表７に示す諸元の表から、第７実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（３）を満たすことが分かる。
【０１１８】
図１５は、第７実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【０１１９】
各収差図から明らかなように、第７実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【０１２０】
（第８実施例）
第８実施例について、図１６、図１７及び表８を用いて説明する。図１６に示すように、第８実施例に係るレンズ系は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、開口絞りＳと、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とを有して構成される。
【０１２１】
第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１４とを有して構成される。
【０１２２】
第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹レンズＬ２１ａと両凸レンズＬ２１ｂとかる接合レンズＬ２１（請求項１における第１のレンズ成分）と、像側に凸面を向けた正メニスカス形状のガラスレンズと、このガラスレンズの物体側レンズ面に設けられ、該レンズとは反対側の面に非球面が形成された樹脂層とからなる複合型非球面レンズＬ２２（請求項１における第２のレンズ成分）と、両凸レンズＬ２３とを有して構成される。
【０１２３】
なお、第８実施例では、第２レンズ群Ｇ２の、両凸レンズＬ２１ｂにおける像面側のレンズ面と、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面とに、後述する反射防止膜が形成されている。
【０１２４】
以下の表８に、第８実施例に係るレンズ系の諸元値を掲げる。なお、表８における面番号１〜１７は、図１６に示す面１〜１７に対応している。
【０１２５】
（表８）
［全体諸元］
ｆ＝51.60
ＦＮｏ＝1.86
ω＝22.97
ＴＬ＝75.36324（無限時）〜77.10462（投影時）
［レンズデータ］
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 351.5819 1.0000 1.83481 42.72
2 417.5699 0.1000
3 37.8725 4.0000 1.83481 42.72
4 275.0973 0.1000
5 23.9000 2.8000 1.83481 42.72
6 31.2851 1.4000
7 65.8376 1.3000 1.68893 31.06
8 18.6190 5.9000
9 0.0000 5.3000 （開口絞り）
10 -20.7925 1.1000 1.69895 30.13
11 44.6623 2.8000 1.80400 46.58
12 -191.3408 1.8000
＊13 -97.7291 0.1000 1.55389 38.09
14 -97.7291 3.8000 1.80400 46.58
15 -34.3000 0.1000
16 733.5980 3.6000 1.80400 46.58
17 -37.9712 (Bf)
［非球面データ］
第13面
κ＝0.0000 ， A4＝-5.0532E-06 ， A6＝-1.3389E-09
［可変間隔データ］
無限遠合焦状態 近距離合焦状態
Ｒ ∞ 1.74
β 0.0 1/30
Bf 40.16324 41.90462
［各群焦点距離データ］
群 始面 焦点距離
Ｇ１ １ 115.96322
Ｇ２ 10 52.49924
［条件式］
条件式（１） （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＝ 3.088
条件式（２） ｆ２２／ｆ ＝ 1.240
条件式（３） ｆ２Ｌ／ｆ ＝ 0.872
条件式（４） ｎａ ＝ 1.55389
【０１２６】
表８に示す諸元の表から、第８実施例に係るレンズ系では、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【０１２７】
図１７は、第８実施例の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態（撮影倍率β＝0.0）での諸収差図を、（ｂ）は近距離合焦状態（撮影倍率β＝-1/30）での諸収差図をそれぞれ示す。
【０１２８】
各収差図から明らかなように、第８実施例に係るレンズ系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることが分かる。
【０１２９】
ここで、本実施形態に係るレンズ系に用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜とも言う）について説明する。図２０は、反射防止膜の膜構成を示す図である。この反射防止膜１０１は７層からなり、レンズ等の光学部材１０２の光学面に形成される。第１層１０１ａは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第１層１０１ａの上にさらに真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第２層１０１ｂが形成される。さらに、この第２層１０１ｂの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第３層１０１ｃが形成され、この第３層１０１ｃの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第４層１０１ｄが形成される。またさらに、この第４層１０１ｄの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第５層１０１ｅが形成され、この第５層１０１ｅの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第６層１０１ｆが形成される。
【０１３０】
そして、このようにして形成された第６層１０１ｆの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第７層１０１ｇが形成されて本実施形態の反射防止膜１０１が形成される。第７層１０１ｇの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法を用いている。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。
【０１３１】
このように、この反射防止膜１０１の第１層１０１ａ〜第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第７層１０１ｇは、フッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に真空蒸着装置を用いて第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材１０２を取り出した後、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式（５）に示す。
【０１３２】
２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2 → ＭｇＦ2＋２ＣＨ3ＣＯＯＨ …（５）
【０１３３】
この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。
【０１３４】
このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図２１に示す分光特性を用いて説明する。
【０１３５】
本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表９に示す条件で形成されている。ここで表９は、基準波長をλとし、基板の屈折率（光学部材）が１．６２、１．７４及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表９では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表している。
【０１３６】
図２１は、表９において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。
【０１３７】
図２１から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることが分かる。また、表９において基準波長λをｄ線（波長587.6nm）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図２１に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合とほぼ同等の分光特性を有する。
【０１３８】
（表９）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1.00
第７層 MgF2＋SiO2 1.26 0.268λ 0.271λ 0.269λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ 0.054λ 0.059λ
第５層 Al2O3 1.65 0.171λ 0.178λ 0.162λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.127λ 0.13λ 0.158λ
第３層 Al2O3 1.65 0.122λ 0.107λ 0.08λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.059λ 0.075λ 0.105λ
第１層 Al2O3 1.65 0.257λ 0.03λ 0.03λ
基板の屈折率 1.62 1.74 1.85
【０１３９】
次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は５層からなり、表９と同様、以下の表１０で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。
【０１４０】
図２２は、表１０において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図２２から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることが分かる。なお、表１０において基準波長λをｄ線（波長587.6nm）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図２２に示す分光特性とほぼ同等の特性を有する。
【０１４１】
図２３は、図２２に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図２２、図２３には表１０に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が１．５２とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。
【０１４２】
（表１０）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1.00
第５層 MgF2＋SiO2 1.26 0.275λ 0.269λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.045λ 0.043λ
第３層 Al2O3 1.65 0.212λ 0.217λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.077λ 0.066λ
第１層 Al2O3 1.65 0.288λ 0.290λ
基板の屈折率 1.46 1.52
【０１４３】
また比較のため、図２４に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図２４は、表１０と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表１１で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図２５は、図２４に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。
【０１４４】
（表１１）
物質 屈折率 光学膜厚
媒質 空気 1.00
第７層 MgF2 1.39 0.243λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.119λ
第５層 Al2O3 1.65 0.057λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.220λ
第３層 Al2O3 1.65 0.064λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ
第１層 Al2O3 1.65 0.193λ
基板の屈折率 1.52
【０１４５】
図２１〜図２３で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図２４および図２５で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれ
の入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良く分かる。
【０１４６】
次に、本願の第１実施例〜第８実施例に、上記表９、表１０に示す反射防止膜の適用例について説明する。
【０１４７】
第１実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表１に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の樹脂の屈折率は、ｎｄ＝１．５５３８９であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２の物体側の樹脂のレンズ面に、基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜（表１０参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１４８】
第２実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表２に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の樹脂の屈折率は、ｎｄ＝１．５５３８９であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２における物体側の樹脂のレンズ面に、基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜（表１０参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１４９】
第３実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表３に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２３の屈折率は、ｎｄ＝１．８０４００であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜（表９参照）を用い、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５０】
第４実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表４に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２３の屈折率は、ｎｄ＝１．８３４８１であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５１】
第５実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表５に示すように、ｎｄ＝１．７７２５０であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、ｎｄ＝１．８５１３５であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５２】
第６実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表６に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、ｎｄ＝１．８５１３５であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用
い、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５３】
第７実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表７に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、ｎｄ＝１．８５１３５であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５４】
第８実施例のレンズ系において、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２１ｂの屈折率は、表８に示すように、ｎｄ＝１．８０４００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凸レンズＬ２３の屈折率は、ｎｄ＝１．８０４００であるため、両凸レンズＬ２１ｂにおける像側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用い、両凸レンズＬ２３における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表９参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１５５】
なお、上述の実施形態において、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。
【０１５６】
上記実施例では２群構成を示したが、３群等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、変倍時に変化する空気間隔で分離された、少なくとも１枚のレンズを有する部分を示す。
【０１５７】
また、単独または複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸方向に移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としてもよい。前記合焦レンズ群は、オートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の（超音波モーター等の）モーター駆動にも適している。特に、全系を合焦レンズ群とするのが好ましい。
【０１５８】
また、レンズ群または部分レンズ群を光軸に垂直の成分を持つように移動させ、または、光軸を含む面内方向に回転移動（揺動）させて、手ブレによって生じる像ブレを補正する防振レンズ群としてもよい。特に、第２レンズ群Ｇ２の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。
【０１５９】
また、各レンズ面は、球面または平面で形成されても、非球面で形成されても構わない。なお、レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整誤差による光学性能の劣化を防げるので好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないので好ましい。一方、レンズ面が非球面の場合、この非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモールド非球面、ガラスの表面に樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも構わない。また、各レンズ面は、回折面としてもよく、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）あるいはプラスチックレンズとしてもよい。
【０１６０】
開口絞りＳは、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間に配置されるのが好ましいが、開口絞りとしての部材を設けずに、レンズ枠でその役割を代用してもよい。
【０１６１】
また、各レンズ面には、フレアやゴーストを軽減し、高コントラストの高い光学性能を達成するために、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施してもよい。
【０１６２】
また、本実施形態においては、第１レンズ群Ｇ１が、正レンズ成分を２つと、負レンズ成分を１つ有するのが好ましい。また、物体側から順に、正正負の順番にレンズ成分を、空気間隔を介在させて配置するのが好ましい。
【０１６３】
また、本実施形態においては、第２レンズ群Ｇ２が、正レンズ成分を２つと、負レンズ成分を１つ有するのが好ましい。また、物体側から順に、負正正の順番にレンズ成分を、空気間隔を介在させて配置するのが好ましい。
【０１６４】
なお、本発明を分かりやすくするために、実施形態の構成要件を付して説明したが、本発明がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。
【０１６５】
以上のように、本発明によれば、コマ収差を含む諸収差が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を持つレンズ系、これを備えた光学機器及び製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【０１６６】
Ｇ１ 第１レンズ群
Ｇ２ 第２レンズ群
Ｓ 開口絞り
Ｉ 像面
ＣＡＭ デジタル一眼レフカメラ（光学機器）
１０１ 反射防止膜
１０１ａ 第１層
１０１ｂ 第２層
１０１ｃ 第３層
１０１ｄ 第４層
１０１ｅ 第５層
１０１ｆ 第６層
１０１ｇ 第７層
１０２ 光学部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群とを有するレンズ系において、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間に絞りを配置し、
非球面レンズを少なくとも１枚有し、
前記第２レンズ群は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分と、前記第１のレンズ成分の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分とを有し、以下の条件式を満足するとともに、
前記第２レンズ群を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とするレンズ系。
１．０ ≦ （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＜ １２．０
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０
但し、
ｒ２１Ｒ：前記第１のレンズ成分の像側レンズ面の曲率半径、
ｒ２２Ｆ：前記第２のレンズ成分の物体側レンズ面の曲率半径、
ｆ２２：前記第２のレンズ成分の焦点距離、
ｆ：前記レンズ系全体の焦点距離（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）。
【請求項２】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスで形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項１に記載のレンズ系。
【請求項３】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線における屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズ系。
【請求項４】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、前記絞りから見て凹面のレンズ面であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項５】
前記絞りから見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群に含まれる少なくとも１つのレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のレンズ系。
【請求項６】
前記絞りから見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群に含まれる少なくとも１つのレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のレンズ系。
【請求項７】
前記絞りから見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群の前記絞りから像面側に向かって２番目に位置するレンズの、レンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のレンズ系。
【請求項８】
前記絞りから見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群の前記絞りから像面側に向かって３番目に位置するレンズの、レンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のレンズ系。
【請求項９】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、像面から見て凹面のレンズ面であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項１０】
前記像面から見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群の前記絞りから像面側に向かって４番目に位置するレンズの、レンズ面であることを特徴とする請求項９に記載のレンズ
系。
【請求項１１】
前記第２レンズ群の最も像側に配置されたレンズの焦点距離をｆ２Ｌとし、前記レンズ系全体の焦点距離をｆとしたとき、次式
０．５ ＜ ｆ２Ｌ／ｆ ＜ １．５
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項１２】
前記非球面レンズは、前記第２レンズ群に少なくとも１枚設けられていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項１３】
前記非球面レンズは、ガラス材料と樹脂材料との複合からなる複合型非球面レンズであることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項１４】
前記複合型非球面レンズを構成する樹脂材料のｄ線における屈折率をｎａとしたとき、次式
１．４５０ ＜ ｎａ ＜ １．８００
の条件を満足することを特徴とする請求項１３に記載のレンズ系。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載のレンズ系を有する光学機器。
【請求項１６】
光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群とを有するレンズ系の製造方法であって、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間に絞りを配置し、
非球面レンズを少なくとも１枚有し、
前記第２レンズ群は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分と、前記第１のレンズ成分の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分とを有し、以下の条件式を満足するとともに、
前記第２レンズ群を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んで構成されるように、
レンズ鏡筒内に各レンズを組み込み、各種の動作確認を行うことを特徴とするレンズ系の製造方法。
１．０ ≦ （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＜ １２．０
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０
但し、
ｒ２１Ｒ：前記第１のレンズ成分の像側レンズ面の曲率半径、
ｒ２２Ｆ：前記第２のレンズ成分の物体側レンズ面の曲率半径、
ｆ２２：前記第２のレンズ成分の焦点距離、
ｆ：前記レンズ系全体の焦点距離（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）。
【請求項１】
光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群とを有するレンズ系において、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間に絞りを配置し、
非球面レンズを少なくとも１枚有し、
前記第２レンズ群は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分と、前記第１のレンズ成分の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分とを有し、以下の条件式を満足するとともに、
前記第２レンズ群を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とするレンズ系。
１．０ ≦ （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＜ １２．０
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０
但し、
ｒ２１Ｒ：前記第１のレンズ成分の像側レンズ面の曲率半径、
ｒ２２Ｆ：前記第２のレンズ成分の物体側レンズ面の曲率半径、
ｆ２２：前記第２のレンズ成分の焦点距離、
ｆ：前記レンズ系全体の焦点距離（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）。
【請求項２】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスで形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項１に記載のレンズ系。
【請求項３】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線における屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズ系。
【請求項４】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、前記絞りから見て凹面のレンズ面であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項５】
前記絞りから見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群に含まれる少なくとも１つのレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のレンズ系。
【請求項６】
前記絞りから見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群に含まれる少なくとも１つのレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のレンズ系。
【請求項７】
前記絞りから見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群の前記絞りから像面側に向かって２番目に位置するレンズの、レンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のレンズ系。
【請求項８】
前記絞りから見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群の前記絞りから像面側に向かって３番目に位置するレンズの、レンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のレンズ系。
【請求項９】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、像面から見て凹面のレンズ面であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項１０】
前記像面から見て凹面のレンズ面は、前記第２レンズ群の前記絞りから像面側に向かって４番目に位置するレンズの、レンズ面であることを特徴とする請求項９に記載のレンズ
系。
【請求項１１】
前記第２レンズ群の最も像側に配置されたレンズの焦点距離をｆ２Ｌとし、前記レンズ系全体の焦点距離をｆとしたとき、次式
０．５ ＜ ｆ２Ｌ／ｆ ＜ １．５
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項１２】
前記非球面レンズは、前記第２レンズ群に少なくとも１枚設けられていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項１３】
前記非球面レンズは、ガラス材料と樹脂材料との複合からなる複合型非球面レンズであることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載のレンズ系。
【請求項１４】
前記複合型非球面レンズを構成する樹脂材料のｄ線における屈折率をｎａとしたとき、次式
１．４５０ ＜ ｎａ ＜ １．８００
の条件を満足することを特徴とする請求項１３に記載のレンズ系。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載のレンズ系を有する光学機器。
【請求項１６】
光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群とを有するレンズ系の製造方法であって、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間に絞りを配置し、
非球面レンズを少なくとも１枚有し、
前記第２レンズ群は、最も物体側に配置された第１のレンズ成分と、前記第１のレンズ成分の像側に空気間隔を隔てて配置された第２のレンズ成分とを有し、以下の条件式を満足するとともに、
前記第２レンズ群を構成するレンズ成分における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んで構成されるように、
レンズ鏡筒内に各レンズを組み込み、各種の動作確認を行うことを特徴とするレンズ系の製造方法。
１．０ ≦ （ｒ２１Ｒ＋ｒ２２Ｆ）／（ｒ２１Ｒ−ｒ２２Ｆ） ＜ １２．０
０．８ ＜ ｆ２２／ｆ ＜ ２．０
但し、
ｒ２１Ｒ：前記第１のレンズ成分の像側レンズ面の曲率半径、
ｒ２２Ｆ：前記第２のレンズ成分の物体側レンズ面の曲率半径、
ｆ２２：前記第２のレンズ成分の焦点距離、
ｆ：前記レンズ系全体の焦点距離（但し、該当する面が非球面を成す場合は、近軸曲率半径で計算する）。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【公開番号】特開２０１２−２２０８０４（Ｐ２０１２−２２０８０４Ａ）
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８７８３７（Ｐ２０１１−８７８３７）
【出願日】平成２３年４月１２日（２０１１．４．１２）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月１２日（２０１１．４．１２）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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