ワーク測定装置、ワーク搬送テーブル、ワーク測定方法及び電子部品の製造方法
【課題】チップ型電子部品を搬送しながら電気的特性を測定するときに、プローブ押圧による外部電極の損傷が生じない装置と方法を提供する。
【解決手段】ワーク測定装置はテーブルベース１と、テーブルベース上に回転自在に設置され、テーブルベースと反対側の第１層２ａと、テーブルベース１側の第２層２ｂとを有する搬送テーブル２とを備えている。第１層を貫通してワークＷを収納する複数のワーク収納孔４が設けられ、第２層に各ワーク収納孔に対応して、第２層を貫通してスルーホール９が設けられている。ワーク収納孔に収納されたワークの一側電極Ｗａは、ワーク収納孔の第１層側から露出するとともに、他側電極Ｗｂは第２層のスルーホールに当接する。搬送テーブルの第１層側に、ワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接する第１のプローブ６０を設け、テーブルベース内に第２層のスルーホールに当接する第２プローブ６１を設けた。
【解決手段】ワーク測定装置はテーブルベース１と、テーブルベース上に回転自在に設置され、テーブルベースと反対側の第１層２ａと、テーブルベース１側の第２層２ｂとを有する搬送テーブル２とを備えている。第１層を貫通してワークＷを収納する複数のワーク収納孔４が設けられ、第２層に各ワーク収納孔に対応して、第２層を貫通してスルーホール９が設けられている。ワーク収納孔に収納されたワークの一側電極Ｗａは、ワーク収納孔の第１層側から露出するとともに、他側電極Ｗｂは第２層のスルーホールに当接する。搬送テーブルの第１層側に、ワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接する第１のプローブ６０を設け、テーブルベース内に第２層のスルーホールに当接する第２プローブ６１を設けた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ形電子部品等のワークを搬送テーブルのワーク収納孔に収納して搬送しながら、ワークの外部電極にプローブを当接させて電気的特性の測定を行うワーク測定装置、ワーク搬送テーブル、ワーク測定方法及び電子部品の製造方法に係り、とりわけプローブの押圧力によるワークの外部電極への大きな損傷が発生しにくく、かつプローブとワークの外部電極の電気的接触を十分に確保することができるワーク測定装置、ワーク搬送テーブル、ワーク測定方法および電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、チップ形電子部品等の直方体形状のワークを搬送テーブルのワーク収納孔に収納して搬送しながら、ワークの長手方向両端に設けられた外部電極にプローブを当接させて電気的特性の測定を行うワーク測定装置が知られている。またワーク測定装置において測定を行う際に、ワークの外部電極に当接させる部分を回転自在の円筒形の導電体により形成したプローブを使用することも知られている。
【０００３】
従来のワーク測定装置は、水平に設置されたテーブルベースと、テーブルベース上に回転自在に設置された円形の搬送テーブルとを有し、搬送テーブルを貫通して複数のワーク収納孔が同一円周上に並ぶように設けられている。そして長手方向両端にー対の外部電極を有するワークが、上側の外部電極をワーク収納孔から露出させて各ワーク収納孔に個別に収納される。
【０００４】
このようなワーク測定装置において、搬送テーブルが間歇回転してワークが搬送され、測定部にワークが到達すると、測定部において搬送テーブル上側に固定され搬送テーブルに向けて付勢された円筒形のプローブが、搬送テーブルの上面側からワークの上側の外部電極に乗り上げるように当接する。同時に、測定部においてテーブルベース内に固定されたプローブがワークの下側の外部電極に当接する（特許文献１参照）。
【０００５】
この場合、搬送テーブル上側の円筒形のプローブとテーブルベース内に固定されたプローブは、あらかじめ測定器に接続されており、上述のように両方のプローブがワークの上側及び下側の電楯に当接して搬送テーブルが停止すると、直ちにワークの電気的特性の測定を行うことができる。上述したワーク測定装置によれば、搬送テーブルが停止した後でプローブをワークの外部電極に向けて移動させて当接させる方法に比べて、測定時間の短縮を実現することができる。
【０００６】
しかしながら上述したワーク測定装置では、以下の問題が発生する。第１の問題は、測定部における搬送テーブルの停止直前と測定後の搬送テーブルの回輯開始直後に、搬送テーブル上方の円筒形のプローブが搬送テーブルに向けて付勢されながらワークの上側の外部電極に当接する際に、ワークの下側の外部電極が当接するテーブルベースが移動することになる。このため搬送テーブル上方の円筒形のプローブとワークの上側の電梱との当接によって生じる押圧力によって、下側の外部電極とテーブルベースとの間に摩擦を生じ、この摩擦により下側の外部電極に大きな損傷が発生することがある。特に外部電極の表面が金属薄膜で覆われている場合は、摩擦によって薄膜の剥がれが発生し、はんだ実装の際のフィレット形成が不十分となり実装不良につながる恐れがあった。また、剥がれ自体が外観不良となる恐れがあった。
【０００７】
第２の問題は、ワークの外部電極が外側に向けて凸形に丸みをおびた形状になっているため、電気的特性の測定時にプローブとワークの外部電極の当接が安定性に欠け、これによって電気的特性測定中にワークの姿勢が変動しやすくなり、プローブとワークの外部電極の電気的接触が不十分となって、測定精度が低下する場合があることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表２００５−５１４６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、搬送テーブル上方に配置されたプローブがワークの上側の外部電極に当接する際に、プローブがワークの外部電極に及ぼす押圧力によってワークの外部電極に大きな損傷が発生することがなく、かつワークの電気的特性の測定を行う際にワークの姿勢を安定させて、プローブとワークの外部電極の十分な電気的接触を確保することができるワーク測定装置、ワーク搬送テーブル、ワーク測定方法を提供すること、電気的特性の際に対象ワークの薄膜剥がれを防止することが可能な搬送テーブルを提供すること、およびこれらの測定装置、測定方法を用いた電子部品の製造方法提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、―側外部電極および一側外部電極と反対側に位置する他側外部電極を有するワークを収納して搬送しながら、当該ワークの電気的特性を測定するワーク測定装置において、テーブルベースと、テーブルベース上に回転自在に設置され、テーブルベースと反対側の第１層と、テーブルベース側の第２層とを有する搬送テーブルとを備え、第１層に第１層を貫通してワークを収納する複数のワーク収納孔が設けられ、第２層に各ワーク収納孔に対応して、第２層を貫通して導電性スルーホールが設けられ、ワーク収納孔に収納されたワークの一側外部電極は、ワーク収納孔の第１層側から露出するとともに、他側外部電極は第２層のスルーホールに当接し、搬送テーブルの第１層側に、ワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接する第１のプローブを設け、テーブルベース内に第２層のスルーホールに当接する第２プローブを設けたことを特徴とするワーク測定装置である。
【００１１】
本発明は、第１のプローブは搬送テーブルに向けて付勢された導電体を有することを特徴とするワーク測定装置である。
【００１２】
本発明は、導電体は回転自在の円筒形状をもち、導電体の外周面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徹とするワーク測定装置である。
【００１３】
本発明は、導電体は平板形状をもち、導電体の一面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とするワーク測定装置である。
【００１４】
本発明は、導電体のうちワークの一側外部電極が当接する箇所の内側に、導電体を貫通する貫通穴を設けたことを特徴とするワーク測定装置である。
【００１５】
本発明は、対象ワークを収容し、搬送するワーク搬送テーブルであって、複数のワーク収納孔が形成された第１層と、第１層の設けられた前記複数のワーク収納孔に対応して、スルーホールが形成された第２層と有し、 前記ワーク収納孔の直径は、前記スルーホールの直径より大きく、かつ、対象ワークの搬入方向に直交する断面積よりも大きく形成されており、前記スルーホールの直径は、対象ワークの搬入方向に直交する断面積よりも小さく形成されており、前記スルーホールの内壁に導体からなるプリントパターンが形成されていることを特徴とするワーク搬送テーブルである。
【００１６】
本発明は、上記記栽のワーク測定装置を用いたワーク測定方法において、搬送テーブルの第１層に設けられた各ワーク収納孔にワークを個別に収納して、ワークの一側外部電極をワーク収納孔の第１層側から露出させるとともに、他側外部電極を第２層のスルーホールに当接させながら、ワークを版のすする工程と、搬送テーブルの第１層側から第１のプローブをワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接させるとともに、テーブルベース内から第２のプローブを第２層のスルーホールに当接させてワークの電気的特性を測定することを特徴とするワーク測定方法である。
【００１７】
本発明は、第１のプローブは搬送テーブルに向けて付勢された導電体を有することを特徹とするワーク測定方法である。
【００１８】
本発明は、導電体は回転自在の円筒形状をもち、導電体の外周面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とするワーク測定方法である。
【００１９】
本発明は、導電体は平板形状をもち、導電体の一面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とするワーク測定方法である。
【００２０】
本発明は、前記ワークは、略直方体形状であり、前記ワークの対向する１対の端面に外部電極を有し、前記外部電極の表面は金属薄膜で覆われていることを特徴とするワーク測定方法である。
【００２１】
本発明は、導電体のうちワークの一側外部電極が当接する箇所の内側に、導電体を貫通する貫通穴を設けたことを特徴とするワーク測定方法である。
本発明は、上記記載のワーク測定方法を用いた電子部品の製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように本発明によれば、搬送テーブルはテーブルベースと反対側の第１層と、テーブルベース側の第２層により構成され、第１層を貫通してワーク収納孔を設けているので、ワーク収納孔内のワークの外部電極がテーブルベースに当接することはない。
【００２３】
このため、搬送テーブルがテーブルベース上を回転している状態で第１のプローブがワークの一側外部電極に当接してワークに押圧力が働いても、ワークの他側外部電極とテーブルベースとの間に摩擦が働くことはなく、ワークの他側外部電極に大きな損傷が発生することはない。また、搬送テーブルの第２層にワーク収納孔に対応してスルーホールが設けられているため、ワークの電気的特性測定の際に、ワークの他側外部電極がスルーホールに当接してワークの姿勢が安定する。このため、測定中に第２のプローブとワークの他側外部電極との十分な電気的接触を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は本発明によるワーク測定装置の第１の実施の形態を示す平面図。
【図２】図２はワークの斜視図。
【図３】図３は図２における矢印Ｂ方向側面図。
【図４】図４は本発明の第１の実施の形態におけるワーク収納孔を示す透視図。
【図５】図５は本発明の第１の実施の形態におけるワーク収納孔にワークを収納した状態を示す透視図。
【図６】図６は図４を矢印Ｘ方向から見た平面図。
【図７】図７は図５を矢印Ｘ方向から見た平面図。
【図８】図８は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図９】図９は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図１０】図１０は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図１１】図１１は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図１２】図１２は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の勁作説明図。
【図１３】図１３は図９の領域Ｆ１の拡大図。
【図１４】図１４は図１０の領域ＧＩの拡大図。
【図１５】図１５は図１１の領域Ｈ１の拡大図。
【図１６】図１６は本発明の第１の実施の形態における排出部の動作説明図。
【図１７】図１７は本発明の第１の実施の形態における排出部の動作説明図。
【図１８】図１８は本発明の第２の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図１９】図１９は本発明の第３の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図２０】図２０は比較例におけるワーク収納孔の透視図。
【図２１】図２１は比較例におけるワーク収納孔にワークを収納した状態の透視図。
【図２２】図２２は比較例における篤１測定部の動作説明図。
【図２３】図２３は比較例における第１測定部の動作説明図。
【図２４】図２４は比較例における第１測定部の動作説明図。
【図２５】図２５は比較例における第１測定部の動作説明図。
【図２６】図２６は比較例における第１測定部の動作説明図。
【図２７】図２７は図２３の領域Ｆ２の拡大図。
【図２８】図２８は図２４の領域Ｇ２の拡大図。
【図２９】図２９は図２５の領域Ｈ２の拡大図。
【図３０】図３０はコンデンサの製造方法を示す図。
【図３１】図３１はコンデンサの製造方法を示す図。
【図３２】図３２はコンデンサの製造方法を示す図。
【図３３】図３３はコンデンサの製造方法を示す図。
【図３４】図３４はコンデンサの製造方法を示すフローチャート。
【図３５】図３５は本発明の変形例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の第１の実施の形態
本発明の第１の実施の形態について、図１乃至図１７を用いて説明する。本発明によるワーク測定装置の平面図を図１に示す。
【００２６】
ワーク測定装置１００は、水平に設置されたテーブルベース１と、このテーブルベース１の上に回転自在に配置された搬送テーブル２とを備えている。搬送テーブル２は図示されない駆動機構の作用により、中心軸３の周囲に時計まわり（矢印Ａの方向）に間歇回転する。また搬送テーブル２の外周部近傍には、ワークＷを個別に収納する複数のワーク収納孔４が円周上に並んで形成されている。また、搬送テーブル２の回転方向に沿って、供給部５、第１測定部６、第２測定部７、排出部８がこの順に配置されている。
【００２７】
ここで、ワークＷについて図２及び図３を用いて説明する。ワークＷの斜視図を図２に示す。ワークＷはチップ形電子部品からなり、本実施の形態では積層セラミックコンデンサとした。
【００２８】
積層セラミックコンデンサは、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。
【００２９】
本実施の形態で用いる積層セラミックコンデンサは以下の公知の方法によって形成されたものである。図３０に示される実施の形態に係るセラミック電子部品Ｃ１の製造方法について説明する。図３４は、本実施の形態に係るセラミック電子部品の製造方法の手順を示すフロー図である。本実施形態に係るセラミック電子部品の製造方法は、積層体形成工程Ｓ１、グリーンチップ形成工程Ｓ２、焼成工程Ｓ３、外部電極形成工程Ｓ４及び電気的特性評価工程Ｓ５を含む。この工程Ｓ１〜Ｓ５により上述したセラミック電子部品Ｃ１が複数形成される。各工程について説明する。
【００３０】
積層体形成工程Ｓ１では、図３１に示すように、複数のセラミックグリーン層１２１が積層され、内部に複数の電極パターン１１７が設けられた積層体１１０を形成する。なお、図３１は、積層体１１０における積層方向と垂直な断面を示す。まず、ＰＥＴフィルム上にセラミックグリーン層１２１を形成する。セラミックグリーン層１２１は、主成分に添加物を加え、バインダ樹脂（例えば有機バインダ樹脂等）、溶剤、可塑剤等を更に加えて混合分散することにより得られたセラミックスラリーをＰＥＴフィルム上に塗布後、乾燥することによって形成される。セラミックグリーン層１２１の主成分は、焼成後にセラミック粒子となるセラミックの原料粒子であり、例えば、ＢａＴｉＯ３である。添加物は、例えば、ＭｇＯ、Ｙ２Ｏ３、ＭｎＯ、Ｖ２Ｏ５、ＢａＳｉＯ３、及びＣａＳｉＯ３等である。
【００３１】
次に、セラミックグリーン層１２１の上面に複数の電極パターン１１７を形成する。電極パターン１１７は、セラミックグリーン層１２１の上面に電極ペーストを印刷後、乾燥することにより形成される。電極ペーストは、例えばＮｉ、Ａｇ、Ｐｄなどの金属粉末にバインダ樹脂や溶剤等を混合したペースト状の組成物である。印刷手段として、例えばスクリーン印刷などを用いる。
【００３２】
この電極パターン１７が形成されたセラミックグリーン層１２１を複数積層する。電極パターン１１７が形成された複数のセラミックグリーン層１２１を挟んで、電極パターン１１７が形成されていない複数のセラミックグリーン層１２１を上下それぞれに積層する。これにより、積層体１１０が形成される。
【００３３】
次に、グリーンチップ形成工程Ｓ２において、積層体１１０を積層方向と平行な方向に切断して、図３２に示すようなグリーンチップ１１２を形成する。
【００３４】
図３３に示すグリーンチップ１１２において、２つの端面１１２ａ，１１２ｂは、切断面であり、電極パターンの端部が露出している。第１及び第２の側面１１２ｃ，１１２ｄは、積層方向に垂直な面であり、積層体１１０において積層方向に垂直で互いに対向する主面１１０ｃ，１１０ｄに相当する面である。第３及び第４の側面１１２ｅ，１１２ｆは、切断面である。
【００３５】
次に、焼成工程Ｓ３において、セラミックグリーン層１２１に含まれるバインダを除去し、焼成する。焼成により、グリーンチップ１１２のセラミックグリーン層１２１がセラミックとなり、電極パターン１１７が内部電極層１０７となり、グリーンチップ１１２がチップ素体１０２となる。
【００３６】
次に、外部電極形成工程Ｓ４において、チップ素体１０２の両端面１０２ａ，１０２ｂに、第１の外部電極Ｗａと第２の外部電極Ｗｂとがそれぞれ形成される。これにより、内部電極層１０７が第１の外部電極１０３又は第２の外部電極１０４に電気的に接続される。外部電極は、チップ素体１０２の両端面１０２ａ，１０２ｂに導電性のペーストを塗布し、焼き付けることによって金属焼付け電極層を形成し、金属焼付け電極層を覆うように薄膜層を形成することによって得られる。
【００３７】
金属焼付け電極を構成する金属成分としては、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ，Ｐｄ、等の各種金属やこれらの合金などを用いる。
【００３８】
金属薄膜層の形成方法としては、電気メッキ、無電解メッキ、スパッタリングなど物理気相蒸着法、化学気相蒸着法などの薄膜形成方法が適用される。金属薄膜層の金属成分としては、Ｎｉ、Ｓｎ、Ｃｕの金属やこれら金属の合金が用いられる。
【００３９】
本実施形態では、ハンドリング性や製造工程の簡略化を考慮し、薄膜層として電気メッキによって形成されるメッキ層を用いる。また、はんだ付け性やグリーンチップとの接合性を考慮し、金属焼き付け電極を構成する金属としてＣｕ、金属焼付け電極を覆うように形成する１層目のメッキ層をＮｉメッキ、さらに１層目を覆うように形成する２層目のメッキ層としてＳｎメッキを用いた。以上説明した各工程によって、複数のセラミック電子部品Ｃ１が完成する。
【００４０】
以上によって得られたセラミック電子部品Ｃ１に関し、外部電極ＷａはワークＷの上側に位置する一側外部電極となり、外部電極ＷｂはワークＷの下側に位置するとともに一側外部電極Ｗａと反対側に設けられた他側外部電極となる。
【００４１】
次に、電気的測定評価工程Ｓ５において、後述のように測定器に接続された第１のプローブ６０および第２のプローブ６１を各々外部電極Ｗａ及びＷｂに当接させることにより、ワークＷの電気的特性を測定する。
【００４２】
本実施の形態ではプローブ６０、６１を外部電極Ｗａ及びＷｂに当接させてコンデンサの漏れ電流値を測定する。図２におけるワークＷの縦の長さＬと横の長さＭは略同一である。
ワークＷの縦の長さＬ、横の長さＭ、高さＮの例としては、それぞれ０．３〜３．２ｍｍ、０．３〜３．２ｍｍ、０．６〜２．５ｍｍのものが考えられる。ここで、ワークＷを図２における矢印Ｂの方向から見た側面図を図３に示す。上述のように、基体Ｗｘの長手方向両端に導電性のペーストを塗布して外部電極Ｗａ及びＷｂを形成するため、外部電極Ｗａ及びＷｂは基体Ｗｘの表面から盛り上がった状態となっている。
【００４３】
すなわち、図３において、ワークＷの長手方向に沿う外部電極Ｗａの表面Ｗａｌ及びＷａ２は、それぞれ基体Ｗｘの表面Ｗｘ１及びＷｘ２よりも外側に張り出しており、ワークＷの長手方向端に位置する外部電極Ｗａの端面Ｗａ３は、ワークＷの外側に向けて凸形に丸みをおびた形状になっている。外部電極Ｗｂについても同様である。
【００４４】
図１において、ワーク測定装置１００を矢印Ｃの方向から見た透視図を図４に示す。搬送テーブル２は、テーブルベース１と反対側の第１層２ａと、テーブルベース１側の第２層２ｂとを有する２層構造からなっている。ワーク収納孔４は第１層２ａを貫通して形成されている。
【００４５】
図４を矢印Ｘの方向から見た平面図を図６に示す。図４及び図６に示すように、搬送テーブル２をワーク収納孔４の上方から（図４の矢印Ｘの方向から）見たとき、円形をなす貫通穴９ａが、ワーク収納孔４に対向して第２層を貫通して形成されている。
貫通穴９ａの断面積はワーク収納孔４よりも小さく、かつ、ワークの搬入方向断面積（Ｌ×Ｗ）よりも小さく設定されている。
そして、第２層２ｂの上面２ｂｌと下面２ｂ２における貫通穴９ａの内壁に、貫通穴９ａの周囲と貫通穴９ａの内壁を接続する導体からなるプリントパターン９ｂが形成されている。この貫通穴９ａとプリントパターン９ｂによって、第２層２ｂのワーク収納孔４側とテーブルベース１側を電気的に接統する導電性スルーホール９が形成されている。プリントパターン９ｂは、貫通穴９ａの周囲に形成されていることが好ましく、第２層の表面と貫通穴９ａの内壁および周囲全体に形成されていることが好ましい。プリントパターン９ｂが形成されている領域が広くなることで、ワークとのプリントパターンの接触面積が増えることとなり、電極Ｗａ，Ｗｂとの電気的接続をより確実に確保することができる。プリントパターン９ｂを形成するために、第２層２ｂはガラスエポキシ等のプリント基板用材料により構成されることが好ましい。
【００４６】
図４に示すワーク収納孔４にワークＷを収納したときの様子を図５に示す。
【００４７】
図５に示すように、ワーク収納孔４に収納されたワークＷの一方の外部電極Ｗａはテーブルベース１の反対側となる第１層２ａの上面２ａｌから露出しており、他方の外部電極Ｗｂは第２層２ｂの上面２ｂｌにおいてスルーホール９を構成するプリントパターン９ｂに当接している。ここで、搬送テーブル２の上方からプローブを外部電極Ｗａに確実に当接させるために、第１層２ａの高さ、すなわちワーク収納孔４の深さＴは、ワークＷの高さＮよりもやや小さく設定されている。このため、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａは、第１層２ａの上面２ａｌからわずかに上方に突出している。
【００４８】
図５を矢印Ｘの方向から見た平面図を図７に示す。上述のように、ワークＷの縦の長さＬと横の長さＭは略同一であり、搬送テーブル２をワーク収納孔４の上方から（図５の矢印Ｘの方向から）見たときのワーク収納孔４の開口郎は正方形をなし、その一辺の長さは、ワークＷの縦の長さＬ及び横の長さＭよりやや大きい値Ｓに設定されている。すなわち、ワーク収納孔４の内壁とワークＷの外周との間には、僅かな間隙が存在する。
【００４９】
また、スルーホール９の断面積はワーク収納孔４よりも小さく、かつ、ワークの搬入方向断面積（Ｌ×Ｗ）よりも小さく設定されている。図５に示すように、ワークを収納孔９に収納すると、スルーホールの周縁部と電極Ｗｂが当接し、ワーク収納穴４内でワークが倒れることなく収納することができる。
【００５０】
ところで、図８乃至図１１に示すように、ワーク測定装置１００の第１測定部６において、搬送テーブル２の第１層２ａ上方にワークＷの一側外部電極Ｗａに当接する第１のプローブ６０が設けられ、テーブルベース１内に第２層２ｂのスルーホール９に当接する第２のプローブ６１が設けられている。
【００５１】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。図１において、供給部５の作用により、ワーク収納孔４に個別にワークＷが収納される。搬送テーブル２が矢印Ａの方向に間歇回転してワークＷを搬送し、ワークＷが第１測定部６に到達すると、ワークＷの電気的特性の測定が行われる。
【００５２】
この様子を、図１において第１測定部６を矢印Ｄ方向から見た透視図である図８乃至図１５を用いて説明する。図８は搬送テーブル２が図１における矢印Ａの方向に間歇回転しながら、ワーク収納孔４に収納されたワークＷを第１測定部６に向けて搬送している様子を示す。
【００５３】
図８において、第１測定部６内には、テーブルベース１の反対側となる搬送テーブル２の上側に、第１のプローブとして上側プローブ６０が配置されるとともに、テーブルベースｌ内に第２のプローブとして下側プローブ６１が配置されている。上側プローブ６０は断面が円筒形のローラ６０ａを有し、ローラ６０ａはアーム６０ｃにより支えられる車軸６０ｂの周囲に回転自在となっている。ローラ６０ａ、車軸６０ｂ、アーム６０ｃはいずれも導電体からなり、図示されない導電接続機構により互いに電気的接続が図られるとともに、電気的特性を測定する測定器に電気的に接続されている。
【００５４】
また、上側プローブ６０は、図示されない弾性機構により搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向けて付勢されており、このため、図８において搬送テーブル２が矢印Ａの方向（図１における矢印Ａの方向）に間欺回転すると、ローラ６０ａの円筒形の外周面は搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに当接しながら、矢印Ａ１の方向に回転する。また、下側プローブ６１は図示されない導電接続機構により、電気的特性を測定する測定器に電気的に接続されており、下側プローブ６１の上面は、テーブルベース１の上面１ｓと略同一平面上に位置する平面形状をなしている。図９は、図８の状態の後でワークＷが第１測定部６に到進して、搬送テーブル２が停止する直前の様子を示したものである。
【００５５】
上述のように、ワーク収納孔４内のワークＷの電極Ｗａは、第１層２ａの上面２ａｌからわずかに上方に突出しているため、図９において、ローラ６０ａの円筒形の外周面は搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌから離間して外部電極Ｗａに乗り上げる。このとき、上述のようにワーク収納孔４の内壁とワークＷの外周との間に僅かな間隙が存在するため、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。
【００５６】
このときの図９における領域Ｆ１の拡大図を図１３に示す。搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転し、搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向けて付勢されたローラ６０ａは、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａに点Ｐ１で当接しながら乗り上げる。このとき、ローラ６０ａが水平方向に外部電極Ｗａに及ぼす力の作用により、ワークＷの電極Ｗａ及びＷｂは搬送テーブル２の回転方向側が持ち上がり、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。そして、外部電極Ｗｂと搬送テーブル２の第２層２ｂの上面２ｂ１が点Ｑ１で当接する。
【００５７】
この状態で、ローラ６０ａの付勢力によって、外部電極Ｗａには点Ｐ１においてベクトルＪ１で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｑ１においてベクトルＫ１で示される垂直方向の押圧力が発生する。ここで、点Ｐ１に対するローラ６０ａの当接面は回転自在の円筒の外周面であるため、この当接により外部電極Ｗａに生じる損傷は極めて小さい。また、点Ｑ１に対する第２層２ｂの上面２ｂｌの当接面はスルーホール９のプリントパターン９ｂであり、搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転していても、電極Ｗｂとプリントパターン９ｂは互いに静止状態であるため、この当接により電極Ｗｂに生じる損傷もまた極めて小さい。
【００５８】
図９の状態から、搬送テーブル２がさらに矢印Ａの方向に回転して第１測定部６に停止した状態を図１０に示す。図１０において、ローラ６０ａの円筒の外周面はワークＷの外部電極Ｗａの略中央部分に当接し、外部電極Ｗｂはスルーホール９のプリントパターン９ｂに当接している。この状態で、ワークＷはワーク収納孔４内において略直立姿勢となる。
【００５９】
また上述のように、ローラ６０ａ、車軸６０ｂ、アーム６０ｃはいずれも導電体からなり、図示されない導電接続機構により互いに電気的接続が図られるとともに、電気的特性を測定する測定器に電気的に接続されている。このため、図１０において、外部電極Ｗａはローラ６０ａ、車軸６０ｂ、アーム６０ｃを経由して測定器に電気的に接続される。
【００６０】
他方、外部電極Ｗｂは搬送テーブル２の第２層２ｂの上面２ｂｌにおいてプリントパターン９ｂに当接し、第２層２ｂの下面２ｂ２において、プリントパターン９ｂは下側プローブ６１に当接している。また上述のように、下側プローブ６１は図示されない導電接続機構により、電気的特性を測定する測定器に電気的に接続されている。このため、図１０において、外部電極Ｗｂはプリントパターン９ｂと下側プローブ６１を経由して測定器に電気的に接続される。
【００６１】
このように、外部電極Ｗａ及びＷｂがともに測定器に電気的に接続されることにより、ワークＷの電気的特性の測定が行われる。ここでは、上側プローブ６０として回転自在のローラ６０ａを用い、かつそれを搬送テーブル２に向けて付勢することにより、図１０のように搬送テーブル２が停止した状態でただちにワークＷの電気的特性の測定を行うことができ、測定時間の短縮を図ることができる。
【００６２】
このときの図１０における領域Ｇ１の拡大図を図１４に示す。図１３の状態から搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転して、ローラ６０ａが矢印Ａ１の方向に回転しながら外部電極Ｗａに乗り上げると、図１３におけるローラ６０ａの矢印Ａ１方向の回転が外部電極Ｗａに及ぼす力の作用によって、図１４に示すようにワークＷはワーク収納孔４内で賂直立状態となる。そして、ローラ６０ａが外部電極Ｗａの略中央位置である点Ｙに到達すると、搬送テーブル２の回転が停止する。このとき、外部電極Ｗｂはスルーホール９の貫通穴９ａの縁部であるＺ１においてプリントパターン９ｂに当接している。
【００６３】
簡単のために、図１４においてはＺ１の表記を１箇所にしているが、実際のＺ１は、１箇所の点ではなく、搬送テーブル２の第２層２ｂの上面２ｂｌにおける貫通穴９ａの縁部となる円周全域にわたっている。ここで、上述のように、外部電極Ｗｂの端面はワークＷの外側に向けて凸形に丸みをおびた形状になっているため、ワークＷがワーク収納孔４内で賂直立姿勢となった場合に、外部電極Ｗｂの端面の最も下側に張り出した箇所である点Ｗｂ１が貫通穴９ａの上側から内部にやや入った位置で、外部電極Ｗｂが貫通穴９ａの縁部となる円周Ｚ１に当接することにより、安定して保持される。
【００６４】
図１４において点Ｙにおけるローラ６０ａと外部電極Ｗａの当接は、回転自在の円筒の外周面と外側に向けて凸形に丸みをおびた面の当接であるため、やや安定性に欠ける。これに対して、Ｚ１におけるプリントパターン９ｂと外部電極Ｗｂの当接は、穴の縁部である円周と外側に向けて凸形に丸みをおびた面の当接であるため、十分な安定性を有する。従って、プリントパターン９ｂと外部電極Ｗｂの当接が有する安定性によって、ローラ６０ａと外部電極Ｗａの当接が有する安定性の欠如が補償され、図１４に記載されたワークＷの略直立姿勢が測定中に変動することはない。
【００６５】
このとき、図１４に示すように、ローラ６０ａは搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａ１に向けて付勢されているため、外部電極Ｗａには点Ｙにおいて付勢力によりベクトルＪ２で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｚ１においてベクトルＫ２で示される斜め方向の押圧力が発生する。上述のように、測定中のワークＷの姿勢が変動することがないため、これらの押圧力によってローラ６０ａとワークＷの外部電極Ｗａの電気的接触及びプリントパターン９ｂと外部電極Ｗｂの電気的接触はいずれも十分に確保され、電気的特性の測定精度が低下することはない。
【００６６】
図１０の状態で電気的特性の測定を終了し、搬送テーブル２が間歇回転を開姶した直後の様子を図１１に示す。図１１において搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転を開始すると、ローラ６０ａは矢印Ａ１の方向に回転しながら、その円筒形の外周面が外部電極Ｗａから離間して搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａ１に向かう。このとき、上述のようにワーク収納孔４の内壁とワークＷの外周との間に僅かな間隙が存在するため、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。
【００６７】
このときの図１１における領域Ｈ１の拡大図を図１５に示す。搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転し、搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向けて付勢されたローラ６０ａは、ワーク収納孔４内のワークＷの電極Ｗａに点Ｐ２で当接しながら搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向かう。このとき、ローラ６０ａの付勢力が外部電極Ｗａに及ぼす作用により、ワークＷの外部電極Ｗａ及びＷｂは搬送テーブル２の回転方向側が持ち上がり、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。そして、外部電極Ｗｂと搬送テーブル２の第２層２ｂの上面２ｂ１が点Ｑ２で当接する。この状態で、ローラ６０ａの付勢力によって、外部電極Ｗａには点Ｐ２においてベクトルＪ３で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｑ２においてベクトルＫ３で示される垂直方向の押圧力が発生する。ここで、点Ｐ２に対するローラ６０ａの当接面は回転自在の円筒の外周面であるため、この当接により外部電極Ｗａに生じる損傷は極めて小さい。また、点Ｑ２に対する第２層２ｂの上面２ｂ１の当接面はスルーホール９のプリントパターン９ｂとなる。この場合、搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転していても、外部電極Ｗｂとプリントパターン９ｂは互いに静止伏態であるため、この当接により外部電極Ｗｂに生じる損傷もまた極めて小さい。
【００６８】
図１１の状態から搬送テーブル２がさらに回転すると、図１２に示すようにローラ６０ａは、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａから離間して、矢印Ａ１の方向に回転しながら搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに当接した状態となる。ワークＷはローラ６０ａが離間することにより、ワーク収納孔４内で賂直立姿勢となり、図１における第２測定部７に向けて搬送される。
【００６９】
ワークＷが図１における第２測定部７に到達すると搬送テーブル２は停止し、第１測定ＩＳ６において測定した項目とは異なる項日について測定が行われる。第２測定部７における測定項目は、第１測定部６と同様にプローブを外部電極Ｗａ及びＷｂに当接させて測定する電気的特性の場合も考えられ、また第２測定部７において撮像手段を用いて外観検査を行ってもよい。第２測定部７における測定が終了すると、搬送テーブル２は間欺回転を開始し、ワークＷは排出部８に向けて搬送される。
【００７０】
図１における排出部８において、ワークＷは圧縮エアの噴射によってワーク収納孔４から排出され、図示されない収納容器に収納される。この様子を図１６及び図１７により説明する。図１６及び図１７は図１において排出部８を矢印Ｅの方向から見た透視図である 図１６において、ワーク収納孔４内のワークＷは排出部８に到進し、搬送テーブル２は停止している。排出部８において、ワーク収納孔４の直上には排出パイプ８１が設置され、ワーク収納孔４の直下のテーブルベース１内を貫通して噴射ノズル８２が設置されている。排出パイプ８１は図示されない収納容器に接統され、噴射ノズル８２は図示されない圧縮エア源に接続されている。排出部８において搬送テーブル２が停止すると、噴射ノズル８２、貫通穴９ａ、ワーク収納孔４、排出パイプ８１は一直線上に配置される。この状態で、図１７の矢印Ｖ方向に圧縮エア源から圧縮エアが噴出されると、圧縮エアは噴射ノズル８２と貫通穴９ａを経由１してワーク収納孔４内のワークＷに当たり、ワークＷは圧縮エアの作用によって排出パイプ８１に送り込まれ、収納容器に収納される。このように、ワーク収納孔４に対向する第２層２ｂに貫通穴９ａを形成することにより、排出部８において圧縮エア噴出により容易にワークＷを排出することができる。
【００７１】
第１の実施の形態の変形例
第１の実施の形態の変形例を図３５に示す。図３５に示す変形例は、図１乃至図１７に示す搬送テーブル２に関し、ワーク収納孔４の周辺部分に凹状の段差２Ａを設けたものである。他の構成は図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と同一である。
図３５に示す変形例において、図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省賂する。
図３５に示すように、プローブが外部電極Ｗａと当接する際に、凹部において接触時の衝撃が緩和させる作用が生じることにより、外部電極Ｗａへの損傷をより効果的に減少させることが可能となる。
【００７２】
本発明の比較例
次に、本発明の実施の形態に対する比較例としてのワーク測定装置について図２０乃至図２９を用いて説明する。
【００７３】
図２０は比較例による搬送テーブル２とワーク収納孔４を示す図であり、図４に対応するものである。
【００７４】
図２０において、搬送テーブル２は一層のテーブル基体２０よりなり、ワーク収納孔４はテーブル基体２０を貫通して形成されている。図２０に示すワーク収納孔４にワークＷを収納したときの様子を図２１に示す。
【００７５】
ワーク収納孔４に収納されたワークＷの外部電極Ｗａはテーブルベース１の反対側となるテーブル基体２０の上面２０ｓｌから露出しており、外部電極Ｗｂはテーブルベース１の上面１ｓに当接している。また、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａは、テーブル基体２０の上面２０ｓ１からわずかに上方に突出している。
【００７６】
比較例において、ワークＷが図１における第１測定部６に到達して、ワークＷの電気的特性の測定が行われる様子を、図２２乃至図２９を用いて説明する。 図２２において、第１測定部６内にはテーブル基体２０の上側に上側プローブ６０が配置されるとともに、テーブルベース１内に下側プローブ６１が配置されている。図２３は、図２２の状態の後でワークＷが第１測定部６に到途して、テーブル基体２０が停止する直前の様子を示したものである。
【００７７】
図２３において、ローラ６０ａの円筒形の外周面はテーブル基体２０の表面２０ｓｌから離間して外部電極Ｗａに乗り上げる。このとき、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。このときの図２３における領域Ｆ２の拡大図を図２７に示す。
【００７８】
図２７において、ローラ６０ａはワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａに点Ｐ３で当接しながら乗り上げる。このとき、ローラ６０ａが水平方向に外部電極Ｗａに及ぼす力の作用により、ワークＷの外部電極Ｗａ及びＷｂはテーブル基体２０の回転方向側が持ち上がり、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。そして、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓが点Ｑ３で当接する。
【００７９】
この状態で、ローラ６０ａの付勢力によって、外部電極Ｗａには点Ｐ３においてベクトルＪ１０で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｑ３においてベクトルＫ１０で示される垂直方向の押圧力が発生する。ここで、点Ｐ３に対するローラ６０ａの当接面は回転自在の円筒の外周面であるため、この当接により外部電極Ｗａに生じる損傷は極めて小さい。
【００８０】
これに対して、点Ｑ３に対する当接面はテーブルベース１の上面１ｓからなり、テーブル基体２０は矢印Ａの方向に回転している。このため、ワーク収納孔４内に傾斜姿勢で固定されたワークｗの外部電極Ｗｂは、点Ｑ３においてベクトルＫ１０で示される垂直方向の押圧力をテーブルベース１の上面１ｓから受けた状態のまま、矢印Ａの方向に移動する。これによって、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓとの間に摩擦を生じ、この摩擦により外部電極Ｗｂに大きな損傷が発生する。
【００８１】
図２３の状態から、テーブル基体２０がさらに矢印Ａの方向に回転して第１測定部６に極停止した伏態を図２４に示す。図２４において、ローラ６０ａの円筒の外周面はワークＷ極の外部電極Ｗａの略中央部分に当接し、外部電極Ｗｂは下側プローブ６１に当接し、ワークＷはワーク収納孔４内において略直立姿勢となる。そして、外部電極Ｗａはローラ６０ａ、車軸６０ｂ、アーム６０ｃを経由して測定器に電気的に接続されるとともに、電極Ｗｂは下側プローブ６１を経由して測定器に電気的に接続され、ワークＷの電気的特性の測定が行われる。
【００８２】
このときの図２４における領域Ｇ２の拡大図を図２８に示す。図２７の伏態からテーブル基体２０が矢印Ａの方向に回転して、ローラ６０ａが矢印ＡＩの方向に回転しながら外部電極Ｗａに乗り上げると、図２７におけるローラ６０ａの矢印Ａ１方向の回転が外部電極Ｗａに及ぼす力の作用によって、図２８に示すようにワークＷはワーク収納孔４内で略直立状態となる。
【００８３】
そして、ローラ６０ａが外部電極Ｗａの略中央位置である点Ｙに到達すると、テーブル基体２０の回転が停止する。このとき、外部電極Ｗｂは下側プローブ６１に当接している。ここで、上迷のように、外部電極Ｗａ及びＷｂの端面はワークＷの外側に向けて凸形に丸みをおびた形状になっているため、点Ｙにおけるローラ６０ａと外部電極Ｗａは、回転自在の円筒の外周面と外側に向けて凸形に丸みをおびた面によって当接するため、安定性に欠ける。同様に、点Ｚ２における下側プローブ６１と電極Ｗｂは、水平面と外側に向けて凸形に丸みをおびた面によって当接するため、安定性に欠ける。
【００８４】
そして、ローラ６０ａはテーブル基体２０の上面２０ｓｌに向けて付勢されているため、外部電極ｗａには点Ｙにおいて付勢力によりベクトルＪ２０で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｚ２においてベクトルＫ２０で示される垂直方向の押圧力極が発生する。
【００８５】
このように、押圧力が発生している状態で外部電極Ｗａ及びＷｂが安定性に欠けた状態で当接することにより、測定中のワークＷの姿勢が変動することがある。その場合は、ローラ６０ａとワークＷの外部電極Ｗａが電気的に十分接触できなかったり、下側プローブ６１と外部電極Ｗｂが電気的に十分接触できないことがあり、この場合は電気的特性の測定精度が低下する。
【００８６】
図２４の状態で電気的特性の測定を終了し、テーブル基体２０が間欺回転を開始した直後の様子を図２５に示す。図２４においてテーブル基体２０が矢印Ａの方向に回転を開始すると、ローラ６０ａの円筒形の外周面は外部電極Ｗａから離間してテーブル基体２０の上面２０ｓｌに向かう。このとき、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。
【００８７】
このときの図２５における領域Ｈ２の拡大図を図２９に示す。図２９において、ローラ６０ａはワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａに点Ｐ４で当接しながら、テーブル基体２０の上面２０ｓｌに向かう。このとき、ローラ６０ａの付勢力が外部電極Ｗａに及ぼす作用により、ワークＷの外部電極Ｗａ及びＷｂはそのテーブル基体２０の回転方向側が持ち上がり、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。そして、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓが点Ｑ４で当接する。このとき、ローラ６０ａの付勢力によって、外部電極Ｗａには点Ｐ４においてベクトルＪ３０で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｑ４においてベクトルＫ３０で示される垂直方向の押圧力が発生する。ここで、点Ｐ４に対するローラ６０ａの当接面は回転自在の円筒の外周面であるため、この当接により外部電極Ｗａに生じる損傷は極めて小さい。
【００８８】
これに対して、点Ｑ４における外部電極Ｗｂの当接面はテーブルベース１の上面１ｓであり、テーブル基体２０は矢印Ａの方向に回転している。このため、ワーク収納孔４内に傾斜姿勢で固定されたワークＷの外部電極Ｗｂは、点Ｑ４においてベクトルＫ３０で示される垂直方向の押圧力をテーブルベース１の上面１ｓから受けた状態のまま、矢印Ａの方向に移動する。これによって、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓとの間に摩擦を生じ、この摩擦により外部電極Ｗｂに大きな損傷が発生する。
【００８９】
図２５の状態からテーブル基体２０がさらに回転すると、図２６に示すようにローラ６０ａは、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａから離間して、矢印Ａ１の方向に回転しながらテーブル基体２０の上面２０ｓ１に当接した状態となる。ワークＷはローラ６０ａが離間することにより、ワーク収納孔４内で賂直立姿勢となり、図１における第２測定部７に向けて搬送される。
【００９０】
このように、比較例によるワーク測定装置においては、搬送テーブル２がテーブル基体極２０の１層よりなるため、ワーク収納孔４に収納されたワークＷが第１測定部６に到達してテーブル基体２０が停止する直前と、第１測定部６において測定を終了したワークＷを搬送するためにテーブル基体２０が回転を開姑した直後に、ワーク収納孔４内のワークＷがローラ６０ａから受ける押圧力によって、ワークＷの外部電極のうちテーブルベース１に当接する外部電極Ｗｂに大きな損傷が発生する。また、第１測定部６において搬送テーブル２が停止した状態でワークＷの電気的特性を測定する際に、ワークＷの姿勢が変動しやすく、そのためプローブとワークの外部電極の電気的接触が不十分となり、電気的特性の測定精度が低下する場合がある。
【００９１】
これに対して本発明によれば、上述のように、搬送テーブル２はテーブルベース１と反対側の第１層２ａと、テーブルベース側の第２層２ｂにより構成され、第１層２ａを貫通してワーク収納孔４を設けているので、ワーク収納孔４内のワークＷの他側外部電極Ｗｂがテーブルベース１に当接することはない。このため、搬送テーブル２がテーブルベース１上を回転している状態で第１のプローブ６０がワークＷの一側外部電極Ｗａに当接してワークに押圧力が働いても、ワークＷの他側外部電極Ｗｂとテーブルベース１との間に摩擦が働くことはなく、ワークＷの他側外部電極Ｗｂに大きな損傷が発生することはない。また、搬送テーブル２の第２層２ｂにワーク収納孔４に対応してスルーホール９が設けられているため、ワークＷの電気的特性測定の際に、ワークＷの他側外部電極Ｗｂがスルーホール９に当接してワークＷの姿勢が安定する。このため、測定中に第２のプローブ６１とワークＷの他側外部電極Ｗｂとの十分な電気的接触を確保することができる。
【００９２】
本発明の実施形態１、４、比較例におけるメッキ層の不良発生率を評価した。
メッキ層の不良発生率の評価方法として、基板にはんだ実装する際のフィレットの不合格率を基準に判断した。
【００９３】
（フィレット不合格率の評価）
基板上に対象サンプル１００個をはんだ実装し、個々の両端面におけるフィレットの這い上がり状態を確認する。このとき、各端面におけるフィレットの這い上がり高さが、外部電極の高さの１／２以下、かつ、フィレット窪みが幅方向で１／３以上ある物を不合格とみなし、それ以外を合格と判断した。
メッキ剥がれが生じると、はんだ実装時のフィレット形成が不十分となることが確認されていることから、フィレット不合格率を評価することからメッキ剥がれの有無を評価することができる。
比較例１では、フィレット不合格率３．２５％と高くなることが確認できた。これは、上述のように、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓとの間に生じる摩擦によって、外部電極Ｗｂのメッキ層に大きく損傷が生じたためである。
実施形態１では、フィレット不合格率０．５０％となり、比較例に比べ大きく低減できることが確認できた。さらに、実施形態４ではフィレット不合格率が０％となり、メッキ剥がれに対して有効であることが確認できた。
【００９４】
金属メッキ層が形成されていない外部電極を用いた場合について本発明を適用した場合についても、外部電極の損傷に対して優位な効果が得られる。
【００９５】
特に、外部電極としてメッキ膜等の薄膜層で覆われた金属電極を用いる場合に本発明は有効である。その理由として、薄膜層自体がプローブやテーブルとの接触との摩擦に対して弱いことから、薄膜層で覆われていない金属電極だけの外部電極を有する電子部品の測定工程に用いる場合に比べより顕著な効果があらわれる。
【００９６】
本発明の２の実施の形態
次に本発明の第２の実施の形態を図１８に示す。図１８に示す第２の実施の形態は、図１における第１測定部６の上側プローブ６０の代わりに、弾性を有する導電体からなる平板形状の平板プローブ６２を配置したものである。他の構成は図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と略同一である。図１８に示す第２の実施の形態において、図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省賂する。 図１８において、平板プローブ６２は弾性を有するため、その作用により搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向けて付勢されており、ワークＷの外部電極Ｗａに当接する面は平面となっている。
【００９７】
本発明の３の実施の形態
本発明の第３の実施の形態を図１９に示す。図１９に示す第３の実施の形態は、図１８における平板プローブ６２がワークＷの外部電極Ｗａに当接する箇所の内側に、スルーホール９と同様のプローブ用貫通穴６２ａを設けたものである。他の構成は図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と略同一である。図１９に示す第３の実施の形態において、図１乃至図１７に示す第１の実施の形態、および図１８に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省賂する。図１９に示すように、プローブ用貫通穴６２ａは、スルーホール９を構成する貫通穴９ａ及びプリントパターン９ｂが外部電極Ｗｂに及ぼす作用と同一の作用を外部電極Ｗａに及ぼすので、ワークＷの電気的特性を測定する際の平板プローブ６２と外部電極Ｗａの当接をさらに安定させることができる。
【００９８】
なお、上記各実施の形態において、ワーク測定装置１００は測定部として第１測定部６及び第２測定部７からなる２個の測定部を有しているが、測定部の数は２個に限定されるものではない。
また、上記各実施の形態において、搬送テーブル２の回転方向は時計まわりとなっているが、搬送テーブル２は、反時計まわりに回転してもよい。
【００９９】
また、上記各実施の形態において、排出部８における排出手段はテーブルベース１内を貫通して設けられた噴射ノズル８２を有するが、排出手段として、例えば搬送テーブル２の上方に設置された吸着ノズルを用い、この吸着ノズルによってワーク収納孔４内のワークＷを真空吸引により吸着してもよい。
【０１００】
また、上記各実施の形態においては、搬送テーブル２が水平に設置されているが、搬送テーブルを垂直に設置したり、あるいは傾斜して設置してもよい。
【０１０１】
上記各実施の形態ではセラミックコンデンサを例としたが、必ずしもセラミックコンデンサに限定されるものではなく、セラミックコンデンサ以外の電子部品、例えば積層インダクタ、抵抗素子、バリスタ、チップサーミスタ等の電子部品においても同様に適用可能である。例えばワークＷが抵抗素子の場合には、基体Ｗｘ内の電子素子は抵抗体からなり、プローブ６０、６１を外部電極Ｗａ及びＷｂに当接させて抵抗値を測定する。
【符号の説明】
【０１０２】
１ テーブルベース
２ 搬送テーブル
２ａ 第１層
２ｂ 第２層
３ 中心軸
４ ワーク収納孔
５ 供給部
６ 第１測定部
７ 第２測定部
８ 排出部
９ スルーホール
９ａ 貫通穴
９ｂ プリントパターン
２０ テーブル基体
６０ 上側プローブ
６０ａ ローラ
６０ｂ 車軸
６０ｃ アーム
６１ 下側プローブ
６２ 平板プローブ
６２ａ プローブ用貫通穴
１００ ワーク測定装置
Ｗ ワーク
Ｗａ 一側外部電極
Ｗｂ 他側外部電極
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ形電子部品等のワークを搬送テーブルのワーク収納孔に収納して搬送しながら、ワークの外部電極にプローブを当接させて電気的特性の測定を行うワーク測定装置、ワーク搬送テーブル、ワーク測定方法及び電子部品の製造方法に係り、とりわけプローブの押圧力によるワークの外部電極への大きな損傷が発生しにくく、かつプローブとワークの外部電極の電気的接触を十分に確保することができるワーク測定装置、ワーク搬送テーブル、ワーク測定方法および電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、チップ形電子部品等の直方体形状のワークを搬送テーブルのワーク収納孔に収納して搬送しながら、ワークの長手方向両端に設けられた外部電極にプローブを当接させて電気的特性の測定を行うワーク測定装置が知られている。またワーク測定装置において測定を行う際に、ワークの外部電極に当接させる部分を回転自在の円筒形の導電体により形成したプローブを使用することも知られている。
【０００３】
従来のワーク測定装置は、水平に設置されたテーブルベースと、テーブルベース上に回転自在に設置された円形の搬送テーブルとを有し、搬送テーブルを貫通して複数のワーク収納孔が同一円周上に並ぶように設けられている。そして長手方向両端にー対の外部電極を有するワークが、上側の外部電極をワーク収納孔から露出させて各ワーク収納孔に個別に収納される。
【０００４】
このようなワーク測定装置において、搬送テーブルが間歇回転してワークが搬送され、測定部にワークが到達すると、測定部において搬送テーブル上側に固定され搬送テーブルに向けて付勢された円筒形のプローブが、搬送テーブルの上面側からワークの上側の外部電極に乗り上げるように当接する。同時に、測定部においてテーブルベース内に固定されたプローブがワークの下側の外部電極に当接する（特許文献１参照）。
【０００５】
この場合、搬送テーブル上側の円筒形のプローブとテーブルベース内に固定されたプローブは、あらかじめ測定器に接続されており、上述のように両方のプローブがワークの上側及び下側の電楯に当接して搬送テーブルが停止すると、直ちにワークの電気的特性の測定を行うことができる。上述したワーク測定装置によれば、搬送テーブルが停止した後でプローブをワークの外部電極に向けて移動させて当接させる方法に比べて、測定時間の短縮を実現することができる。
【０００６】
しかしながら上述したワーク測定装置では、以下の問題が発生する。第１の問題は、測定部における搬送テーブルの停止直前と測定後の搬送テーブルの回輯開始直後に、搬送テーブル上方の円筒形のプローブが搬送テーブルに向けて付勢されながらワークの上側の外部電極に当接する際に、ワークの下側の外部電極が当接するテーブルベースが移動することになる。このため搬送テーブル上方の円筒形のプローブとワークの上側の電梱との当接によって生じる押圧力によって、下側の外部電極とテーブルベースとの間に摩擦を生じ、この摩擦により下側の外部電極に大きな損傷が発生することがある。特に外部電極の表面が金属薄膜で覆われている場合は、摩擦によって薄膜の剥がれが発生し、はんだ実装の際のフィレット形成が不十分となり実装不良につながる恐れがあった。また、剥がれ自体が外観不良となる恐れがあった。
【０００７】
第２の問題は、ワークの外部電極が外側に向けて凸形に丸みをおびた形状になっているため、電気的特性の測定時にプローブとワークの外部電極の当接が安定性に欠け、これによって電気的特性測定中にワークの姿勢が変動しやすくなり、プローブとワークの外部電極の電気的接触が不十分となって、測定精度が低下する場合があることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表２００５−５１４６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、搬送テーブル上方に配置されたプローブがワークの上側の外部電極に当接する際に、プローブがワークの外部電極に及ぼす押圧力によってワークの外部電極に大きな損傷が発生することがなく、かつワークの電気的特性の測定を行う際にワークの姿勢を安定させて、プローブとワークの外部電極の十分な電気的接触を確保することができるワーク測定装置、ワーク搬送テーブル、ワーク測定方法を提供すること、電気的特性の際に対象ワークの薄膜剥がれを防止することが可能な搬送テーブルを提供すること、およびこれらの測定装置、測定方法を用いた電子部品の製造方法提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、―側外部電極および一側外部電極と反対側に位置する他側外部電極を有するワークを収納して搬送しながら、当該ワークの電気的特性を測定するワーク測定装置において、テーブルベースと、テーブルベース上に回転自在に設置され、テーブルベースと反対側の第１層と、テーブルベース側の第２層とを有する搬送テーブルとを備え、第１層に第１層を貫通してワークを収納する複数のワーク収納孔が設けられ、第２層に各ワーク収納孔に対応して、第２層を貫通して導電性スルーホールが設けられ、ワーク収納孔に収納されたワークの一側外部電極は、ワーク収納孔の第１層側から露出するとともに、他側外部電極は第２層のスルーホールに当接し、搬送テーブルの第１層側に、ワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接する第１のプローブを設け、テーブルベース内に第２層のスルーホールに当接する第２プローブを設けたことを特徴とするワーク測定装置である。
【００１１】
本発明は、第１のプローブは搬送テーブルに向けて付勢された導電体を有することを特徴とするワーク測定装置である。
【００１２】
本発明は、導電体は回転自在の円筒形状をもち、導電体の外周面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徹とするワーク測定装置である。
【００１３】
本発明は、導電体は平板形状をもち、導電体の一面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とするワーク測定装置である。
【００１４】
本発明は、導電体のうちワークの一側外部電極が当接する箇所の内側に、導電体を貫通する貫通穴を設けたことを特徴とするワーク測定装置である。
【００１５】
本発明は、対象ワークを収容し、搬送するワーク搬送テーブルであって、複数のワーク収納孔が形成された第１層と、第１層の設けられた前記複数のワーク収納孔に対応して、スルーホールが形成された第２層と有し、 前記ワーク収納孔の直径は、前記スルーホールの直径より大きく、かつ、対象ワークの搬入方向に直交する断面積よりも大きく形成されており、前記スルーホールの直径は、対象ワークの搬入方向に直交する断面積よりも小さく形成されており、前記スルーホールの内壁に導体からなるプリントパターンが形成されていることを特徴とするワーク搬送テーブルである。
【００１６】
本発明は、上記記栽のワーク測定装置を用いたワーク測定方法において、搬送テーブルの第１層に設けられた各ワーク収納孔にワークを個別に収納して、ワークの一側外部電極をワーク収納孔の第１層側から露出させるとともに、他側外部電極を第２層のスルーホールに当接させながら、ワークを版のすする工程と、搬送テーブルの第１層側から第１のプローブをワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接させるとともに、テーブルベース内から第２のプローブを第２層のスルーホールに当接させてワークの電気的特性を測定することを特徴とするワーク測定方法である。
【００１７】
本発明は、第１のプローブは搬送テーブルに向けて付勢された導電体を有することを特徹とするワーク測定方法である。
【００１８】
本発明は、導電体は回転自在の円筒形状をもち、導電体の外周面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とするワーク測定方法である。
【００１９】
本発明は、導電体は平板形状をもち、導電体の一面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とするワーク測定方法である。
【００２０】
本発明は、前記ワークは、略直方体形状であり、前記ワークの対向する１対の端面に外部電極を有し、前記外部電極の表面は金属薄膜で覆われていることを特徴とするワーク測定方法である。
【００２１】
本発明は、導電体のうちワークの一側外部電極が当接する箇所の内側に、導電体を貫通する貫通穴を設けたことを特徴とするワーク測定方法である。
本発明は、上記記載のワーク測定方法を用いた電子部品の製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように本発明によれば、搬送テーブルはテーブルベースと反対側の第１層と、テーブルベース側の第２層により構成され、第１層を貫通してワーク収納孔を設けているので、ワーク収納孔内のワークの外部電極がテーブルベースに当接することはない。
【００２３】
このため、搬送テーブルがテーブルベース上を回転している状態で第１のプローブがワークの一側外部電極に当接してワークに押圧力が働いても、ワークの他側外部電極とテーブルベースとの間に摩擦が働くことはなく、ワークの他側外部電極に大きな損傷が発生することはない。また、搬送テーブルの第２層にワーク収納孔に対応してスルーホールが設けられているため、ワークの電気的特性測定の際に、ワークの他側外部電極がスルーホールに当接してワークの姿勢が安定する。このため、測定中に第２のプローブとワークの他側外部電極との十分な電気的接触を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は本発明によるワーク測定装置の第１の実施の形態を示す平面図。
【図２】図２はワークの斜視図。
【図３】図３は図２における矢印Ｂ方向側面図。
【図４】図４は本発明の第１の実施の形態におけるワーク収納孔を示す透視図。
【図５】図５は本発明の第１の実施の形態におけるワーク収納孔にワークを収納した状態を示す透視図。
【図６】図６は図４を矢印Ｘ方向から見た平面図。
【図７】図７は図５を矢印Ｘ方向から見た平面図。
【図８】図８は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図９】図９は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図１０】図１０は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図１１】図１１は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図１２】図１２は本発明の第１の実施の形態における第１測定部の勁作説明図。
【図１３】図１３は図９の領域Ｆ１の拡大図。
【図１４】図１４は図１０の領域ＧＩの拡大図。
【図１５】図１５は図１１の領域Ｈ１の拡大図。
【図１６】図１６は本発明の第１の実施の形態における排出部の動作説明図。
【図１７】図１７は本発明の第１の実施の形態における排出部の動作説明図。
【図１８】図１８は本発明の第２の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図１９】図１９は本発明の第３の実施の形態における第１測定部の動作説明図。
【図２０】図２０は比較例におけるワーク収納孔の透視図。
【図２１】図２１は比較例におけるワーク収納孔にワークを収納した状態の透視図。
【図２２】図２２は比較例における篤１測定部の動作説明図。
【図２３】図２３は比較例における第１測定部の動作説明図。
【図２４】図２４は比較例における第１測定部の動作説明図。
【図２５】図２５は比較例における第１測定部の動作説明図。
【図２６】図２６は比較例における第１測定部の動作説明図。
【図２７】図２７は図２３の領域Ｆ２の拡大図。
【図２８】図２８は図２４の領域Ｇ２の拡大図。
【図２９】図２９は図２５の領域Ｈ２の拡大図。
【図３０】図３０はコンデンサの製造方法を示す図。
【図３１】図３１はコンデンサの製造方法を示す図。
【図３２】図３２はコンデンサの製造方法を示す図。
【図３３】図３３はコンデンサの製造方法を示す図。
【図３４】図３４はコンデンサの製造方法を示すフローチャート。
【図３５】図３５は本発明の変形例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の第１の実施の形態
本発明の第１の実施の形態について、図１乃至図１７を用いて説明する。本発明によるワーク測定装置の平面図を図１に示す。
【００２６】
ワーク測定装置１００は、水平に設置されたテーブルベース１と、このテーブルベース１の上に回転自在に配置された搬送テーブル２とを備えている。搬送テーブル２は図示されない駆動機構の作用により、中心軸３の周囲に時計まわり（矢印Ａの方向）に間歇回転する。また搬送テーブル２の外周部近傍には、ワークＷを個別に収納する複数のワーク収納孔４が円周上に並んで形成されている。また、搬送テーブル２の回転方向に沿って、供給部５、第１測定部６、第２測定部７、排出部８がこの順に配置されている。
【００２７】
ここで、ワークＷについて図２及び図３を用いて説明する。ワークＷの斜視図を図２に示す。ワークＷはチップ形電子部品からなり、本実施の形態では積層セラミックコンデンサとした。
【００２８】
積層セラミックコンデンサは、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。
【００２９】
本実施の形態で用いる積層セラミックコンデンサは以下の公知の方法によって形成されたものである。図３０に示される実施の形態に係るセラミック電子部品Ｃ１の製造方法について説明する。図３４は、本実施の形態に係るセラミック電子部品の製造方法の手順を示すフロー図である。本実施形態に係るセラミック電子部品の製造方法は、積層体形成工程Ｓ１、グリーンチップ形成工程Ｓ２、焼成工程Ｓ３、外部電極形成工程Ｓ４及び電気的特性評価工程Ｓ５を含む。この工程Ｓ１〜Ｓ５により上述したセラミック電子部品Ｃ１が複数形成される。各工程について説明する。
【００３０】
積層体形成工程Ｓ１では、図３１に示すように、複数のセラミックグリーン層１２１が積層され、内部に複数の電極パターン１１７が設けられた積層体１１０を形成する。なお、図３１は、積層体１１０における積層方向と垂直な断面を示す。まず、ＰＥＴフィルム上にセラミックグリーン層１２１を形成する。セラミックグリーン層１２１は、主成分に添加物を加え、バインダ樹脂（例えば有機バインダ樹脂等）、溶剤、可塑剤等を更に加えて混合分散することにより得られたセラミックスラリーをＰＥＴフィルム上に塗布後、乾燥することによって形成される。セラミックグリーン層１２１の主成分は、焼成後にセラミック粒子となるセラミックの原料粒子であり、例えば、ＢａＴｉＯ３である。添加物は、例えば、ＭｇＯ、Ｙ２Ｏ３、ＭｎＯ、Ｖ２Ｏ５、ＢａＳｉＯ３、及びＣａＳｉＯ３等である。
【００３１】
次に、セラミックグリーン層１２１の上面に複数の電極パターン１１７を形成する。電極パターン１１７は、セラミックグリーン層１２１の上面に電極ペーストを印刷後、乾燥することにより形成される。電極ペーストは、例えばＮｉ、Ａｇ、Ｐｄなどの金属粉末にバインダ樹脂や溶剤等を混合したペースト状の組成物である。印刷手段として、例えばスクリーン印刷などを用いる。
【００３２】
この電極パターン１７が形成されたセラミックグリーン層１２１を複数積層する。電極パターン１１７が形成された複数のセラミックグリーン層１２１を挟んで、電極パターン１１７が形成されていない複数のセラミックグリーン層１２１を上下それぞれに積層する。これにより、積層体１１０が形成される。
【００３３】
次に、グリーンチップ形成工程Ｓ２において、積層体１１０を積層方向と平行な方向に切断して、図３２に示すようなグリーンチップ１１２を形成する。
【００３４】
図３３に示すグリーンチップ１１２において、２つの端面１１２ａ，１１２ｂは、切断面であり、電極パターンの端部が露出している。第１及び第２の側面１１２ｃ，１１２ｄは、積層方向に垂直な面であり、積層体１１０において積層方向に垂直で互いに対向する主面１１０ｃ，１１０ｄに相当する面である。第３及び第４の側面１１２ｅ，１１２ｆは、切断面である。
【００３５】
次に、焼成工程Ｓ３において、セラミックグリーン層１２１に含まれるバインダを除去し、焼成する。焼成により、グリーンチップ１１２のセラミックグリーン層１２１がセラミックとなり、電極パターン１１７が内部電極層１０７となり、グリーンチップ１１２がチップ素体１０２となる。
【００３６】
次に、外部電極形成工程Ｓ４において、チップ素体１０２の両端面１０２ａ，１０２ｂに、第１の外部電極Ｗａと第２の外部電極Ｗｂとがそれぞれ形成される。これにより、内部電極層１０７が第１の外部電極１０３又は第２の外部電極１０４に電気的に接続される。外部電極は、チップ素体１０２の両端面１０２ａ，１０２ｂに導電性のペーストを塗布し、焼き付けることによって金属焼付け電極層を形成し、金属焼付け電極層を覆うように薄膜層を形成することによって得られる。
【００３７】
金属焼付け電極を構成する金属成分としては、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ，Ｐｄ、等の各種金属やこれらの合金などを用いる。
【００３８】
金属薄膜層の形成方法としては、電気メッキ、無電解メッキ、スパッタリングなど物理気相蒸着法、化学気相蒸着法などの薄膜形成方法が適用される。金属薄膜層の金属成分としては、Ｎｉ、Ｓｎ、Ｃｕの金属やこれら金属の合金が用いられる。
【００３９】
本実施形態では、ハンドリング性や製造工程の簡略化を考慮し、薄膜層として電気メッキによって形成されるメッキ層を用いる。また、はんだ付け性やグリーンチップとの接合性を考慮し、金属焼き付け電極を構成する金属としてＣｕ、金属焼付け電極を覆うように形成する１層目のメッキ層をＮｉメッキ、さらに１層目を覆うように形成する２層目のメッキ層としてＳｎメッキを用いた。以上説明した各工程によって、複数のセラミック電子部品Ｃ１が完成する。
【００４０】
以上によって得られたセラミック電子部品Ｃ１に関し、外部電極ＷａはワークＷの上側に位置する一側外部電極となり、外部電極ＷｂはワークＷの下側に位置するとともに一側外部電極Ｗａと反対側に設けられた他側外部電極となる。
【００４１】
次に、電気的測定評価工程Ｓ５において、後述のように測定器に接続された第１のプローブ６０および第２のプローブ６１を各々外部電極Ｗａ及びＷｂに当接させることにより、ワークＷの電気的特性を測定する。
【００４２】
本実施の形態ではプローブ６０、６１を外部電極Ｗａ及びＷｂに当接させてコンデンサの漏れ電流値を測定する。図２におけるワークＷの縦の長さＬと横の長さＭは略同一である。
ワークＷの縦の長さＬ、横の長さＭ、高さＮの例としては、それぞれ０．３〜３．２ｍｍ、０．３〜３．２ｍｍ、０．６〜２．５ｍｍのものが考えられる。ここで、ワークＷを図２における矢印Ｂの方向から見た側面図を図３に示す。上述のように、基体Ｗｘの長手方向両端に導電性のペーストを塗布して外部電極Ｗａ及びＷｂを形成するため、外部電極Ｗａ及びＷｂは基体Ｗｘの表面から盛り上がった状態となっている。
【００４３】
すなわち、図３において、ワークＷの長手方向に沿う外部電極Ｗａの表面Ｗａｌ及びＷａ２は、それぞれ基体Ｗｘの表面Ｗｘ１及びＷｘ２よりも外側に張り出しており、ワークＷの長手方向端に位置する外部電極Ｗａの端面Ｗａ３は、ワークＷの外側に向けて凸形に丸みをおびた形状になっている。外部電極Ｗｂについても同様である。
【００４４】
図１において、ワーク測定装置１００を矢印Ｃの方向から見た透視図を図４に示す。搬送テーブル２は、テーブルベース１と反対側の第１層２ａと、テーブルベース１側の第２層２ｂとを有する２層構造からなっている。ワーク収納孔４は第１層２ａを貫通して形成されている。
【００４５】
図４を矢印Ｘの方向から見た平面図を図６に示す。図４及び図６に示すように、搬送テーブル２をワーク収納孔４の上方から（図４の矢印Ｘの方向から）見たとき、円形をなす貫通穴９ａが、ワーク収納孔４に対向して第２層を貫通して形成されている。
貫通穴９ａの断面積はワーク収納孔４よりも小さく、かつ、ワークの搬入方向断面積（Ｌ×Ｗ）よりも小さく設定されている。
そして、第２層２ｂの上面２ｂｌと下面２ｂ２における貫通穴９ａの内壁に、貫通穴９ａの周囲と貫通穴９ａの内壁を接続する導体からなるプリントパターン９ｂが形成されている。この貫通穴９ａとプリントパターン９ｂによって、第２層２ｂのワーク収納孔４側とテーブルベース１側を電気的に接統する導電性スルーホール９が形成されている。プリントパターン９ｂは、貫通穴９ａの周囲に形成されていることが好ましく、第２層の表面と貫通穴９ａの内壁および周囲全体に形成されていることが好ましい。プリントパターン９ｂが形成されている領域が広くなることで、ワークとのプリントパターンの接触面積が増えることとなり、電極Ｗａ，Ｗｂとの電気的接続をより確実に確保することができる。プリントパターン９ｂを形成するために、第２層２ｂはガラスエポキシ等のプリント基板用材料により構成されることが好ましい。
【００４６】
図４に示すワーク収納孔４にワークＷを収納したときの様子を図５に示す。
【００４７】
図５に示すように、ワーク収納孔４に収納されたワークＷの一方の外部電極Ｗａはテーブルベース１の反対側となる第１層２ａの上面２ａｌから露出しており、他方の外部電極Ｗｂは第２層２ｂの上面２ｂｌにおいてスルーホール９を構成するプリントパターン９ｂに当接している。ここで、搬送テーブル２の上方からプローブを外部電極Ｗａに確実に当接させるために、第１層２ａの高さ、すなわちワーク収納孔４の深さＴは、ワークＷの高さＮよりもやや小さく設定されている。このため、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａは、第１層２ａの上面２ａｌからわずかに上方に突出している。
【００４８】
図５を矢印Ｘの方向から見た平面図を図７に示す。上述のように、ワークＷの縦の長さＬと横の長さＭは略同一であり、搬送テーブル２をワーク収納孔４の上方から（図５の矢印Ｘの方向から）見たときのワーク収納孔４の開口郎は正方形をなし、その一辺の長さは、ワークＷの縦の長さＬ及び横の長さＭよりやや大きい値Ｓに設定されている。すなわち、ワーク収納孔４の内壁とワークＷの外周との間には、僅かな間隙が存在する。
【００４９】
また、スルーホール９の断面積はワーク収納孔４よりも小さく、かつ、ワークの搬入方向断面積（Ｌ×Ｗ）よりも小さく設定されている。図５に示すように、ワークを収納孔９に収納すると、スルーホールの周縁部と電極Ｗｂが当接し、ワーク収納穴４内でワークが倒れることなく収納することができる。
【００５０】
ところで、図８乃至図１１に示すように、ワーク測定装置１００の第１測定部６において、搬送テーブル２の第１層２ａ上方にワークＷの一側外部電極Ｗａに当接する第１のプローブ６０が設けられ、テーブルベース１内に第２層２ｂのスルーホール９に当接する第２のプローブ６１が設けられている。
【００５１】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。図１において、供給部５の作用により、ワーク収納孔４に個別にワークＷが収納される。搬送テーブル２が矢印Ａの方向に間歇回転してワークＷを搬送し、ワークＷが第１測定部６に到達すると、ワークＷの電気的特性の測定が行われる。
【００５２】
この様子を、図１において第１測定部６を矢印Ｄ方向から見た透視図である図８乃至図１５を用いて説明する。図８は搬送テーブル２が図１における矢印Ａの方向に間歇回転しながら、ワーク収納孔４に収納されたワークＷを第１測定部６に向けて搬送している様子を示す。
【００５３】
図８において、第１測定部６内には、テーブルベース１の反対側となる搬送テーブル２の上側に、第１のプローブとして上側プローブ６０が配置されるとともに、テーブルベースｌ内に第２のプローブとして下側プローブ６１が配置されている。上側プローブ６０は断面が円筒形のローラ６０ａを有し、ローラ６０ａはアーム６０ｃにより支えられる車軸６０ｂの周囲に回転自在となっている。ローラ６０ａ、車軸６０ｂ、アーム６０ｃはいずれも導電体からなり、図示されない導電接続機構により互いに電気的接続が図られるとともに、電気的特性を測定する測定器に電気的に接続されている。
【００５４】
また、上側プローブ６０は、図示されない弾性機構により搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向けて付勢されており、このため、図８において搬送テーブル２が矢印Ａの方向（図１における矢印Ａの方向）に間欺回転すると、ローラ６０ａの円筒形の外周面は搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに当接しながら、矢印Ａ１の方向に回転する。また、下側プローブ６１は図示されない導電接続機構により、電気的特性を測定する測定器に電気的に接続されており、下側プローブ６１の上面は、テーブルベース１の上面１ｓと略同一平面上に位置する平面形状をなしている。図９は、図８の状態の後でワークＷが第１測定部６に到進して、搬送テーブル２が停止する直前の様子を示したものである。
【００５５】
上述のように、ワーク収納孔４内のワークＷの電極Ｗａは、第１層２ａの上面２ａｌからわずかに上方に突出しているため、図９において、ローラ６０ａの円筒形の外周面は搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌから離間して外部電極Ｗａに乗り上げる。このとき、上述のようにワーク収納孔４の内壁とワークＷの外周との間に僅かな間隙が存在するため、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。
【００５６】
このときの図９における領域Ｆ１の拡大図を図１３に示す。搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転し、搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向けて付勢されたローラ６０ａは、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａに点Ｐ１で当接しながら乗り上げる。このとき、ローラ６０ａが水平方向に外部電極Ｗａに及ぼす力の作用により、ワークＷの電極Ｗａ及びＷｂは搬送テーブル２の回転方向側が持ち上がり、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。そして、外部電極Ｗｂと搬送テーブル２の第２層２ｂの上面２ｂ１が点Ｑ１で当接する。
【００５７】
この状態で、ローラ６０ａの付勢力によって、外部電極Ｗａには点Ｐ１においてベクトルＪ１で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｑ１においてベクトルＫ１で示される垂直方向の押圧力が発生する。ここで、点Ｐ１に対するローラ６０ａの当接面は回転自在の円筒の外周面であるため、この当接により外部電極Ｗａに生じる損傷は極めて小さい。また、点Ｑ１に対する第２層２ｂの上面２ｂｌの当接面はスルーホール９のプリントパターン９ｂであり、搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転していても、電極Ｗｂとプリントパターン９ｂは互いに静止状態であるため、この当接により電極Ｗｂに生じる損傷もまた極めて小さい。
【００５８】
図９の状態から、搬送テーブル２がさらに矢印Ａの方向に回転して第１測定部６に停止した状態を図１０に示す。図１０において、ローラ６０ａの円筒の外周面はワークＷの外部電極Ｗａの略中央部分に当接し、外部電極Ｗｂはスルーホール９のプリントパターン９ｂに当接している。この状態で、ワークＷはワーク収納孔４内において略直立姿勢となる。
【００５９】
また上述のように、ローラ６０ａ、車軸６０ｂ、アーム６０ｃはいずれも導電体からなり、図示されない導電接続機構により互いに電気的接続が図られるとともに、電気的特性を測定する測定器に電気的に接続されている。このため、図１０において、外部電極Ｗａはローラ６０ａ、車軸６０ｂ、アーム６０ｃを経由して測定器に電気的に接続される。
【００６０】
他方、外部電極Ｗｂは搬送テーブル２の第２層２ｂの上面２ｂｌにおいてプリントパターン９ｂに当接し、第２層２ｂの下面２ｂ２において、プリントパターン９ｂは下側プローブ６１に当接している。また上述のように、下側プローブ６１は図示されない導電接続機構により、電気的特性を測定する測定器に電気的に接続されている。このため、図１０において、外部電極Ｗｂはプリントパターン９ｂと下側プローブ６１を経由して測定器に電気的に接続される。
【００６１】
このように、外部電極Ｗａ及びＷｂがともに測定器に電気的に接続されることにより、ワークＷの電気的特性の測定が行われる。ここでは、上側プローブ６０として回転自在のローラ６０ａを用い、かつそれを搬送テーブル２に向けて付勢することにより、図１０のように搬送テーブル２が停止した状態でただちにワークＷの電気的特性の測定を行うことができ、測定時間の短縮を図ることができる。
【００６２】
このときの図１０における領域Ｇ１の拡大図を図１４に示す。図１３の状態から搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転して、ローラ６０ａが矢印Ａ１の方向に回転しながら外部電極Ｗａに乗り上げると、図１３におけるローラ６０ａの矢印Ａ１方向の回転が外部電極Ｗａに及ぼす力の作用によって、図１４に示すようにワークＷはワーク収納孔４内で賂直立状態となる。そして、ローラ６０ａが外部電極Ｗａの略中央位置である点Ｙに到達すると、搬送テーブル２の回転が停止する。このとき、外部電極Ｗｂはスルーホール９の貫通穴９ａの縁部であるＺ１においてプリントパターン９ｂに当接している。
【００６３】
簡単のために、図１４においてはＺ１の表記を１箇所にしているが、実際のＺ１は、１箇所の点ではなく、搬送テーブル２の第２層２ｂの上面２ｂｌにおける貫通穴９ａの縁部となる円周全域にわたっている。ここで、上述のように、外部電極Ｗｂの端面はワークＷの外側に向けて凸形に丸みをおびた形状になっているため、ワークＷがワーク収納孔４内で賂直立姿勢となった場合に、外部電極Ｗｂの端面の最も下側に張り出した箇所である点Ｗｂ１が貫通穴９ａの上側から内部にやや入った位置で、外部電極Ｗｂが貫通穴９ａの縁部となる円周Ｚ１に当接することにより、安定して保持される。
【００６４】
図１４において点Ｙにおけるローラ６０ａと外部電極Ｗａの当接は、回転自在の円筒の外周面と外側に向けて凸形に丸みをおびた面の当接であるため、やや安定性に欠ける。これに対して、Ｚ１におけるプリントパターン９ｂと外部電極Ｗｂの当接は、穴の縁部である円周と外側に向けて凸形に丸みをおびた面の当接であるため、十分な安定性を有する。従って、プリントパターン９ｂと外部電極Ｗｂの当接が有する安定性によって、ローラ６０ａと外部電極Ｗａの当接が有する安定性の欠如が補償され、図１４に記載されたワークＷの略直立姿勢が測定中に変動することはない。
【００６５】
このとき、図１４に示すように、ローラ６０ａは搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａ１に向けて付勢されているため、外部電極Ｗａには点Ｙにおいて付勢力によりベクトルＪ２で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｚ１においてベクトルＫ２で示される斜め方向の押圧力が発生する。上述のように、測定中のワークＷの姿勢が変動することがないため、これらの押圧力によってローラ６０ａとワークＷの外部電極Ｗａの電気的接触及びプリントパターン９ｂと外部電極Ｗｂの電気的接触はいずれも十分に確保され、電気的特性の測定精度が低下することはない。
【００６６】
図１０の状態で電気的特性の測定を終了し、搬送テーブル２が間歇回転を開姶した直後の様子を図１１に示す。図１１において搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転を開始すると、ローラ６０ａは矢印Ａ１の方向に回転しながら、その円筒形の外周面が外部電極Ｗａから離間して搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａ１に向かう。このとき、上述のようにワーク収納孔４の内壁とワークＷの外周との間に僅かな間隙が存在するため、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。
【００６７】
このときの図１１における領域Ｈ１の拡大図を図１５に示す。搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転し、搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向けて付勢されたローラ６０ａは、ワーク収納孔４内のワークＷの電極Ｗａに点Ｐ２で当接しながら搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向かう。このとき、ローラ６０ａの付勢力が外部電極Ｗａに及ぼす作用により、ワークＷの外部電極Ｗａ及びＷｂは搬送テーブル２の回転方向側が持ち上がり、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。そして、外部電極Ｗｂと搬送テーブル２の第２層２ｂの上面２ｂ１が点Ｑ２で当接する。この状態で、ローラ６０ａの付勢力によって、外部電極Ｗａには点Ｐ２においてベクトルＪ３で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｑ２においてベクトルＫ３で示される垂直方向の押圧力が発生する。ここで、点Ｐ２に対するローラ６０ａの当接面は回転自在の円筒の外周面であるため、この当接により外部電極Ｗａに生じる損傷は極めて小さい。また、点Ｑ２に対する第２層２ｂの上面２ｂ１の当接面はスルーホール９のプリントパターン９ｂとなる。この場合、搬送テーブル２が矢印Ａの方向に回転していても、外部電極Ｗｂとプリントパターン９ｂは互いに静止伏態であるため、この当接により外部電極Ｗｂに生じる損傷もまた極めて小さい。
【００６８】
図１１の状態から搬送テーブル２がさらに回転すると、図１２に示すようにローラ６０ａは、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａから離間して、矢印Ａ１の方向に回転しながら搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに当接した状態となる。ワークＷはローラ６０ａが離間することにより、ワーク収納孔４内で賂直立姿勢となり、図１における第２測定部７に向けて搬送される。
【００６９】
ワークＷが図１における第２測定部７に到達すると搬送テーブル２は停止し、第１測定ＩＳ６において測定した項目とは異なる項日について測定が行われる。第２測定部７における測定項目は、第１測定部６と同様にプローブを外部電極Ｗａ及びＷｂに当接させて測定する電気的特性の場合も考えられ、また第２測定部７において撮像手段を用いて外観検査を行ってもよい。第２測定部７における測定が終了すると、搬送テーブル２は間欺回転を開始し、ワークＷは排出部８に向けて搬送される。
【００７０】
図１における排出部８において、ワークＷは圧縮エアの噴射によってワーク収納孔４から排出され、図示されない収納容器に収納される。この様子を図１６及び図１７により説明する。図１６及び図１７は図１において排出部８を矢印Ｅの方向から見た透視図である 図１６において、ワーク収納孔４内のワークＷは排出部８に到進し、搬送テーブル２は停止している。排出部８において、ワーク収納孔４の直上には排出パイプ８１が設置され、ワーク収納孔４の直下のテーブルベース１内を貫通して噴射ノズル８２が設置されている。排出パイプ８１は図示されない収納容器に接統され、噴射ノズル８２は図示されない圧縮エア源に接続されている。排出部８において搬送テーブル２が停止すると、噴射ノズル８２、貫通穴９ａ、ワーク収納孔４、排出パイプ８１は一直線上に配置される。この状態で、図１７の矢印Ｖ方向に圧縮エア源から圧縮エアが噴出されると、圧縮エアは噴射ノズル８２と貫通穴９ａを経由１してワーク収納孔４内のワークＷに当たり、ワークＷは圧縮エアの作用によって排出パイプ８１に送り込まれ、収納容器に収納される。このように、ワーク収納孔４に対向する第２層２ｂに貫通穴９ａを形成することにより、排出部８において圧縮エア噴出により容易にワークＷを排出することができる。
【００７１】
第１の実施の形態の変形例
第１の実施の形態の変形例を図３５に示す。図３５に示す変形例は、図１乃至図１７に示す搬送テーブル２に関し、ワーク収納孔４の周辺部分に凹状の段差２Ａを設けたものである。他の構成は図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と同一である。
図３５に示す変形例において、図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省賂する。
図３５に示すように、プローブが外部電極Ｗａと当接する際に、凹部において接触時の衝撃が緩和させる作用が生じることにより、外部電極Ｗａへの損傷をより効果的に減少させることが可能となる。
【００７２】
本発明の比較例
次に、本発明の実施の形態に対する比較例としてのワーク測定装置について図２０乃至図２９を用いて説明する。
【００７３】
図２０は比較例による搬送テーブル２とワーク収納孔４を示す図であり、図４に対応するものである。
【００７４】
図２０において、搬送テーブル２は一層のテーブル基体２０よりなり、ワーク収納孔４はテーブル基体２０を貫通して形成されている。図２０に示すワーク収納孔４にワークＷを収納したときの様子を図２１に示す。
【００７５】
ワーク収納孔４に収納されたワークＷの外部電極Ｗａはテーブルベース１の反対側となるテーブル基体２０の上面２０ｓｌから露出しており、外部電極Ｗｂはテーブルベース１の上面１ｓに当接している。また、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａは、テーブル基体２０の上面２０ｓ１からわずかに上方に突出している。
【００７６】
比較例において、ワークＷが図１における第１測定部６に到達して、ワークＷの電気的特性の測定が行われる様子を、図２２乃至図２９を用いて説明する。 図２２において、第１測定部６内にはテーブル基体２０の上側に上側プローブ６０が配置されるとともに、テーブルベース１内に下側プローブ６１が配置されている。図２３は、図２２の状態の後でワークＷが第１測定部６に到途して、テーブル基体２０が停止する直前の様子を示したものである。
【００７７】
図２３において、ローラ６０ａの円筒形の外周面はテーブル基体２０の表面２０ｓｌから離間して外部電極Ｗａに乗り上げる。このとき、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。このときの図２３における領域Ｆ２の拡大図を図２７に示す。
【００７８】
図２７において、ローラ６０ａはワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａに点Ｐ３で当接しながら乗り上げる。このとき、ローラ６０ａが水平方向に外部電極Ｗａに及ぼす力の作用により、ワークＷの外部電極Ｗａ及びＷｂはテーブル基体２０の回転方向側が持ち上がり、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。そして、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓが点Ｑ３で当接する。
【００７９】
この状態で、ローラ６０ａの付勢力によって、外部電極Ｗａには点Ｐ３においてベクトルＪ１０で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｑ３においてベクトルＫ１０で示される垂直方向の押圧力が発生する。ここで、点Ｐ３に対するローラ６０ａの当接面は回転自在の円筒の外周面であるため、この当接により外部電極Ｗａに生じる損傷は極めて小さい。
【００８０】
これに対して、点Ｑ３に対する当接面はテーブルベース１の上面１ｓからなり、テーブル基体２０は矢印Ａの方向に回転している。このため、ワーク収納孔４内に傾斜姿勢で固定されたワークｗの外部電極Ｗｂは、点Ｑ３においてベクトルＫ１０で示される垂直方向の押圧力をテーブルベース１の上面１ｓから受けた状態のまま、矢印Ａの方向に移動する。これによって、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓとの間に摩擦を生じ、この摩擦により外部電極Ｗｂに大きな損傷が発生する。
【００８１】
図２３の状態から、テーブル基体２０がさらに矢印Ａの方向に回転して第１測定部６に極停止した伏態を図２４に示す。図２４において、ローラ６０ａの円筒の外周面はワークＷ極の外部電極Ｗａの略中央部分に当接し、外部電極Ｗｂは下側プローブ６１に当接し、ワークＷはワーク収納孔４内において略直立姿勢となる。そして、外部電極Ｗａはローラ６０ａ、車軸６０ｂ、アーム６０ｃを経由して測定器に電気的に接続されるとともに、電極Ｗｂは下側プローブ６１を経由して測定器に電気的に接続され、ワークＷの電気的特性の測定が行われる。
【００８２】
このときの図２４における領域Ｇ２の拡大図を図２８に示す。図２７の伏態からテーブル基体２０が矢印Ａの方向に回転して、ローラ６０ａが矢印ＡＩの方向に回転しながら外部電極Ｗａに乗り上げると、図２７におけるローラ６０ａの矢印Ａ１方向の回転が外部電極Ｗａに及ぼす力の作用によって、図２８に示すようにワークＷはワーク収納孔４内で略直立状態となる。
【００８３】
そして、ローラ６０ａが外部電極Ｗａの略中央位置である点Ｙに到達すると、テーブル基体２０の回転が停止する。このとき、外部電極Ｗｂは下側プローブ６１に当接している。ここで、上迷のように、外部電極Ｗａ及びＷｂの端面はワークＷの外側に向けて凸形に丸みをおびた形状になっているため、点Ｙにおけるローラ６０ａと外部電極Ｗａは、回転自在の円筒の外周面と外側に向けて凸形に丸みをおびた面によって当接するため、安定性に欠ける。同様に、点Ｚ２における下側プローブ６１と電極Ｗｂは、水平面と外側に向けて凸形に丸みをおびた面によって当接するため、安定性に欠ける。
【００８４】
そして、ローラ６０ａはテーブル基体２０の上面２０ｓｌに向けて付勢されているため、外部電極ｗａには点Ｙにおいて付勢力によりベクトルＪ２０で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｚ２においてベクトルＫ２０で示される垂直方向の押圧力極が発生する。
【００８５】
このように、押圧力が発生している状態で外部電極Ｗａ及びＷｂが安定性に欠けた状態で当接することにより、測定中のワークＷの姿勢が変動することがある。その場合は、ローラ６０ａとワークＷの外部電極Ｗａが電気的に十分接触できなかったり、下側プローブ６１と外部電極Ｗｂが電気的に十分接触できないことがあり、この場合は電気的特性の測定精度が低下する。
【００８６】
図２４の状態で電気的特性の測定を終了し、テーブル基体２０が間欺回転を開始した直後の様子を図２５に示す。図２４においてテーブル基体２０が矢印Ａの方向に回転を開始すると、ローラ６０ａの円筒形の外周面は外部電極Ｗａから離間してテーブル基体２０の上面２０ｓｌに向かう。このとき、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。
【００８７】
このときの図２５における領域Ｈ２の拡大図を図２９に示す。図２９において、ローラ６０ａはワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａに点Ｐ４で当接しながら、テーブル基体２０の上面２０ｓｌに向かう。このとき、ローラ６０ａの付勢力が外部電極Ｗａに及ぼす作用により、ワークＷの外部電極Ｗａ及びＷｂはそのテーブル基体２０の回転方向側が持ち上がり、ワークＷはワーク収納孔４内で傾斜姿勢となって固定される。そして、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓが点Ｑ４で当接する。このとき、ローラ６０ａの付勢力によって、外部電極Ｗａには点Ｐ４においてベクトルＪ３０で示される垂直方向の押圧力が発生し、同様に外部電極Ｗｂには点Ｑ４においてベクトルＫ３０で示される垂直方向の押圧力が発生する。ここで、点Ｐ４に対するローラ６０ａの当接面は回転自在の円筒の外周面であるため、この当接により外部電極Ｗａに生じる損傷は極めて小さい。
【００８８】
これに対して、点Ｑ４における外部電極Ｗｂの当接面はテーブルベース１の上面１ｓであり、テーブル基体２０は矢印Ａの方向に回転している。このため、ワーク収納孔４内に傾斜姿勢で固定されたワークＷの外部電極Ｗｂは、点Ｑ４においてベクトルＫ３０で示される垂直方向の押圧力をテーブルベース１の上面１ｓから受けた状態のまま、矢印Ａの方向に移動する。これによって、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓとの間に摩擦を生じ、この摩擦により外部電極Ｗｂに大きな損傷が発生する。
【００８９】
図２５の状態からテーブル基体２０がさらに回転すると、図２６に示すようにローラ６０ａは、ワーク収納孔４内のワークＷの外部電極Ｗａから離間して、矢印Ａ１の方向に回転しながらテーブル基体２０の上面２０ｓ１に当接した状態となる。ワークＷはローラ６０ａが離間することにより、ワーク収納孔４内で賂直立姿勢となり、図１における第２測定部７に向けて搬送される。
【００９０】
このように、比較例によるワーク測定装置においては、搬送テーブル２がテーブル基体極２０の１層よりなるため、ワーク収納孔４に収納されたワークＷが第１測定部６に到達してテーブル基体２０が停止する直前と、第１測定部６において測定を終了したワークＷを搬送するためにテーブル基体２０が回転を開姑した直後に、ワーク収納孔４内のワークＷがローラ６０ａから受ける押圧力によって、ワークＷの外部電極のうちテーブルベース１に当接する外部電極Ｗｂに大きな損傷が発生する。また、第１測定部６において搬送テーブル２が停止した状態でワークＷの電気的特性を測定する際に、ワークＷの姿勢が変動しやすく、そのためプローブとワークの外部電極の電気的接触が不十分となり、電気的特性の測定精度が低下する場合がある。
【００９１】
これに対して本発明によれば、上述のように、搬送テーブル２はテーブルベース１と反対側の第１層２ａと、テーブルベース側の第２層２ｂにより構成され、第１層２ａを貫通してワーク収納孔４を設けているので、ワーク収納孔４内のワークＷの他側外部電極Ｗｂがテーブルベース１に当接することはない。このため、搬送テーブル２がテーブルベース１上を回転している状態で第１のプローブ６０がワークＷの一側外部電極Ｗａに当接してワークに押圧力が働いても、ワークＷの他側外部電極Ｗｂとテーブルベース１との間に摩擦が働くことはなく、ワークＷの他側外部電極Ｗｂに大きな損傷が発生することはない。また、搬送テーブル２の第２層２ｂにワーク収納孔４に対応してスルーホール９が設けられているため、ワークＷの電気的特性測定の際に、ワークＷの他側外部電極Ｗｂがスルーホール９に当接してワークＷの姿勢が安定する。このため、測定中に第２のプローブ６１とワークＷの他側外部電極Ｗｂとの十分な電気的接触を確保することができる。
【００９２】
本発明の実施形態１、４、比較例におけるメッキ層の不良発生率を評価した。
メッキ層の不良発生率の評価方法として、基板にはんだ実装する際のフィレットの不合格率を基準に判断した。
【００９３】
（フィレット不合格率の評価）
基板上に対象サンプル１００個をはんだ実装し、個々の両端面におけるフィレットの這い上がり状態を確認する。このとき、各端面におけるフィレットの這い上がり高さが、外部電極の高さの１／２以下、かつ、フィレット窪みが幅方向で１／３以上ある物を不合格とみなし、それ以外を合格と判断した。
メッキ剥がれが生じると、はんだ実装時のフィレット形成が不十分となることが確認されていることから、フィレット不合格率を評価することからメッキ剥がれの有無を評価することができる。
比較例１では、フィレット不合格率３．２５％と高くなることが確認できた。これは、上述のように、外部電極Ｗｂとテーブルベース１の上面１ｓとの間に生じる摩擦によって、外部電極Ｗｂのメッキ層に大きく損傷が生じたためである。
実施形態１では、フィレット不合格率０．５０％となり、比較例に比べ大きく低減できることが確認できた。さらに、実施形態４ではフィレット不合格率が０％となり、メッキ剥がれに対して有効であることが確認できた。
【００９４】
金属メッキ層が形成されていない外部電極を用いた場合について本発明を適用した場合についても、外部電極の損傷に対して優位な効果が得られる。
【００９５】
特に、外部電極としてメッキ膜等の薄膜層で覆われた金属電極を用いる場合に本発明は有効である。その理由として、薄膜層自体がプローブやテーブルとの接触との摩擦に対して弱いことから、薄膜層で覆われていない金属電極だけの外部電極を有する電子部品の測定工程に用いる場合に比べより顕著な効果があらわれる。
【００９６】
本発明の２の実施の形態
次に本発明の第２の実施の形態を図１８に示す。図１８に示す第２の実施の形態は、図１における第１測定部６の上側プローブ６０の代わりに、弾性を有する導電体からなる平板形状の平板プローブ６２を配置したものである。他の構成は図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と略同一である。図１８に示す第２の実施の形態において、図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省賂する。 図１８において、平板プローブ６２は弾性を有するため、その作用により搬送テーブル２の第１層２ａの表面２ａｌに向けて付勢されており、ワークＷの外部電極Ｗａに当接する面は平面となっている。
【００９７】
本発明の３の実施の形態
本発明の第３の実施の形態を図１９に示す。図１９に示す第３の実施の形態は、図１８における平板プローブ６２がワークＷの外部電極Ｗａに当接する箇所の内側に、スルーホール９と同様のプローブ用貫通穴６２ａを設けたものである。他の構成は図１乃至図１７に示す第１の実施の形態と略同一である。図１９に示す第３の実施の形態において、図１乃至図１７に示す第１の実施の形態、および図１８に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省賂する。図１９に示すように、プローブ用貫通穴６２ａは、スルーホール９を構成する貫通穴９ａ及びプリントパターン９ｂが外部電極Ｗｂに及ぼす作用と同一の作用を外部電極Ｗａに及ぼすので、ワークＷの電気的特性を測定する際の平板プローブ６２と外部電極Ｗａの当接をさらに安定させることができる。
【００９８】
なお、上記各実施の形態において、ワーク測定装置１００は測定部として第１測定部６及び第２測定部７からなる２個の測定部を有しているが、測定部の数は２個に限定されるものではない。
また、上記各実施の形態において、搬送テーブル２の回転方向は時計まわりとなっているが、搬送テーブル２は、反時計まわりに回転してもよい。
【００９９】
また、上記各実施の形態において、排出部８における排出手段はテーブルベース１内を貫通して設けられた噴射ノズル８２を有するが、排出手段として、例えば搬送テーブル２の上方に設置された吸着ノズルを用い、この吸着ノズルによってワーク収納孔４内のワークＷを真空吸引により吸着してもよい。
【０１００】
また、上記各実施の形態においては、搬送テーブル２が水平に設置されているが、搬送テーブルを垂直に設置したり、あるいは傾斜して設置してもよい。
【０１０１】
上記各実施の形態ではセラミックコンデンサを例としたが、必ずしもセラミックコンデンサに限定されるものではなく、セラミックコンデンサ以外の電子部品、例えば積層インダクタ、抵抗素子、バリスタ、チップサーミスタ等の電子部品においても同様に適用可能である。例えばワークＷが抵抗素子の場合には、基体Ｗｘ内の電子素子は抵抗体からなり、プローブ６０、６１を外部電極Ｗａ及びＷｂに当接させて抵抗値を測定する。
【符号の説明】
【０１０２】
１ テーブルベース
２ 搬送テーブル
２ａ 第１層
２ｂ 第２層
３ 中心軸
４ ワーク収納孔
５ 供給部
６ 第１測定部
７ 第２測定部
８ 排出部
９ スルーホール
９ａ 貫通穴
９ｂ プリントパターン
２０ テーブル基体
６０ 上側プローブ
６０ａ ローラ
６０ｂ 車軸
６０ｃ アーム
６１ 下側プローブ
６２ 平板プローブ
６２ａ プローブ用貫通穴
１００ ワーク測定装置
Ｗ ワーク
Ｗａ 一側外部電極
Ｗｂ 他側外部電極
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一側外部電極および一側外部電極と反対側に位置する他側外部電極を有するワークを収納して搬送しながら、当該ワークの電気的特性を測定するワーク測定装置において、
テーブルベースと、
テーブルベース上に回転自在に設置され、テーブルベースと反対側の第１層と、テーブルベース側の第２層とを有する搬送テーブルとを備え、
第１層に第１層を貫通してワークを収納する複数のワーク収納孔が設けられ、
第２層に各ワーク収納孔に対応して、第２層を貫通して導電性スルーホールが設けられ、
ワーク収納孔に収納されたワークの一側外部電極は、ワーク収納孔の第１層側から露出するとともに、他側外部電極は第２層のスルーホールに当接し、
搬送テーブルの第１層側に、ワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接する第１のプローブを設け、テーブルベース内に第２層のスルーホールに当接する第２プローブを設けたことを特徴とするワーク測定装置。
【請求項２】
第１のプローブは搬送テーブルに向けて付勢された導電体を有することを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
【請求項３】
導電体は回転自在の円筒形状をもち、導電体の外周面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とする請求項２記載のワーク測定装置。
【請求項４】
導電体は平板形状をもち、導電体の一面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とする請求項２記載のワーク測定装置。
【請求項５】
導電体のうちワークの一側外部電極が当接する箇所の内側に、導電体を貫通する貫通穴を設けたことを特徴とする請求項４記載のワーク測定装置。
【請求項６】
対象ワークを収容し、搬送するワーク搬送テーブルであって、
複数のワーク収納孔が形成された第１層と、
第１層の設けられた前記複数のワーク収納孔に対応して、導電性スルーホールが形成された第２層と有し、
前記ワーク収納孔の直径は、前記スルーホールの直径より大きく、かつ、対象ワークの搬入方向に直交する断面積よりも大きく形成されており、
前記スルーホールの直径は、対象ワークの搬入方向に直交する断面積よりも小さく形成されており、
前記スルーホールの内壁に導体からなるプリントパターンが形成されていることを特徴とするワーク搬送テーブル。
【請求項７】
請求項１記載のワーク測定装置を用いたワーク測定方法において、
搬送テーブルの第１層に設けられた各ワーク収納孔にワークを個別に収納して、ワークの一側外部電極をワーク収納孔の第１層側から露出させるとともに、他側外部電極を第２層のスルーホールに当接させながら、ワークを搬送する工程と、
搬送テーブルの第１層側から第１のプローブをワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接させるとともに、テーブルベース内から第２のプローブを第２層のスルーホールに当接させてワークの電気的特性を測定することを特徴とするワーク測定方法。
【請求項８】
第１のプローブは搬送テーブルに向けて付勢された導電体を有することを特徴とする請求項７記載のワーク測定方法。
【請求項９】
導電体は回転自在の円筒形状をもち、導電体の外周面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とする請求項８記載のワーク測定方法。
【請求項１０】
導電体は平板形状をもち、導電体の一面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とする請求項８記載のワーク測定方法。
【請求項１１】
導電体のうちワークの一側外部電極が当接する箇所の内側に、導電体を貫通する貫通穴を設けたことを特徴とする請求項１０記載のワーク測定方法。
【請求項１２】
前記ワークは、略直方体形状であり、
前記ワークの対向する１対の端面に外部電極を有し、
前記外部電極の表面は金属薄膜で覆われていることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか記載のワーク測定方法。
【請求項１３】
請求項７記載のワーク測定方法を用いた電子部品の製造方法。
【請求項１】
一側外部電極および一側外部電極と反対側に位置する他側外部電極を有するワークを収納して搬送しながら、当該ワークの電気的特性を測定するワーク測定装置において、
テーブルベースと、
テーブルベース上に回転自在に設置され、テーブルベースと反対側の第１層と、テーブルベース側の第２層とを有する搬送テーブルとを備え、
第１層に第１層を貫通してワークを収納する複数のワーク収納孔が設けられ、
第２層に各ワーク収納孔に対応して、第２層を貫通して導電性スルーホールが設けられ、
ワーク収納孔に収納されたワークの一側外部電極は、ワーク収納孔の第１層側から露出するとともに、他側外部電極は第２層のスルーホールに当接し、
搬送テーブルの第１層側に、ワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接する第１のプローブを設け、テーブルベース内に第２層のスルーホールに当接する第２プローブを設けたことを特徴とするワーク測定装置。
【請求項２】
第１のプローブは搬送テーブルに向けて付勢された導電体を有することを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
【請求項３】
導電体は回転自在の円筒形状をもち、導電体の外周面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とする請求項２記載のワーク測定装置。
【請求項４】
導電体は平板形状をもち、導電体の一面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とする請求項２記載のワーク測定装置。
【請求項５】
導電体のうちワークの一側外部電極が当接する箇所の内側に、導電体を貫通する貫通穴を設けたことを特徴とする請求項４記載のワーク測定装置。
【請求項６】
対象ワークを収容し、搬送するワーク搬送テーブルであって、
複数のワーク収納孔が形成された第１層と、
第１層の設けられた前記複数のワーク収納孔に対応して、導電性スルーホールが形成された第２層と有し、
前記ワーク収納孔の直径は、前記スルーホールの直径より大きく、かつ、対象ワークの搬入方向に直交する断面積よりも大きく形成されており、
前記スルーホールの直径は、対象ワークの搬入方向に直交する断面積よりも小さく形成されており、
前記スルーホールの内壁に導体からなるプリントパターンが形成されていることを特徴とするワーク搬送テーブル。
【請求項７】
請求項１記載のワーク測定装置を用いたワーク測定方法において、
搬送テーブルの第１層に設けられた各ワーク収納孔にワークを個別に収納して、ワークの一側外部電極をワーク収納孔の第１層側から露出させるとともに、他側外部電極を第２層のスルーホールに当接させながら、ワークを搬送する工程と、
搬送テーブルの第１層側から第１のプローブをワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接させるとともに、テーブルベース内から第２のプローブを第２層のスルーホールに当接させてワークの電気的特性を測定することを特徴とするワーク測定方法。
【請求項８】
第１のプローブは搬送テーブルに向けて付勢された導電体を有することを特徴とする請求項７記載のワーク測定方法。
【請求項９】
導電体は回転自在の円筒形状をもち、導電体の外周面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とする請求項８記載のワーク測定方法。
【請求項１０】
導電体は平板形状をもち、導電体の一面がワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接することを特徴とする請求項８記載のワーク測定方法。
【請求項１１】
導電体のうちワークの一側外部電極が当接する箇所の内側に、導電体を貫通する貫通穴を設けたことを特徴とする請求項１０記載のワーク測定方法。
【請求項１２】
前記ワークは、略直方体形状であり、
前記ワークの対向する１対の端面に外部電極を有し、
前記外部電極の表面は金属薄膜で覆われていることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか記載のワーク測定方法。
【請求項１３】
請求項７記載のワーク測定方法を用いた電子部品の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【公開番号】特開２０１３−５３９３６（Ｐ２０１３−５３９３６Ａ）
【公開日】平成２５年３月２１日（２０１３．３．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１９２５５１（Ｐ２０１１−１９２５５１）
【出願日】平成２３年９月５日（２０１１．９．５）
【出願人】（５９１００９７０５）株式会社 東京ウエルズ (47)
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月２１日（２０１３．３．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月５日（２０１１．９．５）
【出願人】（５９１００９７０５）株式会社 東京ウエルズ (47)
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
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