一時保管棚装置
【課題】天井付近に敷設された軌道を走行して収納容器を搬送するＯＨＴにおいて用いられる収納容器を一時的に保管する一時保管棚装置であって、収納容器の識別情報の目視確認や、保管棚からの収納容器の摘出を容易に実行できる一時保管棚装置を提供する。
【解決手段】天井付近に敷設された軌道に沿って走行する懸垂式昇降搬送装置により搬送される被搬送物を一時的に保管し、軌道に沿った位置に設置される一時保管棚装置であって、被搬送物を載置する棚手段と、被搬送物を載置した状態で棚手段を昇降させる昇降手段と、を有する。
【解決手段】天井付近に敷設された軌道に沿って走行する懸垂式昇降搬送装置により搬送される被搬送物を一時的に保管し、軌道に沿った位置に設置される一時保管棚装置であって、被搬送物を載置する棚手段と、被搬送物を載置した状態で棚手段を昇降させる昇降手段と、を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、所定間隔を有して一定枚数のウエハを多段に収納したＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の収納容器である被搬送物を、天井部に敷設した走行レールに沿って走行する懸垂式昇降搬送装置（以下、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒ ｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）とする）を用いて、各種処理を行うステーション間で収納容器を移送する技術に関し、特に、前記収納容器を各処理ステーションに効率よく搬送させるための一時保管棚装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えばウエハ等の基板の各種処理（薄膜形成、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、検査等）を、一連の処理ステーションで実行するため、一連の処理ステーション間を接続する工程内環状軌道をクリーンルーム内に設置し、工程内環状軌道に沿って処理ステーション間を移動するＯＨＴを用い、基板を収納した収納容器を処理ステーション間で搬送することにより、基板に対する処理ステーションでの各種処理を実行している。
【０００３】
基板を収容する収納容器にはタグが付けられており、タグにはウエハ等の基板の処理工程に関する情報が記録されており、このタグの内容は基板処理工程の進行に従い逐次更新される。
基板処理工程を管理する管理コンピュータは、収納容器に付されたタグの情報に基づき、収納容器を管理し、ＯＨＴを用いて収納容器を複数の処理ステーションの間で移送し、収納容器についての各処理を各処理ステーションにて実行する。
また、収納容器は、収納容器が収容している基板を気密状態に保っている。処理ステーションにおいては、処理ステーションにある処理装置のポートに収納容器がＯＨＴにより搬送され、処理ステーションのロボットが、収納容器の扉を開閉し、収納容器内の基板を一枚ずつ挿脱し、挿脱した基板に対して処理ステーションでの処理を実行する。
【０００４】
ところで、各処理ステーションにおける基板の処理において、半導体基板はＦＯＵＰに収納され搬送装置により処理装置間を移送され、処理装置に固有の処理を受ける。しかし、このとき受ける処理装置の処理時間は装置毎に異なるため通常、半導体基板は次工程の処理を受けるまでに待ち時間が発生する。従来この待ち時間調整のため半導体基板は、ＦＯＵＰに収納された状態で一旦ストッカに格納保管され、次工程の処理を受けられる状況になったとき再度、搬送装置によりストッカから搬出され、次工程の処理を受ける装置まで搬送されていた。
【０００５】
しかし、このようなストッカに格納保管する方式では、ストッカへの入出庫に多大の時間が掛かり、生産工程が遅れ、生産性向上を図る上での障害となっていた。
かかる課題の解消策として、近年ストッカ程の収納能力は無いが、次工程までの待ち時間が短い短時間保管用装置として、搬送軌道に隣接して設置する簡易収納装置が使用されるようになった。
このような技術に例えば特許文献１がある。特許文献１においては、ＦＯＵＰに収納された半導体基板は、ストレージラック部材に格納保管される。なお、ストレージラック部材は、天井付近の高い位置にある。
【特許文献１】特許第３０６７６５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ストッカ内または特許文献１に示すストレージラック部材内の収納物は半導体製造などに使用されるウエハであり、煩雑な処理プロセスを経て完成されるものであるので、製造途中で、人が直接に、緊急に収納容器の識別確認や摘出が必要となる事態が起こる。
また、停電や事故でシステムがダウンし、ストッカ内または特許文献１に示すストレージラック部材内に収納されたＦＯＵＰの識別情報を人が確認せねばならない事態や、緊急にあるＦＯＵＰをストッカ内から摘出しなければならない事態なども生じうる。
このような場合においても、ストッカである場合においては、人間でしか対応できない状況に至っても保守点検用の梯子、通路が設備されており、想定内の問題として処理できる。
しかしながら、特許文献１に示すワーク搬送システムにあっては、ストレージラック部材が、天井付近の高い位置にあるため、保管されているワークの状況を人は容易に目視確認することが出来ないという問題がある。
【０００７】
また、特許文献１に示すワーク搬送システムにあっては、人がワークの識別情報を目視確認する場合や、ストレージラックから摘出する場合には、例えば、天井走行車を用いマニュアル操作で、ワークを１つずつ地上に降ろすか又は、梯子などを用い人がワークに接近し識別情報を読み取る、或いはワークを摘出し地上に降ろすなどの作業が必要となる。しかしながら、このように、天井走行車を用いワークを１つずつ地上に降ろす方式では、この作業期間中生産ラインの操業を停止させることになり、また、梯子などを用いる方法にあっては、高所作業となり安全上の問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、天井付近に敷設された軌道を走行して収納容器を搬送するＯＨＴにおいて用いられる収納容器を一時的に保管する一時保管棚装置であって、収納容器の識別情報の目視確認や、保管棚からの収納容器の摘出を容易に実行できる一時保管棚装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、天井付近に敷設された軌道に沿って走行する懸垂式昇降搬送装置により搬送される被搬送物を一時的に保管し、前記軌道に沿った位置に設置される一時保管棚装置であって、前記被搬送物が載置される棚手段と、前記被搬送物が載置された状態で前記棚手段を昇降させる昇降手段と、を有することを特徴とする一時保管棚装置である。
【００１０】
この請求項１に係る発明によれば、収納容器の一時保管機能を有する棚手段（被搬送物載置部材）が昇降できる構成によって、棚手段上の収納容器の状況確認に際しては、ＯＨＴを稼動させることなく棚手段を降下させることによって、床面にいる作業者が、梯子を登るなど危険作業を伴うことなく安全に収納容器の確認あるいは一時持ち出しを行うことができる。従って、ＯＨＴの稼動効率の上昇及び収納容器の荷役の効率が上昇する効果、また、収納容器の状況確認等の効率が上昇する効果が得られる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、前記棚手段を下面より支持する受け手段と、前記受け手段と前記棚手段とが被搬送物の一時保管として用いられるときは、前記受け手段と前記棚手段とが互いに鉛直方向に重なり合う支持位置にあり、前記棚手段の昇降のときには、前記棚手段と前記受け手段とが互いに鉛直方向において重なり合わない解除位置にあるように、前記棚手段と前記受け手段との内の少なくとも何れか一方を移動させる支持位置調整手段と、を有することを特徴とする請求項１に記載の一時保管棚装置である。
【００１２】
この請求項２に係る発明によれば、棚手段が収納容器に一時保管のため上部に位置している場合においては、受け部材が棚手段を確実に支持し、誤操作に伴う棚手段の降下を防止できる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、前記昇降手段および前記支持位置調整手段が、それぞれ手動ハンドル手段を有しており、前記それぞれの手動ハンドル手段の駆動により、前記昇降手段が前記棚手段を昇降させ、前記支持位置調整手段が前記支持位置と前記解除位置との間で前記受け手段を移動させる、ことを特徴とする請求項２に記載の一時保管棚装置である。
この請求項３に係る発明によれば、生産ラインを停止させることなく、また停電時においても棚手段上に載置されている収納容器の状況確認を行うことができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、前記被搬送物がウエハを挿脱可能に収納する収納容器である、ことを特徴とする請求項１から請求項３に記載の一時保管棚装置である。
この請求項４に係る発明によれば、一時保管棚装置の棚手段上に載置される収納容器内の収納物は半導体製造などに使用されるウエハであり、煩雑な処理プロセスを経て完成されるものであるので、製造途中で緊急に収納容器の識別確認や摘出が必要となる事態が起こり易く、手動で収納容器を地上まで降下できる実利は大である。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、棚装置の被搬送物載置部材が昇降できる構成によって、棚装置が収納容器の一時保管棚として作用し、また、棚装置の被搬送物載置部材上の収納容器の状況確認に際しては、ＯＨＴを稼動させることなく被搬送物載置部材を降下させることによって地上にいる作業者による収納容器の確認あるいは一時持ち出しを行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
まず、本発明の実施の形態に関連する図面の概要を説明する。図１は本発明に適用されるＯＨＴとこのＯＨＴによって荷役される収納容器との関係を示す構成図であり、図２はＯＨＴの工程内循環経路の周辺構成の概略図であり、図３は本発明に係る保管棚装置の概略図であり、図４は本発明の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構不動作時の構成図であり、図５は本発明の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構動作開始前の構成図であり、図６は本発明の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構動作完了時の構成図である。
【００１７】
次に、本発明に適用されるＯＨＴの構成と、このＯＨＴによって荷役される収納容器との関係について、図１を用いて説明する。
図１において、１はＯＨＴであり、ＯＨＴ１は、所定の軌道に沿って天井に敷設された工程内循環経路を形成する走行レール２に、ＯＨＴ１の案内駆動部３を介して吊り下げられている。
案内駆動部３は、図示しない走行輪と案内輪を有しており、案内駆動部３が走行輪と案内輪とにより走行レール２に規制されて走行することにより、ＯＨＴ１も走行レール２に規制されて走行する。つまり、ＯＨＴ１は、走行レール２の長手方向（図１の矢印Ｂの方向）に走行する。
なお、ＯＨＴ１が走行レール２に規制されて走行する時に必要な動力は、ＯＨＴ１の走行輪に駆動モータを備えること、或いは、走行レール２側とＯＨＴ１側とに夫々２次側と１次側を設ける直流リニアモータを備えること、等の周知の手段によって得るようにしてもよい。
【００１８】
ＯＨＴ１は、案内駆動部３の下部に、位置合せ機構４を有している。位置合せ機構４は、後述する収納容器を、走行レール２の長手方向と垂直に直交する方向（図１において、図１の紙面と垂直な方向）、及び、鉛直方向（図１の矢印Ａの方向）を中心軸とした回転方向、に調整する機能を有する。
ＯＨＴ１は、位置合せ機構４の下部に昇降機構６を有しており、昇降機構６はその下部に、タイミングベルト５を介して、ハンド部７を牽引可能に接続している。
タイミングベルト５は、４つのタイミングベルトからなり、昇降機構６の、走行レール２の長手方向の所定の２箇所であり、かつ、走行レール２の長手方向と垂直に直行する方向の所定の２箇所である、合計４箇所から伸び、ハンド部７へ接続される。
【００１９】
このように、昇降機構６とハンド部７とは４つのタイミングベルト５により接続され、昇降機構６によりタイミングベルト５が伸縮自在に制御されることにより、ハンド部７が鉛直方向（図１の矢印Ａの方向）に昇降させるように構成される。なお、このタイミングベルト５は、内部にハンド部７への電力供給、及び制御信号の授受用の電線（図示せず）を埋設している。
なお、昇降機構６とハンド部７とは４つのタイミングベルト５により牽引可能に接続されることに限定されるものではなく、昇降機構６とハンド部７とは、任意の数のタイミングベルト５により牽引可能に接続されてもよい。
【００２０】
次に、ハンド部７は、ハンド部７の底部に、走行レール２の長手方向に互いに向かい合う（つまり、対応する）、２つのグリッパ部材７ａを有している。２つの対応するグリッパ部材７ａは、走行レール２の長手方向に沿って、互いに逆方向に変位する。なお、ハンド部７のグリッパ部材７ａが変位することにより、グリッパ部材７ａは後述の収納容器８の把持又は解除を行う。
収納容器８は、ウエハなどの基板を収納する収納容器本体部分８ａと、収納容器本体部分８ａの上部に設けられ、前記グリッパ部材７ａによって把持又はその解除を受けるフランジ部８ｂとから構成される。
【００２１】
次に、工程内環状経路に沿って配置される各種施設を上方から見た平面視概略構成を、図２を用いて説明する。なお、工程内環状経路は、図１において説明した、天井部に支持された走行レール２により、形成されるものである。また、図１に説明したＯＨＴおよび収納容器８は、走行レール２つまり工程内環状経路に沿って移動する。
図２において、１２はそれぞれ処理ステーションであり、工程内環状経路（走行レール２）に沿って配置されており、前記収納容器８に収納されるウエハなどの基盤に対して洗浄、エッチング、ＣＶＤほか多数の処理の何れかを司り、工程内環状経路の所定箇所に設置される。なお、各処理ステーション１２は、ＯＨＴ１によって搬送および昇降制御を受ける収納容器８用の搬入および搬出するためのポートを備えている。
【００２２】
１３、１４、１５は分岐軌道１１の直下に設けられた一時保管棚装置であり、処理ステーションへの待機領域として、収納容器８を一時的に保管し、分岐軌道１１や工程内環状経路（図２には図示されていない）に沿って配置される。
一時保管棚装置１３、１４、１５は、前記各処理ステーション１２の近傍であって、各処理ステーション１２の鉛直方向において上方位置であり、ほぼ走行レール２の高さにあり、走行レール２または天井より縣吊されている。
そして、この一時保管棚装置１３、１４、１５は、処理ステーション１２における収納容器８内に挿脱自在に収納されているウエハを迅速に処理するために、処理ステーション１２の近傍に設置される。
また、一時保管棚装置１３、１４、１５は、処理ステーション１２での処理のために、収納容器８を一時保管する場合においては、工程内環状経路の経路において、少なくとも処理ステーション１２における処理待ち側に設けられる。
【００２３】
なお、一時保管棚装置１３、１４、１５は、それぞれ同様な構成をしている。次に、一時保管棚装置１３を例として、一時保管棚装置１３の構成および作用を、図３から図６を用いて説明する。
図３は、一時保管棚装置１３と走行レール２とＯＨＴ１とを、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向から見た図である。また、図４から図６は、一時保管棚装置１３と走行レール２とＯＨＴ１とを、走行レール２の長手方向から見た図である。なお、図３から図６において、図１の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。
【００２４】
図３において、天井Ｔと、走行レール２とＯＨＴ１が示してあり、ＯＨＴ１は走行レール２に沿って走行レール２の長手方向に移動可能である。天井Ｔは水平方向に面状である。走行レール２は、天井Ｔに吊り下げられて敷設されている。また図３においては、ＯＨＴ１が搬送している収納容器８が、ＯＨＴ１の内部に波線で示してある。
【００２５】
一時保管棚装置１３は、複数の収納容器８を被搬送物載置部材１３ａの上に載置して保管する。被搬送物載置部材１３ａは水平方向に配置される板状の部材である。図３に示すように、一時保管棚装置１３は、走行レール２の長手方向に、所定の間隔を有して一列に並んだ状態にて被搬送物載置部材１３ａの上に複数の収納容器８を一時保管する。
被搬送物載置部材１３ａは、２つの対を成す支持部材１３ｂにより支持される。図３に示すように、被搬送物載置部材１３ａの走行レール２の長手方向の両端付近の２箇所のそれぞれが、対となる支持部材１３ｂの下端部のそれぞれに接続される。また、それぞれの支持部材１３ｂの上端部は天井Ｔに固定して設置される。
【００２６】
なお、それぞれの支持部材１３ｂは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向（図３において、紙面に垂直な方向）から見て板状の部材である。また、図４に示すように、被搬送物載置部材１３ａと支持部材１３ｂとは、Ｌ字型を形成して接続される。
なお、被搬送物載置部材１３ａは走行レール２の鉛直下方に水平に位置するように配置され、支持部材１３ｂは被搬送物載置部材１３ａに垂直に上側に接続され、被搬送物載置部材１３ａと支持部材１３ｂとは、走行レール２の長手方向から見て、Ｌ字型を形成して接続される。
なお、支持部材１３ｂは、後に図４から図６を用いて説明するように、被搬送物載置部材１３ａを鉛直方向（図３の矢印Ａの方向）に昇降する機構を有する。
【００２７】
被搬送物載置部材１３ａは、その下面を、受け部材１３ｃにより支持される。受け部材１３ｃは、図４で後述する機構によって、高さを不変に維持しつつ走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に変位できるように構成されている。
受け部材１３ｃは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で被搬送物載置部材１３ａに下面を支持する位置（支持位置とする）においては、何らかの誤動作によって当該被搬送物載置部材１３ａの降下を防止すべく被搬送物載置部材１３ａを支持し、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で被搬送物載置部材１３ａの下面を支持せず解除した位置（解除位置とする）においては、被搬送物載置部材１３ａが支持部材１３ｂにより自由に昇降することを許容する。受け部材１３ｃの機構については、図４から図６を用いて詳述する。
【００２８】
次に、支持部材１３ｂ及び、受け部材１３ｃの構成の詳細を、図４から図６を用いて説明する。
図４に示すように、支持部材１３ｂは、平板状の支持用基材１３ｂｘと、対となるスライド板群１３ｂｙとから構成される。対となるスライド板群１３ｂｙは、支持用基材１３ｂｘを両側から対として挟み、順次外側に平面接触する摺動自在である。
支持用基材１３ｂｘの下端部は、走行レール２の長手方向から見て、被搬送物載置部材１３ａとＬ字型を形成するように接続され、スライド板群１３ｂｙの最も外側に位置する２枚のスライド板の上端部はそれぞれ天井の所定位置に固定設置される。
【００２９】
つまり、平板状の支持用基材１３ｂｘの両面が、スライド板群１３ｂｙを形成する最も内側の対を成す２つの板部材のそれぞれの内面と鉛直方向に摺動自在に平面接触し、次に、スライド板群１３ｂｙを形成する最も内側の対を成す２つの板部材のそれぞれの外面が、スライド板群１３ｂｙを形成する２番目に内側の対を成す２つの板部材のそれぞれの内面と鉛直方向に摺動自在に平面接触する。以下順次、スライド板群１３ｂｙを形成する対を成す板部材が、鉛直方向に摺動自在に平面接触されている。
【００３０】
このような支持部材１３ｂの構成により、支持部材１３ｂは、スライド板群１３ｂｙの最も外側に位置する対を成す２枚のスライド板の上端部はそれぞれ天井の所定位置に固定設置したまま、スライド板群１３ｂｙを構成するスライド板が鉛直方向に摺動自在に変位することにより、被搬送物載置部材１３ａが鉛直方向（図４の矢印Ａの方向）に移動可能となる。
なお、スライド板群１３ｂｙは平板状体郡に限られるものではなく、筒状体郡であってもよい。
【００３１】
前記支持用基材１３ｂｘの下端部には、取手１３ｃｘが付けられている。取手１３ｃｘに、人が図示しないフックを掛け、フックにより取手１３ｃｘを鉛直方向の下方に引き下ろすことにより、支持用基材１３ｂｘを下方に引き下ろし、被搬送物載置部材１３ａを下方に変位させる。このとき、スライド板群１３ｂｙは、図４または図５の状態から図６に示すように、鉛直方向に伸張する。
【００３２】
前記支持用基材１３ｂｘの下端部には、ワイヤー１３ｅの遊端部が固定接続される。ワイヤー１３ｅは、滑車１３ｄｚと滑車１３ｄｙを介して、リール１３ｄに繰り出しと巻取可能に収容される。リール１３ｄは、図示しない固定部の適所に固定支持されている。
また、リール１３ｄはワイヤー１３ｅの繰り出しと巻取りを行うための、第１のハンドル１３ｄｘを有している。第１のハンドル１３ｄｘを回転する操作により、ワイヤー１３ｅの繰り出しと巻取りを行うことが可能である。
【００３３】
走行レール２の長手方向から見てＬ字型である平板状の部材である受け部材１３ｃの上端部は、可動部材１３ｆの下端部に固定される。
可動部材１３ｆの上部には、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に沿ってラック１３ｆｘが形成されている。
また、可動部材１３ｆは、走行用ホイール１３ｆｙを複数有している。走行用ホイール１３ｆｙは、走行レール２の長手方向に伸びる中心軸部材により、可動部材１３ｆに固定されており、走行レール２の長手方向に伸びる中心軸部材を中心に自由に回転可能である。
また、走行用ホイール１３ｆｙは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に伸びるレール１３ｇ上で回転することにより、可動部材１３ｆはレール１３ｇに沿って、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向（図４の矢印Ｃで示す方向）に、移動可能である。
レール１３ｇは、可動部材１３ｆの走行用ホイール１３ｆｙを、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に案内するように、天井または側壁などに基づき水平に固定されて設置されている。
【００３４】
固定部材１３ｈは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に、固定部材１３ｈの長手方向を向けて天井付近の上部であり、後述の固定部材１３ｈに取り付けられる
ピニオン１３ｈｚが、可動部材１３ｆのラック１３ｆｘと係合する位置に固定支持される部材である。
固定部材１３ｈの、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向において支持部材１３ｂから遠い側の端部には、一対のスプロケット１３ｈｘが、回転自在に設置される。一対のスプロケット１３ｈｘは、走行レール２の長手方向の中心軸部材を中心として回転自在である。また、一対のスプロケット１３ｈｘにおいて、スプロケットの一方が動力を受け、スプロケットの他方が動力を供給する。また、一対のスプロケット１３ｈｘは、互いに同期して回転動作を行う。
【００３５】
また、固定部材１３ｈの、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向において支持部材１３ｂから近い側の端部には、ピニオン１３ｈｙが、またピニオン１３ｈｙと対向する可動部材１３ｆの上面にはラック１３ｆｘが設けられる。スプロケット１３ｈｘとピニオン１３ｈｙとは、夫々同期して回転自在に支持されており、ピニオン１３ｈｙは前記ラック１３ｆｘと係合している。
【００３６】
一対のスプロケット１３ｈｘ、１３ｈｘは、第１の環状チェーン１３ｉにより連結されている。
また、前記リール１３ｄと並んだ位置であって、支持部材１３ｂとは受け部材１３ｃについて反対側の適所に、スプロケット１３ｊが回転可能に固定支持され設置されている。
一対のスプロケット１３ｈｘのうちの一方と、スプロケット１３ｊとは、第２の環状チェーン１３ｋで連結されており、第２の環状チェーン１３ｋにより、スプロケット１３ｊの動力が一対のスプロケット１３ｈｘのうちの動力受動側のスプロケットへ伝達できるように係合している。
このスプロケット１３ｊは第２のハンドル１３ｊｘを有しており、第２のハンドル１３ｊｘの回転操作によって、スプロケット１３ｊも回転する。
【００３７】
次に図４〜図６を用いて、図３および図４に示した本発明による一時保管棚装置の作用について、次のステップを用いて、説明する。
【００３８】
ステップ１：
まず、図４に示すように、受け部材１３ｃが支持位置（図４のＣ１の位置）にあり、被搬送物載置部材１３ａが受け部材１３ｃによって支持されている状態においては、前記被搬送物載置部材１３ａには、収納容器８が順次ＯＨＴ１にて搬送され、処理ステーション１１（図２を参照）における処理のために収納容器８が待機状態におれる。なお、複数の収納容器８は、ＯＨＴ１の走行方向に沿って一列に配置される。
なお、この状態において、被搬送物載置部材１３ａは、鉛直方向において、載置位置Ａ１（図４のＡ１の位置）にある。
なお、被搬送物載置部材１３ａが載置位置Ａ１にある場合おいては、ＯＨＴ１による被搬送物載置部材１３ａ上における収納容器８の搬入および搬出が行われ、ＯＨＴ１は収納容器８を把持した状態において被搬送物載置部材１３ａの上方部の空間を通過できる。
【００３９】
ステップ２：
被搬送物載置部材１３ａ上にある収納容器８の状況確認のため、先ず、受け部材１３ｃを、図４の支持位置（図４のＣ１の位置）から、図５の解除位置（図５のＣ２の位置）に、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に、支持部材１３ｂから遠ざかる方向に移行させる。
ここでは、第２のハンドル１３ｊｘを一方の方向（例えば、左回転の方向）に回転させる。これにより、第２の環状チェーン１３ｋ、一対のスプロケット１３ｈｘ、及び第１の環状チェーン１３ｉを順次介して、動力がピニオン１３ｈｙに伝達され、このピニオン１３ｈｙの回転に伴って、当該ピニオン１３ｈｙに噛み合う（つまり、係合する）ラック１３ｆｘが、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で、支持部材１３ｂから遠ざかる方向に送られる。
【００４０】
したがって、ラック１３ｆｘと一体となっている可動部材１３ｆも、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で、支持部材１３ｂから遠ざかる方向に移動し、可動部材１３ｆとともに、これと一体的に固定される受け部材１３ｃも図５に示すように、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で、支持部材１３ｂから遠ざかる方向に移行し、受け部材１３ｃが解除位置Ｃ２まで移動し、受け部材１３ｃが被搬送物載置部材１３ａを支持する状態が解かれる、
【００４１】
ステップ３：
図５の状態において、取手１３ｃｘを図示しないフックにて下方に引っ張ることによりリール１３ｄからワイヤー１３ｅを繰出し、支持部材１３ｂの支持用基材１３ｂｘが下方に引き出され、これに伴いスライド板群１３ｂｙが順次引き出され、図６の状態の、被搬送物載置部材１３ａが下方の位置である確認位置Ａ２（図６のＡ２の位置）にある状態になる。
これによって、被搬送物載置部材１３ａに載置される収納容器８の状況確認ができる高さ位置まで降下し、次に、検査を行う人が収納容器８についての必要な確認を行う。
【００４２】
ステップ４：
被搬送物載置部材１３ａ上にある収納容器８群の状況確認終了後、第１のハンドル１３ｄｘを一方の方向（例えば、左回りの方向）に回転させると、ワイヤー１３ｅがリール１３ｄに巻き取られ、支持部材１３ｂの支持用基材１３ｂｘ及びスライド板群１３ｂｙが図５の状態に縮退し、被搬送物載置部材１３ａが載置位置Ａ１に戻る。
【００４３】
ステップ５：
図５の状態において、第２のハンドル１３ｊｘをステップ２とは逆の一方の方向（例えば、右回転の方向）に回転させることにより、前記ステップ２とは反対方向にピニオン１３ｈｘが回転し、ステップ２とは逆の動作が生じ、可動部材１３ｆと可動部材１３ｆに一体的に固定されている受け部材１３ｃとは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で、支持部材１３ｂに近づく方向に移動し、受け部材１３ｃは支持位置（Ｃ１）まで移動する。つまり、図４の状態にもどり、一時保管棚装置１３は、通常の一時保管棚として機能する。
【００４４】
なお、上記説明においては、受け部材１３ｃと支持部材１３ｂとの走行レール２の長手方向と水平に直交する方向における相対位置の変化を、受け部材１３ｃの位置を支持位置Ｃ１と解除位置Ｃ２とに変化させる具体例を述べたが、これに限られるものではなく、例えば、支持部材１３ｂおよび被搬送物載置部材１３ａ側に、同様な、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向での可動機構を設けるように構成することもできる。
また、受け部材１３ｃ側及び支持部材１３ｂ側の両者に可動機構を設けることも可能である。
【００４５】
また、上記説明においては、受け部材１３ｃを走行レール２の長手方向と水平に直交する方向において移動し、支持位置と解除位置との位置を変えることにより、受け部材１３ｃが被搬送物載置部材１３ａを支持または解除するようにしたが、受け部材１３ｃの移動の方向は、これに限られるものではない。
例えば、受け部材１３ｃを走行レール２の長手方向において移動し、被搬送物載置部材１３ａを支持または解除する位置になるようにしてもよい。
また、受け部材１３ｃを動かす方向は、走行レール２の長手方向、または、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に限られるものではなく、走行レール２の長手方向に対して任意の角度に変位させてもよい。
【００４６】
つまり、受け部材１３ｃは、被搬送物載置部材１３ａを支持するような位置と解除するような位置との間を、変位可能であれば、どのように変位してもよい。
ただし、被搬送物載置部材１３ａが何らかの問題により落下することを防止する目的のために、受け部材１３ｃは水平方向にのみ移動可能であり、受け部材１３ｃが垂直方向には移動しないようにし、受け部材１３ｃが被搬送物載置部材１３ａを支持している状態においては、受け部材１３ｃにより被搬送物載置部材１３ａが鉛直方向に垂直に落下しないように出来ることが望ましい。
【００４７】
なお、受け部材１３ｃが被搬送物載置部材１３ａを支持するような位置（支持位置Ｃ１）と解除するような位置（解除位置Ｃ２）とは、受け部材１３ｃと被搬送物載置部材１３ａとが、鉛直方向において重なり合う位置と重なり合わない位置である。
【００４８】
なお、図４に開示の取手１３ｃｘを設けることなく、第１のハンドル１３ｄｘを、ワイヤー１３ｅが繰出される方向に回動させるようにしてもよい。
なお、第１のハンドル１３ｄｘおよび第２のハンドル１３ｊｘは、手動ハンドルであることより、例えば、停電時においても被搬送物載置部材１３ａに載置されている収納容器８の確認ができる。
【００４９】
なお、本発明の説明においては、ＦＯＵＰ等である収納容器を一時的に保管する一時保管棚装置について説明したが、本発明は任意の被搬送物を保管する一時保管棚装置について適応可能である。
【００５０】
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、ＯＨＴを用いた工程内循環経路における一時保管棚装置に用いて好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に適用されるＯＨＴとこの台車によって荷役される収納容器との関係を示す構成図である。
【図２】ＯＨＴの工程内循環経路の周辺構成の概略図である。
【図３】この発明の一実施形態による保管棚装置の構成図である。
【図４】図３の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構の不動作時の構成図である。
【図５】図３の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構の動作開始前の構成図である。
【図６】図３の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構の動作完了状態の構成図である。
【符号の説明】
【００５３】
１ ＯＨＴ
２ 走行レール
３ 案内駆動部
４ 位置合せ機構
５ タイミングベルト
６ 昇降機構
７ ハンド部
７ａ グリッパ部材
８ 収納容器
８ａ 収納容器本体部分
８ｂ フランジ部
１１ 分岐軌道
１２ 処理ステーション
１３、１４、１５ 一時保管棚装置
１３ａ 被搬送物載置部材
１３ｂ 支持部材
１３ｃ 受け部材
１３ｂｘ 支持用基材
１３ｂｙ スライド板群
１３ｃｘ 取手
１３ｅ ワイヤー
１３ｄｚ、１３ｄｙ 滑車
１３ｄ リール
１３ｄｘ 第１のハンドル
１３ｆ 可動部材
１３ｆｘ ラック
１３ｆｙ 走行用ホイール
１３ｇ レール
１３ｈ 固定部材
１３ｈｘ 一対のスプロケット
１３ｊ スプロケット
１３ｈｙ ピニオン
１３ｉ 第１の環状チェーン
１３ｋ 第２の環状チェーン
１３ｊｘ 第２のハンドル
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、所定間隔を有して一定枚数のウエハを多段に収納したＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の収納容器である被搬送物を、天井部に敷設した走行レールに沿って走行する懸垂式昇降搬送装置（以下、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒ ｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）とする）を用いて、各種処理を行うステーション間で収納容器を移送する技術に関し、特に、前記収納容器を各処理ステーションに効率よく搬送させるための一時保管棚装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えばウエハ等の基板の各種処理（薄膜形成、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、検査等）を、一連の処理ステーションで実行するため、一連の処理ステーション間を接続する工程内環状軌道をクリーンルーム内に設置し、工程内環状軌道に沿って処理ステーション間を移動するＯＨＴを用い、基板を収納した収納容器を処理ステーション間で搬送することにより、基板に対する処理ステーションでの各種処理を実行している。
【０００３】
基板を収容する収納容器にはタグが付けられており、タグにはウエハ等の基板の処理工程に関する情報が記録されており、このタグの内容は基板処理工程の進行に従い逐次更新される。
基板処理工程を管理する管理コンピュータは、収納容器に付されたタグの情報に基づき、収納容器を管理し、ＯＨＴを用いて収納容器を複数の処理ステーションの間で移送し、収納容器についての各処理を各処理ステーションにて実行する。
また、収納容器は、収納容器が収容している基板を気密状態に保っている。処理ステーションにおいては、処理ステーションにある処理装置のポートに収納容器がＯＨＴにより搬送され、処理ステーションのロボットが、収納容器の扉を開閉し、収納容器内の基板を一枚ずつ挿脱し、挿脱した基板に対して処理ステーションでの処理を実行する。
【０００４】
ところで、各処理ステーションにおける基板の処理において、半導体基板はＦＯＵＰに収納され搬送装置により処理装置間を移送され、処理装置に固有の処理を受ける。しかし、このとき受ける処理装置の処理時間は装置毎に異なるため通常、半導体基板は次工程の処理を受けるまでに待ち時間が発生する。従来この待ち時間調整のため半導体基板は、ＦＯＵＰに収納された状態で一旦ストッカに格納保管され、次工程の処理を受けられる状況になったとき再度、搬送装置によりストッカから搬出され、次工程の処理を受ける装置まで搬送されていた。
【０００５】
しかし、このようなストッカに格納保管する方式では、ストッカへの入出庫に多大の時間が掛かり、生産工程が遅れ、生産性向上を図る上での障害となっていた。
かかる課題の解消策として、近年ストッカ程の収納能力は無いが、次工程までの待ち時間が短い短時間保管用装置として、搬送軌道に隣接して設置する簡易収納装置が使用されるようになった。
このような技術に例えば特許文献１がある。特許文献１においては、ＦＯＵＰに収納された半導体基板は、ストレージラック部材に格納保管される。なお、ストレージラック部材は、天井付近の高い位置にある。
【特許文献１】特許第３０６７６５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ストッカ内または特許文献１に示すストレージラック部材内の収納物は半導体製造などに使用されるウエハであり、煩雑な処理プロセスを経て完成されるものであるので、製造途中で、人が直接に、緊急に収納容器の識別確認や摘出が必要となる事態が起こる。
また、停電や事故でシステムがダウンし、ストッカ内または特許文献１に示すストレージラック部材内に収納されたＦＯＵＰの識別情報を人が確認せねばならない事態や、緊急にあるＦＯＵＰをストッカ内から摘出しなければならない事態なども生じうる。
このような場合においても、ストッカである場合においては、人間でしか対応できない状況に至っても保守点検用の梯子、通路が設備されており、想定内の問題として処理できる。
しかしながら、特許文献１に示すワーク搬送システムにあっては、ストレージラック部材が、天井付近の高い位置にあるため、保管されているワークの状況を人は容易に目視確認することが出来ないという問題がある。
【０００７】
また、特許文献１に示すワーク搬送システムにあっては、人がワークの識別情報を目視確認する場合や、ストレージラックから摘出する場合には、例えば、天井走行車を用いマニュアル操作で、ワークを１つずつ地上に降ろすか又は、梯子などを用い人がワークに接近し識別情報を読み取る、或いはワークを摘出し地上に降ろすなどの作業が必要となる。しかしながら、このように、天井走行車を用いワークを１つずつ地上に降ろす方式では、この作業期間中生産ラインの操業を停止させることになり、また、梯子などを用いる方法にあっては、高所作業となり安全上の問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、天井付近に敷設された軌道を走行して収納容器を搬送するＯＨＴにおいて用いられる収納容器を一時的に保管する一時保管棚装置であって、収納容器の識別情報の目視確認や、保管棚からの収納容器の摘出を容易に実行できる一時保管棚装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、天井付近に敷設された軌道に沿って走行する懸垂式昇降搬送装置により搬送される被搬送物を一時的に保管し、前記軌道に沿った位置に設置される一時保管棚装置であって、前記被搬送物が載置される棚手段と、前記被搬送物が載置された状態で前記棚手段を昇降させる昇降手段と、を有することを特徴とする一時保管棚装置である。
【００１０】
この請求項１に係る発明によれば、収納容器の一時保管機能を有する棚手段（被搬送物載置部材）が昇降できる構成によって、棚手段上の収納容器の状況確認に際しては、ＯＨＴを稼動させることなく棚手段を降下させることによって、床面にいる作業者が、梯子を登るなど危険作業を伴うことなく安全に収納容器の確認あるいは一時持ち出しを行うことができる。従って、ＯＨＴの稼動効率の上昇及び収納容器の荷役の効率が上昇する効果、また、収納容器の状況確認等の効率が上昇する効果が得られる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、前記棚手段を下面より支持する受け手段と、前記受け手段と前記棚手段とが被搬送物の一時保管として用いられるときは、前記受け手段と前記棚手段とが互いに鉛直方向に重なり合う支持位置にあり、前記棚手段の昇降のときには、前記棚手段と前記受け手段とが互いに鉛直方向において重なり合わない解除位置にあるように、前記棚手段と前記受け手段との内の少なくとも何れか一方を移動させる支持位置調整手段と、を有することを特徴とする請求項１に記載の一時保管棚装置である。
【００１２】
この請求項２に係る発明によれば、棚手段が収納容器に一時保管のため上部に位置している場合においては、受け部材が棚手段を確実に支持し、誤操作に伴う棚手段の降下を防止できる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、前記昇降手段および前記支持位置調整手段が、それぞれ手動ハンドル手段を有しており、前記それぞれの手動ハンドル手段の駆動により、前記昇降手段が前記棚手段を昇降させ、前記支持位置調整手段が前記支持位置と前記解除位置との間で前記受け手段を移動させる、ことを特徴とする請求項２に記載の一時保管棚装置である。
この請求項３に係る発明によれば、生産ラインを停止させることなく、また停電時においても棚手段上に載置されている収納容器の状況確認を行うことができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、前記被搬送物がウエハを挿脱可能に収納する収納容器である、ことを特徴とする請求項１から請求項３に記載の一時保管棚装置である。
この請求項４に係る発明によれば、一時保管棚装置の棚手段上に載置される収納容器内の収納物は半導体製造などに使用されるウエハであり、煩雑な処理プロセスを経て完成されるものであるので、製造途中で緊急に収納容器の識別確認や摘出が必要となる事態が起こり易く、手動で収納容器を地上まで降下できる実利は大である。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、棚装置の被搬送物載置部材が昇降できる構成によって、棚装置が収納容器の一時保管棚として作用し、また、棚装置の被搬送物載置部材上の収納容器の状況確認に際しては、ＯＨＴを稼動させることなく被搬送物載置部材を降下させることによって地上にいる作業者による収納容器の確認あるいは一時持ち出しを行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
まず、本発明の実施の形態に関連する図面の概要を説明する。図１は本発明に適用されるＯＨＴとこのＯＨＴによって荷役される収納容器との関係を示す構成図であり、図２はＯＨＴの工程内循環経路の周辺構成の概略図であり、図３は本発明に係る保管棚装置の概略図であり、図４は本発明の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構不動作時の構成図であり、図５は本発明の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構動作開始前の構成図であり、図６は本発明の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構動作完了時の構成図である。
【００１７】
次に、本発明に適用されるＯＨＴの構成と、このＯＨＴによって荷役される収納容器との関係について、図１を用いて説明する。
図１において、１はＯＨＴであり、ＯＨＴ１は、所定の軌道に沿って天井に敷設された工程内循環経路を形成する走行レール２に、ＯＨＴ１の案内駆動部３を介して吊り下げられている。
案内駆動部３は、図示しない走行輪と案内輪を有しており、案内駆動部３が走行輪と案内輪とにより走行レール２に規制されて走行することにより、ＯＨＴ１も走行レール２に規制されて走行する。つまり、ＯＨＴ１は、走行レール２の長手方向（図１の矢印Ｂの方向）に走行する。
なお、ＯＨＴ１が走行レール２に規制されて走行する時に必要な動力は、ＯＨＴ１の走行輪に駆動モータを備えること、或いは、走行レール２側とＯＨＴ１側とに夫々２次側と１次側を設ける直流リニアモータを備えること、等の周知の手段によって得るようにしてもよい。
【００１８】
ＯＨＴ１は、案内駆動部３の下部に、位置合せ機構４を有している。位置合せ機構４は、後述する収納容器を、走行レール２の長手方向と垂直に直交する方向（図１において、図１の紙面と垂直な方向）、及び、鉛直方向（図１の矢印Ａの方向）を中心軸とした回転方向、に調整する機能を有する。
ＯＨＴ１は、位置合せ機構４の下部に昇降機構６を有しており、昇降機構６はその下部に、タイミングベルト５を介して、ハンド部７を牽引可能に接続している。
タイミングベルト５は、４つのタイミングベルトからなり、昇降機構６の、走行レール２の長手方向の所定の２箇所であり、かつ、走行レール２の長手方向と垂直に直行する方向の所定の２箇所である、合計４箇所から伸び、ハンド部７へ接続される。
【００１９】
このように、昇降機構６とハンド部７とは４つのタイミングベルト５により接続され、昇降機構６によりタイミングベルト５が伸縮自在に制御されることにより、ハンド部７が鉛直方向（図１の矢印Ａの方向）に昇降させるように構成される。なお、このタイミングベルト５は、内部にハンド部７への電力供給、及び制御信号の授受用の電線（図示せず）を埋設している。
なお、昇降機構６とハンド部７とは４つのタイミングベルト５により牽引可能に接続されることに限定されるものではなく、昇降機構６とハンド部７とは、任意の数のタイミングベルト５により牽引可能に接続されてもよい。
【００２０】
次に、ハンド部７は、ハンド部７の底部に、走行レール２の長手方向に互いに向かい合う（つまり、対応する）、２つのグリッパ部材７ａを有している。２つの対応するグリッパ部材７ａは、走行レール２の長手方向に沿って、互いに逆方向に変位する。なお、ハンド部７のグリッパ部材７ａが変位することにより、グリッパ部材７ａは後述の収納容器８の把持又は解除を行う。
収納容器８は、ウエハなどの基板を収納する収納容器本体部分８ａと、収納容器本体部分８ａの上部に設けられ、前記グリッパ部材７ａによって把持又はその解除を受けるフランジ部８ｂとから構成される。
【００２１】
次に、工程内環状経路に沿って配置される各種施設を上方から見た平面視概略構成を、図２を用いて説明する。なお、工程内環状経路は、図１において説明した、天井部に支持された走行レール２により、形成されるものである。また、図１に説明したＯＨＴおよび収納容器８は、走行レール２つまり工程内環状経路に沿って移動する。
図２において、１２はそれぞれ処理ステーションであり、工程内環状経路（走行レール２）に沿って配置されており、前記収納容器８に収納されるウエハなどの基盤に対して洗浄、エッチング、ＣＶＤほか多数の処理の何れかを司り、工程内環状経路の所定箇所に設置される。なお、各処理ステーション１２は、ＯＨＴ１によって搬送および昇降制御を受ける収納容器８用の搬入および搬出するためのポートを備えている。
【００２２】
１３、１４、１５は分岐軌道１１の直下に設けられた一時保管棚装置であり、処理ステーションへの待機領域として、収納容器８を一時的に保管し、分岐軌道１１や工程内環状経路（図２には図示されていない）に沿って配置される。
一時保管棚装置１３、１４、１５は、前記各処理ステーション１２の近傍であって、各処理ステーション１２の鉛直方向において上方位置であり、ほぼ走行レール２の高さにあり、走行レール２または天井より縣吊されている。
そして、この一時保管棚装置１３、１４、１５は、処理ステーション１２における収納容器８内に挿脱自在に収納されているウエハを迅速に処理するために、処理ステーション１２の近傍に設置される。
また、一時保管棚装置１３、１４、１５は、処理ステーション１２での処理のために、収納容器８を一時保管する場合においては、工程内環状経路の経路において、少なくとも処理ステーション１２における処理待ち側に設けられる。
【００２３】
なお、一時保管棚装置１３、１４、１５は、それぞれ同様な構成をしている。次に、一時保管棚装置１３を例として、一時保管棚装置１３の構成および作用を、図３から図６を用いて説明する。
図３は、一時保管棚装置１３と走行レール２とＯＨＴ１とを、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向から見た図である。また、図４から図６は、一時保管棚装置１３と走行レール２とＯＨＴ１とを、走行レール２の長手方向から見た図である。なお、図３から図６において、図１の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。
【００２４】
図３において、天井Ｔと、走行レール２とＯＨＴ１が示してあり、ＯＨＴ１は走行レール２に沿って走行レール２の長手方向に移動可能である。天井Ｔは水平方向に面状である。走行レール２は、天井Ｔに吊り下げられて敷設されている。また図３においては、ＯＨＴ１が搬送している収納容器８が、ＯＨＴ１の内部に波線で示してある。
【００２５】
一時保管棚装置１３は、複数の収納容器８を被搬送物載置部材１３ａの上に載置して保管する。被搬送物載置部材１３ａは水平方向に配置される板状の部材である。図３に示すように、一時保管棚装置１３は、走行レール２の長手方向に、所定の間隔を有して一列に並んだ状態にて被搬送物載置部材１３ａの上に複数の収納容器８を一時保管する。
被搬送物載置部材１３ａは、２つの対を成す支持部材１３ｂにより支持される。図３に示すように、被搬送物載置部材１３ａの走行レール２の長手方向の両端付近の２箇所のそれぞれが、対となる支持部材１３ｂの下端部のそれぞれに接続される。また、それぞれの支持部材１３ｂの上端部は天井Ｔに固定して設置される。
【００２６】
なお、それぞれの支持部材１３ｂは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向（図３において、紙面に垂直な方向）から見て板状の部材である。また、図４に示すように、被搬送物載置部材１３ａと支持部材１３ｂとは、Ｌ字型を形成して接続される。
なお、被搬送物載置部材１３ａは走行レール２の鉛直下方に水平に位置するように配置され、支持部材１３ｂは被搬送物載置部材１３ａに垂直に上側に接続され、被搬送物載置部材１３ａと支持部材１３ｂとは、走行レール２の長手方向から見て、Ｌ字型を形成して接続される。
なお、支持部材１３ｂは、後に図４から図６を用いて説明するように、被搬送物載置部材１３ａを鉛直方向（図３の矢印Ａの方向）に昇降する機構を有する。
【００２７】
被搬送物載置部材１３ａは、その下面を、受け部材１３ｃにより支持される。受け部材１３ｃは、図４で後述する機構によって、高さを不変に維持しつつ走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に変位できるように構成されている。
受け部材１３ｃは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で被搬送物載置部材１３ａに下面を支持する位置（支持位置とする）においては、何らかの誤動作によって当該被搬送物載置部材１３ａの降下を防止すべく被搬送物載置部材１３ａを支持し、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で被搬送物載置部材１３ａの下面を支持せず解除した位置（解除位置とする）においては、被搬送物載置部材１３ａが支持部材１３ｂにより自由に昇降することを許容する。受け部材１３ｃの機構については、図４から図６を用いて詳述する。
【００２８】
次に、支持部材１３ｂ及び、受け部材１３ｃの構成の詳細を、図４から図６を用いて説明する。
図４に示すように、支持部材１３ｂは、平板状の支持用基材１３ｂｘと、対となるスライド板群１３ｂｙとから構成される。対となるスライド板群１３ｂｙは、支持用基材１３ｂｘを両側から対として挟み、順次外側に平面接触する摺動自在である。
支持用基材１３ｂｘの下端部は、走行レール２の長手方向から見て、被搬送物載置部材１３ａとＬ字型を形成するように接続され、スライド板群１３ｂｙの最も外側に位置する２枚のスライド板の上端部はそれぞれ天井の所定位置に固定設置される。
【００２９】
つまり、平板状の支持用基材１３ｂｘの両面が、スライド板群１３ｂｙを形成する最も内側の対を成す２つの板部材のそれぞれの内面と鉛直方向に摺動自在に平面接触し、次に、スライド板群１３ｂｙを形成する最も内側の対を成す２つの板部材のそれぞれの外面が、スライド板群１３ｂｙを形成する２番目に内側の対を成す２つの板部材のそれぞれの内面と鉛直方向に摺動自在に平面接触する。以下順次、スライド板群１３ｂｙを形成する対を成す板部材が、鉛直方向に摺動自在に平面接触されている。
【００３０】
このような支持部材１３ｂの構成により、支持部材１３ｂは、スライド板群１３ｂｙの最も外側に位置する対を成す２枚のスライド板の上端部はそれぞれ天井の所定位置に固定設置したまま、スライド板群１３ｂｙを構成するスライド板が鉛直方向に摺動自在に変位することにより、被搬送物載置部材１３ａが鉛直方向（図４の矢印Ａの方向）に移動可能となる。
なお、スライド板群１３ｂｙは平板状体郡に限られるものではなく、筒状体郡であってもよい。
【００３１】
前記支持用基材１３ｂｘの下端部には、取手１３ｃｘが付けられている。取手１３ｃｘに、人が図示しないフックを掛け、フックにより取手１３ｃｘを鉛直方向の下方に引き下ろすことにより、支持用基材１３ｂｘを下方に引き下ろし、被搬送物載置部材１３ａを下方に変位させる。このとき、スライド板群１３ｂｙは、図４または図５の状態から図６に示すように、鉛直方向に伸張する。
【００３２】
前記支持用基材１３ｂｘの下端部には、ワイヤー１３ｅの遊端部が固定接続される。ワイヤー１３ｅは、滑車１３ｄｚと滑車１３ｄｙを介して、リール１３ｄに繰り出しと巻取可能に収容される。リール１３ｄは、図示しない固定部の適所に固定支持されている。
また、リール１３ｄはワイヤー１３ｅの繰り出しと巻取りを行うための、第１のハンドル１３ｄｘを有している。第１のハンドル１３ｄｘを回転する操作により、ワイヤー１３ｅの繰り出しと巻取りを行うことが可能である。
【００３３】
走行レール２の長手方向から見てＬ字型である平板状の部材である受け部材１３ｃの上端部は、可動部材１３ｆの下端部に固定される。
可動部材１３ｆの上部には、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に沿ってラック１３ｆｘが形成されている。
また、可動部材１３ｆは、走行用ホイール１３ｆｙを複数有している。走行用ホイール１３ｆｙは、走行レール２の長手方向に伸びる中心軸部材により、可動部材１３ｆに固定されており、走行レール２の長手方向に伸びる中心軸部材を中心に自由に回転可能である。
また、走行用ホイール１３ｆｙは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に伸びるレール１３ｇ上で回転することにより、可動部材１３ｆはレール１３ｇに沿って、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向（図４の矢印Ｃで示す方向）に、移動可能である。
レール１３ｇは、可動部材１３ｆの走行用ホイール１３ｆｙを、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に案内するように、天井または側壁などに基づき水平に固定されて設置されている。
【００３４】
固定部材１３ｈは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に、固定部材１３ｈの長手方向を向けて天井付近の上部であり、後述の固定部材１３ｈに取り付けられる
ピニオン１３ｈｚが、可動部材１３ｆのラック１３ｆｘと係合する位置に固定支持される部材である。
固定部材１３ｈの、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向において支持部材１３ｂから遠い側の端部には、一対のスプロケット１３ｈｘが、回転自在に設置される。一対のスプロケット１３ｈｘは、走行レール２の長手方向の中心軸部材を中心として回転自在である。また、一対のスプロケット１３ｈｘにおいて、スプロケットの一方が動力を受け、スプロケットの他方が動力を供給する。また、一対のスプロケット１３ｈｘは、互いに同期して回転動作を行う。
【００３５】
また、固定部材１３ｈの、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向において支持部材１３ｂから近い側の端部には、ピニオン１３ｈｙが、またピニオン１３ｈｙと対向する可動部材１３ｆの上面にはラック１３ｆｘが設けられる。スプロケット１３ｈｘとピニオン１３ｈｙとは、夫々同期して回転自在に支持されており、ピニオン１３ｈｙは前記ラック１３ｆｘと係合している。
【００３６】
一対のスプロケット１３ｈｘ、１３ｈｘは、第１の環状チェーン１３ｉにより連結されている。
また、前記リール１３ｄと並んだ位置であって、支持部材１３ｂとは受け部材１３ｃについて反対側の適所に、スプロケット１３ｊが回転可能に固定支持され設置されている。
一対のスプロケット１３ｈｘのうちの一方と、スプロケット１３ｊとは、第２の環状チェーン１３ｋで連結されており、第２の環状チェーン１３ｋにより、スプロケット１３ｊの動力が一対のスプロケット１３ｈｘのうちの動力受動側のスプロケットへ伝達できるように係合している。
このスプロケット１３ｊは第２のハンドル１３ｊｘを有しており、第２のハンドル１３ｊｘの回転操作によって、スプロケット１３ｊも回転する。
【００３７】
次に図４〜図６を用いて、図３および図４に示した本発明による一時保管棚装置の作用について、次のステップを用いて、説明する。
【００３８】
ステップ１：
まず、図４に示すように、受け部材１３ｃが支持位置（図４のＣ１の位置）にあり、被搬送物載置部材１３ａが受け部材１３ｃによって支持されている状態においては、前記被搬送物載置部材１３ａには、収納容器８が順次ＯＨＴ１にて搬送され、処理ステーション１１（図２を参照）における処理のために収納容器８が待機状態におれる。なお、複数の収納容器８は、ＯＨＴ１の走行方向に沿って一列に配置される。
なお、この状態において、被搬送物載置部材１３ａは、鉛直方向において、載置位置Ａ１（図４のＡ１の位置）にある。
なお、被搬送物載置部材１３ａが載置位置Ａ１にある場合おいては、ＯＨＴ１による被搬送物載置部材１３ａ上における収納容器８の搬入および搬出が行われ、ＯＨＴ１は収納容器８を把持した状態において被搬送物載置部材１３ａの上方部の空間を通過できる。
【００３９】
ステップ２：
被搬送物載置部材１３ａ上にある収納容器８の状況確認のため、先ず、受け部材１３ｃを、図４の支持位置（図４のＣ１の位置）から、図５の解除位置（図５のＣ２の位置）に、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に、支持部材１３ｂから遠ざかる方向に移行させる。
ここでは、第２のハンドル１３ｊｘを一方の方向（例えば、左回転の方向）に回転させる。これにより、第２の環状チェーン１３ｋ、一対のスプロケット１３ｈｘ、及び第１の環状チェーン１３ｉを順次介して、動力がピニオン１３ｈｙに伝達され、このピニオン１３ｈｙの回転に伴って、当該ピニオン１３ｈｙに噛み合う（つまり、係合する）ラック１３ｆｘが、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で、支持部材１３ｂから遠ざかる方向に送られる。
【００４０】
したがって、ラック１３ｆｘと一体となっている可動部材１３ｆも、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で、支持部材１３ｂから遠ざかる方向に移動し、可動部材１３ｆとともに、これと一体的に固定される受け部材１３ｃも図５に示すように、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で、支持部材１３ｂから遠ざかる方向に移行し、受け部材１３ｃが解除位置Ｃ２まで移動し、受け部材１３ｃが被搬送物載置部材１３ａを支持する状態が解かれる、
【００４１】
ステップ３：
図５の状態において、取手１３ｃｘを図示しないフックにて下方に引っ張ることによりリール１３ｄからワイヤー１３ｅを繰出し、支持部材１３ｂの支持用基材１３ｂｘが下方に引き出され、これに伴いスライド板群１３ｂｙが順次引き出され、図６の状態の、被搬送物載置部材１３ａが下方の位置である確認位置Ａ２（図６のＡ２の位置）にある状態になる。
これによって、被搬送物載置部材１３ａに載置される収納容器８の状況確認ができる高さ位置まで降下し、次に、検査を行う人が収納容器８についての必要な確認を行う。
【００４２】
ステップ４：
被搬送物載置部材１３ａ上にある収納容器８群の状況確認終了後、第１のハンドル１３ｄｘを一方の方向（例えば、左回りの方向）に回転させると、ワイヤー１３ｅがリール１３ｄに巻き取られ、支持部材１３ｂの支持用基材１３ｂｘ及びスライド板群１３ｂｙが図５の状態に縮退し、被搬送物載置部材１３ａが載置位置Ａ１に戻る。
【００４３】
ステップ５：
図５の状態において、第２のハンドル１３ｊｘをステップ２とは逆の一方の方向（例えば、右回転の方向）に回転させることにより、前記ステップ２とは反対方向にピニオン１３ｈｘが回転し、ステップ２とは逆の動作が生じ、可動部材１３ｆと可動部材１３ｆに一体的に固定されている受け部材１３ｃとは、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向で、支持部材１３ｂに近づく方向に移動し、受け部材１３ｃは支持位置（Ｃ１）まで移動する。つまり、図４の状態にもどり、一時保管棚装置１３は、通常の一時保管棚として機能する。
【００４４】
なお、上記説明においては、受け部材１３ｃと支持部材１３ｂとの走行レール２の長手方向と水平に直交する方向における相対位置の変化を、受け部材１３ｃの位置を支持位置Ｃ１と解除位置Ｃ２とに変化させる具体例を述べたが、これに限られるものではなく、例えば、支持部材１３ｂおよび被搬送物載置部材１３ａ側に、同様な、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向での可動機構を設けるように構成することもできる。
また、受け部材１３ｃ側及び支持部材１３ｂ側の両者に可動機構を設けることも可能である。
【００４５】
また、上記説明においては、受け部材１３ｃを走行レール２の長手方向と水平に直交する方向において移動し、支持位置と解除位置との位置を変えることにより、受け部材１３ｃが被搬送物載置部材１３ａを支持または解除するようにしたが、受け部材１３ｃの移動の方向は、これに限られるものではない。
例えば、受け部材１３ｃを走行レール２の長手方向において移動し、被搬送物載置部材１３ａを支持または解除する位置になるようにしてもよい。
また、受け部材１３ｃを動かす方向は、走行レール２の長手方向、または、走行レール２の長手方向と水平に直交する方向に限られるものではなく、走行レール２の長手方向に対して任意の角度に変位させてもよい。
【００４６】
つまり、受け部材１３ｃは、被搬送物載置部材１３ａを支持するような位置と解除するような位置との間を、変位可能であれば、どのように変位してもよい。
ただし、被搬送物載置部材１３ａが何らかの問題により落下することを防止する目的のために、受け部材１３ｃは水平方向にのみ移動可能であり、受け部材１３ｃが垂直方向には移動しないようにし、受け部材１３ｃが被搬送物載置部材１３ａを支持している状態においては、受け部材１３ｃにより被搬送物載置部材１３ａが鉛直方向に垂直に落下しないように出来ることが望ましい。
【００４７】
なお、受け部材１３ｃが被搬送物載置部材１３ａを支持するような位置（支持位置Ｃ１）と解除するような位置（解除位置Ｃ２）とは、受け部材１３ｃと被搬送物載置部材１３ａとが、鉛直方向において重なり合う位置と重なり合わない位置である。
【００４８】
なお、図４に開示の取手１３ｃｘを設けることなく、第１のハンドル１３ｄｘを、ワイヤー１３ｅが繰出される方向に回動させるようにしてもよい。
なお、第１のハンドル１３ｄｘおよび第２のハンドル１３ｊｘは、手動ハンドルであることより、例えば、停電時においても被搬送物載置部材１３ａに載置されている収納容器８の確認ができる。
【００４９】
なお、本発明の説明においては、ＦＯＵＰ等である収納容器を一時的に保管する一時保管棚装置について説明したが、本発明は任意の被搬送物を保管する一時保管棚装置について適応可能である。
【００５０】
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、ＯＨＴを用いた工程内循環経路における一時保管棚装置に用いて好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に適用されるＯＨＴとこの台車によって荷役される収納容器との関係を示す構成図である。
【図２】ＯＨＴの工程内循環経路の周辺構成の概略図である。
【図３】この発明の一実施形態による保管棚装置の構成図である。
【図４】図３の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構の不動作時の構成図である。
【図５】図３の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構の動作開始前の構成図である。
【図６】図３の保管棚装置の被搬送物載置部材の昇降機構の動作完了状態の構成図である。
【符号の説明】
【００５３】
１ ＯＨＴ
２ 走行レール
３ 案内駆動部
４ 位置合せ機構
５ タイミングベルト
６ 昇降機構
７ ハンド部
７ａ グリッパ部材
８ 収納容器
８ａ 収納容器本体部分
８ｂ フランジ部
１１ 分岐軌道
１２ 処理ステーション
１３、１４、１５ 一時保管棚装置
１３ａ 被搬送物載置部材
１３ｂ 支持部材
１３ｃ 受け部材
１３ｂｘ 支持用基材
１３ｂｙ スライド板群
１３ｃｘ 取手
１３ｅ ワイヤー
１３ｄｚ、１３ｄｙ 滑車
１３ｄ リール
１３ｄｘ 第１のハンドル
１３ｆ 可動部材
１３ｆｘ ラック
１３ｆｙ 走行用ホイール
１３ｇ レール
１３ｈ 固定部材
１３ｈｘ 一対のスプロケット
１３ｊ スプロケット
１３ｈｙ ピニオン
１３ｉ 第１の環状チェーン
１３ｋ 第２の環状チェーン
１３ｊｘ 第２のハンドル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井付近に敷設された軌道に沿って走行する懸垂式昇降搬送装置により搬送される被搬送物を一時的に保管し、前記軌道に沿った位置に設置される一時保管棚装置であって、
前記被搬送物が載置される棚手段と、
前記被搬送物が載置された状態で前記棚手段を昇降させる昇降手段と、
を有することを特徴とする一時保管棚装置。
【請求項２】
前記棚手段を下面より支持する受け手段と、
前記受け手段と前記棚手段とが被搬送物の一時保管として用いられるときは、前記受け手段と前記棚手段とが互いに鉛直方向に重なり合う支持位置にあり、前記棚手段の昇降のときには、前記棚手段と前記受け手段とが互いに鉛直方向において重なり合わない解除位置にあるように、前記棚手段と前記受け手段との内の少なくとも何れか一方を移動させる支持位置調整手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の一時保管棚装置。
【請求項３】
前記昇降手段および前記支持位置調整手段が、それぞれ手動ハンドル手段を有しており、
前記それぞれの手動ハンドル手段の駆動により、前記昇降手段が前記棚手段を昇降させ、前記支持位置調整手段が前記支持位置と前記解除位置との間で前記受け手段を移動させる、
ことを特徴とする請求項２に記載の一時保管棚装置。
【請求項４】
前記被搬送物がウエハを挿脱可能に収納する収納容器である、
ことを特徴とする請求項１から請求項３に記載の一時保管棚装置。
【請求項１】
天井付近に敷設された軌道に沿って走行する懸垂式昇降搬送装置により搬送される被搬送物を一時的に保管し、前記軌道に沿った位置に設置される一時保管棚装置であって、
前記被搬送物が載置される棚手段と、
前記被搬送物が載置された状態で前記棚手段を昇降させる昇降手段と、
を有することを特徴とする一時保管棚装置。
【請求項２】
前記棚手段を下面より支持する受け手段と、
前記受け手段と前記棚手段とが被搬送物の一時保管として用いられるときは、前記受け手段と前記棚手段とが互いに鉛直方向に重なり合う支持位置にあり、前記棚手段の昇降のときには、前記棚手段と前記受け手段とが互いに鉛直方向において重なり合わない解除位置にあるように、前記棚手段と前記受け手段との内の少なくとも何れか一方を移動させる支持位置調整手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の一時保管棚装置。
【請求項３】
前記昇降手段および前記支持位置調整手段が、それぞれ手動ハンドル手段を有しており、
前記それぞれの手動ハンドル手段の駆動により、前記昇降手段が前記棚手段を昇降させ、前記支持位置調整手段が前記支持位置と前記解除位置との間で前記受け手段を移動させる、
ことを特徴とする請求項２に記載の一時保管棚装置。
【請求項４】
前記被搬送物がウエハを挿脱可能に収納する収納容器である、
ことを特徴とする請求項１から請求項３に記載の一時保管棚装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００８−２４４１７（Ｐ２００８−２４４１７Ａ）
【公開日】平成２０年２月７日（２００８．２．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１９８１９５（Ｐ２００６−１９８１９５）
【出願日】平成１８年７月２０日（２００６．７．２０）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年２月７日（２００８．２．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年７月２０日（２００６．７．２０）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
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