処理治具用の収納ケース
【課題】リングフレームのがたつきを抑制することができ、容器本体の構成を簡素化し、部品点数の増加するおそれの少ない処理治具用の収納ケースを提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体10と、容器本体10の両側壁14内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片20とを備え、容器本体10の上下方向に一対の支持片20を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片20と支持片20の間をリングフレーム用の挿入溝21に形成する。そして、各支持片20の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ22を設け、ストッパ22には、下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面23を形成する。傾斜面23が挿入溝21を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止することができ、リングフレームの損傷を防止できる。
【解決手段】前後部が開口した容器本体10と、容器本体10の両側壁14内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片20とを備え、容器本体10の上下方向に一対の支持片20を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片20と支持片20の間をリングフレーム用の挿入溝21に形成する。そして、各支持片20の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ22を設け、ストッパ22には、下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面23を形成する。傾斜面23が挿入溝21を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止することができ、リングフレームの損傷を防止できる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる各種の基板を搭載する処理治具用の収納ケースに関するものである。
【背景技術】
【0002】
半導体ウェーハは半導体パッケージの製造時にダイシング用テープフレームと呼ばれる処理治具に搭載されるが、この処理治具のリングフレームは一般に収納ケースに保管される。この種の収納ケースは、図示しないが、前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁内面に対向して突出形成され、リングフレームを支持する一対の支持片とを備えて構成されている(特許文献1、2参照)。この収納ケースは、容器本体の上下方向に一対の支持片が間隔をおき複数配列され、上下方向において隣接する支持片と支持片との間がリングフレーム用の挿入溝に区画形成されている。
【0003】
ところで、この種の収納ケースは、作業者により搬送、運搬、輸送される関係上、搬送、運搬、輸送する際にリングフレームが容器本体から飛び出して脱落するおそれがあるので、このリングフレームの飛び出しを規制するため、各種の規制方法が採用されている。
【0004】
係る規制方法としては、(1)一対の支持片の前部や後部に抑え部品を取り付ける方法、(2)容器本体の開口部両側に回転片をそれぞれ支持させ、この回転片により容器本体の開口部を塞いでリングフレームの飛び出しを規制する方法、(3)容器本体の各側壁に、複数の支持片の一部を形成するスライド壁をスライド可能に備え、このスライド壁を上下方向にスライドさせてリングフレームを挟持する方法等があげられる。
【特許文献1】特開平8−80989号公報
【特許文献2】特表2005−508274号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
従来における処理治具用の収納ケースは、以上のように構成され、リングフレームが容器本体から飛び出すのを規制する様々な規制方法が採用されているが、(1)、(2)の方法の場合には、リングフレームの飛び出しを規制することができるものの、搬送、運搬、輸送時の振動でリングフレームの上下方向へのがたつきを防止することができず、半導体ウェーハやリングフレームの損傷を招くという大きな問題が新たに生じることとなる。また、(3)の方法の場合には、リングフレームの上下方向へのがたつきを防止することができるものの、スライド壁のスライド操作が要求され、さらには容器本体の構成が複雑化し、部品点数の増加するおそれが少なくない。
【0006】
本発明は上記に鑑みなされたもので、リングフレームのがたつきを抑制することができ、容器本体の構成を簡素化し、部品点数の増加するおそれの少ない処理治具用の収納ケースを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明においては上記課題を解決するため、前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁内面に対向して突出形成され、基板を搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片とを備えたものであって、
容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成したことを特徴としている。
【0008】
なお、容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する蓋体を備え、この蓋体の内面に、リングフレームに干渉する突部を設けることが好ましい。
また、支持片の略前部と略中央部のうち、少なくともいずれか一方に、リングフレームの側部に対向する突起を設け、この突起には、下方の支持片に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面を形成することが好ましい。
【0009】
ここで、特許請求の範囲における容器本体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。基板は、口径200mm、300mm、450mmの半導体ウェーハでも良いし、矩形のガラス基板等でも良い。また、処理治具のリングフレームは、基板を搭載した状態で支持片に支持されても良いし、基板を搭載しない単独の状態で支持片に支持されても良い。このリングフレームは、中空のリング形でも良いが、外周面に切り欠きや直線部等が形成されていても良く、外周面が多角形等でも良い。略後部には、後端部を含む後部や後部と認められる部分が含まれる。
【0010】
支持片の略前部には、前端部を含む前部や前部と認められる部分が含まれる。同様に支持片の略中央部には、中央部や中央部と認められる部分が含まれる。また、蓋体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良く、可撓性や弾性の有無を特に問うものではない。この蓋体の突部は、単数複数を問うものではない。さらに、本発明に係る処理治具用の収納ケースは、水平に使用されるのが主ではあるが、特に限定されるものではなく、例えば開口した前部を上方に向けた起立状態で使用されても良い。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、リングフレームのがたつきを有効に抑制することができ、しかも、容器本体の構成を簡素化し、部品点数の増加するおそれを排除することができるという効果がある。
また、容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する蓋体を備え、この蓋体の内面に、リングフレームに干渉する突部を設ければ、この突部の干渉により、容器本体に収納されたリングフレームのがたつきをより有効に抑制することができる。
【0012】
また、支持片の略前部と略中央部のうち、少なくともいずれか一方に、リングフレームの側部に対向する突起を設け、この突起に、下方の支持片に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面を形成すれば、突起によりリングフレームの挿入された挿入溝を埋めることができるので、振動等に伴うリングフレームのがたつきを防ぐことが可能になる。また、突起の傾斜面のガイド機能により、挿入溝におけるリングフレームの出し入れに支障を来たすことが少なくなるので、少なくともリングフレームの損傷防止が期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0013】
以下、図面を参照して本発明に係る処理治具用の収納ケースの好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における処理治具用の収納ケースは、図1ないし図9に示すように、半導体ウェーハWを搭載する処理治具1を出し入れ可能に収納する容器本体10と、この容器本体10の両側壁14に対設され、処理治具1のリングフレーム2を支持する一対の支持片20と、容器本体10の開口した前部を開閉する透明の蓋体30とを備えている。
【0014】
半導体ウェーハWは、図4に示すように、例えば薄く丸くスライスされた口径200mmのシリコンウェーハからなり、周縁部には位置合わせ用のオリフラや平面略半円形のノッチが選択的に適宜形成される。
【0015】
処理治具1は、図1、図4、図5に示すように、半導体ウェーハWを収納可能な中空を有するリングフレーム2を備え、このリングフレーム2の裏面には、中空を下方から覆う可撓性の粘着層3が着脱自在に粘着されており、この粘着層3上には半導体ウェーハWが着脱自在に粘着保持される。リングフレーム2は、所定の樹脂等を含む成形材料により中空の平板に射出成形され、前部両側には位置決め用の切り欠き4がそれぞれ略三角形に形成されており、後部表面の中央には、移動体識別用のRFIDタグ5が貼着される。
【0016】
容器本体10は、図1ないし図3に示すように、処理治具1を収納可能な大きさを有する矩形の底板11と、この底板11に上方から間隔をおいて対向する同形の天板13と、これら底板11と天板13との両側部間を縦に連結する一対の側壁14とを備え、前後部がそれぞれ開口した矩形の箱形に構成されており、半導体ウェーハWを搭載した処理治具1、あるいは半導体ウェーハWを搭載する処理治具1のリングフレーム2を図示しない搬送ロボットを介し水平に複数整列収納するよう機能する。
【0017】
容器本体10の底板11、天板13、及び一対の側壁14は、例えばポリカーボネート等の樹脂を含む成形材料によりそれぞれ射出成形され、ビス等の複数の締結具により組み立てられる。底板11の内面前端部には図1に示すように、下方のリングフレーム2の出し入れに資する矩形の凹部12が切り欠かれ、相対向する一対の側壁14の上部前方間と上部後方間とには、断面略ハット形を呈する握持操作用のハンドル15がそれぞれ起伏可能に軸架される(図2参照)。
【0018】
一対の支持片20は、図1や図9に示すように、容器本体10の両側壁内面に間隔をおき対向して突出形成され、リングフレーム2の両側部を略水平に支持するよう機能する。この一対の支持片20は、容器本体10の上下方向に所定の間隔をおいて複数配列され、上下方向において隣接する支持片20と支持片20との間がリングフレーム2用の挿入溝21に区画形成されており、各支持片20が容器本体10の前後方向に伸びる細長い板に形成される。各挿入溝21は、支持片20と同様に容器本体10の前後方向に伸長形成され、リングフレーム2の厚さ以上の高さ(幅)を有する。
【0019】
各支持片20の下面後部には図9に示すように、リングフレーム2の側部後方に干渉・対向して位置決めするストッパ22が一体形成され、このストッパ22の側面には、下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面23が滑らかに形成されており、この傾斜面23がリングフレーム2の後部表面に隙間をおいて対向する。
【0020】
蓋体30は、図6ないし図8に示すように、所定の樹脂を含む成形材料により弾性を有する断面略皿形に成形され、容器本体10の開口した前部に着脱自在に嵌合する。この正面略矩形の蓋体30は、その中央部の上下方向に、リングフレーム2の前部に干渉して位置決め挟持する略線条の突部31が複数配列形成され、両側部には、リングフレーム2の前部両側に圧接してがたつきを抑制防止する略矩形の膨出部32がそれぞれ立体的に一体形成される。
【0021】
蓋体30の周縁部は、図6や図8に示すように、突部31や膨出部32側に屈曲して略枠形を呈し、上下部の両側には、容器本体10の開口した前部外周面に係止する係止部33が一体的に膨出形成される。
【0022】
上記において、容器本体10内に処理治具1のリングフレーム2を収納する場合には、容器本体10内に処理治具1のリングフレーム2を前方から搬送ロボットにより水平に挿入すれば良い。
すると、容器本体10の挿入溝21にリングフレーム2が水平に挿入されてスライドするとともに、一対の支持片20にリングフレーム2の両側部が下方から略水平に支持され、ストッパ22の傾斜面23にリングフレーム2が案内されて接触・停止し、これらにより、容器本体10内にリングフレーム2が適切に位置決め収納されることとなる。
【0023】
容器本体10内に処理治具1のリングフレーム2が収納されると、容器本体10の開口した前部に蓋体30が着脱自在に嵌合され、この蓋体30の複数の突部31がリングフレーム2の前部を挟持してその動きを規制することにより、搬送、運搬、輸送時の振動に伴うリングフレーム2の上下方向へのがたつきが抑制防止される。
【0024】
上記作業の際、ストッパ22にリングフレーム2の後部が規制されるので、挿入されたリングフレーム2の位置ずれや脱落が有効に防止される。また、ストッパ22のテーパ形の傾斜面23が挿入溝21の余分なスペースを徐々に埋めるので、振動に伴うリングフレーム2の上下方向へのがたつきを抑制防止することができ、半導体ウェーハWやリングフレーム2の損傷を招くことがない。さらに、従来のようなスライド壁等を何ら必要としないので、容器本体10の構成を簡素化することができ、部品点数の削減を図ることができる。
【0025】
次に、図10、図11は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、各支持片20の下面中央部に、リングフレーム2の側部表面に隙間をおいて対向する突起24を一体的に突出形成し、この突起24を先細りの台形に形成してその両側部を下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる滑らかな傾斜面25とするようにしている。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【0026】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、突起24の突出により、挿入溝21をさらに埋めることができるので、例え蓋体30を省略しても、振動に伴うリングフレーム2の上下方向へのがたつきを著しく抑制防止することができるのは明らかである。また、突起24のガイド機能を有する斜めの傾斜面25にリングフレーム2が円滑に摺接して挿入の途中で停止することがなく、リングフレーム2の出し入れの阻害されることがないので、半導体ウェーハWやリングフレーム2の損傷を防止することができる。
【0027】
次に、図12は本発明の第3の実施形態を示すもので、この場合には、各支持片20の下面前部に、リングフレーム2の側部表面に隙間をおいて対向する突起24Aを一体的に突出形成し、この突起24Aを先細りの台形に形成してその両側部を下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる滑らかな傾斜面25とし、この傾斜面25にリングフレーム2を摺接可能とするようにしている。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【0028】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、さらなる突起24Aの突出により、挿入溝21の余分なスペースをより埋めることができるので、リングフレーム2の出し入れ作業の最後まで上下方向へのがたつきを大幅に抑制防止することができるのは明白である。また、突起24Aのガイド機能を有する斜めの傾斜面25にリングフレーム2が円滑に案内されて前後方向にスライドするので、リングフレーム2の出し入れに支障を来たすことがなく、半導体ウェーハWやリングフレーム2の損傷防止が大いに期待できる。
【0029】
なお、本発明に係る処理治具1用の収納ケースは、上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、上記実施形態では底板11の内面前端部に凹部12を切り欠いたが、底板11の内面前後端部の少なくともいずれか一方にリングフレーム2の出し入れに資する凹部12を形成しても良いし、天板13の内面前後端部の少なくともいずれか一方にリングフレーム2の出し入れに資する凹部12を形成しても良い。
【0030】
また、上記実施形態では支持片20を容器本体10の前後方向に伸びる細長い板としたが、何らこれに限定されるものではなく、リングフレーム2の収納に特に支障を来たさなければ、支持片20を直線的な板としても良いし、支持片20を後部がJ字形等に屈曲した板としても良い。
【0031】
また、各支持片20にストッパ22や突起24・24Aを形成しても良いが、任意の支持片20にストッパ22や突起24・24Aを形成しても良い。また、支持片20の後部に、リングフレーム2の側部後方に干渉するストッパ22を設けたが、特に支障を来たさなければ、挿入溝21の後部に、リングフレーム2の側部後方に干渉するストッパ22を設けることもできる。また、突起24や突起24Aの両側部ではなく、一側部のみを下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる滑らかな傾斜面25とすることもできる。
【0032】
また、支持片20の前部のみにリングフレーム2の側部に対向する突起24Aを設け、中央部の突起24を省略することもできる。さらに、容器本体10の開口した後部に蓋体30を着脱自在に嵌合しても良いし、容器本体10の開口した前後部に蓋体30をそれぞれ着脱自在に嵌合することもできる。さらにまた、容器本体10を起立させて開口した前部を上方に向け、この容器本体10に処理治具1のリングフレーム2を上方から手動で挿入し、容器本体10内にリングフレーム2を位置決め収納することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図2】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す平面説明図である。
【図3】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す側面説明図である。
【図4】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における処理治具を模式的に示す斜視説明図である。
【図5】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における中空のリングフレームを模式的に示す斜視説明図である。
【図6】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体を模式的に示す説明図である。
【図7】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体を模式的に示す平面説明図である。
【図8】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体を模式的に示す側面説明図である。
【図9】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す要部説明図である。
【図10】本発明に係る処理治具用の収納ケースの第2の実施形態を模式的に示す要部説明図である。
【図11】本発明に係る処理治具用の収納ケースの第2の実施形態におけるリングフレーム、支持片、挿入溝等の関係を模式的に示す説明図である。
【図12】本発明に係る処理治具用の収納ケースの第3の実施形態を模式的に示す要部説明図である。
【符号の説明】
【0034】
1 処理治具
2 リングフレーム
10 容器本体
14 側壁
20 支持片
21 挿入溝
22 ストッパ
23 傾斜面
24 突起
24A 突起
25 傾斜面
30 蓋体
31 突部
W 半導体ウェーハ(基板)
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる各種の基板を搭載する処理治具用の収納ケースに関するものである。
【背景技術】
【0002】
半導体ウェーハは半導体パッケージの製造時にダイシング用テープフレームと呼ばれる処理治具に搭載されるが、この処理治具のリングフレームは一般に収納ケースに保管される。この種の収納ケースは、図示しないが、前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁内面に対向して突出形成され、リングフレームを支持する一対の支持片とを備えて構成されている(特許文献1、2参照)。この収納ケースは、容器本体の上下方向に一対の支持片が間隔をおき複数配列され、上下方向において隣接する支持片と支持片との間がリングフレーム用の挿入溝に区画形成されている。
【0003】
ところで、この種の収納ケースは、作業者により搬送、運搬、輸送される関係上、搬送、運搬、輸送する際にリングフレームが容器本体から飛び出して脱落するおそれがあるので、このリングフレームの飛び出しを規制するため、各種の規制方法が採用されている。
【0004】
係る規制方法としては、(1)一対の支持片の前部や後部に抑え部品を取り付ける方法、(2)容器本体の開口部両側に回転片をそれぞれ支持させ、この回転片により容器本体の開口部を塞いでリングフレームの飛び出しを規制する方法、(3)容器本体の各側壁に、複数の支持片の一部を形成するスライド壁をスライド可能に備え、このスライド壁を上下方向にスライドさせてリングフレームを挟持する方法等があげられる。
【特許文献1】特開平8−80989号公報
【特許文献2】特表2005−508274号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
従来における処理治具用の収納ケースは、以上のように構成され、リングフレームが容器本体から飛び出すのを規制する様々な規制方法が採用されているが、(1)、(2)の方法の場合には、リングフレームの飛び出しを規制することができるものの、搬送、運搬、輸送時の振動でリングフレームの上下方向へのがたつきを防止することができず、半導体ウェーハやリングフレームの損傷を招くという大きな問題が新たに生じることとなる。また、(3)の方法の場合には、リングフレームの上下方向へのがたつきを防止することができるものの、スライド壁のスライド操作が要求され、さらには容器本体の構成が複雑化し、部品点数の増加するおそれが少なくない。
【0006】
本発明は上記に鑑みなされたもので、リングフレームのがたつきを抑制することができ、容器本体の構成を簡素化し、部品点数の増加するおそれの少ない処理治具用の収納ケースを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明においては上記課題を解決するため、前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁内面に対向して突出形成され、基板を搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片とを備えたものであって、
容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成したことを特徴としている。
【0008】
なお、容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する蓋体を備え、この蓋体の内面に、リングフレームに干渉する突部を設けることが好ましい。
また、支持片の略前部と略中央部のうち、少なくともいずれか一方に、リングフレームの側部に対向する突起を設け、この突起には、下方の支持片に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面を形成することが好ましい。
【0009】
ここで、特許請求の範囲における容器本体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。基板は、口径200mm、300mm、450mmの半導体ウェーハでも良いし、矩形のガラス基板等でも良い。また、処理治具のリングフレームは、基板を搭載した状態で支持片に支持されても良いし、基板を搭載しない単独の状態で支持片に支持されても良い。このリングフレームは、中空のリング形でも良いが、外周面に切り欠きや直線部等が形成されていても良く、外周面が多角形等でも良い。略後部には、後端部を含む後部や後部と認められる部分が含まれる。
【0010】
支持片の略前部には、前端部を含む前部や前部と認められる部分が含まれる。同様に支持片の略中央部には、中央部や中央部と認められる部分が含まれる。また、蓋体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良く、可撓性や弾性の有無を特に問うものではない。この蓋体の突部は、単数複数を問うものではない。さらに、本発明に係る処理治具用の収納ケースは、水平に使用されるのが主ではあるが、特に限定されるものではなく、例えば開口した前部を上方に向けた起立状態で使用されても良い。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、リングフレームのがたつきを有効に抑制することができ、しかも、容器本体の構成を簡素化し、部品点数の増加するおそれを排除することができるという効果がある。
また、容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する蓋体を備え、この蓋体の内面に、リングフレームに干渉する突部を設ければ、この突部の干渉により、容器本体に収納されたリングフレームのがたつきをより有効に抑制することができる。
【0012】
また、支持片の略前部と略中央部のうち、少なくともいずれか一方に、リングフレームの側部に対向する突起を設け、この突起に、下方の支持片に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面を形成すれば、突起によりリングフレームの挿入された挿入溝を埋めることができるので、振動等に伴うリングフレームのがたつきを防ぐことが可能になる。また、突起の傾斜面のガイド機能により、挿入溝におけるリングフレームの出し入れに支障を来たすことが少なくなるので、少なくともリングフレームの損傷防止が期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0013】
以下、図面を参照して本発明に係る処理治具用の収納ケースの好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における処理治具用の収納ケースは、図1ないし図9に示すように、半導体ウェーハWを搭載する処理治具1を出し入れ可能に収納する容器本体10と、この容器本体10の両側壁14に対設され、処理治具1のリングフレーム2を支持する一対の支持片20と、容器本体10の開口した前部を開閉する透明の蓋体30とを備えている。
【0014】
半導体ウェーハWは、図4に示すように、例えば薄く丸くスライスされた口径200mmのシリコンウェーハからなり、周縁部には位置合わせ用のオリフラや平面略半円形のノッチが選択的に適宜形成される。
【0015】
処理治具1は、図1、図4、図5に示すように、半導体ウェーハWを収納可能な中空を有するリングフレーム2を備え、このリングフレーム2の裏面には、中空を下方から覆う可撓性の粘着層3が着脱自在に粘着されており、この粘着層3上には半導体ウェーハWが着脱自在に粘着保持される。リングフレーム2は、所定の樹脂等を含む成形材料により中空の平板に射出成形され、前部両側には位置決め用の切り欠き4がそれぞれ略三角形に形成されており、後部表面の中央には、移動体識別用のRFIDタグ5が貼着される。
【0016】
容器本体10は、図1ないし図3に示すように、処理治具1を収納可能な大きさを有する矩形の底板11と、この底板11に上方から間隔をおいて対向する同形の天板13と、これら底板11と天板13との両側部間を縦に連結する一対の側壁14とを備え、前後部がそれぞれ開口した矩形の箱形に構成されており、半導体ウェーハWを搭載した処理治具1、あるいは半導体ウェーハWを搭載する処理治具1のリングフレーム2を図示しない搬送ロボットを介し水平に複数整列収納するよう機能する。
【0017】
容器本体10の底板11、天板13、及び一対の側壁14は、例えばポリカーボネート等の樹脂を含む成形材料によりそれぞれ射出成形され、ビス等の複数の締結具により組み立てられる。底板11の内面前端部には図1に示すように、下方のリングフレーム2の出し入れに資する矩形の凹部12が切り欠かれ、相対向する一対の側壁14の上部前方間と上部後方間とには、断面略ハット形を呈する握持操作用のハンドル15がそれぞれ起伏可能に軸架される(図2参照)。
【0018】
一対の支持片20は、図1や図9に示すように、容器本体10の両側壁内面に間隔をおき対向して突出形成され、リングフレーム2の両側部を略水平に支持するよう機能する。この一対の支持片20は、容器本体10の上下方向に所定の間隔をおいて複数配列され、上下方向において隣接する支持片20と支持片20との間がリングフレーム2用の挿入溝21に区画形成されており、各支持片20が容器本体10の前後方向に伸びる細長い板に形成される。各挿入溝21は、支持片20と同様に容器本体10の前後方向に伸長形成され、リングフレーム2の厚さ以上の高さ(幅)を有する。
【0019】
各支持片20の下面後部には図9に示すように、リングフレーム2の側部後方に干渉・対向して位置決めするストッパ22が一体形成され、このストッパ22の側面には、下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面23が滑らかに形成されており、この傾斜面23がリングフレーム2の後部表面に隙間をおいて対向する。
【0020】
蓋体30は、図6ないし図8に示すように、所定の樹脂を含む成形材料により弾性を有する断面略皿形に成形され、容器本体10の開口した前部に着脱自在に嵌合する。この正面略矩形の蓋体30は、その中央部の上下方向に、リングフレーム2の前部に干渉して位置決め挟持する略線条の突部31が複数配列形成され、両側部には、リングフレーム2の前部両側に圧接してがたつきを抑制防止する略矩形の膨出部32がそれぞれ立体的に一体形成される。
【0021】
蓋体30の周縁部は、図6や図8に示すように、突部31や膨出部32側に屈曲して略枠形を呈し、上下部の両側には、容器本体10の開口した前部外周面に係止する係止部33が一体的に膨出形成される。
【0022】
上記において、容器本体10内に処理治具1のリングフレーム2を収納する場合には、容器本体10内に処理治具1のリングフレーム2を前方から搬送ロボットにより水平に挿入すれば良い。
すると、容器本体10の挿入溝21にリングフレーム2が水平に挿入されてスライドするとともに、一対の支持片20にリングフレーム2の両側部が下方から略水平に支持され、ストッパ22の傾斜面23にリングフレーム2が案内されて接触・停止し、これらにより、容器本体10内にリングフレーム2が適切に位置決め収納されることとなる。
【0023】
容器本体10内に処理治具1のリングフレーム2が収納されると、容器本体10の開口した前部に蓋体30が着脱自在に嵌合され、この蓋体30の複数の突部31がリングフレーム2の前部を挟持してその動きを規制することにより、搬送、運搬、輸送時の振動に伴うリングフレーム2の上下方向へのがたつきが抑制防止される。
【0024】
上記作業の際、ストッパ22にリングフレーム2の後部が規制されるので、挿入されたリングフレーム2の位置ずれや脱落が有効に防止される。また、ストッパ22のテーパ形の傾斜面23が挿入溝21の余分なスペースを徐々に埋めるので、振動に伴うリングフレーム2の上下方向へのがたつきを抑制防止することができ、半導体ウェーハWやリングフレーム2の損傷を招くことがない。さらに、従来のようなスライド壁等を何ら必要としないので、容器本体10の構成を簡素化することができ、部品点数の削減を図ることができる。
【0025】
次に、図10、図11は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、各支持片20の下面中央部に、リングフレーム2の側部表面に隙間をおいて対向する突起24を一体的に突出形成し、この突起24を先細りの台形に形成してその両側部を下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる滑らかな傾斜面25とするようにしている。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【0026】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、突起24の突出により、挿入溝21をさらに埋めることができるので、例え蓋体30を省略しても、振動に伴うリングフレーム2の上下方向へのがたつきを著しく抑制防止することができるのは明らかである。また、突起24のガイド機能を有する斜めの傾斜面25にリングフレーム2が円滑に摺接して挿入の途中で停止することがなく、リングフレーム2の出し入れの阻害されることがないので、半導体ウェーハWやリングフレーム2の損傷を防止することができる。
【0027】
次に、図12は本発明の第3の実施形態を示すもので、この場合には、各支持片20の下面前部に、リングフレーム2の側部表面に隙間をおいて対向する突起24Aを一体的に突出形成し、この突起24Aを先細りの台形に形成してその両側部を下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる滑らかな傾斜面25とし、この傾斜面25にリングフレーム2を摺接可能とするようにしている。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【0028】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、さらなる突起24Aの突出により、挿入溝21の余分なスペースをより埋めることができるので、リングフレーム2の出し入れ作業の最後まで上下方向へのがたつきを大幅に抑制防止することができるのは明白である。また、突起24Aのガイド機能を有する斜めの傾斜面25にリングフレーム2が円滑に案内されて前後方向にスライドするので、リングフレーム2の出し入れに支障を来たすことがなく、半導体ウェーハWやリングフレーム2の損傷防止が大いに期待できる。
【0029】
なお、本発明に係る処理治具1用の収納ケースは、上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、上記実施形態では底板11の内面前端部に凹部12を切り欠いたが、底板11の内面前後端部の少なくともいずれか一方にリングフレーム2の出し入れに資する凹部12を形成しても良いし、天板13の内面前後端部の少なくともいずれか一方にリングフレーム2の出し入れに資する凹部12を形成しても良い。
【0030】
また、上記実施形態では支持片20を容器本体10の前後方向に伸びる細長い板としたが、何らこれに限定されるものではなく、リングフレーム2の収納に特に支障を来たさなければ、支持片20を直線的な板としても良いし、支持片20を後部がJ字形等に屈曲した板としても良い。
【0031】
また、各支持片20にストッパ22や突起24・24Aを形成しても良いが、任意の支持片20にストッパ22や突起24・24Aを形成しても良い。また、支持片20の後部に、リングフレーム2の側部後方に干渉するストッパ22を設けたが、特に支障を来たさなければ、挿入溝21の後部に、リングフレーム2の側部後方に干渉するストッパ22を設けることもできる。また、突起24や突起24Aの両側部ではなく、一側部のみを下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる滑らかな傾斜面25とすることもできる。
【0032】
また、支持片20の前部のみにリングフレーム2の側部に対向する突起24Aを設け、中央部の突起24を省略することもできる。さらに、容器本体10の開口した後部に蓋体30を着脱自在に嵌合しても良いし、容器本体10の開口した前後部に蓋体30をそれぞれ着脱自在に嵌合することもできる。さらにまた、容器本体10を起立させて開口した前部を上方に向け、この容器本体10に処理治具1のリングフレーム2を上方から手動で挿入し、容器本体10内にリングフレーム2を位置決め収納することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図2】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す平面説明図である。
【図3】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す側面説明図である。
【図4】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における処理治具を模式的に示す斜視説明図である。
【図5】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における中空のリングフレームを模式的に示す斜視説明図である。
【図6】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体を模式的に示す説明図である。
【図7】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体を模式的に示す平面説明図である。
【図8】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体を模式的に示す側面説明図である。
【図9】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す要部説明図である。
【図10】本発明に係る処理治具用の収納ケースの第2の実施形態を模式的に示す要部説明図である。
【図11】本発明に係る処理治具用の収納ケースの第2の実施形態におけるリングフレーム、支持片、挿入溝等の関係を模式的に示す説明図である。
【図12】本発明に係る処理治具用の収納ケースの第3の実施形態を模式的に示す要部説明図である。
【符号の説明】
【0034】
1 処理治具
2 リングフレーム
10 容器本体
14 側壁
20 支持片
21 挿入溝
22 ストッパ
23 傾斜面
24 突起
24A 突起
25 傾斜面
30 蓋体
31 突部
W 半導体ウェーハ(基板)
【特許請求の範囲】
【請求項1】
前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁内面に対向して突出形成され、基板を搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片とを備えた処理治具用の収納ケースであって、
容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成したことを特徴とする処理治具用の収納ケース。
【請求項2】
容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する蓋体を備え、この蓋体の内面に、リングフレームに干渉する突部を設けた請求項1記載の処理治具用の収納ケース。
【請求項3】
支持片の略前部と略中央部のうち、少なくともいずれか一方に、リングフレームの側部に対向する突起を設け、この突起には、下方の支持片に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面を形成した請求項1又は2記載の処理治具用の収納ケース。
【請求項1】
前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁内面に対向して突出形成され、基板を搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片とを備えた処理治具用の収納ケースであって、
容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成したことを特徴とする処理治具用の収納ケース。
【請求項2】
容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する蓋体を備え、この蓋体の内面に、リングフレームに干渉する突部を設けた請求項1記載の処理治具用の収納ケース。
【請求項3】
支持片の略前部と略中央部のうち、少なくともいずれか一方に、リングフレームの側部に対向する突起を設け、この突起には、下方の支持片に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面を形成した請求項1又は2記載の処理治具用の収納ケース。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【公開番号】特開2009−43943(P2009−43943A)
【公開日】平成21年2月26日(2009.2.26)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−207404(P2007−207404)
【出願日】平成19年8月9日(2007.8.9)
【出願人】(000190116)信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年2月26日(2009.2.26)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年8月9日(2007.8.9)
【出願人】(000190116)信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Fターム(参考)】
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