印刷装置
【課題】手間をかけず簡単にマスクを保持でき、かつマスクが確実に保持されているか否かの検出機能を備えた印刷装置を提供することを目的とする。
【解決手段】印刷装置本体9に設けられ水平な支持面を有するベース部60と、ベース部60の支持面と向かい合うように配置され、上下動可能とされた可動クランプ片100とからなるマスク保持装置50により、枠状をなすマスクフレーム5の下面側にステンシル7を張りつけたマスクMを、印刷装置本体9に固定するようにした印刷装置Sであって、可動クランプ片100を上下方向に変位させて前記マスクフレーム5をベース部60の支持面との間に挟みつける押圧保持動作を行わせるピストンロッド90を有するシリンダ装置80と、シリンダ装置80の作動に伴って上下方向に位置変位する可動クランプ片100の停止位置、或いはピストンロッドの停止位置を特定する位置情報を検出する位置センサ120とを設けた。
【解決手段】印刷装置本体9に設けられ水平な支持面を有するベース部60と、ベース部60の支持面と向かい合うように配置され、上下動可能とされた可動クランプ片100とからなるマスク保持装置50により、枠状をなすマスクフレーム5の下面側にステンシル7を張りつけたマスクMを、印刷装置本体9に固定するようにした印刷装置Sであって、可動クランプ片100を上下方向に変位させて前記マスクフレーム5をベース部60の支持面との間に挟みつける押圧保持動作を行わせるピストンロッド90を有するシリンダ装置80と、シリンダ装置80の作動に伴って上下方向に位置変位する可動クランプ片100の停止位置、或いはピストンロッドの停止位置を特定する位置情報を検出する位置センサ120とを設けた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、印刷装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、マスク枠(マスクフレーム)の下面側に薄板状のステンシルを張りつけたマスクを用いて、基板上にクリーム半田などのペーストを印刷する印刷装置が広く知られている。この種の印刷装置においては、スキージをステンシル上に圧接させた状態で印刷動作を行うから、印刷装置本体にマスク枠を緩みなく保持しておく必要がある。
【0003】
この種の保持装置の一例として、下記の文献には、螺軸を手動によりねじ回しすることで、マスク枠を支える保持台を上下動させつつ、マスク枠を印刷装置本体に緩みなく保持するものが開示されている。
【特許文献1】実用新案登録第2587426号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記構成によれば、螺軸を手動によりねじ回しすることでマスク枠を固定しているが、ねじ回しなどの操作を手動により行うことは煩わしさがあり、更にはマスク交換などの段替え作業に必要とされる作業時間の短縮化を図る上で障害となる。
【0005】
また、印刷装置の信頼性を高めるには、マスクの保持状態を人の目視などに頼らず機械的に確認できるように装置を構成することが望ましく、この点も配慮する必要があった。
【0006】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、手間をかけず簡単にマスクを保持でき、かつマスクが確実に保持されているか否かの検出機能を備えた印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記の目的を達成するための手段として、請求項1に記載の発明は、印刷装置本体に設けられ水平な支持面を有するベース部と、前記ベース部の支持面と向かい合うように配置され、上下動可能とされた可動クランプ片とからなるマスク保持装置により、枠状をなすマスクフレームの下面側にステンシルを張りつけたマスクを、印刷装置本体に固定するようにした印刷装置であって、前記可動クランプ片を上下方向に変位させて前記マスクフレームを前記ベース部の支持面との間に挟みつける押圧保持動作を行わせるピストンロッドを有するシリンダ装置と、前記シリンダ装置の作動に伴って前記上下方向に位置変位する可動クランプ片の停止位置、或いはピストンロッドの停止位置を特定する位置情報を検出する位置センサと、を設けたところに特徴を有する。
【0008】
尚、ここでいう、位置情報というのは停止位置を特定可能な情報であればよく、例えば、停止位置に対応して出力がONしたり、あるいはOFFするなどのディジタル的な情報の他、所定の基準位置(基準値)からの変位量をアナログ的に表す情報であってもよい。
【0009】
本発明の実施態様として、以下の構成とすることが好ましい。
・位置センサを、前記可動クランプ片、或いは前記ピストンロッドに設けた被検出部との距離に応じた物理量の変化を捉える非接触式のセンサとする。非接触式のものであれば、接触式のものに比べて、耐久性に優れる。
【0010】
・前記位置センサとして、前記可動クランプ片が前記マスクフレームを押圧保持した状態にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第1の位置センサを設ける構成とする。このようにしてやれば、第1の位置センサの出力が検出状態であることをもって、可動クランプ片がマスクフレームを押圧保持していると確認できる。
【0011】
・前記ピストンロッドが上昇端或いは下降端にあるときには、前記ベース部と前記可動クランプ片との対向間隔が前記マスクフレームの高さ以上となってマスクフレームをリリースするか、或いはマスクフレームの高さ以下となるものにおいて、前記ピストンロッドが上昇端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第2の位置センサと、前記ピストンロッドが下降端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第3の位置センサと、を備える構成とする。このようにしてやれば、第2の位置センサ、第3の位置センサの出力がいずれも非検出状態であることをもって、可動クランプ片がマスクフレームを押圧保持していると確認できる。
【0012】
・前記被検出部をマグネットとし、前記位置センサを磁気の変化を検出する磁気検出素子を備えた磁気センサとする。
【0013】
・前記被検出部としてのマグネットを前記ピストンロッドのピストンに設置する一方、前記磁気センサを前記ピストンロッドを覆うシリンダ本体の外周部に設置する。
【発明の効果】
【0014】
マスクを印刷装置本体に保持させるには、まず、可動クランプ片とベース部との間にマスクを装着させてやる。そして、装着作業が完了したら、次に、シリンダ装置を作動させてやれば、後はピストンロッドが自動的に上下動する結果、ロッドに固定された可動クランプ片がベース部との対向距離を縮めるべく接近動作を行いマスクフレームをベース部と共に上下に挟みこんで保持(押圧保持動作)する。このように、本発明では、マスクを保持する押圧保持動作が自動化されているので、従前の構成に比べて、マスクの取り付け作業を手間を掛けずに簡単に行うことが出来る。
【0015】
また、本発明によれば、位置センサの出力に基づいて、シリンダ駆動に伴う可動クランプ片(あるいはピストンロッド)の停止位置を特定することが出来る。従って、位置センサの出力に応じて所定処理を施すことで、マスクがマスク保持装置により保持されたか否かを、人の目視(ここでいう、目視とは作業者がマスクの保持状態を自らの目で直接確認するという意味である)などに頼らず機械的に確認出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【0016】
<実施形態1>
本発明の実施形態1を図1ないし図10によって説明する。
以下の説明において、基板搬送方向(図1における左右方向)をX軸方向と呼ぶものとする。また、Y軸方向、Z軸方向をそれぞれ図1、図2の向きに定める。
【0017】
1.印刷装置の全体構成と、印刷動作
実施形態1に適用の印刷装置Sは、上面がフラットな基台10を備える。基台10の外周部にはフレーム10Aが設けられると共に、基台10上にはフレーム10Aの内側に位置して、支持部材20が設けられている。
【0018】
図2に示すように、支持部材20はX軸方向の両側に一対設置されると共に、基台10上においてY軸方向に延びておりY軸方向の前後両端部を支柱15によって支えられている。尚、基台10、支柱15、支持部材20などを総称して印刷装置本体9と呼ぶものとする。
【0019】
両支持部材20の上面壁にはY軸方向に延びるレール23が設置されている。これら左右の支持部材20上には、レール23に端部下面の受け部43を嵌合させつつ、スキージヘッド支持フレーム40が横向きに設置されている。そして、図2において左方側の支持部材20上には、モータ25と同モータ25を駆動源とするY軸移動装置(ボールねじ28とボールナットからなる)27が設置されている。
【0020】
これにより、モータ25を通電操作するとY軸移動装置27が作動して、スキージヘッド支持フレーム40をレール23に沿ってY軸方向に進退させるようになっている。
【0021】
尚、図2では省略してあるが、上記スキージヘッド支持フレーム40のX軸方向の中央には、スキージヘッド31に支持されつつスキージ35が取り付けられている(図1参照)。スキージ35はX軸方向に水平に延びる横長な形状をなし、昇降可能とされている。
【0022】
スキージ35の下方にはマスク保持装置50を介してマスクMが取り付けられるようになっている。マスクMは、金属製の角パイプを枠状に形成したマスク枠5の底面側に、テンショナー6を介してステンシル7を固定したものである(図3参照)。尚、ステンシル7は平板状の薄板に、半田ペーストを基板上面に印刷するための印刷用の開口(図略)を形成したものである。
【0023】
マスク保持装置50は図2に示すように左右一対のベース板60と、クランプ装置70とから構成される。ベース板60は支持部材20の内面下部に端部をボルトなどで固定して止められており、左右のものが同じ高さで向かい合っている。
【0024】
本例において左右の両ベース板60は、上面61が支持面として機能するべく水平な板状をなすとともに、全長(Y軸方向の全長)は、図2に示すようにY軸方向の前側から中央に至るような長さをもっている。
【0025】
また、ベース板60におけるY軸方向前側の先端部62は図示下方に屈曲される一方、Y軸方向の奥端寄りの位置にはマスクストッパ63が設けられている。先端部62を下方に折り曲げてあるのは、マスクMをベース板60上に装着させるときに、枠後端がベース板60の先端部62に引っかかることがないように配慮したものである。また、マスクストッパ63はベース板60上に装着されたマスク枠5の後端に当接して、マスクMをY軸方向に位置決めするためのものである。
【0026】
クランプ装置70は各ベース板60ごとに前後2個(より詳しくはY軸方向に前後2個)、装置全体としては4個設置されている。クランプ装置70は可動クランプ片100をシリンダ装置80により昇降させるものであり、支持部材20の上面壁にブラケット71を介して取り付けられている(図3参照)。
【0027】
ブラケット71上には中央にシリンダ装置80が配置され、これとX軸方向に並ぶようにしてスライドシャフト75が左右一対配置されている。両スライドシャフト75は軸受け部材76により軸受けされ上下動可能とされると共に、シャフト下端を可動クランプ片100のX軸方向の両端部にそれぞれ連結させている。
【0028】
可動クランプ片100はX軸方向に延びる横長な形状をなし、幅寸法(X軸方向の幅)はベース板60の板幅とほぼ等しい幅に設置されている。また、可動クランプ片100の前面壁には目盛り101が刻まれている。目盛り101はベース板60上にセットされたマスクMをX軸方向に位置合わせする目的に使用されるものである。
【0029】
シリンダ装置80の構成については後に詳しく説明を行うものとするが、本シリンダ装置80はいわゆる復動式のエアシリンダであり、往復駆動するピストンロッド90を内部に備え、ピストンロッド90の先端に可動クランプ片100を連結させている。
【0030】
以上の構成により、シリンダ装置80を作動させると、可動クランプ片100がスライドシャフト75による案内作用を受けつつ、水平な姿勢を保って昇降し、図4に示すようにベース板60上におかれたマスク枠5の上面を押さえる押圧保持動作を実行したり、あるいは図4に示す状態から上昇してマスク枠5の上面から離間してマスクMをリリースする。
【0031】
尚、図5に示すように、上記押圧保持動作を全4つのクランプ装置70について行うことでマスク枠5、ひいてはマスクMの4隅を均等に押さえることができるようになっている。
【0032】
次に、基板支持ユニット200の説明を行う。基板支持ユニット200はテーブル210、テーブル220、テーブル230、テーブル240、テーブル250を下から順に積み上げた構成とされる(図1参照)。
【0033】
図6に示すように、4段目のテーブル240上には、最上段の5段目のテーブル250を間に挟むようにしてY軸方向の両側に基板搬送レール270が設置されている。両基板搬送レール270は共にX軸方向に水平に延びており、レール支持部280A、280Bによって支持されている。係る基板搬送レール270は循環駆動する搬送ベルト(図略)と共に、印刷対象の基板PをX軸方向に搬送する搬送コンベアを構成している。
【0034】
尚、本実施形態のものは、装置奥側(図6において上側)に位置するレール支持部280Bが、不図示のシリンダ装置の動力を得て、Y軸方向に可動できるようになっている。このような構成とすることで、印刷対象となる基板の基板サイズに応じて両基板搬送レール270の対向間隔(すなわち、レール幅)を調整出来るようになっている。
【0035】
また、両レール支持部280A、280B上には、基板クランプ片280C、280Dがそれぞれ設置されている。図6において上側に位置する装置奥側の基板クランプ片280Dはレール支持部280Bに対してY軸方向にスライド可能とされており、テーブル250上に運ばれてきた基板Pを相手側の基板クランプ片280Cと共にY軸方向の両側から挟んで保持する機能(図7の(a)、(b)参照)を担っている。
【0036】
図6に戻って説明を続けると、最上段にあたる5段目のテーブル250上には、ピン保持孔(不図示)を行列状に配置したマトリクスプレート290が設置されている。このマトリクスプレート290上には、ピン保持孔にピン端部を挿通させつつ、バックアップピン295が複数本起立保持されている。
【0037】
さて、基板支持ユニット200を構成する5つのテーブル210〜250はいずれも可動テーブルとなっている。順に説明してゆくと、基台10上にはY軸方向に延びるYレール11が4本設置されている(図2、図5では省略してある)。そして、これらYレール11上に、テーブル下面に設けられたレール受け部213を嵌合させつつ、初段のテーブル210が乗っている。これにより、図外のY軸サーボ機構を作動させると、初段のテーブル210を含む基板支持ユニット200の全体をYレール11に沿ってY軸方向に移動できる。
【0038】
初段のテーブル210はX軸方向に延びる横長な形状とされ、テーブル上面にはX軸方向に延びるXレール215が2本設置されている。そして、これらXレール215上に、テーブル下面に設けられたレール受け部223を嵌合させつつ、2段目のテーブル220が乗っている。
【0039】
これにより、図外のX軸サーボ機構を作動させると、2段目のテーブル220をレールに沿ってX軸方向に移動できる。以上のことから、初段のテーブル210と2段目のテーブル220を複合的に動作させることで、基板支持ユニット200を基台10上における任意の位置に水平移動させることが出来る。
【0040】
2段目のテーブル220上には回転機構225が設けられている。回転機構225は回転用サーボ機構(図略)の動力を得て駆動し、3段目のテーブル230を回転させる。また、3段目のテーブル230と4段目のテーブル250の間、4段目のテーブル240と5段目のテーブル250の間にそれぞれ昇降装置(不図示)が設けられており、4段目のテーブル240、5段目のテーブル250がそれぞれ独立して昇降できるようになっている。
【0041】
そして、当実施形態のものは、4段目のテーブル240、5段目のテーブル250をいずれも下降した状態(以下、基板搬送姿勢と呼ぶ)にセットしておくと、バックアップピン295が基板搬送レール270の下方に位置すると共に、基板搬送レール270のレール高さが、当印刷装置Sに隣接する他の装置(検査装置や、実装機など)に設けられるレールと同じ高さとなる。
【0042】
従って、基板搬送姿勢にある基板支持ユニット200を水平移動させつつ、基台10の端に移動させると、基板搬送レール270を隣接する装置に設けられるレール(不図示)に段差なく連続させることができ、同レールを通じて印刷対象の基板Pを、隣接する他の装置との間で受け渡すことが出来る。
【0043】
次に、図7を参照して、基板受け渡し後に実施される当印刷装置Sによる印刷動作を簡単に説明する。印刷対象の基板Pは上流側の装置より搬入された後、ベルト駆動によって基板搬送レール270上をX軸方向左側へと運ばれ、基板ユニット中央の基板停止位置に停止される(図7の(a))。
【0044】
基板Pが上記位置に停止されると、続いて5段目のテーブル240を昇降させる処理が行われ、下降状態にあったテーブル250、ひいてはバックアップピン295を上昇させる。
【0045】
そして、上昇動作の過程でバックアップピン295の上端が、基板停止位置にある基板Pの下面に当接し、印刷対象の基板Pを持ち上げる。これにより、印刷対象の基板Pは、基板搬送レール270から浮いた状態となり、搬送コンベアから切り離される。
【0046】
そして、テーブル250の昇降量が所定量に達し、印刷対象の基板Pが図7の(b)に示すように、基板クランプ片280C、280Dの上面と面一となる高さまで持ち上げられると、テーブル250はその高さで停止される。
【0047】
テーブル250の上昇動作が停止されると、今度は不図示のシリンダ装置が駆動し、基板クランプ片280Dが、相手側の基板クランプ片280Cとの対向距離を狭めるようにY軸方向(図7では右側)に移動する。これにより、バックアップピン295により下面を支持された印刷対象の基板Pは、両基板クランプ片280C、280DによってY軸方向の両側から挟み込まれて保持される(図7の(b)参照)。
【0048】
かくして、印刷対象の基板Pが保持されると、基板支持ユニット200は基台10上を水平移動してカメラ下方の撮影位置に至る。そして、カメラによる基板Pの撮影が行われ、これが完了すると、マスクMの下方に移動し、印刷対象の基板Pをステンシル下方の印刷位置にセットさせる(図7の(c))。
【0049】
尚、このとき、先のカメラ撮影により得られる基板画像に基づいて基板Pの保持姿勢が調べられ、基板Pの保持が正規状態に対してずれていれば、位置ずれを補正する処理(例えば、ずれを抑えるように3段目のテーブル230を回転させるなど)が併せて行われる。
【0050】
かくして、印刷対象の基板Pが印刷位置にセットされると、今度は、4段目のテーブル240を昇降させる処理が行われ、下降状態にあったテーブル240を上昇させる。
【0051】
これにより、保持状態にある印刷対象の基板Pはステンシル7に接近してゆく。そして、テーブル240の昇降量が所定量に達すると、テーブル240の上昇動作は停止され、このときには、印刷対象の基板Pが図7の(d)に示すようにステンシル7の下面に重装された状態となる。
【0052】
あとは、スキージ35を下降させてステンシル7の上面に当接させつつ、半田供給装置によってステンシル7上にペースト状の半田を供給する。そして、スキージ35をY軸方向に往復移動させ、ペースト状の半田を引き延ばしてやれば、ステンシル7の印刷用開口に半田が埋め込まれ、印刷対象の基板P上の所望位置に半田を印刷することが出来る。
【0053】
そして、半田の印刷が完了したら、上記した動作を逆に辿ることで、基板支持ユニット200を基台中央まで移動させることが出来、また、基板支持ユニット200を基板搬送姿勢(すなわち、図1に示すように4段目のテーブル240、5段目のテーブル250をいずれも下降させた状態)に戻すことが出来る。
【0054】
従って、あとは、基板搬送姿勢にある基板支持ユニット200を下流側の装置側、すなわち図1における左端側に移動させつつ基板搬送レール270の一部を装置外に突出させると、突出した基板搬送レール270が下流側の装置のレール(不図示)に段差なく連続する。これにより、同レールを通じて印刷済みの基板Pを、下流側の装置に搬出できる。
【0055】
2.シリンダ装置の内部構造と、ピストンロッドの停止位置を検出する位置センサ
【0056】
図8は可動クランプ装置の正面図、図9はシリンダ装置の断面図(図8中のA−A線断面図)である。図9に示すように、シリンダ装置80はピストン収容室83を有するシリンダ本体81を備える。シリンダ本体81のピストン収容室83にはピストン93が収容され、同ピストン収容室83を上室85と下室86の2室に仕切っている。
【0057】
係るピストン93は図9において下向きに延びるロッド91を一体的に形成するとともに、ピストン外周部には、後述する位置センサ120の検出対象となるマグネットMgが埋め込まれている。
【0058】
そして、シリンダ本体81には壁面を貫通するようにして、上室85に連なるエア通路85Aと、下室86に連なるエア通路86Aが設けられている。
【0059】
これにより、制御弁J1を開放して上室85を排気させる一方、制御弁J2を閉止して下室86に給気させることでピストンロッド(当実施例ではピストン93とロッド91を総称してピストンロッドと呼んでいる)90を上昇させることができ、また、これとは反対に、制御弁J2を開放して下室86を排気させる一方、制御弁J1を閉止して上室85に給気させることでピストンロッド90を下降できる。
【0060】
本実施形態のものは、ピストンロッド90の可動範囲が図10のように設定されており、図10の(a)に示す上昇位置(本発明の「上昇端」に相当する位置であって、ロッドのストッパ95が上室85の天井に突き当たる位置)にピストンロッド90を位置させると、可動クランプ片100の下面とベース板60の上面との対向間隔Dが、マスク枠5の高さDoより広い状態(以下、リリース状態とも言う)になる。
【0061】
そして係る図10の(a)に示す状態からエアの給排によりシリンダ装置80を作動させると、ピストンロッド90は下降動作を行い、最終的には図10の(b)に示す中間位置、或いは図10の(c)に示す下降位置のいずれかで停止する。
【0062】
すなわち、ベース板60上にマスクMがセットされていれば、下降動作の途中で可動クランプ片100がマスク枠5の上面に当接し、その位置でピストンロッド90の下降動作が停止され、ピストンロッド90は図10の(b)に示す中間位置に留まった状態となる。
【0063】
一方、ベース板60上にマスクMがセットされていなければ、ピストンロッド90はストッパ96が下室86の底壁に突き当たるまで下降して、図10の(c)に示す下降位置(本発明の「下降端」に相当する位置であって、可動クランプ片100とベース板60の上面との対向間隔Dがマスク枠5の高さDoより狭くなる位置)において停止する。
【0064】
従って、マスクMが可動クランプ片100によって押圧保持された状態にあるか、否かを判別するには、ピストンロッド90の停止位置が図10の(b)に示す中間位置にあるか、それ以外の位置(上昇位置/下降位置)にあるかを検出してやればよく、この検出機能を以下に説明する位置センサ120が担っている。
【0065】
ピストンロッド90を覆うシリンダ本体81の外周壁(より詳しく言えば、外周壁全4面)には、図8に示すようにセンサ取付溝86A、86Bが設けられている。センサ取付溝86A、86Bは上下に延びる縦長な形状をなし、2本が左右に並ぶようにして形成されている。そして、これらセンサ取付溝86A、86Bの溝下部には、位置センサ120を固定するための螺子孔87がそれぞれ設けられている。
【0066】
位置センサ(本発明の「第一の位置センサ」に相当)120はケーシング121内に、検出素子として磁気検出素子(ホール素子や、MR素子など)125を収容した磁気センサである。位置センサ120はセンサ取付溝86に嵌合可能な大きさをなし、また上部からは検出結果を出力するための信号線127が引き出されている。
【0067】
これにより、信号線127が引き出された側の側面をセンサ取付溝86の反対側(図9に示す右側)に向けつつ、センサ全体をセンサ取付溝86に嵌め合わせ、その状態からねじ止めするとシリンダ本体81に位置センサ120を固定できるようになっている。本実施形態のものは、図8に示す右側のセンサ取付溝86Bを用いて、シリンダ本体81に位置センサ120を1つだけ取り付けている。また、図8に示す符号123はセンサの検出状態を表示する表示灯である。
【0068】
シリンダ本体81に設置された位置センサ120の検出領域は、図10に示す通りであり、ピストンロッド90が図10の(a)に示す上昇位置、及び図10の(c)に示す下降位置にあるときには、ピストン93に設けられたマグネットMgが位置センサ120の検出領域から外れて、位置センサ120の出力がいずれもOFF状態(非検出状態)となる。
【0069】
その一方、ピストンロッド90が図10の(b)に示す中間位置、すなわち可動クランプ片100がマスクMのマスク枠5を押圧保持した状態にあるときには、マグネットMgが位置センサ120の検出領域内に入り、位置センサ120の出力がON状態(検出状態)となる。
【0070】
このように、可動クランプ片100がマスク枠5を押圧保持している場合にのみ位置センサ120の出力がON状態となるので、センサの出力に応じて所定処理を行なうことで、マスクMが保持状態にあるか、否かを人の目視(ここでいう、目視とは作業者がマスクの保持状態を自らの目で直接確認するという意味である)などに頼らず、機械的に確認出来る。
【0071】
次に、印刷対象の基板Pを切り換えるときに行われるマスクMの交換作業について、簡単に説明する。まず、使用済みのマスクMを印刷装置本体9から取り外すには、マスクMの4隅を押圧保持している可動クランプ片100を図10の(b)に示す中間位置から、図10の(a)に示す上昇位置に変位させ、マスクMをリリースする必要がある。
【0072】
これを行うには、印刷装置Sに設けられる不図示の操作部に対しパネル操作などにより解除指令を与えてやればよく、これを実行すると制御弁J1、J2の切り換え制御が実行される。
【0073】
具体的には、制御弁J1が開放され、制御弁J2が閉止される、これにより、上室85が排気される一方、下室86が給気されるから、図10の(b)に示す中間位置にあったピストンロッド90は上昇し、マスク枠5の上面から離間する(リリース)。
【0074】
上昇したピストンロッド90は、ストッパ95が上室85の天井に突き当たるまで上昇を続け、最終的には、図10の(a)に示す上昇位置で停止する。
【0075】
この状態においては、ピストンロッド90の下端に設置された可動クランプ片100と、マスク枠5の上面との間には、十分なクリアランスが確保されており、使用済みのマスクMを印刷装置本体9から装置手前に引き出しつつ取り出すことができる。
【0076】
そして、使用済みのマスクMの取り出しが終わったら、今度は新しいマスクMを印刷装置Sにセットしてやればよい。具体的には、X軸方向に並ぶ両ベース板60の前縁にマスクMの下面後端を載せつつ、マスクMを装置の奥方に押し込んでやればよい。
【0077】
係る押し込み操作を行うと、マスクMはベース板60上を移動しつつ、Y軸方向奥側へと押し込まれ、やがて、マスク後端がベース板60上に設けられるマスクストッパ63に突き当たり、その位置でマスクMのY軸方向に関する移動が規制され、該マスクMはY軸方向に位置規制された状態となる。
【0078】
かくして、マスクMをY軸方向に位置決めすることができたら、次に、可動クランプ片100の前面壁に刻み印された目盛り101を参照しつつ、X軸方向の位置を調整してやれば、マスクMをX軸方向について位置合わせでき、これにて、作業者が負担する作業が完了する。
【0079】
尚、このときには、既に述べてあるように、ピストンロッド90は図10の(a)に示す上昇位置にあって、ピストン93に設けられたマグネットMgが位置センサ120の検出領域から外れた状態にあるから、位置センサ120の出力はOFF状態になる。
【0080】
さて、上述のようにマスクMのセット作業が完了したら、作業者は、印刷装置Sに設けられる不図示の操作部に対しパネル操作などによりクランプ指令を与えてやればよく、これを実行すると、制御弁J1、J2の切り換え制御が実行される。
【0081】
具体的には、開放状態にある制御弁J1は閉止され、これとは反対に、閉止状態にある制御弁J2は開放される。これにより、上室85が給気される一方、下室86が排気されるから、図10の(a)に示す上昇位置にあったピストンロッド90は下降をはじめ、ベース板60上にセットされたマスク枠5の上面に可動クランプ片100が接近してゆく。
【0082】
下降する可動クランプ片100はやがて、マスク枠5の上面に突き当たり、マスク枠5を押圧する。このような可動クランプ片100による押圧保持動作がマスク枠5の4隅に対して行われることで、マスクMはベース板60、ひいては印刷装置本体9に対して緩みなく固定される。
【0083】
そして、このときには、ピストンロッド90が図10の(b)に示す中間位置にあって、ピストン93のマグネットMgが位置センサ120の検出領域内に位置するので、位置センサ120の出力がON状態となる。
【0084】
これにより、位置センサ120の出力に応じて所定処理を行なうことで、マスクMが保持されているか、否かを目視などに頼らず機械的に確認できる。
【0085】
あとは、RUNスイッチなど次のパネル操作を行うことで、新たな基板Pについて印刷動作を開始できる。
【0086】
尚、本実施形態の印刷装置Sは、位置センサ120から出力される検出信号が、不図示の制御装置に取り込まれるように構成されている。これにより、作業者が上記したクランプ指令を行った後、所定時間を経過しても、位置センサ120の出力がOFF状態である場合には、マスクMがクランプされていないと判断し、エラーメッセージを発するようになっている。
【0087】
このように、本実施形態によれば、マスクMを保持する押圧保持動作が自動化されているので、従前の構成に比べて、マスクMの交換作業(取り付け作業)を手間を掛けずに簡単に行うことが出来る。また、マスクMが保持されているか、どうかを人の目視などに頼らず機械的に確認出来るので、装置の信頼性が高まる。
【0088】
加えて、位置センサ120として非接触式のものを使用している。このような構成であれば、接触式のセンサに比べて耐久性が高くなるから、マスクMの保持確認について信頼性が高まる。
【0089】
また、ピストン93は、シリンダ本体81のピストン収容室83の内壁面に摺接しつつ往復運動する。本実施形態のものは、係る摺動部品の一方側(ピストン93)にマグネットMgを配置する一方、他方側(シリンダ本体81)に位置センサ120を設置させている。このような構成であれば、マグネットMgと位置センサ120を接近配置することが可能となり、センサの検出精度が高くなる。
【0090】
尚、本実施形態のものは、マスクMの4隅に対応してクランプ装置70を4箇所設置しているが、上記位置センサ120を全4つのクランプ装置70のうちの、いずれか一の装置のみに設置することとしている。
【0091】
このような構成としてやれば、センサの搭載個数が少なくて済みコストメリットがある。しかし、マスク保持の確認について、信頼性をより高く設定したい要請があれば、各クランプ装置70のそれぞれに位置センサ120を設ける構成とすることが好ましい。
【0092】
<実施形態2>
本発明の実施形態2を図11によって説明する。
実施形態1では、位置センサ120を1つ使用する例を挙げた。これ対して、実施形態2では、位置センサ(実施形態1と同様の磁気センサ)310、320を2つ使用して、実施形態1と同様の効果を得るようにしたものである。
【0093】
具体的に説明すると、本実施形態のものは、位置センサ310、320を、それぞれ検出領域が図11の位置になるように、シリンダ本体81に設置させている。
【0094】
このような設定としてやれば、ピストンロッド90が図11の(a)に示す上昇位置にあるときには、位置センサ310の出力がON状態、位置センサ320の出力がOFF状態となる。
【0095】
また、ピストンロッド90が図11の(b)に示す中間位置にあるときには、位置センサ310、位置センサ320の出力がいずれもOFF状態となる。
【0096】
そして、ピストンロッド90が、図11の(c)に示す下降位置にあるときには、位置センサ310がOFF状態になり、位置センサ320の出力がON状態となる。
【0097】
以上のことから、両位置センサ310、320がいずれもOFF状態にあることをもって、マスクMの保持を確認できる。
【0098】
尚、図11のように、位置センサ310、位置センサ320の検出領域を高さ方向で異なる位置に設定するには、例えば、センサ取付溝86A、86Bの螺子孔87を高さ方向に複数個設けておき、位置センサ310、320をねじ止めする際に、螺子孔87を選択使用してやればよい。
【0099】
<実施形態3>
本発明の実施形態3を図12によって説明する。
実施形態3のものは、実施形態1の構成をやや変形させたものであり、実施形態1の構成に位置センサ310を追加し、図12に示すようにセンサの検出領域を設定している。
【0100】
このような設定としてやれば、ピストンロッド90が図12の(a)に示す上昇位置にあるときには、位置センサ310の出力がON状態となり、その状態からピストンロッド90が下降動作を始めれば、動作後には位置センサ310の出力がOFF状態となる。
【0101】
従って、位置センサ310の出力がON状態であることをもって、可動クランプ片100が下降動作を行っていないと確認できる。
【0102】
<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【0103】
(1)上記実施形態1〜3では、いずれもピストンロッドの停止位置を検出する構成をとったが、可動クランプ片にマグネットなどを設けて可動クランプ片の停止位置を検出する構成としてもよい。
【0104】
(2)上記実施形態では、いずれも、ピストンロッドの停止位置を検出する位置センサとして磁気センサを用いたが、これに代えて、例えば、検出光の透過/遮へいに基づいて位置検出を行う光センサなどが使用可能であり、更には、リミットスイッチなど接点式のものを使用することも可能である。
【0105】
(3)上記実施形態1〜3ではシリンダ装置80として、いずれも復動式のエアシリンダを用いたが、単動式のエアシリンダも使用可能である。
【0106】
(4)実施形態1〜3では、ピストンロッドの停止位置の検出に磁気を検出する位置センサを使用したが、たとえば、係る位置センサに空気圧センサなどを組み合わせることも可能である。ここでいう空気圧センサとは、エアの給排に伴って変動する上室/下室の圧力を検出するものであり、これを用いることで、空気圧センサの出力に基づいていずれの室が給気状態、あるいは排気状態にあるかを特定することができ、これをもって、図10に示す(a)の状態と、図10に示す(c)の状態との判別が可能となる。従って、位置センサ310/320の機能を、空気圧センサで代用するなどが可能となる。
【0107】
(5)上記実施形態1〜3では、いずれもピストンロッド(可動クランプ片)を下降動作させてマスクを押圧保持する構成を採用したが、構成を上下反転させ、ピストンロッド(可動クランプ片)の上昇動作によりマスクを押圧保持することも無論可能である。
【図面の簡単な説明】
【0108】
【図1】実施形態1に適用された印刷装置の正面図
【図2】印刷装置本体の構成を示す、斜視図
【図3】マスクの取り付け構造を示す図(押圧保持前)
【図4】マスクの取り付け構造を示す図(押圧保持後)
【図5】マスクの取り付け状態を示す平面図
【図6】基板支持ユニットの平面図
【図7】印刷動作を示す図
【図8】クランプ装置の正面図
【図9】図8中のA−A線断面図
【図10】位置センサの検出領域と、ピストンロッドの停止位置の関係を示す図
【図11】実施形態2における、位置センサの検出領域と、ピストンロッドの停止位置の位置関係を示す図
【図12】実施形態3における、位置センサの検出領域と、ピストンロッドの停止位置の位置関係を示す図
【符号の説明】
【0109】
5…マスク枠(本発明の「マスクフレーム」に相当)
7…ステンシル
9…印刷装置本体
50…マスク保持装置
60…ベース板(本発明の「ベース部」に相当)
61…上面(本発明の「支持面」に相当)
70…クランプ装置
80…シリンダ装置
81…シリンダ本体
90…ピストンロッド
93…ピストン
100…可動クランプ片
120…位置センサ(本発明の「第1の位置センサ」に相当)
310…位置センサ(本発明の「第2の位置センサ」に相当)
320…位置センサ(本発明の「第3の位置センサ」に相当)
S…印刷装置
M…マスク
Mg…マグネット(本発明の「被検出部」に相当)
【技術分野】
【0001】
本発明は、印刷装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、マスク枠(マスクフレーム)の下面側に薄板状のステンシルを張りつけたマスクを用いて、基板上にクリーム半田などのペーストを印刷する印刷装置が広く知られている。この種の印刷装置においては、スキージをステンシル上に圧接させた状態で印刷動作を行うから、印刷装置本体にマスク枠を緩みなく保持しておく必要がある。
【0003】
この種の保持装置の一例として、下記の文献には、螺軸を手動によりねじ回しすることで、マスク枠を支える保持台を上下動させつつ、マスク枠を印刷装置本体に緩みなく保持するものが開示されている。
【特許文献1】実用新案登録第2587426号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記構成によれば、螺軸を手動によりねじ回しすることでマスク枠を固定しているが、ねじ回しなどの操作を手動により行うことは煩わしさがあり、更にはマスク交換などの段替え作業に必要とされる作業時間の短縮化を図る上で障害となる。
【0005】
また、印刷装置の信頼性を高めるには、マスクの保持状態を人の目視などに頼らず機械的に確認できるように装置を構成することが望ましく、この点も配慮する必要があった。
【0006】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、手間をかけず簡単にマスクを保持でき、かつマスクが確実に保持されているか否かの検出機能を備えた印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記の目的を達成するための手段として、請求項1に記載の発明は、印刷装置本体に設けられ水平な支持面を有するベース部と、前記ベース部の支持面と向かい合うように配置され、上下動可能とされた可動クランプ片とからなるマスク保持装置により、枠状をなすマスクフレームの下面側にステンシルを張りつけたマスクを、印刷装置本体に固定するようにした印刷装置であって、前記可動クランプ片を上下方向に変位させて前記マスクフレームを前記ベース部の支持面との間に挟みつける押圧保持動作を行わせるピストンロッドを有するシリンダ装置と、前記シリンダ装置の作動に伴って前記上下方向に位置変位する可動クランプ片の停止位置、或いはピストンロッドの停止位置を特定する位置情報を検出する位置センサと、を設けたところに特徴を有する。
【0008】
尚、ここでいう、位置情報というのは停止位置を特定可能な情報であればよく、例えば、停止位置に対応して出力がONしたり、あるいはOFFするなどのディジタル的な情報の他、所定の基準位置(基準値)からの変位量をアナログ的に表す情報であってもよい。
【0009】
本発明の実施態様として、以下の構成とすることが好ましい。
・位置センサを、前記可動クランプ片、或いは前記ピストンロッドに設けた被検出部との距離に応じた物理量の変化を捉える非接触式のセンサとする。非接触式のものであれば、接触式のものに比べて、耐久性に優れる。
【0010】
・前記位置センサとして、前記可動クランプ片が前記マスクフレームを押圧保持した状態にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第1の位置センサを設ける構成とする。このようにしてやれば、第1の位置センサの出力が検出状態であることをもって、可動クランプ片がマスクフレームを押圧保持していると確認できる。
【0011】
・前記ピストンロッドが上昇端或いは下降端にあるときには、前記ベース部と前記可動クランプ片との対向間隔が前記マスクフレームの高さ以上となってマスクフレームをリリースするか、或いはマスクフレームの高さ以下となるものにおいて、前記ピストンロッドが上昇端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第2の位置センサと、前記ピストンロッドが下降端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第3の位置センサと、を備える構成とする。このようにしてやれば、第2の位置センサ、第3の位置センサの出力がいずれも非検出状態であることをもって、可動クランプ片がマスクフレームを押圧保持していると確認できる。
【0012】
・前記被検出部をマグネットとし、前記位置センサを磁気の変化を検出する磁気検出素子を備えた磁気センサとする。
【0013】
・前記被検出部としてのマグネットを前記ピストンロッドのピストンに設置する一方、前記磁気センサを前記ピストンロッドを覆うシリンダ本体の外周部に設置する。
【発明の効果】
【0014】
マスクを印刷装置本体に保持させるには、まず、可動クランプ片とベース部との間にマスクを装着させてやる。そして、装着作業が完了したら、次に、シリンダ装置を作動させてやれば、後はピストンロッドが自動的に上下動する結果、ロッドに固定された可動クランプ片がベース部との対向距離を縮めるべく接近動作を行いマスクフレームをベース部と共に上下に挟みこんで保持(押圧保持動作)する。このように、本発明では、マスクを保持する押圧保持動作が自動化されているので、従前の構成に比べて、マスクの取り付け作業を手間を掛けずに簡単に行うことが出来る。
【0015】
また、本発明によれば、位置センサの出力に基づいて、シリンダ駆動に伴う可動クランプ片(あるいはピストンロッド)の停止位置を特定することが出来る。従って、位置センサの出力に応じて所定処理を施すことで、マスクがマスク保持装置により保持されたか否かを、人の目視(ここでいう、目視とは作業者がマスクの保持状態を自らの目で直接確認するという意味である)などに頼らず機械的に確認出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【0016】
<実施形態1>
本発明の実施形態1を図1ないし図10によって説明する。
以下の説明において、基板搬送方向(図1における左右方向)をX軸方向と呼ぶものとする。また、Y軸方向、Z軸方向をそれぞれ図1、図2の向きに定める。
【0017】
1.印刷装置の全体構成と、印刷動作
実施形態1に適用の印刷装置Sは、上面がフラットな基台10を備える。基台10の外周部にはフレーム10Aが設けられると共に、基台10上にはフレーム10Aの内側に位置して、支持部材20が設けられている。
【0018】
図2に示すように、支持部材20はX軸方向の両側に一対設置されると共に、基台10上においてY軸方向に延びておりY軸方向の前後両端部を支柱15によって支えられている。尚、基台10、支柱15、支持部材20などを総称して印刷装置本体9と呼ぶものとする。
【0019】
両支持部材20の上面壁にはY軸方向に延びるレール23が設置されている。これら左右の支持部材20上には、レール23に端部下面の受け部43を嵌合させつつ、スキージヘッド支持フレーム40が横向きに設置されている。そして、図2において左方側の支持部材20上には、モータ25と同モータ25を駆動源とするY軸移動装置(ボールねじ28とボールナットからなる)27が設置されている。
【0020】
これにより、モータ25を通電操作するとY軸移動装置27が作動して、スキージヘッド支持フレーム40をレール23に沿ってY軸方向に進退させるようになっている。
【0021】
尚、図2では省略してあるが、上記スキージヘッド支持フレーム40のX軸方向の中央には、スキージヘッド31に支持されつつスキージ35が取り付けられている(図1参照)。スキージ35はX軸方向に水平に延びる横長な形状をなし、昇降可能とされている。
【0022】
スキージ35の下方にはマスク保持装置50を介してマスクMが取り付けられるようになっている。マスクMは、金属製の角パイプを枠状に形成したマスク枠5の底面側に、テンショナー6を介してステンシル7を固定したものである(図3参照)。尚、ステンシル7は平板状の薄板に、半田ペーストを基板上面に印刷するための印刷用の開口(図略)を形成したものである。
【0023】
マスク保持装置50は図2に示すように左右一対のベース板60と、クランプ装置70とから構成される。ベース板60は支持部材20の内面下部に端部をボルトなどで固定して止められており、左右のものが同じ高さで向かい合っている。
【0024】
本例において左右の両ベース板60は、上面61が支持面として機能するべく水平な板状をなすとともに、全長(Y軸方向の全長)は、図2に示すようにY軸方向の前側から中央に至るような長さをもっている。
【0025】
また、ベース板60におけるY軸方向前側の先端部62は図示下方に屈曲される一方、Y軸方向の奥端寄りの位置にはマスクストッパ63が設けられている。先端部62を下方に折り曲げてあるのは、マスクMをベース板60上に装着させるときに、枠後端がベース板60の先端部62に引っかかることがないように配慮したものである。また、マスクストッパ63はベース板60上に装着されたマスク枠5の後端に当接して、マスクMをY軸方向に位置決めするためのものである。
【0026】
クランプ装置70は各ベース板60ごとに前後2個(より詳しくはY軸方向に前後2個)、装置全体としては4個設置されている。クランプ装置70は可動クランプ片100をシリンダ装置80により昇降させるものであり、支持部材20の上面壁にブラケット71を介して取り付けられている(図3参照)。
【0027】
ブラケット71上には中央にシリンダ装置80が配置され、これとX軸方向に並ぶようにしてスライドシャフト75が左右一対配置されている。両スライドシャフト75は軸受け部材76により軸受けされ上下動可能とされると共に、シャフト下端を可動クランプ片100のX軸方向の両端部にそれぞれ連結させている。
【0028】
可動クランプ片100はX軸方向に延びる横長な形状をなし、幅寸法(X軸方向の幅)はベース板60の板幅とほぼ等しい幅に設置されている。また、可動クランプ片100の前面壁には目盛り101が刻まれている。目盛り101はベース板60上にセットされたマスクMをX軸方向に位置合わせする目的に使用されるものである。
【0029】
シリンダ装置80の構成については後に詳しく説明を行うものとするが、本シリンダ装置80はいわゆる復動式のエアシリンダであり、往復駆動するピストンロッド90を内部に備え、ピストンロッド90の先端に可動クランプ片100を連結させている。
【0030】
以上の構成により、シリンダ装置80を作動させると、可動クランプ片100がスライドシャフト75による案内作用を受けつつ、水平な姿勢を保って昇降し、図4に示すようにベース板60上におかれたマスク枠5の上面を押さえる押圧保持動作を実行したり、あるいは図4に示す状態から上昇してマスク枠5の上面から離間してマスクMをリリースする。
【0031】
尚、図5に示すように、上記押圧保持動作を全4つのクランプ装置70について行うことでマスク枠5、ひいてはマスクMの4隅を均等に押さえることができるようになっている。
【0032】
次に、基板支持ユニット200の説明を行う。基板支持ユニット200はテーブル210、テーブル220、テーブル230、テーブル240、テーブル250を下から順に積み上げた構成とされる(図1参照)。
【0033】
図6に示すように、4段目のテーブル240上には、最上段の5段目のテーブル250を間に挟むようにしてY軸方向の両側に基板搬送レール270が設置されている。両基板搬送レール270は共にX軸方向に水平に延びており、レール支持部280A、280Bによって支持されている。係る基板搬送レール270は循環駆動する搬送ベルト(図略)と共に、印刷対象の基板PをX軸方向に搬送する搬送コンベアを構成している。
【0034】
尚、本実施形態のものは、装置奥側(図6において上側)に位置するレール支持部280Bが、不図示のシリンダ装置の動力を得て、Y軸方向に可動できるようになっている。このような構成とすることで、印刷対象となる基板の基板サイズに応じて両基板搬送レール270の対向間隔(すなわち、レール幅)を調整出来るようになっている。
【0035】
また、両レール支持部280A、280B上には、基板クランプ片280C、280Dがそれぞれ設置されている。図6において上側に位置する装置奥側の基板クランプ片280Dはレール支持部280Bに対してY軸方向にスライド可能とされており、テーブル250上に運ばれてきた基板Pを相手側の基板クランプ片280Cと共にY軸方向の両側から挟んで保持する機能(図7の(a)、(b)参照)を担っている。
【0036】
図6に戻って説明を続けると、最上段にあたる5段目のテーブル250上には、ピン保持孔(不図示)を行列状に配置したマトリクスプレート290が設置されている。このマトリクスプレート290上には、ピン保持孔にピン端部を挿通させつつ、バックアップピン295が複数本起立保持されている。
【0037】
さて、基板支持ユニット200を構成する5つのテーブル210〜250はいずれも可動テーブルとなっている。順に説明してゆくと、基台10上にはY軸方向に延びるYレール11が4本設置されている(図2、図5では省略してある)。そして、これらYレール11上に、テーブル下面に設けられたレール受け部213を嵌合させつつ、初段のテーブル210が乗っている。これにより、図外のY軸サーボ機構を作動させると、初段のテーブル210を含む基板支持ユニット200の全体をYレール11に沿ってY軸方向に移動できる。
【0038】
初段のテーブル210はX軸方向に延びる横長な形状とされ、テーブル上面にはX軸方向に延びるXレール215が2本設置されている。そして、これらXレール215上に、テーブル下面に設けられたレール受け部223を嵌合させつつ、2段目のテーブル220が乗っている。
【0039】
これにより、図外のX軸サーボ機構を作動させると、2段目のテーブル220をレールに沿ってX軸方向に移動できる。以上のことから、初段のテーブル210と2段目のテーブル220を複合的に動作させることで、基板支持ユニット200を基台10上における任意の位置に水平移動させることが出来る。
【0040】
2段目のテーブル220上には回転機構225が設けられている。回転機構225は回転用サーボ機構(図略)の動力を得て駆動し、3段目のテーブル230を回転させる。また、3段目のテーブル230と4段目のテーブル250の間、4段目のテーブル240と5段目のテーブル250の間にそれぞれ昇降装置(不図示)が設けられており、4段目のテーブル240、5段目のテーブル250がそれぞれ独立して昇降できるようになっている。
【0041】
そして、当実施形態のものは、4段目のテーブル240、5段目のテーブル250をいずれも下降した状態(以下、基板搬送姿勢と呼ぶ)にセットしておくと、バックアップピン295が基板搬送レール270の下方に位置すると共に、基板搬送レール270のレール高さが、当印刷装置Sに隣接する他の装置(検査装置や、実装機など)に設けられるレールと同じ高さとなる。
【0042】
従って、基板搬送姿勢にある基板支持ユニット200を水平移動させつつ、基台10の端に移動させると、基板搬送レール270を隣接する装置に設けられるレール(不図示)に段差なく連続させることができ、同レールを通じて印刷対象の基板Pを、隣接する他の装置との間で受け渡すことが出来る。
【0043】
次に、図7を参照して、基板受け渡し後に実施される当印刷装置Sによる印刷動作を簡単に説明する。印刷対象の基板Pは上流側の装置より搬入された後、ベルト駆動によって基板搬送レール270上をX軸方向左側へと運ばれ、基板ユニット中央の基板停止位置に停止される(図7の(a))。
【0044】
基板Pが上記位置に停止されると、続いて5段目のテーブル240を昇降させる処理が行われ、下降状態にあったテーブル250、ひいてはバックアップピン295を上昇させる。
【0045】
そして、上昇動作の過程でバックアップピン295の上端が、基板停止位置にある基板Pの下面に当接し、印刷対象の基板Pを持ち上げる。これにより、印刷対象の基板Pは、基板搬送レール270から浮いた状態となり、搬送コンベアから切り離される。
【0046】
そして、テーブル250の昇降量が所定量に達し、印刷対象の基板Pが図7の(b)に示すように、基板クランプ片280C、280Dの上面と面一となる高さまで持ち上げられると、テーブル250はその高さで停止される。
【0047】
テーブル250の上昇動作が停止されると、今度は不図示のシリンダ装置が駆動し、基板クランプ片280Dが、相手側の基板クランプ片280Cとの対向距離を狭めるようにY軸方向(図7では右側)に移動する。これにより、バックアップピン295により下面を支持された印刷対象の基板Pは、両基板クランプ片280C、280DによってY軸方向の両側から挟み込まれて保持される(図7の(b)参照)。
【0048】
かくして、印刷対象の基板Pが保持されると、基板支持ユニット200は基台10上を水平移動してカメラ下方の撮影位置に至る。そして、カメラによる基板Pの撮影が行われ、これが完了すると、マスクMの下方に移動し、印刷対象の基板Pをステンシル下方の印刷位置にセットさせる(図7の(c))。
【0049】
尚、このとき、先のカメラ撮影により得られる基板画像に基づいて基板Pの保持姿勢が調べられ、基板Pの保持が正規状態に対してずれていれば、位置ずれを補正する処理(例えば、ずれを抑えるように3段目のテーブル230を回転させるなど)が併せて行われる。
【0050】
かくして、印刷対象の基板Pが印刷位置にセットされると、今度は、4段目のテーブル240を昇降させる処理が行われ、下降状態にあったテーブル240を上昇させる。
【0051】
これにより、保持状態にある印刷対象の基板Pはステンシル7に接近してゆく。そして、テーブル240の昇降量が所定量に達すると、テーブル240の上昇動作は停止され、このときには、印刷対象の基板Pが図7の(d)に示すようにステンシル7の下面に重装された状態となる。
【0052】
あとは、スキージ35を下降させてステンシル7の上面に当接させつつ、半田供給装置によってステンシル7上にペースト状の半田を供給する。そして、スキージ35をY軸方向に往復移動させ、ペースト状の半田を引き延ばしてやれば、ステンシル7の印刷用開口に半田が埋め込まれ、印刷対象の基板P上の所望位置に半田を印刷することが出来る。
【0053】
そして、半田の印刷が完了したら、上記した動作を逆に辿ることで、基板支持ユニット200を基台中央まで移動させることが出来、また、基板支持ユニット200を基板搬送姿勢(すなわち、図1に示すように4段目のテーブル240、5段目のテーブル250をいずれも下降させた状態)に戻すことが出来る。
【0054】
従って、あとは、基板搬送姿勢にある基板支持ユニット200を下流側の装置側、すなわち図1における左端側に移動させつつ基板搬送レール270の一部を装置外に突出させると、突出した基板搬送レール270が下流側の装置のレール(不図示)に段差なく連続する。これにより、同レールを通じて印刷済みの基板Pを、下流側の装置に搬出できる。
【0055】
2.シリンダ装置の内部構造と、ピストンロッドの停止位置を検出する位置センサ
【0056】
図8は可動クランプ装置の正面図、図9はシリンダ装置の断面図(図8中のA−A線断面図)である。図9に示すように、シリンダ装置80はピストン収容室83を有するシリンダ本体81を備える。シリンダ本体81のピストン収容室83にはピストン93が収容され、同ピストン収容室83を上室85と下室86の2室に仕切っている。
【0057】
係るピストン93は図9において下向きに延びるロッド91を一体的に形成するとともに、ピストン外周部には、後述する位置センサ120の検出対象となるマグネットMgが埋め込まれている。
【0058】
そして、シリンダ本体81には壁面を貫通するようにして、上室85に連なるエア通路85Aと、下室86に連なるエア通路86Aが設けられている。
【0059】
これにより、制御弁J1を開放して上室85を排気させる一方、制御弁J2を閉止して下室86に給気させることでピストンロッド(当実施例ではピストン93とロッド91を総称してピストンロッドと呼んでいる)90を上昇させることができ、また、これとは反対に、制御弁J2を開放して下室86を排気させる一方、制御弁J1を閉止して上室85に給気させることでピストンロッド90を下降できる。
【0060】
本実施形態のものは、ピストンロッド90の可動範囲が図10のように設定されており、図10の(a)に示す上昇位置(本発明の「上昇端」に相当する位置であって、ロッドのストッパ95が上室85の天井に突き当たる位置)にピストンロッド90を位置させると、可動クランプ片100の下面とベース板60の上面との対向間隔Dが、マスク枠5の高さDoより広い状態(以下、リリース状態とも言う)になる。
【0061】
そして係る図10の(a)に示す状態からエアの給排によりシリンダ装置80を作動させると、ピストンロッド90は下降動作を行い、最終的には図10の(b)に示す中間位置、或いは図10の(c)に示す下降位置のいずれかで停止する。
【0062】
すなわち、ベース板60上にマスクMがセットされていれば、下降動作の途中で可動クランプ片100がマスク枠5の上面に当接し、その位置でピストンロッド90の下降動作が停止され、ピストンロッド90は図10の(b)に示す中間位置に留まった状態となる。
【0063】
一方、ベース板60上にマスクMがセットされていなければ、ピストンロッド90はストッパ96が下室86の底壁に突き当たるまで下降して、図10の(c)に示す下降位置(本発明の「下降端」に相当する位置であって、可動クランプ片100とベース板60の上面との対向間隔Dがマスク枠5の高さDoより狭くなる位置)において停止する。
【0064】
従って、マスクMが可動クランプ片100によって押圧保持された状態にあるか、否かを判別するには、ピストンロッド90の停止位置が図10の(b)に示す中間位置にあるか、それ以外の位置(上昇位置/下降位置)にあるかを検出してやればよく、この検出機能を以下に説明する位置センサ120が担っている。
【0065】
ピストンロッド90を覆うシリンダ本体81の外周壁(より詳しく言えば、外周壁全4面)には、図8に示すようにセンサ取付溝86A、86Bが設けられている。センサ取付溝86A、86Bは上下に延びる縦長な形状をなし、2本が左右に並ぶようにして形成されている。そして、これらセンサ取付溝86A、86Bの溝下部には、位置センサ120を固定するための螺子孔87がそれぞれ設けられている。
【0066】
位置センサ(本発明の「第一の位置センサ」に相当)120はケーシング121内に、検出素子として磁気検出素子(ホール素子や、MR素子など)125を収容した磁気センサである。位置センサ120はセンサ取付溝86に嵌合可能な大きさをなし、また上部からは検出結果を出力するための信号線127が引き出されている。
【0067】
これにより、信号線127が引き出された側の側面をセンサ取付溝86の反対側(図9に示す右側)に向けつつ、センサ全体をセンサ取付溝86に嵌め合わせ、その状態からねじ止めするとシリンダ本体81に位置センサ120を固定できるようになっている。本実施形態のものは、図8に示す右側のセンサ取付溝86Bを用いて、シリンダ本体81に位置センサ120を1つだけ取り付けている。また、図8に示す符号123はセンサの検出状態を表示する表示灯である。
【0068】
シリンダ本体81に設置された位置センサ120の検出領域は、図10に示す通りであり、ピストンロッド90が図10の(a)に示す上昇位置、及び図10の(c)に示す下降位置にあるときには、ピストン93に設けられたマグネットMgが位置センサ120の検出領域から外れて、位置センサ120の出力がいずれもOFF状態(非検出状態)となる。
【0069】
その一方、ピストンロッド90が図10の(b)に示す中間位置、すなわち可動クランプ片100がマスクMのマスク枠5を押圧保持した状態にあるときには、マグネットMgが位置センサ120の検出領域内に入り、位置センサ120の出力がON状態(検出状態)となる。
【0070】
このように、可動クランプ片100がマスク枠5を押圧保持している場合にのみ位置センサ120の出力がON状態となるので、センサの出力に応じて所定処理を行なうことで、マスクMが保持状態にあるか、否かを人の目視(ここでいう、目視とは作業者がマスクの保持状態を自らの目で直接確認するという意味である)などに頼らず、機械的に確認出来る。
【0071】
次に、印刷対象の基板Pを切り換えるときに行われるマスクMの交換作業について、簡単に説明する。まず、使用済みのマスクMを印刷装置本体9から取り外すには、マスクMの4隅を押圧保持している可動クランプ片100を図10の(b)に示す中間位置から、図10の(a)に示す上昇位置に変位させ、マスクMをリリースする必要がある。
【0072】
これを行うには、印刷装置Sに設けられる不図示の操作部に対しパネル操作などにより解除指令を与えてやればよく、これを実行すると制御弁J1、J2の切り換え制御が実行される。
【0073】
具体的には、制御弁J1が開放され、制御弁J2が閉止される、これにより、上室85が排気される一方、下室86が給気されるから、図10の(b)に示す中間位置にあったピストンロッド90は上昇し、マスク枠5の上面から離間する(リリース)。
【0074】
上昇したピストンロッド90は、ストッパ95が上室85の天井に突き当たるまで上昇を続け、最終的には、図10の(a)に示す上昇位置で停止する。
【0075】
この状態においては、ピストンロッド90の下端に設置された可動クランプ片100と、マスク枠5の上面との間には、十分なクリアランスが確保されており、使用済みのマスクMを印刷装置本体9から装置手前に引き出しつつ取り出すことができる。
【0076】
そして、使用済みのマスクMの取り出しが終わったら、今度は新しいマスクMを印刷装置Sにセットしてやればよい。具体的には、X軸方向に並ぶ両ベース板60の前縁にマスクMの下面後端を載せつつ、マスクMを装置の奥方に押し込んでやればよい。
【0077】
係る押し込み操作を行うと、マスクMはベース板60上を移動しつつ、Y軸方向奥側へと押し込まれ、やがて、マスク後端がベース板60上に設けられるマスクストッパ63に突き当たり、その位置でマスクMのY軸方向に関する移動が規制され、該マスクMはY軸方向に位置規制された状態となる。
【0078】
かくして、マスクMをY軸方向に位置決めすることができたら、次に、可動クランプ片100の前面壁に刻み印された目盛り101を参照しつつ、X軸方向の位置を調整してやれば、マスクMをX軸方向について位置合わせでき、これにて、作業者が負担する作業が完了する。
【0079】
尚、このときには、既に述べてあるように、ピストンロッド90は図10の(a)に示す上昇位置にあって、ピストン93に設けられたマグネットMgが位置センサ120の検出領域から外れた状態にあるから、位置センサ120の出力はOFF状態になる。
【0080】
さて、上述のようにマスクMのセット作業が完了したら、作業者は、印刷装置Sに設けられる不図示の操作部に対しパネル操作などによりクランプ指令を与えてやればよく、これを実行すると、制御弁J1、J2の切り換え制御が実行される。
【0081】
具体的には、開放状態にある制御弁J1は閉止され、これとは反対に、閉止状態にある制御弁J2は開放される。これにより、上室85が給気される一方、下室86が排気されるから、図10の(a)に示す上昇位置にあったピストンロッド90は下降をはじめ、ベース板60上にセットされたマスク枠5の上面に可動クランプ片100が接近してゆく。
【0082】
下降する可動クランプ片100はやがて、マスク枠5の上面に突き当たり、マスク枠5を押圧する。このような可動クランプ片100による押圧保持動作がマスク枠5の4隅に対して行われることで、マスクMはベース板60、ひいては印刷装置本体9に対して緩みなく固定される。
【0083】
そして、このときには、ピストンロッド90が図10の(b)に示す中間位置にあって、ピストン93のマグネットMgが位置センサ120の検出領域内に位置するので、位置センサ120の出力がON状態となる。
【0084】
これにより、位置センサ120の出力に応じて所定処理を行なうことで、マスクMが保持されているか、否かを目視などに頼らず機械的に確認できる。
【0085】
あとは、RUNスイッチなど次のパネル操作を行うことで、新たな基板Pについて印刷動作を開始できる。
【0086】
尚、本実施形態の印刷装置Sは、位置センサ120から出力される検出信号が、不図示の制御装置に取り込まれるように構成されている。これにより、作業者が上記したクランプ指令を行った後、所定時間を経過しても、位置センサ120の出力がOFF状態である場合には、マスクMがクランプされていないと判断し、エラーメッセージを発するようになっている。
【0087】
このように、本実施形態によれば、マスクMを保持する押圧保持動作が自動化されているので、従前の構成に比べて、マスクMの交換作業(取り付け作業)を手間を掛けずに簡単に行うことが出来る。また、マスクMが保持されているか、どうかを人の目視などに頼らず機械的に確認出来るので、装置の信頼性が高まる。
【0088】
加えて、位置センサ120として非接触式のものを使用している。このような構成であれば、接触式のセンサに比べて耐久性が高くなるから、マスクMの保持確認について信頼性が高まる。
【0089】
また、ピストン93は、シリンダ本体81のピストン収容室83の内壁面に摺接しつつ往復運動する。本実施形態のものは、係る摺動部品の一方側(ピストン93)にマグネットMgを配置する一方、他方側(シリンダ本体81)に位置センサ120を設置させている。このような構成であれば、マグネットMgと位置センサ120を接近配置することが可能となり、センサの検出精度が高くなる。
【0090】
尚、本実施形態のものは、マスクMの4隅に対応してクランプ装置70を4箇所設置しているが、上記位置センサ120を全4つのクランプ装置70のうちの、いずれか一の装置のみに設置することとしている。
【0091】
このような構成としてやれば、センサの搭載個数が少なくて済みコストメリットがある。しかし、マスク保持の確認について、信頼性をより高く設定したい要請があれば、各クランプ装置70のそれぞれに位置センサ120を設ける構成とすることが好ましい。
【0092】
<実施形態2>
本発明の実施形態2を図11によって説明する。
実施形態1では、位置センサ120を1つ使用する例を挙げた。これ対して、実施形態2では、位置センサ(実施形態1と同様の磁気センサ)310、320を2つ使用して、実施形態1と同様の効果を得るようにしたものである。
【0093】
具体的に説明すると、本実施形態のものは、位置センサ310、320を、それぞれ検出領域が図11の位置になるように、シリンダ本体81に設置させている。
【0094】
このような設定としてやれば、ピストンロッド90が図11の(a)に示す上昇位置にあるときには、位置センサ310の出力がON状態、位置センサ320の出力がOFF状態となる。
【0095】
また、ピストンロッド90が図11の(b)に示す中間位置にあるときには、位置センサ310、位置センサ320の出力がいずれもOFF状態となる。
【0096】
そして、ピストンロッド90が、図11の(c)に示す下降位置にあるときには、位置センサ310がOFF状態になり、位置センサ320の出力がON状態となる。
【0097】
以上のことから、両位置センサ310、320がいずれもOFF状態にあることをもって、マスクMの保持を確認できる。
【0098】
尚、図11のように、位置センサ310、位置センサ320の検出領域を高さ方向で異なる位置に設定するには、例えば、センサ取付溝86A、86Bの螺子孔87を高さ方向に複数個設けておき、位置センサ310、320をねじ止めする際に、螺子孔87を選択使用してやればよい。
【0099】
<実施形態3>
本発明の実施形態3を図12によって説明する。
実施形態3のものは、実施形態1の構成をやや変形させたものであり、実施形態1の構成に位置センサ310を追加し、図12に示すようにセンサの検出領域を設定している。
【0100】
このような設定としてやれば、ピストンロッド90が図12の(a)に示す上昇位置にあるときには、位置センサ310の出力がON状態となり、その状態からピストンロッド90が下降動作を始めれば、動作後には位置センサ310の出力がOFF状態となる。
【0101】
従って、位置センサ310の出力がON状態であることをもって、可動クランプ片100が下降動作を行っていないと確認できる。
【0102】
<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【0103】
(1)上記実施形態1〜3では、いずれもピストンロッドの停止位置を検出する構成をとったが、可動クランプ片にマグネットなどを設けて可動クランプ片の停止位置を検出する構成としてもよい。
【0104】
(2)上記実施形態では、いずれも、ピストンロッドの停止位置を検出する位置センサとして磁気センサを用いたが、これに代えて、例えば、検出光の透過/遮へいに基づいて位置検出を行う光センサなどが使用可能であり、更には、リミットスイッチなど接点式のものを使用することも可能である。
【0105】
(3)上記実施形態1〜3ではシリンダ装置80として、いずれも復動式のエアシリンダを用いたが、単動式のエアシリンダも使用可能である。
【0106】
(4)実施形態1〜3では、ピストンロッドの停止位置の検出に磁気を検出する位置センサを使用したが、たとえば、係る位置センサに空気圧センサなどを組み合わせることも可能である。ここでいう空気圧センサとは、エアの給排に伴って変動する上室/下室の圧力を検出するものであり、これを用いることで、空気圧センサの出力に基づいていずれの室が給気状態、あるいは排気状態にあるかを特定することができ、これをもって、図10に示す(a)の状態と、図10に示す(c)の状態との判別が可能となる。従って、位置センサ310/320の機能を、空気圧センサで代用するなどが可能となる。
【0107】
(5)上記実施形態1〜3では、いずれもピストンロッド(可動クランプ片)を下降動作させてマスクを押圧保持する構成を採用したが、構成を上下反転させ、ピストンロッド(可動クランプ片)の上昇動作によりマスクを押圧保持することも無論可能である。
【図面の簡単な説明】
【0108】
【図1】実施形態1に適用された印刷装置の正面図
【図2】印刷装置本体の構成を示す、斜視図
【図3】マスクの取り付け構造を示す図(押圧保持前)
【図4】マスクの取り付け構造を示す図(押圧保持後)
【図5】マスクの取り付け状態を示す平面図
【図6】基板支持ユニットの平面図
【図7】印刷動作を示す図
【図8】クランプ装置の正面図
【図9】図8中のA−A線断面図
【図10】位置センサの検出領域と、ピストンロッドの停止位置の関係を示す図
【図11】実施形態2における、位置センサの検出領域と、ピストンロッドの停止位置の位置関係を示す図
【図12】実施形態3における、位置センサの検出領域と、ピストンロッドの停止位置の位置関係を示す図
【符号の説明】
【0109】
5…マスク枠(本発明の「マスクフレーム」に相当)
7…ステンシル
9…印刷装置本体
50…マスク保持装置
60…ベース板(本発明の「ベース部」に相当)
61…上面(本発明の「支持面」に相当)
70…クランプ装置
80…シリンダ装置
81…シリンダ本体
90…ピストンロッド
93…ピストン
100…可動クランプ片
120…位置センサ(本発明の「第1の位置センサ」に相当)
310…位置センサ(本発明の「第2の位置センサ」に相当)
320…位置センサ(本発明の「第3の位置センサ」に相当)
S…印刷装置
M…マスク
Mg…マグネット(本発明の「被検出部」に相当)
【特許請求の範囲】
【請求項1】
印刷装置本体に設けられ水平な支持面を有するベース部と、
前記ベース部の支持面と向かい合うように配置され上下動可能とされた可動クランプ片と、からなるマスク保持装置により、
枠状をなすマスクフレームの下面側にステンシルを張りつけたマスクを、印刷装置本体に固定するようにした印刷装置であって、
前記可動クランプ片を上下方向に変位させて前記マスクフレームを前記ベース部の支持面との間に挟みつける押圧保持動作を行わせるピストンロッドを有するシリンダ装置と、
前記シリンダ装置の作動に伴って前記上下方向に位置変位する可動クランプ片の停止位置、或いはピストンロッドの停止位置を特定する位置情報を検出する位置センサと、を設けたことを特徴とする印刷装置。
【請求項2】
前記位置センサは、前記可動クランプ片、或いは前記ピストンロッドに設けた被検出部との距離に応じた物理量の変化を捉える非接触式のセンサであることを特徴とする請求項1に記載の印刷装置。
【請求項3】
前記位置センサとして、前記可動クランプ片が前記マスクフレームを押圧保持した状態にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第1の位置センサを備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の印刷装置。
【請求項4】
前記ピストンロッドが上昇端或いは下降端にあるときには、前記ベース部と前記可動クランプ片との対向間隔が前記マスクフレームの高さ以上となってマスクフレームをリリースするか、或いはマスクフレームの高さ以下となるものにおいて、
前記ピストンロッドが上昇端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第2の位置センサと、
前記ピストンロッドが下降端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第3の位置センサと、を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の印刷装置。
【請求項5】
前記被検出部はマグネットであり、前記位置センサは磁気の変化を検出する磁気検出素子を備えた磁気センサであることを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか一項に記載の印刷装置。
【請求項6】
前記被検出部としてのマグネットを前記ピストンロッドのピストンに設置する一方、前記磁気センサを前記ピストンロッドを覆うシリンダ本体の外周部に設置したことを特徴とする請求項5に記載の印刷装置。
【請求項1】
印刷装置本体に設けられ水平な支持面を有するベース部と、
前記ベース部の支持面と向かい合うように配置され上下動可能とされた可動クランプ片と、からなるマスク保持装置により、
枠状をなすマスクフレームの下面側にステンシルを張りつけたマスクを、印刷装置本体に固定するようにした印刷装置であって、
前記可動クランプ片を上下方向に変位させて前記マスクフレームを前記ベース部の支持面との間に挟みつける押圧保持動作を行わせるピストンロッドを有するシリンダ装置と、
前記シリンダ装置の作動に伴って前記上下方向に位置変位する可動クランプ片の停止位置、或いはピストンロッドの停止位置を特定する位置情報を検出する位置センサと、を設けたことを特徴とする印刷装置。
【請求項2】
前記位置センサは、前記可動クランプ片、或いは前記ピストンロッドに設けた被検出部との距離に応じた物理量の変化を捉える非接触式のセンサであることを特徴とする請求項1に記載の印刷装置。
【請求項3】
前記位置センサとして、前記可動クランプ片が前記マスクフレームを押圧保持した状態にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第1の位置センサを備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の印刷装置。
【請求項4】
前記ピストンロッドが上昇端或いは下降端にあるときには、前記ベース部と前記可動クランプ片との対向間隔が前記マスクフレームの高さ以上となってマスクフレームをリリースするか、或いはマスクフレームの高さ以下となるものにおいて、
前記ピストンロッドが上昇端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第2の位置センサと、
前記ピストンロッドが下降端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第3の位置センサと、を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の印刷装置。
【請求項5】
前記被検出部はマグネットであり、前記位置センサは磁気の変化を検出する磁気検出素子を備えた磁気センサであることを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか一項に記載の印刷装置。
【請求項6】
前記被検出部としてのマグネットを前記ピストンロッドのピストンに設置する一方、前記磁気センサを前記ピストンロッドを覆うシリンダ本体の外周部に設置したことを特徴とする請求項5に記載の印刷装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【公開番号】特開2008−265168(P2008−265168A)
【公開日】平成20年11月6日(2008.11.6)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−112224(P2007−112224)
【出願日】平成19年4月20日(2007.4.20)
【出願人】(000010076)ヤマハ発動機株式会社 (3,045)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年11月6日(2008.11.6)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年4月20日(2007.4.20)
【出願人】(000010076)ヤマハ発動機株式会社 (3,045)
【Fターム(参考)】
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