固体撮像装置及びその製造方法

【課題】固体撮像素子の解像度が面内におけるバラツキを低減する。
【解決手段】パッケージ１の収容部１ｄ底面上に所定の厚みを有する接着剤１５を散点状に塗布する工程と、パッケージ１と固体撮像素子３との各上面を基準面に平行度を合わせて固体撮像素子３を収容部１ｄに向けて移動させる工程と、固体撮像素子３の下面を接着剤１５に当接させ収容部１ｄの底面には当接しない状態で固体撮像素子３の移動を停止する工程と、固体撮像素子３が接着剤１５上に浮いた状態で接着剤１５を硬化させて固体撮像素子３を収容部１ｄ中に固定する工程とを含む。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は固体撮像装置及びその製造方法に関し、特にパッケージに固体撮像素子を高精度に取り付けた固体撮像装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一体型ビデオやデジタルスチルカメラの高画質化の要求に伴い、固体撮像装置を構成する固体撮像素子の微細化、高集積化が進んでいる。光学系に対する要求も高度化し、固体撮像素子の撮像面に正確に結像することが求められている。
【０００３】図８は、一般的な固体撮像装置の構成を示す断面図である。
【０００４】固体撮像装置Ｘは、箱体形状のパッケージ１０１と、その中に収容される固体撮像素子１０３とを含む。
【０００５】図８に示すように、パッケージ１０１は、底板１０１ａと、底板１０１ａの周縁部から立ち上がる側壁部１０１ｂとを有し、上部に形成された開口部１０１ｃと、底板１０１ａと側壁部１０１ｂとで囲まれ固体撮像素子１０３を収容する収容部１０１ｄとを画定している。
【０００６】固体撮像素子１０３は、収容部１０１ｄ内に収容されている。固体撮像素子１０３は、ボンディングワイヤ１０７によりパッケージのリードと結線されている。
【０００７】パッケージ１０１の開口部１０１ｃは、側壁部１０１ｂの上面１０１ｅに載せられた透明な封止板１１１により塞がれている。
【０００８】固体撮像素子１０３の裏面と収容部１０１ｄとは、接着剤１１５により固定されている。
【０００９】図９は固体撮像装置Ｘの製造方法を説明するための断面図である。
【００１０】図９に示すように、キャリア１２３の載せられたパッケージ１０１が搬送されてくる。キャリア１２３は、パッケージ１０１の下に開口を有する。
【００１１】Ｆｅ系の材料により形成されたパッケージ用ステージ１２１を開口を通して上昇させ、その上にパッケージ１０１を載せる。パッケージ用ステージ１２１には、パッケージ１０１を吸着して固定するためのステージ吸着孔１２１ａが形成されている。ステージ吸着孔１２１ａを通して真空吸着により、パッケージ１０１をパッケージ用ステージ１２１上に固定することができる。
【００１２】パッケージ１０１の収容部１０１ｄに接着剤１１５が塗られている。この状態において固体撮像素子１０３を、コレット１２５により支持し、収容部１０１ｄの所定の位置に載せる。
【００１３】コレット１２５内には吸着孔１２５ａが形成されており、真空吸着により固体撮像素子１０３を支持している。コレット１２５とともに固体撮像素子１０３を下方に移動させ、接着剤１１５上に載せて押圧することにより固体撮像素子１０３をパッケージ１０１の収容部１０１ｄに設置する。熱処理により固体撮像素子３とパッケージ１０１との接着剤１１５を硬化させて固体撮像素子１０３をパッケージ１０１内に固定する。
【００１４】ワイヤーボンディング工程の後に封止板によりパッケージ１０１の開口部を塞ぐことにより固体撮像装置が完成する。
【００１５】図１０は、固体撮像装置とレンズを含む光学系とを有する撮像装置の概略構造を示す断面図である。
【００１６】図１０に示すように、撮像装置Ｙは、固体撮像装置Ｘと、固体撮像装置固定部材１３１と、撮影レンズ鏡筒１３３と、撮影レンズ１３５とを含む。
【００１７】固体撮像装置固定部材１３１は、パッケージ１の底面を支える。筒状の撮影レンズ鏡筒１３３は、固体撮像装置固定部材１３１の周縁部上に形成され、その内周部１３３ａに、撮影レンズを支持するための上部係合部１３３ｂと下部係合部１３３ｃとが形成されている。上部係合部１３３ｂと下部係合部１３３ｃとにより、撮影レンズ１３５を固定する。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】従来から、固体撮像素子とパッケージとを固定するための接着剤としては、熱硬化性の接着剤、例えば銀ペーストや樹脂系の接着剤が用いられていたが、銀ペーストは、光の反射率が大きいために固体撮像素子用の接着剤としては好ましくない。そこで、樹脂系の接着剤が多く用いられている。
【００１９】ところが、最近の微細化されたフォトダイオードを有する固体撮像装置において、固体撮像素子の解像度が面内においてバラツクという問題が生じていた。
【００２０】一体型ビデオやデジタルスチルカメラの高画質化のためには、単にフォトダイオード等を微細化しただけでは不十分である。いかにして微細化された各フォトダイオードの受光面にカメラ等の撮影レンズの焦点を合わせることができるかという点が、カメラ等の高画質化におけるキーポイントの１つになってきている。
【００２１】このためには、受光面のあおり精度を向上することが求められている。
【００２２】本発明の目的は、固体撮像素子のあおり角度のバラツキを低減し、カメラ等の高画質化が可能な技術を提供することである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】本発明の一観点によれば、固体撮像素子のチップを収容する収容部と上方に開口部を有するパッケージの前記収容部の底面上に、所定の厚みを有する接着剤を散点状に塗布する工程と、前記パッケージと前記固体撮像素子との各上面を所定の基準面に対して高精度に平行度を合わせた状態において前記固体撮像素子を前記収容部に向けて移動させる工程と、前記固体撮像素子の下面を前記接着剤に当接させ、前記収容部の底面には当接しない状態で前記固体撮像素子の移動を停止する工程と、前記固体撮像素子が前記接着剤上に浮いた状態で前記接着剤を硬化させて前記固体撮像素子を前記収容部中に固定する工程と、前記開口部を塞ぐ封止板を前記パッケージに取り付ける工程とを含む製造方法が提供される。
【００２４】本発明の他の観点によれば、底板と前記底板から立ち上がる側壁とを有し、固体撮像素子チップを収容する収容部と上方に開口部を有するパッケージと、前記底板上に、散点状に塗布された所定の厚みを有する接着剤と、裏面が前記接着剤の上に保持され、前記底板の表面から浮いている状態で固定された固体撮像素子と、前記開口部を塞ぐ透明な封止板とを含む固体撮像装置が提供される。
【００２５】
【発明の実施の形態】発明者は、最近の微細化されたフォトダイオードを有する固体撮像装置において樹脂系の接着剤を用いた場合に、固体撮像素子の解像度が面内においてバラツクという問題について以下のような考察を行った。
【００２６】その結果、固体撮像素子チップの解像度の面内バラツキの原因は、接着剤の粘度の高低に依存して異なる２つの原因が存在することがわかった。
【００２７】まず、接着剤用の樹脂の粘度が低い場合は、固体撮像素子チップの裏面がパッケージの収容部の表面に面接触する。従って、パッケージの寸法精度に依存して固体撮像素子自体が光学系の基準面に対して傾く場合がある。
【００２８】パッケージの部品精度を向上させるためには、プラスチック製のパッケージを用いることが好ましいが、プラスチック製のパッケージを製造するための金型が高価であるため、製造コスト上の問題が生じる。セラミックス製のパッケージは、高温で焼成する工程を含むため、部品精度の向上という観点からは問題がある。
【００２９】一方、セラミックス製のパッケージを用い、接着剤の粘度を高くした場合は、固体撮像素子チップをパッケージに張り付ける際に、接着剤の面内において部分的な盛り上がりが生じやすく、固体撮像素子自体が光学系の基準面に対して傾く。
【００３０】発明者は、上記の考察に基づいて、次に述べるような解決手段を考案した。
【００３１】まず、固体撮像素子をパッケージに固定する工程における基準面として光学系に対する基準面と同じ基準面、すなわち、パッケージの上面をとる。これにより、光学系例えばレンズと固体撮像素子との基準面は一致する。
【００３２】次に、部品精度の低いセラミックス製のパッケージにも対応できるように、粘度の高い樹脂をベースとした接着剤を用いる。この際、粘度の高い接着剤を固体撮像素子チップの裏面の全面に対応する収容部の表面に塗布すると、樹脂を硬化するための熱処理工程において気泡が生じ、固体撮像素子が部分的に盛り上がる。
【００３３】気泡は、樹脂製の接着剤に溶けている空気などの溶解度が加熱処理などに変化することによって発生する。
【００３４】そこで、接着剤を固体撮像素子の底面全体に対応するパッケージの収容部表面に塗布するのではなく、接着すべき面内に散点状に塗布する。接着剤を塗布した部分が断続的であるため、固体撮像素子を押し込んでも接着剤が外側にはみ出ることがなく、気泡が発生しても外部に逃げやすい。
【００３５】以下、上記の考察に基づいて、さらに本願の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３６】図１から図５までを参照して、本発明の第１の実施の形態による固体撮像装置について説明する。
【００３７】図１は、本実施の形態による固体撮像装置の構成を示す断面図である。
【００３８】固体撮像装置Ａは、箱体形状のセラミック製のパッケージ１と、その中に収容される固体撮像素子３とを含む。
【００３９】パッケージ１は、底板１ａと、底板１ａの周縁部近傍から立ち上がる側壁部１ｂとを備える箱体の形状をしている。パッケージ１の上部に開口部１ｃが形成されており、底板１ａと側壁部１ｂとで囲まれた空間に固体撮像素子３を収容するための収容部１ｄが形成されている。パッケージ１は、側壁部１ｂのさらに外周部に、底板１ａとほぼ平行かつ外側の方向に突出する突出部１ｆを有している。
【００４０】固体撮像素子３は、収容部１ｄ内に収容されている。
【００４１】パッケージ１の開口部１ｃは、側壁部１ｂの上面１ｅに載せられた透明な封止板１１により塞がれる。
【００４２】固体撮像素子３の裏面３ｂと底板１ａの表面とは、接着剤１５を介して固定されている。
【００４３】より詳細には、固体撮像素子３の裏面３ｂと底板１ａの表面とは当接しておらず、接着剤１５を介して底板１ａの上に浮いた状態になっている。固体撮像素子３の裏面３ｂと底板１ａの表面との間隔は、パッケージの加工精度等によって異なるが、最小間隔としては４０μｍ以下であることが望ましい。
【００４４】図２は、固体撮像装置Ａのうち、特に接着剤１５の塗布形状を示す概略的な平面図である。
【００４５】図２（ａ）は接着剤を塗布した状態を示す平面図である。図２（ｂ）は、接着剤の上に固体撮像素子を載せた状態を示す平面図である。
【００４６】図２（ａ）に示すように、固体撮像素子用のパッケージ１のサイズは、１７．４ｍｍ×１５ｍｍである。平面度は、約５０μｍである。
【００４７】パッケージの両側部（図では左右）に突出部１ｆが形成されている。リードＬは突出部１ｆが形成されていない上下部に形成されている。
【００４８】パッケージ１の収容部１ｄのうち中央付近に１カ所、その周囲に固体撮像素子の形状に合わせて４カ所、合計５カ所の円状の領域に接着剤１５が散点状に塗布されている。使用した接着剤の粘度は、１４Ｐａ・ｓである。接着剤としては、好ましくは、５Ｐａ・ｓから２５Ｐａ・ｓの範囲の粘度を有する接着剤を用いる。接着剤を塗布する領域のサイズは、例えば円形を仮定すると直径φ１は、約１ｍｍから２ｍｍである。
【００４９】接着剤１５の厚さは、例えば０．１ｍｍから０．３ｍｍ程度である。接着剤１５は、５本のノズルを備えた接着剤ディスペンサにより、散点状に塗布される。接着剤の粘性をある程度高くしたので、接着剤を塗布面にほぼ垂直な方向に切断した断面は、上に凸の形状を有している。左右の接着剤間の距離Ｄ１は、例えば４ｍｍから６ｍｍである。上下の接着剤間の距離Ｄ２は、例えば２．５から４．５ｍｍである。
【００５０】固体撮像素子３のサイズは、９．４ｍｍ×７．８ｍｍ、厚さは０．６５ｍｍである。
【００５１】図２（ｂ）に示すように、固体撮像素子の底面により押圧された後には、接着剤１５は広がる。接着剤の直径φ２は、例えば、１．５ｍｍから３．５ｍｍの間である。
【００５２】尚、本明細書において、接着剤を散点状に塗布するとの記載は、接着剤が平面上の分離された位置に塗布された状態を指し、そのパターンは平面上に整列的に塗布されている状態のみを意味するものではなく、ランダムな位置に塗布された状態をも包含するものである。
【００５３】図３は、固体撮像装置Ａの製造方法を説明するための断面図である。
【００５４】図３（ａ）に示すように、パッケージ１はキャリア２３上に載せられて搬送される。実際には、複数のパッケージがキャリア２３上に載せられている。キャリア２３のパッケージが載せられている箇所に開口部が形成されている。
【００５５】パッケージ１が、Ｆｅ系の材料により形成されたパッケージ用ステージ２１に位置するようにキャリア２３を移動させる。ステージが上昇し、開口部を通してパッケージを持ち上げる。
【００５６】パッケージ用ステージ２１には、パッケージ１を吸着して固定するためのステージ吸着孔２１ａが形成されている。
【００５７】ステージ吸着孔２１ａを通して真空吸着によりパッケージ１をパッケージ用ステージ２１上に載せた状態を保持することができる。パッケージ用ステージ２１の上部には、耐熱性のあるゴムなどの弾性部材２１ｂが設けられており、パッケージ１をパッケージ用ステージ２１上に載せた状態においても、ある程度パッケージ１の位置を微調整することが可能になっている。
【００５８】パッケージ１の平行度を規定するために、上面基準部材Ｋが設けられている。上面基準部材Ｋは、パッケージ１の突出部１ｆの上面１ｇを、その底面に当接させることにより、パッケージの平行度を規定する。
【００５９】コレットの先端面２５ｂは、固体撮像素子３の表面３ａの周縁部に当接している。コレット２５内には吸着孔２５ａが形成されており、真空吸着により固体撮像素子３を吸引し保持する。
【００６０】上面基準部材Ｋの下面とコレット２５の先端面２５ｂとの平行度は、非常に高精度に保たれている。平行度を保持する方法としては、例えば、パッケージの代わりに非常に平面度の高い（表面と裏面との平行度が高い）キャリブレーション用の板を用意しておき、キャリブレーション用の板とコレットとの間に感圧紙（登録商標）を挟んでコレットを下方に移動させ、感圧紙が感知する圧力が面内でほぼ均一になるように、上面基準部材Ｋの下面とコレット２５の先端面２５ｂとの位置関係を調整すればよい。オートコリメータを用いて平行度を調整しても良い。
【００６１】図３（ｂ）に示すように、コレット２５に保持された固体撮像素子３を下方に移動させ、接着剤１５の先端部に当接させる。固体撮像素子３をさらに下方に向けて移動させると、接着剤１５が押圧される。固体撮像素子３の裏面がパッケージ１の表面に当接する前の状態で、固体撮像素子３のパッケージ側への移動を停止する。
【００６２】固体撮像素子３の平行度はパッケージの底板１ａの平行度とは関係なく、上部基準部材Ｋの平行度によって規定される。従って、固体撮像素子３と上面基準部材Ｋとの平行度が高い状態で固体撮像素子３をパッケージ１の収容部１ｄに設置することができる。
【００６３】尚、パッケージ用ステージの上部（パッケージの底板と当接する場所）に、ゴムなどにより形成されている弾力性のある部材が用いられているため、パッケージの底面が多少歪んでいても、パッケージの上面１ｇと上面基準部材Ｋとの平行度を良好に保つことができる。
【００６４】接着剤１５にある程度の粘度を持たせたため、コレット２５を外しても、固体撮像素子３は、コレット２５に保持されていた状態とほぼ同じ平行度でパッケージ１の収容部１ｄに設置される。接着剤１５を散点状に塗布したため、気泡が外部に逃げやすく、接着剤による固体撮像素子の盛り上がり現象が生じにくい。
【００６５】図４（ａ）、（ｂ）は、パッケージ１の部品精度があまり良くない状況を示している。底板１ａの平坦性悪い。
【００６６】図４（ａ）に示すように、パッケージ１の底板１ａは、その右側の領域が下方に向けてやや突き出た状態となっている。
【００６７】パッケージ１を用いて、コレット２５とともに固体撮像素子３を下方に移動させ、固体撮像素子３の裏面がパッケージ１の底板１ａの底面に面接触する前に接着剤１５上に載せて押圧することにより固体撮像素子３をパッケージ１の収容部１ｄに設置する。
【００６８】上面基準部材Ｋとコレット２５の先端面２５ｂ、すなわち固体撮像素子３の表面との平行度は高いので、例えば、図４（ａ）に示す状態においては、左側に塗布されている接着剤１５ｂが他の接着剤１５ａ、１５ｃに比べてより広い領域に伸びてその厚さが薄くなる。底板１ａの底面の平坦性悪さは、散点状に塗布されたある程度の厚みと弾力性とを有する接着剤１５が、パッケージの底板表面と固体撮像素子の裏面との間で横方向に延びることにより吸収される。
【００６９】図４（ｂ）は、コレット２５による固体撮像素子３の移動を停止した後、コレット２５の真空吸引を停止し、コレット２５を固体撮像素子から外した状態を示す。接着剤は、図中左側で大きくつぶれているが、固体撮像素子３は未だパッケージ１とは接触していない。
【００７０】次いで、接着剤の硬化工程を行う。
【００７１】接着剤の硬化工程は、例えば電気炉を用い、空気中において１５０℃で２５分程度の熱処理を行う。熱処理により固体撮像素子３とパッケージ１との接着性を向上させて固体撮像素子３がパッケージ１内に固定される。
【００７２】ワイヤーボンディング工程の後に封止板によりパッケージ１の開口部を塞ぐことにより固体撮像装置が完成する。
【００７３】上記の工程を用いれば、パッケージの状態が悪く、例えば底板がゆがんでいても、基準面と固体撮像素子３の表面との平行度は良好に保たれる。
【００７４】図５は、図４に示した固体撮像装置Ａと、レンズを含む光学系とを有する撮像装置の概略構造を示す断面図である。
【００７５】図５に示すように、撮像装置Ｂは、固体撮像装置Ａと、撮影レンズ鏡筒３３と、撮影レンズ３５とを含む。
【００７６】筒状の撮影レンズ鏡筒３３の内周部３３ａに、撮影レンズ３５を支持するための上部係合部３３ｂと下部係合部３３ｃとが形成されている。上部係合部３３ｂと下部係合部３３ｃとにより、撮影レンズ３５を固定する。
【００７７】この際、前述のように固体撮像素子３の平行度はパッケージ１の突出部１ｆの上面１ｇを基準に規定されている。加えて、撮影レンズ３５を支持する撮影レンズ鏡筒３３の平行度も、その底面３３ａと当接するパッケージ１の突出部１ｆの上面１ｇを基準に規定されている。基準面を同じにしたため、固体撮像素子３と撮影レンズ３５との平行度も高精度に保持される。
【００７８】図６に、撮像装置Ｂを含むデジタルスチルカメラの概略的な構造を示す。
【００７９】デジタルスチルカメラＣは、撮像装置Ｂと信号処理部Ｄと、記憶装置６１と、表示装置６３とを含む。
【００８０】撮影レンズ３５と封止板１１との間に、赤外線カットフィルタ４１が配置されている。封止板１１は、例えば特殊な面方位にカットされた水晶板が用いられ、ローパスフィルタとしての機能を兼ねる。
【００８１】撮像装置Ｂにより撮影された画像の信号は、信号処理部Ｄにおいて処理される。
【００８２】信号処理部Ｄは、例えば、Ａ／Ｄ変換回路５１と、Ａ／Ｄ変換回路５１により変換されたデジタル信号を記憶する画像記憶部５３と、画像記憶部５３に記憶されているデジタル信号を処理する画像信号処理部（マイクロプロセッサ）５５と、画像記憶部５３に記憶されているデジタル信号をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換回路５７とを含んでいる。
【００８３】記憶装置６１は、例えば半導体メモリであり、画像信号を保存しておくことができるとともに、他の装置において画像信号を再生等する際に用いられる。
【００８４】表示装置６３は、例えば液晶表示装置であり、画像信号を実際の画像として再生させることができる。例えば、デジタルスチルカメラにおける動画モニターとして用いることができる。
【００８５】上記のデジタルカメラにおいては、用いられる固体撮像素子の解像度の面内におけるバラツキが低減され、高画質化が可能となる。
【００８６】次に、第１の実施の形態による固体撮像装置の変形例について図面を参照して説明する。
【００８７】図７は、変形例による固体撮像装置を含む撮像装置の概略図である。
【００８８】図７に示すように、撮像装置Ｅは、撮像装置Ｂと同様に、固体撮像装置Ｆと、撮影レンズ鏡筒３３と、撮影レンズ３５とを含む。
【００８９】筒状の撮影レンズ鏡筒３３の内周部３３ａに、撮影レンズ３５を支持するための上部係合部３３ｂと下部係合部３３ｃとが形成されている。上部係合部３３ｂと下部係合部３３ｃとにより、撮影レンズ３５を固定する。
【００９０】固体撮像装置Ｆは、箱体形状のセラミック製のパッケージ７１と、その中に収容される固体撮像素子７３とを含む。
【００９１】パッケージ７１は、底板７１ａと、底板７１ａの周辺部から立ち上がる側壁部７１ｂとからなる箱体の形状をしている。パッケージ７１は、その上部に形成された開口部７１ｃと、底板７１ａと側壁部７１ｂとで囲まれ固体撮像素子７３を収容する収容部７１ｄとを備える。パッケージ７１には、側壁部１ｂのさらに外側に突出する突出部が存在しない。
【００９２】封止板８１の下面８１ａと筒状の撮影レンズ鏡筒３３の下面３３ａとは、共に側壁部７１ｂの上面７１ｈに当接して固定されている。
【００９３】上記のようなパッケージを用いても、固体撮像素子７３の平行度をパッケージ７１の側壁部上面７１ｈを基準に規定し、かつ、撮影レンズ３５を支持する撮影レンズ鏡筒３３の平行度も、その底面３３ａと当接するパッケージ７１の側壁部上面７１ｈを基準に規定される。平行度を合わせるための基準面が同じであり、固体撮像素子７３と撮影レンズ３５との平行度が高精度に保持される。
【００９４】尚、上記の各実施の形態においては、リード線を有するパッケージを用いて固体撮像装置を製造した場合について説明したが、パッケージにリード線が形成されていない場合にも適用できることは明らかであろう。
【００９５】以上、本発明の実施の形態について例示したが、その他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者には自明であろう。
【００９６】
【発明の効果】固体撮像素子の解像度の面内におけるバラツキが減少し、カメラ等の撮像装置の高画質化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態による固体撮像装置の断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態による固体撮像装置の平面図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施の形態による固体撮像装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の別の実施の形態による固体撮像装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図５】本発明の一実施の形態による固体撮像装置と光学系との構造を示す断面図である。
【図６】本発明の一実施の形態による撮像装置の構造を示す断面図である。
【図７】本発明の一実施の形態による固体撮像装置と光学系との構造の変形例を示す断面図である。
【図８】一般的な固体撮像装置の構成を示す断面図である。
【図９】一般的な固体撮像装置の一製造過程を示す断面図である。
【図１０】一般的な固体撮像装置を含む撮像装置の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
Ａ固体撮像装置
Ｋ上面基準部材
１パッケージ
１ａ底板
１ｂ側壁
１ｃ開口部
１ｄ収容部
３固体撮像素子
１１封止板
１５接着剤
３５レンズ

【特許請求の範囲】
【請求項１】固体撮像素子のチップを収容する収容部と上方に開口部を有するパッケージの前記収容部の底面上に、所定の厚みを有する接着剤を散点状に塗布する工程と、前記パッケージと前記固体撮像素子との各上面を所定の基準面に対して高精度に平行度を合わせた状態において前記固体撮像素子を前記収容部に向けて移動させる工程と、前記固体撮像素子の下面を前記接着剤に当接させ、前記収容部の底面には当接しない状態で前記固体撮像素子の移動を停止する工程と、前記固体撮像素子が前記接着剤上に浮いた状態で前記接着剤を硬化させて前記固体撮像素子を前記収容部中に固定する工程と、前記開口部を塞ぐ封止板を前記パッケージに取り付ける工程とを含む固体撮像装置の製造方法。
【請求項２】前記パッケージの上面を基準として用い、前記固体撮像素子の受光面に被写体からの像を収束させるためのレンズを設置する工程とを含む請求項１に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項３】底板と前記底板から立ち上がる側壁とを有し固体撮像素子のチップを収容するパッケージの前記底板上に、所定の厚みを有する接着剤を散点状に塗布する工程と、前記側壁の上面または前記底板の上面を基準面として固体撮像素子の上面を前記基準面に対して高精度に平行度を合わせた状態で前記固体撮像素子の下面を前記接着剤に当接させ、前記固体撮像素子の下面が前記接着剤を押圧する状態であって、前記固体撮像素子の下面と前記底板の上面とが当接していない状態になるまで前記固体撮像素子を移動させる工程と、前記接着剤を硬化させて前記固体撮像素子を前記パッケージ中に固定する工程と、前記側壁の上面の少なくとも一部の領域に前記パッケージを封止するための封止板を取り付ける工程と、基準面とされた前記側壁の上面または前記底板の上面と、前記固体撮像素子の受光面に被写体からの像を収束させるためのレンズを固定するためのレンズ固定用部材の下面とを当接させて固定する工程とを含む固体撮像装置の製造方法。
【請求項４】前記接着剤を塗布する工程は、複数本のノズルを有する接着剤供給装置により０．１ｍｍから０．３ｍｍの厚さの接着剤を塗布する工程である請求項１から３までのいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項５】硬化前の接着剤の粘度が、５Ｐａ・ｓから２５Ｐａ・ｓまでの間である請求項１から４までのいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項６】底板と前記底板から立ち上がる側壁とを有し、固体撮像素子チップを収容する収容部と上方に開口部を有するパッケージと、前記底板上に、散点状に塗布された所定の厚みを有する接着剤と、裏面が前記接着剤の上に保持され、前記底板の表面から浮いている状態で固定された固体撮像素子と、前記開口部を塞ぐ透明な封止板とを含む固体撮像装置。
【請求項７】さらに、前記固体撮像素子の受光面に被写体からの像を収束させるためのレンズを固定するためのレンズ固定用部材と、前記レンズ固定用部材に保持されたレンズとを有し、前記レンズ固定用部材の下面が前記側壁又は前記底板の上面と密着している請求項６に記載の固体撮像装置。

【図１】