基板収納容器
【課題】容器本体及び蓋体に対する芯出し手段の取り付け作業を削減するとともに、洗浄水などの液体を芯出し手段に残留し難くする。
【解決手段】開口部３を有して精密基板Ｗを収納する容器本体２と、この開口部３に嵌め合わされる嵌合ケース２１を有して開口部３を閉鎖する蓋体４と、容器本体２と蓋体４との芯出しを行う芯出し手段とを有する。この芯出し手段は、開口部３の各コーナー部において、開口部３から露出するように開口部３と一体的に形成される複数の接触部材１２と、嵌合ケース２１の各接触部材１２に対応する位置に形成される複数の突起部２５とにより構成される。そして、突起部２５と接触部材１２とは、異なる材質により形成されている。
【解決手段】開口部３を有して精密基板Ｗを収納する容器本体２と、この開口部３に嵌め合わされる嵌合ケース２１を有して開口部３を閉鎖する蓋体４と、容器本体２と蓋体４との芯出しを行う芯出し手段とを有する。この芯出し手段は、開口部３の各コーナー部において、開口部３から露出するように開口部３と一体的に形成される複数の接触部材１２と、嵌合ケース２１の各接触部材１２に対応する位置に形成される複数の突起部２５とにより構成される。そして、突起部２５と接触部材１２とは、異なる材質により形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハなどの基板を収納する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
局部的にクリーンな環境を形成するミニエンバイロメント方式下に用いられる加工装置は、通常のクリーンルームの外環境とは別に区画されたスパークリーンルーム（クリーンクラス１以下）の内環境に設置される。この加工装置は、更に、外環境に設置される基板収納容器用の位置決めステージと、外環境と内環境との境界壁を開閉する少なくとも昇降可能な蓋体開閉器（オープナーともいう）とを備えている。そして、半導体ウェーハなどの精密基板が収納された基板収納容器は、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）、ＡＧＶ（Auto Guided Vehicle）、又はＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）などからなる自動搬送機により搬送されて、位置決めステージに設置される。
【０００３】
基板収納容器は、前面に設けられた開口部から複数毎の精密基板を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口部を閉鎖する蓋体とにより構成されている。蓋体は、容器本体の前面から開口部に嵌合する嵌合ケースと、この嵌合ケースの前面を覆う被覆プレートと、この被覆プレートに穿孔される一対のキー挿入口と、嵌合ケースに内蔵されて蓋体を施錠及び解錠するラッチ機構とにより構成される。この一対のキー挿入口は、蓋体開閉器の標準規格（ＳＥＭＩ ＳＴＡＮＤＥＲＤ Ｅ６２）に対応する位置にそれぞれ穿孔されている。また、ラッチ機構は、例えば、特許文献１に記載されるように、蓋体外部から操作可能な回転プレートと、この回転プレートの回転に連動する複数の動力伝達プレートと、各動力伝達プレートの直線運動に連動する複数の係止クランプと、により構成される。
【０００４】
蓋体開閉器は、回転可能なＴ字型のキーを備え、寸法がＳＥＭＩ標準規格（ＦＩＭＳ）として規格化されている。そして、蓋体開閉器は、Ｔ字型のキーを蓋体に設けられたキー挿入口に挿入して９０°回転することで、ラッチ機構の作動により蓋体を施錠又は解錠し、更に、蓋体を係合保持して基板収納容器から取り外すとともに、基板収納容器の開口部に蓋体を嵌合閉鎖する。
【０００５】
このように構成される基板収納容器において、蓋体開閉器により蓋体を容器本体から取り外すと、蓋体開閉器に保持された蓋体が自重などによって下方にずれることがあった。また、蓋体開閉器の停止位置の再現精度によっても、この蓋体が左右方向又は上下方向にずれることがあった。そこで、従来の基板収納容器では、容器本体と蓋体との位置を適切な位置に案内するために、容器本体や蓋体とは別部材によって構成された芯出し手段を取り付けていた。そして、この芯出し手段を、穴や溝と突起部や爪との係止や、ネジ止めなどにより、容器本体又は蓋体に取り付けていた。特許文献２に記載された基板収納容器では、芯出し手段として、Ｌ字型に延びる位置決めアームが形成された位置決め体を採用している。そして、蓋体の嵌合ケースに窓穴を形成するとともに、この窓穴から位置決めアームが貫通突出するように、位置決め体を蓋体にネジ止めしている。
【特許文献１】特開２０００−０５８６３３号公報
【特許文献２】特開２００２−３６８０７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の基板収納容器では、芯出し手段が、容器本体又は蓋体と別部材により構成されているため、衝撃や摩擦などで、使用中に芯出し手段が落下するという問題があった。また、この芯出し手段を、穴や溝と突起部や爪との係止やネジ止めなどにより、容器本体又は蓋体に取り付けているため、芯出し手段を取り付けるための作業が増加するという問題があった。更に、この基板収納容器を洗浄すると、容器本体や蓋体に形成された穴や溝に洗浄水が入り込むため、この洗浄水の除去に時間がかかり、しかも、洗浄水が残留すると、基板収納容器に収納された精密基板の汚染や腐食の原因になるという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題に鑑み成されたものであり、容器本体及び蓋体に対する芯出し手段の取り付け作業を削減するとともに、洗浄水などの液体を芯出し手段に残留し難い基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る基板収納容器は、開口部を有して基板を収納する容器本体と、開口部に嵌め合わされる嵌合部を有して開口部を閉鎖する蓋体と、容器本体と蓋体との芯出しを行う芯出し手段とを有する基板収納容器であって、芯出し手段は、開口部及び嵌合部の何れか一方に一体的に形成される突起部と、開口部及び嵌合部の何れか他方に一体的に形成されて突起部が接触する接触部と、を有しており、突起部と接触部とは、異なる材質により形成されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る基板収納容器によれば、容器本体の開口部及び蓋体の嵌合部の何れか一方に突起部が形成され、この開口部及び嵌合部の何れか他方に接触部が形成されているため、蓋体を容器本体に嵌め合わせると、突起部と接触部とが接触することで容器本体と蓋体との芯出しが行われ、容器本体に対して蓋体が適切な位置に案内される。また、突起部及び接触部が開口部及び嵌合部に一体的に形成されているため、容器本体及び蓋体に芯出し手段を取り付ける作業が削減でき、生産効率を向上させることができる。更に、芯出し手段を形成するために容器本体や蓋体に溝や穴などを形成する必要が無いため、洗浄水などの液体を容器本体や蓋体から除去しやすくすることができる。このため、容器本体や蓋体に残留した洗浄水に起因する基板の汚染や腐食を防止することができる。しかも、突起部と接触部とが異なる材質により形成されているため、突起部及び接触部の磨耗を低減させることができる。このため、この磨耗による生じる粉塵に起因する基板の汚染を抑制することができる。
【００１０】
この場合、突起部と接触部とは、異なる硬度の材質で形成されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、突起部と接触部とが異なる硬度の材質で形成されているため、突起部及び接触部の磨耗をより低減させることができる。
【００１１】
また、突起部は、接触部に接触する接触面が平面状に形成されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、接触部と接触する突起部の接触面が平面状に形成されているため、突起部と接触部との接触圧力を分散させることができる。このため、突起部及び接触部の磨耗をより低減させることができるとともに、容器本体に対する蓋体の案内を円滑にすることができる。
【００１２】
また、接触部は、開口部及び嵌合部の何れか他方と面一に形成されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、接触部が開口部又は嵌合部と面一に形成されているため、洗浄水などの液体を容器本体や蓋体からより除去しやすくすることができる。また、蓋体を容器本体に嵌め合わせる際に、突起部が接触部に引っ掛かるのを防止することができる。
【００１３】
また、突起部は、開口部及び嵌合部の何れか一方と異なる材質により形成されており、開口部及び嵌合部の何れか一方を形成する際に一体化されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、突起部を開口部及び嵌合部の何れか一方と異なる材質により形成することで、接触部を開口部及び嵌合部の何れか他方と同じ材質により形成することができる。これにより、開口部及び嵌合部の何れか他方は、それ自体が接触部となり得るため、接触部を形成する作業を削減することができる。更に、突起部は、開口部及び嵌合部の何れか一方を成形する際に一体化されるため、容器本体又は蓋体に対する突起部の取り付け作業を削減することができる。
【００１４】
また、突起部は、インサート成形により開口部及び嵌合部の何れか一方に一体化されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、インサート成形により突起部を開口部又は嵌合部に一体化させるため、材質の異なる突起部と開口部又は嵌合部とを容易に一体化させることができる。
【００１５】
また、接触部は、開口部及び嵌合部の何れか他方と異なる材質により形成されており、開口部及び嵌合部の何れか他方を成形する際に一体化されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、接触部を開口部及び嵌合部の何れか他方と異なる材質により形成することで、突起部を開口部及び嵌合部の何れか一方と同じ材質により形成することができる。これにより、開口部及び嵌合部の何れか一方を突出させるだけで突起部を形成することができるため、突起部を容易に形成することができる。更に、接触部は、開口部及び嵌合部の何れか他方を成形する際に一体化されるため、容器本体又は蓋体に対する接触部の取り付け作業を削減することができる。
【００１６】
また、接触部は、インサート成形により開口部及び嵌合部の何れか他方に一体化されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、インサート成形により接触部を開口部又は嵌合部に一体化させるため、材質の異なる接触部と開口部又は嵌合部とを容易に一体化させることができる。
【００１７】
また、突起部及び接触部は、開口部及び嵌合部に複数形成されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、突起部及び接触部が、開口部及び嵌合部に複数形成されるため、容器本体と蓋体との間のガタツキを抑制することができ、容器本体に対して蓋体を円滑に案内することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、容器本体及び蓋体に対する芯出し手段の取り付け作業を削減するとともに、洗浄水などの液体を芯出し手段に残留し難くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明に係る基板収納容器の好適な実施形態について詳細に説明する。本実施形態に係る基板収納容器は、ミニエンバイロメント方式下に用いられる加工装置において、精密基板の運搬のために用いられるものである。なお、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。
【００２０】
図１は、実施形態に係る基板収納容器の斜視図である。図１に示すように、本実施形態の基板収納容器１は、前面に開口部３が形成されたフロントオープンボックスタイプの容器本体２と、この容器本体２の開口部３を閉鎖する蓋体４とを備えている。
【００２１】
容器本体２は、略直直方体の箱型に形成されており、半導体ウェーハ（例えば、直径が３００ｍｍや４５０ｍｍのシリコンウェーハ）からなる複数毎の精密基板Ｗを所定のピッチで上下に整列収納する容器である。容器本体２は、十分な強度や剛性を有するポリカーボネート、ポリエーテルエーテルイミド、シクロオレフィンポリマーなどの熱可塑性樹脂、これらの樹脂に導電性の添加剤や導電性樹脂を添加して導電性を付与した樹脂、又は、これらの樹脂に紫外線吸収剤を添加した樹脂により、透明又は不透明に形成されている。
【００２２】
容器本体２の底面には、加工装置の位置決めステージ（不図示）との間で位置決めを行うＶ溝が形成された複数の位置決め部材及びボトムプレート６が、着脱自在に装着されている。
【００２３】
容器本体２の天井（上面）には、基板収納容器１を搬送する搬送ロボット（不図示）に保持されるロボティックフランジ７が装着されている。ロボティックフランジ７には、剛性を高めるために、表面に格子状のリブ８が形成されている。また、ロボティックフランジ７には、正方形の貫通穴９が形成されている。そして、搬送ロボットの係止爪をこの貫通穴９に挿入することで、容器本体２が搬送ロボットに保持される。なお、別の仕様の搬送ロボットを用いる場合は、例えば、搬送ロボットのピックアップ用の爪を、容器本体２の後側からロボティックフランジ７と容器本体２との間の空間に挿入することで、容器本体２が搬送ロボットに保持される。そして容器本体２は、搬送ロボットによりピックアップされて、搬送される。
【００２４】
容器本体２の相対する両内側壁には、複数毎の精密基板Ｗを搭載するために、各精密基板Ｗの周縁部を支持する複数の支持部材１０が、所定のピッチで並設されている。
【００２５】
容器本体２の相対する両外側壁には、搬送用のボトムレール（不図示）が選択的に装着されている。
【００２６】
容器本体２の開口部３は、精密基板Ｗを出し入れ（ローディング及びアンローディング）する出し入れ口となる。開口部３は、四隅が丸く湾曲された矩形の開口を形成している。すなわち、開口部３の内側表面３ａは、上下左右が平面状に形成されており、その四隅が丸く湾曲されている。そして、この内側表面３ａは、容器本体２の前方に向かうに従い徐々に広がるように傾斜して形成されている。すなわち、内側表面３ａは、容器本体２の内部に向かうに従い徐々に狭くなるように傾斜して形成されている。また、内側表面３ａに隣接する開口部３の表側表面３ｂは、平面状に形成されている。そして、内側表面３ａと表側表面３ｂとの間には、平面状又は曲面状の傾斜面３ｃが形成されている。
【００２７】
また、開口部３の内側表面３ａのうち、内側上面及び内側下面には、後述するラッチ機構５の係止クランプが嵌入されるように、それぞれ一対の係止穴１１が凹み形成されている。そして、開口部３の四隅の各コーナー部には、それぞれ芯出し手段となる接触部材１２が埋設されている。
【００２８】
図２は、開口部の一部拡大図、図３は、接触部材の斜視図である。図２及び図３に示すように、接触部材１２は、略Ｌ字状の板状部材により形成されており、開口部３のコーナー部の形状と適合するように曲面状に丸く９０°屈曲された屈曲部１２ａと、屈曲部１２ａの両端からそれぞれ平板上に延びる一対の接触部１２ｂとにより構成されている。そして、内側に屈曲された接続部材１３の内側表面１３ａと、内側表面１３ａに隣接して開口部３の前方に向けられる一方側面１３ｂとの間には、平面状又は曲面状の傾斜面１６が形成されている。そして、接触部材１２の内側表面１３ａ、一方側面１３ｂ及び傾斜面１３ｃが、開口部３の内側表面３ａ、表側表面３ｂ及び傾斜面３ｃと面一に露出されるように、接触部材１２と開口部３とが一体化されている。
【００２９】
また、容器本体２の奥側に向けられる接触部材１２の他方側面１３ｄには、容器本体２を形成する金型内において接触部材１２を保持するための一対の保持用凹部１４が形成されている。接触部材１２の長手方向における両端面には、それぞれ、接触部材１２と開口部３との接合強度を高めるための凹部１５が形成されている。
【００３０】
このような形状の接触部材１２は、開口部３と異なる材質により形成されている。すなわち、接触部材１２は、高剛性や耐熱性に優れるポリエーテルエーテルケトン、ポリプチレンテレフタレート、ナイロン樹脂、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、ポリカーボネートなどの熱可塑性樹脂により形成されている。また、接触部材１２は、これらの樹脂同士をブレンドしたものや、これらの樹脂を他の樹脂にブレンドしたもの、これらの樹脂にＰＴＦＥ(Polytetrafluoroethylene)などのフッ素系樹脂、シリコーン系樹脂などの潤滑材や、カーボンフィラー、カーボンパウダー、ガラス繊維、マイカなどの補強材や充填材を添加したものとしてもよい。
【００３１】
そして、接触部材１２と開口部３との一体化は、例えば、インサート成形により行うことができる。すなわち、まず、開口部３を成形するための金型（不図示）を用意し、射出成形などにより成形された接触部材１２をこの金型に挿入する。このとき、接触部材１２の内側表面１３ａ、一方側面１３ｂ及び傾斜面１３ｃが、開口部３の内側表面３ａ、表側表面３ｂ及び傾斜面３ｃから露出するように、接触部材１２を位置決めする。接触部材１２の位置決めは、例えば、金型に設けられた固定ピンなどで接触部材１２の保持用凹部１４を保持することで、行うことができる。その後、接触部材１２が挿入された金型に樹脂を充填することにより、材質の異なる接触部材１２と開口部３とを一体化することができる。このとき、金型に充填された樹脂が接触部材１２の凹部１５に流れ込むため、接触部材１２と開口部３との接続強度が高くなる。また、接触部材１９を金型内で位置ずれさせずにしっかりと保持できるので、充填される樹脂の表面への被覆を防止できる。
【００３２】
なお、保持用凹部１４及び凹部１５が形成された接触部材１２の代わりに、図４に示すように、保持用凸部１７及び凸部１８が形成された接触部材１９を用いる場合は、例えば、金型に設けられた固定ピンなどで接触部材１９の保持用凸部１７を保持することで、接触部材１９を位置決めする。そして、金型に樹脂を充填しても、接触部材１９の凸部１８がしっかりと金型に挟み込まれているため、接触部材１９を位置ずれさせずにしっかりと金型内で保持でき、充填される樹脂の表面への被覆を防止できる。なお、この保持用凸部１７は、開口部３から突出してしまうので、成形後、突出部分を切断して使用される。
【００３３】
図５は、蓋体の一部拡大図である。図１及び図５に示すように、蓋体４は、容器本体２の開口部３を閉鎖するものであり、シールガスケット２０を介して開口部３を閉鎖する嵌合ケース２１と、嵌合ケース２１に内蔵されるラッチ機構２３とを備えている。
【００３４】
嵌合ケース２１は、容器本体２の開口部３に嵌め合わされるものである。嵌合ケース２１は、容器本体２と同様の材質で形成されている。すなわち、嵌合ケース２１は、十分な強度や剛性を有するポリカーボネート、ポリエーテルエーテルイミド、シクロオレフィンポリマーなどの熱可塑性樹脂、これらの樹脂に導電性の添加剤や導電性樹脂を添加して導電性を付与した樹脂、又は、これらの樹脂に紫外線吸収剤を添加した樹脂により、透明又は不透明に形成されている。
【００３５】
嵌合ケース２１は、中空構造の薄い箱型に形成されている。なお、開口部３に嵌め合わされたときに、基板収納容器１の外側となる面が嵌合ケース２１の前面となり、基板収納容器１の内側となる面が嵌合ケース２１の裏面となる。
【００３６】
嵌合ケース２１の外周面は、四隅が丸く湾曲された矩形断面を有しており、開口部３と略合致する形状に形成されている。すなわち、嵌合ケース２１の外周面は、上下左右が略平面状に形成されており、その四隅が丸く湾曲されている。
【００３７】
嵌合ケース２１の裏面には、複数毎の精密基板Ｗの前部周縁を弾発的に保持するフロントリテーナ（不図示）が装着される。嵌合ケース２１の上側壁及び下側壁には、後述するラッチ機構５の係止クランプが出没できるように、それぞれ一対の出没孔２４が穿孔されている。そして、嵌合ケース２１の上下左右の各側壁には、それぞれ、一対の突起部２５が一体的に形成されている。
【００３８】
突起部２５は、蓋体４を容器本体２に嵌め合わせる際に開口部３の接触部材１２と接触することで、蓋体４と容器本体２との芯出しを行う芯出し手段である。突起部２５は、嵌合ケース２１と同一の材質により形成されている。すなわち、突起部２５は、接触部材１２と異なる材質により形成されている。そして、突起部２５は、嵌合ケース２１が突出して形成されており、蓋体４が容器本体２に嵌め合わされる際、接触部材１２の接触部１２ｂに対応する位置に配置されている。このため、突起部２５は、嵌合ケース２１の各面に２つずつ形成されており、突起部２５が接触する接触部材１２の接触部１２ｂは、開口部３の各面に２つずつ形成されている。
【００３９】
各突起部２５は、嵌合ケース２１が突出して形成されており、その頂部に、平面状の突出面２６が形成されている。なお、突出面２６は、接触部材１２と接触する接触面となる。そして、各突起部２５は、縦断面が台形に形成されており、突出量（突出高さ）が、前方に向かうに従い徐々に増加する（高くなる）ように傾斜して形成されている。すなわち、突起部２５は、突出量（突出高さ）が、蓋体４を容器本体２に嵌め合わせる方向に向けて徐々に減少する（低くなる）ように傾斜して形成されている。なお、突起部２５の形成は、例えば、嵌合ケース２１を成形する金型に突起部２５の形状の凹部を形成しておき、この金型に樹脂を充填することで行うことができる。
【００４０】
被覆プレート２２には、嵌合ケース２１に内蔵されたラッチ機構５を操作するためのキーが挿入される左右一対のキー挿入口２７が穿孔されている。キー挿入口２７は、蓋体開閉器の標準規格に対応するように、それぞれ長方形に形成されている。そして、被覆プレート２２の丸まった四隅付近には、複数の固定穴２８が穿孔されており、この固定穴２８に、被覆プレート２２と嵌合ケース２１とを締結する螺子などの締結具が着脱自在に取り付けられている。
【００４１】
図６は、ラッチ機構を示した斜視図であり、嵌合ケースから被覆プレートを取り外してラッチ機構を露出させた状態を示している。図６に示すように、ラッチ機構２３は、上下方向に軸支されており、一対のラッチ機構２３が左右方向に並設されている。各ラッチ機構２３は、蓋体開閉器のキーにより回転される回転プレート３１と、この回転プレート３１に連結されて嵌合ケース２１の上下方向にスライド可能な動力伝達プレート３２と、この動力伝達プレート３２に連結されて出没孔２４から出没する係止クランプ３３とを備えている。
【００４２】
回転プレート３１は、断面が略凸字型の中実円板、すなわち、中央部が片側に突出した中実円板に形成されている。そして、回転プレート３１には、突出した中央部に、被覆プレート２２のキー挿入口２７に対向するキー穴３４が形成されている。このキー穴３４は、略長方形に凹み形成されている。なお、回転プレート３１には、キー穴３４と蓋体開閉器のキーとの寸法誤差を吸収する吸収機構３５が取り付けられている。そして、回転プレート３１の周縁部には、２つの嵌合溝３６が約１８０°の間隔をおいて形成されている。この嵌合溝３６は、中心角が約９０°の略円弧状の溝であって、その半径が徐々に大きくなるように湾曲して形成されている。
【００４３】
各動力伝達プレート３２は、細長い縦長の略長方形に形成されている。そして、動力伝達プレート３２は、長手方向の中心軸の延長線が回転プレート３１の中心を通るように、嵌合ケース２１に設けられたガイド支持片３７を介してスライド可能に配設されている。また、各動力伝達プレート３２には、長手方向に沿って、小判型の複数のガイド穴３８が所定の間隔をおいて穿孔されており、各ガイド穴３８には、嵌合ケース２１から突出した円柱形のガイドピン３９が嵌入されている。なお、このガイドピン３９には、ガイド穴３８との間に介在して摩擦に伴う樹脂粉の発生を抑制する円筒形の回転ローラ４０が選択的に嵌入される。
【００４４】
各動力伝達プレート３２の一端部における幅方向の中心部には、回転プレート３１の嵌合溝３６に遊嵌される円柱形の嵌合ピン４１が突出形成されている。このため、回転プレート３１が回転すると、各動力伝達プレート３２は、上下方向にスライドする。なお、この嵌合ピンには、嵌合溝３６との間に介在して摩擦に伴う樹脂粉の発生を抑制する円筒形の回転ローラ４２が選択的に嵌入される。
【００４５】
各係止クランプ３３は、一対のアームを有する断面略Ｔ字型に形成されており、蓋体４の出没孔２４の近傍に回転可能、揺動可能に軸支されている。各係止クランプ３３は、一方のアームが動力伝達プレート３２の他端部に回転可能に軸支されており、他方のアームには、摩擦に伴う樹脂粉の発生を抑止する円筒形の回転ローラが回転可能に嵌入されており、この回転ローラが蓋体４の開閉時に、開口部３の係止穴１１に出没孔２４を介して嵌入する。
【００４６】
このような構成のラッチ機構２３は、蓋体４のキー挿入口２７に蓋体開閉器のキーが挿入されて９０°回転すると、各回転プレート３１が回転して動力伝達プレートを上下方向、換言すると、蓋体４の出没孔２４に向かってスライドする。すると、各係止クランプ３３が弧を描きながら揺動して蓋体４の出没孔２４から突出し、この突出した各係止クランプ３３が容器本体２の係止穴１１に嵌入する。これにより容器本体２の開口部３を閉鎖した蓋体４を、強固に施錠することができる。なお、施錠と逆の操作を行うことで、蓋体４を解錠することができる。
【００４７】
このように、本実施形態に係る基板収納容器１によれば、蓋体４の嵌合ケース２１に突起部２５が形成され、容器本体２の開口部３に接触部材１２が形成されているため、蓋体４を容器本体２に嵌め合わせると、突起部２５と接触部材１２とが接触することで容器本体２と蓋体４との芯出しが行われ、容器本体２に対して蓋体４が適切な位置に案内される。また、突起部２５及び接触部材１２が開口部３及び嵌合ケース２１に一体的に形成されているため、容器本体２及び蓋体４に芯出し手段を取り付ける作業が削減でき、生産効率を向上させることができる。更に、芯出し手段を形成するために容器本体２や蓋体４に溝や穴などを形成する必要が無いため、洗浄水などの液体を容器本体２や蓋体４から除去しやすくすることができる。このため、容器本体２や蓋体４に残留した洗浄水に起因する精密基板Ｗの汚染や腐食を防止することができる。しかも、突起部２５と接触部材１２とが異なる材質により形成されているため、突起部２５及び接触部材１２の磨耗を低減させることができる。このため、この磨耗による生じる粉塵に起因する精密基板Ｗの汚染を抑制することができる。
【００４８】
また、基板収納容器１によれば、突起部２５と接触部材１２とが異なる硬度の材質で形成されているため、突起部２５及び接触部材１２の磨耗をより低減させることができる。
【００４９】
また、基板収納容器１によれば、接触部材１２と接触する突起部２５の突出面２６が平面状に形成されているため、突起部２５と接触部材１２との接触圧力を分散させることができる。このため、突起部２５及び接触部材１２の磨耗をより低減させることができるとともに、容器本体２に対する蓋体４の案内を円滑にすることができる。
【００５０】
また、基板収納容器１によれば、接触部材１２の内側表面１３ａ、一方側面１３ｂ及び傾斜面１３ｃが、開口部３の内側表面３ａ、表側表面３ｂ及び傾斜面３ｃと面一に形成されているため、洗浄水などの液体を容器本体２や蓋体４からより除去しやすくすることができる。また、蓋体４を容器本体２に嵌め合わせる際に、突起部２５が接触部材１２に引っ掛かるのを防止することができる。
【００５１】
また、基板収納容器１によれば、接触部材１２を開口部３と異なる材質により形成することで、突起部２５を嵌合ケース２１と同じ材質により形成することができる。これにより、嵌合ケース２１の一部を突出させるだけで突起部２５を形成することができるため、突起部２５を容易に形成することができる。更に、接触部材１２は、開口部３を成形する際に開口部３と一体化されるため、接触部材１２を開口部３に取り付ける作業を削減することができる。
【００５２】
また、基板収納容器１によれば、インサート成形により接触部材１２を開口部３に一体化させるため、材質の異なる接触部材１２と開口部３とを容易に一体化させることができる。
【００５３】
また、基板収納容器１によれば、突起部２５及び接触部材１２が、開口部３及び嵌合ケース２１に複数形成されるため、容器本体２と蓋体４との間のガタツキを抑制することができ、容器本体２に対して蓋体４を円滑に案内することができる。
【００５４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。たとえば、上記実施形態では、接触部材１２が、開口部３と面一に形成されるものとして説明したが、例えば、図７に示すように、接触部材１２の一部が開口部３から突出されるものとしてもよい。この場合、接触部材１２の傾斜面１６が開口部３の前方に向けられることで、開口部３と突出面２６との段差がスローブ状となるため、突起部２５が接触部材１２に引っ掛かるのを抑制することができる。
【００５５】
また、上記実施形態では、突起部２５の形状が、突出面２６が平面状であって縦断面が台形であるものとして説明したが、例えば、細長い形状であってもよく、縦断面が三角形であってもよい。また、上記実施形態では、突起部２５及び接触部１２ｂを、嵌合ケース２１及び開口部３の各面にそれぞれ２つずつ形成するものとして説明したが、面ごとに形成する数を変えてもよい。なお、突起部と接触部との接触面圧を低くするために、突起部を複数に分けることが好ましく、また、接触部との接触を円滑にするために、接触部と接触する突起部の接触面を平面状又は曲面状に形成することが好ましい。
【００５６】
また、上記実施形態では、接触部材１２を開口部３と異なる材質で形成するものとして説明したが、突起部を嵌合ケース２１と異なる材質で形成するものとしてもよい。この場合、突起部２５は、嵌合ケース２１と異なる素材となるため、インサート成形により、突起部２５を嵌合ケース２１に一体化させることができる。この基板収納容器によれば、突起部が嵌合ケース２１と異なる材質により形成することで、接触部材を開口部３と同じ材質により形成することができる。これにより、開口部３は、それ自体が接触部となり得るため、接触部材を形成する作業を削減することができる。そして、インサート成形により突起部を嵌合ケースに一体化させるため、材質の異なる突起部と嵌合ケースとを容易に一体化させることができる。
【００５７】
また、上記実施形態では、容器本体２の開口部３に接触部材１２を設け、蓋体４の嵌合ケース２１に突起部２５を設けるものとして説明したが、図８に示す基板収納容器１００のように、突起部１０１を容器本体２の開口部３に設け、接触部材１０２を蓋体４の嵌合ケース２１に設けてもよい。この場合、開口部３の一部を突出させて突起部１０１を形成し、嵌合ケース２１の各コーナー部に接触部材１０２をインサート成形で一体化することで、基板収納容器１００が構成される。
【００５８】
また、上記実施形態では、固定ピンを用いて、接触部材を金型内で保持するものとして説明したが、これに限らず、充填される樹脂の樹脂圧によって突出量が変化する可動ピンを用いて、接触部材を金型内に保持するものとしてもよい。
【００５９】
なお、突起部２５及び接触部材１２の材質は特に限定されるものではないが、突起部２５と接触部材１２とは、硬度差のある樹脂を選択するのが好ましい。また、突起部２５と接触部材１２とは、摩擦発熱による変形もしくは溶融限界の指標となる限界ＰＶ値がなるべく大きな値の樹脂を選択することが好ましい。すなわち、限界ＰＶ値の小さい樹脂からなる部材が、摩擦により一方的に削られて、芯出し手段のガタツキが大きくならないように選択することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】実施形態に係る基板収納容器の斜視図である。
【図２】開口部の一部拡大図である。
【図３】接触部材の斜視図である。
【図４】他の接触部材の斜視図である。
【図５】蓋体の一部拡大図である。
【図６】ラッチ機構を示した斜視図である。
【図７】開口部の一部拡大図である。
【図８】他の基板収納容器の斜視図である。
【符号の説明】
【００６１】
１…基板収納容器、２…容器本体、３…開口部、３ａ…内側表面、３ｂ…表側表面、３ｃ…傾斜面、４…蓋体、５…ラッチ機構、６…ボトムプレート、７…ロボティックフランジ、８…リブ、９…貫通穴、１０…支持部材、１１…係止穴、１２…接触部材、１２ａ…屈曲部、１２ｂ…接触部、１３ａ…内側表面、１３ｂ…一方側面、１３ｃ…傾斜面、１４…保持用凹部、１５…凹部、１７…保持用凸部、１８…凸部、１９…接触部材、２０…シールガスケット、２１…嵌合ケース（嵌合部）、２２…被覆プレート、２３…ラッチ機構、２４…出没孔、２５…突起部、２６…突出面（接触面）、２７…キー挿入口、２８…固定穴、３１…回転プレート、３２…動力伝達プレート、３３…係止クランプ、３４…キー穴、３５…吸収機構、３６…嵌合溝、３７…ガイド支持片、３８…ガイド穴、３９…ガイドピン、４０…回転ローラ、４１…嵌合ピン、４２…回転ローラ、１００…基板収納容器、１０１…突起部、１０２…接触部材、Ｗ…精密基板。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハなどの基板を収納する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
局部的にクリーンな環境を形成するミニエンバイロメント方式下に用いられる加工装置は、通常のクリーンルームの外環境とは別に区画されたスパークリーンルーム（クリーンクラス１以下）の内環境に設置される。この加工装置は、更に、外環境に設置される基板収納容器用の位置決めステージと、外環境と内環境との境界壁を開閉する少なくとも昇降可能な蓋体開閉器（オープナーともいう）とを備えている。そして、半導体ウェーハなどの精密基板が収納された基板収納容器は、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）、ＡＧＶ（Auto Guided Vehicle）、又はＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）などからなる自動搬送機により搬送されて、位置決めステージに設置される。
【０００３】
基板収納容器は、前面に設けられた開口部から複数毎の精密基板を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口部を閉鎖する蓋体とにより構成されている。蓋体は、容器本体の前面から開口部に嵌合する嵌合ケースと、この嵌合ケースの前面を覆う被覆プレートと、この被覆プレートに穿孔される一対のキー挿入口と、嵌合ケースに内蔵されて蓋体を施錠及び解錠するラッチ機構とにより構成される。この一対のキー挿入口は、蓋体開閉器の標準規格（ＳＥＭＩ ＳＴＡＮＤＥＲＤ Ｅ６２）に対応する位置にそれぞれ穿孔されている。また、ラッチ機構は、例えば、特許文献１に記載されるように、蓋体外部から操作可能な回転プレートと、この回転プレートの回転に連動する複数の動力伝達プレートと、各動力伝達プレートの直線運動に連動する複数の係止クランプと、により構成される。
【０００４】
蓋体開閉器は、回転可能なＴ字型のキーを備え、寸法がＳＥＭＩ標準規格（ＦＩＭＳ）として規格化されている。そして、蓋体開閉器は、Ｔ字型のキーを蓋体に設けられたキー挿入口に挿入して９０°回転することで、ラッチ機構の作動により蓋体を施錠又は解錠し、更に、蓋体を係合保持して基板収納容器から取り外すとともに、基板収納容器の開口部に蓋体を嵌合閉鎖する。
【０００５】
このように構成される基板収納容器において、蓋体開閉器により蓋体を容器本体から取り外すと、蓋体開閉器に保持された蓋体が自重などによって下方にずれることがあった。また、蓋体開閉器の停止位置の再現精度によっても、この蓋体が左右方向又は上下方向にずれることがあった。そこで、従来の基板収納容器では、容器本体と蓋体との位置を適切な位置に案内するために、容器本体や蓋体とは別部材によって構成された芯出し手段を取り付けていた。そして、この芯出し手段を、穴や溝と突起部や爪との係止や、ネジ止めなどにより、容器本体又は蓋体に取り付けていた。特許文献２に記載された基板収納容器では、芯出し手段として、Ｌ字型に延びる位置決めアームが形成された位置決め体を採用している。そして、蓋体の嵌合ケースに窓穴を形成するとともに、この窓穴から位置決めアームが貫通突出するように、位置決め体を蓋体にネジ止めしている。
【特許文献１】特開２０００−０５８６３３号公報
【特許文献２】特開２００２−３６８０７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の基板収納容器では、芯出し手段が、容器本体又は蓋体と別部材により構成されているため、衝撃や摩擦などで、使用中に芯出し手段が落下するという問題があった。また、この芯出し手段を、穴や溝と突起部や爪との係止やネジ止めなどにより、容器本体又は蓋体に取り付けているため、芯出し手段を取り付けるための作業が増加するという問題があった。更に、この基板収納容器を洗浄すると、容器本体や蓋体に形成された穴や溝に洗浄水が入り込むため、この洗浄水の除去に時間がかかり、しかも、洗浄水が残留すると、基板収納容器に収納された精密基板の汚染や腐食の原因になるという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題に鑑み成されたものであり、容器本体及び蓋体に対する芯出し手段の取り付け作業を削減するとともに、洗浄水などの液体を芯出し手段に残留し難い基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る基板収納容器は、開口部を有して基板を収納する容器本体と、開口部に嵌め合わされる嵌合部を有して開口部を閉鎖する蓋体と、容器本体と蓋体との芯出しを行う芯出し手段とを有する基板収納容器であって、芯出し手段は、開口部及び嵌合部の何れか一方に一体的に形成される突起部と、開口部及び嵌合部の何れか他方に一体的に形成されて突起部が接触する接触部と、を有しており、突起部と接触部とは、異なる材質により形成されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る基板収納容器によれば、容器本体の開口部及び蓋体の嵌合部の何れか一方に突起部が形成され、この開口部及び嵌合部の何れか他方に接触部が形成されているため、蓋体を容器本体に嵌め合わせると、突起部と接触部とが接触することで容器本体と蓋体との芯出しが行われ、容器本体に対して蓋体が適切な位置に案内される。また、突起部及び接触部が開口部及び嵌合部に一体的に形成されているため、容器本体及び蓋体に芯出し手段を取り付ける作業が削減でき、生産効率を向上させることができる。更に、芯出し手段を形成するために容器本体や蓋体に溝や穴などを形成する必要が無いため、洗浄水などの液体を容器本体や蓋体から除去しやすくすることができる。このため、容器本体や蓋体に残留した洗浄水に起因する基板の汚染や腐食を防止することができる。しかも、突起部と接触部とが異なる材質により形成されているため、突起部及び接触部の磨耗を低減させることができる。このため、この磨耗による生じる粉塵に起因する基板の汚染を抑制することができる。
【００１０】
この場合、突起部と接触部とは、異なる硬度の材質で形成されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、突起部と接触部とが異なる硬度の材質で形成されているため、突起部及び接触部の磨耗をより低減させることができる。
【００１１】
また、突起部は、接触部に接触する接触面が平面状に形成されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、接触部と接触する突起部の接触面が平面状に形成されているため、突起部と接触部との接触圧力を分散させることができる。このため、突起部及び接触部の磨耗をより低減させることができるとともに、容器本体に対する蓋体の案内を円滑にすることができる。
【００１２】
また、接触部は、開口部及び嵌合部の何れか他方と面一に形成されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、接触部が開口部又は嵌合部と面一に形成されているため、洗浄水などの液体を容器本体や蓋体からより除去しやすくすることができる。また、蓋体を容器本体に嵌め合わせる際に、突起部が接触部に引っ掛かるのを防止することができる。
【００１３】
また、突起部は、開口部及び嵌合部の何れか一方と異なる材質により形成されており、開口部及び嵌合部の何れか一方を形成する際に一体化されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、突起部を開口部及び嵌合部の何れか一方と異なる材質により形成することで、接触部を開口部及び嵌合部の何れか他方と同じ材質により形成することができる。これにより、開口部及び嵌合部の何れか他方は、それ自体が接触部となり得るため、接触部を形成する作業を削減することができる。更に、突起部は、開口部及び嵌合部の何れか一方を成形する際に一体化されるため、容器本体又は蓋体に対する突起部の取り付け作業を削減することができる。
【００１４】
また、突起部は、インサート成形により開口部及び嵌合部の何れか一方に一体化されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、インサート成形により突起部を開口部又は嵌合部に一体化させるため、材質の異なる突起部と開口部又は嵌合部とを容易に一体化させることができる。
【００１５】
また、接触部は、開口部及び嵌合部の何れか他方と異なる材質により形成されており、開口部及び嵌合部の何れか他方を成形する際に一体化されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、接触部を開口部及び嵌合部の何れか他方と異なる材質により形成することで、突起部を開口部及び嵌合部の何れか一方と同じ材質により形成することができる。これにより、開口部及び嵌合部の何れか一方を突出させるだけで突起部を形成することができるため、突起部を容易に形成することができる。更に、接触部は、開口部及び嵌合部の何れか他方を成形する際に一体化されるため、容器本体又は蓋体に対する接触部の取り付け作業を削減することができる。
【００１６】
また、接触部は、インサート成形により開口部及び嵌合部の何れか他方に一体化されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、インサート成形により接触部を開口部又は嵌合部に一体化させるため、材質の異なる接触部と開口部又は嵌合部とを容易に一体化させることができる。
【００１７】
また、突起部及び接触部は、開口部及び嵌合部に複数形成されていることが好ましい。この基板収納容器によれば、突起部及び接触部が、開口部及び嵌合部に複数形成されるため、容器本体と蓋体との間のガタツキを抑制することができ、容器本体に対して蓋体を円滑に案内することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、容器本体及び蓋体に対する芯出し手段の取り付け作業を削減するとともに、洗浄水などの液体を芯出し手段に残留し難くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明に係る基板収納容器の好適な実施形態について詳細に説明する。本実施形態に係る基板収納容器は、ミニエンバイロメント方式下に用いられる加工装置において、精密基板の運搬のために用いられるものである。なお、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。
【００２０】
図１は、実施形態に係る基板収納容器の斜視図である。図１に示すように、本実施形態の基板収納容器１は、前面に開口部３が形成されたフロントオープンボックスタイプの容器本体２と、この容器本体２の開口部３を閉鎖する蓋体４とを備えている。
【００２１】
容器本体２は、略直直方体の箱型に形成されており、半導体ウェーハ（例えば、直径が３００ｍｍや４５０ｍｍのシリコンウェーハ）からなる複数毎の精密基板Ｗを所定のピッチで上下に整列収納する容器である。容器本体２は、十分な強度や剛性を有するポリカーボネート、ポリエーテルエーテルイミド、シクロオレフィンポリマーなどの熱可塑性樹脂、これらの樹脂に導電性の添加剤や導電性樹脂を添加して導電性を付与した樹脂、又は、これらの樹脂に紫外線吸収剤を添加した樹脂により、透明又は不透明に形成されている。
【００２２】
容器本体２の底面には、加工装置の位置決めステージ（不図示）との間で位置決めを行うＶ溝が形成された複数の位置決め部材及びボトムプレート６が、着脱自在に装着されている。
【００２３】
容器本体２の天井（上面）には、基板収納容器１を搬送する搬送ロボット（不図示）に保持されるロボティックフランジ７が装着されている。ロボティックフランジ７には、剛性を高めるために、表面に格子状のリブ８が形成されている。また、ロボティックフランジ７には、正方形の貫通穴９が形成されている。そして、搬送ロボットの係止爪をこの貫通穴９に挿入することで、容器本体２が搬送ロボットに保持される。なお、別の仕様の搬送ロボットを用いる場合は、例えば、搬送ロボットのピックアップ用の爪を、容器本体２の後側からロボティックフランジ７と容器本体２との間の空間に挿入することで、容器本体２が搬送ロボットに保持される。そして容器本体２は、搬送ロボットによりピックアップされて、搬送される。
【００２４】
容器本体２の相対する両内側壁には、複数毎の精密基板Ｗを搭載するために、各精密基板Ｗの周縁部を支持する複数の支持部材１０が、所定のピッチで並設されている。
【００２５】
容器本体２の相対する両外側壁には、搬送用のボトムレール（不図示）が選択的に装着されている。
【００２６】
容器本体２の開口部３は、精密基板Ｗを出し入れ（ローディング及びアンローディング）する出し入れ口となる。開口部３は、四隅が丸く湾曲された矩形の開口を形成している。すなわち、開口部３の内側表面３ａは、上下左右が平面状に形成されており、その四隅が丸く湾曲されている。そして、この内側表面３ａは、容器本体２の前方に向かうに従い徐々に広がるように傾斜して形成されている。すなわち、内側表面３ａは、容器本体２の内部に向かうに従い徐々に狭くなるように傾斜して形成されている。また、内側表面３ａに隣接する開口部３の表側表面３ｂは、平面状に形成されている。そして、内側表面３ａと表側表面３ｂとの間には、平面状又は曲面状の傾斜面３ｃが形成されている。
【００２７】
また、開口部３の内側表面３ａのうち、内側上面及び内側下面には、後述するラッチ機構５の係止クランプが嵌入されるように、それぞれ一対の係止穴１１が凹み形成されている。そして、開口部３の四隅の各コーナー部には、それぞれ芯出し手段となる接触部材１２が埋設されている。
【００２８】
図２は、開口部の一部拡大図、図３は、接触部材の斜視図である。図２及び図３に示すように、接触部材１２は、略Ｌ字状の板状部材により形成されており、開口部３のコーナー部の形状と適合するように曲面状に丸く９０°屈曲された屈曲部１２ａと、屈曲部１２ａの両端からそれぞれ平板上に延びる一対の接触部１２ｂとにより構成されている。そして、内側に屈曲された接続部材１３の内側表面１３ａと、内側表面１３ａに隣接して開口部３の前方に向けられる一方側面１３ｂとの間には、平面状又は曲面状の傾斜面１６が形成されている。そして、接触部材１２の内側表面１３ａ、一方側面１３ｂ及び傾斜面１３ｃが、開口部３の内側表面３ａ、表側表面３ｂ及び傾斜面３ｃと面一に露出されるように、接触部材１２と開口部３とが一体化されている。
【００２９】
また、容器本体２の奥側に向けられる接触部材１２の他方側面１３ｄには、容器本体２を形成する金型内において接触部材１２を保持するための一対の保持用凹部１４が形成されている。接触部材１２の長手方向における両端面には、それぞれ、接触部材１２と開口部３との接合強度を高めるための凹部１５が形成されている。
【００３０】
このような形状の接触部材１２は、開口部３と異なる材質により形成されている。すなわち、接触部材１２は、高剛性や耐熱性に優れるポリエーテルエーテルケトン、ポリプチレンテレフタレート、ナイロン樹脂、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、ポリカーボネートなどの熱可塑性樹脂により形成されている。また、接触部材１２は、これらの樹脂同士をブレンドしたものや、これらの樹脂を他の樹脂にブレンドしたもの、これらの樹脂にＰＴＦＥ(Polytetrafluoroethylene)などのフッ素系樹脂、シリコーン系樹脂などの潤滑材や、カーボンフィラー、カーボンパウダー、ガラス繊維、マイカなどの補強材や充填材を添加したものとしてもよい。
【００３１】
そして、接触部材１２と開口部３との一体化は、例えば、インサート成形により行うことができる。すなわち、まず、開口部３を成形するための金型（不図示）を用意し、射出成形などにより成形された接触部材１２をこの金型に挿入する。このとき、接触部材１２の内側表面１３ａ、一方側面１３ｂ及び傾斜面１３ｃが、開口部３の内側表面３ａ、表側表面３ｂ及び傾斜面３ｃから露出するように、接触部材１２を位置決めする。接触部材１２の位置決めは、例えば、金型に設けられた固定ピンなどで接触部材１２の保持用凹部１４を保持することで、行うことができる。その後、接触部材１２が挿入された金型に樹脂を充填することにより、材質の異なる接触部材１２と開口部３とを一体化することができる。このとき、金型に充填された樹脂が接触部材１２の凹部１５に流れ込むため、接触部材１２と開口部３との接続強度が高くなる。また、接触部材１９を金型内で位置ずれさせずにしっかりと保持できるので、充填される樹脂の表面への被覆を防止できる。
【００３２】
なお、保持用凹部１４及び凹部１５が形成された接触部材１２の代わりに、図４に示すように、保持用凸部１７及び凸部１８が形成された接触部材１９を用いる場合は、例えば、金型に設けられた固定ピンなどで接触部材１９の保持用凸部１７を保持することで、接触部材１９を位置決めする。そして、金型に樹脂を充填しても、接触部材１９の凸部１８がしっかりと金型に挟み込まれているため、接触部材１９を位置ずれさせずにしっかりと金型内で保持でき、充填される樹脂の表面への被覆を防止できる。なお、この保持用凸部１７は、開口部３から突出してしまうので、成形後、突出部分を切断して使用される。
【００３３】
図５は、蓋体の一部拡大図である。図１及び図５に示すように、蓋体４は、容器本体２の開口部３を閉鎖するものであり、シールガスケット２０を介して開口部３を閉鎖する嵌合ケース２１と、嵌合ケース２１に内蔵されるラッチ機構２３とを備えている。
【００３４】
嵌合ケース２１は、容器本体２の開口部３に嵌め合わされるものである。嵌合ケース２１は、容器本体２と同様の材質で形成されている。すなわち、嵌合ケース２１は、十分な強度や剛性を有するポリカーボネート、ポリエーテルエーテルイミド、シクロオレフィンポリマーなどの熱可塑性樹脂、これらの樹脂に導電性の添加剤や導電性樹脂を添加して導電性を付与した樹脂、又は、これらの樹脂に紫外線吸収剤を添加した樹脂により、透明又は不透明に形成されている。
【００３５】
嵌合ケース２１は、中空構造の薄い箱型に形成されている。なお、開口部３に嵌め合わされたときに、基板収納容器１の外側となる面が嵌合ケース２１の前面となり、基板収納容器１の内側となる面が嵌合ケース２１の裏面となる。
【００３６】
嵌合ケース２１の外周面は、四隅が丸く湾曲された矩形断面を有しており、開口部３と略合致する形状に形成されている。すなわち、嵌合ケース２１の外周面は、上下左右が略平面状に形成されており、その四隅が丸く湾曲されている。
【００３７】
嵌合ケース２１の裏面には、複数毎の精密基板Ｗの前部周縁を弾発的に保持するフロントリテーナ（不図示）が装着される。嵌合ケース２１の上側壁及び下側壁には、後述するラッチ機構５の係止クランプが出没できるように、それぞれ一対の出没孔２４が穿孔されている。そして、嵌合ケース２１の上下左右の各側壁には、それぞれ、一対の突起部２５が一体的に形成されている。
【００３８】
突起部２５は、蓋体４を容器本体２に嵌め合わせる際に開口部３の接触部材１２と接触することで、蓋体４と容器本体２との芯出しを行う芯出し手段である。突起部２５は、嵌合ケース２１と同一の材質により形成されている。すなわち、突起部２５は、接触部材１２と異なる材質により形成されている。そして、突起部２５は、嵌合ケース２１が突出して形成されており、蓋体４が容器本体２に嵌め合わされる際、接触部材１２の接触部１２ｂに対応する位置に配置されている。このため、突起部２５は、嵌合ケース２１の各面に２つずつ形成されており、突起部２５が接触する接触部材１２の接触部１２ｂは、開口部３の各面に２つずつ形成されている。
【００３９】
各突起部２５は、嵌合ケース２１が突出して形成されており、その頂部に、平面状の突出面２６が形成されている。なお、突出面２６は、接触部材１２と接触する接触面となる。そして、各突起部２５は、縦断面が台形に形成されており、突出量（突出高さ）が、前方に向かうに従い徐々に増加する（高くなる）ように傾斜して形成されている。すなわち、突起部２５は、突出量（突出高さ）が、蓋体４を容器本体２に嵌め合わせる方向に向けて徐々に減少する（低くなる）ように傾斜して形成されている。なお、突起部２５の形成は、例えば、嵌合ケース２１を成形する金型に突起部２５の形状の凹部を形成しておき、この金型に樹脂を充填することで行うことができる。
【００４０】
被覆プレート２２には、嵌合ケース２１に内蔵されたラッチ機構５を操作するためのキーが挿入される左右一対のキー挿入口２７が穿孔されている。キー挿入口２７は、蓋体開閉器の標準規格に対応するように、それぞれ長方形に形成されている。そして、被覆プレート２２の丸まった四隅付近には、複数の固定穴２８が穿孔されており、この固定穴２８に、被覆プレート２２と嵌合ケース２１とを締結する螺子などの締結具が着脱自在に取り付けられている。
【００４１】
図６は、ラッチ機構を示した斜視図であり、嵌合ケースから被覆プレートを取り外してラッチ機構を露出させた状態を示している。図６に示すように、ラッチ機構２３は、上下方向に軸支されており、一対のラッチ機構２３が左右方向に並設されている。各ラッチ機構２３は、蓋体開閉器のキーにより回転される回転プレート３１と、この回転プレート３１に連結されて嵌合ケース２１の上下方向にスライド可能な動力伝達プレート３２と、この動力伝達プレート３２に連結されて出没孔２４から出没する係止クランプ３３とを備えている。
【００４２】
回転プレート３１は、断面が略凸字型の中実円板、すなわち、中央部が片側に突出した中実円板に形成されている。そして、回転プレート３１には、突出した中央部に、被覆プレート２２のキー挿入口２７に対向するキー穴３４が形成されている。このキー穴３４は、略長方形に凹み形成されている。なお、回転プレート３１には、キー穴３４と蓋体開閉器のキーとの寸法誤差を吸収する吸収機構３５が取り付けられている。そして、回転プレート３１の周縁部には、２つの嵌合溝３６が約１８０°の間隔をおいて形成されている。この嵌合溝３６は、中心角が約９０°の略円弧状の溝であって、その半径が徐々に大きくなるように湾曲して形成されている。
【００４３】
各動力伝達プレート３２は、細長い縦長の略長方形に形成されている。そして、動力伝達プレート３２は、長手方向の中心軸の延長線が回転プレート３１の中心を通るように、嵌合ケース２１に設けられたガイド支持片３７を介してスライド可能に配設されている。また、各動力伝達プレート３２には、長手方向に沿って、小判型の複数のガイド穴３８が所定の間隔をおいて穿孔されており、各ガイド穴３８には、嵌合ケース２１から突出した円柱形のガイドピン３９が嵌入されている。なお、このガイドピン３９には、ガイド穴３８との間に介在して摩擦に伴う樹脂粉の発生を抑制する円筒形の回転ローラ４０が選択的に嵌入される。
【００４４】
各動力伝達プレート３２の一端部における幅方向の中心部には、回転プレート３１の嵌合溝３６に遊嵌される円柱形の嵌合ピン４１が突出形成されている。このため、回転プレート３１が回転すると、各動力伝達プレート３２は、上下方向にスライドする。なお、この嵌合ピンには、嵌合溝３６との間に介在して摩擦に伴う樹脂粉の発生を抑制する円筒形の回転ローラ４２が選択的に嵌入される。
【００４５】
各係止クランプ３３は、一対のアームを有する断面略Ｔ字型に形成されており、蓋体４の出没孔２４の近傍に回転可能、揺動可能に軸支されている。各係止クランプ３３は、一方のアームが動力伝達プレート３２の他端部に回転可能に軸支されており、他方のアームには、摩擦に伴う樹脂粉の発生を抑止する円筒形の回転ローラが回転可能に嵌入されており、この回転ローラが蓋体４の開閉時に、開口部３の係止穴１１に出没孔２４を介して嵌入する。
【００４６】
このような構成のラッチ機構２３は、蓋体４のキー挿入口２７に蓋体開閉器のキーが挿入されて９０°回転すると、各回転プレート３１が回転して動力伝達プレートを上下方向、換言すると、蓋体４の出没孔２４に向かってスライドする。すると、各係止クランプ３３が弧を描きながら揺動して蓋体４の出没孔２４から突出し、この突出した各係止クランプ３３が容器本体２の係止穴１１に嵌入する。これにより容器本体２の開口部３を閉鎖した蓋体４を、強固に施錠することができる。なお、施錠と逆の操作を行うことで、蓋体４を解錠することができる。
【００４７】
このように、本実施形態に係る基板収納容器１によれば、蓋体４の嵌合ケース２１に突起部２５が形成され、容器本体２の開口部３に接触部材１２が形成されているため、蓋体４を容器本体２に嵌め合わせると、突起部２５と接触部材１２とが接触することで容器本体２と蓋体４との芯出しが行われ、容器本体２に対して蓋体４が適切な位置に案内される。また、突起部２５及び接触部材１２が開口部３及び嵌合ケース２１に一体的に形成されているため、容器本体２及び蓋体４に芯出し手段を取り付ける作業が削減でき、生産効率を向上させることができる。更に、芯出し手段を形成するために容器本体２や蓋体４に溝や穴などを形成する必要が無いため、洗浄水などの液体を容器本体２や蓋体４から除去しやすくすることができる。このため、容器本体２や蓋体４に残留した洗浄水に起因する精密基板Ｗの汚染や腐食を防止することができる。しかも、突起部２５と接触部材１２とが異なる材質により形成されているため、突起部２５及び接触部材１２の磨耗を低減させることができる。このため、この磨耗による生じる粉塵に起因する精密基板Ｗの汚染を抑制することができる。
【００４８】
また、基板収納容器１によれば、突起部２５と接触部材１２とが異なる硬度の材質で形成されているため、突起部２５及び接触部材１２の磨耗をより低減させることができる。
【００４９】
また、基板収納容器１によれば、接触部材１２と接触する突起部２５の突出面２６が平面状に形成されているため、突起部２５と接触部材１２との接触圧力を分散させることができる。このため、突起部２５及び接触部材１２の磨耗をより低減させることができるとともに、容器本体２に対する蓋体４の案内を円滑にすることができる。
【００５０】
また、基板収納容器１によれば、接触部材１２の内側表面１３ａ、一方側面１３ｂ及び傾斜面１３ｃが、開口部３の内側表面３ａ、表側表面３ｂ及び傾斜面３ｃと面一に形成されているため、洗浄水などの液体を容器本体２や蓋体４からより除去しやすくすることができる。また、蓋体４を容器本体２に嵌め合わせる際に、突起部２５が接触部材１２に引っ掛かるのを防止することができる。
【００５１】
また、基板収納容器１によれば、接触部材１２を開口部３と異なる材質により形成することで、突起部２５を嵌合ケース２１と同じ材質により形成することができる。これにより、嵌合ケース２１の一部を突出させるだけで突起部２５を形成することができるため、突起部２５を容易に形成することができる。更に、接触部材１２は、開口部３を成形する際に開口部３と一体化されるため、接触部材１２を開口部３に取り付ける作業を削減することができる。
【００５２】
また、基板収納容器１によれば、インサート成形により接触部材１２を開口部３に一体化させるため、材質の異なる接触部材１２と開口部３とを容易に一体化させることができる。
【００５３】
また、基板収納容器１によれば、突起部２５及び接触部材１２が、開口部３及び嵌合ケース２１に複数形成されるため、容器本体２と蓋体４との間のガタツキを抑制することができ、容器本体２に対して蓋体４を円滑に案内することができる。
【００５４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。たとえば、上記実施形態では、接触部材１２が、開口部３と面一に形成されるものとして説明したが、例えば、図７に示すように、接触部材１２の一部が開口部３から突出されるものとしてもよい。この場合、接触部材１２の傾斜面１６が開口部３の前方に向けられることで、開口部３と突出面２６との段差がスローブ状となるため、突起部２５が接触部材１２に引っ掛かるのを抑制することができる。
【００５５】
また、上記実施形態では、突起部２５の形状が、突出面２６が平面状であって縦断面が台形であるものとして説明したが、例えば、細長い形状であってもよく、縦断面が三角形であってもよい。また、上記実施形態では、突起部２５及び接触部１２ｂを、嵌合ケース２１及び開口部３の各面にそれぞれ２つずつ形成するものとして説明したが、面ごとに形成する数を変えてもよい。なお、突起部と接触部との接触面圧を低くするために、突起部を複数に分けることが好ましく、また、接触部との接触を円滑にするために、接触部と接触する突起部の接触面を平面状又は曲面状に形成することが好ましい。
【００５６】
また、上記実施形態では、接触部材１２を開口部３と異なる材質で形成するものとして説明したが、突起部を嵌合ケース２１と異なる材質で形成するものとしてもよい。この場合、突起部２５は、嵌合ケース２１と異なる素材となるため、インサート成形により、突起部２５を嵌合ケース２１に一体化させることができる。この基板収納容器によれば、突起部が嵌合ケース２１と異なる材質により形成することで、接触部材を開口部３と同じ材質により形成することができる。これにより、開口部３は、それ自体が接触部となり得るため、接触部材を形成する作業を削減することができる。そして、インサート成形により突起部を嵌合ケースに一体化させるため、材質の異なる突起部と嵌合ケースとを容易に一体化させることができる。
【００５７】
また、上記実施形態では、容器本体２の開口部３に接触部材１２を設け、蓋体４の嵌合ケース２１に突起部２５を設けるものとして説明したが、図８に示す基板収納容器１００のように、突起部１０１を容器本体２の開口部３に設け、接触部材１０２を蓋体４の嵌合ケース２１に設けてもよい。この場合、開口部３の一部を突出させて突起部１０１を形成し、嵌合ケース２１の各コーナー部に接触部材１０２をインサート成形で一体化することで、基板収納容器１００が構成される。
【００５８】
また、上記実施形態では、固定ピンを用いて、接触部材を金型内で保持するものとして説明したが、これに限らず、充填される樹脂の樹脂圧によって突出量が変化する可動ピンを用いて、接触部材を金型内に保持するものとしてもよい。
【００５９】
なお、突起部２５及び接触部材１２の材質は特に限定されるものではないが、突起部２５と接触部材１２とは、硬度差のある樹脂を選択するのが好ましい。また、突起部２５と接触部材１２とは、摩擦発熱による変形もしくは溶融限界の指標となる限界ＰＶ値がなるべく大きな値の樹脂を選択することが好ましい。すなわち、限界ＰＶ値の小さい樹脂からなる部材が、摩擦により一方的に削られて、芯出し手段のガタツキが大きくならないように選択することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】実施形態に係る基板収納容器の斜視図である。
【図２】開口部の一部拡大図である。
【図３】接触部材の斜視図である。
【図４】他の接触部材の斜視図である。
【図５】蓋体の一部拡大図である。
【図６】ラッチ機構を示した斜視図である。
【図７】開口部の一部拡大図である。
【図８】他の基板収納容器の斜視図である。
【符号の説明】
【００６１】
１…基板収納容器、２…容器本体、３…開口部、３ａ…内側表面、３ｂ…表側表面、３ｃ…傾斜面、４…蓋体、５…ラッチ機構、６…ボトムプレート、７…ロボティックフランジ、８…リブ、９…貫通穴、１０…支持部材、１１…係止穴、１２…接触部材、１２ａ…屈曲部、１２ｂ…接触部、１３ａ…内側表面、１３ｂ…一方側面、１３ｃ…傾斜面、１４…保持用凹部、１５…凹部、１７…保持用凸部、１８…凸部、１９…接触部材、２０…シールガスケット、２１…嵌合ケース（嵌合部）、２２…被覆プレート、２３…ラッチ機構、２４…出没孔、２５…突起部、２６…突出面（接触面）、２７…キー挿入口、２８…固定穴、３１…回転プレート、３２…動力伝達プレート、３３…係止クランプ、３４…キー穴、３５…吸収機構、３６…嵌合溝、３７…ガイド支持片、３８…ガイド穴、３９…ガイドピン、４０…回転ローラ、４１…嵌合ピン、４２…回転ローラ、１００…基板収納容器、１０１…突起部、１０２…接触部材、Ｗ…精密基板。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有して基板を収納する容器本体と、前記開口部に嵌め合わされる嵌合部を有して前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との芯出しを行う芯出し手段とを有する基板収納容器であって、
前記芯出し手段は、前記開口部及び前記嵌合部の何れか一方に一体的に形成される突起部と、前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方に一体的に形成されて前記突起部が接触する接触部と、を有しており、
前記突起部と前記接触部とは、異なる材質により形成されていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記突起部と前記接触部とは、異なる硬度の材質で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記突起部は、前記接触部に接触する接触面が平面状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記接触部は、前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方と面一に形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記突起部は、前記開口部及び前記嵌合部の何れか一方と異なる材質により形成されており、前記開口部及び前記嵌合部の何れか一方を形成する際に一体化されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記突起部は、インサート成形により前記開口部及び前記嵌合部の何れか一方に一体化されていることを特徴とする請求項５に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記接触部は、前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方と異なる材質により形成されており、前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方を成形する際に一体化されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記接触部は、インサート成形により前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方に一体化されていることを特徴とする請求項７に記載の基板収納容器。
【請求項９】
前記突起部及び前記接触部は、前記開口部及び前記嵌合部に複数形成されていることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の基板収納容器。
【請求項１】
開口部を有して基板を収納する容器本体と、前記開口部に嵌め合わされる嵌合部を有して前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との芯出しを行う芯出し手段とを有する基板収納容器であって、
前記芯出し手段は、前記開口部及び前記嵌合部の何れか一方に一体的に形成される突起部と、前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方に一体的に形成されて前記突起部が接触する接触部と、を有しており、
前記突起部と前記接触部とは、異なる材質により形成されていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記突起部と前記接触部とは、異なる硬度の材質で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記突起部は、前記接触部に接触する接触面が平面状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記接触部は、前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方と面一に形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記突起部は、前記開口部及び前記嵌合部の何れか一方と異なる材質により形成されており、前記開口部及び前記嵌合部の何れか一方を形成する際に一体化されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記突起部は、インサート成形により前記開口部及び前記嵌合部の何れか一方に一体化されていることを特徴とする請求項５に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記接触部は、前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方と異なる材質により形成されており、前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方を成形する際に一体化されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記接触部は、インサート成形により前記開口部及び前記嵌合部の何れか他方に一体化されていることを特徴とする請求項７に記載の基板収納容器。
【請求項９】
前記突起部及び前記接触部は、前記開口部及び前記嵌合部に複数形成されていることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の基板収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１０−２７８６１（Ｐ２０１０−２７８６１Ａ）
【公開日】平成２２年２月４日（２０１０．２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１８７６１９（Ｐ２００８−１８７６１９）
【出願日】平成２０年７月１８日（２００８．７．１８）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年２月４日（２０１０．２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年７月１８日（２００８．７．１８）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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