成膜方法、色要素膜付き基板、電気光学装置、および電子機器
【課題】高品質な色要素膜付き基板を高い生産効率で製造することができる成膜方法、色要素膜付き基板、電気光学装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】基体１０Ａ上に設けられたバンク１６により画成された区画１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）に、色要素膜であるフィルタ層の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料１１１を付与する液状材料付与工程と、区画１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）に付与された液状材料１１１から溶媒を除去しつつ液状材料を硬化または固化して、フィルタ層を形成する色要素膜形成工程とを有し、液状材料付与工程で区画１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）に付与された液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、バンク１６によって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たす。
【解決手段】基体１０Ａ上に設けられたバンク１６により画成された区画１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）に、色要素膜であるフィルタ層の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料１１１を付与する液状材料付与工程と、区画１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）に付与された液状材料１１１から溶媒を除去しつつ液状材料を硬化または固化して、フィルタ層を形成する色要素膜形成工程とを有し、液状材料付与工程で区画１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）に付与された液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、バンク１６によって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たす。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜方法、色要素膜付き基板、電気光学装置、および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット装置を用いて、色要素膜になるべき多数の区画が形成された基体上の各区画にインク等の液状材料を付与し、これを硬化または固化して色要素膜を形成する成膜方法が知られている。例えば、インクジェット装置を用いてカラーフィルタ基板のフィルタエレメントや、マトリクス型表示装置においてマトリクス状に配置された発光部を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
このような方法においては、基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、色要素膜の構成材料を含む液状材料を付与し、前記区画に付与された液状材料を硬化または固化することにより、色要素膜を形成する。
【０００３】
特許文献１では、区画に液状材料を付与するに際し、固形分濃度１５ｖｏｌ％程度の液状材料を用い、バンクに囲まれた領域の容積に対し３〜１０倍の体積の液状材料を区画に付与する。そして、区画に付与された液状材料を硬化または固化させると、バンクの高さとほぼ同等の厚さの色要素膜を基体上に形成することができる。
しかしながら、特許文献１にかかる方法において、バンクの高さとほぼ同等の厚さの色要素膜を基体上に形成するには、区画に液状材料を付与するに際し、バンクに囲まれた領域の容積の３〜１０倍の体積の液状材料を区画に付与する必要があるため、区画から液状材料が溢れ出す場合があった。その結果、色要素膜付きの基板を製造する際に歩留まりが低下するという問題があった。
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６０２２６４７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、高品質な色要素膜付き基板を高い生産効率で製造することができる成膜方法、色要素膜付き基板、電気光学装置、および電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の成膜方法は、基体上に色要素膜を形成する成膜方法であって、
前記基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、前記色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料を付与する液状材料付与工程と、
前記区画に付与された液状材料から前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、前記色要素膜を形成する色要素膜形成工程とを有し、
前記液状材料付与工程で前記区画に付与された前記液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、前記バンクによって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、
ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たすことを特徴とする。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのを防止しつつ、所望の膜厚の色要素膜を形成することができる。その結果、高品質な色要素膜付き基板を高い生産効率で製造することができる。
【０００７】
本発明の成膜方法は、基体上に色要素膜を形成する成膜方法であって、
前記基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、前記色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料を付与する液状材料付与工程と、
前記区画に付与された液状材料から前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、前記色要素膜を形成する色要素膜形成工程とを有し、
前記バンクの高さをｈＢ［μｍ］とし、前記色要素膜の平均膜厚をｈＣ［μｍ］とし、前記液状材料中における前記色要素膜の構成材料の濃度をＤ［ｖｏｌ％］としたときに、
Ｄ≧（ｈＣ／ｈＢ）×（１００／３）なる関係を満たすことを特徴とする。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのを防止しつつ、所望の膜厚の色要素膜を形成することができる。その結果、高品質な色要素膜付き基板を高い生産効率で製造することができる。
【０００８】
本発明の成膜方法では、前記バンクの高さｈＢは、０．１〜５μｍであることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのをより確実に防止することができるので、所望の膜厚の色要素膜をより簡単に得ることができる。
【０００９】
本発明の成膜方法では、前記色要素膜の平均膜厚ｈＣは、０．１〜５μｍであることが好ましい。
これにより、用いる液状材料の材料の選択の幅を大きなものとしつつ、所望の特性を有する色要素膜を形成することができる。
本発明の成膜方法では、前記液状材料中における前記色要素膜の構成材料の濃度Ｄは、２５〜５０ｖｏｌ％であることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において区画に付与される液状材料の体積を抑えつつ、所望の膜厚の色要素膜をより簡単に得ることができる。
【００１０】
本発明の成膜方法では、前記液状材料付与工程で前記区画に付与された前記液状材料の体積ＶＬは、０．１〜１５００ｐｌであることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
本発明の成膜方法では、前記バンクによって囲まれた領域の容積ＶＢは、０．１〜５００ｐｌであることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
【００１１】
本発明の成膜方法では、前記液状材料の粘度は、２０ｍＰａ・Ｓ以下であることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料を区画により円滑に付与することができる。
本発明の成膜方法では、前記溶媒は、多価アルコールのエーテルであることが好ましい。
これにより、液状材料の粘度を抑えつつ、液状材料中における色要素膜の構成材料の濃度（固形分濃度）を高めることができる。
【００１２】
本発明の成膜方法では、前記液状材料は、エマルションであることが好ましい。
これにより、より均一な特性を有する色要素膜を形成することができる。
本発明の成膜方法では、前記液状材料付与工程において、前記液状材料をノズルから液滴として吐出して前記区画に付与することが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料を区画に所望量だけより正確に付与することができる。
【００１３】
本発明の色要素膜付き基板は、本発明の成膜方法によって製造されたことを特徴とする。
これにより、高品質な色要素膜付き基板を提供することができる。
本発明の電気光学装置は、本発明の色要素膜付き基板を備えることを特徴とする。
これにより、高品質な電気光学装置を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高品質な電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の成膜方法、色要素膜付き基板、画像表示装置、および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
本発明の成膜方法は、色要素膜付き基板を製造する方法であり、本実施形態では、色要素膜付き基板の一例として、液晶表示装置の構成要素であるカラーフィルタ基板１０を製造する場合を代表して説明する。
【００１５】
（液滴吐出装置の全体構成）
まず、本発明の成膜方法に用いる液滴吐出装置を図１ないし図６に基づき説明する。
図１に示すように、液滴吐出装置１は、複数の液滴吐出ヘッド２をキャリッジ１０５に搭載してなるヘッドユニット１０３と、ヘッドユニット１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、後述する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている。
【００１６】
また、液滴吐出装置１の近傍には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の液状材料１１１をそれぞれ貯留する３個のタンク１０１が設置されている。各タンク１０１と、ヘッドユニット１０３とは、液状材料１１１を送液する流路となるチューブ１１０を介して接続されている。各タンク１０１に貯留された液状材料１１１は、例えば圧縮空気の力によって、ヘッドユニット１０３の各液滴吐出ヘッド２に送液（供給）される。
【００１７】
本発明において「液状材料」は、色要素膜付き基板の色要素膜を形成するための材料を含み、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出可能な粘度を有するものである。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。また、ノズル２５から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。すなわち、液状材料は、色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなるものであって、溶液であっても分散液（サスペンションやエマルション）であってもよい。
本実施形態における液状材料１１１は、カラーフィルタ基板１０の区画のフィルタ層を形成するための顔料が有機溶剤中に溶解または分散してなる有機溶剤インクである。なお、液状材料については後に詳述する。
なお、以下の説明では、赤、緑、青の液状材料１１１を区別して言うときには、１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの符号を付し、色を区別しないで総称して言うときには、単に「液状材料１１１」と言う。
【００１８】
キャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御される。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、ヘッドユニット１０３をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでヘッドユニット１０３を回転させる機能も有しており、これにより、ヘッドユニット１０３のＺ軸回りの角度を微調整することができる。
【００１９】
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、カラーフィルタ基板１０を製造するための基体１０Ａをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置された基体１０ＡのＺ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。
【００２０】
上述のように、ヘッドユニット１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８によって、ステージ１０６に対するヘッドユニット１０３の相対位置が変わる。
なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。
【００２１】
（ヘッドユニット）
図２は、図１に示す液滴吐出装置１におけるヘッドユニット１０３、および基体１０Ａを示す平面図である。
図２に示すヘッドユニット１０３は、複数の液滴吐出ヘッド２がキャリッジ１０５に搭載された構成となっている。図２中では、キャリッジ１０５を仮想線（二点鎖線）で表している。また、液滴吐出ヘッド２を示す実線は、液滴吐出ヘッド２のノズル面（ノズルプレート１２８）の位置を示している。
【００２２】
ヘッドユニット１０３には、赤色の液状材料１１１Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ、第２ヘッド２２Ｒ、第３ヘッド２３Ｒ、第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２と、緑色の液状材料１１１Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ、第２ヘッド２２Ｇ、第３ヘッド２３Ｇ、第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２と、青色の液状材料１１１Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ、第２ヘッド２２Ｂ、第３ヘッド２３Ｂ、第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２との、計１２個の液滴吐出ヘッド２が設置されている。
以下の説明では、これらの液滴吐出ヘッド２を総称する場合には、「液滴吐出ヘッド２」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「第１ヘッド２１Ｒ、第２ヘッド２２Ｒ、・・・」のように言う。
【００２３】
図２に示す基体１０Ａは、ストライプ配列のカラーフィルタ基板１０を製造するためのものである。この基体１０Ａには、赤の区画（吐出領域）１８Ｒと、緑の区画（吐出領域）１８Ｇと、青の区画（吐出領域）１８Ｂとがそれぞれ多数設けられている。液滴吐出装置１は、区画１８Ｒには赤色の液状材料１１１Ｒを付与し、区画１８Ｇには緑色の液状材料１１１Ｇを付与し、区画１８Ｂには青色の液状材料１１１Ｂを付与するように作動する。
【００２４】
各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、ほぼ長方形をなしている。基体１０Ａは、区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの長軸方向がＸ軸方向に平行になり、短軸方向がＹ軸方向に平行になるような姿勢でステージ１０６上に保持される。基体１０Ａ上には、Ｙ軸方向に沿っては区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８の順に３色の区画が繰り返し配列され、Ｘ軸方向に沿っては同色の区画が配列されている。Ｙ軸方向に並ぶ一組の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、製造されたカラーフィルタ基板１０の一区画分に相当する。
【００２５】
（液滴吐出ヘッド）
図３は、液滴吐出ヘッド２のノズル面（ノズルプレート１２８）の一部と、基体１０Ａの区画とを拡大して示す平面図である。なお、液滴吐出ヘッド２のノズル面は、基体１０Ａに対向する方向、すなわち鉛直下方に向いて設けられているが、図３中では、見易くするために、液滴吐出ヘッド２のノズル面を実線で示す。
液滴吐出ヘッド２のノズル面には、多数のノズル（ノズル孔）２５がＸ軸方向に沿って等間隔に直線的に並んで形成されており、ノズル列を形成している。本実施形態では、一つの液滴吐出ヘッド２には、２列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されているが、一つの液滴吐出ヘッド２が有するノズル列の数は、１列でも、３列以上でもよい。また、一つの液滴吐出ヘッド２に形成されるノズル２５の数は、特に限定されないが、通常、数十〜数百個程度とされる。
【００２６】
図４（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２は、インクジェットヘッドである。より具体的には、液滴吐出ヘッド２は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００２７】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル２５に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル２５の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。
【００２８】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル２５からＺ軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル２５の形状が調整されている。
【００２９】
制御手段１１２（図１）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル２５から吐出される材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル２５毎に制御されてもよい。
なお、液滴吐出ヘッド２は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料１１１の熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。
【００３０】
（制御手段）
次に、制御手段１１２の構成を説明する。図５に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３とを備えている。
【００３１】
バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、複数の液滴吐出ヘッド２のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
【００３２】
入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から、液状材料１１１の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータを受け取る。入力バッファメモリ２００は、この描画パターンデータを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画パターンデータを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。
【００３３】
キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０５、すなわちヘッドユニット１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６、すなわち基体１０ＡのＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
【００３４】
処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２およびステージ位置検出手段３０３の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、ヘッドユニット１０３の位置と、基体１０Ａの位置とを制御する。
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわち基体１０Ａの移動速度を制御する。
【００３５】
また、処理部２０４は、前記描画パターンデータに基づいて、吐出タイミング毎のノズル２５のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、液状材料１１１の吐出に必要な吐出信号ＥＳを液滴吐出ヘッド２に与える。この結果、液滴吐出ヘッド２における対応するノズル２５から、液状材料１１１が液滴として吐出される。
制御手段１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
【００３６】
次に制御手段１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。
図６（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有する。図６（ｂ）に示すように、駆動信号生成部２０３は、駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル２５から１つの液滴を吐出するために、対応する振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、ノズル２５のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数とノズル２５の数とは同じである。
【００３７】
処理部２０４は、ノズル２５のオン・オフを表す選択信号ＳＣを、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳを供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。
【００３８】
図６（ｂ）に示す例では、２つの吐出信号ＥＳのそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル２５のそれぞれから、周期２ＥＰで液状材料１１１が吐出される。また、これら２つのノズル２５に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル２５からほぼ同じタイミングで液状材料１１１が吐出される。
【００３９】
このような液滴吐出装置１では、ステージ移動機構１０８の作動により、ステージ１０６上に保持された基体１０ＡをＹ軸方向に移動させ、ヘッドユニット１０３の下を通過させつつ、ヘッドユニット１０３の各液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出して、基体１０Ａ上の各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与する（着弾させる）ように作動する。以下、この動作を「ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査」と言うことがある。
【００４０】
ヘッドユニット１０３全体として基体１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向の長さ（後述する全吐出幅Ｗ）よりも、基体１０ＡのＸ軸方向の幅が小さいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査を１回行うことにより、基体１０Ａの全体に対して液状材料１１１を付与することができる。
これに対し、ヘッドユニット１０３の全吐出幅Ｗよりも、基体１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査と、キャリッジ移動機構１０４の作動によるヘッドユニット１０３のＸ軸方向の移動（これを「副走査」と呼ぶ）とを交互に繰り返し行うことにより、基体１０Ａの全体に対して液状材料１１１を付与することができる。
【００４１】
（本発明の成膜方法）
次に、本発明の成膜方法の一例として、上述したような液滴吐出装置１を用いてカラーフィルタ基板１０を製造する方法ついて、詳細に説明する。
図７は、カラーフィルタ基板１０の製造方法を示す断面図である。図７に示すように、基体１０Ａは、光透過性を有する支持基板１２と、支持基板１２上に形成されたブラックマトリクス１４と、ブラックマトリクス１４上に形成されたバンク１６とを含む。ブラックマトリクス１４は、遮光性を有する材料で形成されている。ここで、ブラックマトリクス１４は、バンク１６の機能の一部を果たすものである。なお、ブラックマトリクス１４は、バンク１６と一体的に形成して、バンクの一部としてもよい。
【００４２】
そして、ブラックマトリクス１４とブラックマトリクス１４上のバンク１６とは、支持基板１２上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが規定されるように位置している。すなわち、支持基板１２、ブラックマトリクス１４およびバンク１６によって、区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが区画形成されている。区画１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを透過する色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＲが形成されるべき領域であり、区画１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを透過する色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＧが形成されるべき領域であり、区画１８Ｂは、青の波長域の光線のみを透過する色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【００４３】
カラーフィルタ基板１０を製造する際には、まず、以下の手順にしたがって基体１０Ａを作成する。まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板１２上に金属薄膜を形成する。その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス１４を形成する。ブラックマトリクス１４の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。なお、支持基板１２は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。続いて、支持基板１２およびブラックマトリクス１４を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク１６が得られる。以上の工程によって、基体１０Ａが得られる。
なお、バンク１６に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。その場合は、金属薄膜（ブラックマトリクス１４）は不要となり、バンク層は、１層のみとなる。
【００４４】
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ａを親液化する。この処理によって、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６とで規定されたそれぞれの凹部（区画の一部）における支持基板１２の表面と、ブラックマトリクス１４の表面と、バンク１６の表面とが親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体１０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク１６の表面がフッ化処理（撥液性に処理）され、このことで、バンク１６の表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板１２の表面およびブラックマトリクス１４の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。
なお、支持基板１２の材質、ブラックマトリクス１４の材質、およびバンク１６の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもあり、そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。
【００４５】
前述したような基体１０Ａを用いて、カラーフィルタ基板１０を製造する。
具体的には、基体１０Ａ上に設けられたバンク１６およびブラックマトリクス１４により画成された区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに、色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＢ、１１１ＦＢ、１１１ＦＢの構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを付与し（以下、液状材料付与工程という）、区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与された液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂから前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＢ、１１１ＦＢ、１１１ＦＢを形成する（以下、色要素膜形成工程という）。以下、液状材料付与工程、色要素膜形成工程を順次詳細に説明する。
【００４６】
−液状材料付与工程−
上記のようにして区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成された基体１０Ａは、液滴吐出装置１のステージ１０６上に運ばれ、ステージ１０６に保持される。液滴吐出装置１は、ステージ移動機構１０８を作動させて基体１０ＡをＹ軸方向に移動させてヘッドユニット１０３の下を通過させながら、各液滴吐出ヘッド２から液状材料１１１の液滴を吐出して、各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与する。
【００４７】
より具体的には、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、区画１８Ｒに対しては、赤色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｒを吐出し、区画１８Ｇに対しては、緑色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｇを吐出し、区画１８Ｂに対しては、青色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｂを吐出する。これにより、図８（ｄ）に示すように、区画１８Ｒに液状材料１１１Ｒ、区画１８Ｇに液状材料１１１Ｇ、区画１８Ｂに液状材料１１１Ｂがそれぞれ付与される。このとき、液状材料１１１をノズル２５から液滴として吐出して区画１８に付与するので、液状材料付与工程において、液状材料１１１を区画１８に所望量だけより正確に付与することができる。
【００４８】
液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂは、前述したように、カラーフィルタ基板１０の区画のフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢの構成材料である顔料が有機溶剤中に溶解または分散してなる有機溶剤インクである。
液状材料１１１中の溶媒としては、カラーフィルタ基板１０のフィルタ層を形成することができるものであれば、特に限定されないが、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＢＣＴＡＣ）、ジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ペンタエチレングリコールジメチルエーテル、ヘキサエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジ-ｎ-ブチルエーテル等の多価アルコールのエーテルを用いるのが好ましい。これにより、液状材料１１１の粘度を抑えつつ、液状材料１１１中におけるフィルタ層１１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）を高めることができる。
【００４９】
液状材料１１１中の顔料としては、カラーフィルタ基板１０のフィルタ層を形成することができるものであれば、特に限定されず、各種顔料を用いることができる。
また、液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂには、色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢの構成材料として、樹脂が含まれていてもよい。
液状材料１１１中に樹脂が含まれる場合、樹脂としては、カラーフィルタ基板１０のフィルタ層を形成することができるものであれば、特に限定されないが、例えば、アクリル樹脂等が挙げられる。
【００５０】
特に、この液状材料付与工程では、区画１８に付与される液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、バンク１６およびブラックマトリクス１４によって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たしている。
また、バンクの高さ、すなわち、バンク１６の高さとブラックマトリクス１４の高さとの合計をｈＢ［μｍ］とし、色要素膜であるフィルタ層１１１Ｆの平均膜厚をｈＣ（この工程においては目標平均膜厚ｈＣ’）［μｍ］とし、液状材料１１１中におけるフィルタ層１１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）をＤ［ｖｏｌ％］としたときに、Ｄ≧（ｈＣ／ｈＢ）×（１００／３）なる関係を満たしている。
【００５１】
これらのことにより、液状材料付与工程において、液状材料１１１がバンク１６を超えて区画１８から溢れ出すのを防止しつつ、所望の膜厚のフィルタ層１１１Ｆを形成することができる。その結果、高品質なカラーフィルタ基板１０を高い生産効率で製造することができる。
また、バンクの高さ、すなわち、バンク１６の高さとブラックマトリクスの高さとの合計ｈＢは、０．１〜５μｍであるのが好ましく、０．１〜３μｍであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料１１１がバンク１６を超えて区画１８から溢れ出すのをより確実に防止することができるので、所望の膜厚のフィルタ層１１１Ｆをより簡単に得ることができる。
【００５２】
また、フィルタ層１１１Ｆの平均膜厚ｈＣは、０．１〜５μｍであるのが好ましく、０．１〜３μｍであるのがより好ましい。これにより、用いる液状材料１１１の材料の選択の幅を大きなものとしつつ、所望の特性を有するフィルタ層１１１Ｆを形成することができる。
また、液状材料１１１中におけるフィルタ層１１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）Ｄは、２５〜５０ｖｏｌ％であるのが好ましく、２５〜４０ｖｏｌ％であるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において区画１８に付与される液状材料１１１の体積を抑えつつ、所望の膜厚のフィルタ層１１１Ｆをより簡単に得ることができる。
【００５３】
また、液状材料付与工程で区画１８に付与された液状材料１１１の体積ＶＬは、０．１〜１５００ｐｌであるのが好ましく、１〜９００ｐｌであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、状材料１１１がバンク１６を超えて区画１８から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
また、バンク１６およびブラックマトリクス１４によって囲まれた領域の容積ＶＢは、０．１〜５００ｐｌであるのが好ましく、１〜３００ｐｌであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料１１１がバンク１６を超えて区画１８から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
【００５４】
また、液状材料１１１の粘度は、２０ｍＰａ・Ｓ以下であるのが好ましく、５〜２０ｍＰａ・Ｓであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料１１１を区画１８により円滑に付与することができる。ここで、液状材料１１１の粘度は、２３℃の環境下で計測されたものである。
また、液状材料１１１は、エマルションであるのが好ましい。これにより、より均一な特性を有するフィルタ層１１１Ｆを形成することができる。
【００５５】
−色要素膜形成工程−
次に、各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂが付与されたら、基体１０Ａを図示しない乾燥装置へ搬送し、各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ内の液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを乾燥させる。これにより、図８（ｅ）に示すように、各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ上にフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢが得られる。なお、液滴吐出装置１での液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの付与と、乾燥装置での乾燥とを繰り返し行って積層することによって最終的なフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを形成してもよい。
【００５６】
その後、基体１０Ａを図示しないオーブン内に搬送し、このオーブンにて、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。
次いで、基体１０Ａを図示しない保護膜形成装置へ搬送し、この保護膜形成装置にて、図８（ｆ）に示すように、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜（オーバーコート）２０を形成する。
フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜２０が形成された後に、乾燥装置にて保護膜２０を完全に乾燥させる。さらに、図示しない硬化装置にて保護膜２０を加熱して完全に硬化することで、基体１０Ａはカラーフィルタ基板１０となる。
【００５７】
以上説明したような本発明は、カラーフィルタ基板１０の製造に限らず、例えばエレクトロルミネッセンス表示装置等の他方式の画像表示装置の製造にも適用することができる。
図９および図１０は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の製造方法を示す断面図である。以下、本発明により有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を製造する場合について説明するが、前述したカラーフィルタ基板１０を製造する場合との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【００５８】
図９および図１０に示す基体３０Ａは、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を製造するための基板である。この基体３０Ａは、マトリクス状に配置された複数の区画（吐出領域）３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成されている。
具体的には、基体３０Ａは、支持基板３２と、支持基板３２上に形成された回路素子層３４と、回路素子層３４上に形成された複数の区画電極３６と、複数の区画電極３６の間に形成されたバンク４０とを有している。支持基板３２は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の区画電極３６のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）電極である。また、複数の区画電極３６は、回路素子層３４上にマトリクス状に配置されており、それぞれが区画を規定する。そして、バンク４０は、格子状の形状を有しており、複数の区画電極３６のそれぞれを囲む。また、バンク４０は、回路素子層３４上に形成された無機物バンク４０Ａと、無機物バンク４０Ａ上に位置する有機物バンク４０Ｂとからなる。ここで、主として有機物バンク４０Ｂが区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂを区画形成するバンクとしての機能を果たす。
【００５９】
回路素子層３４は、支持基板３２上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜４２と、絶縁膜４２上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子４４と、複数のスイッチング素子４４を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜４５とを有する層である。それぞれのスイッチング素子４４のゲート電極４４Ｇおよびソース電極４４Ｓは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。層間絶縁膜４５上には複数の区画電極３６が位置する。層間絶縁膜４５には、各スイッチング素子４４のドレイン電極４４Ｄに対応する部位にスルーホール４４Ｖが設けられており、このスルーホール４４Ｖを介して、スイッチング素子４４と、対応する区画電極３６との間の電気的接続が形成されている。また、バンク４０に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子４４が位置している。つまり、図１０中の上側から観察すると、複数のスイッチング素子４４のそれぞれは、バンク４０に覆われるように位置している。
【００６０】
基体３０Ａの区画電極３６とバンク４０とで規定される凹部は、区画３８Ｒ、区画３８Ｇ、区画３８Ｂに対応する。区画３８Ｒは、赤の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＲが形成されるべき領域であり、区画３８Ｇは、緑の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＧが形成されるべき領域であり、区画３８Ｂは、青の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【００６１】
このような基体３０Ａは、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて製造することができる。
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、この基体３０Ａを親液化する。この処理によって、区画電極３６とバンク４０とで規定された区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂにおける区画電極３６の表面、無機物バンク４０Ａの表面、および有機物バンク４０Ｂの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体３０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク４０Ｂの表面がフッ化処理（撥液性に処理）されて、このことで有機物バンク４０Ｂの表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた区画電極３６の表面および無機物バンク４０Ａの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。
【００６２】
なお、区画電極３６の材質、無機バンク４０Ａの材質、および有機バンク４０Ｂの材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。
また、表面処理が施された複数の区画電極３６のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成してもよい。正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂが、区画電極３６と、後述の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢとの間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。
【００６３】
−液状材料付与工程−
上記のようにして区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成された基体３０Ａに対し、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、前述したカラーフィルタ基板１０の場合と同様に、本発明の液滴吐出装置１を用いて、図１０（ｄ）に示すように、各区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに対し、それぞれ、液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂを付与する。
【００６４】
液状材料２１１Ｒは、赤色の有機発光材料を含むものであり、液状材料２１１Ｇは、緑色の有機発光材料を含むものであり、液状材料２１１Ｂは、青色の有機発光材料を含むものである。
液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂは、前述したように、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の区画の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢの構成材料である発光材料が有機溶剤中に溶解または分散してなるものである。
【００６５】
液状材料２１１中の溶媒としては、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを形成することができるものであれば、特に限定されないが、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＢＣＴＡＣ）、ジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ペンタエチレングリコールジメチルエーテル、ヘキサエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジ-ｎ-ブチルエーテル等の多価アルコールのエーテルを用いるのが好ましい。これにより、液状材料２１１の粘度を抑えつつ、液状材料２１１中における発光層２１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）を高めることができる。
【００６６】
液状材料２１１中の発光材料としては、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを形成することができるものであれば、特に限定されず、各種発光材料を用いることができる。
また、液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂには、色要素膜である発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢの構成材料として、樹脂が含まれていてもよい。
【００６７】
液状材料２１１中に樹脂が含まれる場合、樹脂としては、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを形成することができるものであれば、特に限定されないが、例えば、アクリル樹脂等が挙げられる。
特に、この液状材料付与工程では、区画３８に付与される液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、バンク４０の有機バンク４０Ｂによって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たしている。
また、バンクの高さ、すなわち、バンク４０の有機バンク４０Ｂの高さをｈＢ［μｍ］とし、色要素膜である発光層２１１Ｆの平均膜厚をｈＣ［μｍ］とし、液状材料２１１中における発光層２１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）をＤ［ｖｏｌ％］としたときに、Ｄ≧（ｈＣ／ｈＢ）×（１００／３）なる関係を満たしている。
【００６８】
これらのことにより、液状材料付与工程において、区画３８に付与された液状材料２１１の表面張力が効果的に作用するので、液状材料２１１がバンク４０を超えて区画３８から溢れ出すのを防止しつつ、所望の膜厚の発光層２１１Ｆを形成することができる。その結果、高品質な有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を高い生産効率で製造することができる。
【００６９】
また、バンクの高さ、すなわち、バンク４０の有機バンク４０Ｂの高さｈＢは、０．１〜５μｍであるのが好ましく、０．１〜３μｍであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料２１１がバンク４０を超えて区画３８から溢れ出すのをより確実に防止することができるので、所望の膜厚の発光層２１１Ｆをより簡単に得ることができる。
【００７０】
また、発光層２１１Ｆの平均膜厚ｈＣは、０．１〜５μｍであるのが好ましく、０．１〜３μｍであるのがより好ましい。これにより、用いる液状材料２１１の材料の選択の幅を大きなものとしつつ、所望の特性を有する発光層２１１Ｆを形成することができる。
また、液状材料２１１中における発光層２１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）Ｄは、２５〜５０ｖｏｌ％であるのが好ましく、２５〜４０ｖｏｌ％であるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において区画３８に付与される液状材料２１１の体積を抑えつつ、所望の膜厚の発光層２１１Ｆをより簡単に得ることができる。
【００７１】
また、液状材料付与工程で区画３８に付与された液状材料２１１の体積ＶＬは、０．１〜１５００ｐｌであるのが好ましく、１〜９００ｐｌであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、区画３８に付与された液状材料２１１の表面張力をより効果的に作用させて、液状材料２１１がバンク４０を超えて区画３８から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
【００７２】
また、バンク４０の有機バンク４０Ｂによって囲まれた領域の容積ＶＢは、０．１〜５００ｐｌであるのが好ましく、１〜３００ｐｌであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料２１１がバンク４０を超えて区画３８から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
また、液状材料２１１の粘度は、２０ｍＰａ・Ｓ以下であるのが好ましく、５〜２０ｍＰａ・Ｓ以下であるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料２１１を区画３８により円滑に付与することができる。ここで、液状材料１１１の粘度は、２３℃の環境下で計測されたものである。
また、液状材料２１１は、エマルションであるのが好ましい。これにより、より均一な特性を有する発光層２１１Ｆを形成することができる。
【００７３】
−色要素膜形成工程−
その後、基体３０Ａを乾燥装置へ移送して、各区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに付与された液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂを乾燥させることにより、図１０（ｅ）に示すように、各区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ上に発光層２１１ＦＲ、ＦＧ、ＦＢが得られる。
次に、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク４０を覆うように対向電極４６を設ける。対向電極４６は陰極として機能する。
【００７４】
その後、封止基板４８と基体３０Ａとを、互いの周辺部で接着することで、図１０（ｆ）に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０が得られる。なお、封止基板４８と基体３０Ａとの間には不活性ガス４９が封入されている。
有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０において、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢから発光した光は、区画電極３６と、回路素子層３４と、支持基板３２と、を介して射出する。このように回路素子層３４を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。
【００７５】
以上、本発明を液晶表示装置（カラーフィルタ基板）の製造や、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適用した場合について説明したが、本発明は、これらに限定されず、例えば、プラズマ表示装置の背面基板の製造や、電子放出素子を備えた画像表示装置（ＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）またはＦＥＤ（Field Emission Display）と呼ばれることもある）の製造にも適用することができる。
【００７６】
＜本発明の電子機器の実施形態＞
前述したような方法で製造されたカラーフィルタ基板１０を備えた液晶表示装置や、前述したような方法で製造されたエレクトロルミネッセンス表示装置等の画像表示装置１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図１１は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
【００７７】
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が画像表示装置１０００を備えている。
図１２は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、画像表示装置１０００を表示部に備えている。
【００７８】
図１３は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、画像表示装置１０００が表示部に設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
【００７９】
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。
【００８０】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
【００８１】
なお、本発明の電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
以上、本発明の成膜方法、色要素膜付き基板、電気光学装置、および電子機器を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図。
【図２】図１に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニット、および基体を示す平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドのノズル面（ノズルプレート）の一部と、基体の区画とを拡大して示す平面図。
【図４】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図。
【図５】図１に示す液滴吐出装置のブロック図。
【図６】（ａ）はヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート。
【図７】カラーフィルタ基板の製造方法を示す断面図。
【図８】カラーフィルタ基板の製造方法を示す断面図。
【図９】有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を示す断面図。
【図１０】有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を示す断面図。
【図１１】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図１２】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。
【図１３】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。示す平面図。
【符号の説明】
【００８３】
１……液滴吐出装置 ２……液滴吐出ヘッド ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ……第１ヘッド ２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ……第２ヘッド ２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ……第３ヘッド ２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂ……第４ヘッド ２５……ノズル ３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂ、３２Ｒ、３２Ｇ、３２Ｂ……ヘッド列 ５１、５２、５３、５４……ヘッド群 ９１、９２……液滴 １０１……タンク １０３、……ヘッドユニット １０４……キャリッジ移動機構 １０５……キャリッジ １０６……ステージ １０８……ステージ移動機構 １１０……チューブ １１１、１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ、２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ……液状材料 １１２……制御手段 １２０……キャビティ １２２……隔壁 １２４……振動子 １２４Ａ、１２４Ｂ……電極 １２４Ｃ……ピエゾ素子 １２６……振動板 １２８……ノズルプレート １２９……液たまり １３０……供給口 １３１……孔 ２００……バッファメモリ ２０２……記憶手段 ２０３……駆動信号生成部 ２０４……処理部 ２０６……走査駆動部 ２０８……ヘッド駆動部 ＡＳ……アナログスイッチ ＤＳ……駆動信号 ＳＣ……選択信号 ＥＰ……吐出周期 ＥＳ……吐出信号 １０Ａ、３０Ａ……基体 １０……カラーフィルタ基板 １２、３２……支持基板 １４……ブラックマトリクス １６、４０……バンク ２０……保護膜 １８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）、３８（３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ）……区画 １１１Ｆ（１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ）……フィルタ層 ３０……有機エレクトロルミネッセンス表示装置 ３４……回路素子層 ３６……区画電極 ４０Ａ……無機物バンク ４０Ｂ……有機物バンク ４２……絶縁膜 ４４……スイッチング素子 ４４Ｇ……ゲート電極 ４４Ｓ……ソース電極 ４４Ｄ……ドレイン電極 ４４Ｖ……スルーホール ４５……層間絶縁膜 ４６……対向電極 ４８……封止基板 ４９……不活性ガス ３０２……キャリッジ位置検出手段 ３０３……ステージ位置検出手段 １０００……画像表示装置 １１００……パーソナルコンピュータ １１０２……キーボード １１０４……本体部 １１０６……表示ユニット １２００……携帯電話機 １２０２……操作ボタン １２０４……受話口 １２０６……送話口 １３００……ディジタルスチルカメラ １３０２……ケース（ボディー） １３０４……受光ユニット １３０６……シャッタボタン １３０８……回路基板 １３１２……ビデオ信号出力端子 １３１４……データ通信用の入出力端子 １４３０……テレビモニタ １４４０……パーソナルコンピュータ ３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂ……正孔輸送層 ２１１Ｆ（２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ）……発光層
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜方法、色要素膜付き基板、電気光学装置、および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット装置を用いて、色要素膜になるべき多数の区画が形成された基体上の各区画にインク等の液状材料を付与し、これを硬化または固化して色要素膜を形成する成膜方法が知られている。例えば、インクジェット装置を用いてカラーフィルタ基板のフィルタエレメントや、マトリクス型表示装置においてマトリクス状に配置された発光部を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
このような方法においては、基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、色要素膜の構成材料を含む液状材料を付与し、前記区画に付与された液状材料を硬化または固化することにより、色要素膜を形成する。
【０００３】
特許文献１では、区画に液状材料を付与するに際し、固形分濃度１５ｖｏｌ％程度の液状材料を用い、バンクに囲まれた領域の容積に対し３〜１０倍の体積の液状材料を区画に付与する。そして、区画に付与された液状材料を硬化または固化させると、バンクの高さとほぼ同等の厚さの色要素膜を基体上に形成することができる。
しかしながら、特許文献１にかかる方法において、バンクの高さとほぼ同等の厚さの色要素膜を基体上に形成するには、区画に液状材料を付与するに際し、バンクに囲まれた領域の容積の３〜１０倍の体積の液状材料を区画に付与する必要があるため、区画から液状材料が溢れ出す場合があった。その結果、色要素膜付きの基板を製造する際に歩留まりが低下するという問題があった。
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６０２２６４７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、高品質な色要素膜付き基板を高い生産効率で製造することができる成膜方法、色要素膜付き基板、電気光学装置、および電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の成膜方法は、基体上に色要素膜を形成する成膜方法であって、
前記基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、前記色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料を付与する液状材料付与工程と、
前記区画に付与された液状材料から前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、前記色要素膜を形成する色要素膜形成工程とを有し、
前記液状材料付与工程で前記区画に付与された前記液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、前記バンクによって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、
ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たすことを特徴とする。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのを防止しつつ、所望の膜厚の色要素膜を形成することができる。その結果、高品質な色要素膜付き基板を高い生産効率で製造することができる。
【０００７】
本発明の成膜方法は、基体上に色要素膜を形成する成膜方法であって、
前記基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、前記色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料を付与する液状材料付与工程と、
前記区画に付与された液状材料から前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、前記色要素膜を形成する色要素膜形成工程とを有し、
前記バンクの高さをｈＢ［μｍ］とし、前記色要素膜の平均膜厚をｈＣ［μｍ］とし、前記液状材料中における前記色要素膜の構成材料の濃度をＤ［ｖｏｌ％］としたときに、
Ｄ≧（ｈＣ／ｈＢ）×（１００／３）なる関係を満たすことを特徴とする。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのを防止しつつ、所望の膜厚の色要素膜を形成することができる。その結果、高品質な色要素膜付き基板を高い生産効率で製造することができる。
【０００８】
本発明の成膜方法では、前記バンクの高さｈＢは、０．１〜５μｍであることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのをより確実に防止することができるので、所望の膜厚の色要素膜をより簡単に得ることができる。
【０００９】
本発明の成膜方法では、前記色要素膜の平均膜厚ｈＣは、０．１〜５μｍであることが好ましい。
これにより、用いる液状材料の材料の選択の幅を大きなものとしつつ、所望の特性を有する色要素膜を形成することができる。
本発明の成膜方法では、前記液状材料中における前記色要素膜の構成材料の濃度Ｄは、２５〜５０ｖｏｌ％であることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において区画に付与される液状材料の体積を抑えつつ、所望の膜厚の色要素膜をより簡単に得ることができる。
【００１０】
本発明の成膜方法では、前記液状材料付与工程で前記区画に付与された前記液状材料の体積ＶＬは、０．１〜１５００ｐｌであることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
本発明の成膜方法では、前記バンクによって囲まれた領域の容積ＶＢは、０．１〜５００ｐｌであることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料がバンクを超えて区画から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
【００１１】
本発明の成膜方法では、前記液状材料の粘度は、２０ｍＰａ・Ｓ以下であることが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料を区画により円滑に付与することができる。
本発明の成膜方法では、前記溶媒は、多価アルコールのエーテルであることが好ましい。
これにより、液状材料の粘度を抑えつつ、液状材料中における色要素膜の構成材料の濃度（固形分濃度）を高めることができる。
【００１２】
本発明の成膜方法では、前記液状材料は、エマルションであることが好ましい。
これにより、より均一な特性を有する色要素膜を形成することができる。
本発明の成膜方法では、前記液状材料付与工程において、前記液状材料をノズルから液滴として吐出して前記区画に付与することが好ましい。
これにより、液状材料付与工程において、液状材料を区画に所望量だけより正確に付与することができる。
【００１３】
本発明の色要素膜付き基板は、本発明の成膜方法によって製造されたことを特徴とする。
これにより、高品質な色要素膜付き基板を提供することができる。
本発明の電気光学装置は、本発明の色要素膜付き基板を備えることを特徴とする。
これにより、高品質な電気光学装置を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高品質な電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の成膜方法、色要素膜付き基板、画像表示装置、および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
本発明の成膜方法は、色要素膜付き基板を製造する方法であり、本実施形態では、色要素膜付き基板の一例として、液晶表示装置の構成要素であるカラーフィルタ基板１０を製造する場合を代表して説明する。
【００１５】
（液滴吐出装置の全体構成）
まず、本発明の成膜方法に用いる液滴吐出装置を図１ないし図６に基づき説明する。
図１に示すように、液滴吐出装置１は、複数の液滴吐出ヘッド２をキャリッジ１０５に搭載してなるヘッドユニット１０３と、ヘッドユニット１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、後述する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている。
【００１６】
また、液滴吐出装置１の近傍には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の液状材料１１１をそれぞれ貯留する３個のタンク１０１が設置されている。各タンク１０１と、ヘッドユニット１０３とは、液状材料１１１を送液する流路となるチューブ１１０を介して接続されている。各タンク１０１に貯留された液状材料１１１は、例えば圧縮空気の力によって、ヘッドユニット１０３の各液滴吐出ヘッド２に送液（供給）される。
【００１７】
本発明において「液状材料」は、色要素膜付き基板の色要素膜を形成するための材料を含み、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出可能な粘度を有するものである。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。また、ノズル２５から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。すなわち、液状材料は、色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなるものであって、溶液であっても分散液（サスペンションやエマルション）であってもよい。
本実施形態における液状材料１１１は、カラーフィルタ基板１０の区画のフィルタ層を形成するための顔料が有機溶剤中に溶解または分散してなる有機溶剤インクである。なお、液状材料については後に詳述する。
なお、以下の説明では、赤、緑、青の液状材料１１１を区別して言うときには、１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの符号を付し、色を区別しないで総称して言うときには、単に「液状材料１１１」と言う。
【００１８】
キャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御される。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、ヘッドユニット１０３をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでヘッドユニット１０３を回転させる機能も有しており、これにより、ヘッドユニット１０３のＺ軸回りの角度を微調整することができる。
【００１９】
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、カラーフィルタ基板１０を製造するための基体１０Ａをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置された基体１０ＡのＺ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。
【００２０】
上述のように、ヘッドユニット１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８によって、ステージ１０６に対するヘッドユニット１０３の相対位置が変わる。
なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。
【００２１】
（ヘッドユニット）
図２は、図１に示す液滴吐出装置１におけるヘッドユニット１０３、および基体１０Ａを示す平面図である。
図２に示すヘッドユニット１０３は、複数の液滴吐出ヘッド２がキャリッジ１０５に搭載された構成となっている。図２中では、キャリッジ１０５を仮想線（二点鎖線）で表している。また、液滴吐出ヘッド２を示す実線は、液滴吐出ヘッド２のノズル面（ノズルプレート１２８）の位置を示している。
【００２２】
ヘッドユニット１０３には、赤色の液状材料１１１Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ、第２ヘッド２２Ｒ、第３ヘッド２３Ｒ、第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２と、緑色の液状材料１１１Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ、第２ヘッド２２Ｇ、第３ヘッド２３Ｇ、第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２と、青色の液状材料１１１Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ、第２ヘッド２２Ｂ、第３ヘッド２３Ｂ、第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２との、計１２個の液滴吐出ヘッド２が設置されている。
以下の説明では、これらの液滴吐出ヘッド２を総称する場合には、「液滴吐出ヘッド２」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「第１ヘッド２１Ｒ、第２ヘッド２２Ｒ、・・・」のように言う。
【００２３】
図２に示す基体１０Ａは、ストライプ配列のカラーフィルタ基板１０を製造するためのものである。この基体１０Ａには、赤の区画（吐出領域）１８Ｒと、緑の区画（吐出領域）１８Ｇと、青の区画（吐出領域）１８Ｂとがそれぞれ多数設けられている。液滴吐出装置１は、区画１８Ｒには赤色の液状材料１１１Ｒを付与し、区画１８Ｇには緑色の液状材料１１１Ｇを付与し、区画１８Ｂには青色の液状材料１１１Ｂを付与するように作動する。
【００２４】
各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、ほぼ長方形をなしている。基体１０Ａは、区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの長軸方向がＸ軸方向に平行になり、短軸方向がＹ軸方向に平行になるような姿勢でステージ１０６上に保持される。基体１０Ａ上には、Ｙ軸方向に沿っては区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８の順に３色の区画が繰り返し配列され、Ｘ軸方向に沿っては同色の区画が配列されている。Ｙ軸方向に並ぶ一組の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、製造されたカラーフィルタ基板１０の一区画分に相当する。
【００２５】
（液滴吐出ヘッド）
図３は、液滴吐出ヘッド２のノズル面（ノズルプレート１２８）の一部と、基体１０Ａの区画とを拡大して示す平面図である。なお、液滴吐出ヘッド２のノズル面は、基体１０Ａに対向する方向、すなわち鉛直下方に向いて設けられているが、図３中では、見易くするために、液滴吐出ヘッド２のノズル面を実線で示す。
液滴吐出ヘッド２のノズル面には、多数のノズル（ノズル孔）２５がＸ軸方向に沿って等間隔に直線的に並んで形成されており、ノズル列を形成している。本実施形態では、一つの液滴吐出ヘッド２には、２列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されているが、一つの液滴吐出ヘッド２が有するノズル列の数は、１列でも、３列以上でもよい。また、一つの液滴吐出ヘッド２に形成されるノズル２５の数は、特に限定されないが、通常、数十〜数百個程度とされる。
【００２６】
図４（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２は、インクジェットヘッドである。より具体的には、液滴吐出ヘッド２は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００２７】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル２５に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル２５の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。
【００２８】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル２５からＺ軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル２５の形状が調整されている。
【００２９】
制御手段１１２（図１）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル２５から吐出される材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル２５毎に制御されてもよい。
なお、液滴吐出ヘッド２は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料１１１の熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。
【００３０】
（制御手段）
次に、制御手段１１２の構成を説明する。図５に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３とを備えている。
【００３１】
バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、複数の液滴吐出ヘッド２のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
【００３２】
入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から、液状材料１１１の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータを受け取る。入力バッファメモリ２００は、この描画パターンデータを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画パターンデータを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。
【００３３】
キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０５、すなわちヘッドユニット１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６、すなわち基体１０ＡのＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
【００３４】
処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２およびステージ位置検出手段３０３の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、ヘッドユニット１０３の位置と、基体１０Ａの位置とを制御する。
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわち基体１０Ａの移動速度を制御する。
【００３５】
また、処理部２０４は、前記描画パターンデータに基づいて、吐出タイミング毎のノズル２５のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、液状材料１１１の吐出に必要な吐出信号ＥＳを液滴吐出ヘッド２に与える。この結果、液滴吐出ヘッド２における対応するノズル２５から、液状材料１１１が液滴として吐出される。
制御手段１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
【００３６】
次に制御手段１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。
図６（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有する。図６（ｂ）に示すように、駆動信号生成部２０３は、駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル２５から１つの液滴を吐出するために、対応する振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、ノズル２５のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数とノズル２５の数とは同じである。
【００３７】
処理部２０４は、ノズル２５のオン・オフを表す選択信号ＳＣを、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳを供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。
【００３８】
図６（ｂ）に示す例では、２つの吐出信号ＥＳのそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル２５のそれぞれから、周期２ＥＰで液状材料１１１が吐出される。また、これら２つのノズル２５に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル２５からほぼ同じタイミングで液状材料１１１が吐出される。
【００３９】
このような液滴吐出装置１では、ステージ移動機構１０８の作動により、ステージ１０６上に保持された基体１０ＡをＹ軸方向に移動させ、ヘッドユニット１０３の下を通過させつつ、ヘッドユニット１０３の各液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出して、基体１０Ａ上の各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与する（着弾させる）ように作動する。以下、この動作を「ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査」と言うことがある。
【００４０】
ヘッドユニット１０３全体として基体１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向の長さ（後述する全吐出幅Ｗ）よりも、基体１０ＡのＸ軸方向の幅が小さいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査を１回行うことにより、基体１０Ａの全体に対して液状材料１１１を付与することができる。
これに対し、ヘッドユニット１０３の全吐出幅Ｗよりも、基体１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査と、キャリッジ移動機構１０４の作動によるヘッドユニット１０３のＸ軸方向の移動（これを「副走査」と呼ぶ）とを交互に繰り返し行うことにより、基体１０Ａの全体に対して液状材料１１１を付与することができる。
【００４１】
（本発明の成膜方法）
次に、本発明の成膜方法の一例として、上述したような液滴吐出装置１を用いてカラーフィルタ基板１０を製造する方法ついて、詳細に説明する。
図７は、カラーフィルタ基板１０の製造方法を示す断面図である。図７に示すように、基体１０Ａは、光透過性を有する支持基板１２と、支持基板１２上に形成されたブラックマトリクス１４と、ブラックマトリクス１４上に形成されたバンク１６とを含む。ブラックマトリクス１４は、遮光性を有する材料で形成されている。ここで、ブラックマトリクス１４は、バンク１６の機能の一部を果たすものである。なお、ブラックマトリクス１４は、バンク１６と一体的に形成して、バンクの一部としてもよい。
【００４２】
そして、ブラックマトリクス１４とブラックマトリクス１４上のバンク１６とは、支持基板１２上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが規定されるように位置している。すなわち、支持基板１２、ブラックマトリクス１４およびバンク１６によって、区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが区画形成されている。区画１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを透過する色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＲが形成されるべき領域であり、区画１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを透過する色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＧが形成されるべき領域であり、区画１８Ｂは、青の波長域の光線のみを透過する色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【００４３】
カラーフィルタ基板１０を製造する際には、まず、以下の手順にしたがって基体１０Ａを作成する。まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板１２上に金属薄膜を形成する。その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス１４を形成する。ブラックマトリクス１４の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。なお、支持基板１２は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。続いて、支持基板１２およびブラックマトリクス１４を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク１６が得られる。以上の工程によって、基体１０Ａが得られる。
なお、バンク１６に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。その場合は、金属薄膜（ブラックマトリクス１４）は不要となり、バンク層は、１層のみとなる。
【００４４】
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ａを親液化する。この処理によって、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６とで規定されたそれぞれの凹部（区画の一部）における支持基板１２の表面と、ブラックマトリクス１４の表面と、バンク１６の表面とが親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体１０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク１６の表面がフッ化処理（撥液性に処理）され、このことで、バンク１６の表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板１２の表面およびブラックマトリクス１４の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。
なお、支持基板１２の材質、ブラックマトリクス１４の材質、およびバンク１６の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもあり、そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。
【００４５】
前述したような基体１０Ａを用いて、カラーフィルタ基板１０を製造する。
具体的には、基体１０Ａ上に設けられたバンク１６およびブラックマトリクス１４により画成された区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに、色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＢ、１１１ＦＢ、１１１ＦＢの構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを付与し（以下、液状材料付与工程という）、区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与された液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂから前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＢ、１１１ＦＢ、１１１ＦＢを形成する（以下、色要素膜形成工程という）。以下、液状材料付与工程、色要素膜形成工程を順次詳細に説明する。
【００４６】
−液状材料付与工程−
上記のようにして区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成された基体１０Ａは、液滴吐出装置１のステージ１０６上に運ばれ、ステージ１０６に保持される。液滴吐出装置１は、ステージ移動機構１０８を作動させて基体１０ＡをＹ軸方向に移動させてヘッドユニット１０３の下を通過させながら、各液滴吐出ヘッド２から液状材料１１１の液滴を吐出して、各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与する。
【００４７】
より具体的には、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、区画１８Ｒに対しては、赤色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｒを吐出し、区画１８Ｇに対しては、緑色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｇを吐出し、区画１８Ｂに対しては、青色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｂを吐出する。これにより、図８（ｄ）に示すように、区画１８Ｒに液状材料１１１Ｒ、区画１８Ｇに液状材料１１１Ｇ、区画１８Ｂに液状材料１１１Ｂがそれぞれ付与される。このとき、液状材料１１１をノズル２５から液滴として吐出して区画１８に付与するので、液状材料付与工程において、液状材料１１１を区画１８に所望量だけより正確に付与することができる。
【００４８】
液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂは、前述したように、カラーフィルタ基板１０の区画のフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢの構成材料である顔料が有機溶剤中に溶解または分散してなる有機溶剤インクである。
液状材料１１１中の溶媒としては、カラーフィルタ基板１０のフィルタ層を形成することができるものであれば、特に限定されないが、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＢＣＴＡＣ）、ジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ペンタエチレングリコールジメチルエーテル、ヘキサエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジ-ｎ-ブチルエーテル等の多価アルコールのエーテルを用いるのが好ましい。これにより、液状材料１１１の粘度を抑えつつ、液状材料１１１中におけるフィルタ層１１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）を高めることができる。
【００４９】
液状材料１１１中の顔料としては、カラーフィルタ基板１０のフィルタ層を形成することができるものであれば、特に限定されず、各種顔料を用いることができる。
また、液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂには、色要素膜であるフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢの構成材料として、樹脂が含まれていてもよい。
液状材料１１１中に樹脂が含まれる場合、樹脂としては、カラーフィルタ基板１０のフィルタ層を形成することができるものであれば、特に限定されないが、例えば、アクリル樹脂等が挙げられる。
【００５０】
特に、この液状材料付与工程では、区画１８に付与される液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、バンク１６およびブラックマトリクス１４によって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たしている。
また、バンクの高さ、すなわち、バンク１６の高さとブラックマトリクス１４の高さとの合計をｈＢ［μｍ］とし、色要素膜であるフィルタ層１１１Ｆの平均膜厚をｈＣ（この工程においては目標平均膜厚ｈＣ’）［μｍ］とし、液状材料１１１中におけるフィルタ層１１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）をＤ［ｖｏｌ％］としたときに、Ｄ≧（ｈＣ／ｈＢ）×（１００／３）なる関係を満たしている。
【００５１】
これらのことにより、液状材料付与工程において、液状材料１１１がバンク１６を超えて区画１８から溢れ出すのを防止しつつ、所望の膜厚のフィルタ層１１１Ｆを形成することができる。その結果、高品質なカラーフィルタ基板１０を高い生産効率で製造することができる。
また、バンクの高さ、すなわち、バンク１６の高さとブラックマトリクスの高さとの合計ｈＢは、０．１〜５μｍであるのが好ましく、０．１〜３μｍであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料１１１がバンク１６を超えて区画１８から溢れ出すのをより確実に防止することができるので、所望の膜厚のフィルタ層１１１Ｆをより簡単に得ることができる。
【００５２】
また、フィルタ層１１１Ｆの平均膜厚ｈＣは、０．１〜５μｍであるのが好ましく、０．１〜３μｍであるのがより好ましい。これにより、用いる液状材料１１１の材料の選択の幅を大きなものとしつつ、所望の特性を有するフィルタ層１１１Ｆを形成することができる。
また、液状材料１１１中におけるフィルタ層１１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）Ｄは、２５〜５０ｖｏｌ％であるのが好ましく、２５〜４０ｖｏｌ％であるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において区画１８に付与される液状材料１１１の体積を抑えつつ、所望の膜厚のフィルタ層１１１Ｆをより簡単に得ることができる。
【００５３】
また、液状材料付与工程で区画１８に付与された液状材料１１１の体積ＶＬは、０．１〜１５００ｐｌであるのが好ましく、１〜９００ｐｌであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、状材料１１１がバンク１６を超えて区画１８から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
また、バンク１６およびブラックマトリクス１４によって囲まれた領域の容積ＶＢは、０．１〜５００ｐｌであるのが好ましく、１〜３００ｐｌであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料１１１がバンク１６を超えて区画１８から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
【００５４】
また、液状材料１１１の粘度は、２０ｍＰａ・Ｓ以下であるのが好ましく、５〜２０ｍＰａ・Ｓであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料１１１を区画１８により円滑に付与することができる。ここで、液状材料１１１の粘度は、２３℃の環境下で計測されたものである。
また、液状材料１１１は、エマルションであるのが好ましい。これにより、より均一な特性を有するフィルタ層１１１Ｆを形成することができる。
【００５５】
−色要素膜形成工程−
次に、各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂが付与されたら、基体１０Ａを図示しない乾燥装置へ搬送し、各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ内の液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを乾燥させる。これにより、図８（ｅ）に示すように、各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ上にフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢが得られる。なお、液滴吐出装置１での液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの付与と、乾燥装置での乾燥とを繰り返し行って積層することによって最終的なフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを形成してもよい。
【００５６】
その後、基体１０Ａを図示しないオーブン内に搬送し、このオーブンにて、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。
次いで、基体１０Ａを図示しない保護膜形成装置へ搬送し、この保護膜形成装置にて、図８（ｆ）に示すように、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜（オーバーコート）２０を形成する。
フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜２０が形成された後に、乾燥装置にて保護膜２０を完全に乾燥させる。さらに、図示しない硬化装置にて保護膜２０を加熱して完全に硬化することで、基体１０Ａはカラーフィルタ基板１０となる。
【００５７】
以上説明したような本発明は、カラーフィルタ基板１０の製造に限らず、例えばエレクトロルミネッセンス表示装置等の他方式の画像表示装置の製造にも適用することができる。
図９および図１０は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の製造方法を示す断面図である。以下、本発明により有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を製造する場合について説明するが、前述したカラーフィルタ基板１０を製造する場合との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【００５８】
図９および図１０に示す基体３０Ａは、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を製造するための基板である。この基体３０Ａは、マトリクス状に配置された複数の区画（吐出領域）３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成されている。
具体的には、基体３０Ａは、支持基板３２と、支持基板３２上に形成された回路素子層３４と、回路素子層３４上に形成された複数の区画電極３６と、複数の区画電極３６の間に形成されたバンク４０とを有している。支持基板３２は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の区画電極３６のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）電極である。また、複数の区画電極３６は、回路素子層３４上にマトリクス状に配置されており、それぞれが区画を規定する。そして、バンク４０は、格子状の形状を有しており、複数の区画電極３６のそれぞれを囲む。また、バンク４０は、回路素子層３４上に形成された無機物バンク４０Ａと、無機物バンク４０Ａ上に位置する有機物バンク４０Ｂとからなる。ここで、主として有機物バンク４０Ｂが区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂを区画形成するバンクとしての機能を果たす。
【００５９】
回路素子層３４は、支持基板３２上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜４２と、絶縁膜４２上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子４４と、複数のスイッチング素子４４を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜４５とを有する層である。それぞれのスイッチング素子４４のゲート電極４４Ｇおよびソース電極４４Ｓは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。層間絶縁膜４５上には複数の区画電極３６が位置する。層間絶縁膜４５には、各スイッチング素子４４のドレイン電極４４Ｄに対応する部位にスルーホール４４Ｖが設けられており、このスルーホール４４Ｖを介して、スイッチング素子４４と、対応する区画電極３６との間の電気的接続が形成されている。また、バンク４０に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子４４が位置している。つまり、図１０中の上側から観察すると、複数のスイッチング素子４４のそれぞれは、バンク４０に覆われるように位置している。
【００６０】
基体３０Ａの区画電極３６とバンク４０とで規定される凹部は、区画３８Ｒ、区画３８Ｇ、区画３８Ｂに対応する。区画３８Ｒは、赤の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＲが形成されるべき領域であり、区画３８Ｇは、緑の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＧが形成されるべき領域であり、区画３８Ｂは、青の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【００６１】
このような基体３０Ａは、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて製造することができる。
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、この基体３０Ａを親液化する。この処理によって、区画電極３６とバンク４０とで規定された区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂにおける区画電極３６の表面、無機物バンク４０Ａの表面、および有機物バンク４０Ｂの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体３０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク４０Ｂの表面がフッ化処理（撥液性に処理）されて、このことで有機物バンク４０Ｂの表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた区画電極３６の表面および無機物バンク４０Ａの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。
【００６２】
なお、区画電極３６の材質、無機バンク４０Ａの材質、および有機バンク４０Ｂの材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。
また、表面処理が施された複数の区画電極３６のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成してもよい。正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂが、区画電極３６と、後述の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢとの間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。
【００６３】
−液状材料付与工程−
上記のようにして区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成された基体３０Ａに対し、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、前述したカラーフィルタ基板１０の場合と同様に、本発明の液滴吐出装置１を用いて、図１０（ｄ）に示すように、各区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに対し、それぞれ、液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂを付与する。
【００６４】
液状材料２１１Ｒは、赤色の有機発光材料を含むものであり、液状材料２１１Ｇは、緑色の有機発光材料を含むものであり、液状材料２１１Ｂは、青色の有機発光材料を含むものである。
液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂは、前述したように、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の区画の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢの構成材料である発光材料が有機溶剤中に溶解または分散してなるものである。
【００６５】
液状材料２１１中の溶媒としては、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを形成することができるものであれば、特に限定されないが、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＢＣＴＡＣ）、ジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ペンタエチレングリコールジメチルエーテル、ヘキサエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジ-ｎ-ブチルエーテル等の多価アルコールのエーテルを用いるのが好ましい。これにより、液状材料２１１の粘度を抑えつつ、液状材料２１１中における発光層２１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）を高めることができる。
【００６６】
液状材料２１１中の発光材料としては、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを形成することができるものであれば、特に限定されず、各種発光材料を用いることができる。
また、液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂには、色要素膜である発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢの構成材料として、樹脂が含まれていてもよい。
【００６７】
液状材料２１１中に樹脂が含まれる場合、樹脂としては、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを形成することができるものであれば、特に限定されないが、例えば、アクリル樹脂等が挙げられる。
特に、この液状材料付与工程では、区画３８に付与される液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、バンク４０の有機バンク４０Ｂによって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たしている。
また、バンクの高さ、すなわち、バンク４０の有機バンク４０Ｂの高さをｈＢ［μｍ］とし、色要素膜である発光層２１１Ｆの平均膜厚をｈＣ［μｍ］とし、液状材料２１１中における発光層２１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）をＤ［ｖｏｌ％］としたときに、Ｄ≧（ｈＣ／ｈＢ）×（１００／３）なる関係を満たしている。
【００６８】
これらのことにより、液状材料付与工程において、区画３８に付与された液状材料２１１の表面張力が効果的に作用するので、液状材料２１１がバンク４０を超えて区画３８から溢れ出すのを防止しつつ、所望の膜厚の発光層２１１Ｆを形成することができる。その結果、高品質な有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を高い生産効率で製造することができる。
【００６９】
また、バンクの高さ、すなわち、バンク４０の有機バンク４０Ｂの高さｈＢは、０．１〜５μｍであるのが好ましく、０．１〜３μｍであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料２１１がバンク４０を超えて区画３８から溢れ出すのをより確実に防止することができるので、所望の膜厚の発光層２１１Ｆをより簡単に得ることができる。
【００７０】
また、発光層２１１Ｆの平均膜厚ｈＣは、０．１〜５μｍであるのが好ましく、０．１〜３μｍであるのがより好ましい。これにより、用いる液状材料２１１の材料の選択の幅を大きなものとしつつ、所望の特性を有する発光層２１１Ｆを形成することができる。
また、液状材料２１１中における発光層２１１Ｆの構成材料の濃度（固形分濃度）Ｄは、２５〜５０ｖｏｌ％であるのが好ましく、２５〜４０ｖｏｌ％であるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において区画３８に付与される液状材料２１１の体積を抑えつつ、所望の膜厚の発光層２１１Ｆをより簡単に得ることができる。
【００７１】
また、液状材料付与工程で区画３８に付与された液状材料２１１の体積ＶＬは、０．１〜１５００ｐｌであるのが好ましく、１〜９００ｐｌであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、区画３８に付与された液状材料２１１の表面張力をより効果的に作用させて、液状材料２１１がバンク４０を超えて区画３８から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
【００７２】
また、バンク４０の有機バンク４０Ｂによって囲まれた領域の容積ＶＢは、０．１〜５００ｐｌであるのが好ましく、１〜３００ｐｌであるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料２１１がバンク４０を超えて区画３８から溢れ出すのをより確実に防止することができる。
また、液状材料２１１の粘度は、２０ｍＰａ・Ｓ以下であるのが好ましく、５〜２０ｍＰａ・Ｓ以下であるのがより好ましい。これにより、液状材料付与工程において、液状材料２１１を区画３８により円滑に付与することができる。ここで、液状材料１１１の粘度は、２３℃の環境下で計測されたものである。
また、液状材料２１１は、エマルションであるのが好ましい。これにより、より均一な特性を有する発光層２１１Ｆを形成することができる。
【００７３】
−色要素膜形成工程−
その後、基体３０Ａを乾燥装置へ移送して、各区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに付与された液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂを乾燥させることにより、図１０（ｅ）に示すように、各区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ上に発光層２１１ＦＲ、ＦＧ、ＦＢが得られる。
次に、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク４０を覆うように対向電極４６を設ける。対向電極４６は陰極として機能する。
【００７４】
その後、封止基板４８と基体３０Ａとを、互いの周辺部で接着することで、図１０（ｆ）に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０が得られる。なお、封止基板４８と基体３０Ａとの間には不活性ガス４９が封入されている。
有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０において、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢから発光した光は、区画電極３６と、回路素子層３４と、支持基板３２と、を介して射出する。このように回路素子層３４を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。
【００７５】
以上、本発明を液晶表示装置（カラーフィルタ基板）の製造や、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適用した場合について説明したが、本発明は、これらに限定されず、例えば、プラズマ表示装置の背面基板の製造や、電子放出素子を備えた画像表示装置（ＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）またはＦＥＤ（Field Emission Display）と呼ばれることもある）の製造にも適用することができる。
【００７６】
＜本発明の電子機器の実施形態＞
前述したような方法で製造されたカラーフィルタ基板１０を備えた液晶表示装置や、前述したような方法で製造されたエレクトロルミネッセンス表示装置等の画像表示装置１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図１１は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
【００７７】
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が画像表示装置１０００を備えている。
図１２は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、画像表示装置１０００を表示部に備えている。
【００７８】
図１３は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、画像表示装置１０００が表示部に設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
【００７９】
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。
【００８０】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
【００８１】
なお、本発明の電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
以上、本発明の成膜方法、色要素膜付き基板、電気光学装置、および電子機器を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図。
【図２】図１に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニット、および基体を示す平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドのノズル面（ノズルプレート）の一部と、基体の区画とを拡大して示す平面図。
【図４】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図。
【図５】図１に示す液滴吐出装置のブロック図。
【図６】（ａ）はヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート。
【図７】カラーフィルタ基板の製造方法を示す断面図。
【図８】カラーフィルタ基板の製造方法を示す断面図。
【図９】有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を示す断面図。
【図１０】有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を示す断面図。
【図１１】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図１２】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。
【図１３】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。示す平面図。
【符号の説明】
【００８３】
１……液滴吐出装置 ２……液滴吐出ヘッド ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ……第１ヘッド ２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ……第２ヘッド ２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ……第３ヘッド ２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂ……第４ヘッド ２５……ノズル ３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂ、３２Ｒ、３２Ｇ、３２Ｂ……ヘッド列 ５１、５２、５３、５４……ヘッド群 ９１、９２……液滴 １０１……タンク １０３、……ヘッドユニット １０４……キャリッジ移動機構 １０５……キャリッジ １０６……ステージ １０８……ステージ移動機構 １１０……チューブ １１１、１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ、２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ……液状材料 １１２……制御手段 １２０……キャビティ １２２……隔壁 １２４……振動子 １２４Ａ、１２４Ｂ……電極 １２４Ｃ……ピエゾ素子 １２６……振動板 １２８……ノズルプレート １２９……液たまり １３０……供給口 １３１……孔 ２００……バッファメモリ ２０２……記憶手段 ２０３……駆動信号生成部 ２０４……処理部 ２０６……走査駆動部 ２０８……ヘッド駆動部 ＡＳ……アナログスイッチ ＤＳ……駆動信号 ＳＣ……選択信号 ＥＰ……吐出周期 ＥＳ……吐出信号 １０Ａ、３０Ａ……基体 １０……カラーフィルタ基板 １２、３２……支持基板 １４……ブラックマトリクス １６、４０……バンク ２０……保護膜 １８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）、３８（３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ）……区画 １１１Ｆ（１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ）……フィルタ層 ３０……有機エレクトロルミネッセンス表示装置 ３４……回路素子層 ３６……区画電極 ４０Ａ……無機物バンク ４０Ｂ……有機物バンク ４２……絶縁膜 ４４……スイッチング素子 ４４Ｇ……ゲート電極 ４４Ｓ……ソース電極 ４４Ｄ……ドレイン電極 ４４Ｖ……スルーホール ４５……層間絶縁膜 ４６……対向電極 ４８……封止基板 ４９……不活性ガス ３０２……キャリッジ位置検出手段 ３０３……ステージ位置検出手段 １０００……画像表示装置 １１００……パーソナルコンピュータ １１０２……キーボード １１０４……本体部 １１０６……表示ユニット １２００……携帯電話機 １２０２……操作ボタン １２０４……受話口 １２０６……送話口 １３００……ディジタルスチルカメラ １３０２……ケース（ボディー） １３０４……受光ユニット １３０６……シャッタボタン １３０８……回路基板 １３１２……ビデオ信号出力端子 １３１４……データ通信用の入出力端子 １４３０……テレビモニタ １４４０……パーソナルコンピュータ ３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂ……正孔輸送層 ２１１Ｆ（２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ）……発光層
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体上に色要素膜を形成する成膜方法であって、
前記基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、前記色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料を付与する液状材料付与工程と、
前記区画に付与された液状材料から前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、前記色要素膜を形成する色要素膜形成工程とを有し、
前記液状材料付与工程で前記区画に付与された前記液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、前記バンクによって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、
ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たすことを特徴とする成膜方法。
【請求項２】
基体上に色要素膜を形成する成膜方法であって、
前記基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、前記色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料を付与する液状材料付与工程と、
前記区画に付与された液状材料から前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、前記色要素膜を形成する色要素膜形成工程とを有し、
前記バンクの高さをｈＢ［μｍ］とし、前記色要素膜の平均膜厚をｈＣ［μｍ］とし、前記液状材料中における前記色要素膜の構成材料の濃度をＤ［ｖｏｌ％］としたときに、
Ｄ≧（ｈＣ／ｈＢ）×（１００／３）なる関係を満たすことを特徴とする成膜方法。
【請求項３】
前記バンクの高さｈＢは、０．１〜５μｍである請求項１または２に記載の成膜方法。
【請求項４】
前記色要素膜の平均膜厚ｈＣは、０．１〜５μｍである請求項１ないし３のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項５】
前記液状材料中における前記色要素膜の構成材料の濃度Ｄは、２５〜５０ｖｏｌ％である請求項１ないし４のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項６】
前記液状材料付与工程で前記区画に付与された前記液状材料の体積ＶＬは、０．１〜１５００ｐｌである請求項１ないし５のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項７】
前記バンクによって囲まれた領域の容積ＶＢは、０．１〜５００ｐｌである請求項１ないし６のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項８】
前記液状材料の粘度は、２０ｍＰａ・Ｓ以下である請求項１ないし７のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項９】
前記溶媒は、多価アルコールのエーテルである請求項１ないし８のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１０】
前記液状材料は、エマルションである請求項１ないし９のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１１】
前記液状材料付与工程において、前記液状材料をノズルから液滴として吐出して前記区画に付与する請求項１ないし１０のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の成膜方法によって製造されたことを特徴とする色要素膜付き基板。
【請求項１３】
請求項１２に記載の色要素膜付き基板を備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１】
基体上に色要素膜を形成する成膜方法であって、
前記基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、前記色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料を付与する液状材料付与工程と、
前記区画に付与された液状材料から前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、前記色要素膜を形成する色要素膜形成工程とを有し、
前記液状材料付与工程で前記区画に付与された前記液状材料の体積をＶＬ［ｐｌ］とし、前記バンクによって囲まれた領域の容積をＶＢ［ｐｌ］としたときに、
ＶＬ／ＶＢ≦３なる関係を満たすことを特徴とする成膜方法。
【請求項２】
基体上に色要素膜を形成する成膜方法であって、
前記基体上に設けられたバンクにより画成された区画に、前記色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなる液状材料を付与する液状材料付与工程と、
前記区画に付与された液状材料から前記溶媒を除去しつつ該液状材料を硬化または固化して、前記色要素膜を形成する色要素膜形成工程とを有し、
前記バンクの高さをｈＢ［μｍ］とし、前記色要素膜の平均膜厚をｈＣ［μｍ］とし、前記液状材料中における前記色要素膜の構成材料の濃度をＤ［ｖｏｌ％］としたときに、
Ｄ≧（ｈＣ／ｈＢ）×（１００／３）なる関係を満たすことを特徴とする成膜方法。
【請求項３】
前記バンクの高さｈＢは、０．１〜５μｍである請求項１または２に記載の成膜方法。
【請求項４】
前記色要素膜の平均膜厚ｈＣは、０．１〜５μｍである請求項１ないし３のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項５】
前記液状材料中における前記色要素膜の構成材料の濃度Ｄは、２５〜５０ｖｏｌ％である請求項１ないし４のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項６】
前記液状材料付与工程で前記区画に付与された前記液状材料の体積ＶＬは、０．１〜１５００ｐｌである請求項１ないし５のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項７】
前記バンクによって囲まれた領域の容積ＶＢは、０．１〜５００ｐｌである請求項１ないし６のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項８】
前記液状材料の粘度は、２０ｍＰａ・Ｓ以下である請求項１ないし７のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項９】
前記溶媒は、多価アルコールのエーテルである請求項１ないし８のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１０】
前記液状材料は、エマルションである請求項１ないし９のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１１】
前記液状材料付与工程において、前記液状材料をノズルから液滴として吐出して前記区画に付与する請求項１ないし１０のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の成膜方法によって製造されたことを特徴とする色要素膜付き基板。
【請求項１３】
請求項１２に記載の色要素膜付き基板を備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００６−１７５３０７（Ｐ２００６−１７５３０７Ａ）
【公開日】平成１８年７月６日（２００６．７．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−３６８８６９（Ｐ２００４−３６８８６９）
【出願日】平成１６年１２月２１日（２００４．１２．２１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年７月６日（２００６．７．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年１２月２１日（２００４．１２．２１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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