液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法
【課題】基板上の被吐出部における副走査方向の液滴の配置密度に応じて好ましいノズル間隔を実現して液状体を吐出可能な液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置１００は、マザー基板Ｐを載置するステージ１０４と、ステージ１０４をＹ軸方向に移動させるワーク移動機構１０１と、Ｙ軸方向に対して直交するＸ軸方向にワーク移動機構１０１を跨いで延在する互いに平行な２本のヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂと、ノズル群がＸ軸方向に配列するように搭載された複数のキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂと、被吐出部のＸ軸方向における液滴の配置密度に応じて、ヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂに支持された複数のキャリッジ１０７Ａ，１０７ＢをＸ軸方向にそれぞれ移動させて複数のキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂの位置決めを行わせる制御部１１０と、を備えた。
【解決手段】液滴吐出装置１００は、マザー基板Ｐを載置するステージ１０４と、ステージ１０４をＹ軸方向に移動させるワーク移動機構１０１と、Ｙ軸方向に対して直交するＸ軸方向にワーク移動機構１０１を跨いで延在する互いに平行な２本のヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂと、ノズル群がＸ軸方向に配列するように搭載された複数のキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂと、被吐出部のＸ軸方向における液滴の配置密度に応じて、ヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂに支持された複数のキャリッジ１０７Ａ，１０７ＢをＸ軸方向にそれぞれ移動させて複数のキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂの位置決めを行わせる制御部１１０と、を備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置としては、基体を保持するステージと、ノズル列を有する１または複数のノズルを含むヘッド群をそれぞれ保持し、且つ、１つの軸上または平行に配置された複数の軸上を副走査方向に移動する複数の移動手段と、複数の移動手段を独立に駆動すると共に、副走査方向または主走査方向に隣接する移動手段のヘッド群間の相対位置関係を調整してノズルピッチを調整する位置制御手段とを備え、ステージに対してキャリッジを主走査方向に相対移動させてヘッド群で基体の被吐出部に液滴を吐出する液滴吐出装置が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記液滴吐出装置の位置制御手段は、副走査方向のノズルピッチが等間隔となるように、または副走査方向のノズルの線密度が高くなるように副走査方向または主走査方向に隣接する移動手段のヘッド群間の相対位置を調整している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３２４１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記液滴吐出装置を用いた液状体の吐出方法では、位置制御手段による副走査方向または主走査方向に隣接する移動手段のヘッド群間の相対位置の調整後、ノズルピッチが調整されたとしても、１回の主走査における描画範囲内では、液滴がほぼ等間隔で被吐出部に着弾することになる。
したがって、基体上において、被吐出部の主走査方向または副走査方向における配置密度が異なる領域を有する場合は、それぞれの領域において好ましい状態に液滴が着弾しないおそれがあるという課題があった。
上記課題を解決するために、被吐出部の配置密度が異なる領域ごとにノズルピッチを変えた主走査を行う方法が考えられるが、その方法では主走査の回数が増えて生産性が低下するという問題が発生する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例の液滴吐出装置は、複数のノズルからなるノズル群と基板とを相対移動させる主走査の間に前記ノズル群から液状体を液滴として前記基板の被吐出部に吐出する液滴吐出装置であって、前記基板を載置するステージと、前記ステージを前記主走査方向に移動させる第１移動機構と、Ｎは２以上の自然数であって、前記主走査方向に対して直交する副走査方向に前記第１移動機構を跨いで延在する互いに平行なＮ本の第２移動機構と、前記ノズル群が前記副走査方向に配列するように搭載された複数のキャリッジと、前記複数のキャリッジは、Ｎ本の前記第２移動機構において前記副走査方向にそれぞれ独立して移動可能な状態に支持され、前記被吐出部の前記副走査方向における前記液滴の配置密度に応じて、前記複数のキャリッジを前記副走査方向にそれぞれ移動させて前記複数のキャリッジの位置決めを行わせる制御部と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、制御部は、副走査方向に対して互いに平行なＮ本の第２移動機構に支持された複数のキャリッジを、基板上における被吐出部の副走査方向における液滴の配置密度に応じて位置決めして、好ましいノズル群の配置を実現することができる。言い換えれば、基板上に副走査方向における液滴の配置密度が異なる被吐出部が配置されていたとしても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出することが可能な液滴吐出装置を提供することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例の液滴吐出装置において、前記キャリッジごとに搭載された前記ノズル群の前記副走査方向の配置が同一であって、前記制御部は、前記被吐出部のうち前記液滴の配置密度が他の被吐出部に比べて高い被吐出部に対して、前記主走査方向から見たときの前記ノズル群のノズル間隔が１／Ｎとなるように、異なる前記第２移動機構に支持された少なくとも２つのキャリッジを前記副走査方向に移動させて、前記主走査方向に並列するように位置決め動作を行わせることが好ましい。
この構成によれば、主走査において、副走査方向における液滴の配置密度が高い被吐出部に対して、最も好ましいノズル群の配置を実現することができる。したがって、液滴の配置密度が高い被吐出部に対して最も効率よく液滴を吐出することができる。ゆえに、１回の主走査において、より効率的に液滴を被吐出部に吐出可能な高い生産性を有する液滴吐出装置を提供することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例の液滴吐出装置において、Ｍは２以上の自然数であって、Ｎ本の前記第２移動機構のうちの１つに、Ｍ個の前記キャリッジが支持され、前記制御部は、Ｍ個の前記キャリッジに搭載された前記ノズル群によって、前記基板の前記副走査方向の長さに亘って前記液状体を吐出可能となるように当該第２移動機構におけるＭ個の前記キャリッジの位置決めを行わせるとしてもよい。
この構成によれば、Ｎ本のうちの１つの第２移動機構に支持されたＭ個のキャリッジのノズル群で、基板の副走査方向の長さ、すなわち幅に亘って液滴を吐出することができる。したがって、Ｍ個以外の他のキャリッジが他の第２移動機構に支持される。よって、基板の幅に亘って液滴を吐出する主走査と、液滴の配置密度が異なる被吐出部への主走査とを第２移動機構ごとに支持されたキャリッジに配分してほぼ同時に液滴の吐出を行うことができる。ゆえに、主走査の回数をより低減することができる。
【００１１】
［適用例４］上記適用例の液滴吐出装置において、Ｍ個の前記キャリッジが支持される前記第２移動機構は、前記主走査方向において前記主走査を開始する側の最も前記ステージ寄りに配置されているこが好ましい。
この構成によれば、基板の幅に亘って液滴を吐出する主走査における基板とキャリッジとの相対移動の距離、すなわち、主走査のストロークを短くすることができる。
【００１２】
［適用例５］上記適用例の液滴吐出装置において、前記基板の前記副走査方向の長さに亘って前記液状体を吐出可能となるように、Ｎ本の前記第２移動機構に前記複数のキャリッジが配分され支持されているとしてもよい。
この構成によれば、最も少ない数のキャリッジで、基板の幅に亘って液状体を吐出することができる。したがって、装置構成をより簡略化することができる。
【００１３】
［適用例６］上記適用例の液滴吐出装置において、Ｎ本の前記第２移動機構は、前記ステージにおける前記基板の搬入出側に対して反対側に設けられていることが好ましい。
この構成によれば、基板搬送用のロボットなどを用いてステージに基板を載置する際に第２移動機構がじゃまにならず、効率的な基板の搬入出が可能となる。すなわちより高い生産性を有する液滴吐出装置を提供することができる。
【００１４】
［適用例７］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルからなるノズル群と基板とを相対移動させる主走査の間に前記ノズル群から液状体を液滴として前記基板の被吐出部に吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記ノズル群は、前記主走査方向と直交する副走査方向に平行して複数配置されると共に、それぞれ独立して前記副走査方向に移動可能であり、前記吐出工程は、前記被吐出部の前記副走査方向における前記液滴の配置密度に応じて、複数の前記ノズル群を前記副走査方向にそれぞれ移動させて位置決めする位置決め工程を含むことを特徴とする。
【００１５】
この方法によれば、位置決め工程では、基板上の被吐出部の副走査方向における液滴の配置密度に応じて、複数のノズル群をそれぞれ好ましい状態に配置することができる。言い換えれば、基板上に副走査方向における液滴の配置密度が異なる被吐出部が配置されていたとしても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出することが可能な液状体の吐出方法を提供することができる。
【００１６】
［適用例８］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記位置決め工程は、前記被吐出部のうち前記液滴の配置密度が他の被吐出部に比べて高い被吐出部に対して、前記主走査方向から見たときの前記ノズル群のノズル間隔が均等且つ最小となるように、少なくとも２つの前記ノズル群を前記主走査方向に並列させて位置決めすることが好ましい。
この方法によれば、液滴を吐出する主走査において、副走査方向における液滴の配置密度が高い被吐出部に対して、最も好ましい状態でノズル群を配置することができる。したがって、液滴の配置密度が高い被吐出部に対して効率よく液滴を吐出することができる。ゆえに、１回の主走査において、より効率的に液滴を被吐出部に吐出可能な液状体の吐出方法を提供することができる。
【００１７】
［適用例９］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液滴吐出装置を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この方法によれば、上記適用例の液滴吐出装置を用いているので、複数の膜形成領域の副走査方向における液滴の配置密度が異なっていても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出して、高い生産性でカラーフィルタを製造することができる。
【００１９】
［適用例１０］本適用例の他のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この方法によれば、上記適用例の液状体の吐出方法を用いているので、複数の膜形成領域の副走査方向における液滴の配置密度が異なっていても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出して着弾不良を低減し、歩留りよくカラーフィルタを製造することができる。
【００２１】
［適用例１１］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液滴吐出装置を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この方法によれば、上記適用例の液滴吐出装置を用いているので、複数の膜形成領域の副走査方向における液滴の配置密度が異なっていても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出して、高い生産性で有機ＥＬ素子を製造することができる。
【００２３】
［適用例１２］本適用例の他の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２４】
この方法によれば、上記適用例の液状体の吐出方法を用いているので、複数の膜形成領域の副走査方向における液滴の配置密度が異なっていても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出して着弾不良を低減し、歩留りよく有機ＥＬ素子を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
【００２６】
（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態の液滴吐出装置について図１〜図４を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２７】
図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１００は、マザー基板Ｐを載置するステージ１０４と、ステージ１０４を主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させる第１移動機構としてのワーク移動機構１０１と、ワーク移動機構１０１の上方において、主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）にワーク移動機構１０１を跨いで延在する互いに平行な２本の第２移動機構としてのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂとを備えている。
【００２８】
ワーク移動機構１０１は、一対のガイドレール１０２と、一対のガイドレール１０２上を移動する移動台１０３とを有し、ステージ１０４が移動台１０３上に設けられている。
移動台１０３は、内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示省略）により主走査方向に移動する。移動台１０３には、エンコーダ１０９（図４参照）が設けられている。
エンコーダ１０９は、移動台１０３の主走査方向への相対移動に伴って、ガイドレール１０２に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。
ステージ１０４はマザー基板Ｐを吸着固定可能であると共に、回転機構（図示省略）によってマザー基板Ｐ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。なお、エンコーダ１０９の配設は、これに限らず、例えば、移動台１０３を回転軸に沿ってＹ軸方向に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダ１０９を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータなどが挙げられる。
【００２９】
ヘッド移動機構１０５Ａは、一対のガイドレール１０６と、リニアモータなどの駆動源により一対のガイドレール１０６上を移動するキャリッジ移動台１０８Ａとを有し、キャリッジ移動台１０８Ａには、キャリッジ１０７Ａが取り付けられている。
【００３０】
キャリッジ１０７Ａは、後述する液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が下方に向けて搭載されたヘッドユニット１０Ａが取り付けられている。
【００３１】
同様にもう一方のヘッド移動機構１０５Ｂは、一対のガイドレール１０６と、リニアモータなどの駆動源により一対のガイドレール１０６上を移動するキャリッジ移動台１０８Ｂとを有し、キャリッジ移動台１０８Ｂには、キャリッジ１０７Ｂが取り付けられている。
【００３２】
キャリッジ１０７Ｂは、ヘッドユニット１０Ａと同様に液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット１０Ｂが取り付けられている。
【００３３】
なお、各ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂは、搭載された液滴吐出ヘッド５０の相対的な位置を各キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂ間で調整可能な状態で取り付けられており、キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂは、ステージ１０４と対向する平面内においてヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ回転させる回転機構（図示省略）を有している。
【００３４】
各キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂには、搭載された液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示省略）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。
キャリッジ移動台１０８Ａ，１０８Ｂがそれぞれのキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂを副走査方向に移動させて、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂに搭載された液滴吐出ヘッド５０をマザー基板Ｐに対して対向配置する。
【００３５】
液滴吐出装置１００は、上記構成の他にも、キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂに搭載された液滴吐出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構（図示省略）が、各ヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂに沿った位置に配設されている。
また、液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構（図示省略）を備えている。さらに、これらの構成を統括的に制御する制御部１１０を備えている。
【００３６】
図２は、液滴吐出ヘッドを示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図である。
【００３７】
図２に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述した液状体供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバ４８（図４参照）に接続される２連のコネクタ５８が設けられている。
【００３８】
ヘッド本体５６は、圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００３９】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズルプレート５１に配設されている。この場合、ピッチＰ１は、およそ１４１μｍである。よって、ノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。以降説明上、ノズル５２の間隔は、ノズルピッチＰ２とする。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００４０】
液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバ４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。
【００４１】
液滴吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエータとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
【００４２】
図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、マザー基板Ｐに対向する側から見た図である。
【００４３】
図３に示すように、ヘッドユニット１０Ａ（１０Ｂ）には、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００４４】
１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるものを指す。また、説明上、３６０個のノズル５２からなるノズル群５２ｃとして扱うこともある。
【００４５】
この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置されている。
【００４６】
なお、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。
【００４７】
次に液滴吐出装置１００の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置１００の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構１０１、ヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂなどを駆動する各種ドライバを有する駆動部４０と、駆動部４０を含め液滴吐出装置１００を制御する制御部１１０とを備えている。
【００４８】
駆動部４０は、ワーク移動機構１０１およびヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂの各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッド駆動部としてのヘッドドライバ４８とを備えている。この他にも重量計測用ドライバと、メンテナンス用ドライバとを備えているが図示省略した。
【００４９】
制御部１１０は、ＣＰＵ１１１と、ＲＯＭ１１２と、ＲＡＭ１１３と、Ｐ−ＣＯＮ１１４とを備え、これらは互いにバス１１５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ１１４には、上位コンピュータ１１６が接続されている。ＲＯＭ１１２は、ＣＰＵ１１１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００５０】
ＲＡＭ１１３は、マザー基板Ｐに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、マザー基板Ｐおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ａ，５２ｂ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ１１４には、駆動部４０の各種ドライバなどが接続されており、ＣＰＵ１１１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１１４は、上位コンピュータ１１６からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス１１５に取り込むと共に、ＣＰＵ１１１と連動して、ＣＰＵ１１１などからバス１１５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４０に出力する。
【００５１】
そして、ＣＰＵ１１１は、ＲＯＭ１１２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１１４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ１１３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１１４を介して駆動部４０などに各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１００全体を制御している。例えば、ＣＰＵ１１１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構１０１およびヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂを制御して、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂとマザー基板Ｐとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂとマザー基板Ｐとの相対移動に同期して、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂに搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からマザー基板Ｐに液状体を液滴として吐出するようにヘッドドライバ４８に制御信号を送出する。この場合、Ｙ軸方向へのマザー基板Ｐの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｘ軸方向にヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂを移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１００は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのマザー基板Ｐの移動に限らず、マザー基板Ｐを往復させて行うこともできる。
【００５２】
エンコーダ１０９は、ヘッドドライバ４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台１０３を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。
【００５３】
上位コンピュータ１１６は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１００に送出する。また、基板上の被吐出部ごとに必要量の液状体を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、被吐出部における液滴の吐出位置（言い換えれば、マザー基板Ｐとノズル５２との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ（言い換えれば、複数のノズル５２の選択パターン）、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピュータ１１６は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ１１３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００５４】
本実施形態の液滴吐出装置１００は、互いに平行な２つのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂを備えていることを特徴としている。制御部１１０は、それぞれのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂに支持された各キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂを副走査方向に移動させることにより、マザー基板Ｐにおける被吐出部の副走査方向における液滴の配置密度に応じて、２つのキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂを主走査方向に並列させる位置決め動作を行わせる。これにより、主走査方向から見たときのノズル群の実質的なノズル間隔を好ましい状態に調整して液状体を被吐出部に吐出することが可能である。詳しくは、後述する液状体の吐出方法にて述べる。
【００５５】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、上記液滴吐出装置１００並びに本実施形態の液状体の吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法について、図５〜図１２を参照して説明する。図５（ａ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図である。図６は、カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。図７（ａ）〜（ｄ）は、カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。図８〜図１２は、液状体の吐出方法の実施例を示す概略平面図である。
【００５６】
図５（ａ）および（ｂ）に示すようにカラーフィルタ２は、透明なガラスなどの基板１上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の着色層３を有している。各着色層３は隔壁部４によりマトリクス状に区画されている。本実施形態のカラーフィルタ２は、同色の着色層３が直線的に配列する所謂ストライプ方式のカラーフィルタである。
【００５７】
図５（ｂ）に示すように、隔壁部４は、第１隔壁部４ａと第２隔壁部４ｂとからなる二層構造となっている。第１隔壁部４ａは、例えば、ＣｒやＡｌなどの金属薄膜からなり遮光性を有している。第２隔壁部４ｂは、例えば、樹脂材料からなる。なお、二層構造に限定されず、遮光性を有する部材を含む樹脂材料により隔壁部４を構成する一層構造でもよい。
【００５８】
着色層３は、着色材料を含む透光性樹脂材料からなる。本実施形態では、このようなカラーフィルタ２を液滴吐出法（インクジェット法）を用いて製造する。
【００５９】
図６に示すように、カラーフィルタ２の製造方法は、隔壁部４を形成する隔壁部形成工程（ステップＳ１）と、隔壁部４が形成された基板１の表面を表面処理する表面処理工程（ステップＳ２）と、着色層形成材料を含む液状体を吐出する吐出工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥させて着色層３を形成する乾燥工程（ステップＳ４）とを備えている。
【００６０】
図６のステップＳ１では、まず、基板１の表面にＣｒやＡｌなどの金属薄膜を成膜する。成膜方法としては真空蒸着法、スパッタ法などが挙げられる。膜厚は、例えば遮光性が得られるように０．１μｍ程度とする。これをフォトリソグラフィ法によりパターニングして開口させた第１隔壁部４ａを形成する。
次に、第１隔壁部４ａを覆って感光性樹脂を厚み２μｍ程度に塗布し、同じくフォトリソグラフィ法によりパターニングして、第１隔壁部４ａ上に第２隔壁部４ｂを形成する。これにより図７（ａ）に示すように基板１上に開口した被吐出部としての矩形状の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂを形成する。そして、ステップＳ２へ進む。
【００６１】
図６のステップＳ２では、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに着弾して濡れ拡がるように、基板１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部４ｂに着弾したとしても膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ内に収まるように、第２隔壁部４ｂの少なくとも頭頂部を撥液処理する。
【００６２】
表面処理方法としては、隔壁部４が形成された基板１に対して、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂが親液処理され、その後感光性樹脂からなる第２隔壁部４ｂの表面（壁面を含む）が撥液処理される。なお、第２隔壁部４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。そして、ステップＳ３へ進む。
【００６３】
図６のステップＳ３では、液滴吐出装置１００のステージ１０４に表面処理された基板１を載置する。異なる着色層形成材料を含む３色の液状体をそれぞれ異なる液滴吐出ヘッド５０に充填し、当該液滴吐出ヘッド５０をヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂに装備する。 そして、図７（ｂ）および（ｃ）に示すように、基板１と液滴吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動に同期して、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から３色の液状体のそれぞれを液滴Ｄとして所望の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出する。膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出される液状体の塗布量は、あらかじめ膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに選択されるノズル５２の選択パターンと液滴Ｄの吐出数などが主走査ごとに設定された吐出データに基づいて、制御部１１０のＣＰＵ１１１から適正な制御信号がヘッドドライバ４８に送られて制御される。これにより、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに塗布される。より詳しい液状体の吐出方法は後述する実施例にて説明する。そして、ステップＳ４へ進む。
【００６４】
図６のステップＳ４では、図７（ｄ）に示すように、基板１に吐出された液状体から溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層３を形成する。本実施形態では、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置に基板１をセットして減圧乾燥し、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色の着色層３を形成した。なお、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。
先の液状体の吐出工程（ステップＳ３）において、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに無駄なく塗布されているので、ほぼ一定の膜厚を有する着色層３を形成することができる。なお、着色層３の膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体を対応する膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出すればよい。
着色層３が形成された基板１の表面に凹凸が生じる場合には、隔壁部４と各着色層３とを覆って透光性の例えばアクリル系樹脂材料からなる平坦化層を形成してもよい。
【００６５】
カラーフィルタ２が形成される基板１の大きさは、これを用いる表示装置の大きさに寄る。また、同一の大きさの表示装置であっても画素が高密度に配置されている場合、対応するカラーフィルタ２の着色層３の配置も高密度な配置が要求される。
【００６６】
カラーフィルタ２を有する基板１をより効率的に生産する方法として、一般的には基板１よりも平面的なサイズが大きいマザー基板Ｐに多面取りする方法が採用されている。だが、マザー基板Ｐのサイズによっては、面積的に効率よく多面取りが可能な基板１の効率サイズが限定される。この効率サイズ以外の基板１をマザー基板Ｐに多面取りした場合、無駄な領域が発生してしまう。これを避けるため、平面的なサイズが異なる複数種のカラーフィルタ２を組み合わせてマザー基板Ｐから多面取りする方法が挙げられる。
【００６７】
本実施形態の液滴吐出装置１００並びに液状体の吐出方法を用いたカラーフィルタ２の製造方法は、特に上記後者の多面取りを行う場合、高い生産性でカラーフィルタ２を製造することが可能である。以降、実施例１〜３に基づいて詳細に説明する。
【００６８】
（実施例１）
図８（ａ）は実施例１の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図である。図９は、実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。
【００６９】
図８（ａ）に示すように、実施例１は、マザー基板Ｐに、カラーフィルタＥ1と、それよりも平面的なサイズが小さいカラーフィルタＥ2とを多面取りする例である。カラーフィルタＥ1は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにおいて所定の間隔を置いて格子状に４つ配置されている。残りのマザー基板Ｐの空きスペースにカラーフィルタＥ2がＹ軸方向に間隔を置いて４つ配置されている。
図８（ｂ）に示すように、カラーフィルタＥ1とカラーフィルタＥ2とにおける相対的な配置は、矩形状の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の長辺が同じ方向を向いている。言い換えれば膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'のストライプ方向が同じである。
カラーフィルタＥ1とカラーフィルタＥ2とにおいて着色層３の数を同数とすると、単位面積当たりの被吐出部としての膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の配置密度は、カラーフィルタＥ1に比べてカラーフィルタＥ2の方が高くなる。言い換えればカラーフィルタＥ2の方が高精細となる。
【００７０】
図８（ａ）に示すように、液滴吐出装置１００は、２つのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂのうち、一方のヘッド移動機構１０５Ａに複数（７つ）のキャリッジ１０７Ａ（キャリッジＡ1〜Ａ7）が支持され、他方のヘッド移動機構１０５Ｂに１つのキャリッジ１０７Ｂ（キャリッジＢ1）が支持されている。また、同図（ａ）において、各キャリッジＡ1〜Ａ7，Ｂ1を示す四角形のＸ軸方向の幅は、キャリッジごとの液状体の描画幅を示すものである。
ステージ１０４には、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂのストライプ方向が主走査方向（Ｙ軸方向）と直交するように、マザー基板Ｐが載置され位置決めされる。
【００７１】
制御部１１０は、ヘッド移動機構１０５Ａの７つのキャリッジＡ1〜Ａ7を均等な間隔で副走査方向に位置決めする動作を行わせる。これにより、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出可能とする。この場合、キャリッジＡ3〜Ａ7を用いればカラーフィルタＥ1を吐出描画可能である。キャリッジＡ2を用いればカラーフィルタＥ2を吐出描画可能である。
【００７２】
また、制御部１１０は、上記マザー基板Ｐにおける膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向（Ｘ軸方向）における液滴Ｄの配置密度に対応して、先に位置決めされたキャリッジＡ2に対して主走査方向に並列するように、ヘッド移動機構１０５ＢのキャリッジＢ1を副走査方向に位置決めする動作を行わせる。
【００７３】
具体的には、図９に示すように、主走査方向（Ｙ軸方向）から見たときのノズル５２の間隔が均等且つ最小となるように、キャリッジＡ2に対してキャリッジＢ1を副走査方向に位置決めする。前述したように、ノズル群５２ｃのノズルピッチＰ２がおよそ７０．５μｍである。したがって、このようなキャリッジＡ2とキャリッジＢ1の相対的な配置によれば、主走査における描画範囲Ｃ2（図８（ａ）参照）の実質的なノズル５２の間隔は、ノズルピッチＰ２の半分のおよそ３５．２５μｍとなる。
【００７４】
例えば、ヘッド移動機構１０５をＮ本として同様にＮ個のキャリッジ１０７を主走査方向に並列させれば、実質的なノズル５２の間隔をノズルピッチＰ２の１／Ｎにすることができる。すなわち、個々のキャリッジ１０７における同種の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５０の配置を変えることなく、主走査において、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向における液滴の配置密度に応じた好ましいノズル５２の間隔を実現することができる。
【００７５】
図９に示すように、カラーフィルタＥ2を吐出描画可能なキャリッジＡ2を用いて主走査を行う場合、平面的なサイズが小さい膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に掛かるノズル５２の数は、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに比べて少ない。キャリッジＡ2にキャリッジＢ1を並列させることにより、平面的なサイズが小さい、言い換えれば副走査方向における液滴Ｄの配置密度が高い膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に対して主走査によって掛かるノズル５２の数を増やすことができる。
【００７６】
例えば、赤（Ｒ）の着色層形成材料を含む液状体が充填された液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から液滴Ｄを吐出すれば、図９に示したように、膜形成領域３ｒと膜形成領域３ｒ'とに効率よく液滴Ｄを着弾させることができる。主走査方向における液滴Ｄの着弾数すなわち吐出数は、液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａ，５２ｂごとに、エンコーダ１０９が生成する吐出タイミング信号を選択することにより、適宜設定することができる。
緑（Ｇ）の液状体、青（Ｂ）の液状体を充填したそれぞれの液滴吐出ヘッド５０から同様にして液滴Ｄを吐出すれば、膜形成領域３ｇ，３ｂと膜形成領域３ｇ'，３ｂ'とに効率よく液滴Ｄを着弾させることができることは言うまでもない。
【００７７】
このような液状体の吐出方法によれば、図８（ａ）に示すように、キャリッジＡ3〜Ａ7の描画範囲Ｃ1における液滴Ｄの着弾密度に対して、キャリッジＡ2とキャリッジＢ1とによる描画範囲Ｃ2の液滴Ｄの着弾密度が副走査方向において向上する。よって、キャリッジＡ2〜Ａ7を用いて液状体を吐出する場合に比べて、各膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に必要量の液状体を液滴Ｄとして吐出する主走査の回数を低減することができる。ゆえに、高い生産性でカラーフィルタＥ1，Ｅ2を製造することができる。
【００７８】
なお、１つのキャリッジの描画幅は、図３に示したように、同種の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５０（言い換えればノズル群）の配置に寄る。本実施形態では、当該描画幅は、Ｌ1である。キャリッジを共用する観点からすれば、マザー基板ＰにおけるカラーフィルタＥ1，Ｅ2の配置に都度対応して液滴吐出ヘッド５０の配置を変えることは考え難い。したがって、実際の液状体の吐出工程においては、カラーフィルタＥ1，Ｅ2の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向における液滴Ｄの配置密度に応じて、上記のように一旦位置決めされたキャリッジＡ1〜Ａ7およびキャリッジＢ1の相対的な配置を維持してキャリッジ全体を副走査する改行動作と、主走査とを組み合わせて液滴Ｄの吐出を行うものである。
【００７９】
（実施例２）
図１０（ａ）は実施例２の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図である。図１１は、実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。
【００８０】
図１０（ａ）に示すように、実施例２は、マザー基板Ｐに、カラーフィルタＥ1と、それよりも平面的なサイズが小さいカラーフィルタＥ3とを多面取りする例である。カラーフィルタＥ1は、実施例１と同様にＸ軸方向とＹ軸方向とにおいて所定の間隔を置いて格子状に４つ配置されている。残りのマザー基板Ｐの空きスペースにカラーフィルタＥ3がＹ軸方向に間隔を置いて６つ配置されている。
【００８１】
実施例２が実施例１に対して異なる点は、図１０（ｂ）に示すように、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂと膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'のストライプ方向が直交するように、カラーフィルタＥ1とカラーフィルタＥ3とがマザー基板Ｐに配置されていることである。このような多面取りは、主走査におけるノズル５２の使用率を低下させてしまう。
【００８２】
そこで、実施例２における液滴吐出装置１００の構成としては、図１０（ａ）に示すように、ヘッド移動機構１０５Ｂに２つのキャリッジＢ1，Ｂ2を支持させる。制御部１１０は、位置決めされたキャリッジＡ1に対して主走査方向に並列するように、キャリッジＢ1を副走査方向に位置決めする動作を行わせる。同様に、キャリッジＡ2に対して主走査方向に並列するように、キャリッジＢ2を副走査方向に位置決めする動作を行わせる。主走査方向（Ｙ軸方向）から見たときのノズル５２の間隔が均等且つ最小となるように位置決めする点は、実施例１と同じである。
【００８３】
図１１に示すように、キャリッジＡ2を用いて主走査を行う場合、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに対して配列方向が直交する膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に掛かるノズル５２の数は、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに比べて極めて少ない。キャリッジＡ2にキャリッジＢ2を並列させることにより、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に対して主走査によって掛かるノズル５２の数を増やすことができる。なお、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の大きさは、ノズル５２の配置ピッチを基準にして図示した。
【００８４】
例えば、赤（Ｒ）の液状体が充填された液滴吐出ヘッド５０のノズル群５２ｃから液滴Ｄを吐出する場合、膜形成領域３ｒ'には、キャリッジＡ2のノズル群５２ｃのうち１つのノズル５２だけが掛かるが、キャリッジＢ2のノズル群５２ｃのうちからも１つのノズル５２が掛かるので合計２つのノズル５２によって１つの膜形成領域３ｒ'を吐出描画可能となる。よって、効率よく赤（Ｒ）の液滴Ｄを吐出することができる。膜形成領域３ｇ'，３ｂ'においても同様である。
【００８５】
このような液状体の吐出方法によれば、図１０（ａ）に示すように、キャリッジＡ3〜Ａ7の描画範囲Ｃ1における液滴Ｄの着弾密度に対して、キャリッジＡ1とキャリッジＢ1並びにキャリッジＡ2とキャリッジＢ2による描画範囲Ｃ3の液滴Ｄの着弾密度を副走査方向において向上させ、高い生産性でカラーフィルタＥ1，Ｅ3を製造することができる。
【００８６】
すなわち、ヘッド移動機構１０５Ｂが支持するキャリッジ数を変えることにより、マザー基板Ｐにおけるカラーフィルタ２の多面取りの配置に応じて、好適なノズル５２の間隔を実現することができる。
【００８７】
（実施例３）
図１２（ａ）および（ｃ）は、実施例３の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図である。
【００８８】
図１２（ａ）に示すように、実施例３は、マザー基板Ｐに、カラーフィルタＥ4と、それよりも平面的なサイズが小さいカラーフィルタＥ5とを多面取りする例である。実施例１や実施例２と異なる点は、カラーフィルタＥ4が副走査方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて２つ配置され、副走査方向における無駄なスペースはない。カラーフィルタＥ5は、主走査方向（Ｙ軸方向）において空いたスペースに、副走査方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて４つ配置されている。
【００８９】
図１２（ｂ）に示すように、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂと膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'のストライプ方向が同方向となるように、カラーフィルタＥ4とカラーフィルタＥ5とが多面取りされている。
【００９０】
また、実施例３の液滴吐出装置１００の構成としては、ヘッド移動機構１０５Ａに３つのキャリッジＡ1〜Ａ3が支持され、同じくヘッド移動機構１０５Ｂに３つのキャリッジＢ1〜Ｂ3が支持されていることを特徴とする。
【００９１】
図１２（ａ）に示すように、制御部１１０は、キャリッジＡ1〜Ａ3とキャリッジＢ1〜Ｂ3とが主走査方向（Ｙ軸方向）から見て重ならないように、且つ副走査方向において均等な間隔となるように位置決めを行わせる。これにより、最も少ないキャリッジ数で、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出可能なキャリッジ配置とする。
【００９２】
また、図１２（ｃ）に示すように、制御部１１０は、キャリッジＡ1〜Ａ3とキャリッジＢ1〜Ｂ3とが主走査方向（Ｙ軸方向）において並列するように、且つ主走査方向（Ｙ軸方向）から見たときのノズル５２の間隔が均等且つ最小となるように位置決め動作を行わせる。これにより、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向における液滴Ｄの配置密度に対応して、主走査において好ましいノズル５２の間隔を実現する。
【００９３】
実施例３によれば、様々な液状体の吐出方法を実現することができる。例えば、図１２（ａ）に示したキャリッジ配置で描画範囲Ｃ4を確保して、まず２つのカラーフィルタＥ4を吐出描画する主走査を行う。続いて、図１２（ｃ）に示したキャリッジ配置で描画範囲Ｃ5を確保して、２つのカラーフィルタＥ5を吐出描画し、その後、キャリッジの相対的な配置を維持した状態でキャリッジ全体を副走査して、残り２つのカラーフィルタＥ5を吐出描画する主走査を行う。
この場合、カラーフィルタＥ4を吐出描画する主走査において、カラーフィルタＥ5の膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に掛かるノズル５２から必要量の液状体の一部を液滴Ｄとして先行吐出させてもよい。
【００９４】
あるいは、図１２（ｃ）に示したキャリッジ配置で１つのカラーフィルタＥ4と２つのカラーフィルタＥ5とを吐出描画する主走査を行い、その後、キャリッジＡ1，Ａ2，Ａ3，Ｂ1，Ｂ2，Ｂ3の相対的な配置を維持した状態でキャリッジ全体を副走査して、残り１つのカラーフィルタＥ4と２つのカラーフィルタＥ5とを吐出描画する主走査を行ってもよい。
【００９５】
実施例３の液滴吐出装置１００の構成並びに液状体の吐出方法によれば、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出可能なキャリッジ数を２つのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂに配分して支持させ、最も少ないキャリッジ数でマザー基板Ｐに多面取りされたカラーフィルタＥ4，Ｅ5を吐出描画することができる。見方を変えれば、１種のカラーフィルタ２が多面取りされたマザー基板Ｐの場合には、図１２（ａ）のようなキャリッジ配置で対応することができる。複数種のカラーフィルタ２が多面取りされたマザー基板Ｐの場合には、ヘッド移動機構１０５Ａに支持されたキャリッジＡ1〜Ａ3と、ヘッド移動機構１０５Ｂに支持されたキャリッジＢ1〜Ｂ3との副走査方向における相対的な配置を変えることによって、吐出描画に適したノズル５２の間隔を実現することができる。
【００９６】
実施例１および実施例２の液滴吐出装置１００において、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出可能なキャリッジＡ1〜Ａ7を支持するヘッド移動機構１０５Ａは、マザー基板Ｐを載置するステージ１０４の主走査の開始側に最も近い位置に設けることが好ましい。
これによれば、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出描画する主走査の相対移動におけるストロークを小さくすることができ、カラーフィルタ製造における生産性が向上する。
【００９７】
実施例１〜実施例３の液滴吐出装置１００において、２つのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂは、ステージ１０４におけるマザー基板Ｐを搬入出する側に対して反対側に位置するように配置することが好ましい。
これによれば、マザー基板Ｐの搬入出にじゃまにならず、スムーズにマザー基板Ｐを搬入出することができる。
【００９８】
実施例１および実施例２の液滴吐出装置１００において、ヘッド移動機構１０５Ｂに支持されるキャリッジ１０７Ｂを少なくとも１つ増やせば、キャリッジＡ1〜Ａ7およびキャリッジＢ1またはキャリッジＢ2に吐出不具合が生じたときに、増やしたキャリッジ１０７Ｂを予備キャリッジとして用いることができる。すなわち、キャリッジの吐出不具合による液滴吐出装置１００の停止で稼働率が低下することを防止できる。吐出不具合が生じたキャリッジは、予備キャリッジを用いている間に、前述したメンテナンス機構によりノズル５２の吸引やワイピングなどの回復動作を行わせる。あるいはキャリッジ交換作業を行う。実施例３の場合も同様に、ヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂのそれぞれにおいて、支持されるキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂを少なくとも１つ増やして予備キャリッジとしてもよい。
【００９９】
このようにして製造されたカラーフィルタ２（Ｅ1，Ｅ2，Ｅ3，Ｅ4，Ｅ5）が用いられる表示装置としては、一対の基板のうちの一方の基板にカラーフィルタ２を備えた液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置が挙げられる。
【０１００】
（実施形態２）
次に、上記実施形態１の液滴吐出装置１００を用いると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ素子の製造方法について、図１３および図１４を参照して説明する。図１３は有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図、図１４（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。
【０１０１】
＜有機ＥＬ装置＞
図１３に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機発光材料からなる３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの膜形成領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に射出するものである。
【０１０２】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略してもよい。
【０１０３】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画するバンク６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸送層６１７ａ上に積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと電極６１３とが電気的に短絡しないように、電極６１３の周囲を覆っている。
【０１０４】
素子基板６０１は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗなどからなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などからなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１３ではこれらの図示を省略している。
【０１０５】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を射出させることができる。
【０１０６】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ装置６００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液滴吐出装置１００を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、ほぼ一定量の液状体が各発光層形成領域Ａに付与され、発光ムラ、輝度ムラなどの表示不具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。
【０１０７】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１４を参照して説明する。なお、図１４（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１０８】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるようにバンク６１８を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク６１８で区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する成膜工程とを備えている。さらに、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液滴吐出装置１００を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて行う。よって、図３に示したヘッドユニット１０Ａ（１０Ｂ）における液滴吐出ヘッド５０の配置を適用する。
【０１０９】
電極（陽極）形成工程では、図１４（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯなどの透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。
【０１１０】
バンク形成工程では、図１４（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の周囲を覆うようにバンク６１８を形成する。バンク６１８の材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった絶縁性を有する有機材料が好ましい。バンク６１８の形成方法としては、例えば、電極６１３が形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、バンク６１８を形成する方法が挙げられる。そして、表面処理工程へ進む。
【０１１１】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4などのフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなるバンク６１８の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【０１１２】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１４（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図３のヘッドユニット１０Ａ（１０Ｂ）を備えた液滴吐出装置１００と上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて、ほぼ一定量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【０１１３】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料として３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の液状体の吐出工程へ進む。
【０１１４】
液状体の吐出工程では、図１４（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１００を用いて複数の液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する方法としては、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いた。駆動波形（電圧パルス）の設定は、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂごとに行うことが望ましい。すなわち、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが充填される液滴吐出ヘッド５０ごとに駆動波形の設定を行う。そして、乾燥・成膜工程へ進む。
【０１１５】
乾燥・成膜工程では、図１４（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【０１１６】
陰極形成工程では、図１４（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとバンク６１８の表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌなどの金属やＬｉＦなどのフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌなどの膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮなどの保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１１７】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄとして発光層形成領域Ａに付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【０１１８】
上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法によれば、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態１の液滴吐出装置１００を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて液滴を吐出する。したがって、それぞれの発光層形成領域Ａの副走査方向における液滴の配置密度に応じてノズル群が配置され、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが安定的に塗布されている。素子基板６０１が、副走査方向における液滴の配置密度が異なる発光層形成領域Ａを有していても、乾燥・成膜後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。
【０１１９】
また、上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ装置６００を製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラなどが低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラなどが少なく、平面的なサイズが異なる有機ＥＬ装置６００を効率よく製造することができる。
【０１２０】
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１２１】
（変形例１）上記実施形態１の液滴吐出装置１００において、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂに搭載される液滴吐出ヘッド５０の数や配置は、これに限定されない。例えば、図３に示した液滴吐出ヘッド５０の配置をＸ軸方向（副走査方向）に重複してもよい。これにより、１つのキャリッジ１０７Ａ（１０７Ｂ）の描画幅をさらに拡大できる。
【０１２２】
（変形例２）上記実施例２において、主走査方向に並列するキャリッジＡ1，Ａ2とキャリッジＢ1，Ｂ2は、回転機構（図示省略）によりそれぞれのヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂを回転させ、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向の配置ピッチに対して、実質的なノズル５２の間隔を合致させてもよい。これにより、描画範囲Ｃ3の副走査方向の幅が狭くなるものの、より効率的に液滴Ｄを吐出することができる。
【０１２３】
（変形例３）上記実施形態１のカラーフィルタ２において、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの形状とその配置は、これに限定されない。図１５（ａ）〜（ｃ）は、カラーフィルタにおける着色層の配置を示す概略平面図である。上記実施形態では、図１５（ａ）に示すようなストライプ方式の着色層（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の配置とした。例えば、図１５（ｂ）に示したモザイク方式や、図１５（ｃ）に示したデルタ方式の配置においても、上記カラーフィルタ２の製造方法を適用することができる。
また、着色層は３色に限定されず、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色を加えた多色でもよい。
【０１２４】
（変形例４）上記実施形態２の有機ＥＬ装置６００において、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の構成は、これに限定されない。例えば、発光層形成領域Ａには、赤色や白色など単色の発光が得られる発光層Ｌｕを形成してもよい。これによれば、有機ＥＬ装置６００を照明装置として用いることもできる。
また、白色発光させた場合には、封止基板６２０側にカラーフィルタ２を配置することによって、フルカラー表示が可能なトップエミッション型の有機ＥＬ装置６００を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】（ａ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図。
【図６】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図７】（ａ）〜（ｄ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図８】（ａ）は実施例１の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図。
【図９】実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１０】（ａ）は実施例２の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図。
【図１１】実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１２】（ａ）および（ｃ）は実施例３の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図。
【図１３】有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１４】（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１５】（ａ）〜（ｃ）はカラーフィルタにおける着色層の配置を示す概略平面図。
【符号の説明】
【０１２６】
１…基板、２…カラーフィルタ、３…着色層、３ｒ，３ｇ，３ｂ…被吐出部としての膜形成領域、５２…ノズル、５２ｃ…ノズル群としてのノズル列、１００…液滴吐出装置、１０１…第１移動機構としてのワーク移動機構、１０４…ステージ、１０５Ａ，１０５Ｂ…第２移動機構としてのヘッド移動機構、１０７Ａ，１０７Ｂ…キャリッジ、１１０…制御部、６０１…基板としての素子基板、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７…機能層、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…膜形成領域としての発光層形成領域、Ａ1，Ａ2，Ａ3，Ａ4，Ａ5，Ａ6，Ａ7…キャリッジ、Ｂ1，Ｂ2，Ｂ3…キャリッジ、Ｅ1，Ｅ2，Ｅ3，Ｅ4，Ｅ5…カラーフィルタ、Ｐ…基板としてのマザー基板。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置としては、基体を保持するステージと、ノズル列を有する１または複数のノズルを含むヘッド群をそれぞれ保持し、且つ、１つの軸上または平行に配置された複数の軸上を副走査方向に移動する複数の移動手段と、複数の移動手段を独立に駆動すると共に、副走査方向または主走査方向に隣接する移動手段のヘッド群間の相対位置関係を調整してノズルピッチを調整する位置制御手段とを備え、ステージに対してキャリッジを主走査方向に相対移動させてヘッド群で基体の被吐出部に液滴を吐出する液滴吐出装置が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記液滴吐出装置の位置制御手段は、副走査方向のノズルピッチが等間隔となるように、または副走査方向のノズルの線密度が高くなるように副走査方向または主走査方向に隣接する移動手段のヘッド群間の相対位置を調整している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３２４１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記液滴吐出装置を用いた液状体の吐出方法では、位置制御手段による副走査方向または主走査方向に隣接する移動手段のヘッド群間の相対位置の調整後、ノズルピッチが調整されたとしても、１回の主走査における描画範囲内では、液滴がほぼ等間隔で被吐出部に着弾することになる。
したがって、基体上において、被吐出部の主走査方向または副走査方向における配置密度が異なる領域を有する場合は、それぞれの領域において好ましい状態に液滴が着弾しないおそれがあるという課題があった。
上記課題を解決するために、被吐出部の配置密度が異なる領域ごとにノズルピッチを変えた主走査を行う方法が考えられるが、その方法では主走査の回数が増えて生産性が低下するという問題が発生する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例の液滴吐出装置は、複数のノズルからなるノズル群と基板とを相対移動させる主走査の間に前記ノズル群から液状体を液滴として前記基板の被吐出部に吐出する液滴吐出装置であって、前記基板を載置するステージと、前記ステージを前記主走査方向に移動させる第１移動機構と、Ｎは２以上の自然数であって、前記主走査方向に対して直交する副走査方向に前記第１移動機構を跨いで延在する互いに平行なＮ本の第２移動機構と、前記ノズル群が前記副走査方向に配列するように搭載された複数のキャリッジと、前記複数のキャリッジは、Ｎ本の前記第２移動機構において前記副走査方向にそれぞれ独立して移動可能な状態に支持され、前記被吐出部の前記副走査方向における前記液滴の配置密度に応じて、前記複数のキャリッジを前記副走査方向にそれぞれ移動させて前記複数のキャリッジの位置決めを行わせる制御部と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、制御部は、副走査方向に対して互いに平行なＮ本の第２移動機構に支持された複数のキャリッジを、基板上における被吐出部の副走査方向における液滴の配置密度に応じて位置決めして、好ましいノズル群の配置を実現することができる。言い換えれば、基板上に副走査方向における液滴の配置密度が異なる被吐出部が配置されていたとしても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出することが可能な液滴吐出装置を提供することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例の液滴吐出装置において、前記キャリッジごとに搭載された前記ノズル群の前記副走査方向の配置が同一であって、前記制御部は、前記被吐出部のうち前記液滴の配置密度が他の被吐出部に比べて高い被吐出部に対して、前記主走査方向から見たときの前記ノズル群のノズル間隔が１／Ｎとなるように、異なる前記第２移動機構に支持された少なくとも２つのキャリッジを前記副走査方向に移動させて、前記主走査方向に並列するように位置決め動作を行わせることが好ましい。
この構成によれば、主走査において、副走査方向における液滴の配置密度が高い被吐出部に対して、最も好ましいノズル群の配置を実現することができる。したがって、液滴の配置密度が高い被吐出部に対して最も効率よく液滴を吐出することができる。ゆえに、１回の主走査において、より効率的に液滴を被吐出部に吐出可能な高い生産性を有する液滴吐出装置を提供することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例の液滴吐出装置において、Ｍは２以上の自然数であって、Ｎ本の前記第２移動機構のうちの１つに、Ｍ個の前記キャリッジが支持され、前記制御部は、Ｍ個の前記キャリッジに搭載された前記ノズル群によって、前記基板の前記副走査方向の長さに亘って前記液状体を吐出可能となるように当該第２移動機構におけるＭ個の前記キャリッジの位置決めを行わせるとしてもよい。
この構成によれば、Ｎ本のうちの１つの第２移動機構に支持されたＭ個のキャリッジのノズル群で、基板の副走査方向の長さ、すなわち幅に亘って液滴を吐出することができる。したがって、Ｍ個以外の他のキャリッジが他の第２移動機構に支持される。よって、基板の幅に亘って液滴を吐出する主走査と、液滴の配置密度が異なる被吐出部への主走査とを第２移動機構ごとに支持されたキャリッジに配分してほぼ同時に液滴の吐出を行うことができる。ゆえに、主走査の回数をより低減することができる。
【００１１】
［適用例４］上記適用例の液滴吐出装置において、Ｍ個の前記キャリッジが支持される前記第２移動機構は、前記主走査方向において前記主走査を開始する側の最も前記ステージ寄りに配置されているこが好ましい。
この構成によれば、基板の幅に亘って液滴を吐出する主走査における基板とキャリッジとの相対移動の距離、すなわち、主走査のストロークを短くすることができる。
【００１２】
［適用例５］上記適用例の液滴吐出装置において、前記基板の前記副走査方向の長さに亘って前記液状体を吐出可能となるように、Ｎ本の前記第２移動機構に前記複数のキャリッジが配分され支持されているとしてもよい。
この構成によれば、最も少ない数のキャリッジで、基板の幅に亘って液状体を吐出することができる。したがって、装置構成をより簡略化することができる。
【００１３】
［適用例６］上記適用例の液滴吐出装置において、Ｎ本の前記第２移動機構は、前記ステージにおける前記基板の搬入出側に対して反対側に設けられていることが好ましい。
この構成によれば、基板搬送用のロボットなどを用いてステージに基板を載置する際に第２移動機構がじゃまにならず、効率的な基板の搬入出が可能となる。すなわちより高い生産性を有する液滴吐出装置を提供することができる。
【００１４】
［適用例７］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルからなるノズル群と基板とを相対移動させる主走査の間に前記ノズル群から液状体を液滴として前記基板の被吐出部に吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記ノズル群は、前記主走査方向と直交する副走査方向に平行して複数配置されると共に、それぞれ独立して前記副走査方向に移動可能であり、前記吐出工程は、前記被吐出部の前記副走査方向における前記液滴の配置密度に応じて、複数の前記ノズル群を前記副走査方向にそれぞれ移動させて位置決めする位置決め工程を含むことを特徴とする。
【００１５】
この方法によれば、位置決め工程では、基板上の被吐出部の副走査方向における液滴の配置密度に応じて、複数のノズル群をそれぞれ好ましい状態に配置することができる。言い換えれば、基板上に副走査方向における液滴の配置密度が異なる被吐出部が配置されていたとしても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出することが可能な液状体の吐出方法を提供することができる。
【００１６】
［適用例８］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記位置決め工程は、前記被吐出部のうち前記液滴の配置密度が他の被吐出部に比べて高い被吐出部に対して、前記主走査方向から見たときの前記ノズル群のノズル間隔が均等且つ最小となるように、少なくとも２つの前記ノズル群を前記主走査方向に並列させて位置決めすることが好ましい。
この方法によれば、液滴を吐出する主走査において、副走査方向における液滴の配置密度が高い被吐出部に対して、最も好ましい状態でノズル群を配置することができる。したがって、液滴の配置密度が高い被吐出部に対して効率よく液滴を吐出することができる。ゆえに、１回の主走査において、より効率的に液滴を被吐出部に吐出可能な液状体の吐出方法を提供することができる。
【００１７】
［適用例９］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液滴吐出装置を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この方法によれば、上記適用例の液滴吐出装置を用いているので、複数の膜形成領域の副走査方向における液滴の配置密度が異なっていても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出して、高い生産性でカラーフィルタを製造することができる。
【００１９】
［適用例１０］本適用例の他のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この方法によれば、上記適用例の液状体の吐出方法を用いているので、複数の膜形成領域の副走査方向における液滴の配置密度が異なっていても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出して着弾不良を低減し、歩留りよくカラーフィルタを製造することができる。
【００２１】
［適用例１１］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液滴吐出装置を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この方法によれば、上記適用例の液滴吐出装置を用いているので、複数の膜形成領域の副走査方向における液滴の配置密度が異なっていても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出して、高い生産性で有機ＥＬ素子を製造することができる。
【００２３】
［適用例１２］本適用例の他の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２４】
この方法によれば、上記適用例の液状体の吐出方法を用いているので、複数の膜形成領域の副走査方向における液滴の配置密度が異なっていても、それぞれ好ましい着弾密度で液滴を吐出して着弾不良を低減し、歩留りよく有機ＥＬ素子を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
【００２６】
（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態の液滴吐出装置について図１〜図４を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２７】
図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１００は、マザー基板Ｐを載置するステージ１０４と、ステージ１０４を主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させる第１移動機構としてのワーク移動機構１０１と、ワーク移動機構１０１の上方において、主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）にワーク移動機構１０１を跨いで延在する互いに平行な２本の第２移動機構としてのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂとを備えている。
【００２８】
ワーク移動機構１０１は、一対のガイドレール１０２と、一対のガイドレール１０２上を移動する移動台１０３とを有し、ステージ１０４が移動台１０３上に設けられている。
移動台１０３は、内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示省略）により主走査方向に移動する。移動台１０３には、エンコーダ１０９（図４参照）が設けられている。
エンコーダ１０９は、移動台１０３の主走査方向への相対移動に伴って、ガイドレール１０２に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。
ステージ１０４はマザー基板Ｐを吸着固定可能であると共に、回転機構（図示省略）によってマザー基板Ｐ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。なお、エンコーダ１０９の配設は、これに限らず、例えば、移動台１０３を回転軸に沿ってＹ軸方向に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダ１０９を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータなどが挙げられる。
【００２９】
ヘッド移動機構１０５Ａは、一対のガイドレール１０６と、リニアモータなどの駆動源により一対のガイドレール１０６上を移動するキャリッジ移動台１０８Ａとを有し、キャリッジ移動台１０８Ａには、キャリッジ１０７Ａが取り付けられている。
【００３０】
キャリッジ１０７Ａは、後述する液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が下方に向けて搭載されたヘッドユニット１０Ａが取り付けられている。
【００３１】
同様にもう一方のヘッド移動機構１０５Ｂは、一対のガイドレール１０６と、リニアモータなどの駆動源により一対のガイドレール１０６上を移動するキャリッジ移動台１０８Ｂとを有し、キャリッジ移動台１０８Ｂには、キャリッジ１０７Ｂが取り付けられている。
【００３２】
キャリッジ１０７Ｂは、ヘッドユニット１０Ａと同様に液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット１０Ｂが取り付けられている。
【００３３】
なお、各ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂは、搭載された液滴吐出ヘッド５０の相対的な位置を各キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂ間で調整可能な状態で取り付けられており、キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂは、ステージ１０４と対向する平面内においてヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ回転させる回転機構（図示省略）を有している。
【００３４】
各キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂには、搭載された液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示省略）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。
キャリッジ移動台１０８Ａ，１０８Ｂがそれぞれのキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂを副走査方向に移動させて、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂに搭載された液滴吐出ヘッド５０をマザー基板Ｐに対して対向配置する。
【００３５】
液滴吐出装置１００は、上記構成の他にも、キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂに搭載された液滴吐出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構（図示省略）が、各ヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂに沿った位置に配設されている。
また、液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構（図示省略）を備えている。さらに、これらの構成を統括的に制御する制御部１１０を備えている。
【００３６】
図２は、液滴吐出ヘッドを示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図である。
【００３７】
図２に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述した液状体供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバ４８（図４参照）に接続される２連のコネクタ５８が設けられている。
【００３８】
ヘッド本体５６は、圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００３９】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズルプレート５１に配設されている。この場合、ピッチＰ１は、およそ１４１μｍである。よって、ノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。以降説明上、ノズル５２の間隔は、ノズルピッチＰ２とする。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００４０】
液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバ４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。
【００４１】
液滴吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエータとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
【００４２】
図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、マザー基板Ｐに対向する側から見た図である。
【００４３】
図３に示すように、ヘッドユニット１０Ａ（１０Ｂ）には、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００４４】
１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるものを指す。また、説明上、３６０個のノズル５２からなるノズル群５２ｃとして扱うこともある。
【００４５】
この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置されている。
【００４６】
なお、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。
【００４７】
次に液滴吐出装置１００の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置１００の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構１０１、ヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂなどを駆動する各種ドライバを有する駆動部４０と、駆動部４０を含め液滴吐出装置１００を制御する制御部１１０とを備えている。
【００４８】
駆動部４０は、ワーク移動機構１０１およびヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂの各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッド駆動部としてのヘッドドライバ４８とを備えている。この他にも重量計測用ドライバと、メンテナンス用ドライバとを備えているが図示省略した。
【００４９】
制御部１１０は、ＣＰＵ１１１と、ＲＯＭ１１２と、ＲＡＭ１１３と、Ｐ−ＣＯＮ１１４とを備え、これらは互いにバス１１５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ１１４には、上位コンピュータ１１６が接続されている。ＲＯＭ１１２は、ＣＰＵ１１１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００５０】
ＲＡＭ１１３は、マザー基板Ｐに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、マザー基板Ｐおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ａ，５２ｂ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ１１４には、駆動部４０の各種ドライバなどが接続されており、ＣＰＵ１１１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１１４は、上位コンピュータ１１６からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス１１５に取り込むと共に、ＣＰＵ１１１と連動して、ＣＰＵ１１１などからバス１１５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４０に出力する。
【００５１】
そして、ＣＰＵ１１１は、ＲＯＭ１１２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１１４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ１１３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１１４を介して駆動部４０などに各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１００全体を制御している。例えば、ＣＰＵ１１１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構１０１およびヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂを制御して、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂとマザー基板Ｐとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂとマザー基板Ｐとの相対移動に同期して、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂに搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からマザー基板Ｐに液状体を液滴として吐出するようにヘッドドライバ４８に制御信号を送出する。この場合、Ｙ軸方向へのマザー基板Ｐの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｘ軸方向にヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂを移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１００は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのマザー基板Ｐの移動に限らず、マザー基板Ｐを往復させて行うこともできる。
【００５２】
エンコーダ１０９は、ヘッドドライバ４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台１０３を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。
【００５３】
上位コンピュータ１１６は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１００に送出する。また、基板上の被吐出部ごとに必要量の液状体を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、被吐出部における液滴の吐出位置（言い換えれば、マザー基板Ｐとノズル５２との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ（言い換えれば、複数のノズル５２の選択パターン）、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピュータ１１６は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ１１３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００５４】
本実施形態の液滴吐出装置１００は、互いに平行な２つのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂを備えていることを特徴としている。制御部１１０は、それぞれのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂに支持された各キャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂを副走査方向に移動させることにより、マザー基板Ｐにおける被吐出部の副走査方向における液滴の配置密度に応じて、２つのキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂを主走査方向に並列させる位置決め動作を行わせる。これにより、主走査方向から見たときのノズル群の実質的なノズル間隔を好ましい状態に調整して液状体を被吐出部に吐出することが可能である。詳しくは、後述する液状体の吐出方法にて述べる。
【００５５】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、上記液滴吐出装置１００並びに本実施形態の液状体の吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法について、図５〜図１２を参照して説明する。図５（ａ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図である。図６は、カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。図７（ａ）〜（ｄ）は、カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。図８〜図１２は、液状体の吐出方法の実施例を示す概略平面図である。
【００５６】
図５（ａ）および（ｂ）に示すようにカラーフィルタ２は、透明なガラスなどの基板１上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の着色層３を有している。各着色層３は隔壁部４によりマトリクス状に区画されている。本実施形態のカラーフィルタ２は、同色の着色層３が直線的に配列する所謂ストライプ方式のカラーフィルタである。
【００５７】
図５（ｂ）に示すように、隔壁部４は、第１隔壁部４ａと第２隔壁部４ｂとからなる二層構造となっている。第１隔壁部４ａは、例えば、ＣｒやＡｌなどの金属薄膜からなり遮光性を有している。第２隔壁部４ｂは、例えば、樹脂材料からなる。なお、二層構造に限定されず、遮光性を有する部材を含む樹脂材料により隔壁部４を構成する一層構造でもよい。
【００５８】
着色層３は、着色材料を含む透光性樹脂材料からなる。本実施形態では、このようなカラーフィルタ２を液滴吐出法（インクジェット法）を用いて製造する。
【００５９】
図６に示すように、カラーフィルタ２の製造方法は、隔壁部４を形成する隔壁部形成工程（ステップＳ１）と、隔壁部４が形成された基板１の表面を表面処理する表面処理工程（ステップＳ２）と、着色層形成材料を含む液状体を吐出する吐出工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥させて着色層３を形成する乾燥工程（ステップＳ４）とを備えている。
【００６０】
図６のステップＳ１では、まず、基板１の表面にＣｒやＡｌなどの金属薄膜を成膜する。成膜方法としては真空蒸着法、スパッタ法などが挙げられる。膜厚は、例えば遮光性が得られるように０．１μｍ程度とする。これをフォトリソグラフィ法によりパターニングして開口させた第１隔壁部４ａを形成する。
次に、第１隔壁部４ａを覆って感光性樹脂を厚み２μｍ程度に塗布し、同じくフォトリソグラフィ法によりパターニングして、第１隔壁部４ａ上に第２隔壁部４ｂを形成する。これにより図７（ａ）に示すように基板１上に開口した被吐出部としての矩形状の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂを形成する。そして、ステップＳ２へ進む。
【００６１】
図６のステップＳ２では、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに着弾して濡れ拡がるように、基板１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部４ｂに着弾したとしても膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ内に収まるように、第２隔壁部４ｂの少なくとも頭頂部を撥液処理する。
【００６２】
表面処理方法としては、隔壁部４が形成された基板１に対して、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂが親液処理され、その後感光性樹脂からなる第２隔壁部４ｂの表面（壁面を含む）が撥液処理される。なお、第２隔壁部４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。そして、ステップＳ３へ進む。
【００６３】
図６のステップＳ３では、液滴吐出装置１００のステージ１０４に表面処理された基板１を載置する。異なる着色層形成材料を含む３色の液状体をそれぞれ異なる液滴吐出ヘッド５０に充填し、当該液滴吐出ヘッド５０をヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂに装備する。 そして、図７（ｂ）および（ｃ）に示すように、基板１と液滴吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動に同期して、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から３色の液状体のそれぞれを液滴Ｄとして所望の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出する。膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出される液状体の塗布量は、あらかじめ膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに選択されるノズル５２の選択パターンと液滴Ｄの吐出数などが主走査ごとに設定された吐出データに基づいて、制御部１１０のＣＰＵ１１１から適正な制御信号がヘッドドライバ４８に送られて制御される。これにより、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに塗布される。より詳しい液状体の吐出方法は後述する実施例にて説明する。そして、ステップＳ４へ進む。
【００６４】
図６のステップＳ４では、図７（ｄ）に示すように、基板１に吐出された液状体から溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層３を形成する。本実施形態では、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置に基板１をセットして減圧乾燥し、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色の着色層３を形成した。なお、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。
先の液状体の吐出工程（ステップＳ３）において、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに無駄なく塗布されているので、ほぼ一定の膜厚を有する着色層３を形成することができる。なお、着色層３の膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体を対応する膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出すればよい。
着色層３が形成された基板１の表面に凹凸が生じる場合には、隔壁部４と各着色層３とを覆って透光性の例えばアクリル系樹脂材料からなる平坦化層を形成してもよい。
【００６５】
カラーフィルタ２が形成される基板１の大きさは、これを用いる表示装置の大きさに寄る。また、同一の大きさの表示装置であっても画素が高密度に配置されている場合、対応するカラーフィルタ２の着色層３の配置も高密度な配置が要求される。
【００６６】
カラーフィルタ２を有する基板１をより効率的に生産する方法として、一般的には基板１よりも平面的なサイズが大きいマザー基板Ｐに多面取りする方法が採用されている。だが、マザー基板Ｐのサイズによっては、面積的に効率よく多面取りが可能な基板１の効率サイズが限定される。この効率サイズ以外の基板１をマザー基板Ｐに多面取りした場合、無駄な領域が発生してしまう。これを避けるため、平面的なサイズが異なる複数種のカラーフィルタ２を組み合わせてマザー基板Ｐから多面取りする方法が挙げられる。
【００６７】
本実施形態の液滴吐出装置１００並びに液状体の吐出方法を用いたカラーフィルタ２の製造方法は、特に上記後者の多面取りを行う場合、高い生産性でカラーフィルタ２を製造することが可能である。以降、実施例１〜３に基づいて詳細に説明する。
【００６８】
（実施例１）
図８（ａ）は実施例１の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図である。図９は、実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。
【００６９】
図８（ａ）に示すように、実施例１は、マザー基板Ｐに、カラーフィルタＥ1と、それよりも平面的なサイズが小さいカラーフィルタＥ2とを多面取りする例である。カラーフィルタＥ1は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにおいて所定の間隔を置いて格子状に４つ配置されている。残りのマザー基板Ｐの空きスペースにカラーフィルタＥ2がＹ軸方向に間隔を置いて４つ配置されている。
図８（ｂ）に示すように、カラーフィルタＥ1とカラーフィルタＥ2とにおける相対的な配置は、矩形状の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の長辺が同じ方向を向いている。言い換えれば膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'のストライプ方向が同じである。
カラーフィルタＥ1とカラーフィルタＥ2とにおいて着色層３の数を同数とすると、単位面積当たりの被吐出部としての膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の配置密度は、カラーフィルタＥ1に比べてカラーフィルタＥ2の方が高くなる。言い換えればカラーフィルタＥ2の方が高精細となる。
【００７０】
図８（ａ）に示すように、液滴吐出装置１００は、２つのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂのうち、一方のヘッド移動機構１０５Ａに複数（７つ）のキャリッジ１０７Ａ（キャリッジＡ1〜Ａ7）が支持され、他方のヘッド移動機構１０５Ｂに１つのキャリッジ１０７Ｂ（キャリッジＢ1）が支持されている。また、同図（ａ）において、各キャリッジＡ1〜Ａ7，Ｂ1を示す四角形のＸ軸方向の幅は、キャリッジごとの液状体の描画幅を示すものである。
ステージ１０４には、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂのストライプ方向が主走査方向（Ｙ軸方向）と直交するように、マザー基板Ｐが載置され位置決めされる。
【００７１】
制御部１１０は、ヘッド移動機構１０５Ａの７つのキャリッジＡ1〜Ａ7を均等な間隔で副走査方向に位置決めする動作を行わせる。これにより、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出可能とする。この場合、キャリッジＡ3〜Ａ7を用いればカラーフィルタＥ1を吐出描画可能である。キャリッジＡ2を用いればカラーフィルタＥ2を吐出描画可能である。
【００７２】
また、制御部１１０は、上記マザー基板Ｐにおける膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向（Ｘ軸方向）における液滴Ｄの配置密度に対応して、先に位置決めされたキャリッジＡ2に対して主走査方向に並列するように、ヘッド移動機構１０５ＢのキャリッジＢ1を副走査方向に位置決めする動作を行わせる。
【００７３】
具体的には、図９に示すように、主走査方向（Ｙ軸方向）から見たときのノズル５２の間隔が均等且つ最小となるように、キャリッジＡ2に対してキャリッジＢ1を副走査方向に位置決めする。前述したように、ノズル群５２ｃのノズルピッチＰ２がおよそ７０．５μｍである。したがって、このようなキャリッジＡ2とキャリッジＢ1の相対的な配置によれば、主走査における描画範囲Ｃ2（図８（ａ）参照）の実質的なノズル５２の間隔は、ノズルピッチＰ２の半分のおよそ３５．２５μｍとなる。
【００７４】
例えば、ヘッド移動機構１０５をＮ本として同様にＮ個のキャリッジ１０７を主走査方向に並列させれば、実質的なノズル５２の間隔をノズルピッチＰ２の１／Ｎにすることができる。すなわち、個々のキャリッジ１０７における同種の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５０の配置を変えることなく、主走査において、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂおよび膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向における液滴の配置密度に応じた好ましいノズル５２の間隔を実現することができる。
【００７５】
図９に示すように、カラーフィルタＥ2を吐出描画可能なキャリッジＡ2を用いて主走査を行う場合、平面的なサイズが小さい膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に掛かるノズル５２の数は、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに比べて少ない。キャリッジＡ2にキャリッジＢ1を並列させることにより、平面的なサイズが小さい、言い換えれば副走査方向における液滴Ｄの配置密度が高い膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に対して主走査によって掛かるノズル５２の数を増やすことができる。
【００７６】
例えば、赤（Ｒ）の着色層形成材料を含む液状体が充填された液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から液滴Ｄを吐出すれば、図９に示したように、膜形成領域３ｒと膜形成領域３ｒ'とに効率よく液滴Ｄを着弾させることができる。主走査方向における液滴Ｄの着弾数すなわち吐出数は、液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａ，５２ｂごとに、エンコーダ１０９が生成する吐出タイミング信号を選択することにより、適宜設定することができる。
緑（Ｇ）の液状体、青（Ｂ）の液状体を充填したそれぞれの液滴吐出ヘッド５０から同様にして液滴Ｄを吐出すれば、膜形成領域３ｇ，３ｂと膜形成領域３ｇ'，３ｂ'とに効率よく液滴Ｄを着弾させることができることは言うまでもない。
【００７７】
このような液状体の吐出方法によれば、図８（ａ）に示すように、キャリッジＡ3〜Ａ7の描画範囲Ｃ1における液滴Ｄの着弾密度に対して、キャリッジＡ2とキャリッジＢ1とによる描画範囲Ｃ2の液滴Ｄの着弾密度が副走査方向において向上する。よって、キャリッジＡ2〜Ａ7を用いて液状体を吐出する場合に比べて、各膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に必要量の液状体を液滴Ｄとして吐出する主走査の回数を低減することができる。ゆえに、高い生産性でカラーフィルタＥ1，Ｅ2を製造することができる。
【００７８】
なお、１つのキャリッジの描画幅は、図３に示したように、同種の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５０（言い換えればノズル群）の配置に寄る。本実施形態では、当該描画幅は、Ｌ1である。キャリッジを共用する観点からすれば、マザー基板ＰにおけるカラーフィルタＥ1，Ｅ2の配置に都度対応して液滴吐出ヘッド５０の配置を変えることは考え難い。したがって、実際の液状体の吐出工程においては、カラーフィルタＥ1，Ｅ2の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向における液滴Ｄの配置密度に応じて、上記のように一旦位置決めされたキャリッジＡ1〜Ａ7およびキャリッジＢ1の相対的な配置を維持してキャリッジ全体を副走査する改行動作と、主走査とを組み合わせて液滴Ｄの吐出を行うものである。
【００７９】
（実施例２）
図１０（ａ）は実施例２の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図である。図１１は、実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。
【００８０】
図１０（ａ）に示すように、実施例２は、マザー基板Ｐに、カラーフィルタＥ1と、それよりも平面的なサイズが小さいカラーフィルタＥ3とを多面取りする例である。カラーフィルタＥ1は、実施例１と同様にＸ軸方向とＹ軸方向とにおいて所定の間隔を置いて格子状に４つ配置されている。残りのマザー基板Ｐの空きスペースにカラーフィルタＥ3がＹ軸方向に間隔を置いて６つ配置されている。
【００８１】
実施例２が実施例１に対して異なる点は、図１０（ｂ）に示すように、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂと膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'のストライプ方向が直交するように、カラーフィルタＥ1とカラーフィルタＥ3とがマザー基板Ｐに配置されていることである。このような多面取りは、主走査におけるノズル５２の使用率を低下させてしまう。
【００８２】
そこで、実施例２における液滴吐出装置１００の構成としては、図１０（ａ）に示すように、ヘッド移動機構１０５Ｂに２つのキャリッジＢ1，Ｂ2を支持させる。制御部１１０は、位置決めされたキャリッジＡ1に対して主走査方向に並列するように、キャリッジＢ1を副走査方向に位置決めする動作を行わせる。同様に、キャリッジＡ2に対して主走査方向に並列するように、キャリッジＢ2を副走査方向に位置決めする動作を行わせる。主走査方向（Ｙ軸方向）から見たときのノズル５２の間隔が均等且つ最小となるように位置決めする点は、実施例１と同じである。
【００８３】
図１１に示すように、キャリッジＡ2を用いて主走査を行う場合、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに対して配列方向が直交する膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に掛かるノズル５２の数は、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに比べて極めて少ない。キャリッジＡ2にキャリッジＢ2を並列させることにより、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に対して主走査によって掛かるノズル５２の数を増やすことができる。なお、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の大きさは、ノズル５２の配置ピッチを基準にして図示した。
【００８４】
例えば、赤（Ｒ）の液状体が充填された液滴吐出ヘッド５０のノズル群５２ｃから液滴Ｄを吐出する場合、膜形成領域３ｒ'には、キャリッジＡ2のノズル群５２ｃのうち１つのノズル５２だけが掛かるが、キャリッジＢ2のノズル群５２ｃのうちからも１つのノズル５２が掛かるので合計２つのノズル５２によって１つの膜形成領域３ｒ'を吐出描画可能となる。よって、効率よく赤（Ｒ）の液滴Ｄを吐出することができる。膜形成領域３ｇ'，３ｂ'においても同様である。
【００８５】
このような液状体の吐出方法によれば、図１０（ａ）に示すように、キャリッジＡ3〜Ａ7の描画範囲Ｃ1における液滴Ｄの着弾密度に対して、キャリッジＡ1とキャリッジＢ1並びにキャリッジＡ2とキャリッジＢ2による描画範囲Ｃ3の液滴Ｄの着弾密度を副走査方向において向上させ、高い生産性でカラーフィルタＥ1，Ｅ3を製造することができる。
【００８６】
すなわち、ヘッド移動機構１０５Ｂが支持するキャリッジ数を変えることにより、マザー基板Ｐにおけるカラーフィルタ２の多面取りの配置に応じて、好適なノズル５２の間隔を実現することができる。
【００８７】
（実施例３）
図１２（ａ）および（ｃ）は、実施例３の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図である。
【００８８】
図１２（ａ）に示すように、実施例３は、マザー基板Ｐに、カラーフィルタＥ4と、それよりも平面的なサイズが小さいカラーフィルタＥ5とを多面取りする例である。実施例１や実施例２と異なる点は、カラーフィルタＥ4が副走査方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて２つ配置され、副走査方向における無駄なスペースはない。カラーフィルタＥ5は、主走査方向（Ｙ軸方向）において空いたスペースに、副走査方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて４つ配置されている。
【００８９】
図１２（ｂ）に示すように、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂと膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'のストライプ方向が同方向となるように、カラーフィルタＥ4とカラーフィルタＥ5とが多面取りされている。
【００９０】
また、実施例３の液滴吐出装置１００の構成としては、ヘッド移動機構１０５Ａに３つのキャリッジＡ1〜Ａ3が支持され、同じくヘッド移動機構１０５Ｂに３つのキャリッジＢ1〜Ｂ3が支持されていることを特徴とする。
【００９１】
図１２（ａ）に示すように、制御部１１０は、キャリッジＡ1〜Ａ3とキャリッジＢ1〜Ｂ3とが主走査方向（Ｙ軸方向）から見て重ならないように、且つ副走査方向において均等な間隔となるように位置決めを行わせる。これにより、最も少ないキャリッジ数で、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出可能なキャリッジ配置とする。
【００９２】
また、図１２（ｃ）に示すように、制御部１１０は、キャリッジＡ1〜Ａ3とキャリッジＢ1〜Ｂ3とが主走査方向（Ｙ軸方向）において並列するように、且つ主走査方向（Ｙ軸方向）から見たときのノズル５２の間隔が均等且つ最小となるように位置決め動作を行わせる。これにより、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向における液滴Ｄの配置密度に対応して、主走査において好ましいノズル５２の間隔を実現する。
【００９３】
実施例３によれば、様々な液状体の吐出方法を実現することができる。例えば、図１２（ａ）に示したキャリッジ配置で描画範囲Ｃ4を確保して、まず２つのカラーフィルタＥ4を吐出描画する主走査を行う。続いて、図１２（ｃ）に示したキャリッジ配置で描画範囲Ｃ5を確保して、２つのカラーフィルタＥ5を吐出描画し、その後、キャリッジの相対的な配置を維持した状態でキャリッジ全体を副走査して、残り２つのカラーフィルタＥ5を吐出描画する主走査を行う。
この場合、カラーフィルタＥ4を吐出描画する主走査において、カラーフィルタＥ5の膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に掛かるノズル５２から必要量の液状体の一部を液滴Ｄとして先行吐出させてもよい。
【００９４】
あるいは、図１２（ｃ）に示したキャリッジ配置で１つのカラーフィルタＥ4と２つのカラーフィルタＥ5とを吐出描画する主走査を行い、その後、キャリッジＡ1，Ａ2，Ａ3，Ｂ1，Ｂ2，Ｂ3の相対的な配置を維持した状態でキャリッジ全体を副走査して、残り１つのカラーフィルタＥ4と２つのカラーフィルタＥ5とを吐出描画する主走査を行ってもよい。
【００９５】
実施例３の液滴吐出装置１００の構成並びに液状体の吐出方法によれば、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出可能なキャリッジ数を２つのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂに配分して支持させ、最も少ないキャリッジ数でマザー基板Ｐに多面取りされたカラーフィルタＥ4，Ｅ5を吐出描画することができる。見方を変えれば、１種のカラーフィルタ２が多面取りされたマザー基板Ｐの場合には、図１２（ａ）のようなキャリッジ配置で対応することができる。複数種のカラーフィルタ２が多面取りされたマザー基板Ｐの場合には、ヘッド移動機構１０５Ａに支持されたキャリッジＡ1〜Ａ3と、ヘッド移動機構１０５Ｂに支持されたキャリッジＢ1〜Ｂ3との副走査方向における相対的な配置を変えることによって、吐出描画に適したノズル５２の間隔を実現することができる。
【００９６】
実施例１および実施例２の液滴吐出装置１００において、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出可能なキャリッジＡ1〜Ａ7を支持するヘッド移動機構１０５Ａは、マザー基板Ｐを載置するステージ１０４の主走査の開始側に最も近い位置に設けることが好ましい。
これによれば、マザー基板Ｐの副走査方向の幅に亘って液状体を吐出描画する主走査の相対移動におけるストロークを小さくすることができ、カラーフィルタ製造における生産性が向上する。
【００９７】
実施例１〜実施例３の液滴吐出装置１００において、２つのヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂは、ステージ１０４におけるマザー基板Ｐを搬入出する側に対して反対側に位置するように配置することが好ましい。
これによれば、マザー基板Ｐの搬入出にじゃまにならず、スムーズにマザー基板Ｐを搬入出することができる。
【００９８】
実施例１および実施例２の液滴吐出装置１００において、ヘッド移動機構１０５Ｂに支持されるキャリッジ１０７Ｂを少なくとも１つ増やせば、キャリッジＡ1〜Ａ7およびキャリッジＢ1またはキャリッジＢ2に吐出不具合が生じたときに、増やしたキャリッジ１０７Ｂを予備キャリッジとして用いることができる。すなわち、キャリッジの吐出不具合による液滴吐出装置１００の停止で稼働率が低下することを防止できる。吐出不具合が生じたキャリッジは、予備キャリッジを用いている間に、前述したメンテナンス機構によりノズル５２の吸引やワイピングなどの回復動作を行わせる。あるいはキャリッジ交換作業を行う。実施例３の場合も同様に、ヘッド移動機構１０５Ａ，１０５Ｂのそれぞれにおいて、支持されるキャリッジ１０７Ａ，１０７Ｂを少なくとも１つ増やして予備キャリッジとしてもよい。
【００９９】
このようにして製造されたカラーフィルタ２（Ｅ1，Ｅ2，Ｅ3，Ｅ4，Ｅ5）が用いられる表示装置としては、一対の基板のうちの一方の基板にカラーフィルタ２を備えた液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置が挙げられる。
【０１００】
（実施形態２）
次に、上記実施形態１の液滴吐出装置１００を用いると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ素子の製造方法について、図１３および図１４を参照して説明する。図１３は有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図、図１４（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。
【０１０１】
＜有機ＥＬ装置＞
図１３に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機発光材料からなる３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの膜形成領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に射出するものである。
【０１０２】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略してもよい。
【０１０３】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画するバンク６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸送層６１７ａ上に積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと電極６１３とが電気的に短絡しないように、電極６１３の周囲を覆っている。
【０１０４】
素子基板６０１は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗなどからなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などからなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１３ではこれらの図示を省略している。
【０１０５】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を射出させることができる。
【０１０６】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ装置６００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液滴吐出装置１００を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、ほぼ一定量の液状体が各発光層形成領域Ａに付与され、発光ムラ、輝度ムラなどの表示不具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。
【０１０７】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１４を参照して説明する。なお、図１４（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１０８】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるようにバンク６１８を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク６１８で区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する成膜工程とを備えている。さらに、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液滴吐出装置１００を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて行う。よって、図３に示したヘッドユニット１０Ａ（１０Ｂ）における液滴吐出ヘッド５０の配置を適用する。
【０１０９】
電極（陽極）形成工程では、図１４（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯなどの透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。
【０１１０】
バンク形成工程では、図１４（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の周囲を覆うようにバンク６１８を形成する。バンク６１８の材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった絶縁性を有する有機材料が好ましい。バンク６１８の形成方法としては、例えば、電極６１３が形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、バンク６１８を形成する方法が挙げられる。そして、表面処理工程へ進む。
【０１１１】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4などのフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなるバンク６１８の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【０１１２】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１４（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図３のヘッドユニット１０Ａ（１０Ｂ）を備えた液滴吐出装置１００と上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて、ほぼ一定量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【０１１３】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料として３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の液状体の吐出工程へ進む。
【０１１４】
液状体の吐出工程では、図１４（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１００を用いて複数の液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する方法としては、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いた。駆動波形（電圧パルス）の設定は、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂごとに行うことが望ましい。すなわち、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが充填される液滴吐出ヘッド５０ごとに駆動波形の設定を行う。そして、乾燥・成膜工程へ進む。
【０１１５】
乾燥・成膜工程では、図１４（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【０１１６】
陰極形成工程では、図１４（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとバンク６１８の表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌなどの金属やＬｉＦなどのフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌなどの膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮなどの保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１１７】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄとして発光層形成領域Ａに付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【０１１８】
上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法によれば、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態１の液滴吐出装置１００を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて液滴を吐出する。したがって、それぞれの発光層形成領域Ａの副走査方向における液滴の配置密度に応じてノズル群が配置され、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが安定的に塗布されている。素子基板６０１が、副走査方向における液滴の配置密度が異なる発光層形成領域Ａを有していても、乾燥・成膜後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。
【０１１９】
また、上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ装置６００を製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラなどが低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラなどが少なく、平面的なサイズが異なる有機ＥＬ装置６００を効率よく製造することができる。
【０１２０】
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１２１】
（変形例１）上記実施形態１の液滴吐出装置１００において、ヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂに搭載される液滴吐出ヘッド５０の数や配置は、これに限定されない。例えば、図３に示した液滴吐出ヘッド５０の配置をＸ軸方向（副走査方向）に重複してもよい。これにより、１つのキャリッジ１０７Ａ（１０７Ｂ）の描画幅をさらに拡大できる。
【０１２２】
（変形例２）上記実施例２において、主走査方向に並列するキャリッジＡ1，Ａ2とキャリッジＢ1，Ｂ2は、回転機構（図示省略）によりそれぞれのヘッドユニット１０Ａ，１０Ｂを回転させ、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向の配置ピッチに対して、実質的なノズル５２の間隔を合致させてもよい。これにより、描画範囲Ｃ3の副走査方向の幅が狭くなるものの、より効率的に液滴Ｄを吐出することができる。
【０１２３】
（変形例３）上記実施形態１のカラーフィルタ２において、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの形状とその配置は、これに限定されない。図１５（ａ）〜（ｃ）は、カラーフィルタにおける着色層の配置を示す概略平面図である。上記実施形態では、図１５（ａ）に示すようなストライプ方式の着色層（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の配置とした。例えば、図１５（ｂ）に示したモザイク方式や、図１５（ｃ）に示したデルタ方式の配置においても、上記カラーフィルタ２の製造方法を適用することができる。
また、着色層は３色に限定されず、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色を加えた多色でもよい。
【０１２４】
（変形例４）上記実施形態２の有機ＥＬ装置６００において、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の構成は、これに限定されない。例えば、発光層形成領域Ａには、赤色や白色など単色の発光が得られる発光層Ｌｕを形成してもよい。これによれば、有機ＥＬ装置６００を照明装置として用いることもできる。
また、白色発光させた場合には、封止基板６２０側にカラーフィルタ２を配置することによって、フルカラー表示が可能なトップエミッション型の有機ＥＬ装置６００を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】（ａ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図。
【図６】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図７】（ａ）〜（ｄ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図８】（ａ）は実施例１の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図。
【図９】実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１０】（ａ）は実施例２の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図。
【図１１】実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１２】（ａ）および（ｃ）は実施例３の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図、（ｂ）は膜形成領域の配置を示す概略平面図。
【図１３】有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１４】（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１５】（ａ）〜（ｃ）はカラーフィルタにおける着色層の配置を示す概略平面図。
【符号の説明】
【０１２６】
１…基板、２…カラーフィルタ、３…着色層、３ｒ，３ｇ，３ｂ…被吐出部としての膜形成領域、５２…ノズル、５２ｃ…ノズル群としてのノズル列、１００…液滴吐出装置、１０１…第１移動機構としてのワーク移動機構、１０４…ステージ、１０５Ａ，１０５Ｂ…第２移動機構としてのヘッド移動機構、１０７Ａ，１０７Ｂ…キャリッジ、１１０…制御部、６０１…基板としての素子基板、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７…機能層、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…膜形成領域としての発光層形成領域、Ａ1，Ａ2，Ａ3，Ａ4，Ａ5，Ａ6，Ａ7…キャリッジ、Ｂ1，Ｂ2，Ｂ3…キャリッジ、Ｅ1，Ｅ2，Ｅ3，Ｅ4，Ｅ5…カラーフィルタ、Ｐ…基板としてのマザー基板。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルからなるノズル群と基板とを相対移動させる主走査の間に前記ノズル群から液状体を液滴として前記基板の被吐出部に吐出する液滴吐出装置であって、
前記基板を載置するステージと、
前記ステージを前記主走査方向に移動させる第１移動機構と、
Ｎは２以上の自然数であって、前記主走査方向に対して直交する副走査方向に前記第１移動機構を跨いで延在する互いに平行なＮ本の第２移動機構と、
前記ノズル群が前記副走査方向に配列するように搭載された複数のキャリッジと、
前記複数のキャリッジは、Ｎ本の前記第２移動機構において前記副走査方向にそれぞれ独立して移動可能な状態に支持され、
前記被吐出部の前記副走査方向における前記液滴の配置密度に応じて、前記複数のキャリッジを前記副走査方向にそれぞれ移動させて前記複数のキャリッジの位置決めを行わせる制御部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記キャリッジごとに搭載された前記ノズル群の前記副走査方向の配置が同一であって、
前記制御部は、前記被吐出部のうち前記液滴の配置密度が他の被吐出部に比べて高い被吐出部に対して、前記主走査方向から見たときの前記ノズル群のノズル間隔が１／Ｎとなるように、異なる前記第２移動機構に支持された少なくとも２つのキャリッジを前記副走査方向に移動させて、前記主走査方向に並列するように位置決め動作を行わせることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
Ｍは２以上の自然数であって、Ｎ本の前記第２移動機構のうちの１つに、Ｍ個の前記キャリッジが支持され、
前記制御部は、Ｍ個の前記キャリッジに搭載された前記ノズル群によって、前記基板の前記副走査方向の長さに亘って前記液状体を吐出可能となるように当該第２移動機構におけるＭ個の前記キャリッジの位置決めを行わせることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
Ｍ個の前記キャリッジが支持される前記第２移動機構は、前記主走査方向において前記主走査を開始する側の最も前記ステージ寄りに配置されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記基板の前記副走査方向の長さに亘って前記液状体を吐出可能となるように、Ｎ本の前記第２移動機構に前記複数のキャリッジが配分され支持されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
Ｎ本の前記第２移動機構は、前記ステージにおける前記基板の搬入出側に対して反対側に設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
複数のノズルからなるノズル群と基板とを相対移動させる主走査の間に前記ノズル群から液状体を液滴として前記基板の被吐出部に吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記ノズル群は、前記主走査方向に直交する副走査方向に平行して複数配置されると共に、それぞれ独立して前記副走査方向に移動可能であり、
前記吐出工程は、前記被吐出部の前記副走査方向における前記液滴の配置密度に応じて、複数の前記ノズル群を前記副走査方向にそれぞれ移動させて位置決めする位置決め工程を含むことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項８】
前記位置決め工程は、前記基板の前記被吐出部のうち前記液滴の配置密度が他の被吐出部に比べて高い被吐出部に対して、前記主走査方向から見たときの前記ノズル群のノズル間隔が均等且つ最小となるように、少なくとも２つの前記ノズル群を前記主走査方向に並列させて位置決めすることを特徴とする請求項７に記載の液状体の吐出方法。
【請求項９】
基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項７または８に記載の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１２】
基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項７または８に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１】
複数のノズルからなるノズル群と基板とを相対移動させる主走査の間に前記ノズル群から液状体を液滴として前記基板の被吐出部に吐出する液滴吐出装置であって、
前記基板を載置するステージと、
前記ステージを前記主走査方向に移動させる第１移動機構と、
Ｎは２以上の自然数であって、前記主走査方向に対して直交する副走査方向に前記第１移動機構を跨いで延在する互いに平行なＮ本の第２移動機構と、
前記ノズル群が前記副走査方向に配列するように搭載された複数のキャリッジと、
前記複数のキャリッジは、Ｎ本の前記第２移動機構において前記副走査方向にそれぞれ独立して移動可能な状態に支持され、
前記被吐出部の前記副走査方向における前記液滴の配置密度に応じて、前記複数のキャリッジを前記副走査方向にそれぞれ移動させて前記複数のキャリッジの位置決めを行わせる制御部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記キャリッジごとに搭載された前記ノズル群の前記副走査方向の配置が同一であって、
前記制御部は、前記被吐出部のうち前記液滴の配置密度が他の被吐出部に比べて高い被吐出部に対して、前記主走査方向から見たときの前記ノズル群のノズル間隔が１／Ｎとなるように、異なる前記第２移動機構に支持された少なくとも２つのキャリッジを前記副走査方向に移動させて、前記主走査方向に並列するように位置決め動作を行わせることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
Ｍは２以上の自然数であって、Ｎ本の前記第２移動機構のうちの１つに、Ｍ個の前記キャリッジが支持され、
前記制御部は、Ｍ個の前記キャリッジに搭載された前記ノズル群によって、前記基板の前記副走査方向の長さに亘って前記液状体を吐出可能となるように当該第２移動機構におけるＭ個の前記キャリッジの位置決めを行わせることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
Ｍ個の前記キャリッジが支持される前記第２移動機構は、前記主走査方向において前記主走査を開始する側の最も前記ステージ寄りに配置されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記基板の前記副走査方向の長さに亘って前記液状体を吐出可能となるように、Ｎ本の前記第２移動機構に前記複数のキャリッジが配分され支持されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
Ｎ本の前記第２移動機構は、前記ステージにおける前記基板の搬入出側に対して反対側に設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
複数のノズルからなるノズル群と基板とを相対移動させる主走査の間に前記ノズル群から液状体を液滴として前記基板の被吐出部に吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記ノズル群は、前記主走査方向に直交する副走査方向に平行して複数配置されると共に、それぞれ独立して前記副走査方向に移動可能であり、
前記吐出工程は、前記被吐出部の前記副走査方向における前記液滴の配置密度に応じて、複数の前記ノズル群を前記副走査方向にそれぞれ移動させて位置決めする位置決め工程を含むことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項８】
前記位置決め工程は、前記基板の前記被吐出部のうち前記液滴の配置密度が他の被吐出部に比べて高い被吐出部に対して、前記主走査方向から見たときの前記ノズル群のノズル間隔が均等且つ最小となるように、少なくとも２つの前記ノズル群を前記主走査方向に並列させて位置決めすることを特徴とする請求項７に記載の液状体の吐出方法。
【請求項９】
基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項７または８に記載の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１２】
基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項７または８に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２００９−１９８８５７（Ｐ２００９−１９８８５７Ａ）
【公開日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−４１０７２（Ｐ２００８−４１０７２）
【出願日】平成２０年２月２２日（２００８．２．２２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年２月２２日（２００８．２．２２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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