複合型光学素子および光学系
【課題】ガラスレンズ等のガラス基体に樹脂層を設けて形成される複合型光学素子において、ガラス基体と樹脂層の屈折率の差から生じる両者の界面による反射を防止もしくは軽減することを課題とする。
【解決手段】
ガラス基体に樹脂層を積層してなる複合型光学素子の、ガラス基体２０と樹脂層３０との界面の少なくとも一部に、反射防止機能を持つ周期的な微細構造４０を有することで、ガラスと樹脂の界面における反射を軽減あるいは防止する。
【解決手段】
ガラス基体に樹脂層を積層してなる複合型光学素子の、ガラス基体２０と樹脂層３０との界面の少なくとも一部に、反射防止機能を持つ周期的な微細構造４０を有することで、ガラスと樹脂の界面における反射を軽減あるいは防止する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
複合型光学素子および光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基体の表面に樹脂層を積層してなる光学素子が知られている。例えば、ガラス基体としての球面ガラスレンズのレンズ面に樹脂層を積層し、樹脂層の表面に非球面形状を形成してなる樹脂接合型非球面レンズ（所謂ハイブリッドレンズ）等である（特許文献１、２）。このようなハイブリッドレンズは、カメラレンズ、レーザプリンタや光プロッタ等の画像形成装置における走査レンズ、液晶プロジェクタにおける投影レンズ、ＣＤ／ＤＶＤ光ディスクのピックアップ等の光ピックアップレンズ等として広く用いられている。
【０００３】
ハイブリッドレンズは「バルクとして使用するガラス」が熱的安定性や複屈折に優れ、樹脂表面層は非球面形状の形成が容易であるので、ガラスレンズの持つ耐環境性と非球面の持つ高い光学特性とを供えた非球面レンズを低コストで製造できる。
【０００４】
しかし反面、バルクとして使用するガラスと樹脂とでは、樹脂の屈折率がガラスの屈折率よりも１０％以上も異なることが多く、このような屈折率差に起因して、ガラス表面と樹脂層との境界面での反射が問題となる。
【０００５】
例えば、レーザプリンタで用いられる走査レンズにハイブリッドレンズを用いた場合、樹脂層とガラスレンズ表面の境界面で反射が生じると、反射光が回転多面鏡で再度反射されてハイブリッドレンズを介して感光体上に到達し、静止ゴーストと呼ばれるスジ状の異常画像を発生する不具合がある。液晶プロジェクタにハイブリッドレンズを用いた場合にも、上記境界面での反射は投影画像に対するノイズ成分となって投影画像を劣化させるし、光ピックアップレンズにハイブリッドレンズを用いた場合には上記境界面での反射が再生信号や制御信号のＳ／Ｎ比を低下させる原因となる。
【０００６】
単独のガラスレンズのガラス表面における反射（空気とガラスとの境界面での反射）を防止する方法としては、従来から多層膜による反射防止層を形成する方法や、ガラス表面に微小な錐体による凹凸形状を設ける構成が知られている（特許文献３）。
【０００７】
反射防止構造を必要とする光学素子は、上記ハイブリッドレンズのほかにも平行平板ガラスの表面に樹脂層を積相した導光板なども考えられ、これらにおいても、ガラス表面と樹脂層との境界面における反射の防止が重要な意義を持つ。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−１８０６０２
【特許文献２】特開２００５−１３１９
【特許文献３】特開２００４−２７９７０５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、ガラスレンズ等のガラス基体に樹脂層を設けて形成される複合型光学素子において、ガラス基体と樹脂層の屈折率の差から生じる両者の界面による反射を防止もしくは軽減することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の複合型光学素子は、ガラス基体に樹脂層を積層して形成される複合型光学素子において、ガラス基体と樹脂層の界面の少なくとも一部に、反射防止機能を持つ微細な周期構造を有することを特徴とする。
【００１１】
一般に、光学素子表面に周期的な凹凸形状を設けると、凹凸形状部分を光が透過するときに回折が発生し、透過光の直進成分が大幅に減少するが、凹凸形状のピッチが透過する光の波長より短いサブ波長オーダーになると回折は発生しない。複合型光学素子のガラス基体と樹脂層との界面に「サブ波長オーダーの微細な周期構造」を設けることで、ガラスと樹脂の界面における反射を軽減あるいは防止でき、屈折率差に拘わらずガラス基体材料と樹脂材料の組合せの自由度を大きくすることができる。反射防止機能を有することで、高透過率な複合型光学素子となるので、特に、フレアなどの課題がある光学装置に使用できる。
【００１２】
微細な周期構造は、光入射箇所などのような反射機能防止が必要な箇所に単独に形成されてもよいし、複数箇所に形成されてもよい。
【００１３】
請求項１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造はサブ波長オーダーの格子型凹凸形状とすることができる（請求項２）。ガラスと樹脂の界面にサブ波長オーダーの格子型凹凸形状を有することで、広い波長域を有する光に対しても反射防止機能を有する低反射・高透過率の複合型光学素子となる。微細な周期構造を矩形波形状とすると、矩形波状の凹凸形状のピッチや凸部高さ等に対応する単一波長の光に対して反射防止効果を得ることができる。
【００１４】
請求項１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造はサブ波長オーダーの錐体形状の周期的配列であることもできる（請求項３）。錐体形状の周期的配列では、ガラスと樹脂の界面に微細な周期構造における「凹部と凸部の体積比」が錐体の高さ方向へ連続的に変化するので、広い波長域の光に対しても反射防止機能を有する低反射・高透過率な光学特性を得ることが可能である。
【００１５】
請求項４記載の複合型光学素子は、請求項１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造がサブ波長オーダーの「ラインアンドスペースの凹凸形状」であることを特徴とする。ラインアンドスペースの凹凸形状は、線状の凹部と凸部が交互に平行に並んだ形状であるため製造が容易であり、低コストで反射防止機能を有する低反射・高透過率な複合型光学素子を製造できる。
【００１６】
請求項５記載の複合型光学素子は、請求項１〜４の任意の１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造が屈折率を連続的に変化させていることを特徴とする。屈折率を連続的に変化させる微細な周期構造とすることで、広い波長領域の光に対して反射防止機能を有する低反射・高透過率な複合型光学素子を実現できる。
【００１７】
請求項６記載の複合型光学素子は、請求項１〜５の任意の１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造のピッチをＰ、高さをＨ、複合型光学素子の使用波長をλ、複合型光学素子材料の屈折率をｎとして、
λ＞ｎＰ
λ＜２．５Ｈ
を満たすことを特徴とする。請求項６に記載の複合型光学素子は、広い波長域を有する光に対して反射防止効果を持つ。
【００１８】
請求項１〜６の任意の１に記載の複合型光学素子において、ガラス基体は、例えば前述の導光板のような光学素子を構成する場合には平行平板状でよいが、ガラス基体をレンズとすることにより、前述の樹脂接合型非球面レンズ（ハイブリッドレンズ）を実現することができる（請求項７）。
【００１９】
請求項８記載の複合型光学素子は、請求項１〜７の任意の１に記載の複合型光学素子において、樹脂層が光硬化性樹脂からなることを特徴とする。樹脂層を光硬化性樹脂とすることにより、簡易な製造装置及び製造方法により反射防止機能を有する低反射・高透過率な複合型光学素子を製造できる。
【００２０】
光硬化性樹脂は、光照射による硬化が行われない状態では液状であるので、金駒が有する面形状と周期的なサブ波長オーダーの凹凸形状とを高精度に忠実に転写することができ、形状精度に優れた複合型光学素子を実現できる。
【００２１】
請求項９記載の走査光学系は、請求項１〜８の任意の１に記載の複合型光学素子を使用したことを特徴とする。反射防止効果のある請求項１〜８の何れかに記載の複合型光学素子を光プリンタ等の走査レンズ等として使用することで、ゴーストなどの問題がなく、省電力な光学系を実現でき、優れた走査光学系が可能となる。
【００２２】
請求項１０記載の投射光学系は、請求項１〜８の任意の１に記載の複合型光学素子を使用したことを特徴とする。反射防止効果のある請求項１〜８の任意の１に記載の複合型光学素子を液晶プロジェクタなどの投射光学系に使用することで、ゴーストなどの問題がなく、省電力な光学系を実現でき、優れた投射光学系が可能となる。
【発明の効果】
【００２３】
この発明によれば、ガラス基体に樹脂を積層して形成される複合型光学素子において、ガラス基体と樹脂との屈折率差に起因する両者境界面での反射を有効に軽減・防止し、光学特性を劣化させない複合型光学素子と光学系を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、実施の形態を説明する。
図１（ａ）に示すレンズ１０は、ガラス基体であるガラス部２０と樹脂部３０とを積層した複合型光学素子である。説明をわかりやすくするため、微細構造４０は実際よりも大きく描かれている。図１（ｂ）は、ガラス部２０と樹脂部３０の界面の微細形状４０を拡大して示している。
【００２５】
ガラス部２０と樹脂部３０の界面における微細形状４０は、光の波長オーダー以下（サブ波長オーダー）の周期的な微細凹凸矩形形状を有しており、凹凸形状のピッチや凸部高さ等に対応する単一波長の光に対して反射防止効果を得ることができる。
【００２６】
微細形状４０がない場合には、ガラス部２０と樹脂部３０とで屈折率が異なるため、入射した光が界面で反射し、プリンターなどの走査光学系に用いた場合には「静止ゴースト」を発生することがあるが、ガラス部２０と樹脂部３０との境界面での反射防止機能を持つレンズ１０を走査光学系として用いればこれを防止できる。
【００２７】
微細な周期構造は、図１の微細形状４０のような「格子状の矩形パターン」のほか、三角錘、四角錘、円錐などの錐体形状の周期的配列や、屈折率を連続的に変化させる「凹半球形状、凸半球形状、円筒面形状等の周期的配列」も可能であり、微細な周期構造を利用して屈折率を連続的に変化させることが可能な形状や、ガラス基体と樹脂層の界面における反射を防止できる形状であればどのような形状であってもよい。
【００２８】
図６は、微細な周期構造の例（平面図）を示しており、例えば（ａ）に示す「三角錐形状」、（ｂ）に示す「四角錐形状」、（ｃ）に示す格子状の矩形パターン、（ｄ）に示す「ラインアンドスペース形状」、（ｅ）に示す円錐もしくは半球形状等が可能である。
【００２９】
図９は、微細構造の断面形状であり、（ａ）は三角波形状、（ｂ）は矩形波形状、（ｃ）、（ｄ）は「半円の連続形状」である。
【００３０】
図３に示すように、樹脂表面側にも微細形状７０を形成することにより、さらに低反射な複合型光学素子とすることができる。この図においても、説明をわかりやすくするため、微細形状４０および微細形状７０は大きく描かれている。
【００３１】
レンズ１０の製造工程を説明する。
【００３２】
ガラス部２０はＳＫ２（屈折率：ｎｄ＝１．６０７）からなるガラス球面レンズであり、予めレンズ面を研磨して作製する。
ガラス部２０と樹脂部３０とが接する界面に有する波長オーダー以下の微細形状４０は、研磨皿をガラス部２０に押し当て、所定サイズの砥粒を研磨皿とガラス部２０の隙間に供給し、こすり合わせる方法で製造する。
ガラス部に微細形状４０を形成する方法は、光リソグラフィ加工やレーザ光化学加工、強酸水溶液あるいはプラズマを用いたエッチングなどでもよい。レーザ光化学加工としては、紫外レーザをよく吸収する色素溶液を加工対象に接触させた状態で、紫外レーザを照射し、色素溶液のアブレーションによって間接的にガラス表面を微細加工する方法が考えられる。
【００３３】
樹脂部３０の形成に使用する樹脂材料としては、熱可塑、熱硬化、光硬化性樹脂など任意のプラスチックでよく、ガラス部２０と樹脂部３０の界面に微細形状４０を有することで、低反射・高透過率な複合型光学素子とすることができるすべての光学材料から任意に選択することができる。
【００３４】
樹脂部３０として使用できる光硬化性樹脂としては、３次元網目構造を持つ高分子に光照射することで、高分子鎖間に架橋結合が形成される光２量子化できる有機残基や、光重合開始剤によって重合付加する官能基などを有する高分子となるが、耐環境性の問題などがあり、樹脂自体で所望の屈折率（ガラス部２０の屈折率に近い屈折率）を得ることは困難であるが、ガラス部２０との境界面に反射防止機能を持つ微細形状４０を構成することにより、ガラス部２０との屈折率差に拘わらず、境界面での反射を有効に軽減もしくは防止することができる。
【００３５】
図２を参照して、ガラス部と樹脂部を接合する工程を説明する。
樹脂部に対する下型５０は凹の非球面形状と微細形状とを有する。
図２（ａ）に示すように、下型５０の上にポリスチレン樹脂をベースとする光硬化性樹脂（屈折率：ｎｄ＝１．５３）５１を滴下する。次いで、図２（ｂ）に示すように、光硬化性樹脂５１の上からガラス部２０を降下させ、ガラス部２０と下型５０との間隔を一定に保持する。この時、光硬化性樹脂５１は、ガラス部２０と下型５０の間で拡がり、下型５０の凹の非球面形状を転写されて「凸の状非球面形状」が形成され、同時に微細形状も転写される。
続いて、図２（ｃ）に示すように、高圧水銀ランプを光源とした、ｇ線を主成分とする紫外線６０をガラス部２０を介して１分間照射して光硬化性樹脂５１を硬化させる。
【００３６】
樹脂部３０に微細形状４０を転写することで、ガラス部２０と樹脂部３０の界面において連続的に屈折率が変化するため、複合型光学素子は低反射・高透過率となり、省電力な光学系を実現することができる。また、表面層の樹脂化により非球面形状を有する複合型光学素子とすることができる。成形により製造することにより、生産性が高く、低コストでハイブリッドレンズを製造できる。
【００３７】
成形方法は上記のものに限らず、トランスファ成形、熱プレス成形、熱インプリント成形、光インプリント成形など、所望の形状を形成できる成形法ならばいずれの製造方法でもよい。
【００３８】
微細な凹凸形状を形成するガラスの表面形状は、平面、球面、非球面、自由曲面、あらゆる形状とすることができる。曲面形状にも対応することが可能であるため、反射防止機能を有した大口径複合型光学素子とすることもできる。
【００３９】
本発明の複合型光学素子は、走査レンズ、回折複合型光学素子（フレネルレンズ）、マイクロレンズアレイ、液晶プロジェクタ用投射レンズ、光ディスク読み取り及び書き込み装置に用いられるピックアップレンズなど、複合型光学素子形状には依らず、反射防止機能を必要とするすべての複合型光学素子として実施できる。
【００４０】
複合型光学素子に使用するガラスと樹脂に関して説明すると、樹脂は加工が容易であるが、屈折率がガラスと比較して小さく熱的安定性に劣る。一方、高屈折率ガラスには、例えば屈折率：ｎｄが１．７０〜２．０、アッベ数：νｄが２０〜２８．５のリン酸塩系光学ガラスが知られている。高屈折率の光学ガラスを用いれば、中心肉厚が薄く曲率半径の大きい形状を有していても、従来の肉厚を有する光学レンズと同等の屈折力を得ることができる。このガラスと樹脂の組み合わせにより、使用温度域において所望の光学特性を得ることができる。
【実施例１】
【００４１】
実施例１の複合型光学素子は光プリンタ等に用いられる走査レンズである。
【００４２】
走査レンズの形状は以下のとおりである。
中央部レンズ厚さ Ｈａ：１４ｍｍ
端部レンズ厚さ Ｈｕ：７ｍｍ
副走査方向の幅 Ｄ：１４ｍｍ
光学面の副走査方向有効領域幅 ｄ：８ｍｍ
光学面の主走査方向有効領域長 l：１８０ｍｍ
主走査方向の長さ Ｌ：２２０ｍｍ 。
【００４３】
図１を参照すると、実施例１ではレンズ１０は走査レンズであり、ガラス部２０と樹脂部３０を有し、ガラス部２０と樹脂部３０の界面に有する微細構造４０は、円錐形状の周期的構造であり、ピッチ：Ｐが２００〜２５０ｎｍで、樹脂部の屈折率：ｎは１.５２５である。波長をλとすると、条件「λ＞ｎＰ」から波長：３００ｎｍ以上の波長に対して反射防止機能を有する。
【００４４】
また、微細構造４０の高さＨが２００ｎｍであるため、条件「λ＜２.５Ｈ」から、波長：λ＝７５０ｎｍ程度までの波長に対して反射防止機能を有する。従って、微細構造４０は波長：３００〜７５０ｎｍの波長範囲に対して反射防止機能を持つ。
【００４５】
ガラス部２０はＳＫ２（屈折率：ｎｄ＝１．６０７）からなるガラスレンズであり、樹脂部３０はポリスチレン樹脂をベースとする光硬化性樹脂（屈折率：ｎｄ＝１.５２５）である。
【００４６】
図４に、実施例１の走査レンズを使用した光学システム８０を示す。光学システム８０は、レーザプリンタやデジタル複写機などに搭載される。
【００４７】
この光学システムは光源としての半導体レーザ９０と、半導体レーザ９０が放射した光を所定角度範囲で等角速度的に偏向する偏向手段としての回転多面鏡１００と、回転多面鏡１００により偏向された光を等速度的な光に変換するレーザ走査光学系１１０と、レーザ走査光学系１１０からの光の方向を変更する反射ミラー１２０等を有し、レーザ走査光学系１１０には、実施例１の走査レンズ１０が使用される。
【００４８】
光学システム８０において、半導体レーザ９０から放射された光は、回転多面鏡１００の偏向面近傍に主走査方向に長い線像として一旦結像される。回転多面鏡１００は一定の角速度で図中の矢印Ｃ方向に回転しており、偏向面近傍に結像された光は回転多面鏡１００の回転に伴って等角速度的に偏向される。偏向された光は、走査レンズを順次透過することで等速度的な光に変換され、反射ミラー１２０で反射されて走査対象である感光体１３０表面を走査する。
【００４９】
光学システム８０がデジタル複写機に使用された場合、半導体レーザ９０の光は複写画像に対応する画像情報によって光強度が変調されており、この光が感光体１３０表面に結像することによって、感光体表面に静電潜像が形成される。
【００５０】
以上のように、レーザ走査光学系１１０として用いられる走査レンズ１０は、光学システムにおける実使用状態で、ガラスと樹脂の界面での反射を低減させた設計時の光学的機能を有しており、高画質の画像を形成することができる。微細構造をなす円錐形状の円錐軸方向を光源入射方向に合わせるように形成することにより、反射防止効果を高め、フレア、ゴーストなどの問題のない、透過特性が高く省電力な光学系を形成することが可能となる。
【００５１】
なお、樹脂部３０の両面に反射防止機能を持つ凹凸構造を形成することもできる。
【００５２】
樹脂部の自由表面は、例えば、図３に示すようなフレネルレンズ形状とすることもでき、このフレネルレンズ形状に反射防止機能を持つ微細周期構造を形成することもできる。
【実施例２】
【００５３】
実施例２の複合型光学素子はマイクロレンズアレイである。
図５（ａ）はマイクロレンズアレイ１４０を横から見た図、図５（ｂ）は上から見た図である。図５（ｃ）はマイクロレンズアレイ１４０の個々のマイクロレンズ１４１の拡大図である。マイクロレンズ１４１は樹脂で形成され、ガラス基板との境界部には、ピッチ：Ｐが３００ｎｍ程度、高さ：Ｈが２００ｎｍ程度の「半球形状の微細な凹凸構造」を形成され、「広い波長領域の光」に対して反射防止機能を持つ。
【００５４】
マイクロレンズアレイ１４０は、ガラス部と樹脂部の界面における反射を防止することができるため、フレア、ゴーストなどの問題がなく、透過特性の高い省電力な光学系を形成することができる。
【００５５】
レンズアレイの母材（ガラス基体）がガラスであるため、環境温度が変動しても熱膨張によるレンズピッチ変動が少なく、環境変化によるレンズ位置誤差の生じない高精度な複合型光学素子となる。微細な凹凸構造は、半球状の周期的配列に限らず、三角錐、四角錐、円錐、凹半球、格子状の矩形パターン等種々の形態のものが可能である。
【００５６】
凹凸構造の形成は、実施例１のものと同様種々の方法が可能である。
【実施例３】
【００５７】
実施例３の複合型光学素子はＣＤやＤＶＤなどの光ディスクを用いる光ディスクシステム用の光ピックアップレンズである。
図７は、光ピックアップレンズ１５０の概略図である。図の下面が光の入射面、上面が出射面であり、下面から上面に向かってレーザビームが透過する。
【００５８】
光ピックアップレンズ１５０は、図７に示すように、ガラスレンズの両面に樹脂部を有し、それぞれのガラス部と樹脂部の界面に円錐体の周期構造による微細構造を設けている。微細構造の円錐体の周期的配列は、幅：２００ｎｍ、ピッチ：３００ｎｍ、高さ：４００ｎｍの配列である。
【００５９】
実施例３は、ガラス球面にプラズマ処理によりサブ波長オーダーの微細凹凸構造を形成し、樹脂層を光硬化させることで非球面形状にして、ホルダー１６０と一体化させることで製造できる。
【００６０】
ガラス部２０の入射面及び射出面に微細周期構造を有することで、ガラスの入射面・射出面と樹脂部のそれぞれの界面における反射を防止することができ、図３のように樹脂部表面にも微細構造を形成することにより、さらに反射を軽減することができる。
【実施例４】
【００６１】
実施例４について説明する。
【００６２】
図８は、液晶プロジェクタ用投射光学系に使用される投射レンズ１７０である。図のように、ガラス部２０と樹脂部３０の界面に微細形状４０を有している。
【００６３】
製造工程は、ガラス球面にレーザ光化学加工によりサブ波長オーダーの凹凸（円錐状の周期的配列）を設け、この面の上に非球面形状の型を用い光硬化型樹脂の層を光硬化させることで非球面形状を形成している。
【００６４】
本発明による液晶プロジェクタ用投射光学系では、光学システムにおける実使用状態で、ガラスレンズと樹脂層の界面での反射を低減させた設計時の光学的機能を有しており、フレア、ゴーストなどの問題のない高画質の画像を形成することができ、透過特性の高い省電力な投射光学系を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】微細周期構造を有する複合型光学素子を説明する図である。
【図２】微細周期構造を有する複合型光学素子の製造方法の例を説明する図である。
【図３】樹脂表面側にも微細な凹凸形状を形成した複合型光学素子を説明する図である。
【図４】実施例１の光学システムを説明する図である。
【図５】実施例２のマイクロレンズアレイを説明する図である。
【図６】微細周期構造の例を上からみた図である。
【図７】実施例３の光ピックアップレンズを説明する図である。
【図８】実施例４の投射レンズを説明する図である。
【図９】微細周期構造の例を横からみた図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０ レンズ
２０ ガラス部
３０ 樹脂部
４０ 微細形状
１１０ レーザ走査光学系
１４０ マイクロレンズアレイ
１５０ ピックアップレンズ
１７０ 投射レンズ
【技術分野】
【０００１】
複合型光学素子および光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基体の表面に樹脂層を積層してなる光学素子が知られている。例えば、ガラス基体としての球面ガラスレンズのレンズ面に樹脂層を積層し、樹脂層の表面に非球面形状を形成してなる樹脂接合型非球面レンズ（所謂ハイブリッドレンズ）等である（特許文献１、２）。このようなハイブリッドレンズは、カメラレンズ、レーザプリンタや光プロッタ等の画像形成装置における走査レンズ、液晶プロジェクタにおける投影レンズ、ＣＤ／ＤＶＤ光ディスクのピックアップ等の光ピックアップレンズ等として広く用いられている。
【０００３】
ハイブリッドレンズは「バルクとして使用するガラス」が熱的安定性や複屈折に優れ、樹脂表面層は非球面形状の形成が容易であるので、ガラスレンズの持つ耐環境性と非球面の持つ高い光学特性とを供えた非球面レンズを低コストで製造できる。
【０００４】
しかし反面、バルクとして使用するガラスと樹脂とでは、樹脂の屈折率がガラスの屈折率よりも１０％以上も異なることが多く、このような屈折率差に起因して、ガラス表面と樹脂層との境界面での反射が問題となる。
【０００５】
例えば、レーザプリンタで用いられる走査レンズにハイブリッドレンズを用いた場合、樹脂層とガラスレンズ表面の境界面で反射が生じると、反射光が回転多面鏡で再度反射されてハイブリッドレンズを介して感光体上に到達し、静止ゴーストと呼ばれるスジ状の異常画像を発生する不具合がある。液晶プロジェクタにハイブリッドレンズを用いた場合にも、上記境界面での反射は投影画像に対するノイズ成分となって投影画像を劣化させるし、光ピックアップレンズにハイブリッドレンズを用いた場合には上記境界面での反射が再生信号や制御信号のＳ／Ｎ比を低下させる原因となる。
【０００６】
単独のガラスレンズのガラス表面における反射（空気とガラスとの境界面での反射）を防止する方法としては、従来から多層膜による反射防止層を形成する方法や、ガラス表面に微小な錐体による凹凸形状を設ける構成が知られている（特許文献３）。
【０００７】
反射防止構造を必要とする光学素子は、上記ハイブリッドレンズのほかにも平行平板ガラスの表面に樹脂層を積相した導光板なども考えられ、これらにおいても、ガラス表面と樹脂層との境界面における反射の防止が重要な意義を持つ。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−１８０６０２
【特許文献２】特開２００５−１３１９
【特許文献３】特開２００４−２７９７０５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、ガラスレンズ等のガラス基体に樹脂層を設けて形成される複合型光学素子において、ガラス基体と樹脂層の屈折率の差から生じる両者の界面による反射を防止もしくは軽減することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の複合型光学素子は、ガラス基体に樹脂層を積層して形成される複合型光学素子において、ガラス基体と樹脂層の界面の少なくとも一部に、反射防止機能を持つ微細な周期構造を有することを特徴とする。
【００１１】
一般に、光学素子表面に周期的な凹凸形状を設けると、凹凸形状部分を光が透過するときに回折が発生し、透過光の直進成分が大幅に減少するが、凹凸形状のピッチが透過する光の波長より短いサブ波長オーダーになると回折は発生しない。複合型光学素子のガラス基体と樹脂層との界面に「サブ波長オーダーの微細な周期構造」を設けることで、ガラスと樹脂の界面における反射を軽減あるいは防止でき、屈折率差に拘わらずガラス基体材料と樹脂材料の組合せの自由度を大きくすることができる。反射防止機能を有することで、高透過率な複合型光学素子となるので、特に、フレアなどの課題がある光学装置に使用できる。
【００１２】
微細な周期構造は、光入射箇所などのような反射機能防止が必要な箇所に単独に形成されてもよいし、複数箇所に形成されてもよい。
【００１３】
請求項１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造はサブ波長オーダーの格子型凹凸形状とすることができる（請求項２）。ガラスと樹脂の界面にサブ波長オーダーの格子型凹凸形状を有することで、広い波長域を有する光に対しても反射防止機能を有する低反射・高透過率の複合型光学素子となる。微細な周期構造を矩形波形状とすると、矩形波状の凹凸形状のピッチや凸部高さ等に対応する単一波長の光に対して反射防止効果を得ることができる。
【００１４】
請求項１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造はサブ波長オーダーの錐体形状の周期的配列であることもできる（請求項３）。錐体形状の周期的配列では、ガラスと樹脂の界面に微細な周期構造における「凹部と凸部の体積比」が錐体の高さ方向へ連続的に変化するので、広い波長域の光に対しても反射防止機能を有する低反射・高透過率な光学特性を得ることが可能である。
【００１５】
請求項４記載の複合型光学素子は、請求項１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造がサブ波長オーダーの「ラインアンドスペースの凹凸形状」であることを特徴とする。ラインアンドスペースの凹凸形状は、線状の凹部と凸部が交互に平行に並んだ形状であるため製造が容易であり、低コストで反射防止機能を有する低反射・高透過率な複合型光学素子を製造できる。
【００１６】
請求項５記載の複合型光学素子は、請求項１〜４の任意の１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造が屈折率を連続的に変化させていることを特徴とする。屈折率を連続的に変化させる微細な周期構造とすることで、広い波長領域の光に対して反射防止機能を有する低反射・高透過率な複合型光学素子を実現できる。
【００１７】
請求項６記載の複合型光学素子は、請求項１〜５の任意の１に記載の複合型光学素子において、微細な周期構造のピッチをＰ、高さをＨ、複合型光学素子の使用波長をλ、複合型光学素子材料の屈折率をｎとして、
λ＞ｎＰ
λ＜２．５Ｈ
を満たすことを特徴とする。請求項６に記載の複合型光学素子は、広い波長域を有する光に対して反射防止効果を持つ。
【００１８】
請求項１〜６の任意の１に記載の複合型光学素子において、ガラス基体は、例えば前述の導光板のような光学素子を構成する場合には平行平板状でよいが、ガラス基体をレンズとすることにより、前述の樹脂接合型非球面レンズ（ハイブリッドレンズ）を実現することができる（請求項７）。
【００１９】
請求項８記載の複合型光学素子は、請求項１〜７の任意の１に記載の複合型光学素子において、樹脂層が光硬化性樹脂からなることを特徴とする。樹脂層を光硬化性樹脂とすることにより、簡易な製造装置及び製造方法により反射防止機能を有する低反射・高透過率な複合型光学素子を製造できる。
【００２０】
光硬化性樹脂は、光照射による硬化が行われない状態では液状であるので、金駒が有する面形状と周期的なサブ波長オーダーの凹凸形状とを高精度に忠実に転写することができ、形状精度に優れた複合型光学素子を実現できる。
【００２１】
請求項９記載の走査光学系は、請求項１〜８の任意の１に記載の複合型光学素子を使用したことを特徴とする。反射防止効果のある請求項１〜８の何れかに記載の複合型光学素子を光プリンタ等の走査レンズ等として使用することで、ゴーストなどの問題がなく、省電力な光学系を実現でき、優れた走査光学系が可能となる。
【００２２】
請求項１０記載の投射光学系は、請求項１〜８の任意の１に記載の複合型光学素子を使用したことを特徴とする。反射防止効果のある請求項１〜８の任意の１に記載の複合型光学素子を液晶プロジェクタなどの投射光学系に使用することで、ゴーストなどの問題がなく、省電力な光学系を実現でき、優れた投射光学系が可能となる。
【発明の効果】
【００２３】
この発明によれば、ガラス基体に樹脂を積層して形成される複合型光学素子において、ガラス基体と樹脂との屈折率差に起因する両者境界面での反射を有効に軽減・防止し、光学特性を劣化させない複合型光学素子と光学系を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、実施の形態を説明する。
図１（ａ）に示すレンズ１０は、ガラス基体であるガラス部２０と樹脂部３０とを積層した複合型光学素子である。説明をわかりやすくするため、微細構造４０は実際よりも大きく描かれている。図１（ｂ）は、ガラス部２０と樹脂部３０の界面の微細形状４０を拡大して示している。
【００２５】
ガラス部２０と樹脂部３０の界面における微細形状４０は、光の波長オーダー以下（サブ波長オーダー）の周期的な微細凹凸矩形形状を有しており、凹凸形状のピッチや凸部高さ等に対応する単一波長の光に対して反射防止効果を得ることができる。
【００２６】
微細形状４０がない場合には、ガラス部２０と樹脂部３０とで屈折率が異なるため、入射した光が界面で反射し、プリンターなどの走査光学系に用いた場合には「静止ゴースト」を発生することがあるが、ガラス部２０と樹脂部３０との境界面での反射防止機能を持つレンズ１０を走査光学系として用いればこれを防止できる。
【００２７】
微細な周期構造は、図１の微細形状４０のような「格子状の矩形パターン」のほか、三角錘、四角錘、円錐などの錐体形状の周期的配列や、屈折率を連続的に変化させる「凹半球形状、凸半球形状、円筒面形状等の周期的配列」も可能であり、微細な周期構造を利用して屈折率を連続的に変化させることが可能な形状や、ガラス基体と樹脂層の界面における反射を防止できる形状であればどのような形状であってもよい。
【００２８】
図６は、微細な周期構造の例（平面図）を示しており、例えば（ａ）に示す「三角錐形状」、（ｂ）に示す「四角錐形状」、（ｃ）に示す格子状の矩形パターン、（ｄ）に示す「ラインアンドスペース形状」、（ｅ）に示す円錐もしくは半球形状等が可能である。
【００２９】
図９は、微細構造の断面形状であり、（ａ）は三角波形状、（ｂ）は矩形波形状、（ｃ）、（ｄ）は「半円の連続形状」である。
【００３０】
図３に示すように、樹脂表面側にも微細形状７０を形成することにより、さらに低反射な複合型光学素子とすることができる。この図においても、説明をわかりやすくするため、微細形状４０および微細形状７０は大きく描かれている。
【００３１】
レンズ１０の製造工程を説明する。
【００３２】
ガラス部２０はＳＫ２（屈折率：ｎｄ＝１．６０７）からなるガラス球面レンズであり、予めレンズ面を研磨して作製する。
ガラス部２０と樹脂部３０とが接する界面に有する波長オーダー以下の微細形状４０は、研磨皿をガラス部２０に押し当て、所定サイズの砥粒を研磨皿とガラス部２０の隙間に供給し、こすり合わせる方法で製造する。
ガラス部に微細形状４０を形成する方法は、光リソグラフィ加工やレーザ光化学加工、強酸水溶液あるいはプラズマを用いたエッチングなどでもよい。レーザ光化学加工としては、紫外レーザをよく吸収する色素溶液を加工対象に接触させた状態で、紫外レーザを照射し、色素溶液のアブレーションによって間接的にガラス表面を微細加工する方法が考えられる。
【００３３】
樹脂部３０の形成に使用する樹脂材料としては、熱可塑、熱硬化、光硬化性樹脂など任意のプラスチックでよく、ガラス部２０と樹脂部３０の界面に微細形状４０を有することで、低反射・高透過率な複合型光学素子とすることができるすべての光学材料から任意に選択することができる。
【００３４】
樹脂部３０として使用できる光硬化性樹脂としては、３次元網目構造を持つ高分子に光照射することで、高分子鎖間に架橋結合が形成される光２量子化できる有機残基や、光重合開始剤によって重合付加する官能基などを有する高分子となるが、耐環境性の問題などがあり、樹脂自体で所望の屈折率（ガラス部２０の屈折率に近い屈折率）を得ることは困難であるが、ガラス部２０との境界面に反射防止機能を持つ微細形状４０を構成することにより、ガラス部２０との屈折率差に拘わらず、境界面での反射を有効に軽減もしくは防止することができる。
【００３５】
図２を参照して、ガラス部と樹脂部を接合する工程を説明する。
樹脂部に対する下型５０は凹の非球面形状と微細形状とを有する。
図２（ａ）に示すように、下型５０の上にポリスチレン樹脂をベースとする光硬化性樹脂（屈折率：ｎｄ＝１．５３）５１を滴下する。次いで、図２（ｂ）に示すように、光硬化性樹脂５１の上からガラス部２０を降下させ、ガラス部２０と下型５０との間隔を一定に保持する。この時、光硬化性樹脂５１は、ガラス部２０と下型５０の間で拡がり、下型５０の凹の非球面形状を転写されて「凸の状非球面形状」が形成され、同時に微細形状も転写される。
続いて、図２（ｃ）に示すように、高圧水銀ランプを光源とした、ｇ線を主成分とする紫外線６０をガラス部２０を介して１分間照射して光硬化性樹脂５１を硬化させる。
【００３６】
樹脂部３０に微細形状４０を転写することで、ガラス部２０と樹脂部３０の界面において連続的に屈折率が変化するため、複合型光学素子は低反射・高透過率となり、省電力な光学系を実現することができる。また、表面層の樹脂化により非球面形状を有する複合型光学素子とすることができる。成形により製造することにより、生産性が高く、低コストでハイブリッドレンズを製造できる。
【００３７】
成形方法は上記のものに限らず、トランスファ成形、熱プレス成形、熱インプリント成形、光インプリント成形など、所望の形状を形成できる成形法ならばいずれの製造方法でもよい。
【００３８】
微細な凹凸形状を形成するガラスの表面形状は、平面、球面、非球面、自由曲面、あらゆる形状とすることができる。曲面形状にも対応することが可能であるため、反射防止機能を有した大口径複合型光学素子とすることもできる。
【００３９】
本発明の複合型光学素子は、走査レンズ、回折複合型光学素子（フレネルレンズ）、マイクロレンズアレイ、液晶プロジェクタ用投射レンズ、光ディスク読み取り及び書き込み装置に用いられるピックアップレンズなど、複合型光学素子形状には依らず、反射防止機能を必要とするすべての複合型光学素子として実施できる。
【００４０】
複合型光学素子に使用するガラスと樹脂に関して説明すると、樹脂は加工が容易であるが、屈折率がガラスと比較して小さく熱的安定性に劣る。一方、高屈折率ガラスには、例えば屈折率：ｎｄが１．７０〜２．０、アッベ数：νｄが２０〜２８．５のリン酸塩系光学ガラスが知られている。高屈折率の光学ガラスを用いれば、中心肉厚が薄く曲率半径の大きい形状を有していても、従来の肉厚を有する光学レンズと同等の屈折力を得ることができる。このガラスと樹脂の組み合わせにより、使用温度域において所望の光学特性を得ることができる。
【実施例１】
【００４１】
実施例１の複合型光学素子は光プリンタ等に用いられる走査レンズである。
【００４２】
走査レンズの形状は以下のとおりである。
中央部レンズ厚さ Ｈａ：１４ｍｍ
端部レンズ厚さ Ｈｕ：７ｍｍ
副走査方向の幅 Ｄ：１４ｍｍ
光学面の副走査方向有効領域幅 ｄ：８ｍｍ
光学面の主走査方向有効領域長 l：１８０ｍｍ
主走査方向の長さ Ｌ：２２０ｍｍ 。
【００４３】
図１を参照すると、実施例１ではレンズ１０は走査レンズであり、ガラス部２０と樹脂部３０を有し、ガラス部２０と樹脂部３０の界面に有する微細構造４０は、円錐形状の周期的構造であり、ピッチ：Ｐが２００〜２５０ｎｍで、樹脂部の屈折率：ｎは１.５２５である。波長をλとすると、条件「λ＞ｎＰ」から波長：３００ｎｍ以上の波長に対して反射防止機能を有する。
【００４４】
また、微細構造４０の高さＨが２００ｎｍであるため、条件「λ＜２.５Ｈ」から、波長：λ＝７５０ｎｍ程度までの波長に対して反射防止機能を有する。従って、微細構造４０は波長：３００〜７５０ｎｍの波長範囲に対して反射防止機能を持つ。
【００４５】
ガラス部２０はＳＫ２（屈折率：ｎｄ＝１．６０７）からなるガラスレンズであり、樹脂部３０はポリスチレン樹脂をベースとする光硬化性樹脂（屈折率：ｎｄ＝１.５２５）である。
【００４６】
図４に、実施例１の走査レンズを使用した光学システム８０を示す。光学システム８０は、レーザプリンタやデジタル複写機などに搭載される。
【００４７】
この光学システムは光源としての半導体レーザ９０と、半導体レーザ９０が放射した光を所定角度範囲で等角速度的に偏向する偏向手段としての回転多面鏡１００と、回転多面鏡１００により偏向された光を等速度的な光に変換するレーザ走査光学系１１０と、レーザ走査光学系１１０からの光の方向を変更する反射ミラー１２０等を有し、レーザ走査光学系１１０には、実施例１の走査レンズ１０が使用される。
【００４８】
光学システム８０において、半導体レーザ９０から放射された光は、回転多面鏡１００の偏向面近傍に主走査方向に長い線像として一旦結像される。回転多面鏡１００は一定の角速度で図中の矢印Ｃ方向に回転しており、偏向面近傍に結像された光は回転多面鏡１００の回転に伴って等角速度的に偏向される。偏向された光は、走査レンズを順次透過することで等速度的な光に変換され、反射ミラー１２０で反射されて走査対象である感光体１３０表面を走査する。
【００４９】
光学システム８０がデジタル複写機に使用された場合、半導体レーザ９０の光は複写画像に対応する画像情報によって光強度が変調されており、この光が感光体１３０表面に結像することによって、感光体表面に静電潜像が形成される。
【００５０】
以上のように、レーザ走査光学系１１０として用いられる走査レンズ１０は、光学システムにおける実使用状態で、ガラスと樹脂の界面での反射を低減させた設計時の光学的機能を有しており、高画質の画像を形成することができる。微細構造をなす円錐形状の円錐軸方向を光源入射方向に合わせるように形成することにより、反射防止効果を高め、フレア、ゴーストなどの問題のない、透過特性が高く省電力な光学系を形成することが可能となる。
【００５１】
なお、樹脂部３０の両面に反射防止機能を持つ凹凸構造を形成することもできる。
【００５２】
樹脂部の自由表面は、例えば、図３に示すようなフレネルレンズ形状とすることもでき、このフレネルレンズ形状に反射防止機能を持つ微細周期構造を形成することもできる。
【実施例２】
【００５３】
実施例２の複合型光学素子はマイクロレンズアレイである。
図５（ａ）はマイクロレンズアレイ１４０を横から見た図、図５（ｂ）は上から見た図である。図５（ｃ）はマイクロレンズアレイ１４０の個々のマイクロレンズ１４１の拡大図である。マイクロレンズ１４１は樹脂で形成され、ガラス基板との境界部には、ピッチ：Ｐが３００ｎｍ程度、高さ：Ｈが２００ｎｍ程度の「半球形状の微細な凹凸構造」を形成され、「広い波長領域の光」に対して反射防止機能を持つ。
【００５４】
マイクロレンズアレイ１４０は、ガラス部と樹脂部の界面における反射を防止することができるため、フレア、ゴーストなどの問題がなく、透過特性の高い省電力な光学系を形成することができる。
【００５５】
レンズアレイの母材（ガラス基体）がガラスであるため、環境温度が変動しても熱膨張によるレンズピッチ変動が少なく、環境変化によるレンズ位置誤差の生じない高精度な複合型光学素子となる。微細な凹凸構造は、半球状の周期的配列に限らず、三角錐、四角錐、円錐、凹半球、格子状の矩形パターン等種々の形態のものが可能である。
【００５６】
凹凸構造の形成は、実施例１のものと同様種々の方法が可能である。
【実施例３】
【００５７】
実施例３の複合型光学素子はＣＤやＤＶＤなどの光ディスクを用いる光ディスクシステム用の光ピックアップレンズである。
図７は、光ピックアップレンズ１５０の概略図である。図の下面が光の入射面、上面が出射面であり、下面から上面に向かってレーザビームが透過する。
【００５８】
光ピックアップレンズ１５０は、図７に示すように、ガラスレンズの両面に樹脂部を有し、それぞれのガラス部と樹脂部の界面に円錐体の周期構造による微細構造を設けている。微細構造の円錐体の周期的配列は、幅：２００ｎｍ、ピッチ：３００ｎｍ、高さ：４００ｎｍの配列である。
【００５９】
実施例３は、ガラス球面にプラズマ処理によりサブ波長オーダーの微細凹凸構造を形成し、樹脂層を光硬化させることで非球面形状にして、ホルダー１６０と一体化させることで製造できる。
【００６０】
ガラス部２０の入射面及び射出面に微細周期構造を有することで、ガラスの入射面・射出面と樹脂部のそれぞれの界面における反射を防止することができ、図３のように樹脂部表面にも微細構造を形成することにより、さらに反射を軽減することができる。
【実施例４】
【００６１】
実施例４について説明する。
【００６２】
図８は、液晶プロジェクタ用投射光学系に使用される投射レンズ１７０である。図のように、ガラス部２０と樹脂部３０の界面に微細形状４０を有している。
【００６３】
製造工程は、ガラス球面にレーザ光化学加工によりサブ波長オーダーの凹凸（円錐状の周期的配列）を設け、この面の上に非球面形状の型を用い光硬化型樹脂の層を光硬化させることで非球面形状を形成している。
【００６４】
本発明による液晶プロジェクタ用投射光学系では、光学システムにおける実使用状態で、ガラスレンズと樹脂層の界面での反射を低減させた設計時の光学的機能を有しており、フレア、ゴーストなどの問題のない高画質の画像を形成することができ、透過特性の高い省電力な投射光学系を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】微細周期構造を有する複合型光学素子を説明する図である。
【図２】微細周期構造を有する複合型光学素子の製造方法の例を説明する図である。
【図３】樹脂表面側にも微細な凹凸形状を形成した複合型光学素子を説明する図である。
【図４】実施例１の光学システムを説明する図である。
【図５】実施例２のマイクロレンズアレイを説明する図である。
【図６】微細周期構造の例を上からみた図である。
【図７】実施例３の光ピックアップレンズを説明する図である。
【図８】実施例４の投射レンズを説明する図である。
【図９】微細周期構造の例を横からみた図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０ レンズ
２０ ガラス部
３０ 樹脂部
４０ 微細形状
１１０ レーザ走査光学系
１４０ マイクロレンズアレイ
１５０ ピックアップレンズ
１７０ 投射レンズ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基体に樹脂層を積層して形成される複合型光学素子において、
ガラス基体と樹脂層との界面の少なくとも一部に、反射防止機能を有する微細な周期構造を有することを特徴とする複合型光学素子。
【請求項２】
請求項１記載の複合型光学素子において、
微細な周期構造が、サブ波長オーダーの格子型凹凸形状であることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項３】
請求項１記載の複合型光学素子において、
上記微細な周期構造がサブ波長オーダーの錐体形状の周期的配列であることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項４】
請求項１記載の複合型光学素子において、
上記微細な周期構造がサブ波長オーダーのラインアンドスペースの凹凸形状であることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項５】
請求項１〜４の任意の１に記載の複合型光学素子において、
微細な周期構造が屈折率を連続的に変化させていることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項６】
請求項１〜５の任意の１に記載の複合型光学素子において、
微細な周期構造の凹凸のピッチをＰ、高さをＨ、入射光の波長をλ、光学素子材料の屈折率をｎとして、
λ＞ｎＰ
λ＜２．５Ｈ
を満たすことを特徴とする複合型光学素子。
【請求項７】
請求項１〜６の任意の１に記載の複合型光学素子において、
樹脂層が光硬化性樹脂からなることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項８】
請求項１〜７記載の複合型光学素子において、
ガラス基体がガラスレンズであることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項９】
請求項１〜８に記載の複合型光学素子を使用したことを特徴とする走査光学系。
【請求項１０】
請求項１〜８の任意の１に記載の複合型光学素子を使用したことを特徴とする投射光学系。
【請求項１】
ガラス基体に樹脂層を積層して形成される複合型光学素子において、
ガラス基体と樹脂層との界面の少なくとも一部に、反射防止機能を有する微細な周期構造を有することを特徴とする複合型光学素子。
【請求項２】
請求項１記載の複合型光学素子において、
微細な周期構造が、サブ波長オーダーの格子型凹凸形状であることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項３】
請求項１記載の複合型光学素子において、
上記微細な周期構造がサブ波長オーダーの錐体形状の周期的配列であることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項４】
請求項１記載の複合型光学素子において、
上記微細な周期構造がサブ波長オーダーのラインアンドスペースの凹凸形状であることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項５】
請求項１〜４の任意の１に記載の複合型光学素子において、
微細な周期構造が屈折率を連続的に変化させていることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項６】
請求項１〜５の任意の１に記載の複合型光学素子において、
微細な周期構造の凹凸のピッチをＰ、高さをＨ、入射光の波長をλ、光学素子材料の屈折率をｎとして、
λ＞ｎＰ
λ＜２．５Ｈ
を満たすことを特徴とする複合型光学素子。
【請求項７】
請求項１〜６の任意の１に記載の複合型光学素子において、
樹脂層が光硬化性樹脂からなることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項８】
請求項１〜７記載の複合型光学素子において、
ガラス基体がガラスレンズであることを特徴とする複合型光学素子。
【請求項９】
請求項１〜８に記載の複合型光学素子を使用したことを特徴とする走査光学系。
【請求項１０】
請求項１〜８の任意の１に記載の複合型光学素子を使用したことを特徴とする投射光学系。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００７−２０６４９０（Ｐ２００７−２０６４９０Ａ）
【公開日】平成１９年８月１６日（２００７．８．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２６７３１（Ｐ２００６−２６７３１）
【出願日】平成１８年２月３日（２００６．２．３）
【出願人】（０００００６７４７）株式会社リコー (37,907)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年８月１６日（２００７．８．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年２月３日（２００６．２．３）
【出願人】（０００００６７４７）株式会社リコー (37,907)
【Ｆターム（参考）】
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