通気性シート、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、およびセラミックコンデンサの製造方法
【課題】 厚さ方向の通気性が良好であり、かつ付着した異物を視認し易い通気性シートを提供する。
【解決手段】 通気性シート４は、厚さ方向に通気性を有する。通気性シート４は、厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔１２が形成された樹脂フィルム９と、樹脂フィルム９の内部に分散された白色粒子１０および／または樹脂フィルム９の主面４ｂ上に配置された白色層と、を備える。複数のストレート孔１２の径は２０μｍ以下である。通気性シート４における少なくとも一方の主面４ｂの白色度は、７０以上である。通気性シート４によれば、付着した異物を容易に視認できる。
【解決手段】 通気性シート４は、厚さ方向に通気性を有する。通気性シート４は、厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔１２が形成された樹脂フィルム９と、樹脂フィルム９の内部に分散された白色粒子１０および／または樹脂フィルム９の主面４ｂ上に配置された白色層と、を備える。複数のストレート孔１２の径は２０μｍ以下である。通気性シート４における少なくとも一方の主面４ｂの白色度は、７０以上である。通気性シート４によれば、付着した異物を容易に視認できる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通気性シートに関する。本発明はまた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法に関する。本発明はまた、セラミックコンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話、パソコン等の電子機器には、セラミックコンデンサが用いられている。セラミックコンデンサは、誘電体の作用を利用した蓄電素子であり、電圧が印加されることにより、印加された電圧に応じた電荷を蓄えることができる。セラミックコンデンサは、例えば、電源電圧を安定させる平滑回路、回路を保護するバックアップ回路、または電源回路等におけるノイズを取り除いて所望の信号のみを抽出するカップリング素子等のフィルターに用いられている。
【０００３】
セラミックコンデンサの一般的な製造方法は、下記のとおりである。まず、チタン酸バリウム等の高誘電率のセラミックス粉体と、バインダーおよび有機溶剤とを混合してスラリーを調製する。次に、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の剥離フィルム上にスラリーを塗布し、乾燥させてセラミックグリーンシートを作製する。次に、スクリーン印刷によって、セラミックグリーンシート上に導電体ペーストを印刷し、電極パターンを形成する。次に、電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを、積み重ね、加熱圧着し、裁断することにより、チップ化する。最後に、チップ化されたセラミックグリーンシートを焼結して、セラミックコンデンサを得る。
【０００４】
上記のセラミックコンデンサの製造方法では、セラミックグリーンシートの搬送を要する。セラミックグリーンシートの搬送には、金属性の吸着ヘッドを用いた吸着固定搬送が主に採用されていた。しかし、金属性の吸着ヘッドを用いた吸着固定搬送では、金属性の吸着ヘッドがセラミックグリーンシートに接触することにより、セラミックグリーンシートの表面（主面）に微小な傷がついたり、汚れが付着したりして、製造されるセラミックコンデンサの品質が低下することがあった。これを避けるために、セラミックグリーンシートと金属ヘッドとの間に通気性のある吸着用シート（例えば、特許文献１の超高分子量ポリエチレンからなる多孔質樹脂シート（ＵＨＭＷＰＥシート））を挟むことが行われていた。
【０００５】
セラミックコンデンサの小型・高容量化が進んでおり、セラミックグリーンシートの薄層化が進んでいる。現在では、厚さが１〜２μｍ程度のセラミックグリーンシートが開発されている。セラミックグリーンシートの薄層化が進むと、セラミックグリーンシート自身が通気性を持つようになり、セラミックグリーンシートの吸着が困難になる。また、セラミックグリーンシートの薄層化が進むと、セラミックグリーンシートと離型フィルムとの間のファンデルワールス力が大きくなり、これに由来する引力によりセラミックグリーンシートの剥離が困難になる。これらの問題を解消するためには、吸着用シートの通気性を高めることが望ましい。
【０００６】
ところで、シートの通気性を向上させるためには、通気経路の容積を大きくして通気抵抗を減らす手法が一般的である。例えば、多孔質シートの場合、その孔径および／または気孔率を大きくすることでシートの通気性が向上する。しかし、多孔質シートを吸着用シートに用いる場合、孔径を大きくすると、セラミックグリーンシートが吸着用シート表面の孔に吸い込まれ易くなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。一方、気孔率を大きくすると、セラミックグリーンシートの吸着時に吸着用シートが変形し易くなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。変形および積層不良の問題は、薄膜化されたセラミックグリーンシートで特に起き易い。特許文献２では、吸着用シートにおいて、厚さ方向に直線状に貫通するストレート孔を形成することにより、通気性を確保するための孔の径（開口径）を小さく保ちながら、通気性を確保している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２６９８１号公報
【特許文献２】特開２０１１−１７１７２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
セラミックグリーンシートを搬送する工程では、粉塵等の黒色系（黒、緑等）の異物がセラミックグリーンシートに付着することがある。セラミックグリーンシートに付着した異物が吸着用シートに付着すると、吸着用シートの通気性が低下し、セラミックグリーンシートを固定吸着し難くなる。また、吸着用シートに異物が付着した状態で吸着用シートによりセラミックグリーンシートが吸着されると、セラミックグリーンシートに異物が押しつけられて、セラミックグリーンシートに傷（凹凸）が生じることがあった。このような傷は製造されるセラミックコンデンサの品質を低下させるものであり（例えば、誘電率が局所的に変動する）、セラミックグリーンシートが薄層化している現在においては、このような傷がつくことを特に避けるべきである。
【０００９】
特許文献２に記載されている吸着用シートは透明であった。吸着ヘッドの色が黒色系であることもあり、この場合に透明な吸着用シートに付着した異物（特に黒色系の異物）を視認することは難しく、当該吸着用シートから異物を除去することは難しかった。また、セラミックグリーンシートの吸い込みを抑制でき、通気性が高く、かつ自身に付着した異物を容易に視認できる吸着用シートは、従来は存在しなかった。
【００１０】
また、被濾過液体を濾過するための濾過膜、エアフィルタ用の濾材、ベントフィルタ−用の通気膜等についても、通気性が高く、付着した異物を容易に視認できることが望まれることがある。
【００１１】
こうした事情の下、本発明は、良好な通気性を有し、かつ、付着した異物を視認し易い通気性シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、
厚さ方向に通気性を有する通気性シートであって、
前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記樹脂フィルムの主面上に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
当該通気性シートにおける少なくとも一方の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は、７０以上である、
通気性シート、
を提供する。
【００１３】
本発明は、その別の側面から、
吸着ユニットの吸着面に、前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して作業対象物を吸着させる吸着工程を含み、
前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記作業対象物に対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、
を提供する。
【００１４】
本発明は、さらにその別の側面から、
離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記剥離工程および前記積層工程において、前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記セラミックグリーンシートに対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、セラミックコンデンサの製造方法、
を提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る通気性シートでは、樹脂フィルムにおける厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成され、ストレート孔の径が２０μｍ以下である。このような通気性シートを吸着用シートとして用いれば、当該吸着用シートの主面に存在する孔（開口）への作業対象物の吸い込みが抑制されながら、当該作業対象物が効率よく吸着される。
【００１６】
さらに、本発明に係る通気性シートでは、樹脂フィルムの内部に白色粒子が分散しており、および／または樹脂フィルムの主面上に白色層が配置されており、通気性シートにおける少なくとも一方の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度が７０以上である。このような通気性シートを吸着用シートとして用いた場合、吸着用シートにおける白色度が７０以上である側の主面が作業対象物（例えばセラミックグリーンシート）側となるように吸着用シートを配置すれば、この主面に付着した異物（特に黒色系の異物）を視認し易い。
【００１７】
また、本発明の通気性シートは、被濾過液体を濾過するための濾過膜、エアフィルタ用の濾材またはベントフィルタ−用の通気膜にも好適に利用できる。
【００１８】
また、本発明に係る吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法で用いる吸着用シートにはストレート孔が形成され、この吸着用シートの通気度は１０秒／１００ｍＬ以下であるので、この吸着方法によれば、作業対象物の吸い込みを抑制しながら、作業対象物を効率よく吸着できる。また、この吸着方法で使用する吸着用シートにおける第２の主面の白色度は７０以上であり、第２の主面に付着した異物を視認し易いため、容易に異物を除去できる。したがって、第２の主面に付着した異物によって作業対象物が傷つくおそれが低減する。
【００１９】
また、本発明に係るセラミックコンデンサの製造方法で用いる吸着用シートにはストレート孔が形成され、この吸着用シートの通気度は１０秒／１００ｍＬ以下であるので、この製造方法によれば、セラミックグリーンシートの吸い込みを抑制しながら、セラミックグリーンシートを効率よく吸着できる。また、この製造方法で使用する吸着用シートにおける第２の主面の白色度は７０以上であり、第２の主面に付着した異物を視認し易いため、容易に異物を除去できる。したがって、第２の主面に付着した異物によってセラミックグリーンシートが傷つき、セラミックコンデンサの品質が低下するおそれが低減する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第一実施形態に係る吸着用シートを用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】第一実施形態に係る吸着用シートの斜視図である。
【図３】図２に示す吸着用シートの平面図である。
【図４】図２に示す吸着用シートの断面図である。
【図５Ａ】セラミックコンデンサの製造方法の一例における剥離工程を示す模式図である。
【図５Ｂ】セラミックコンデンサの製造方法の一例における積層工程を示す模式図である。
【図５Ｃ】セラミックコンデンサの製造方法の一例における焼成工程を示す模式図である。
【図６】第二実施形態に係る吸着用シートの斜視図である。
【図７】図６に示す吸着用シートの平面図である。
【図８】図６に示す吸着用シートの断面図である。
【図９】サンプルＡの主面のＳＥＭ像である。
【図１０】サンプルＣの主面のＳＥＭ像である。
【図１１】サンプルＨの主面のＳＥＭ像である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２２】
（第一実施形態）
第一実施形態では、通気性シートを吸着用シートとして用いた形態を説明する。以下、本実施形態に係る吸着用シートを用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法を説明する。図１に示す吸着工程では、吸着ユニット１４に作業対象物１５（例えば、セラミックグリーンシート）が吸着される。吸着ユニット１４の吸着面１３には、図１に示す吸着用シート４が配置され、作業対象物１５は、吸着用シート４を介して吸着面１３に吸着される。具体的には、吸着用シート４は、吸着用シート４の第１の主面４ａが吸着面１３に対向し（接し）、吸着用シート４の第２の主面４ｂが作業対象物１５に対向する（接する）ように配置される。吸着ユニット１４は、吸着ユニット１４に吸引力を発生させるポンプ（図示せず）に接続されている。図１に示す吸着ユニット１４の吸着面１３には複数の孔１６が形成されており、孔１６によって、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸引力が発生する。第２の主面４ｂの白色度は高いので、第２の主面４ｂに異物が付着したとしても、付着した異物は容易に視認される（詳細は後述）。なお、典型的には、吸着ユニット１４における孔１６が形成されている範囲Ｌ１は、作業対象物１５の範囲Ｌ２よりも狭い。
【００２３】
図２に、本発明の第一実施形態に係る吸着用シート４を示す。吸着用シート４は、厚さ方向に通気性を有するシートであり、樹脂フィルム９と、樹脂フィルム９の内部に分散された白色粒子１０とを備えている。吸着用シート４を、厚さ方向に沿って観察したときの平面図を図３に示す。また、吸着用シート４を、厚さ方向に平行な断面で切断した断面図を図４に示す。
【００２４】
吸着用シート４における一方の主面（第２の主面４ｂ）のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は、７０以上であり、７５以上が好ましく、８０以上がより好ましい。吸着用シート４における第２の主面４ｂの白色度は、吸着用シート４における白色粒子１０の含有量および粒子径により調整できる。
【００２５】
吸着用シート４の可視光透過率を低くすると、異物の発見が容易になる。この観点から、吸着用シート４の厚さ方向の可視光透過率は６０％以下が好ましく、５０％以下がより好ましい。
【００２６】
吸着用シート４の厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして例えば１０秒／１００ｍＬ以下であり、３秒／１００ｍＬ以下が好ましい。吸着用シート４の通気度は、樹脂フィルム９におけるストレート孔１２（詳細は後述）の径およびストレート孔１２の密度（面密度）により調整できる。
【００２７】
作業対象物１５と吸着用シート４との摩擦により作業対象物１５が吸着用シート４の厚さ方向に垂直な方向にずれることを防ぐ観点、および作業対象物１５の表面に微小な傷がつくことを避ける観点からは、吸着用シート４は平滑なシートであることが好ましい。この観点から、ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定したときの、吸着用シート４の表面（第２の主面４ｂ）における算術平均粗さＲａは１．０μｍ以下が好ましく、０．６μｍ以下がより好ましく、例えば０．０７〜１．０μｍである。最大高さＲｍａｘは２．０μｍ以下が好ましく、１．５μｍ以下がより好ましく、例えば０．１〜２．０μｍである。
【００２８】
樹脂フィルム９は、高分子樹脂からなるフィルムである。樹脂フィルム９の寸法は特に限定されないが、樹脂フィルム９の厚さは例えば１０〜２００μｍである。
【００２９】
樹脂フィルム９は非多孔質のフィルムであり、樹脂フィルム９には厚さ方向に直線状に貫通する多数のストレート孔１２が形成されている。樹脂フィルム９は、厚さ方向に通気性を有する。なお、非多孔質とは、当該ストレート孔１２以外に、厚さ方向の通気経路となる孔を有さないことを言う。樹脂フィルム９は、典型的には、当該ストレート孔１２を除いて無孔のフィルムである。
【００３０】
樹脂フィルム９のストレート孔１２の径（開口径）は２０μｍ以下である。これにより、吸着用シート４の第２の主面４ｂに存在する孔（開口）への作業対象物１５の吸い込みが抑制される。ストレート孔１２の径が２０μｍを超えると、第２の主面４ｂに存在するストレート孔１２への作業対象物１５の吸い込みが生じ易い。また、吸い込みが起こらないまでも、作業対象物１５の表面に開口の跡がつくことで、作業対象物１５の厚さにバラツキが生じ易い。作業対象物１５がセラミックグリーンシートである場合、シートの厚さのバラツキは、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生につながる。ストレート孔１２の径は１０μｍ以下が好ましい。このような微細なストレート孔１２は、例えば、イオンビーム照射およびエッチングにより形成できる。ストレート孔１２の径（開口径）の下限は、吸着用シート４の通気度がＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下となるように定めることができる。当該下限は、例えば、０．８μｍである。
【００３１】
ストレート孔１２の平面視（吸着用シート４の厚さ方向に沿って観察したときの）の形状は特に限定されず、その開口形状としては、円形および不定形が例示される。樹脂フィルム９において、ストレート孔１２の平面視の開口形状は円形である。また、ストレート孔１２の断面形状（厚さ方向に平行な断面におけるストレート孔１２の形状）も特に限定されず、長方形、台形、中央が窪んだ形状が例示される。樹脂フィルム９において、ストレート孔１２の断面形状は長方形である。ストレート孔１２の立体形状としては、円柱型、円錐台型、砂時計型（２つの円錐台が組み合わさった形状であって、各々の面積が小さい側の底面が接続された形状）が例示される。樹脂フィルム９において、ストレート孔１２の立体形状は円柱型である。
【００３２】
ストレート孔１２の軸線は、通常、樹脂フィルム９の主面に垂直な方向に延びている。当該ストレート孔１２が樹脂フィルム９の厚さ方向に貫通する（当該ストレート孔１２によって、樹脂フィルム９の厚さ方向の通気が確保される）限り、主面に垂直な方向から傾いていてもよい。また、２つ以上のストレート孔１２が接続されていてもよい。
【００３３】
樹脂フィルム９を構成する材料は特に限定されない。樹脂フィルム９は、例えば、イオンビーム照射およびエッチングによって上記ストレート孔１２が形成される材料から構成される。このような材料は、例えば、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される（加水分解性および／または酸化分解性を有する）材料である。アルカリ物質は、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムである。酸化剤は、例えば、亜塩素酸およびその塩、次亜塩素酸およびその塩、過酸化水素、過マンガン酸カリウムである。
【００３４】
樹脂フィルム９の材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）およびポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から選ばれる少なくとも１種の材料から選択される。これらの樹脂は、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される材料である。ＰＩは、次亜塩素酸ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。その他の樹脂は、水酸化ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。
【００３５】
樹脂フィルム９の材料としては、ＰＥＴが好ましい。ＰＥＴによって樹脂フィルム９を構成すれば、当該樹脂フィルム９の第２の主面４ｂが平滑となり、作業対象物１５を吸着用シート４により吸着する際に作業対象物１５の変形を抑制できる。具体的には、ＰＥＴによって樹脂フィルム９を構成すれば、ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定したときの、（白色粒子１０を省略した場合の）樹脂フィルム９における表面の表面粗さＲａを０．０５μｍ程度に、最大高さＲｍａｘを０．１μｍ程度にできる。ＵＨＭＷＰＥシートでは、表面の表面粗さＲａは０．５μｍ程度であり、最大高さＲｍａｘは１５μｍ程度であることを考慮すると、定量的にもＰＥＴは樹脂フィルム９の好適な材料であり、ＰＥＴからなる樹脂フィルム９を用いた吸着用シート４は作業対象物１５の吸着に適していると言える。また、ＰＥＴから構成される樹脂フィルム９の厚み精度は、シート厚が１２．５〜１００μｍの範囲で、±２μｍ程度とすることができる。この厚み精度は、表面を平滑に調整したＵＨＭＷＰＥ多孔質シートにおける厚み精度（±５μｍ）に比べて、非常に優れている。
【００３６】
樹脂フィルム９の気孔率は特に限定されない。作業対象物１５の吸着時における吸着用シート４の変形を抑制する観点からは、４０％以下が好ましく、３０％以下がより好ましい。樹脂フィルム９の気孔率がこのように低い場合においても、その通気経路を構成するストレート孔１２の形状により、樹脂フィルム９（すなわち吸着用シート４）は非常に高い通気性を有する。
【００３７】
樹脂フィルム９の一方の面（第２の主面４ｂ）に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されていてもよい。コーティングは、例えば、フッ素化合物等、表面の摩擦係数を低下させる作用を有する化合物のコーティングである。これにより、吸着ユニット１４からの作業対象物１５（セラミックグリーンシート）の離型性が向上する。
【００３８】
樹脂フィルム９の一方の面（第２の主面４ｂ）に、当該面におけるストレート孔１２の開口が露出するように、粘着剤が配置されていてもよい。粘着剤の種類は特に限定されない。ストレート孔１２の開口は、樹脂フィルム９の通気度に関する上記規定が満たされる限り、少なくともその一部が露出していればよい。
【００３９】
本実施形態では、白色粒子１０は樹脂フィルム９の内部において分散している。白色粒子１０が分散した樹脂フィルム９の具体例として、テレフタル酸とエチレングリコールからなるＰＥＴポリマー溶液に酸化チタン粒子を分散させることにより作製された白色ＰＥＴが挙げられる。
【００４０】
白色粒子１０の粒子径は特に限定されないが、大き過ぎると吸着用シート４の色が白くなり難い（つまり、白色度が高くなり難い）。他方、小さ過ぎると、吸着用シート４の強度が過剰に低下するおそれがある。これらを考慮すると、白色粒子１０の粒子径の範囲は例えば３００ｎｍ〜５μｍであり、５００ｎｍ〜５μｍが好ましく、５００ｎｍ〜２μｍがより好ましい。白色粒子１０の粒子径がストレート孔１２の開口径よりも小さいと、白色粒子１０が開口を塞ぐことがなく、通気性が確保され易い。
【００４１】
また、白色粒子１０の含有量も特に限定されないが、高過ぎると吸着用シート４の第２の主面４ｂにおける表面粗さが大きくなり過ぎることがある。他方、低過ぎると吸着用シート４の色が白くなり難い。これらを考慮すると、吸着用シート４全体の重量を基準としたときの白色粒子１０の含有量は例えば１〜１０重量％であり、３〜８重量％が好ましく、３〜５重量％がより好ましい。
【００４２】
白色粒子１０を構成する粒子としては、無機粒子（無機物からなる粒子）が挙げられ、具体的には酸化チタン粒子、酸化ジルコニウム粒子、酸化ケイ素粒子、アルミナ粒子等が挙げられる。特に、酸化チタン粒子を用いると、吸着用シート４の耐候性が向上し、吸着用シート４の白色度が長期にわたって維持される。
【００４３】
従来は、吸着用シートとして多孔質ＵＨＭＷＰＥシートが使用されていた。しかし、多孔質シートでは、通気経路となる孔の形状が不規則であり、通気経路に沿って常に変化しているとともに、孔同士が複雑に接続している。このため、樹脂フィルム９のストレート孔１２の径と同じ孔径を有する多孔質シートでは、当該樹脂フィルム９に比べて著しく通気抵抗が高く、通気性が悪くなる。これに加えて、多孔質シートは、当該シートの厚さ方向だけではなく平面方向への通気性も有するため、吸着用シートとして使用した際に、いわゆる吸着力の横漏れが発生する。通気性が低く、横漏れが発生する吸着用シートを使用すると、セラミックグリーンシート等の作業対象物を吸着するために大きな吸引圧力が必要になるとともに、吸着用シートの場所によって吸着力が変化する（吸着用シートの端部で特に吸着力が低下する）ため、吸着時に作業対象物の変形が発生し易い。
【００４４】
これに対して、樹脂フィルム９では、通気経路となるストレート孔１２の貫通方向は樹脂フィルム９の厚さ方向であり、ストレート孔１２の形状も通気経路上でほぼ変化しない。吸着用シート４は、このような樹脂フィルム９を有するため、厚さ方向の通気抵抗が非常に低く、良好な通気性を有するとともに、横漏れのないシートとなる。
【００４５】
さらに、吸着用シート４の白色度は７０以上であるので、付着した異物（特に、黒色、緑色等の黒色系の異物）を視認し易い。すなわち、本実施形態に係る吸着用シート４によれば、良好な通気性を確保できるとともに、付着した異物を容易に視認できる。
【００４６】
次に、吸着用シート４を用いたセラミックコンデンサの製造方法の一例を説明する。この製造方法は、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、上記の吸着用シートを介して吸着させて離型フィルムから剥離する剥離工程と、剥離したセラミックグリーンシートを、吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、剥離工程および積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含む。ここで、剥離工程および積層工程において、吸着用シートが、上記の第１の主面が吸着面に対向し、上記の第２の主面がセラミックグリーンシートに対向するように配置されている限り、各工程の詳細は特に限定されず、公知の方法に従えばよい。
【００４７】
図５Ａ〜図５Ｃを参照しながら、セラミックコンデンサの製造方法の一例を説明する。
【００４８】
図５Ａに示す剥離工程では、離型フィルム２１上に形成されたセラミックグリーンシート２２（図５Ａの（１）参照）を、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸着させて、離型フィルム２１から剥離する（図５Ａの（２），（３）参照）。吸着面１３の表面には、上述した吸着用シート４が配置されており、セラミックグリーンシート２２は、吸着用シート４を介して吸着面１３に吸着される。
【００４９】
図５Ｂに示す積層工程では、剥離工程において剥離したセラミックグリーンシート２２を、吸着面１３に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシート２２と積層する（図５Ｂの（１）〜（３）参照）。
【００５０】
図５Ｃに示す焼成工程では、図５Ａに示す剥離工程および図５Ｂに示す積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシート２２の積層体２３を焼成して（図５Ｃ中のＳは焼成することを示している）、焼成体２４を得る。その後、焼成体２４に電極を配置する工程等を経て、セラミックコンデンサが得られる。図５Ｃでは、図を分かり易くするために、積層体２３を構成する層の数を８層としているが、実際には、剥離工程および積層工程を繰り返すことによって、より多くのセラミックグリーンシート２２が積層されてもよい。
【００５１】
剥離工程および積層工程では、吸着用シート４は、吸着用シート４における第１の主面４ａが吸着面１３に対向し（接し）、吸着用シート４の第２の主面４ｂがセラミックグリーンシート２２に対向する（接する）ように配置される。第２の主面４ｂの白色度は高いので、第２の主面４ｂに異物が付着したとしても、付着した異物は容易に視認される。
【００５２】
本実施形態のセラミックコンデンサの製造方法における剥離工程、積層工程および焼成工程の詳細は、公知のセラミックコンデンサの製造方法に従えばよい。また、本実施形態のセラミックコンデンサの製造方法は、必要に応じ、剥離工程、積層工程および焼成工程以外の任意の工程を含んでいてもよい。
【００５３】
（第二実施形態）
図６に、本発明の第二実施形態に係る通気性シートである吸着用シート１０４を示す。図６に示す吸着用シート１０４は、樹脂フィルム１０９と、白色層１３１とを備えている。吸着用シート１０４を、厚さ方向に沿って観察したときの平面図を図７に示す。また、吸着用シート１０４を、厚さ方向に平行な断面で切断した断面図を図８に示す。
【００５４】
樹脂フィルム１０９は、内部において白色粒子が分散していないこと以外は樹脂フィルム９と同様のフィルムである。樹脂フィルム１０９には、ストレート孔１２と同様のストレート孔１１２が形成されている。
【００５５】
白色層１３１は白色粒子１０の材料と同様の材料からなる層であり、吸着用シート１０４の主面上の一方（図６における第２の主面１０４ｂ）に配置されている。白色層１３１は、例えば予め形成した白色粒子１１０（白色粒子１０の材料と同様の材料からなる白色粒子）をコーティングして形成することができる。白色層１３１は、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法等の薄膜形成プロセスにより形成することもできる。薄膜形成プロセスによれば、白色層１３１（すなわち第２の主面１０４ｂ）を平滑にできる。この場合、第２の主面１０４ｂの表面粗さ算術平均粗さＲａを０．３〜０．５μｍに、最大高さＲｍａｘを０．４〜０．６μｍにできる。また、白色層１３１の厚さは、白色度が７０以上であれば特に制限されないが、例えば０．０２５〜１μｍであり、０．０５〜０．１μｍが好ましい。
【００５６】
また、本実施形態では、樹脂フィルム１０９と白色層１３１との間に下地層１３２が介在している。下地層１３２は、樹脂フィルム１０９および白色層１３１に接触している。下地層１３２は、吸着用シート１０４の光透過性を低下させるための層である。下地層１３２層が存在する場合は、厚さ方向の可視光透過率を例えば１０％以下、好ましくは５％以下、より好ましくは３％以下にできる。ただし、吸着用シート１０４の白色度が７０以上である限り、下地層１３２を省略してもよい。
【００５７】
下地層１３２を構成する材料は、例えば、金属、金属炭化物、金属窒化物、金属酸化物および金属フッ化物から選ばれる少なくとも１つから選択すればよい。好適な下地層１３２としては、アルミナ層が挙げられる。下地層１３２がアルミナ層である場合は、コストの観点、耐熱性および絶縁性の観点、製造（スパッタリング）の容易さの観点、ならびに取り扱いの容易さの観点で有利である。
【００５８】
白色層１３１および下地層１３２を形成する方法は特に限定されない。下地層１３２としてアルミナ層を形成する場合は、例えば樹脂フィルム１０９上にアルミナをスパッタリング、蒸着（真空蒸着）その他の薄膜形成プロセスにより堆積させればよい。また、下地層１３２を形成する場合は、下地層１３２上に白色層１３１を形成する。白色層１３１を形成する方法は特に限定されないが、蒸着により白色層１３１を形成すればよい。蒸着により堆積させる白色層１３１の例は、酸化チタンからなる層である。また、下地層１３２を形成しない場合に比べると、下地層１３２を形成する場合は、白色層１３２を堆積させ易くなる。すなわち、厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔であって径が２０μｍ以下であるストレート孔が形成された樹脂フィルムを準備する工程と、スパッタリングによりこの樹脂フィルム上に下地層を堆積させる工程と、下地層上に白色層を堆積させる工程と、を備える吸着用シートの製造方法によれば、好適に吸着用シートを作製できる。なお、樹脂フィルムを準備する工程に代えて、樹脂基材を準備する工程と、イオンビーム照射およびエッチングによって樹脂基材を厚さ方向に貫通するように延びる複数のストレート孔を形成する工程とを採用することもできる。
【００５９】
下地層を形成しない場合、厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔であって径が２０μｍ以下であるストレート孔が形成された樹脂フィルムを準備する工程と、樹脂フィルム上に白色層を堆積させる工程と、を備える吸着用シートの製造方法によって、吸着用シートを作製できる。この場合、白色層を蒸着（真空蒸着）、塗布等により樹脂フィルム上に形成すればよい。このようにすれば、白色層を備えるとともに、樹脂フィルムと白色層が直接接し、樹脂フィルムと白色層との２層からなる吸着用シートを好適に得ることができる。下地層を形成せず、樹脂フィルムと白色層との２層からなる吸着用シートを作製することによって、材料費の削減および製造工程の削減が可能となる。
【００６０】
本実施形態では、吸着用シート１０４の主面のうち、白色層１３１が形成されている側とは反対側の主面である第１の主面１０４ａが、吸着面１３に対向すべき主面であり、白色層１３１が形成されている側の主面である第２の主面１０４ｂが、作業対象物１５（セラミックグリーンシート２２）に対向すべき主面である。第２の主面１０４ｂは白色層１３１により構成されている。
【００６１】
なお、第一実施形態および第二実施形態では、通気性シートを吸着用シートとして用いた例を説明したが、上述の通気性シートは、被濾過液体を濾過するための濾過膜、エアフィルタ用の濾材、ベントフィルタ−用の通気膜等、他の用途にも適用できる。
【実施例】
【００６２】
（実施例１）
実施例１では、図２〜図４に示す第一実施形態の吸着用シート４と同様のサンプルを作製した。
【００６３】
まず、白色粒子が内部に分散したシート（三菱樹脂株式会社製、Ｗ−１００）を準備した。このシートは、厚さが２５μｍのＰＥＴフィルムに、粒径が１．０μｍの酸化チタン（白色粒子）を、シート全体の重量を基準として３．０重量％含有させた無孔のシートである。
【００６４】
次に、イオンビーム照射およびエッチングにより、このシートにストレート孔を形成した。得られたストレート孔の径は１．０μｍ（φ１．０μ）であり、ストレート孔の形成後のシートの気孔率は４．７％であった。イオンビーム照射において用いたイオンビームのイオン種はＸｅ、加速電圧は５６０ＭｅＶ、照射密度は６．０×１０6ｉｏｎ／ｃｍ2、真空度は１０-3Ｐａオーダである。エッチングにおいて用いたエッチング液は、０．５Ｍで約６０℃のＮａＯＨ溶液である。このようにしてサンプルＡを作製した。
【００６５】
（実施例２）
エッチングの条件を変更したこと以外は実施例１と同様にしてサンプルＢを作製した。サンプルＢの作製におけるエッチングにおいて用いたエッチング液は、０．１〜１．０Ｍで５０〜８０℃のＮａＯＨ溶液であり、処理時間を３０〜１８０分とした。サンプルＢでは、ストレート孔はφ３．０μであり、ストレート孔を形成後のシートの気孔率は４２％であった。
【００６６】
（実施例３）
実施例３では、図６〜図８に示す第二実施形態の吸着用シート１０４と同様のサンプルを作製した。
【００６７】
まず、φ５．０μのストレート孔が形成された、気孔率が７．９％の非多孔質のＰＩフィルムを準備した。次に、このＰＩフィルムの表面に、スパッタリングによりアルミナ層を形成した。スパッタリングは、酸素を含むガス雰囲気中で実施した。スパッタリングでは、スパッタ蒸着装置（ＵＬＶＣ（株式会社アルバック）社製、ＳＭＨ−２３０６ＲＥ）を用い、真空度を１Ｐａ、電圧を５００Ｖとし、スパッタリングの時間を２分間に設定した。
【００６８】
次に、アルミナ層の表面に、真空蒸着により白色の酸化チタン層を形成した。真空蒸着にはスパッタ蒸着装置（ＵＬＶＣ社製、ＳＭＨ−２３０６ＲＥ）を用い、真空度を１．０×１０-3Ｐａ以下に設定した。このようにして、サンプルＣを作製した。
【００６９】
（比較例１）
酸化チタンが内部に分散していないこと以外は実施例１で用いたＰＥＴフィルムと同様の無孔のＰＥＴフィルムをサンプルＤとした。
【００７０】
（比較例２）
ストレート孔が形成されていないこと以外は実施例３で準備したＰＩフィルムと同様の無孔のＰＩフィルムをサンプルＥとした。
【００７１】
（比較例３）
実施例３で準備した、ストレート孔が形成された非多孔質のＰＩフィルムをサンプルＦとした。
【００７２】
（比較例４）
実施例３で作製したＰＩフィルムの表面に実施例３と同様のアルミナ層を形成して得た非多孔質のフィルムをサンプルＧとした。なお、このアルミナ層の厚さは非常に薄く、第二実施形態で述べた白色層を構成するものではない。
【００７３】
（比較例５）
厚さが２００μｍ、平均孔径が２０μｍのＵＨＭＷＰＥ多孔質シート（日東電工社製、サンマップＬＣＴ５３２０Ｓ）をサンプルＨとした。
【００７４】
（比較例６）
一般的なコピー用紙はサンプルＩとした。
【００７５】
サンプルＡ〜Ｉにつき、白色度、可視光透過率（厚さ方向の可視光透過率）、孔径、ガーレー通気度（厚さ方向のガーレー通気度）、および表面（第２の主面、以下同じ）の表面粗さを下記のように測定した。
【００７６】
［白色度］
白色度は、色差計（日本電色工業株式会社製、ＮＤ−１００１ＤＰ）を用いて、ＪＩＳＰ ８１２３に準拠した測定によりハンター白度を求めた。
【００７７】
[可視光透過率]
可視光透過率は、分光光度計（株式会社日立ハイテクノロジーズ社製、Ｕ−４１００）を用い、３００〜２７００ｎｍの波長域について測定した。
【００７８】
[孔径]
各サンプルの表面をＳＥＭ（ＪＥＯＬ社（日本電子株式会社）製、ＪＳＭ−６５１０ＬＶ）により撮像し、得られたＳＥＭ像に基づいて各サンプルの表面における孔径を測定した。
【００７９】
[通気度]
通気度としてガーレー数を評価した。ガーレー数は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して、ガーレー式デンソメーター（安田精機製作所製）または王研式透気度試験装置（旭精工製、ＥＧ０２−Ｓ）を用いて求めた。
【００８０】
[表面粗さ]
表面粗さは、触針式表面粗さ計（株式会社東京精密製品、サーフコム５５０Ａ）を用いて測定した。測定条件は、先端径Ｒ２５０μｍ、速度０．３ｍｍ／ｓｅｃ、測定長４ｍｍとした。表面粗さとしては、算術平均粗さＲａおよび最大高さＲｍａｘを測定した。
【００８１】
上記のように測定した、サンプルＡ〜Ｉの白色度、可視光透過率、孔径、ガーレー通気度、および表面粗さを表１にまとめて記載する。また、サンプルＡ、サンプルＣ、サンプルＨの表面のＳＥＭ像を図９〜１１に示す。なお、図９および図１０のＳＥＭ像は倍率を５０００倍に設定して撮像したものであり、図１１のＳＥＭ像は倍率を１００倍に設定して撮像したものである。
【００８２】
【表１】
【００８３】
表１に示すように、サンプルＡの表面の白色度は７７．１、サンプルＢの表面の白色度は７３．８、サンプルＣの表面の白色度は７５．１であった。すなわち、サンプルＡ〜Ｃでは、表面の白色度が７０以上であるため、吸着用シートとして用いた場合に当該吸着用シートの表面に付着した黒色系の異物を視認し易い。
【００８４】
サンプルＡにおけるストレート孔の径は１．０μｍ、サンプルＢにおけるストレート孔の径は３．０μｍ、サンプルＣにおけるストレート孔の径は５．０μｍであった。また、サンプルＡのガーレー通気度は８．７９ｓｅｃ／１００ｍＬ、サンプルＢのガーレー通気度は２．４７ｓｅｃ／１００ｍＬ、サンプルＣのガーレー通気度は３．５９ｓｅｃ／１００ｍＬであった。すなわち、サンプルＡ〜Ｃでは、孔径が２０μｍ以下でありかつガーレー通気度が１０ｓｅｃ／１００ｍＬ以下であるため、吸着用シートとして用いた場合に作業対象物の吸い込みを抑制しつつ、当該作業対象物を効率よく吸着できる。
【００８５】
他方、サンプルＤ〜Ｇでは、表面の白色度が７０未満であるため、サンプルＤ〜Ｇを吸着用シートとして用いた場合に当該吸着用シートに付着した黒色系の異物を視認することは困難である。また、サンプルＤ〜ＥおよびサンプルＨ〜Ｉでは、ガーレー通気度が１０ｓｅｃ／１００ｍＬよりも大きいため、作業対象物を効率よく吸着することは困難である。
【符号の説明】
【００８６】
４，１０４ 吸着用シート
４ａ，１０４ａ 第１の主面
４ｂ，１０４ｂ 第２の主面
９，１０９ 樹脂フィルム
１０，１１０ 白色粒子
１２，１１２ ストレート孔
１３ 吸着面
１４ 吸着ユニット
１５ 作業対象物
１６ 孔
２１ 離型フィルム
２２ セラミックグリーンシート
２３ 積層体
２４ 焼成体
１３１ 白色層
１３２ 下地層
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通気性シートに関する。本発明はまた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法に関する。本発明はまた、セラミックコンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話、パソコン等の電子機器には、セラミックコンデンサが用いられている。セラミックコンデンサは、誘電体の作用を利用した蓄電素子であり、電圧が印加されることにより、印加された電圧に応じた電荷を蓄えることができる。セラミックコンデンサは、例えば、電源電圧を安定させる平滑回路、回路を保護するバックアップ回路、または電源回路等におけるノイズを取り除いて所望の信号のみを抽出するカップリング素子等のフィルターに用いられている。
【０００３】
セラミックコンデンサの一般的な製造方法は、下記のとおりである。まず、チタン酸バリウム等の高誘電率のセラミックス粉体と、バインダーおよび有機溶剤とを混合してスラリーを調製する。次に、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の剥離フィルム上にスラリーを塗布し、乾燥させてセラミックグリーンシートを作製する。次に、スクリーン印刷によって、セラミックグリーンシート上に導電体ペーストを印刷し、電極パターンを形成する。次に、電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを、積み重ね、加熱圧着し、裁断することにより、チップ化する。最後に、チップ化されたセラミックグリーンシートを焼結して、セラミックコンデンサを得る。
【０００４】
上記のセラミックコンデンサの製造方法では、セラミックグリーンシートの搬送を要する。セラミックグリーンシートの搬送には、金属性の吸着ヘッドを用いた吸着固定搬送が主に採用されていた。しかし、金属性の吸着ヘッドを用いた吸着固定搬送では、金属性の吸着ヘッドがセラミックグリーンシートに接触することにより、セラミックグリーンシートの表面（主面）に微小な傷がついたり、汚れが付着したりして、製造されるセラミックコンデンサの品質が低下することがあった。これを避けるために、セラミックグリーンシートと金属ヘッドとの間に通気性のある吸着用シート（例えば、特許文献１の超高分子量ポリエチレンからなる多孔質樹脂シート（ＵＨＭＷＰＥシート））を挟むことが行われていた。
【０００５】
セラミックコンデンサの小型・高容量化が進んでおり、セラミックグリーンシートの薄層化が進んでいる。現在では、厚さが１〜２μｍ程度のセラミックグリーンシートが開発されている。セラミックグリーンシートの薄層化が進むと、セラミックグリーンシート自身が通気性を持つようになり、セラミックグリーンシートの吸着が困難になる。また、セラミックグリーンシートの薄層化が進むと、セラミックグリーンシートと離型フィルムとの間のファンデルワールス力が大きくなり、これに由来する引力によりセラミックグリーンシートの剥離が困難になる。これらの問題を解消するためには、吸着用シートの通気性を高めることが望ましい。
【０００６】
ところで、シートの通気性を向上させるためには、通気経路の容積を大きくして通気抵抗を減らす手法が一般的である。例えば、多孔質シートの場合、その孔径および／または気孔率を大きくすることでシートの通気性が向上する。しかし、多孔質シートを吸着用シートに用いる場合、孔径を大きくすると、セラミックグリーンシートが吸着用シート表面の孔に吸い込まれ易くなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。一方、気孔率を大きくすると、セラミックグリーンシートの吸着時に吸着用シートが変形し易くなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。変形および積層不良の問題は、薄膜化されたセラミックグリーンシートで特に起き易い。特許文献２では、吸着用シートにおいて、厚さ方向に直線状に貫通するストレート孔を形成することにより、通気性を確保するための孔の径（開口径）を小さく保ちながら、通気性を確保している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２６９８１号公報
【特許文献２】特開２０１１−１７１７２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
セラミックグリーンシートを搬送する工程では、粉塵等の黒色系（黒、緑等）の異物がセラミックグリーンシートに付着することがある。セラミックグリーンシートに付着した異物が吸着用シートに付着すると、吸着用シートの通気性が低下し、セラミックグリーンシートを固定吸着し難くなる。また、吸着用シートに異物が付着した状態で吸着用シートによりセラミックグリーンシートが吸着されると、セラミックグリーンシートに異物が押しつけられて、セラミックグリーンシートに傷（凹凸）が生じることがあった。このような傷は製造されるセラミックコンデンサの品質を低下させるものであり（例えば、誘電率が局所的に変動する）、セラミックグリーンシートが薄層化している現在においては、このような傷がつくことを特に避けるべきである。
【０００９】
特許文献２に記載されている吸着用シートは透明であった。吸着ヘッドの色が黒色系であることもあり、この場合に透明な吸着用シートに付着した異物（特に黒色系の異物）を視認することは難しく、当該吸着用シートから異物を除去することは難しかった。また、セラミックグリーンシートの吸い込みを抑制でき、通気性が高く、かつ自身に付着した異物を容易に視認できる吸着用シートは、従来は存在しなかった。
【００１０】
また、被濾過液体を濾過するための濾過膜、エアフィルタ用の濾材、ベントフィルタ−用の通気膜等についても、通気性が高く、付着した異物を容易に視認できることが望まれることがある。
【００１１】
こうした事情の下、本発明は、良好な通気性を有し、かつ、付着した異物を視認し易い通気性シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、
厚さ方向に通気性を有する通気性シートであって、
前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記樹脂フィルムの主面上に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
当該通気性シートにおける少なくとも一方の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は、７０以上である、
通気性シート、
を提供する。
【００１３】
本発明は、その別の側面から、
吸着ユニットの吸着面に、前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して作業対象物を吸着させる吸着工程を含み、
前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記作業対象物に対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法、
を提供する。
【００１４】
本発明は、さらにその別の側面から、
離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記剥離工程および前記積層工程において、前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記セラミックグリーンシートに対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、セラミックコンデンサの製造方法、
を提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る通気性シートでは、樹脂フィルムにおける厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成され、ストレート孔の径が２０μｍ以下である。このような通気性シートを吸着用シートとして用いれば、当該吸着用シートの主面に存在する孔（開口）への作業対象物の吸い込みが抑制されながら、当該作業対象物が効率よく吸着される。
【００１６】
さらに、本発明に係る通気性シートでは、樹脂フィルムの内部に白色粒子が分散しており、および／または樹脂フィルムの主面上に白色層が配置されており、通気性シートにおける少なくとも一方の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度が７０以上である。このような通気性シートを吸着用シートとして用いた場合、吸着用シートにおける白色度が７０以上である側の主面が作業対象物（例えばセラミックグリーンシート）側となるように吸着用シートを配置すれば、この主面に付着した異物（特に黒色系の異物）を視認し易い。
【００１７】
また、本発明の通気性シートは、被濾過液体を濾過するための濾過膜、エアフィルタ用の濾材またはベントフィルタ−用の通気膜にも好適に利用できる。
【００１８】
また、本発明に係る吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法で用いる吸着用シートにはストレート孔が形成され、この吸着用シートの通気度は１０秒／１００ｍＬ以下であるので、この吸着方法によれば、作業対象物の吸い込みを抑制しながら、作業対象物を効率よく吸着できる。また、この吸着方法で使用する吸着用シートにおける第２の主面の白色度は７０以上であり、第２の主面に付着した異物を視認し易いため、容易に異物を除去できる。したがって、第２の主面に付着した異物によって作業対象物が傷つくおそれが低減する。
【００１９】
また、本発明に係るセラミックコンデンサの製造方法で用いる吸着用シートにはストレート孔が形成され、この吸着用シートの通気度は１０秒／１００ｍＬ以下であるので、この製造方法によれば、セラミックグリーンシートの吸い込みを抑制しながら、セラミックグリーンシートを効率よく吸着できる。また、この製造方法で使用する吸着用シートにおける第２の主面の白色度は７０以上であり、第２の主面に付着した異物を視認し易いため、容易に異物を除去できる。したがって、第２の主面に付着した異物によってセラミックグリーンシートが傷つき、セラミックコンデンサの品質が低下するおそれが低減する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第一実施形態に係る吸着用シートを用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】第一実施形態に係る吸着用シートの斜視図である。
【図３】図２に示す吸着用シートの平面図である。
【図４】図２に示す吸着用シートの断面図である。
【図５Ａ】セラミックコンデンサの製造方法の一例における剥離工程を示す模式図である。
【図５Ｂ】セラミックコンデンサの製造方法の一例における積層工程を示す模式図である。
【図５Ｃ】セラミックコンデンサの製造方法の一例における焼成工程を示す模式図である。
【図６】第二実施形態に係る吸着用シートの斜視図である。
【図７】図６に示す吸着用シートの平面図である。
【図８】図６に示す吸着用シートの断面図である。
【図９】サンプルＡの主面のＳＥＭ像である。
【図１０】サンプルＣの主面のＳＥＭ像である。
【図１１】サンプルＨの主面のＳＥＭ像である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２２】
（第一実施形態）
第一実施形態では、通気性シートを吸着用シートとして用いた形態を説明する。以下、本実施形態に係る吸着用シートを用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法を説明する。図１に示す吸着工程では、吸着ユニット１４に作業対象物１５（例えば、セラミックグリーンシート）が吸着される。吸着ユニット１４の吸着面１３には、図１に示す吸着用シート４が配置され、作業対象物１５は、吸着用シート４を介して吸着面１３に吸着される。具体的には、吸着用シート４は、吸着用シート４の第１の主面４ａが吸着面１３に対向し（接し）、吸着用シート４の第２の主面４ｂが作業対象物１５に対向する（接する）ように配置される。吸着ユニット１４は、吸着ユニット１４に吸引力を発生させるポンプ（図示せず）に接続されている。図１に示す吸着ユニット１４の吸着面１３には複数の孔１６が形成されており、孔１６によって、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸引力が発生する。第２の主面４ｂの白色度は高いので、第２の主面４ｂに異物が付着したとしても、付着した異物は容易に視認される（詳細は後述）。なお、典型的には、吸着ユニット１４における孔１６が形成されている範囲Ｌ１は、作業対象物１５の範囲Ｌ２よりも狭い。
【００２３】
図２に、本発明の第一実施形態に係る吸着用シート４を示す。吸着用シート４は、厚さ方向に通気性を有するシートであり、樹脂フィルム９と、樹脂フィルム９の内部に分散された白色粒子１０とを備えている。吸着用シート４を、厚さ方向に沿って観察したときの平面図を図３に示す。また、吸着用シート４を、厚さ方向に平行な断面で切断した断面図を図４に示す。
【００２４】
吸着用シート４における一方の主面（第２の主面４ｂ）のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は、７０以上であり、７５以上が好ましく、８０以上がより好ましい。吸着用シート４における第２の主面４ｂの白色度は、吸着用シート４における白色粒子１０の含有量および粒子径により調整できる。
【００２５】
吸着用シート４の可視光透過率を低くすると、異物の発見が容易になる。この観点から、吸着用シート４の厚さ方向の可視光透過率は６０％以下が好ましく、５０％以下がより好ましい。
【００２６】
吸着用シート４の厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして例えば１０秒／１００ｍＬ以下であり、３秒／１００ｍＬ以下が好ましい。吸着用シート４の通気度は、樹脂フィルム９におけるストレート孔１２（詳細は後述）の径およびストレート孔１２の密度（面密度）により調整できる。
【００２７】
作業対象物１５と吸着用シート４との摩擦により作業対象物１５が吸着用シート４の厚さ方向に垂直な方向にずれることを防ぐ観点、および作業対象物１５の表面に微小な傷がつくことを避ける観点からは、吸着用シート４は平滑なシートであることが好ましい。この観点から、ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定したときの、吸着用シート４の表面（第２の主面４ｂ）における算術平均粗さＲａは１．０μｍ以下が好ましく、０．６μｍ以下がより好ましく、例えば０．０７〜１．０μｍである。最大高さＲｍａｘは２．０μｍ以下が好ましく、１．５μｍ以下がより好ましく、例えば０．１〜２．０μｍである。
【００２８】
樹脂フィルム９は、高分子樹脂からなるフィルムである。樹脂フィルム９の寸法は特に限定されないが、樹脂フィルム９の厚さは例えば１０〜２００μｍである。
【００２９】
樹脂フィルム９は非多孔質のフィルムであり、樹脂フィルム９には厚さ方向に直線状に貫通する多数のストレート孔１２が形成されている。樹脂フィルム９は、厚さ方向に通気性を有する。なお、非多孔質とは、当該ストレート孔１２以外に、厚さ方向の通気経路となる孔を有さないことを言う。樹脂フィルム９は、典型的には、当該ストレート孔１２を除いて無孔のフィルムである。
【００３０】
樹脂フィルム９のストレート孔１２の径（開口径）は２０μｍ以下である。これにより、吸着用シート４の第２の主面４ｂに存在する孔（開口）への作業対象物１５の吸い込みが抑制される。ストレート孔１２の径が２０μｍを超えると、第２の主面４ｂに存在するストレート孔１２への作業対象物１５の吸い込みが生じ易い。また、吸い込みが起こらないまでも、作業対象物１５の表面に開口の跡がつくことで、作業対象物１５の厚さにバラツキが生じ易い。作業対象物１５がセラミックグリーンシートである場合、シートの厚さのバラツキは、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生につながる。ストレート孔１２の径は１０μｍ以下が好ましい。このような微細なストレート孔１２は、例えば、イオンビーム照射およびエッチングにより形成できる。ストレート孔１２の径（開口径）の下限は、吸着用シート４の通気度がＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下となるように定めることができる。当該下限は、例えば、０．８μｍである。
【００３１】
ストレート孔１２の平面視（吸着用シート４の厚さ方向に沿って観察したときの）の形状は特に限定されず、その開口形状としては、円形および不定形が例示される。樹脂フィルム９において、ストレート孔１２の平面視の開口形状は円形である。また、ストレート孔１２の断面形状（厚さ方向に平行な断面におけるストレート孔１２の形状）も特に限定されず、長方形、台形、中央が窪んだ形状が例示される。樹脂フィルム９において、ストレート孔１２の断面形状は長方形である。ストレート孔１２の立体形状としては、円柱型、円錐台型、砂時計型（２つの円錐台が組み合わさった形状であって、各々の面積が小さい側の底面が接続された形状）が例示される。樹脂フィルム９において、ストレート孔１２の立体形状は円柱型である。
【００３２】
ストレート孔１２の軸線は、通常、樹脂フィルム９の主面に垂直な方向に延びている。当該ストレート孔１２が樹脂フィルム９の厚さ方向に貫通する（当該ストレート孔１２によって、樹脂フィルム９の厚さ方向の通気が確保される）限り、主面に垂直な方向から傾いていてもよい。また、２つ以上のストレート孔１２が接続されていてもよい。
【００３３】
樹脂フィルム９を構成する材料は特に限定されない。樹脂フィルム９は、例えば、イオンビーム照射およびエッチングによって上記ストレート孔１２が形成される材料から構成される。このような材料は、例えば、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される（加水分解性および／または酸化分解性を有する）材料である。アルカリ物質は、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムである。酸化剤は、例えば、亜塩素酸およびその塩、次亜塩素酸およびその塩、過酸化水素、過マンガン酸カリウムである。
【００３４】
樹脂フィルム９の材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）およびポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から選ばれる少なくとも１種の材料から選択される。これらの樹脂は、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される材料である。ＰＩは、次亜塩素酸ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。その他の樹脂は、水酸化ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。
【００３５】
樹脂フィルム９の材料としては、ＰＥＴが好ましい。ＰＥＴによって樹脂フィルム９を構成すれば、当該樹脂フィルム９の第２の主面４ｂが平滑となり、作業対象物１５を吸着用シート４により吸着する際に作業対象物１５の変形を抑制できる。具体的には、ＰＥＴによって樹脂フィルム９を構成すれば、ＪＩＳ Ｂ０６０１に準拠して測定したときの、（白色粒子１０を省略した場合の）樹脂フィルム９における表面の表面粗さＲａを０．０５μｍ程度に、最大高さＲｍａｘを０．１μｍ程度にできる。ＵＨＭＷＰＥシートでは、表面の表面粗さＲａは０．５μｍ程度であり、最大高さＲｍａｘは１５μｍ程度であることを考慮すると、定量的にもＰＥＴは樹脂フィルム９の好適な材料であり、ＰＥＴからなる樹脂フィルム９を用いた吸着用シート４は作業対象物１５の吸着に適していると言える。また、ＰＥＴから構成される樹脂フィルム９の厚み精度は、シート厚が１２．５〜１００μｍの範囲で、±２μｍ程度とすることができる。この厚み精度は、表面を平滑に調整したＵＨＭＷＰＥ多孔質シートにおける厚み精度（±５μｍ）に比べて、非常に優れている。
【００３６】
樹脂フィルム９の気孔率は特に限定されない。作業対象物１５の吸着時における吸着用シート４の変形を抑制する観点からは、４０％以下が好ましく、３０％以下がより好ましい。樹脂フィルム９の気孔率がこのように低い場合においても、その通気経路を構成するストレート孔１２の形状により、樹脂フィルム９（すなわち吸着用シート４）は非常に高い通気性を有する。
【００３７】
樹脂フィルム９の一方の面（第２の主面４ｂ）に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されていてもよい。コーティングは、例えば、フッ素化合物等、表面の摩擦係数を低下させる作用を有する化合物のコーティングである。これにより、吸着ユニット１４からの作業対象物１５（セラミックグリーンシート）の離型性が向上する。
【００３８】
樹脂フィルム９の一方の面（第２の主面４ｂ）に、当該面におけるストレート孔１２の開口が露出するように、粘着剤が配置されていてもよい。粘着剤の種類は特に限定されない。ストレート孔１２の開口は、樹脂フィルム９の通気度に関する上記規定が満たされる限り、少なくともその一部が露出していればよい。
【００３９】
本実施形態では、白色粒子１０は樹脂フィルム９の内部において分散している。白色粒子１０が分散した樹脂フィルム９の具体例として、テレフタル酸とエチレングリコールからなるＰＥＴポリマー溶液に酸化チタン粒子を分散させることにより作製された白色ＰＥＴが挙げられる。
【００４０】
白色粒子１０の粒子径は特に限定されないが、大き過ぎると吸着用シート４の色が白くなり難い（つまり、白色度が高くなり難い）。他方、小さ過ぎると、吸着用シート４の強度が過剰に低下するおそれがある。これらを考慮すると、白色粒子１０の粒子径の範囲は例えば３００ｎｍ〜５μｍであり、５００ｎｍ〜５μｍが好ましく、５００ｎｍ〜２μｍがより好ましい。白色粒子１０の粒子径がストレート孔１２の開口径よりも小さいと、白色粒子１０が開口を塞ぐことがなく、通気性が確保され易い。
【００４１】
また、白色粒子１０の含有量も特に限定されないが、高過ぎると吸着用シート４の第２の主面４ｂにおける表面粗さが大きくなり過ぎることがある。他方、低過ぎると吸着用シート４の色が白くなり難い。これらを考慮すると、吸着用シート４全体の重量を基準としたときの白色粒子１０の含有量は例えば１〜１０重量％であり、３〜８重量％が好ましく、３〜５重量％がより好ましい。
【００４２】
白色粒子１０を構成する粒子としては、無機粒子（無機物からなる粒子）が挙げられ、具体的には酸化チタン粒子、酸化ジルコニウム粒子、酸化ケイ素粒子、アルミナ粒子等が挙げられる。特に、酸化チタン粒子を用いると、吸着用シート４の耐候性が向上し、吸着用シート４の白色度が長期にわたって維持される。
【００４３】
従来は、吸着用シートとして多孔質ＵＨＭＷＰＥシートが使用されていた。しかし、多孔質シートでは、通気経路となる孔の形状が不規則であり、通気経路に沿って常に変化しているとともに、孔同士が複雑に接続している。このため、樹脂フィルム９のストレート孔１２の径と同じ孔径を有する多孔質シートでは、当該樹脂フィルム９に比べて著しく通気抵抗が高く、通気性が悪くなる。これに加えて、多孔質シートは、当該シートの厚さ方向だけではなく平面方向への通気性も有するため、吸着用シートとして使用した際に、いわゆる吸着力の横漏れが発生する。通気性が低く、横漏れが発生する吸着用シートを使用すると、セラミックグリーンシート等の作業対象物を吸着するために大きな吸引圧力が必要になるとともに、吸着用シートの場所によって吸着力が変化する（吸着用シートの端部で特に吸着力が低下する）ため、吸着時に作業対象物の変形が発生し易い。
【００４４】
これに対して、樹脂フィルム９では、通気経路となるストレート孔１２の貫通方向は樹脂フィルム９の厚さ方向であり、ストレート孔１２の形状も通気経路上でほぼ変化しない。吸着用シート４は、このような樹脂フィルム９を有するため、厚さ方向の通気抵抗が非常に低く、良好な通気性を有するとともに、横漏れのないシートとなる。
【００４５】
さらに、吸着用シート４の白色度は７０以上であるので、付着した異物（特に、黒色、緑色等の黒色系の異物）を視認し易い。すなわち、本実施形態に係る吸着用シート４によれば、良好な通気性を確保できるとともに、付着した異物を容易に視認できる。
【００４６】
次に、吸着用シート４を用いたセラミックコンデンサの製造方法の一例を説明する。この製造方法は、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、上記の吸着用シートを介して吸着させて離型フィルムから剥離する剥離工程と、剥離したセラミックグリーンシートを、吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、剥離工程および積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含む。ここで、剥離工程および積層工程において、吸着用シートが、上記の第１の主面が吸着面に対向し、上記の第２の主面がセラミックグリーンシートに対向するように配置されている限り、各工程の詳細は特に限定されず、公知の方法に従えばよい。
【００４７】
図５Ａ〜図５Ｃを参照しながら、セラミックコンデンサの製造方法の一例を説明する。
【００４８】
図５Ａに示す剥離工程では、離型フィルム２１上に形成されたセラミックグリーンシート２２（図５Ａの（１）参照）を、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸着させて、離型フィルム２１から剥離する（図５Ａの（２），（３）参照）。吸着面１３の表面には、上述した吸着用シート４が配置されており、セラミックグリーンシート２２は、吸着用シート４を介して吸着面１３に吸着される。
【００４９】
図５Ｂに示す積層工程では、剥離工程において剥離したセラミックグリーンシート２２を、吸着面１３に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシート２２と積層する（図５Ｂの（１）〜（３）参照）。
【００５０】
図５Ｃに示す焼成工程では、図５Ａに示す剥離工程および図５Ｂに示す積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシート２２の積層体２３を焼成して（図５Ｃ中のＳは焼成することを示している）、焼成体２４を得る。その後、焼成体２４に電極を配置する工程等を経て、セラミックコンデンサが得られる。図５Ｃでは、図を分かり易くするために、積層体２３を構成する層の数を８層としているが、実際には、剥離工程および積層工程を繰り返すことによって、より多くのセラミックグリーンシート２２が積層されてもよい。
【００５１】
剥離工程および積層工程では、吸着用シート４は、吸着用シート４における第１の主面４ａが吸着面１３に対向し（接し）、吸着用シート４の第２の主面４ｂがセラミックグリーンシート２２に対向する（接する）ように配置される。第２の主面４ｂの白色度は高いので、第２の主面４ｂに異物が付着したとしても、付着した異物は容易に視認される。
【００５２】
本実施形態のセラミックコンデンサの製造方法における剥離工程、積層工程および焼成工程の詳細は、公知のセラミックコンデンサの製造方法に従えばよい。また、本実施形態のセラミックコンデンサの製造方法は、必要に応じ、剥離工程、積層工程および焼成工程以外の任意の工程を含んでいてもよい。
【００５３】
（第二実施形態）
図６に、本発明の第二実施形態に係る通気性シートである吸着用シート１０４を示す。図６に示す吸着用シート１０４は、樹脂フィルム１０９と、白色層１３１とを備えている。吸着用シート１０４を、厚さ方向に沿って観察したときの平面図を図７に示す。また、吸着用シート１０４を、厚さ方向に平行な断面で切断した断面図を図８に示す。
【００５４】
樹脂フィルム１０９は、内部において白色粒子が分散していないこと以外は樹脂フィルム９と同様のフィルムである。樹脂フィルム１０９には、ストレート孔１２と同様のストレート孔１１２が形成されている。
【００５５】
白色層１３１は白色粒子１０の材料と同様の材料からなる層であり、吸着用シート１０４の主面上の一方（図６における第２の主面１０４ｂ）に配置されている。白色層１３１は、例えば予め形成した白色粒子１１０（白色粒子１０の材料と同様の材料からなる白色粒子）をコーティングして形成することができる。白色層１３１は、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法等の薄膜形成プロセスにより形成することもできる。薄膜形成プロセスによれば、白色層１３１（すなわち第２の主面１０４ｂ）を平滑にできる。この場合、第２の主面１０４ｂの表面粗さ算術平均粗さＲａを０．３〜０．５μｍに、最大高さＲｍａｘを０．４〜０．６μｍにできる。また、白色層１３１の厚さは、白色度が７０以上であれば特に制限されないが、例えば０．０２５〜１μｍであり、０．０５〜０．１μｍが好ましい。
【００５６】
また、本実施形態では、樹脂フィルム１０９と白色層１３１との間に下地層１３２が介在している。下地層１３２は、樹脂フィルム１０９および白色層１３１に接触している。下地層１３２は、吸着用シート１０４の光透過性を低下させるための層である。下地層１３２層が存在する場合は、厚さ方向の可視光透過率を例えば１０％以下、好ましくは５％以下、より好ましくは３％以下にできる。ただし、吸着用シート１０４の白色度が７０以上である限り、下地層１３２を省略してもよい。
【００５７】
下地層１３２を構成する材料は、例えば、金属、金属炭化物、金属窒化物、金属酸化物および金属フッ化物から選ばれる少なくとも１つから選択すればよい。好適な下地層１３２としては、アルミナ層が挙げられる。下地層１３２がアルミナ層である場合は、コストの観点、耐熱性および絶縁性の観点、製造（スパッタリング）の容易さの観点、ならびに取り扱いの容易さの観点で有利である。
【００５８】
白色層１３１および下地層１３２を形成する方法は特に限定されない。下地層１３２としてアルミナ層を形成する場合は、例えば樹脂フィルム１０９上にアルミナをスパッタリング、蒸着（真空蒸着）その他の薄膜形成プロセスにより堆積させればよい。また、下地層１３２を形成する場合は、下地層１３２上に白色層１３１を形成する。白色層１３１を形成する方法は特に限定されないが、蒸着により白色層１３１を形成すればよい。蒸着により堆積させる白色層１３１の例は、酸化チタンからなる層である。また、下地層１３２を形成しない場合に比べると、下地層１３２を形成する場合は、白色層１３２を堆積させ易くなる。すなわち、厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔であって径が２０μｍ以下であるストレート孔が形成された樹脂フィルムを準備する工程と、スパッタリングによりこの樹脂フィルム上に下地層を堆積させる工程と、下地層上に白色層を堆積させる工程と、を備える吸着用シートの製造方法によれば、好適に吸着用シートを作製できる。なお、樹脂フィルムを準備する工程に代えて、樹脂基材を準備する工程と、イオンビーム照射およびエッチングによって樹脂基材を厚さ方向に貫通するように延びる複数のストレート孔を形成する工程とを採用することもできる。
【００５９】
下地層を形成しない場合、厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔であって径が２０μｍ以下であるストレート孔が形成された樹脂フィルムを準備する工程と、樹脂フィルム上に白色層を堆積させる工程と、を備える吸着用シートの製造方法によって、吸着用シートを作製できる。この場合、白色層を蒸着（真空蒸着）、塗布等により樹脂フィルム上に形成すればよい。このようにすれば、白色層を備えるとともに、樹脂フィルムと白色層が直接接し、樹脂フィルムと白色層との２層からなる吸着用シートを好適に得ることができる。下地層を形成せず、樹脂フィルムと白色層との２層からなる吸着用シートを作製することによって、材料費の削減および製造工程の削減が可能となる。
【００６０】
本実施形態では、吸着用シート１０４の主面のうち、白色層１３１が形成されている側とは反対側の主面である第１の主面１０４ａが、吸着面１３に対向すべき主面であり、白色層１３１が形成されている側の主面である第２の主面１０４ｂが、作業対象物１５（セラミックグリーンシート２２）に対向すべき主面である。第２の主面１０４ｂは白色層１３１により構成されている。
【００６１】
なお、第一実施形態および第二実施形態では、通気性シートを吸着用シートとして用いた例を説明したが、上述の通気性シートは、被濾過液体を濾過するための濾過膜、エアフィルタ用の濾材、ベントフィルタ−用の通気膜等、他の用途にも適用できる。
【実施例】
【００６２】
（実施例１）
実施例１では、図２〜図４に示す第一実施形態の吸着用シート４と同様のサンプルを作製した。
【００６３】
まず、白色粒子が内部に分散したシート（三菱樹脂株式会社製、Ｗ−１００）を準備した。このシートは、厚さが２５μｍのＰＥＴフィルムに、粒径が１．０μｍの酸化チタン（白色粒子）を、シート全体の重量を基準として３．０重量％含有させた無孔のシートである。
【００６４】
次に、イオンビーム照射およびエッチングにより、このシートにストレート孔を形成した。得られたストレート孔の径は１．０μｍ（φ１．０μ）であり、ストレート孔の形成後のシートの気孔率は４．７％であった。イオンビーム照射において用いたイオンビームのイオン種はＸｅ、加速電圧は５６０ＭｅＶ、照射密度は６．０×１０6ｉｏｎ／ｃｍ2、真空度は１０-3Ｐａオーダである。エッチングにおいて用いたエッチング液は、０．５Ｍで約６０℃のＮａＯＨ溶液である。このようにしてサンプルＡを作製した。
【００６５】
（実施例２）
エッチングの条件を変更したこと以外は実施例１と同様にしてサンプルＢを作製した。サンプルＢの作製におけるエッチングにおいて用いたエッチング液は、０．１〜１．０Ｍで５０〜８０℃のＮａＯＨ溶液であり、処理時間を３０〜１８０分とした。サンプルＢでは、ストレート孔はφ３．０μであり、ストレート孔を形成後のシートの気孔率は４２％であった。
【００６６】
（実施例３）
実施例３では、図６〜図８に示す第二実施形態の吸着用シート１０４と同様のサンプルを作製した。
【００６７】
まず、φ５．０μのストレート孔が形成された、気孔率が７．９％の非多孔質のＰＩフィルムを準備した。次に、このＰＩフィルムの表面に、スパッタリングによりアルミナ層を形成した。スパッタリングは、酸素を含むガス雰囲気中で実施した。スパッタリングでは、スパッタ蒸着装置（ＵＬＶＣ（株式会社アルバック）社製、ＳＭＨ−２３０６ＲＥ）を用い、真空度を１Ｐａ、電圧を５００Ｖとし、スパッタリングの時間を２分間に設定した。
【００６８】
次に、アルミナ層の表面に、真空蒸着により白色の酸化チタン層を形成した。真空蒸着にはスパッタ蒸着装置（ＵＬＶＣ社製、ＳＭＨ−２３０６ＲＥ）を用い、真空度を１．０×１０-3Ｐａ以下に設定した。このようにして、サンプルＣを作製した。
【００６９】
（比較例１）
酸化チタンが内部に分散していないこと以外は実施例１で用いたＰＥＴフィルムと同様の無孔のＰＥＴフィルムをサンプルＤとした。
【００７０】
（比較例２）
ストレート孔が形成されていないこと以外は実施例３で準備したＰＩフィルムと同様の無孔のＰＩフィルムをサンプルＥとした。
【００７１】
（比較例３）
実施例３で準備した、ストレート孔が形成された非多孔質のＰＩフィルムをサンプルＦとした。
【００７２】
（比較例４）
実施例３で作製したＰＩフィルムの表面に実施例３と同様のアルミナ層を形成して得た非多孔質のフィルムをサンプルＧとした。なお、このアルミナ層の厚さは非常に薄く、第二実施形態で述べた白色層を構成するものではない。
【００７３】
（比較例５）
厚さが２００μｍ、平均孔径が２０μｍのＵＨＭＷＰＥ多孔質シート（日東電工社製、サンマップＬＣＴ５３２０Ｓ）をサンプルＨとした。
【００７４】
（比較例６）
一般的なコピー用紙はサンプルＩとした。
【００７５】
サンプルＡ〜Ｉにつき、白色度、可視光透過率（厚さ方向の可視光透過率）、孔径、ガーレー通気度（厚さ方向のガーレー通気度）、および表面（第２の主面、以下同じ）の表面粗さを下記のように測定した。
【００７６】
［白色度］
白色度は、色差計（日本電色工業株式会社製、ＮＤ−１００１ＤＰ）を用いて、ＪＩＳＰ ８１２３に準拠した測定によりハンター白度を求めた。
【００７７】
[可視光透過率]
可視光透過率は、分光光度計（株式会社日立ハイテクノロジーズ社製、Ｕ−４１００）を用い、３００〜２７００ｎｍの波長域について測定した。
【００７８】
[孔径]
各サンプルの表面をＳＥＭ（ＪＥＯＬ社（日本電子株式会社）製、ＪＳＭ−６５１０ＬＶ）により撮像し、得られたＳＥＭ像に基づいて各サンプルの表面における孔径を測定した。
【００７９】
[通気度]
通気度としてガーレー数を評価した。ガーレー数は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して、ガーレー式デンソメーター（安田精機製作所製）または王研式透気度試験装置（旭精工製、ＥＧ０２−Ｓ）を用いて求めた。
【００８０】
[表面粗さ]
表面粗さは、触針式表面粗さ計（株式会社東京精密製品、サーフコム５５０Ａ）を用いて測定した。測定条件は、先端径Ｒ２５０μｍ、速度０．３ｍｍ／ｓｅｃ、測定長４ｍｍとした。表面粗さとしては、算術平均粗さＲａおよび最大高さＲｍａｘを測定した。
【００８１】
上記のように測定した、サンプルＡ〜Ｉの白色度、可視光透過率、孔径、ガーレー通気度、および表面粗さを表１にまとめて記載する。また、サンプルＡ、サンプルＣ、サンプルＨの表面のＳＥＭ像を図９〜１１に示す。なお、図９および図１０のＳＥＭ像は倍率を５０００倍に設定して撮像したものであり、図１１のＳＥＭ像は倍率を１００倍に設定して撮像したものである。
【００８２】
【表１】
【００８３】
表１に示すように、サンプルＡの表面の白色度は７７．１、サンプルＢの表面の白色度は７３．８、サンプルＣの表面の白色度は７５．１であった。すなわち、サンプルＡ〜Ｃでは、表面の白色度が７０以上であるため、吸着用シートとして用いた場合に当該吸着用シートの表面に付着した黒色系の異物を視認し易い。
【００８４】
サンプルＡにおけるストレート孔の径は１．０μｍ、サンプルＢにおけるストレート孔の径は３．０μｍ、サンプルＣにおけるストレート孔の径は５．０μｍであった。また、サンプルＡのガーレー通気度は８．７９ｓｅｃ／１００ｍＬ、サンプルＢのガーレー通気度は２．４７ｓｅｃ／１００ｍＬ、サンプルＣのガーレー通気度は３．５９ｓｅｃ／１００ｍＬであった。すなわち、サンプルＡ〜Ｃでは、孔径が２０μｍ以下でありかつガーレー通気度が１０ｓｅｃ／１００ｍＬ以下であるため、吸着用シートとして用いた場合に作業対象物の吸い込みを抑制しつつ、当該作業対象物を効率よく吸着できる。
【００８５】
他方、サンプルＤ〜Ｇでは、表面の白色度が７０未満であるため、サンプルＤ〜Ｇを吸着用シートとして用いた場合に当該吸着用シートに付着した黒色系の異物を視認することは困難である。また、サンプルＤ〜ＥおよびサンプルＨ〜Ｉでは、ガーレー通気度が１０ｓｅｃ／１００ｍＬよりも大きいため、作業対象物を効率よく吸着することは困難である。
【符号の説明】
【００８６】
４，１０４ 吸着用シート
４ａ，１０４ａ 第１の主面
４ｂ，１０４ｂ 第２の主面
９，１０９ 樹脂フィルム
１０，１１０ 白色粒子
１２，１１２ ストレート孔
１３ 吸着面
１４ 吸着ユニット
１５ 作業対象物
１６ 孔
２１ 離型フィルム
２２ セラミックグリーンシート
２３ 積層体
２４ 焼成体
１３１ 白色層
１３２ 下地層
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ方向に通気性を有する通気性シートであって、
前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記樹脂フィルムの主面上に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
当該通気性シートにおける少なくとも一方の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は、７０以上である、
通気性シート。
【請求項２】
前記厚さ方向の可視光透過率が６０％以下である、請求項１に記載の通気性シート。
【請求項３】
前記白色層を備えるとともに、前記樹脂フィルムと前記白色層との間に介在し、前記白色層に接する下地層をさらに備える、請求項１または２に記載の通気性シート。
【請求項４】
前記下地層は、アルミナを蒸着することにより形成されたアルミナ層である、請求項３に記載の通気性シート。
【請求項５】
前記白色粒子および／または前記白色層は、無機物からなる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の通気性シート。
【請求項６】
前記白色粒子および／または前記白色層は、酸化チタンからなる、請求項５に記載の通気性シート。
【請求項７】
酸化チタンを蒸着することにより形成された前記白色層を備える、請求項６に記載の通気性シート。
【請求項８】
前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエチレンナフタレートおよびポリフッ化ビニリデンから選ばれる少なくとも１種の樹脂からなる、請求項１〜７のいずれか一項に記載の通気性シート。
【請求項９】
当該通気性シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の通気性シート。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、吸着用シート。
【請求項１１】
被濾過液体を濾過するための濾過膜であって、請求項１〜９のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、濾過膜。
【請求項１２】
エアフィルタ用の濾材であって、請求項１〜９のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、濾材。
【請求項１３】
ベントフィルタ−用の通気膜であって、請求項１〜９のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、通気膜。
【請求項１４】
吸着ユニットの吸着面に、前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して作業対象物を吸着させる吸着工程を含み、
前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記作業対象物に対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項１５】
離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記剥離工程および前記積層工程において、前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記セラミックグリーンシートに対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、セラミックコンデンサの製造方法。
【請求項１】
厚さ方向に通気性を有する通気性シートであって、
前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記樹脂フィルムの主面上に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
当該通気性シートにおける少なくとも一方の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は、７０以上である、
通気性シート。
【請求項２】
前記厚さ方向の可視光透過率が６０％以下である、請求項１に記載の通気性シート。
【請求項３】
前記白色層を備えるとともに、前記樹脂フィルムと前記白色層との間に介在し、前記白色層に接する下地層をさらに備える、請求項１または２に記載の通気性シート。
【請求項４】
前記下地層は、アルミナを蒸着することにより形成されたアルミナ層である、請求項３に記載の通気性シート。
【請求項５】
前記白色粒子および／または前記白色層は、無機物からなる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の通気性シート。
【請求項６】
前記白色粒子および／または前記白色層は、酸化チタンからなる、請求項５に記載の通気性シート。
【請求項７】
酸化チタンを蒸着することにより形成された前記白色層を備える、請求項６に記載の通気性シート。
【請求項８】
前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエチレンナフタレートおよびポリフッ化ビニリデンから選ばれる少なくとも１種の樹脂からなる、請求項１〜７のいずれか一項に記載の通気性シート。
【請求項９】
当該通気性シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の通気性シート。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、吸着用シート。
【請求項１１】
被濾過液体を濾過するための濾過膜であって、請求項１〜９のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、濾過膜。
【請求項１２】
エアフィルタ用の濾材であって、請求項１〜９のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、濾材。
【請求項１３】
ベントフィルタ−用の通気膜であって、請求項１〜９のいずれか一項に記載の通気性シートを備えた、通気膜。
【請求項１４】
吸着ユニットの吸着面に、前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して作業対象物を吸着させる吸着工程を含み、
前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記作業対象物に対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項１５】
離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぎ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートを介して吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記剥離工程および前記積層工程において、前記吸着用シートは、当該吸着用シートにおける第１の主面が前記吸着面に対向し、当該吸着用シートの第２の主面が前記セラミックグリーンシートに対向するように配置され、
前記吸着用シートは、前記厚さ方向に直線状に貫通する複数のストレート孔が形成された樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの内部に分散された白色粒子および／または前記第２の主面に配置された白色層と、を備え、
前記複数のストレート孔の径は２０μｍ以下であり、
前記吸着用シートの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下であり、前記吸着用シートにおける前記第２の主面のＪＩＳ Ｐ８１２３に準拠して測定した白色度は７０以上である、セラミックコンデンサの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図５Ｃ】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図５Ｃ】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１３−１０８０６６（Ｐ２０１３−１０８０６６Ａ）
【公開日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−２３４１１６（Ｐ２０１２−２３４１１６）
【出願日】平成２４年１０月２３日（２０１２．１０．２３）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年１０月２３日（２０１２．１０．２３）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【Ｆターム（参考）】
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